JP2550872Y2 - シート状物質オンライン測定装置 - Google Patents
シート状物質オンライン測定装置Info
- Publication number
- JP2550872Y2 JP2550872Y2 JP1992001934U JP193492U JP2550872Y2 JP 2550872 Y2 JP2550872 Y2 JP 2550872Y2 JP 1992001934 U JP1992001934 U JP 1992001934U JP 193492 U JP193492 U JP 193492U JP 2550872 Y2 JP2550872 Y2 JP 2550872Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- light
- triangular prism
- prism
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、シート状物質オンライ
ン測定装置に係わるものであり、詳しくは、測定上問題
となっている走行特性の改善を図ったシート状物質オン
ライン測定装置に関するものである。
ン測定装置に係わるものであり、詳しくは、測定上問題
となっている走行特性の改善を図ったシート状物質オン
ライン測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の技術としては、シート状
物質である被測定物(以下「シート」という)を上・下
ヘッド間に位置させて、前記上・下ヘッドを当該シート
上全幅に渡ってスキャンさせることでシートの特性(例
えば厚さ)を測定する技術が知られている(例えば、実
開平2−7508号公報及び実開平2−14004号公
報参照)。
物質である被測定物(以下「シート」という)を上・下
ヘッド間に位置させて、前記上・下ヘッドを当該シート
上全幅に渡ってスキャンさせることでシートの特性(例
えば厚さ)を測定する技術が知られている(例えば、実
開平2−7508号公報及び実開平2−14004号公
報参照)。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の技術は、上・下ヘッド相互の動きが異なると装
置出力(以下「センサ出力」という)が変動するという
独特の特性(これを走行特性という)があり、この特性
のために、前記シートの膜厚測定をする際には安定した
測定結果を得ることができないという問題点があった。
な従来の技術は、上・下ヘッド相互の動きが異なると装
置出力(以下「センサ出力」という)が変動するという
独特の特性(これを走行特性という)があり、この特性
のために、前記シートの膜厚測定をする際には安定した
測定結果を得ることができないという問題点があった。
【0004】本考案は、従来の有するこのような問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、上・下ヘッドがシートを走行中に発生する相対位置
のズレから生じる光量変動を無くした安定した信号を得
るシート状物質オンライン測定装置を提供するものであ
る。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、上・下ヘッドがシートを走行中に発生する相対位置
のズレから生じる光量変動を無くした安定した信号を得
るシート状物質オンライン測定装置を提供するものであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの
間に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせ
て前記シート状物質の特性を測定する装置において、前
記上ヘッド(若しくは下ヘッド)に前記シート状物質の
移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され頂
部から底部に向かって所定の角度を有する様に両端が形
成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド(若しくは上
ヘッド)に前記三角柱プリズムに対向して配置された所
定の長さを有する反射鏡からなり、前記三角柱プリズム
の両端と底部を除く面に反射膜を形成すると共に前記三
角柱プリズムの一端から光を照射し、前記反射鏡との間
で複数回反射し前記三角柱プリズムの他端から出射した
光を光検出器で検出するようにしたことを特徴とするシ
ート状物質オンライン測定装置。
に、本考案は、シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの
間に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせ
て前記シート状物質の特性を測定する装置において、前
記上ヘッド(若しくは下ヘッド)に前記シート状物質の
移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され頂
部から底部に向かって所定の角度を有する様に両端が形
成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド(若しくは上
ヘッド)に前記三角柱プリズムに対向して配置された所
定の長さを有する反射鏡からなり、前記三角柱プリズム
の両端と底部を除く面に反射膜を形成すると共に前記三
角柱プリズムの一端から光を照射し、前記反射鏡との間
で複数回反射し前記三角柱プリズムの他端から出射した
光を光検出器で検出するようにしたことを特徴とするシ
ート状物質オンライン測定装置。
【0006】
【作用】三角柱プリズムの一端から入射した光はプリズ
ムで回折しシートを透過して所定の角度で反射鏡に入射
する。反射鏡でV字状に反射したした光は再びシートを
透過してプリズムの底面から入射してプリズムの頂部付
近の斜面に達する。斜面に達した光は反射膜で反射して
プリズム中を他方の斜面に向かって進行する。
ムで回折しシートを透過して所定の角度で反射鏡に入射
する。反射鏡でV字状に反射したした光は再びシートを
透過してプリズムの底面から入射してプリズムの頂部付
近の斜面に達する。斜面に達した光は反射膜で反射して
プリズム中を他方の斜面に向かって進行する。
【0007】そして、プリズムの他の斜面に達した光は
更に反射膜で反射して再び反射鏡側に向かう。この動作
を複数回繰り返し光はプリズムの他端から出射する。こ
の出射した光は光検出器に入射して電気信号に変換され
る。ここで、シートの流れ方向をX,シートに対して直
角方向をY,ヘッドの上下方向をZ方向とした場合、X
及びZ方向のズレはプリズムの入射面の中央付近に光を
入射させることにより入射のズレを吸収し、ズレに起因
する出射光のズレは同様に光検出器の受光面の範囲で吸
収する。また、Y方向のズレはプリズムの斜面の面積範
囲で吸収する。更に上下ヘッドの対向面の平行度が変化
したとしても反射光がプリズムの底辺の幅内であれば光
量の減衰を防止することができる。
更に反射膜で反射して再び反射鏡側に向かう。この動作
を複数回繰り返し光はプリズムの他端から出射する。こ
の出射した光は光検出器に入射して電気信号に変換され
る。ここで、シートの流れ方向をX,シートに対して直
角方向をY,ヘッドの上下方向をZ方向とした場合、X
及びZ方向のズレはプリズムの入射面の中央付近に光を
入射させることにより入射のズレを吸収し、ズレに起因
する出射光のズレは同様に光検出器の受光面の範囲で吸
収する。また、Y方向のズレはプリズムの斜面の面積範
囲で吸収する。更に上下ヘッドの対向面の平行度が変化
したとしても反射光がプリズムの底辺の幅内であれば光
量の減衰を防止することができる。
【0008】
【0009】
【0010】
【0011】
【実施例】以下、実施例に付いて具体的な図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0012】図1は本考案の具体的な実施例を示す正面
図である。図2は図1の側面図である。
図である。図2は図1の側面図である。
【0013】図1及び図2において、Sはシート、Aは
上ヘツド、Bは下ヘッドである。
上ヘツド、Bは下ヘッドである。
【0014】1は上ヘツド側に設けられる光学系として
の三角柱プリズム、2は光源、3は光源からの光を光束
化するレンズ(コリーメイトレンズ)、4は光検出器で
ある。この上ヘッドAにおいて、三角柱プリズム1はそ
の両端α,βを、シート面に対して所定の角度(例えば
ブリュースタ角でシートに入射するように設ける)で、
光源2のレンズ3を通過した光束が入射し、射出するよ
うにカットする(図1参照)。さらに、三角柱プリズム
側面に当たる2面γ,δには反射増加膜1a,1bを蒸着
等の手段を用いて配置することで、プリズム内の光束を
外に射出させないように形成する(図2参照)。
の三角柱プリズム、2は光源、3は光源からの光を光束
化するレンズ(コリーメイトレンズ)、4は光検出器で
ある。この上ヘッドAにおいて、三角柱プリズム1はそ
の両端α,βを、シート面に対して所定の角度(例えば
ブリュースタ角でシートに入射するように設ける)で、
光源2のレンズ3を通過した光束が入射し、射出するよ
うにカットする(図1参照)。さらに、三角柱プリズム
側面に当たる2面γ,δには反射増加膜1a,1bを蒸着
等の手段を用いて配置することで、プリズム内の光束を
外に射出させないように形成する(図2参照)。
【0015】下ヘッドBにおいて、6は反射光学系(裏
面反射鏡)5の裏面には反射膜であり、オンライン測定
中に発生する汚れを除去する際しては反射面が傷付けら
れないように構成されている。
面反射鏡)5の裏面には反射膜であり、オンライン測定
中に発生する汚れを除去する際しては反射面が傷付けら
れないように構成されている。
【0016】このような構成において、光源2のレンズ
3を通過した光束は、三角柱プリズム1の一方の端面α
を光の入射面としてその内部に入射する。三角柱プリズ
ム1はこの入射した光をシートSに向けて、ある入射角
θで射出する。シートSを通過した光は下ヘッドBの裏
面反射鏡6で反射された後に再度シートSに入射する。
シートSを透過した光は、上ヘッドの三角柱プリズム1
下面からその内部に入射する。三角柱プリズムにあって
は、その入射した光を側面γ,δの反射増加膜1a,1b
で反射させた後に再度シートSに向けて射出するという
1測定光路を形成する。
3を通過した光束は、三角柱プリズム1の一方の端面α
を光の入射面としてその内部に入射する。三角柱プリズ
ム1はこの入射した光をシートSに向けて、ある入射角
θで射出する。シートSを通過した光は下ヘッドBの裏
面反射鏡6で反射された後に再度シートSに入射する。
シートSを透過した光は、上ヘッドの三角柱プリズム1
下面からその内部に入射する。三角柱プリズムにあって
は、その入射した光を側面γ,δの反射増加膜1a,1b
で反射させた後に再度シートSに向けて射出するという
1測定光路を形成する。
【0017】以下このような三角柱プリズムを中心とし
て形成される測定光路が複数形成された(このような経
過を数度繰り返される)後、三角柱プリズム1の他方の
端面βから射出された光は光検出器4で検出される。
て形成される測定光路が複数形成された(このような経
過を数度繰り返される)後、三角柱プリズム1の他方の
端面βから射出された光は光検出器4で検出される。
【0018】このように、所定の光路中を特定波長が通
過することでシートの膜厚に応じた吸収を受けることか
らシートの厚さ測定ができる。
過することでシートの膜厚に応じた吸収を受けることか
らシートの厚さ測定ができる。
【0019】なお、図1で三角柱プリズム1と裏面反射
鏡6の位置がX方向にズレても光路の変動はない。ま
た、Y方向のズレに対ても図2に示す様に、三角柱プリ
ズム側面γ,δの反射増幅膜1a,1bにより反射され再
度シートSに反射されるため光量の変動はない。また、
Z軸方向の変動に対ても、測長光路が長光路と三角柱プ
リズム1の端面βが広くとれるため殆ど影響を受けるこ
とがない。更に、上下の反射面の平行度が変化しても反
射光がプリズムの底辺の幅内であれば光量の減衰を防止
することができる。
鏡6の位置がX方向にズレても光路の変動はない。ま
た、Y方向のズレに対ても図2に示す様に、三角柱プリ
ズム側面γ,δの反射増幅膜1a,1bにより反射され再
度シートSに反射されるため光量の変動はない。また、
Z軸方向の変動に対ても、測長光路が長光路と三角柱プ
リズム1の端面βが広くとれるため殆ど影響を受けるこ
とがない。更に、上下の反射面の平行度が変化しても反
射光がプリズムの底辺の幅内であれば光量の減衰を防止
することができる。
【0020】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように光学系に
三角柱プリズムと裏面反射鏡とを用いて構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。
三角柱プリズムと裏面反射鏡とを用いて構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。
【0021】
【0022】(イ) オンライン測定中にX,Y,Z方
向のズレ及び上下の反射面の平行度が変化してもこれら
を吸収することができるので、膜厚測定上安定した精度
のよい測定ができる。また、シートを光が複数回透過す
るため、シート内の光路長が長くなり、干渉がなくな
る。
向のズレ及び上下の反射面の平行度が変化してもこれら
を吸収することができるので、膜厚測定上安定した精度
のよい測定ができる。また、シートを光が複数回透過す
るため、シート内の光路長が長くなり、干渉がなくな
る。
【0023】
【0024】
【図1】本考案の具体的な実施例を示す正面図である。
【図2】図1の側面図である。
S シート A 上ヘツド B 下ヘッド 1 三角柱プリズム 2 光源 3 光源からの光を光束化するレンズ(コリーメイトレ
ンズ) 4 光検出器 6 反射膜
ンズ) 4 光検出器 6 反射膜
Claims (1)
- 【請求項1】シート状物質を上ヘッドと下ヘッドとの間
に位置させてシート状物質全幅に渡ってスキャンさせて
前記シート状物質の特性を測定する装置において、前記上ヘッド(若しくは下ヘッド)に前記シート状物質
の移動方向に対して長手方向が平行となる様に配置され
両端の頂部から底部に向かって所定の角度を有する様に
形成された三角柱プリズムと、前記下ヘッド(若しくは
上ヘッド)に前記三角柱プリズムに対向して配置された
所定の長さを有する反射鏡からなり、 前記三角柱プリズムの両端と底部を除く面に反射膜を形
成すると共に前記三角柱プリズムの一端から光を照射
し、前記反射鏡との間で複数回反射して前記三角柱プリ
ズムの他端から出射した光を 光検出器で検出するように
したことを特徴とするシート状物質オンライン測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992001934U JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992001934U JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0559217U JPH0559217U (ja) | 1993-08-06 |
JP2550872Y2 true JP2550872Y2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=11515441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992001934U Expired - Lifetime JP2550872Y2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シート状物質オンライン測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2550872Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53130061A (en) * | 1977-04-19 | 1978-11-13 | Naado Kenkiyuushiyo Kk | Measuring method of film thickness in emulsion layer |
JPS58206904A (ja) * | 1982-05-01 | 1983-12-02 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | シ−ト状物体の厚さ測定装置 |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP1992001934U patent/JP2550872Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0559217U (ja) | 1993-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4254337A (en) | Infrared interference type film thickness measuring method and instrument therefor | |
JPH0363001B2 (ja) | ||
JPS62239120A (ja) | テレセントリツク光線を発生する方法及び装置 | |
JP2550872Y2 (ja) | シート状物質オンライン測定装置 | |
JPS6177388A (ja) | 半導体レ−ザの共振端面反射率測定装置 | |
DE69214340D1 (de) | Elektrooptisches Messgerät | |
US5160981A (en) | Method of measuring the reflection density of an image | |
US5044754A (en) | Apparatus and method for use in determining the optical transmission factor or density of a translucent element | |
JP2685591B2 (ja) | 磁気ヘツドスライダの浮上量測定装置 | |
JPH07113547B2 (ja) | 試料面位置測定装置 | |
JP2530749B2 (ja) | 光ビ―ムプロファイル測定方法 | |
JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
JPH06281418A (ja) | 凹凸を有する板状透明体の光学的厚さ測定方法 | |
JPS5960203A (ja) | 膜厚変化測定装置 | |
RU1789851C (ru) | Устройство дл контрол толщины плоских объектов | |
JPS626482Y2 (ja) | ||
JPH0545137B2 (ja) | ||
JPH06109635A (ja) | 光学的測定装置 | |
JPS60211304A (ja) | 平行度測定装置 | |
SU808835A1 (ru) | Интерференционный датчик измерени углОВ пОВОРОТА Об'ЕКТА | |
JPS62272133A (ja) | ホログラム試験装置 | |
JPS57153206A (en) | Light interference measuring device | |
JPH07103726A (ja) | スペーシング測定装置 | |
JPH06283400A (ja) | 間隙計測装置 | |
JPH0569165B2 (ja) |