JP2525243Y2 - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JP2525243Y2 JP2525243Y2 JP6264391U JP6264391U JP2525243Y2 JP 2525243 Y2 JP2525243 Y2 JP 2525243Y2 JP 6264391 U JP6264391 U JP 6264391U JP 6264391 U JP6264391 U JP 6264391U JP 2525243 Y2 JP2525243 Y2 JP 2525243Y2
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
面形状等を干渉縞によって測定する干渉計に関するもの
である。
図5に示すような構成のものが知られている。この干渉
計は、直線偏光のレーザ光を出射するHe−Neレーザ
等の光源100と、集光レンズ101及びスペイシャル
・フィルター102透過後のレーザ光を分割する偏光ビ
ームスプリッタ103と、この偏光ビームスプリッタ1
03を透過後の直線偏光を有するレーザ光を平行光とす
るコリメートレンズ104と、このコリメートレンズ透
過後の平行光を直線偏光から円偏光に変えるλ/4板1
05と、このλ/4板105透過後のレーザ光のうち被
検物106の測定面106aで反射する反射光との間で
干渉をおこさせるために下面107aが凹凸のない鏡面
加工された基準板107とを備えている。そして、偏光
ビームスプリッタ103の直上に例えばTVカメラ10
8を配置し、形成される干渉縞を撮像すると共にモニタ
用TV受像機109の画面上に干渉縞を再生・表示させ
るようになっている。
構成の干渉計にあっては、光源から出射さた直線偏光の
レーザ光をλ/4板によって円偏光としているので、例
えば被検物が複屈折性を示す物質の場合には、透過波面
歪みや裏表両面の平行度の正確な測定ができない。複屈
折性を示す方解石等の結晶から成る被検物を測定する場
合等には、直線偏光を有するレーザ光が出射する干渉計
を用いその偏光方向を光学軸と一致させる必要がある。
そこで、このような場合には、例えば被検物を回転させ
て偏光方向を結晶の光学軸と一致させる等の措置が取ら
れるが、被検物の両端面が平行でない場合には、ステー
ジに搭載の被検物端面の傾き具合を調整するのと同時に
被検物を回転させて光学軸を調整しなければならず、測
定作業には多大の困難を伴っていた。そこで、この考案
は、上記した従来の欠点に鑑み、被検物の光学軸と光源
からの光の偏光方向とを極めて容易に調整することがで
き、しかも明瞭に干渉縞を形成することができる干渉計
を提供することを目的とするものである。
は、コヒーレントな光を出射する光源と、この光源から
出射された光束を透過光と反射光とに分割する偏向手段
と、この偏向手段で反射された前記光束を平行光とする
平行光形成手段と、この平行光形成手段を透過した平行
光の偏光面を回転し、その偏光面と被検物の光学軸の方
位とを一致させるために回転可能に設けたλ/2板と、
基準面を有する基準板とを備え、この基準面で反射され
た光と被検物の測定面で反射された光との干渉により干
渉縞を形成するように構成したものである。
機構によってそのλ/2板を回転させると、このλ/2
板の回転に伴ってこのλ/2板透過後の光の偏光面が回
転するようになっており、被検物の光学軸が光源からの
光の偏光方向と一致するまでλ/2板を回転させること
により、簡単に光学軸との方位調整を行うことができ
る。
照しながら説明する。図1はこの考案に係る第1実施例
の干渉計を示すものであり、この干渉計は、光源1と、
偏向手段2と、平行光形成手段3と、λ/2板4と、回
転機構5(図2参照)と、基準板6と、ステージ7とか
ら構成されており、TVカメラ8を介してモニタ9によ
って観測するようになっている。なお、図中符号10は
測定しようとする被検物、11は集光レンズ、12はス
ペイシャル・フィルター、13は結像レンズを示すもの
である。光源1は、波長633nmのコヒーレント光を
出射するHe−Neレーザが使用されている。このHe
−Neレーザは、図1に示すような一定方向(この実施
例ではZ方向)の偏光面を有する、即ち直線偏光のビー
ム光を出射させているが、円偏光や楕円偏光の光を出射
するレーザを使用する場合には、所定の光学素子により
直線偏光に偏光状態をかえれば良い。偏向手段2は、光
源1から出射される直線偏光のレーザ光のうち透過光と
反射光とに分割させるようになっており、そのうちの反
射光を反射前の偏光方向(Z方向)から90度偏向され
たX方向の偏光面を有する直線偏光状態として被検物1
0に向けて進行させるように構成されている。平行光形
成手段3は、集光レンズ11によってビーム状に拡散し
ていくレーザ光を平行光状態の光束とするものであり、
コリメートレンズが使用されている。
面を回転させるものであり、即ち軸方位に対してψの方
向で振動する直線偏光の光束がこれに入射すると、−ψ
の方向で振動する直線偏光が出射するようになってい
る。そして、このλ/2板4には図2に示す回転機構5
が備えられている。即ち、このλ/2板4は、回転機構
5によって任意の方向に回転することによりこのλ/2
板の主軸が回転し、これに伴って入射する直線偏光の偏
光面も自由に回転させることができるようになってい
る。回転機構5は、λ/2板4を360度自由に回転さ
せることができるように構成されており、これによって
被検物10として複屈折性を有する場合であってもこれ
に入射する光束の偏光面をその光学軸と一致させて正確
な測定を行うことができるようになっている。この実施
例の回転機構5は、脚部を備えた基台5aと、この基台
5aに対して回転自在の回転体5bとからなり、この回
転体5bにλ/2板4が取付けられている。そして、こ
のλ/2板4を回転させるには、回転体5bの周囲に設
けた操作部5cを指で操作して回動すればよい。なお、
この回転機構は特にこれに限定されるものではなく、各
種のものが可能である。基準板6は、測定すべき被検物
10の測定面で反射して戻る光αとの間で干渉作用をお
こすためこれと干渉する光βを発生させるものであり、
下面にはそこで反射させて光βを発生させるため凹凸を
極力抑え鏡面加工を施した基準面5aが形成されてい
る。なお、この考案の干渉計において、この基準板は例
えば被検物の両面の平行度を測定するような場合には特
に必要とするものではない。ステージ7は、測定すべき
被検物10の平面が、入射するレーザ光の光路に対して
垂直状態となるように被検物10の姿勢を変更・調整す
るものであり、基台7aに対して自在に傾斜させること
ができる載置台7bを備えており、この載置台7b上に
被検物10を搭載させるようになっている。
例えば被検物10の上面10aを測定面として平面状態
を測定する場合には特に問題はないが、例えば下面10
bの平面度を測定する場合には、まずその下面10bを
この被検物10に入射するレーザ光の光路に対して垂直
となるよう、ステージ7を調整して被検物10の姿勢を
直す。次に光源1から直線偏光を出射するレーザ光の偏
光面が被検物10の光学軸と一致するよう回転機構5を
操作してλ/2板4を適宜回転する。これにより、レー
ザ光の偏光面が被検物10の光学軸に一致したところ
で、回転操作を停止すると、モニタ9に被検物10の下
面10bの凹凸の有無、さらに被検物10内の屈折率の
むら等が干渉縞から正確に確認できる。
図3を参照しながら説明する。なお、この実施例におい
て先の実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明
を避ける。この第2実施例の干渉計は、光源1と、偏向
手段2と、平行束形成手段3と、λ/2板4と、回転機
構14と、基準板6と、ステージ7と、ミラー15とか
ら構成されており、TVカメラ8を介してモニタ9で観
測できるようになっている。回転機構14は、λ/2板
4を360度自由に回転させることができるように構成
されており、この実施例では図4に示すような基台14
a上に立設されλ/2板4を取付けた枠体14bを回転
自在に支持する支持体14cと、この支持体14cの支
持部14dに取付けたつまみ14eとを備えている。そ
して、このつまみ14を回転操作すると、このつまみ1
4eに取付けた歯車14fがこれと噛合する枠体14b
に取付けたギア14gを回転し、これによってλ/2板
4及びこのλ/2板4を透過するレーザ光の偏光面が回
転するようになっている。
例えば屈折率の均一性等について測定するような場合、
即ち透過波面の測定を行うような場合、図3に示すよう
に被検物10内を往復都合2度透過後の波面γを基準体
6の基準面6aで反射する波面δとを干渉させるための
ものであり、このため表面15aは凹凸のない鏡面加工
が施されている。従って、この第2実施例によれば、λ
/2板4に入射するレーザ光の偏光面を回転機構14に
よって回転し、被検物10の光学軸と一致させることに
より、その被検物10内の物性変化等について正確な測
定を行うことができる。
係る干渉計によれば、例えば特定方向に光学軸を有する
複屈折性の被検物を測定する場合には、まず被検物を適
正姿勢にセットして傾き調整を行っておき、その後に回
転機構を操作してλ/2板を透過後の光の偏光方向を被
検物の光学軸に一致させることができるので、複屈折性
を有する被検物についても厄介な調整作業を必要とせず
に正確な測定が行える効果がある。
図である。
視図である。
図である。
視図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 コヒーレントな光を出射する光源と、 この光源から出射された光束を透過光と反射光とに分割
する偏向手段と、 この偏向手段で反射された前記光束を平行光とする平行
光形成手段と、 この平行光形成手段を透過した平行光の偏光面を回転
し、その偏光面と被検物の光学軸の方位とを一致させる
ために回転可能に設けたλ/2板と、 基準面を有する基準板とを備え、この基準面で反射され
た光と被検物の測定面で反射された光との干渉により干
渉縞を形成するように構成したことを特徴とする干渉
計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6264391U JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6264391U JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH058413U JPH058413U (ja) | 1993-02-05 |
JP2525243Y2 true JP2525243Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=13206219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6264391U Expired - Lifetime JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2525243Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5179859A (en) * | 1974-12-31 | 1976-07-12 | Kojima Seisakusho Kk | Danmenteebaajoni keiseishita heishikukanniatsuoshimitsupeisayoookonaukanjono ireshiojusuruatsuryokuyokadoseikinchakushimepatsukin |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP6264391U patent/JP2525243Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH058413U (ja) | 1993-02-05 |
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