JP2525243Y2 - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JP2525243Y2 JP2525243Y2 JP6264391U JP6264391U JP2525243Y2 JP 2525243 Y2 JP2525243 Y2 JP 2525243Y2 JP 6264391 U JP6264391 U JP 6264391U JP 6264391 U JP6264391 U JP 6264391U JP 2525243 Y2 JP2525243 Y2 JP 2525243Y2
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- Japan
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- plate
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、測定すべき被検物の
面形状等を干渉縞によって測定する干渉計に関するもの
である。
面形状等を干渉縞によって測定する干渉計に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】被検物の面形状を測定する干渉計として
図５に示すような構成のものが知られている。この干渉
計は、直線偏光のレーザ光を出射するＨｅ−Ｎｅレーザ
等の光源１００と、集光レンズ１０１及びスペイシャル
・フィルター１０２透過後のレーザ光を分割する偏光ビ
ームスプリッタ１０３と、この偏光ビームスプリッタ１
０３を透過後の直線偏光を有するレーザ光を平行光とす
るコリメートレンズ１０４と、このコリメートレンズ透
過後の平行光を直線偏光から円偏光に変えるλ／４板１
０５と、このλ／４板１０５透過後のレーザ光のうち被
検物１０６の測定面１０６ａで反射する反射光との間で
干渉をおこさせるために下面１０７ａが凹凸のない鏡面
加工された基準板１０７とを備えている。そして、偏光
ビームスプリッタ１０３の直上に例えばＴＶカメラ１０
８を配置し、形成される干渉縞を撮像すると共にモニタ
用ＴＶ受像機１０９の画面上に干渉縞を再生・表示させ
るようになっている。
図５に示すような構成のものが知られている。この干渉
計は、直線偏光のレーザ光を出射するＨｅ−Ｎｅレーザ
等の光源１００と、集光レンズ１０１及びスペイシャル
・フィルター１０２透過後のレーザ光を分割する偏光ビ
ームスプリッタ１０３と、この偏光ビームスプリッタ１
０３を透過後の直線偏光を有するレーザ光を平行光とす
るコリメートレンズ１０４と、このコリメートレンズ透
過後の平行光を直線偏光から円偏光に変えるλ／４板１
０５と、このλ／４板１０５透過後のレーザ光のうち被
検物１０６の測定面１０６ａで反射する反射光との間で
干渉をおこさせるために下面１０７ａが凹凸のない鏡面
加工された基準板１０７とを備えている。そして、偏光
ビームスプリッタ１０３の直上に例えばＴＶカメラ１０
８を配置し、形成される干渉縞を撮像すると共にモニタ
用ＴＶ受像機１０９の画面上に干渉縞を再生・表示させ
るようになっている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、このような
構成の干渉計にあっては、光源から出射さた直線偏光の
レーザ光をλ／４板によって円偏光としているので、例
えば被検物が複屈折性を示す物質の場合には、透過波面
歪みや裏表両面の平行度の正確な測定ができない。複屈
折性を示す方解石等の結晶から成る被検物を測定する場
合等には、直線偏光を有するレーザ光が出射する干渉計
を用いその偏光方向を光学軸と一致させる必要がある。
そこで、このような場合には、例えば被検物を回転させ
て偏光方向を結晶の光学軸と一致させる等の措置が取ら
れるが、被検物の両端面が平行でない場合には、ステー
ジに搭載の被検物端面の傾き具合を調整するのと同時に
被検物を回転させて光学軸を調整しなければならず、測
定作業には多大の困難を伴っていた。そこで、この考案
は、上記した従来の欠点に鑑み、被検物の光学軸と光源
からの光の偏光方向とを極めて容易に調整することがで
き、しかも明瞭に干渉縞を形成することができる干渉計
を提供することを目的とするものである。
構成の干渉計にあっては、光源から出射さた直線偏光の
レーザ光をλ／４板によって円偏光としているので、例
えば被検物が複屈折性を示す物質の場合には、透過波面
歪みや裏表両面の平行度の正確な測定ができない。複屈
折性を示す方解石等の結晶から成る被検物を測定する場
合等には、直線偏光を有するレーザ光が出射する干渉計
を用いその偏光方向を光学軸と一致させる必要がある。
そこで、このような場合には、例えば被検物を回転させ
て偏光方向を結晶の光学軸と一致させる等の措置が取ら
れるが、被検物の両端面が平行でない場合には、ステー
ジに搭載の被検物端面の傾き具合を調整するのと同時に
被検物を回転させて光学軸を調整しなければならず、測
定作業には多大の困難を伴っていた。そこで、この考案
は、上記した従来の欠点に鑑み、被検物の光学軸と光源
からの光の偏光方向とを極めて容易に調整することがで
き、しかも明瞭に干渉縞を形成することができる干渉計
を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】即ち、この考案の干渉計
は、コヒーレントな光を出射する光源と、この光源から
出射された光束を透過光と反射光とに分割する偏向手段
と、この偏向手段で反射された前記光束を平行光とする
平行光形成手段と、この平行光形成手段を透過した平行
光の偏光面を回転し、その偏光面と被検物の光学軸の方
位とを一致させるために回転可能に設けたλ／２板と、
基準面を有する基準板とを備え、この基準面で反射され
た光と被検物の測定面で反射された光との干渉により干
渉縞を形成するように構成したものである。
は、コヒーレントな光を出射する光源と、この光源から
出射された光束を透過光と反射光とに分割する偏向手段
と、この偏向手段で反射された前記光束を平行光とする
平行光形成手段と、この平行光形成手段を透過した平行
光の偏光面を回転し、その偏光面と被検物の光学軸の方
位とを一致させるために回転可能に設けたλ／２板と、
基準面を有する基準板とを備え、この基準面で反射され
た光と被検物の測定面で反射された光との干渉により干
渉縞を形成するように構成したものである。
【０００５】
【作用】この考案の干渉計は、λ／２板に取付けた回転
機構によってそのλ／２板を回転させると、このλ／２
板の回転に伴ってこのλ／２板透過後の光の偏光面が回
転するようになっており、被検物の光学軸が光源からの
光の偏光方向と一致するまでλ／２板を回転させること
により、簡単に光学軸との方位調整を行うことができ
る。
機構によってそのλ／２板を回転させると、このλ／２
板の回転に伴ってこのλ／２板透過後の光の偏光面が回
転するようになっており、被検物の光学軸が光源からの
光の偏光方向と一致するまでλ／２板を回転させること
により、簡単に光学軸との方位調整を行うことができ
る。
【０００６】
【実施例】以下この考案の実施例について添付図面を参
照しながら説明する。図１はこの考案に係る第１実施例
の干渉計を示すものであり、この干渉計は、光源１と、
偏向手段２と、平行光形成手段３と、λ／２板４と、回
転機構５（図２参照）と、基準板６と、ステージ７とか
ら構成されており、ＴＶカメラ８を介してモニタ９によ
って観測するようになっている。なお、図中符号１０は
測定しようとする被検物、１１は集光レンズ、１２はス
ペイシャル・フィルター、１３は結像レンズを示すもの
である。光源１は、波長６３３ｎｍのコヒーレント光を
出射するＨｅ−Ｎｅレーザが使用されている。このＨｅ
−Ｎｅレーザは、図１に示すような一定方向（この実施
例ではＺ方向）の偏光面を有する、即ち直線偏光のビー
ム光を出射させているが、円偏光や楕円偏光の光を出射
するレーザを使用する場合には、所定の光学素子により
直線偏光に偏光状態をかえれば良い。偏向手段２は、光
源１から出射される直線偏光のレーザ光のうち透過光と
反射光とに分割させるようになっており、そのうちの反
射光を反射前の偏光方向（Ｚ方向）から９０度偏向され
たＸ方向の偏光面を有する直線偏光状態として被検物１
０に向けて進行させるように構成されている。平行光形
成手段３は、集光レンズ１１によってビーム状に拡散し
ていくレーザ光を平行光状態の光束とするものであり、
コリメートレンズが使用されている。
照しながら説明する。図１はこの考案に係る第１実施例
の干渉計を示すものであり、この干渉計は、光源１と、
偏向手段２と、平行光形成手段３と、λ／２板４と、回
転機構５（図２参照）と、基準板６と、ステージ７とか
ら構成されており、ＴＶカメラ８を介してモニタ９によ
って観測するようになっている。なお、図中符号１０は
測定しようとする被検物、１１は集光レンズ、１２はス
ペイシャル・フィルター、１３は結像レンズを示すもの
である。光源１は、波長６３３ｎｍのコヒーレント光を
出射するＨｅ−Ｎｅレーザが使用されている。このＨｅ
−Ｎｅレーザは、図１に示すような一定方向（この実施
例ではＺ方向）の偏光面を有する、即ち直線偏光のビー
ム光を出射させているが、円偏光や楕円偏光の光を出射
するレーザを使用する場合には、所定の光学素子により
直線偏光に偏光状態をかえれば良い。偏向手段２は、光
源１から出射される直線偏光のレーザ光のうち透過光と
反射光とに分割させるようになっており、そのうちの反
射光を反射前の偏光方向（Ｚ方向）から９０度偏向され
たＸ方向の偏光面を有する直線偏光状態として被検物１
０に向けて進行させるように構成されている。平行光形
成手段３は、集光レンズ１１によってビーム状に拡散し
ていくレーザ光を平行光状態の光束とするものであり、
コリメートレンズが使用されている。
【０００７】λ／２板４は、直線偏光状態の光束の偏光
面を回転させるものであり、即ち軸方位に対してψの方
向で振動する直線偏光の光束がこれに入射すると、−ψ
の方向で振動する直線偏光が出射するようになってい
る。そして、このλ／２板４には図２に示す回転機構５
が備えられている。即ち、このλ／２板４は、回転機構
５によって任意の方向に回転することによりこのλ／２
板の主軸が回転し、これに伴って入射する直線偏光の偏
光面も自由に回転させることができるようになってい
る。回転機構５は、λ／２板４を３６０度自由に回転さ
せることができるように構成されており、これによって
被検物１０として複屈折性を有する場合であってもこれ
に入射する光束の偏光面をその光学軸と一致させて正確
な測定を行うことができるようになっている。この実施
例の回転機構５は、脚部を備えた基台５ａと、この基台
５ａに対して回転自在の回転体５ｂとからなり、この回
転体５ｂにλ／２板４が取付けられている。そして、こ
のλ／２板４を回転させるには、回転体５ｂの周囲に設
けた操作部５ｃを指で操作して回動すればよい。なお、
この回転機構は特にこれに限定されるものではなく、各
種のものが可能である。基準板６は、測定すべき被検物
１０の測定面で反射して戻る光αとの間で干渉作用をお
こすためこれと干渉する光βを発生させるものであり、
下面にはそこで反射させて光βを発生させるため凹凸を
極力抑え鏡面加工を施した基準面５ａが形成されてい
る。なお、この考案の干渉計において、この基準板は例
えば被検物の両面の平行度を測定するような場合には特
に必要とするものではない。ステージ７は、測定すべき
被検物１０の平面が、入射するレーザ光の光路に対して
垂直状態となるように被検物１０の姿勢を変更・調整す
るものであり、基台７ａに対して自在に傾斜させること
ができる載置台７ｂを備えており、この載置台７ｂ上に
被検物１０を搭載させるようになっている。
面を回転させるものであり、即ち軸方位に対してψの方
向で振動する直線偏光の光束がこれに入射すると、−ψ
の方向で振動する直線偏光が出射するようになってい
る。そして、このλ／２板４には図２に示す回転機構５
が備えられている。即ち、このλ／２板４は、回転機構
５によって任意の方向に回転することによりこのλ／２
板の主軸が回転し、これに伴って入射する直線偏光の偏
光面も自由に回転させることができるようになってい
る。回転機構５は、λ／２板４を３６０度自由に回転さ
せることができるように構成されており、これによって
被検物１０として複屈折性を有する場合であってもこれ
に入射する光束の偏光面をその光学軸と一致させて正確
な測定を行うことができるようになっている。この実施
例の回転機構５は、脚部を備えた基台５ａと、この基台
５ａに対して回転自在の回転体５ｂとからなり、この回
転体５ｂにλ／２板４が取付けられている。そして、こ
のλ／２板４を回転させるには、回転体５ｂの周囲に設
けた操作部５ｃを指で操作して回動すればよい。なお、
この回転機構は特にこれに限定されるものではなく、各
種のものが可能である。基準板６は、測定すべき被検物
１０の測定面で反射して戻る光αとの間で干渉作用をお
こすためこれと干渉する光βを発生させるものであり、
下面にはそこで反射させて光βを発生させるため凹凸を
極力抑え鏡面加工を施した基準面５ａが形成されてい
る。なお、この考案の干渉計において、この基準板は例
えば被検物の両面の平行度を測定するような場合には特
に必要とするものではない。ステージ７は、測定すべき
被検物１０の平面が、入射するレーザ光の光路に対して
垂直状態となるように被検物１０の姿勢を変更・調整す
るものであり、基台７ａに対して自在に傾斜させること
ができる載置台７ｂを備えており、この載置台７ｂ上に
被検物１０を搭載させるようになっている。
【０００８】次にこの実施例の作用について説明する。
例えば被検物１０の上面１０ａを測定面として平面状態
を測定する場合には特に問題はないが、例えば下面１０
ｂの平面度を測定する場合には、まずその下面１０ｂを
この被検物１０に入射するレーザ光の光路に対して垂直
となるよう、ステージ７を調整して被検物１０の姿勢を
直す。次に光源１から直線偏光を出射するレーザ光の偏
光面が被検物１０の光学軸と一致するよう回転機構５を
操作してλ／２板４を適宜回転する。これにより、レー
ザ光の偏光面が被検物１０の光学軸に一致したところ
で、回転操作を停止すると、モニタ９に被検物１０の下
面１０ｂの凹凸の有無、さらに被検物１０内の屈折率の
むら等が干渉縞から正確に確認できる。
例えば被検物１０の上面１０ａを測定面として平面状態
を測定する場合には特に問題はないが、例えば下面１０
ｂの平面度を測定する場合には、まずその下面１０ｂを
この被検物１０に入射するレーザ光の光路に対して垂直
となるよう、ステージ７を調整して被検物１０の姿勢を
直す。次に光源１から直線偏光を出射するレーザ光の偏
光面が被検物１０の光学軸と一致するよう回転機構５を
操作してλ／２板４を適宜回転する。これにより、レー
ザ光の偏光面が被検物１０の光学軸に一致したところ
で、回転操作を停止すると、モニタ９に被検物１０の下
面１０ｂの凹凸の有無、さらに被検物１０内の屈折率の
むら等が干渉縞から正確に確認できる。
【０００９】次に、この考案に係る第２実施例について
図３を参照しながら説明する。なお、この実施例におい
て先の実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明
を避ける。この第２実施例の干渉計は、光源１と、偏向
手段２と、平行束形成手段３と、λ／２板４と、回転機
構１４と、基準板６と、ステージ７と、ミラー１５とか
ら構成されており、ＴＶカメラ８を介してモニタ９で観
測できるようになっている。回転機構１４は、λ／２板
４を３６０度自由に回転させることができるように構成
されており、この実施例では図４に示すような基台１４
ａ上に立設されλ／２板４を取付けた枠体１４ｂを回転
自在に支持する支持体１４ｃと、この支持体１４ｃの支
持部１４ｄに取付けたつまみ１４ｅとを備えている。そ
して、このつまみ１４を回転操作すると、このつまみ１
４ｅに取付けた歯車１４ｆがこれと噛合する枠体１４ｂ
に取付けたギア１４ｇを回転し、これによってλ／２板
４及びこのλ／２板４を透過するレーザ光の偏光面が回
転するようになっている。
図３を参照しながら説明する。なお、この実施例におい
て先の実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明
を避ける。この第２実施例の干渉計は、光源１と、偏向
手段２と、平行束形成手段３と、λ／２板４と、回転機
構１４と、基準板６と、ステージ７と、ミラー１５とか
ら構成されており、ＴＶカメラ８を介してモニタ９で観
測できるようになっている。回転機構１４は、λ／２板
４を３６０度自由に回転させることができるように構成
されており、この実施例では図４に示すような基台１４
ａ上に立設されλ／２板４を取付けた枠体１４ｂを回転
自在に支持する支持体１４ｃと、この支持体１４ｃの支
持部１４ｄに取付けたつまみ１４ｅとを備えている。そ
して、このつまみ１４を回転操作すると、このつまみ１
４ｅに取付けた歯車１４ｆがこれと噛合する枠体１４ｂ
に取付けたギア１４ｇを回転し、これによってλ／２板
４及びこのλ／２板４を透過するレーザ光の偏光面が回
転するようになっている。
【００１０】ミラー１５は、被検物１０内の物性変化、
例えば屈折率の均一性等について測定するような場合、
即ち透過波面の測定を行うような場合、図３に示すよう
に被検物１０内を往復都合２度透過後の波面γを基準体
６の基準面６ａで反射する波面δとを干渉させるための
ものであり、このため表面１５ａは凹凸のない鏡面加工
が施されている。従って、この第２実施例によれば、λ
／２板４に入射するレーザ光の偏光面を回転機構１４に
よって回転し、被検物１０の光学軸と一致させることに
より、その被検物１０内の物性変化等について正確な測
定を行うことができる。
例えば屈折率の均一性等について測定するような場合、
即ち透過波面の測定を行うような場合、図３に示すよう
に被検物１０内を往復都合２度透過後の波面γを基準体
６の基準面６ａで反射する波面δとを干渉させるための
ものであり、このため表面１５ａは凹凸のない鏡面加工
が施されている。従って、この第２実施例によれば、λ
／２板４に入射するレーザ光の偏光面を回転機構１４に
よって回転し、被検物１０の光学軸と一致させることに
より、その被検物１０内の物性変化等について正確な測
定を行うことができる。
【００１１】
【考案の効果】以上説明てしてきたように、この考案に
係る干渉計によれば、例えば特定方向に光学軸を有する
複屈折性の被検物を測定する場合には、まず被検物を適
正姿勢にセットして傾き調整を行っておき、その後に回
転機構を操作してλ／２板を透過後の光の偏光方向を被
検物の光学軸に一致させることができるので、複屈折性
を有する被検物についても厄介な調整作業を必要とせず
に正確な測定が行える効果がある。
係る干渉計によれば、例えば特定方向に光学軸を有する
複屈折性の被検物を測定する場合には、まず被検物を適
正姿勢にセットして傾き調整を行っておき、その後に回
転機構を操作してλ／２板を透過後の光の偏光方向を被
検物の光学軸に一致させることができるので、複屈折性
を有する被検物についても厄介な調整作業を必要とせず
に正確な測定が行える効果がある。
【図１】この考案に係る第１実施例の干渉計を示す構成
図である。
図である。
【図２】この考案に係る第１実施例の回転機構を示す斜
視図である。
視図である。
【図３】この考案に係る第２実施例の干渉計を示す構成
図である。
図である。
【図４】この考案に係る第２実施例の回転機構を示す斜
視図である。
視図である。
【図５】従来の干渉計を示す構成図である。
１ 光源 ２ 偏向手段 ３ 平行束形成手段 ４ λ／２板 ５，１４ 回転機構 ６ 基準板 ７ ステージ １０ 被検物
Claims (1)
- 【請求項１】 コヒーレントな光を出射する光源と、 この光源から出射された光束を透過光と反射光とに分割
する偏向手段と、 この偏向手段で反射された前記光束を平行光とする平行
光形成手段と、 この平行光形成手段を透過した平行光の偏光面を回転
し、その偏光面と被検物の光学軸の方位とを一致させる
ために回転可能に設けたλ／２板と、 基準面を有する基準板とを備え、この基準面で反射され
た光と被検物の測定面で反射された光との干渉により干
渉縞を形成するように構成したことを特徴とする干渉
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6264391U JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6264391U JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH058413U JPH058413U (ja) | 1993-02-05 |
| JP2525243Y2 true JP2525243Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=13206219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6264391U Expired - Lifetime JP2525243Y2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2525243Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5179859A (en) * | 1974-12-31 | 1976-07-12 | Kojima Seisakusho Kk | Danmenteebaajoni keiseishita heishikukanniatsuoshimitsupeisayoookonaukanjono ireshiojusuruatsuryokuyokadoseikinchakushimepatsukin |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP6264391U patent/JP2525243Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058413U (ja) | 1993-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323532 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
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| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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