JP3670821B2 - 屈折率分布の測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子、液体、又は気体などの位相物体の測定装置に関するもので、特に、干渉縞の解析により位相物体における屈折率分布の測定ができるものに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、レーザプリンタやカメラなどの光学機器に使用される光学レンズの材料としてプラスチックを用いることが多くなっている。プラスチック成形レンズはガラス研磨レンズに比較して、コスト低減や非球面レンズの製作性に優れ、安価であるというメリットがある。
【0003】
しかし、その反面、ガラスレンズに比べ製造上、屈折率分布が不安定でレンズの内部に不均一性を生じることがある。レンズ内部に不均一性があると、光学特性に大きな影響を及ぼし、画質の劣化やボケといった原因につながる。従って、レンズ内部の屈折率分布を3次元的に高精度に測定し、光学レンズの均質性を評価する必要がある。
【0004】
光学レンズの屈折率を測定する方法としては、精密示差屈折計などを使用してVブロック法等により屈折角を計測して屈折率を求める方法や、トワイマン・グリーン干渉計などの干渉計を使用して干渉縞より屈折率を測定する方法などがあり、また、光学的均質性の測定方法として、フィゾー干渉計、マハツェンダ干渉計などの干渉計を使用して干渉縞像の解析より透過波面を計測し、屈折率分布から光学的均質性を求める方法が知られている。
【0005】
しかしながら、上記のいずれの方法においても、被検物は、所定形状に加工する必要があり、測定対象の光学素子を破壊しなければならない。また、透過波面より求められる屈折率分布は、光路進行方向に積算された平均値となり、3次元空間的な屈折率分布を測定し、屈折率の不均一部分を3次元空間的に特定することができない。
【0006】
そこで、本願の発明者は、被検物を屈折率がほぼ同じ試液中に浸した状態で光軸と直交する軸を中心に回転させ、複数の回転角の位置の各々で干渉縞の解析を行い、これらの干渉縞から透過波面量を算出し、これを1次フーリエ変換し、さらに、2次元逆フーリエ変換を行って3次元的な屈折率の分布を求める方法を開発した。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記の技術による屈折率分布の測定方法及び装置によれば、試液との屈折率差がわずかでも、高精度で計測が可能であるという利点を有している。
しかしながら、屈折率差が大きい場合など、透過波面量が大きい位相物体を計測する場合は干渉縞の本数が多くなり、検出器の分解能を越えてしまうことがある。
そこで、上記発明者は、屈折率差が大きい場合は、シェアリング干渉計を用い、縞の間隔を拡げて測定することも開発した。
【0008】
しかしながら、屈折率差が小さい場合は、マハツェンダ干渉計等の通常の干渉計を使用し、屈折率差が大きい場合は、シェアリング干渉計を使用することとすると、測定装置に2つの干渉計を設けなければならず、ビームスプリッタ等の光学素子数が増加して装置が高価になってしまう。
本発明は、このような事実から考えられたもので、屈折率差が小さい場合でも、大きい場合でも計測が可能で、しかも、光学素子の数を減少させることができる屈折率測定装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明の測定装置は、光源からの可干渉光を参照波と被検物を透過する被検波とに分割し、両波を重ねて干渉させる第1干渉計と、上記被検波を二つの光束に分割し、一方の光束の波面を光軸と垂直方向にずらした後重畳してシェアリング干渉による干渉縞を形成する第2干渉計と、を設け、両干渉計を切り替え可能にしていずれかの干渉縞を解析することにより被検物の屈折率分布を測定することを特徴としている。
【0010】
上記第1干渉計と、第2干渉計の光束は、相互に直交する方向の直線偏光であり、これらは共通の偏光子に入射させられる。そして、該偏光子を回転することによって両干渉計の切り替えをする。
【0011】
または、光源と、該光源からの可干渉光を2つに分割する第1の光分割器と、分割された一方の光路内に置かれ被検物を透過した光束を2つに分割する第2の光分割器と、第1の光分割器で分割された他方の光路内に配置された第1のミラーと、該第1のミラーを波長以下のオーダで移動可能な第1の駆動手段と、上記第2の光分割器で分割された一方の光束と上記第1のミラーで反射された光束とを重畳して干渉をさせるための第1の光重畳器と、上記第2の光分割器で分割された他方の光束内にあって2枚の平行な反射面を有する第2のミラーと、該第2のミラーの一方の反射面を波長以下のオーダで移動可能な第2の駆動手段と、を有することを特徴としている。
上記第2のミラーの反射光と、上記第1の光重畳器の射出光とを異なる方向から受光する第2の光重畳器を有することとすることができる。
【0012】
上記第1の光重畳器と第2の光重畳器との間に第1の偏光子を配置し、第2のミラーと第2の光重畳器の間に第2の偏光子を設け、第1と第2の偏光子の偏光方向を直交させ、上記第2の光重畳器から射出される光束内に第3の偏光子を光軸中心に回動自在に設けた構成とすることが望ましい。
【0013】
上記第1の光分割器が偏光ビームスプリッタで、上記第2の光分割器と第1の光重畳器との間に1/2波長板を設けた構成や、被検物が光軸と直交する軸を中心に回転可能に保持されている構成としてもよい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面によって詳細に説明する。
図1は、本発明の屈折率分布測定装置の一実施例を示す図である。同図に示す装置は、第1の干渉計としてのマハツェンダ干渉計と、第2の干渉計としてのシェアリング干渉計の組合せで構成されている。
【0015】
装置全体の構成は、可干渉光としてのレーザ光を射出する光源1と、ビームエキスパンダ3と、ビームエキスパンダからの光束を参照波aと被検波bとに分割する第1の光分割器5と、参照波aの光路内に置かれた第1のミラー7と、被検波bを2つの光束b1,b2に分割する第2の光分割器9と、光束b1と第1のミラー7で反射された光aとを重畳する第1の光重畳器11と、光束b2内に配置され2枚の平行な反射面13a,13bを有する第2のミラー13と、第2の光重畳器15と、第1の偏光子17と、第2の偏光子19と、回転可能な第3の偏光子21と、該第3の偏光子21からの光路内に設けられた結像レンズ23と、この結像レンズ23の結像位置に設けられた干渉縞検出器25とからなる。
被検物Oは、第1の光分割器5と第2の光分割器9との間に配置されている。
【0016】
第1のミラー7には、第1の駆動装置7aが設けられ、第1のミラーの反射面7bを波長以下のオーダで移動でき、参照波aと被検波bとの光路長にnπ/2(nは正の整数)の位相の差ができるようにする。
【0017】
第2のミラー13には第2の駆動手段13cがあり、反射面13bを波長以下のオーダで移動して、13aで反射する光束b21と13bで反射する光束b22とに光軸と直交する方向の微少なずれを形成する。
【0018】
第1の偏光子17と第2の偏光子19とは、共に入射した円偏光を直線偏光にして射出するものであるが、直線偏光の方向が相互に直交するようになっている。また、第3の偏光子21は、光軸を中心に少なくとも90゜の回転が可能なもので、たとえば、ある回転位置で第1の偏光子17からの直線偏光が透過できるとした場合、その位置から90゜回転すると、今度は第2の偏光子19からの直線偏光を透過することができるものである。
【0019】
干渉縞検出器25は、CCDのイメージセンサを使用している。また、被検物Oは第1の光分割器5と第2の光分割器9との間に配置される。被検物Oは、図示しない被検物支持装置によって支持され、光軸と直交する軸を中心に回転自在である。
【0020】
以上の構成から明確なように、本発明の装置は、第1の干渉計としてのマハツェンダ干渉計と、第2の干渉計としてのシェアリング干渉計とが一部の光学素子を共有する形で併存した構成となっている。
【0021】
次に、第1の干渉計による干渉縞の形成について説明する。光源1より出射するレーザ光は、ビームエキスパンダ3によって光束径を拡大され、第1の光分割器5によって直進する参照波aと、直角に屈折する被検波bとに分割される。a:bは、ほぼ1:3なるように分割される。
【0022】
被検波bは、被検物Oとしての位相物体を透過し、第2の光分割器9で光束b1と光束b2とに分割される。b1:b2は、ほぼ1:2となるようにしている。 第1の光分割器5から射出された参照波の光束aは、第1のミラー7で反射され、第1の光重畳器11に達する。一方、第2の光分割器9から射出された光束b1もこの第1の光重畳器11に達する。第1の光重畳器11は、参照波の光束aと被検波の光束b1とを重畳されるが、第1の駆動手段7aで、光束aと光束b1の光路長にはnπ/2の位相の差ができるようにするので、2つの光束は干渉することになる。第1の光重畳器11から出たa+b1の光束は、第1の偏光子17により、図の矢印に示すように紙面に平行な方向の直線偏光成分のみが通過することになる。
【0023】
第1の偏光子17を透過した直線偏光は、偏光ビームスプリッタからなる第2の光重畳器15の反射面を直進し、第3の偏光子21に達する。第3の偏光子21の偏光方向が第1の偏光子17と同じ方向であれば、光束a+b1は第3の偏光子を透過して結像レンズ23により干渉縞検出器25上に干渉縞を結像する。干渉縞検出器15には干渉縞と直交する方向に配置されたリニアCCDやアレイ状のセンサを用いる。
【0024】
次に、第2の干渉計、すなわち、シェアリング干渉計による干渉縞の形成について説明する。
光源1からビームエキスパンダ3を経た光束のうち、第1の光分割器5で反射された光束bは、被検物Oを透過し、第2の光分割器9に達する。そして、この第2の光分割器9を透過した光束b2は、第2のミラー13の2つの反射面13a,13bで反射される。第2のミラー13には第2の駆動手段13cがあり、ピエゾ素子などによる電気−変位変換素子により反射面13bを反射面13aに対して波長以下のオーダで接近・離反させ、反射面13aで反射した光束b21と反射面13bで反射した光束b22とが光軸と直交する方向に微少な距離δだけずれるようにする。そして、光束b21,b22を重畳すると、シェアリング干渉を起こし、第2の光重畳器15を経て干渉縞検出器25上に干渉縞像を結像する。
【0025】
以上の構成により、図1の装置では、第1の干渉計(マハツェンダ干渉計)による干渉縞の測定と、第2の干渉計(シェアリング干渉計)による干渉縞の測定の双方が可能である。そこで、被検物O内部の屈折率の変化が小さい場合は、マハツェンダ干渉計の干渉縞を干渉縞検出器25に結像させて位相シフト法により縞解析を行う。
【0026】
被検物内部の屈折率の変化が大きい場合は、干渉縞の本数が多くかつ縞のピッチが細かくなるので、干渉縞検出器25の分解能を越えてしまう。これに対し、シェアリング干渉は被検波同士の干渉であるため感度を落とす効果がある。すなわち干渉縞検出器25上での透過波面は少なくなりマハツェンダ干渉計では縞解析できない位相物体であっても計測可能となる。
【0027】
上記の干渉計において、マハツェンダ干渉計における光束a+b1の偏光方向と、シェアリング干渉計における光束b21+b22の偏光方向とは、相互に直交する方向となっている。また、第3の偏光子21は、光軸を中心に回転可能であるが、いずれか一方の偏光しか透過できない。したがって、第3の偏光子21をいずれかの方向に90゜回転することで、マハツェンダ干渉計の干渉縞を結像させるか、シェアリング干渉計の干渉縞を結像させるかを簡単に切り替えることができる。
【0028】
図2は、本発明の第2実施例の測定装置である。大部分が図1の実施例と共通しているので、相違点を中心に説明する。
第1の光分割器5′は、この実施例では偏光ビームスプリッタを使用している。そして、分割する光束a:bがほぼ1:2になるように、直線偏光面の入射角度を調整している。この構成により装置内の光束は全て直線偏光となるが、その方向を図面中に矢印と、中心が黒丸の二重丸とで示した。
【0029】
また、第1と第2の偏光子17,19が無く、代わりに第2の光分割器9と第1の光重畳器11との間に1/2波長板27を設けている。
マハツェンダ干渉計による干渉縞を形成する場合、参照波の光束aと被検波の光束bとは相互に直交するので、このまま重畳しても干渉は起こらない。そこで、第2の光分割器9と第1の光重畳器11との間に1/2波長板27を設けたのである。すなわち、第2光分割器9で反射された光束b1は、1/2波長板27を通過することによって、偏光方向を90゜変更し、参照波の光束aと同じ方向の直線偏光となり、干渉を起こすことができる。
【0030】
シェアリング干渉計では、マハツェンダ干渉計とは直交する方向の直線偏光が使用されるので、第3の偏光子21を回転して切り替えることができる。
【0031】
図3は本発明の第3実施例の測定装置で、X線CT(Computed Tomography)解析の手法を用いる例である。この実施例の測定装置は、被検物Oの周辺部以外は、図2の装置と同じである。
被検物0は屈折率が被検物Oとほぼ一致した試液Aの中に浸された容器31中にあり、光束の入射窓及び出射窓には面精度の良いオプティカルフラット33,35を用いている。被検物Oは光軸に対して垂直な回転軸Pを持つ図示しない支持装置に把持されており容器31は固定された状態で被検物0が軸Pを中心として回転可能な構造になっている。
【0032】
上記の試液Aは、温度でその屈折率が変化する性質がある。そのため、試液Aの温度を一定に保っておくことが望ましい。そのため、容器31の外側に外箱37を設け、この中に一定の温度に保たれた水などの液体Bを入れ、循環できるようにしている。このような構成とすることによって、試液Bの温度を一定に保ち、精度の良い測定が可能となる。
【0033】
次に、Computed Tomographyによる解析の手法を簡単に説明する。
あらかじめ被検物Oをセットしない状態で透過波面を測定し装置自身の定常的な誤差成分を排除する。次に被検物Oを容器31内にセットし、光源1からの光束を照射して透過波面を測定する。このとき被検物Oの屈折率が完全に均一でかつ試液Aの屈折率と等しい場合、縞解析結果は0となる。しかし、被検物Oが試液Aの屈折率よりわずかにずれている場合、以下の関係式が成り立つ。
【0034】
φ(y)=(2π/λ)∫Δn(x,y)dx (3)
ただし、
φ(y) : 透過波面(rad)
Δn(x,y):被検物Oと試液Aとの屈折率差
λ : レーザ光の波長
【0035】
屈折率分布が一様でない被検物Oに光源1のレーザ光を透過し、干渉縞検出器25上に生じた干渉縞を取り込み縞解析を行うことで、得られた透過波面から屈折率分布を求めることができる。
【0036】
しかし、一度の測定で得られる結果は、被検物Oの厚み方向(x方向)に積算された透過波面である。従って、不均一部分の空間的な位置を決定するためには被検物を回転させ、同様の縞解析を複数回行う必要がある。すなわち、被検物を干渉計の光軸に対して(相対的)z軸のまわりに回転し、入射方向180度(あるいは360度)にわたる範囲で測定し、コンピュータ上で再合成することにより被検物の3次元屈折率分布を測定することができる。これがX線CT(Computed Tomography)である。
【0037】
概略を説明すると、まず、角度φの方向から入射した透過波面データP(y,φ)を1次元フーリエ変換する。こうしてフーリエ変換された各断面の極座標のデータを直交座標に変換した後、2次元逆フーリエ変換を施す事により、被検物の2次元屈折率分布を再構成する事が可能である。この再構成された2次元屈折率分布をディスプレイなどに出力させて表示することにより、あるいは適宜の出力手段を用いて出力させることにより、被検物Oの屈折率分布を測定することができる。
【0038】
本発明の測定装置では、マハツェンダ干渉計とシェアリング干渉計(第1、第2検出器)による測定が可能である。干渉縞の本数が少ない場合はマハツェンダ干渉計で、干渉縞を結像させ、位相シフトより計測する。干渉縞の本数が多く干渉縞検出器25の分解能を越えている場合には、シェアリング干渉により解析する。
【0039】
したがって、本発明によれば、2つの干渉計を組み合わせる事で屈折率差の大きい被検物を高分解能に計測する事ができる。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、通常の干渉縞測定方法では縞の本数が多くて分解能を越えるような測定でも、シェアリング干渉により測定できるので、高分解能に計測することができる。また、被検物を光軸と垂直な回転軸回りに回転させつつ測定すると、CT解析により被検物の3次元的な屈折率の測定が可能となる。
【0041】
また、第1の干渉計(マハツェンダ干渉計)と第2の干渉計(シェアリング干渉計)を切り替えて使用するので、光学素子の一部を共有することができ、装置全体を安価に作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の屈折率分布を測定する装置の第1実施例の構成を示す図である。
【図2】本発明の屈折率分布を測定する装置の第2実施例の構成を示す図である。
【図3】本発明の屈折率分布を測定する装置の第3実施例の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 光源
5 第1の光分割器
5′ 第1の光分割器(偏光ビームスプリッタ)
7 第1のミラー
7a 第1の駆動手段
9 第2の光分割器
11 第1の光重畳器
13 第2のミラー
13c 第2の駆動手段
15 第2の光重畳器
17 第1の偏光子
19 第2の偏光子
21 第3の偏光子(共通の偏光子)
23 結像レンズ
25 干渉縞検出器
O 被検物
P 光軸と直交する軸
a 参照波
b 被検波
Claims (7)
- 光源からの可干渉光を参照波と被検物を透過する被検波とに分割し、両波を重ねて干渉させる第1干渉計と、上記被検波を二つの光束に分割し、一方の光束の波面を光軸と垂直方向にずらした後重畳してシェアリング干渉による干渉縞を形成する第2干渉計と、を設け、両干渉計を切り替え可能にしていずれかの干渉縞を解析することにより被検物の屈折率分布を測定する測定装置であって、
上記第1干渉計と、第2干渉計の光束が、相互に直交する方向の直線偏光であり、これらが共通の偏光子に入射させられ、該偏光子を回転することによって両干渉計の切り替えをすることを特徴とする屈折率分布の測定装置。 - 光源と、該光源からの可干渉光を2つに分割する第1の光分割器と、分割された一方の光路内に置かれ被検物を透過した光束を2つに分割する第2の光分割器と、第1の光分割器で分割された他方の光路内に配置された第1のミラーと、該第1のミラーを波長以下のオーダで移動可能な第1の駆動手段と、上記第2の光分割器で分割された一方の光束と上記第1のミラーで反射された光束とを重畳して干渉をさせるための第1の光重畳器と、上記第2の光分割器で分割された他方の光束内にあって2枚の平行な反射面を有する第2のミラーと、該第2のミラーの一方の反射面を波長以下のオーダで移動可能な第2の駆動手段と、を有することを特徴とする屈折率分布の測定装置。
- 上記第2のミラーの反射光と、上記第1の光重畳器の射出光とを異なる方向から受光する第2の光重畳器を有することを特徴とする請求項2記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記第1の光重畳器と第2の光重畳器との間に第1の偏光子を配置し、第2のミラーと第2の光重畳器の間に第2の偏光子を設け、第1と第2の偏光子の偏光方向を直交させ、上記第2の光重畳器から射出される光束内に第3の偏光子を光軸中心に回動自在に設けたことを特徴とする請求項3記載の屈折率分布の測定装置。
- 上記第1の光分割器が偏光ビームスプリッタで、上記第2の光分割器と第1の光重畳器との間に1/2波長板を設けたことを特徴とする請求項2又は3記載の屈折率分布の測定装置。
- 光源からの可干渉光を参照波と被検物を透過する被検波とに分割し、両波を重ねて干渉させる第1干渉計と、上記被検波を二つの光束に分割し、一方の光束の波面を光軸と垂直方向にずらした後重畳してシェアリング干渉による干渉縞を形成する第2干渉計と、を設け、両干渉計を切り替え可能にしていずれかの干渉縞を解析することにより被検物の屈折率分布を測定する測定装置であって、
第2干渉計の光路内に設けられた互いに平行で近接した2面の反射面により、上記被検物を透過した被検波を二つの光束に分割するとともに、一方の光束の波面を光軸と垂直方向にずらすことを特徴とする屈折率分布の測定装置。 - 被検物が光軸と直交する軸を中心に回転可能に保持されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の屈折率分布の測定装置。
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