JP2550872Y2 - シート状物質オンライン測定装置 - Google Patents
シート状物質オンライン測定装置Info
- Publication number
- JP2550872Y2 JP2550872Y2 JP1992001934U JP193492U JP2550872Y2 JP 2550872 Y2 JP2550872 Y2 JP 2550872Y2 JP 1992001934 U JP1992001934 U JP 1992001934U JP 193492 U JP193492 U JP 193492U JP 2550872 Y2 JP2550872 Y2 JP 2550872Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- light
- triangular prism
- prism
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、シート状物質オンライ
ン測定装置に係わるものであり、詳しくは、測定上問題
となっている走行特性の改善を図ったシート状物質オン
ライン測定装置に関するものである。
ン測定装置に係わるものであり、詳しくは、測定上問題
となっている走行特性の改善を図ったシート状物質オン
ライン測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の技術としては、シート状
物質である被測定物（以下「シート」という）を上・下
ヘッド間に位置させて、前記上・下ヘッドを当該シート
上全幅に渡ってスキャンさせることでシートの特性（例
えば厚さ）を測定する技術が知られている（例えば、実
開平２−７５０８号公報及び実開平２−１４００４号公
報参照）。
物質である被測定物（以下「シート」という）を上・下
ヘッド間に位置させて、前記上・下ヘッドを当該シート
上全幅に渡ってスキャンさせることでシートの特性（例
えば厚さ）を測定する技術が知られている（例えば、実
開平２−７５０８号公報及び実開平２−１４００４号公
報参照）。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の技術は、上・下ヘッド相互の動きが異なると装
置出力（以下「センサ出力」という）が変動するという
独特の特性（これを走行特性という）があり、この特性
のために、前記シートの膜厚測定をする際には安定した
測定結果を得ることができないという問題点があった。
な従来の技術は、上・下ヘッド相互の動きが異なると装
置出力（以下「センサ出力」という）が変動するという
独特の特性（これを走行特性という）があり、この特性
のために、前記シートの膜厚測定をする際には安定した
測定結果を得ることができないという問題点があった。
【０００４】本考案は、従来の有するこのような問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、上・下ヘッドがシートを走行中に発生する相対位置
のズレから生じる光量変動を無くした安定した信号を得
るシート状物質オンライン測定装置を提供するものであ
る。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、上・下ヘッドがシートを走行中に発生する相対位置
のズレから生じる光量変動を無くした安定した信号を得
るシート状物質オンライン測定装置を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの
間に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせ
て前記シート状物質の特性を測定する装置において、前
記上ヘッド（若しくは下ヘッド）に前記シート状物質の
移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され頂
部から底部に向かって所定の角度を有する様に両端が形
成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド（若しくは上
ヘッド）に前記三角柱プリズムに対向して配置された所
定の長さを有する反射鏡からなり、前記三角柱プリズム
の両端と底部を除く面に反射膜を形成すると共に前記三
角柱プリズムの一端から光を照射し、前記反射鏡との間
で複数回反射し前記三角柱プリズムの他端から出射した
光を光検出器で検出するようにしたことを特徴とするシ
ート状物質オンライン測定装置。
に、本考案は、シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの
間に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせ
て前記シート状物質の特性を測定する装置において、前
記上ヘッド（若しくは下ヘッド）に前記シート状物質の
移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され頂
部から底部に向かって所定の角度を有する様に両端が形
成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド（若しくは上
ヘッド）に前記三角柱プリズムに対向して配置された所
定の長さを有する反射鏡からなり、前記三角柱プリズム
の両端と底部を除く面に反射膜を形成すると共に前記三
角柱プリズムの一端から光を照射し、前記反射鏡との間
で複数回反射し前記三角柱プリズムの他端から出射した
光を光検出器で検出するようにしたことを特徴とするシ
ート状物質オンライン測定装置。
【０００６】
【作用】三角柱プリズムの一端から入射した光はプリズ
ムで回折しシートを透過して所定の角度で反射鏡に入射
する。反射鏡でＶ字状に反射したした光は再びシートを
透過してプリズムの底面から入射してプリズムの頂部付
近の斜面に達する。斜面に達した光は反射膜で反射して
プリズム中を他方の斜面に向かって進行する。
ムで回折しシートを透過して所定の角度で反射鏡に入射
する。反射鏡でＶ字状に反射したした光は再びシートを
透過してプリズムの底面から入射してプリズムの頂部付
近の斜面に達する。斜面に達した光は反射膜で反射して
プリズム中を他方の斜面に向かって進行する。
【０００７】そして、プリズムの他の斜面に達した光は
更に反射膜で反射して再び反射鏡側に向かう。この動作
を複数回繰り返し光はプリズムの他端から出射する。こ
の出射した光は光検出器に入射して電気信号に変換され
る。ここで、シートの流れ方向をＸ，シートに対して直
角方向をＹ，ヘッドの上下方向をＺ方向とした場合、Ｘ
及びＺ方向のズレはプリズムの入射面の中央付近に光を
入射させることにより入射のズレを吸収し、ズレに起因
する出射光のズレは同様に光検出器の受光面の範囲で吸
収する。また、Ｙ方向のズレはプリズムの斜面の面積範
囲で吸収する。更に上下ヘッドの対向面の平行度が変化
したとしても反射光がプリズムの底辺の幅内であれば光
量の減衰を防止することができる。
更に反射膜で反射して再び反射鏡側に向かう。この動作
を複数回繰り返し光はプリズムの他端から出射する。こ
の出射した光は光検出器に入射して電気信号に変換され
る。ここで、シートの流れ方向をＸ，シートに対して直
角方向をＹ，ヘッドの上下方向をＺ方向とした場合、Ｘ
及びＺ方向のズレはプリズムの入射面の中央付近に光を
入射させることにより入射のズレを吸収し、ズレに起因
する出射光のズレは同様に光検出器の受光面の範囲で吸
収する。また、Ｙ方向のズレはプリズムの斜面の面積範
囲で吸収する。更に上下ヘッドの対向面の平行度が変化
したとしても反射光がプリズムの底辺の幅内であれば光
量の減衰を防止することができる。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【実施例】以下、実施例に付いて具体的な図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は本考案の具体的な実施例を示す正面
図である。図２は図１の側面図である。
図である。図２は図１の側面図である。
【００１３】図１及び図２において、Ｓはシート、Ａは
上ヘツド、Ｂは下ヘッドである。
上ヘツド、Ｂは下ヘッドである。
【００１４】１は上ヘツド側に設けられる光学系として
の三角柱プリズム、２は光源、３は光源からの光を光束
化するレンズ（コリーメイトレンズ）、４は光検出器で
ある。この上ヘッドＡにおいて、三角柱プリズム１はそ
の両端α，βを、シート面に対して所定の角度（例えば
ブリュースタ角でシートに入射するように設ける）で、
光源２のレンズ３を通過した光束が入射し、射出するよ
うにカットする（図１参照）。さらに、三角柱プリズム
側面に当たる２面γ，δには反射増加膜１a，１bを蒸着
等の手段を用いて配置することで、プリズム内の光束を
外に射出させないように形成する（図２参照）。
の三角柱プリズム、２は光源、３は光源からの光を光束
化するレンズ（コリーメイトレンズ）、４は光検出器で
ある。この上ヘッドＡにおいて、三角柱プリズム１はそ
の両端α，βを、シート面に対して所定の角度（例えば
ブリュースタ角でシートに入射するように設ける）で、
光源２のレンズ３を通過した光束が入射し、射出するよ
うにカットする（図１参照）。さらに、三角柱プリズム
側面に当たる２面γ，δには反射増加膜１a，１bを蒸着
等の手段を用いて配置することで、プリズム内の光束を
外に射出させないように形成する（図２参照）。
【００１５】下ヘッドＢにおいて、６は反射光学系（裏
面反射鏡）５の裏面には反射膜であり、オンライン測定
中に発生する汚れを除去する際しては反射面が傷付けら
れないように構成されている。
面反射鏡）５の裏面には反射膜であり、オンライン測定
中に発生する汚れを除去する際しては反射面が傷付けら
れないように構成されている。
【００１６】このような構成において、光源２のレンズ
３を通過した光束は、三角柱プリズム１の一方の端面α
を光の入射面としてその内部に入射する。三角柱プリズ
ム１はこの入射した光をシートＳに向けて、ある入射角
θで射出する。シートＳを通過した光は下ヘッドＢの裏
面反射鏡６で反射された後に再度シートＳに入射する。
シートＳを透過した光は、上ヘッドの三角柱プリズム１
下面からその内部に入射する。三角柱プリズムにあって
は、その入射した光を側面γ，δの反射増加膜１a，１b
で反射させた後に再度シートＳに向けて射出するという
１測定光路を形成する。
３を通過した光束は、三角柱プリズム１の一方の端面α
を光の入射面としてその内部に入射する。三角柱プリズ
ム１はこの入射した光をシートＳに向けて、ある入射角
θで射出する。シートＳを通過した光は下ヘッドＢの裏
面反射鏡６で反射された後に再度シートＳに入射する。
シートＳを透過した光は、上ヘッドの三角柱プリズム１
下面からその内部に入射する。三角柱プリズムにあって
は、その入射した光を側面γ，δの反射増加膜１a，１b
で反射させた後に再度シートＳに向けて射出するという
１測定光路を形成する。
【００１７】以下このような三角柱プリズムを中心とし
て形成される測定光路が複数形成された（このような経
過を数度繰り返される）後、三角柱プリズム１の他方の
端面βから射出された光は光検出器４で検出される。
て形成される測定光路が複数形成された（このような経
過を数度繰り返される）後、三角柱プリズム１の他方の
端面βから射出された光は光検出器４で検出される。
【００１８】このように、所定の光路中を特定波長が通
過することでシートの膜厚に応じた吸収を受けることか
らシートの厚さ測定ができる。
過することでシートの膜厚に応じた吸収を受けることか
らシートの厚さ測定ができる。
【００１９】なお、図１で三角柱プリズム１と裏面反射
鏡６の位置がＸ方向にズレても光路の変動はない。ま
た、Ｙ方向のズレに対ても図２に示す様に、三角柱プリ
ズム側面γ，δの反射増幅膜１a，１bにより反射され再
度シートＳに反射されるため光量の変動はない。また、
Ｚ軸方向の変動に対ても、測長光路が長光路と三角柱プ
リズム１の端面βが広くとれるため殆ど影響を受けるこ
とがない。更に、上下の反射面の平行度が変化しても反
射光がプリズムの底辺の幅内であれば光量の減衰を防止
することができる。
鏡６の位置がＸ方向にズレても光路の変動はない。ま
た、Ｙ方向のズレに対ても図２に示す様に、三角柱プリ
ズム側面γ，δの反射増幅膜１a，１bにより反射され再
度シートＳに反射されるため光量の変動はない。また、
Ｚ軸方向の変動に対ても、測長光路が長光路と三角柱プ
リズム１の端面βが広くとれるため殆ど影響を受けるこ
とがない。更に、上下の反射面の平行度が変化しても反
射光がプリズムの底辺の幅内であれば光量の減衰を防止
することができる。
【００２０】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように光学系に
三角柱プリズムと裏面反射鏡とを用いて構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。
三角柱プリズムと裏面反射鏡とを用いて構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。
【００２１】
【００２２】（イ） オンライン測定中にＸ，Ｙ，Ｚ方
向のズレ及び上下の反射面の平行度が変化してもこれら
を吸収することができるので、膜厚測定上安定した精度
のよい測定ができる。また、シートを光が複数回透過す
るため、シート内の光路長が長くなり、干渉がなくな
る。
向のズレ及び上下の反射面の平行度が変化してもこれら
を吸収することができるので、膜厚測定上安定した精度
のよい測定ができる。また、シートを光が複数回透過す
るため、シート内の光路長が長くなり、干渉がなくな
る。
【００２３】
【００２４】
【図１】本考案の具体的な実施例を示す正面図である。
【図２】図１の側面図である。
Ｓ シート Ａ 上ヘツド Ｂ 下ヘッド １ 三角柱プリズム ２ 光源 ３ 光源からの光を光束化するレンズ（コリーメイトレ
ンズ） ４ 光検出器 ６ 反射膜
ンズ） ４ 光検出器 ６ 反射膜
Claims (1)
- 【請求項１】シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの間
に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせて
前記シート状物質の特性を測定する装置において、前記上ヘッド（若しくは下ヘッド）に前記シート状物質
の移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され
両端の頂部から底部に向かって所定の角度を有する様に
形成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド（若しくは
上ヘッド）に前記三角柱プリズムに対向して配置された
所定の長さを有する反射鏡からなり、 前記三角柱プリズムの両端と底部を除く面に反射膜を形
成すると共に前記三角柱プリズムの一端から光を照射
し、前記反射鏡との間で複数回反射して前記三角柱プリ
ズムの他端から出射した光を 光検出器で検出するように
したことを特徴とするシート状物質オンライン測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992001934U JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992001934U JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0559217U JPH0559217U (ja) | 1993-08-06 |
| JP2550872Y2 true JP2550872Y2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=11515441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992001934U Expired - Lifetime JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2550872Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53130061A (en) * | 1977-04-19 | 1978-11-13 | Naado Kenkiyuushiyo Kk | Measuring method of film thickness in emulsion layer |
| JPS58206904A (ja) * | 1982-05-01 | 1983-12-02 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | シ−ト状物体の厚さ測定装置 |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP1992001934U patent/JP2550872Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559217U (ja) | 1993-08-06 |
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