JP2511370Y2 - ブレ―ド破損検出器用クリ―ナ―治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウエーハ等の脆弱材料を切断又は切
削するブレードの消耗又は破損等の状態を検出する発光
・受光素子の検出部材の端部をクリーニングするための
クリーナー治具に関するものである。

【従来技術】

一般にこの種のブレードによる切断又は切削を遂行
し、且つそのブレードの状態を監視する手段を備えた切
削装置としては、同一出願人に係る特開昭62−53803号
公報に開示されたものが周知である。そして、前記切断
又は切削を行う場合に、切削液又は冷却水（クーラン
ト）を供給しながら遂行されていることも周知である。
このようにして切断又は切削を遂行すると、ブレード周
辺においては、切削屑を含むクーラントが飛散し、監視
手段である発光・受光素子からなる検出部材の端部に汚
れとして付着し、正確な監視又は検出が出来なくなる。
そのために検出部材の端部を時々クリーニングする必要
がある。しかしながら、このクリーニング手段としては
特別な装置又は治具がなく、作業員が綿棒等を用いて、
手作業により汚れを拭き取るようにしている。

【考案が解決しようとする課題】

前記従来例の綿棒を用いた手作業によるクリーニング
手段は、検出部材の取付位置が制限された狭いスペース
で、しかも対峙している検出部材の端部の間隙が狭く、
時間が掛かって非常に困難な作業になっている。 従って、クリーニング手段の作業性に解決しなければ
ならない課題を有している。

【課題を解決するための手段】

前記従来例の課題を解決する具体的手段として本考案
は、スピンドルの先端部が嵌合する凹部を有する基部に
所定長さの摘子を設けると共に、該基部の周方向に突出
させて少なくとも１本のアームを設け、該アームの端部
にはブレードの状態を検出する光学系検出部材の検出端
部に接触するクリーニング部材を設けたことを特徴とす
るブレード破損検出器用クリーナー治具を提供するもの
であり、摘子部を指で摘んで前記凹部をスピンドルの先
端に嵌合させれば、クリーニング部材が検出端部に接触
するようになり、その状態を維持しながら指で往復回転
させることにより、目的とする両検出端部を同時に且つ
簡単にクリーニングが出来るのである。又、クリーニン
グ部材は液体が含浸できる柔軟な材料で形成されている
ことが好ましく、所定のクリーニング液体（例えば商品
名レインＸ等）を含浸させることも出来る。

【実施例】

次に本考案を図示の実施例により更に詳しく説明する
と、１は台形の基部であり、該基部に所定長さの摘子２
を設ける。前記基部２の自由端部側に所定大きさの凹部
３を設けると共に、周側面に少なくとも１本のアーム４
を外側に突出させて設け、該アーム４の端部にクリーニ
ング部材５を設ける。 前記アーム４は、出来れば複数本を対称位置に配設
し、夫々が例えばビス等の固定部材６により着脱可能に
取り付けられる。又、前記クリーニング部材５は、洗浄
液が含浸できる例えば綿、フェルト、不織布、紙材又は
スポンジ材等の柔軟性を有する材料が使用され、これら
を接着等の適宜の手段を用いてアーム４の自由端部、即
ち先端部に取り付ける。 前記構成を有するクリーナー治具は、ブレードの監視
手段、即ち発光素子11と受光素子12とからなる光学系検
出手段の検出端部11a,12aをクリーニングするために使
用される。この検出端部11a,12aはブレードが取り付け
られるスピンドル13の先端13a近傍に位置しており、ス
ピンドル方向に前進後退が可能なように配設されてい
る。そして、このクリーナ治具を使用する場合には、図
示したようにスピンドルの先端からブレードを外し、ハ
ブ用ホイールマウント14が残った状態で適用する。 即ち、クリーナー治具の摘子２を指で摘んで、基部１
の凹部３をスピンドル13の先端13aに嵌合させ、アーム
４のクリーニング部材５が検出端部11a,12a間に位置す
るようにして、摘子２を指で往復回転させることによ
り、クリーニング部材５が検出端部11a,12aを擦るよう
に当接して往復動し、その両端部の汚れを同時に拭き取
るのである。この場合に、例えば複数のアーム４が設け
られていると、一つのアームは専ら汚れ落としに従事さ
せ、他のアームは汚れ落とし後の仕上用の拭き取りに従
事させれば、より一層目的物をきれいにクリーニングす
ることが出来るのである。いずれにしても、クリーナー
治具の凹部３をスピンドル13の端部13aに嵌めることに
より、又はハブ用ホイールマウント14の端面14aに押し
当てることにより、クリーニングしようとする検出端部
に対しアーム４及びクリーニング部材５の位置決めが簡
単にでき、そして摘子２を指で往復回転させることで、
目的の位置が簡単に清掃できるのである。

【考案の効果】

以上説明したように本考案に係るブレード破損検出器
用クリーナー治具は、スピンドルの先端部が嵌合する凹
部を有する基部に所定長さの摘子を設けると共に、該基
部の周方向に突出させて少なくとも１本のアームを設
け、該アームの端部にはブレードの状態を検出する光学
系検出部材の検出端部に接触するクリーニング部材を設
けた構成とし、摘子部を指で摘んで前記凹部をスピンド
ルの先端に嵌合させれば、クリーニング部材が検出端部
に接触するようになり、その状態を維持しながら指で往
復回転させることにより、狭い位置に対峙している両検
出端部を同時に且つ簡単にクリーニングが出来、クリー
ニングの作業性が著しく向上すると言う優れた効果を奏
する。 又、前記クリーニング部材は液体が含浸できる柔軟な
材料で形成され、所定のクリーニング液体又は洗浄液を
含浸させて、検出端部をクリーニングすればより一層よ
り効果的にクリーニングできると言う優れた効果も奏す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るクリーナ治具の要部を断面で示し
且つクリーニングしようとする目的物を仮想線で示した
側面図、第２図は使用態様を説明するための略示的説明
図である。 １……基部、２……摘子 ３……凹部、４……アーム ５……クリーニング部材、６……固定部材 11…発光素子、12…受光素子 11a,12a…光学系検出手段の検出端部 13……スピンドル、13a…端部 14…ハブ用ホイールマウント 14a…端面

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】スピンドルの先端部が嵌合する凹部を有す
   る基部に所定長さの摘子を設けると共に、該基部の周方
   向に突出させて少なくとも１本のアームを設け、該アー
   ムの端部にはブレードの状態を検出する光学系検出部材
   の検出端部に接触するクリーニング部材を設けたことを
   特徴とするブレード破損検出器用クリーナー治具。
2. 【請求項２】クリーニング部材は液体が含浸できる柔軟
   な材料で形成されている請求項（１）記載のブレード破
   損検出器用クリーナー治具。