JP2024051876A - 発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】発光装置の種別に応じて適切なテスト用治具を自動的に選択して検査を実施することが可能な発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムを提供する。【解決手段】検査装置10は、情報取得部31、種別特定部33、治具選択部35、搬送機構20、コレットC、検査ユニット16を備える。治具選択部35は、情報取得部31において取得された発光装置S1~S5の情報と種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別とに基づいて対応する検査用の治具Z1~Z3を選択する。コレットCは、搬送機構20によって搬送され、発光装置S1~S5を供給位置において把持して治具Z1~Z3における所定の位置へセットする。検査ユニット16は、検査位置において、治具選択部35において選択された治具Z1~Z3にセットされた発光装置S1~S5の検査を実施する。【選択図】図3
Description
本発明は、発光装置の光学特性の検査を行う検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムに関する。
近年、半導体の製造工程において、半導体ウエハに対して各種処理を施して複数の半導体装置を形成し、個々の半導体装置の電気的、光学的な特性の検査が実施されている。
例えば、特許文献1には、プローブ装置の省スペース化を実現するとともに、半導体ウエハをテストするテスタの稼働率の低下を防止することが可能な半導体検査装置について開示されている。この半導体検査装置では、検査工程において、作業者が固有ID番号のテスト用治具をテスト用治具供給部にセットすると同時に、その固有ID番号をID番号リーダーで読み込み、所望のテスト用治具がセットされたかを照合している。そして、テスト用治具のセットやセットされたテスト用治具の照合は、自動化してもよい旨が記載されている。
例えば、特許文献1には、プローブ装置の省スペース化を実現するとともに、半導体ウエハをテストするテスタの稼働率の低下を防止することが可能な半導体検査装置について開示されている。この半導体検査装置では、検査工程において、作業者が固有ID番号のテスト用治具をテスト用治具供給部にセットすると同時に、その固有ID番号をID番号リーダーで読み込み、所望のテスト用治具がセットされたかを照合している。そして、テスト用治具のセットやセットされたテスト用治具の照合は、自動化してもよい旨が記載されている。
本開示の課題は、発光装置の種別に応じて適切な治具を自動的に選択して検査を実施することが可能な発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムを提供することにある。
本開示に係る発光装置の検査装置は、所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査装置であって、情報取得部と、種別特定部と、治具選択部と、搬送機構と、把持部材と、検査部と、を備えている。情報取得部は、発光装置の情報を取得する。種別特定部は、供給位置に供給された発光装置の種別を特定する。治具選択部は、情報取得部において取得された発光装置の情報と種別特定部において特定された発光装置の種別とに基づいて、発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する。搬送機構は、供給位置から検査位置へと発光装置を搬送する。把持部材は、搬送機構によって搬送され、発光装置を供給位置において把持して治具における所定の位置へセットする。検査部は、検査位置において、治具選択部において選択された治具にセットされた発光装置の検査を実施する。
本開示に係る発光装置の検査装置によれば、発光装置の種別に応じて適切なテスト用治具を自動的に選択して検査を実施することができる。
本発明の一実施形態に係る検査装置(発光装置の検査装置)10について、図1~図20を用いて説明すれば以下の通りである。
なお、以下の説明において、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。また、以下の説明では必要に応じて特定の方向や位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及びそれらの用語を含む別の用語)を用いるが、それらの用語の使用は、図面を参照した開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が制限されるものではない。
なお、以下の説明において、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。また、以下の説明では必要に応じて特定の方向や位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及びそれらの用語を含む別の用語)を用いるが、それらの用語の使用は、図面を参照した開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が制限されるものではない。
(1)検査装置10全体の構成
本実施形態に係る検査装置10は、形状、大きさ、電極の位置等が異なる様々な種類の発光装置を所定の供給位置から取り出して所定の検査位置において検査を行う。そして、検査装置10は、供給ユニット(供給部)11と、側面カメラ12と、裏面カメラ13a,13bと、上面カメラ13cと、姿勢補正ユニット(姿勢補正部)14と、コレット交換ユニット15と、検査ユニット(検査部)16と、表示部17と、治具交換ユニット18と、排出ユニット(排出機構)19と、搬送機構20(第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20b、第3搬送ユニット20c)とを備えている。
本実施形態に係る検査装置10は、形状、大きさ、電極の位置等が異なる様々な種類の発光装置を所定の供給位置から取り出して所定の検査位置において検査を行う。そして、検査装置10は、供給ユニット(供給部)11と、側面カメラ12と、裏面カメラ13a,13bと、上面カメラ13cと、姿勢補正ユニット(姿勢補正部)14と、コレット交換ユニット15と、検査ユニット(検査部)16と、表示部17と、治具交換ユニット18と、排出ユニット(排出機構)19と、搬送機構20(第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20b、第3搬送ユニット20c)とを備えている。
ここで、本実施形態の検査装置10の検査対象は、例えば、図2(a)~図2(e)に示す、形状や大きさ、電極の位置等が異なる複数種類の発光装置S1~S5である。
発光装置S1は、図2(a)に示すように、略直方体形状の最も大きい平面の約半分に出射面S1aを有している。
発光装置S2は、図2(b)に示すように、略直方体形状の最も大きい略正方形の平面のほぼ全体に出射面S2aを有している。
発光装置S3は、図2(c)に示すように、比較的小型の発光装置であって、積層された上段の略直方体形状の平面に、出射面S3aを有している。
発光装置S4は、図2(d)に示すように、基板S4b上に載置された略直方体形状の上面に4つの出射面S4aを有している。
発光装置S5は、図2(e)に示すように、略直方体形状の側面に2つの出射面S5aを有している。
発光装置S1は、図2(a)に示すように、略直方体形状の最も大きい平面の約半分に出射面S1aを有している。
発光装置S2は、図2(b)に示すように、略直方体形状の最も大きい略正方形の平面のほぼ全体に出射面S2aを有している。
発光装置S3は、図2(c)に示すように、比較的小型の発光装置であって、積層された上段の略直方体形状の平面に、出射面S3aを有している。
発光装置S4は、図2(d)に示すように、基板S4b上に載置された略直方体形状の上面に4つの出射面S4aを有している。
発光装置S5は、図2(e)に示すように、略直方体形状の側面に2つの出射面S5aを有している。
供給ユニット(供給部)11は、検査装置10の本体フレーム10aに取り付けられた構成のうち、発光装置S1~S5が搬送される検査工程における最も上流側(図中左側)に配置されている。供給ユニット11は、第1搬送ユニット20aの移動範囲内に設置されている。供給ユニット11は、多段構造(本実施形態では15段のトレイを設置可能)の供給トレイ11aを有している。供給ユニット11は、複数のトレイT1,T2(図6(a)および図6(b)参照)のいずれか1つを供給トレイ11aから取り出して、所定の供給位置(供給ステージ11b)まで搬送する。トレイT1,T2が所定の供給位置へ搬送されると、取り出される発光装置S1~S5の種別に応じて選択されたコレット(把持部材)C(図15等参照)が装着された第1搬送ユニット20aが供給ステージ11b上へ移動し、トレイT1,T2上に載置された複数の発光装置S1~S5のうちの1つを把持して、下流側へ搬送する。なお、トレイT1,T2内には、発光装置S1~S5のうちの同一種類の発光装置が載置されているものとする。
なお、供給ユニット11の詳細な構成については、後段にて詳述する。
なお、供給ユニット11の詳細な構成については、後段にて詳述する。
側面カメラ12は、本体フレーム10aにおける発光装置S1~S5の搬送経路の近傍に設置されている。側面カメラ12は、第1搬送ユニット20aに装着されたコレットCの先端に把持された発光装置S1~S5を含む画像を側方から撮影し、後述する制御部30へ送信する。
裏面カメラ13a,13bは、本体フレーム10aにおける発光装置S1~S5の搬送経路の直下に設置されている。裏面カメラ13aは、側面カメラ12と同様に、第1搬送ユニット20aによって搬送中の発光装置S1~S5を含む画像を下方から撮影し、後述する制御部30へ送信する。裏面カメラ13b は、第2搬送ユニット20bによって搬送中の発光装置S1~S5を含む画像を下方から撮影し後述する制御部30へ送信する。その他、複数のカメラが搬送ユニット又は、搬送ユニットの近傍に取り付けられており、搬送中の発光装置S1~S5の位置や姿勢を撮影し、制御部30へ送信している。これらのカメラの位置や個数は一例であって、これに限定されるものではない。
裏面カメラ13aは、側面カメラ12の近傍に設置されている。
裏面カメラ13a,13bは、本体フレーム10aにおける発光装置S1~S5の搬送経路の直下に設置されている。裏面カメラ13aは、側面カメラ12と同様に、第1搬送ユニット20aによって搬送中の発光装置S1~S5を含む画像を下方から撮影し、後述する制御部30へ送信する。裏面カメラ13b は、第2搬送ユニット20bによって搬送中の発光装置S1~S5を含む画像を下方から撮影し後述する制御部30へ送信する。その他、複数のカメラが搬送ユニット又は、搬送ユニットの近傍に取り付けられており、搬送中の発光装置S1~S5の位置や姿勢を撮影し、制御部30へ送信している。これらのカメラの位置や個数は一例であって、これに限定されるものではない。
裏面カメラ13aは、側面カメラ12の近傍に設置されている。
制御部30では、第1搬送ユニット20aによって搬送中の発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを、予め保存されている発光装置S1~S5のデータに基づいて、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された画像を用いて、画像処理によって大きさや出射面の形状等を参照することで判定することができる。
裏面カメラ13bは、姿勢補正ユニット14よりも下流側に配置されており、検査ユニット16へ搬入直前の発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを最終確認するための画像を撮影して、制御部30へ送信する。制御部30では、裏面カメラ13bから受信した画像を画像処理して、発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを判定する。
上面カメラ13cは、第2搬送ユニット20bの近傍に取り付けられている。上面カメラ13cは、複数のコレットCを保持しているコレット交換ユニット15の情報へ移動した際に、コレットCの円板部C3の上面に付されたデータマトリックスDMを含む画像を撮影し、制御部30へ送信する。
これにより、第2搬送ユニット20bは、搬送される発光装置S1~S5の種別に応じて適切なコレットCをコレット交換ユニット15の中から取り出して装着することができる。
裏面カメラ13bは、姿勢補正ユニット14よりも下流側に配置されており、検査ユニット16へ搬入直前の発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを最終確認するための画像を撮影して、制御部30へ送信する。制御部30では、裏面カメラ13bから受信した画像を画像処理して、発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを判定する。
上面カメラ13cは、第2搬送ユニット20bの近傍に取り付けられている。上面カメラ13cは、複数のコレットCを保持しているコレット交換ユニット15の情報へ移動した際に、コレットCの円板部C3の上面に付されたデータマトリックスDMを含む画像を撮影し、制御部30へ送信する。
これにより、第2搬送ユニット20bは、搬送される発光装置S1~S5の種別に応じて適切なコレットCをコレット交換ユニット15の中から取り出して装着することができる。
姿勢補正ユニット(姿勢補正部)14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aの下流側であって、第2搬送ユニット20bの移動範囲内に配置されている。姿勢補正ユニット14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された画像を用いた画像処理によって、搬送中の発光装置S1~S5の姿勢が検査ユニット16へそのまま搬送するには不適切であると判定された場合に、その発光装置S1~S5の姿勢を90度あるいは180度回転等させ、適切な姿勢となるように回転等させる。
ここで、発光装置S1~S5の姿勢が不適切か否かは、いくつかの不適切な姿勢の発光装置を含む画像を記憶しておき、それぞれの不適切姿勢画像に該当する場合にはどの方向に回転させるかをプログラムしておいてもよい。
なお、姿勢補正ユニット14の詳細な構成については、後段にて詳述する。
ここで、発光装置S1~S5の姿勢が不適切か否かは、いくつかの不適切な姿勢の発光装置を含む画像を記憶しておき、それぞれの不適切姿勢画像に該当する場合にはどの方向に回転させるかをプログラムしておいてもよい。
なお、姿勢補正ユニット14の詳細な構成については、後段にて詳述する。
コレット交換ユニット15は、姿勢補正ユニット14の下流側に配置されていてもよいが、搬送ユニット20a,20b,20cの移動範囲であれば特に限定されない。コレット交換ユニット15は、発光装置S1~S5を1つ把持するためのコレットC(図15等参照)が複数配置されている。本実施形態では、コレット交換ユニット15には、発光装置S1~S5の種別に応じて用意された9種類のコレットCが3つずつ、計27個配置されている。
コレットCは、第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20bおよび第3搬送ユニット20cによってそれぞれ保持され、その下端において発光装置S1~S5を1つずつ把持する。
なお、コレットCの詳細な構成については、後段にて詳述する。
コレットCは、第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20bおよび第3搬送ユニット20cによってそれぞれ保持され、その下端において発光装置S1~S5を1つずつ把持する。
なお、コレットCの詳細な構成については、後段にて詳述する。
検査ユニット(検査部)16は、コレット交換ユニット15の下流側であって、第2搬送ユニット20bおよび第3搬送ユニット20cの移動範囲が重複する位置に配置されている。これにより、検査ユニット16には、第2搬送ユニット20bによって検査対象となる発光装置S1~S5が上流側から搬送されてきて、検査が完了した発光装置S1~S5が第3搬送ユニット20cによって下流側へと搬送される。
また、検査ユニット16は、第2搬送ユニット20bに保持されたコレットCの下端に把持されて搬送されてきた発光装置S1~S5を、発光装置S1~S5の種別ごとに用意された治具Z(図18参照)上にセットした状態で通電し、1つずつ点灯テストを実施する。
また、検査ユニット16は、第2搬送ユニット20bに保持されたコレットCの下端に把持されて搬送されてきた発光装置S1~S5を、発光装置S1~S5の種別ごとに用意された治具Z(図18参照)上にセットした状態で通電し、1つずつ点灯テストを実施する。
本実施形態では、検査ユニット16において、発光装置S1~S5に通電させて光を出射した状態で、後述する積分球16aと光度計16bとを用いて、積分球測定と光度測定とを実施する。
なお、検査ユニット16の詳細な構成については、後段にて詳述する。
表示部17は、検査装置10の本体フレーム10aにおける正面側であって、検査ユニット16の上方に設けられている。表示部17には、各発光装置S1~S5の検査の結果、供給ユニット11へ供給される発光装置S1~S5の配置図面等が表示される。
治具交換ユニット18は、検査ユニット16の下流側における近傍に配置されており、発光装置S1~S5の種別ごとに用意された複数種類の治具Zを保持している。治具交換ユニット18は、発光装置S1~S5の種別に応じて適切な治具Zを取り出して、検査ユニット16へ搬送する治具交換ハンド18aを有している。
なお、治具交換ユニット18における治具Zの交換については、後段にて詳述する。
なお、検査ユニット16の詳細な構成については、後段にて詳述する。
表示部17は、検査装置10の本体フレーム10aにおける正面側であって、検査ユニット16の上方に設けられている。表示部17には、各発光装置S1~S5の検査の結果、供給ユニット11へ供給される発光装置S1~S5の配置図面等が表示される。
治具交換ユニット18は、検査ユニット16の下流側における近傍に配置されており、発光装置S1~S5の種別ごとに用意された複数種類の治具Zを保持している。治具交換ユニット18は、発光装置S1~S5の種別に応じて適切な治具Zを取り出して、検査ユニット16へ搬送する治具交換ハンド18aを有している。
なお、治具交換ユニット18における治具Zの交換については、後段にて詳述する。
排出ユニット(排出機構)19は、本体フレーム10aにおける最下流側であって、第3搬送ユニット20cの移動範囲内に設置されている。排出ユニット19は、排出ステージ19aと、排出トレイ19bとを有している。
排出ステージ19aは、検査ユニット16において検査が完了した発光装置S1~S5を第3搬送ユニット20cから1つずつ受け取って、排出トレイ19bへと排出する。
搬送機構20は、所定の供給位置(供給ステージ11b)から所定の検査位置(検査ユニット16)へと発光装置S1~S5を搬送するとともに、検査を終えた発光装置S1~S5を所定の排出位置(排出ステージ19a)へと搬送する。そして、搬送機構20は、第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20bおよび第3搬送ユニット20cを有している。
排出ステージ19aは、検査ユニット16において検査が完了した発光装置S1~S5を第3搬送ユニット20cから1つずつ受け取って、排出トレイ19bへと排出する。
搬送機構20は、所定の供給位置(供給ステージ11b)から所定の検査位置(検査ユニット16)へと発光装置S1~S5を搬送するとともに、検査を終えた発光装置S1~S5を所定の排出位置(排出ステージ19a)へと搬送する。そして、搬送機構20は、第1搬送ユニット20a、第2搬送ユニット20bおよび第3搬送ユニット20cを有している。
第1搬送ユニット20aは、3つの搬送ユニットの中で最も上流側に配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール10bに沿って移動する。第1搬送ユニット20aは、コレットCを保持した状態で、コレットCの下端に発光装置S1~S5を把持し、供給ユニット11から姿勢補正ユニット14まで発光装置S1~S5を搬送する。
第2搬送ユニット20bは、第1搬送ユニット20aと第3搬送ユニット20cとに挟まれるように配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール10cに沿って移動する。第2搬送ユニット20bは、第1搬送ユニット20aと同様に、コレットCを保持した状態で、コレットCの下端に発光装置S1~S5を把持し、姿勢補正ユニット14から検査ユニット16まで発光装置S1~S5を搬送する。
第3搬送ユニット20cは、3つの搬送ユニットの中で最も下流側に配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール10dに沿って移動する。第3搬送ユニット20cは、第1搬送ユニット20aおよび第2搬送ユニット20bと同様に、コレットCを保持した状態で、コレットCの下端に発光装置S1~S5を把持し、検査ユニット16から排出ユニット19まで発光装置S1~S5を搬送する。
第2搬送ユニット20bは、第1搬送ユニット20aと第3搬送ユニット20cとに挟まれるように配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール10cに沿って移動する。第2搬送ユニット20bは、第1搬送ユニット20aと同様に、コレットCを保持した状態で、コレットCの下端に発光装置S1~S5を把持し、姿勢補正ユニット14から検査ユニット16まで発光装置S1~S5を搬送する。
第3搬送ユニット20cは、3つの搬送ユニットの中で最も下流側に配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール10dに沿って移動する。第3搬送ユニット20cは、第1搬送ユニット20aおよび第2搬送ユニット20bと同様に、コレットCを保持した状態で、コレットCの下端に発光装置S1~S5を把持し、検査ユニット16から排出ユニット19まで発光装置S1~S5を搬送する。
また、本実施形態の検査装置10は、図3に示すように、制御部30を中心として、上述した側面カメラ12、裏面カメラ13a,13b、上面カメラ13c、搬送機構20、姿勢補正ユニット14、コレット交換ユニット15、検査ユニット16、表示部17、治具交換ユニット18(治具交換ハンド18a)および排出ユニット19とともに、入力受付部21と、コードリーダ18bと、治具センサ18cと、記憶部23と、加振ユニット11cと、突き上げユニット11dと、を備えている。
制御部30は、検査装置10の各構成を制御するために設けられており、図3に示すように、入力受付部21、側面カメラ12、裏面カメラ13a,13b、上面カメラ13c、コードリーダ18b、治具センサ18c、記憶部23、搬送機構20、加振ユニット11c、突き上げユニット11d、姿勢補正ユニット14、コレット交換ユニット15、検査ユニット16、表示部17、治具交換ハンド18aおよび排出ユニット19と接続されている。
制御部30は、検査装置10の各構成を制御するために設けられており、図3に示すように、入力受付部21、側面カメラ12、裏面カメラ13a,13b、上面カメラ13c、コードリーダ18b、治具センサ18c、記憶部23、搬送機構20、加振ユニット11c、突き上げユニット11d、姿勢補正ユニット14、コレット交換ユニット15、検査ユニット16、表示部17、治具交換ハンド18aおよび排出ユニット19と接続されている。
入力受付部21は、例えば、マウス、キーボード、タッチパネル等の入力手段を用いて各種情報が入力されるとともに、発光装置S1~S5の種別ごとのデータ、検査指示の入力情報(依頼ID(Identification))等が入力される。入力受付部21は、入力された発光装置S1~S5の種別ごとのデータ、検査指示の入力情報(依頼ID)等の情報を制御部30へ送信する。
治具交換ハンド18aは、治具交換ユニット18に設けられたロボットハンドであって、入力受付部21を介して入力された発光装置S1~S5の種別の情報に基づいて、発光装置S1~S5の種別に応じた治具Zを選択して保持するように、制御部30によって制御される。また、治具交換ハンド18aは、治具Zの上面に検査対象となる発光装置S1~S5を1つ受け取った後、治具Zを検査ユニット16へ搬送するように、制御部30によって制御される。
治具交換ハンド18aは、治具交換ユニット18に設けられたロボットハンドであって、入力受付部21を介して入力された発光装置S1~S5の種別の情報に基づいて、発光装置S1~S5の種別に応じた治具Zを選択して保持するように、制御部30によって制御される。また、治具交換ハンド18aは、治具Zの上面に検査対象となる発光装置S1~S5を1つ受け取った後、治具Zを検査ユニット16へ搬送するように、制御部30によって制御される。
コードリーダ18bは、治具交換ユニット18に設けられており、目前に配置された治具Zの外周面に付されたデータマトリックス(図19参照)を読み込んで、その種別情報を制御部30へ送信する。
治具センサ18cは、治具交換ユニット18におけるコードリーダ18bの近傍に設置されており、目の前に治具Zが有るか否かを検出し、制御部30へ送信する。
これにより、制御部30は、コードリーダ18bにおける読取り結果および治具センサ18cにおける検出結果に基づいて、治具交換ユニット18の保持された複数種類の治具Zから、検査対象となる発光装置S1~S5の種別に応じた適切な治具Zを選択して取り出すことができる。
記憶部23は、図3に示すように、入力受付部21を介して入力された複数種類の発光装置S1~S5の種別情報に関する種別データ(形状、大きさ、重量、電極位置等)、光学特性検査結果のデータ、検査装置10を自動運転させるための各種プログラム等を保存している。
治具センサ18cは、治具交換ユニット18におけるコードリーダ18bの近傍に設置されており、目の前に治具Zが有るか否かを検出し、制御部30へ送信する。
これにより、制御部30は、コードリーダ18bにおける読取り結果および治具センサ18cにおける検出結果に基づいて、治具交換ユニット18の保持された複数種類の治具Zから、検査対象となる発光装置S1~S5の種別に応じた適切な治具Zを選択して取り出すことができる。
記憶部23は、図3に示すように、入力受付部21を介して入力された複数種類の発光装置S1~S5の種別情報に関する種別データ(形状、大きさ、重量、電極位置等)、光学特性検査結果のデータ、検査装置10を自動運転させるための各種プログラム等を保存している。
供給ユニット11は、発光装置S1~S5が縦横に整列されて配置されているトレイT1や、発光装置S1~S5毎に区分け部に分かれているトレイT2を使用することができる。
トレイT1においては、発光装置S1~S5が、粘着膜T1aに貼り付けられており、下方から発光装置を突き上げ、発光装置を取り出す。突き上げユニット11dは、供給ユニット11に設けられている。突き上げユニット11dは、供給トレイ11aから取り出されたトレイT1の粘着膜T1a上に載置された発光装置S1~S5の接着面積を小さくするために、粘着膜T1aに対して下方から針部11dc(図8参照)を突き上げるように、制御部30によって制御される。粘着膜T1aに貼り付けられた発光装置は、トレイ毎にIDが付与されており、発光装置の情報を管理することができる。
トレイT1においては、発光装置S1~S5が、粘着膜T1aに貼り付けられており、下方から発光装置を突き上げ、発光装置を取り出す。突き上げユニット11dは、供給ユニット11に設けられている。突き上げユニット11dは、供給トレイ11aから取り出されたトレイT1の粘着膜T1a上に載置された発光装置S1~S5の接着面積を小さくするために、粘着膜T1aに対して下方から針部11dc(図8参照)を突き上げるように、制御部30によって制御される。粘着膜T1aに貼り付けられた発光装置は、トレイ毎にIDが付与されており、発光装置の情報を管理することができる。
一方、トレイT2においては、複数の発光装置S1~S5がくっついて重なっていることもあるため、区分け部T2aに振動を加えて、発光装置を引き離している。
発光装置S1~S5を引き離すための加振ユニット11cは、供給ユニット11に設けられており、トレイT2に対して下方から振動を付与するように、制御部30によって制御される。
姿勢補正ユニット14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aにおいて取得された発光装置S1~S5を含む画像に基づいて制御部30(姿勢判定部32)によって姿勢が適正ではないと判定された発光装置S1~S5の姿勢を、適正な向きに補正するように、制御部30によって制御される。
コレット交換ユニット15は、上面カメラ13cによって取得されたコレットCの円板部C3の上面のデータマトリックスDMを含む画像に基づいて、搬送される発光装置S1~S5の種別に応じた適切なコレットCを選択して第2搬送ユニット20bによって保持されるように、制御部30によって制御される。
発光装置S1~S5を引き離すための加振ユニット11cは、供給ユニット11に設けられており、トレイT2に対して下方から振動を付与するように、制御部30によって制御される。
姿勢補正ユニット14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aにおいて取得された発光装置S1~S5を含む画像に基づいて制御部30(姿勢判定部32)によって姿勢が適正ではないと判定された発光装置S1~S5の姿勢を、適正な向きに補正するように、制御部30によって制御される。
コレット交換ユニット15は、上面カメラ13cによって取得されたコレットCの円板部C3の上面のデータマトリックスDMを含む画像に基づいて、搬送される発光装置S1~S5の種別に応じた適切なコレットCを選択して第2搬送ユニット20bによって保持されるように、制御部30によって制御される。
検査ユニット16は、検査対象となる発光装置S1~S5が治具Zの上面にセットされた状態で搬送されると、予め設定された検査条件に従って、積分球測定と光度測定とを実施するように制御部30によって制御される。
表示部17は、例えば、上述した検査ユニット16における発光装置S1~S5の検査結果、後述する供給ユニット11に供給すべき発光装置S1~S5の種別ごとの配置図、各種設定画面等を表示するように、制御部30によって制御される。
排出ユニット19は、検査ユニット16における検査が完了した発光装置S1~S5が搬送されてくると、排出トレイ19bへ排出するように、制御部30によって制御される。
制御部30は、記憶部23に保存された各種プログラムをCPUが読み込んで、図3に示すように、情報取得部31、姿勢判定部32、種別特定部33、コレット選択部(把持部材選択部)34、治具選択部35、検査制御部36、排出制御部37、配置図作成部38および表示制御部39を機能ブロックとして内部に生成する。
表示部17は、例えば、上述した検査ユニット16における発光装置S1~S5の検査結果、後述する供給ユニット11に供給すべき発光装置S1~S5の種別ごとの配置図、各種設定画面等を表示するように、制御部30によって制御される。
排出ユニット19は、検査ユニット16における検査が完了した発光装置S1~S5が搬送されてくると、排出トレイ19bへ排出するように、制御部30によって制御される。
制御部30は、記憶部23に保存された各種プログラムをCPUが読み込んで、図3に示すように、情報取得部31、姿勢判定部32、種別特定部33、コレット選択部(把持部材選択部)34、治具選択部35、検査制御部36、排出制御部37、配置図作成部38および表示制御部39を機能ブロックとして内部に生成する。
情報取得部31は、入力受付部21を介して入力された発光装置S1~S5の種別ごとのデータ、検査指示(依頼ID)等の情報を取得する。
姿勢判定部32は、側面カメラ12および裏面カメラ13a,13bによって撮影された画像を用いて、搬送される発光装置S1~S5の姿勢が検査ユニット16にそのまま搬入しても問題ない適正な姿勢であるか否かを判定する。
種別特定部33は、情報取得部31において取得された発光装置S1~S5の種別ごとのデータ(形状、大きさ等)と記憶部23に保存された種別データ(形状、大きさ等)とに基づいて、搬送される発光装置S1~S5の種別を特定する。なお、姿勢判定部32による判定と種別特定部33における特定とは、同時に実施される。
コレット選択部34は、種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別に対応するコレットCを、コレット交換ユニット15の中から選択して取り出すように、第1~第3搬送ユニット20a~20cを制御する。
姿勢判定部32は、側面カメラ12および裏面カメラ13a,13bによって撮影された画像を用いて、搬送される発光装置S1~S5の姿勢が検査ユニット16にそのまま搬入しても問題ない適正な姿勢であるか否かを判定する。
種別特定部33は、情報取得部31において取得された発光装置S1~S5の種別ごとのデータ(形状、大きさ等)と記憶部23に保存された種別データ(形状、大きさ等)とに基づいて、搬送される発光装置S1~S5の種別を特定する。なお、姿勢判定部32による判定と種別特定部33における特定とは、同時に実施される。
コレット選択部34は、種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別に対応するコレットCを、コレット交換ユニット15の中から選択して取り出すように、第1~第3搬送ユニット20a~20cを制御する。
これにより、第1~第3搬送ユニット20a~20cは、検査ユニット16へ搬送しようとしている発光装置S1~S5の種別に対応する適切なコレットCを選択して、発光装置S1~S5を搬送することができる。
治具選択部35は、種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別に対応する治具Zを、治具交換ユニット18から選択して取り出すように、治具交換ハンド18aを制御する。
これにより、治具交換ハンド18aは、検査対象であって搬送されてくる発光装置S1~S5の種別に対応する適切な治具Zを選択して、検査ユニット16へ搬送することができる。
検査制御部36は、入力受付部21を介して入力された検査指示(依頼ID)に基づいて、検査ユニット16において、積分球測定と光度測定とを実施するように制御する。
治具選択部35は、種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別に対応する治具Zを、治具交換ユニット18から選択して取り出すように、治具交換ハンド18aを制御する。
これにより、治具交換ハンド18aは、検査対象であって搬送されてくる発光装置S1~S5の種別に対応する適切な治具Zを選択して、検査ユニット16へ搬送することができる。
検査制御部36は、入力受付部21を介して入力された検査指示(依頼ID)に基づいて、検査ユニット16において、積分球測定と光度測定とを実施するように制御する。
排出制御部37は、検査ユニット16における検査が完了した発光装置S1~S5について、排出ユニット19において排出ステージ19aから排出トレイ19bへ排出するように制御する。
配置図作成部38は、入力受付部21を介して検査指示(依頼ID)が入力されると、依頼IDの情報に紐づけられた測定情報を取得して、供給ユニット11に供給されるべき発光装置S1~S5の配置図を作成する。
なお、依頼IDの情報に紐づけられた測定情報は、例えば、サンプル情報(品種、色、ロット数、測定数量等)、回路情報(駆動電流、回路数、同時点灯等)、係数情報(係数名、校正ファイル名、補正値等)を含む。
配置図は、例えば、図4に示すように、供給ユニット11の供給トレイ11aの15段目にセットされる9分割されたトレイT2の、それぞれの区画に対して投入される発光装置S1~S5の種類とロット番号が示されている。
配置図作成部38は、入力受付部21を介して検査指示(依頼ID)が入力されると、依頼IDの情報に紐づけられた測定情報を取得して、供給ユニット11に供給されるべき発光装置S1~S5の配置図を作成する。
なお、依頼IDの情報に紐づけられた測定情報は、例えば、サンプル情報(品種、色、ロット数、測定数量等)、回路情報(駆動電流、回路数、同時点灯等)、係数情報(係数名、校正ファイル名、補正値等)を含む。
配置図は、例えば、図4に示すように、供給ユニット11の供給トレイ11aの15段目にセットされる9分割されたトレイT2の、それぞれの区画に対して投入される発光装置S1~S5の種類とロット番号が示されている。
本実施形態では、このような配置図が、供給ユニット11の供給トレイ11aの1段目~15段目についてそれぞれ作成される。
これにより、検査装置10の使用者は、配置図作成部38によって作成された配置図を確認することで、供給トレイ11aのどの段に、どのトレイT1,T2を挿入し、トレイT1,T2のどの場所へ、どの発光装置S1~S5を供給するのかを容易に認識することができる。
表示制御部39は、各発光装置S1~S5の検査の結果、供給ユニット11へ供給される発光装置S1~S5の配置図面等が表示されるように、表示部17を制御する。
これにより、検査装置10の使用者は、配置図作成部38によって作成された配置図を確認することで、供給トレイ11aのどの段に、どのトレイT1,T2を挿入し、トレイT1,T2のどの場所へ、どの発光装置S1~S5を供給するのかを容易に認識することができる。
表示制御部39は、各発光装置S1~S5の検査の結果、供給ユニット11へ供給される発光装置S1~S5の配置図面等が表示されるように、表示部17を制御する。
(2-1)供給ユニット11
供給ユニット11は、供給トレイ11aと、供給ステージ11bと、加振ユニット11cと、突き上げユニット11dと、を有している。
供給トレイ11aは、図5に示すように、検査対象となる複数の発光装置S1~S5が種別ごとに載置される複数のトレイT1,T2を上下方向に多段化されたトレイ保持部11aaにおいて保持している。なお、本実施形態では、供給ユニット11の供給トレイ11aは、上下方向において、15段のトレイT1,T2を保持することが可能なトレイ保持部11aaを有している。
トレイT1は、図6(a)に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置S1~S5のいずれか1種類が載置される粘着膜T1aと、粘着膜T1aの外周部を保持する枠T1bとを有している。
トレイT2は、図6(b)に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置S1~S5のいずれか1種類が種類ごとに載置される9分割された区分け部T2aと、その外周部を形成する枠T2bとを有している。
供給ユニット11は、供給トレイ11aと、供給ステージ11bと、加振ユニット11cと、突き上げユニット11dと、を有している。
供給トレイ11aは、図5に示すように、検査対象となる複数の発光装置S1~S5が種別ごとに載置される複数のトレイT1,T2を上下方向に多段化されたトレイ保持部11aaにおいて保持している。なお、本実施形態では、供給ユニット11の供給トレイ11aは、上下方向において、15段のトレイT1,T2を保持することが可能なトレイ保持部11aaを有している。
トレイT1は、図6(a)に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置S1~S5のいずれか1種類が載置される粘着膜T1aと、粘着膜T1aの外周部を保持する枠T1bとを有している。
トレイT2は、図6(b)に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置S1~S5のいずれか1種類が種類ごとに載置される9分割された区分け部T2aと、その外周部を形成する枠T2bとを有している。
供給ステージ11bは、供給トレイ11aから取り出された1つのトレイT1,T2が搬送され、第1搬送ユニット20a(コレットC)によって、トレイT1,T2上の発光装置S1~S5の1つが把持される、発光装置S1~S5の受け渡し場所として設けられている。
加振ユニット11cは、供給ユニット11における供給ステージ11bの下方に配置されている。そして、加振ユニット11cは、トレイT2上に無造作に載置された複数の発光装置S1~S5が上下に重なっている状態を解消するために、図7に示すように、上下に振動する。すなわち、加振ユニット11cは、トレイT2の下面に先端部が押し当てられた状態で上下に振動することで、トレイT2に対して振動を付与する。
これにより、上下に重なった発光装置S1~S5の状態を解消して、第1搬送ユニット20aのコレットCによって把持しやすい状態を形成することができる。
加振ユニット11cは、供給ユニット11における供給ステージ11bの下方に配置されている。そして、加振ユニット11cは、トレイT2上に無造作に載置された複数の発光装置S1~S5が上下に重なっている状態を解消するために、図7に示すように、上下に振動する。すなわち、加振ユニット11cは、トレイT2の下面に先端部が押し当てられた状態で上下に振動することで、トレイT2に対して振動を付与する。
これにより、上下に重なった発光装置S1~S5の状態を解消して、第1搬送ユニット20aのコレットCによって把持しやすい状態を形成することができる。
突き上げユニット11dは、供給ユニット11における供給ステージ11bの下方において、図7に示すように、加振ユニット11cに隣接配置されている。そして、突き上げユニット11dは、供給ステージ11bに搬送されたトレイT1の粘着膜T1a上に載置された発光装置S1~S5の接着面積を小さくして、第1搬送ユニット20aのコレットCによって把持しやすくするために、粘着膜T1aに対して下方から発光装置S1~S5を突き上げる。
より具体的には、突き上げユニット11dは、図8に示すように、円筒部11daと、開口11dbと、針部11dcとを有している。
これにより、突き上げユニット11dは、供給ステージ11bに搬送されたトレイT1の1つの下方から、円筒部11daの開口11dbから針部11dcを突出させることで、弾性を有する粘着膜T1aを伸張させて、発光装置S1~S5との接触面積を減少させ、第1搬送ユニット20aのコレットCによって把持しやすくすることができる。
より具体的には、突き上げユニット11dは、図8に示すように、円筒部11daと、開口11dbと、針部11dcとを有している。
これにより、突き上げユニット11dは、供給ステージ11bに搬送されたトレイT1の1つの下方から、円筒部11daの開口11dbから針部11dcを突出させることで、弾性を有する粘着膜T1aを伸張させて、発光装置S1~S5との接触面積を減少させ、第1搬送ユニット20aのコレットCによって把持しやすくすることができる。
(2-2)姿勢補正ユニット14
姿勢補正ユニット14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果に基づいて、必要に応じて、発光装置S1~S5の姿勢を補正する。そして、姿勢補正ユニット14は、図9に示すように、90度回転機構14aと、180度回転機構14bとを有している。
90度回転機構14aは、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果、発光装置S1~S5の姿勢が正規の姿勢から90度回転していると判定された場合に、第1搬送ユニット20aのコレットCから、姿勢を補正すべき発光装置S1~S5を受け取って、発光装置S1~S5の姿勢を90度回転させる。
姿勢補正ユニット14は、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果に基づいて、必要に応じて、発光装置S1~S5の姿勢を補正する。そして、姿勢補正ユニット14は、図9に示すように、90度回転機構14aと、180度回転機構14bとを有している。
90度回転機構14aは、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果、発光装置S1~S5の姿勢が正規の姿勢から90度回転していると判定された場合に、第1搬送ユニット20aのコレットCから、姿勢を補正すべき発光装置S1~S5を受け取って、発光装置S1~S5の姿勢を90度回転させる。
ここで、各発光装置S1~S5の種別判定は、それぞれの大きさ、出射面の形等を画像処理することで判別される。続いて、種別が特定された発光装置S1~S5について、出射面が正面に向いているか否かを確認するための姿勢判定が行われる。ここで、出射面が正面を向いていないと判定されると、90度回転させるように制御が行われる。このような処理を繰り返し実施することで、各発光装置S1~S5を、検査を実施する上で適切な姿勢にすることができる。
なお、平板状の発光装置S1等では、振動付与によって表面あるいは裏面が正面を向いた姿勢となる。よって、裏面を向いた発光装置S1については180度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。
同様に、細長い発光装置S5等では、振動付与によって長さ方向が揃った状態となるため、長さ方向に対して垂直な方向に90度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。
なお、平板状の発光装置S1等では、振動付与によって表面あるいは裏面が正面を向いた姿勢となる。よって、裏面を向いた発光装置S1については180度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。
同様に、細長い発光装置S5等では、振動付与によって長さ方向が揃った状態となるため、長さ方向に対して垂直な方向に90度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。
具体的には、90度回転機構14aは、図10(a)および図10(b)に示す回転治具14aaに形成された溝g内に、発光装置S1~S5がセットされた状態で、回転治具14aaを90度回転させる。
90度回転機構14aは、例えば、図11(a)に示すように、回転治具14aaを右に傾けた状態で、溝g内に発光装置S5をセットすると、発光装置S5は、図11(b)に示すように、出射面S5aが横を向いた状態となっている。ここから、90度回転機構14aは、図12(a)に示すように、回転治具14aaを左に傾けた状態となるように90度回転させる。
これにより、発光装置S5は、回転治具14aaの溝g内において、出射面S5aが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、90度回転機構14aによって姿勢が補正された発光装置S5は、回転治具14aaの溝g内から、再び、第2搬送ユニット20bのコレットCによって把持され、下流側へと搬送される。
90度回転機構14aは、例えば、図11(a)に示すように、回転治具14aaを右に傾けた状態で、溝g内に発光装置S5をセットすると、発光装置S5は、図11(b)に示すように、出射面S5aが横を向いた状態となっている。ここから、90度回転機構14aは、図12(a)に示すように、回転治具14aaを左に傾けた状態となるように90度回転させる。
これにより、発光装置S5は、回転治具14aaの溝g内において、出射面S5aが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、90度回転機構14aによって姿勢が補正された発光装置S5は、回転治具14aaの溝g内から、再び、第2搬送ユニット20bのコレットCによって把持され、下流側へと搬送される。
なお、図11(a)~図12(b)では、姿勢補正の対象として、90度回転しやすい形状の発光装置S5の姿勢を補正する例を挙げて説明したが、他の発光装置S1~S4についても同様である。
また、90度回転機構14aには、品種の大きさや形状に応じて、回転治具14aaが複数設置されていてもよい。また、回転治具14aaには、図11(a)に示すように、データマトリックスが貼られており、上面カメラ13cによって撮影された画像を画像処理することで、品種に応じた回転治具14aaを選定することができる。
180度回転機構14bは、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を画像処理して発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果、発光装置S1~S5の姿勢が正規の姿勢から180度回転していると判定された場合に、第1搬送ユニット20aのコレットCから、姿勢を補正すべき発光装置S1~S5を受け取って、発光装置S1~S5の姿勢を180度回転させる。
また、90度回転機構14aには、品種の大きさや形状に応じて、回転治具14aaが複数設置されていてもよい。また、回転治具14aaには、図11(a)に示すように、データマトリックスが貼られており、上面カメラ13cによって撮影された画像を画像処理することで、品種に応じた回転治具14aaを選定することができる。
180度回転機構14bは、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を画像処理して発光装置S1~S5の姿勢を判定した結果、発光装置S1~S5の姿勢が正規の姿勢から180度回転していると判定された場合に、第1搬送ユニット20aのコレットCから、姿勢を補正すべき発光装置S1~S5を受け取って、発光装置S1~S5の姿勢を180度回転させる。
具体的には、180度回転機構14bは、図13(a)および図13(b)に示す回転治具14ba,14bbに形成された吸引部に、発光装置S2がセットされた状態で、回転軸14bcを中心にして、回転治具14baを回転治具14bbに重ねるように180度回転させる。
これにより、発光装置S2は、回転治具14ba側から回転治具14bb側へ受け渡されることで、出射面S2aが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、180度回転機構14bによって姿勢が補正された発光装置S2は、回転治具14bbの吸引部から、再び、第2搬送ユニット20bのコレットCによって把持され、下流側へと搬送される。
なお、図13(a)および図13(b)では、姿勢補正の対象として、180度回転しやすい形状の発光装置S2の姿勢を補正する例を挙げて説明したが、他の発光装置S1,S3~S5についても同様である。
これにより、発光装置S2は、回転治具14ba側から回転治具14bb側へ受け渡されることで、出射面S2aが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、180度回転機構14bによって姿勢が補正された発光装置S2は、回転治具14bbの吸引部から、再び、第2搬送ユニット20bのコレットCによって把持され、下流側へと搬送される。
なお、図13(a)および図13(b)では、姿勢補正の対象として、180度回転しやすい形状の発光装置S2の姿勢を補正する例を挙げて説明したが、他の発光装置S1,S3~S5についても同様である。
また、180度回転機構14bについても同様に、品種の大きさや形状に応じて、複数の回転治具14ba,14bbが設置されていてもよい。図13(a)および図13(b)に示すように、回転治具14ba,14bbに貼られたデータマトリックスを上面カメラ13cによって撮影し、撮影した画像を画像処理することで、適切な回転治具14ba,14bbを選定することができる。
(2-3)コレット交換ユニット15
コレット交換ユニット15は、第1搬送ユニット20aから第3搬送ユニット20cの搬送範囲に配置されており、図14に示すように、発光装置S1~S5の種別に対応した複数種類のコレットCが保持されている。
第2搬送ユニット20bは、上述したコレット選択部34において選択されたコレットCをコレット交換ユニット15から取り出すように、該当するコレットCの上方へ移動し、その位置で下降することで、所望のコレットCが第2搬送ユニット20bに装着される。
コレット交換ユニット15は、第1搬送ユニット20aから第3搬送ユニット20cの搬送範囲に配置されており、図14に示すように、発光装置S1~S5の種別に対応した複数種類のコレットCが保持されている。
第2搬送ユニット20bは、上述したコレット選択部34において選択されたコレットCをコレット交換ユニット15から取り出すように、該当するコレットCの上方へ移動し、その位置で下降することで、所望のコレットCが第2搬送ユニット20bに装着される。
なお、第1搬送ユニット20aおよび第3搬送ユニット20cにコレットCが装着される工程についても同様である。
第1~第3搬送ユニット20a,20b,20cに装着されるコレットCは、図15に示すように、先端部C1と、保持部C2と、円板部C3とを有している。
先端部C1は、図16に示すように、第2搬送ユニット20bにコレットCが装着された状態で下端部となる部分であって、発光装置S1~S5を保持する。
保持部C2は、略円筒形状の上端部分であって、図16に示すように、第2搬送ユニット20bにコレットCが装着される際に、第2搬送ユニット20bによって保持される。
円板部C3は、先端部C1と保持部C2との間に設けられた略円環状の部材であって、その上面には、データマトリックスDMが付与されている。
第1~第3搬送ユニット20a,20b,20cに装着されるコレットCは、図15に示すように、先端部C1と、保持部C2と、円板部C3とを有している。
先端部C1は、図16に示すように、第2搬送ユニット20bにコレットCが装着された状態で下端部となる部分であって、発光装置S1~S5を保持する。
保持部C2は、略円筒形状の上端部分であって、図16に示すように、第2搬送ユニット20bにコレットCが装着される際に、第2搬送ユニット20bによって保持される。
円板部C3は、先端部C1と保持部C2との間に設けられた略円環状の部材であって、その上面には、データマトリックスDMが付与されている。
データマトリックスDMは、上述した第2搬送ユニット20bとともに移動する上面カメラ13cによって撮影された画像を用いて読み取られることで、各コレットCの種類が特定される。
これにより、第2搬送ユニット20bは、上面カメラ13cによって撮影された画像を用いてコレット交換ユニット15に保持されている複数のコレットCの種類を特定しつつ、コレット選択部34において選択されたコレットCを適切に選択して装着することができる。
これにより、第2搬送ユニット20bは、上面カメラ13cによって撮影された画像を用いてコレット交換ユニット15に保持されている複数のコレットCの種類を特定しつつ、コレット選択部34において選択されたコレットCを適切に選択して装着することができる。
(2-4)検査ユニット16
検査ユニット(検査部)16は、図17に示すように、積分球16aと、光度計16bと、タッチセンサと、変位計と、測定ステージ16fと、を有している。
積分球16aは、内面全体に拡散反射率の高い材料が塗布された略球状の部材であって、発光装置S1~S5から出射される光を測定する。より詳細には、積分球16aは、球の中心の直下に移動してきた測定ステージ16fに保持された治具Zの上面にセットされている発光装置S1~S5の出射面S1a~S5a略鉛直上向きに出射される光の光束を測定したり、360度全方位に出射される光の全光束を測定したりする。
光度計16bは、図17に示すように、積分球16aの側方に設けられており、直下に移動してきた測定ステージ16fに保持された治具Zの上面にセットされている発光装置S1~S5の出射面S1a~S5aから略鉛直上向きに出射される光の光度測定を行う。
タッチセンサは、治具Zの位置決め機構として設けられており、測定ステージ16fに搭載された治具Zに当接する。これにより、タッチセンサは、発光装置S1~S5の光学検査を実施する際の治具Zの位置ずれを検出する。より具体的には、タッチセンサは、X軸方向およびY軸方向における位置ずれを検出し、その検出結果に応じて、測定ステージ16fの位置が補正されることで、治具Zが位置決めされる。
検査ユニット(検査部)16は、図17に示すように、積分球16aと、光度計16bと、タッチセンサと、変位計と、測定ステージ16fと、を有している。
積分球16aは、内面全体に拡散反射率の高い材料が塗布された略球状の部材であって、発光装置S1~S5から出射される光を測定する。より詳細には、積分球16aは、球の中心の直下に移動してきた測定ステージ16fに保持された治具Zの上面にセットされている発光装置S1~S5の出射面S1a~S5a略鉛直上向きに出射される光の光束を測定したり、360度全方位に出射される光の全光束を測定したりする。
光度計16bは、図17に示すように、積分球16aの側方に設けられており、直下に移動してきた測定ステージ16fに保持された治具Zの上面にセットされている発光装置S1~S5の出射面S1a~S5aから略鉛直上向きに出射される光の光度測定を行う。
タッチセンサは、治具Zの位置決め機構として設けられており、測定ステージ16fに搭載された治具Zに当接する。これにより、タッチセンサは、発光装置S1~S5の光学検査を実施する際の治具Zの位置ずれを検出する。より具体的には、タッチセンサは、X軸方向およびY軸方向における位置ずれを検出し、その検出結果に応じて、測定ステージ16fの位置が補正されることで、治具Zが位置決めされる。
変位計は、治具Zの位置決め機構として設けられており、測定ステージ16fが移動する開口の裏側付近に配置されており、測定位置へ移動してきた測定ステージ16fの治具Zの高さ方向における位置ずれを検出する。これにより、変位計は、Z軸方向における位置ずれを検出し、その検出結果に応じて、測定ステージ16fの位置が補正され、治具Zが位置決めされる。
測定ステージ16fは、搬送中の発光装置S1~S5の種別に対応する治具Zを治具交換ハンド18aから受け取って、積分球16aおよび光度計16bの下方に形成された開口から、積分球16aあるいは光度計16bの直下まで、治具Zを搬送する。測定ステージ16fによって、積分球16aあるいは光度計16bの直下に搬送された治具Zは、上面にセットされた発光装置S1~S5に通電し、発光装置S1~S5(出射面S1a~S5a)から略鉛直上向きに光を出射させる。
これにより、種類が異なる複数の発光装置S1~S5ごとに適正な治具Zを用いて、検査ユニット16において、積分球16aおよび光度計16bによる積分球測定および光度測定を自動的に実施することができる。
測定ステージ16fは、搬送中の発光装置S1~S5の種別に対応する治具Zを治具交換ハンド18aから受け取って、積分球16aおよび光度計16bの下方に形成された開口から、積分球16aあるいは光度計16bの直下まで、治具Zを搬送する。測定ステージ16fによって、積分球16aあるいは光度計16bの直下に搬送された治具Zは、上面にセットされた発光装置S1~S5に通電し、発光装置S1~S5(出射面S1a~S5a)から略鉛直上向きに光を出射させる。
これにより、種類が異なる複数の発光装置S1~S5ごとに適正な治具Zを用いて、検査ユニット16において、積分球16aおよび光度計16bによる積分球測定および光度測定を自動的に実施することができる。
(2-5)治具Z
本実施形態の検査装置10では、図18に示す複数種類の治具Zを用いて、検査ユニット16へ発光装置S1~S5を1個ずつ搬送し、所定の検査を実施する。
治具Zは、図18に示すように、治具保持部18dによって、図中の矢印方向において移動可能な状態で複数保持されている。治具Zは、発光装置S1~S5の種別に合わせて9種類用意されており、それぞれ、発光装置S1~S5の形状や大きさの違いに合わせて、上面に設けられた設置場所(設置部Z1c~Z3c(図19(a)~図19(c)参照)の形状が異なっている。そして、治具Zは、上述した治具選択部35において選択されると、コードリーダ18bにおける読取り結果および治具センサ18cにおける検出結果に基づいて、治具交換ハンド18aによって保持され、治具交換ユニット18から取り出される(図中一点鎖線矢印参照)。なお、治具Zは、その個数や配列について、特に限定されるものではない。また、予備の治具が備えられていてもよい。
本実施形態の検査装置10では、図18に示す複数種類の治具Zを用いて、検査ユニット16へ発光装置S1~S5を1個ずつ搬送し、所定の検査を実施する。
治具Zは、図18に示すように、治具保持部18dによって、図中の矢印方向において移動可能な状態で複数保持されている。治具Zは、発光装置S1~S5の種別に合わせて9種類用意されており、それぞれ、発光装置S1~S5の形状や大きさの違いに合わせて、上面に設けられた設置場所(設置部Z1c~Z3c(図19(a)~図19(c)参照)の形状が異なっている。そして、治具Zは、上述した治具選択部35において選択されると、コードリーダ18bにおける読取り結果および治具センサ18cにおける検出結果に基づいて、治具交換ハンド18aによって保持され、治具交換ユニット18から取り出される(図中一点鎖線矢印参照)。なお、治具Zは、その個数や配列について、特に限定されるものではない。また、予備の治具が備えられていてもよい。
治具交換ハンド18aによって取り出された治具Zの上面には、検査対象となる発光装置S1~S5が、第2搬送ユニット20bのコレットCによって把持された状態で搬送され、出射面S1a等が上向きになるように載置される。
これにより、治具Zは、その上面に検査対象となる発光装置S1~S5が適正な姿勢で載置された状態で検査ユニット16へ搬送されることで、検査ユニット16における所望の検査を自動的に実施することができる。
これにより、治具Zは、その上面に検査対象となる発光装置S1~S5が適正な姿勢で載置された状態で検査ユニット16へ搬送されることで、検査ユニット16における所望の検査を自動的に実施することができる。
ここで、9種類用意された複数の治具Zのうち、例えば、3種類の第1~第3治具Z1~Z3について、図19(a)~図19(c)を用いて詳しく説明すれば以下の通りである。
第1治具Z1は、例えば、発光装置S2を挟み込んで保持するタイプの治具であって、図19(a)に示すように、円筒部Z1a、治具ピンZ1b、設置部Z1cを有している。
円筒部Z1aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z1aの上面には、検査対象となる発光装置S2を保持する設置部Z1cが設けられている。
治具ピンZ1bは、円筒部Z1aの下部側面に取り付けられており、円筒部Z1aに向かって押し込むように操作されると、部品が移動して、設置部Z1cに発光装置S2を保持するための隙間が形成される。
設置部Z1cは、治具ピンZ1bが操作されて形成される隙間において、検査対象となる発光装置S2を挟み込むようにして保持する。
第1治具Z1は、例えば、発光装置S2を挟み込んで保持するタイプの治具であって、図19(a)に示すように、円筒部Z1a、治具ピンZ1b、設置部Z1cを有している。
円筒部Z1aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z1aの上面には、検査対象となる発光装置S2を保持する設置部Z1cが設けられている。
治具ピンZ1bは、円筒部Z1aの下部側面に取り付けられており、円筒部Z1aに向かって押し込むように操作されると、部品が移動して、設置部Z1cに発光装置S2を保持するための隙間が形成される。
設置部Z1cは、治具ピンZ1bが操作されて形成される隙間において、検査対象となる発光装置S2を挟み込むようにして保持する。
なお、図19(a)に示す第1治具Z1は、設置部Z1cに、発光装置S2の裏面側(出射面S2aとは反対側)に設けられた電極に対して電力を付与する電極部が設けられている。
これにより、第1治具Z1の設置部Z1cに発光装置S2をセットする際には、治具ピンZ1bが操作され、設置部Z1cに発光装置S2を保持する隙間を形成した状態で、第2搬送ユニット20bによって上方から発光装置S2を降下させる。このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S2が設置部Z1cの隙間内にセットされる。そして、治具ピンZ1bの操作が解除され、設置部Z1cの隙間を狭める方向に部品が移動することで、設置部Z1cにおいて発光装置S2を保持することができる。
そして、設置部Z1cに発光装置S2を保持した状態で、発光装置S2の電極に電力を供給することで、上面側の出射面S2aから光を出射させて、上述した光学検査を実施することができる。
これにより、第1治具Z1の設置部Z1cに発光装置S2をセットする際には、治具ピンZ1bが操作され、設置部Z1cに発光装置S2を保持する隙間を形成した状態で、第2搬送ユニット20bによって上方から発光装置S2を降下させる。このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S2が設置部Z1cの隙間内にセットされる。そして、治具ピンZ1bの操作が解除され、設置部Z1cの隙間を狭める方向に部品が移動することで、設置部Z1cにおいて発光装置S2を保持することができる。
そして、設置部Z1cに発光装置S2を保持した状態で、発光装置S2の電極に電力を供給することで、上面側の出射面S2aから光を出射させて、上述した光学検査を実施することができる。
第2治具Z2は、例えば、発光装置S1を吸着して保持するタイプの治具であって、図19(b)に示すように、円筒部Z2a、設置部Z2bを有している。
円筒部Z2aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z2aの上面には、検査対象となる発光装置S1を保持する設置部Z2bが設けられている。
設置部Z2bは、空気を吸入することで、設置された発光装置S1を吸着する。
なお、図19(b)に示す第1治具Z2は、設置部Z2bに、発光装置S1の裏面側(出射面S1aの反対側)に設けられた電極に対して電力を付与する電極部が設けられている。
これにより、第2治具Z2の設置部Z2cに発光装置S1をセットする際には、第2搬送ユニット20bによって上方から発光装置S1を降下させる。このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S1が設置部Z2c上にセットされる。そして、設置部Z2cによる吸着をオンにすることで、設置部Z2cにおいて発光装置S1を保持することができる。
円筒部Z2aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z2aの上面には、検査対象となる発光装置S1を保持する設置部Z2bが設けられている。
設置部Z2bは、空気を吸入することで、設置された発光装置S1を吸着する。
なお、図19(b)に示す第1治具Z2は、設置部Z2bに、発光装置S1の裏面側(出射面S1aの反対側)に設けられた電極に対して電力を付与する電極部が設けられている。
これにより、第2治具Z2の設置部Z2cに発光装置S1をセットする際には、第2搬送ユニット20bによって上方から発光装置S1を降下させる。このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S1が設置部Z2c上にセットされる。そして、設置部Z2cによる吸着をオンにすることで、設置部Z2cにおいて発光装置S1を保持することができる。
そして、設置部Z2cに発光装置S1を保持した状態で、発光装置S1の電極に電力を供給することで、上面側の出射面S1aから光を出射させて、上述した光学検査を実施することができる。
第3治具Z3は、例えば、発光装置S4を側方からスライド挿入しプローブ(電極部)Z3dによって保持するタイプの治具であって、図19(c)に示すように、円筒部Z3a、治具ピンZ3b、設置部Z3c、プローブ(電極部)Z3dを有している。
円筒部Z3aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z3aの上面には、検査対象となる発光装置S4を保持する設置部Z3cが設けられている。
治具ピンZ3bは、円筒部Z3aの下部側面に取り付けられており、円筒部Z3aに向かって押し込むように操作されると、プローブZ3dが上昇して、設置部Z3cに発光装置S4を側方からスライド挿入するための空間が形成される。
第3治具Z3は、例えば、発光装置S4を側方からスライド挿入しプローブ(電極部)Z3dによって保持するタイプの治具であって、図19(c)に示すように、円筒部Z3a、治具ピンZ3b、設置部Z3c、プローブ(電極部)Z3dを有している。
円筒部Z3aは、直径が異なる2つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Z3aの上面には、検査対象となる発光装置S4を保持する設置部Z3cが設けられている。
治具ピンZ3bは、円筒部Z3aの下部側面に取り付けられており、円筒部Z3aに向かって押し込むように操作されると、プローブZ3dが上昇して、設置部Z3cに発光装置S4を側方からスライド挿入するための空間が形成される。
設置部Z3cは、治具ピンZ3bが操作されて形成される空間において、検査対象となる発光装置S4をプローブZ3dによって押さえるようにして保持する。
プローブZ3dは、設置部Z3cにおける発光装置S4の載置面から上方に隙間を空けて設けられている。プローブZ3dは、設置部Z3cに発光装置S4がセットされると、発光装置S4の上面側(出射面S4aと同じ側)に設けられた電極と当接し、発光装置S4に対して電力を供給する。
ここで、検査対象となる発光装置S4は、図2(d)に示すように、他の発光装置S1~S3,S5とは異なり、出射面S4aと同じ上面に、電極が設けられている。
そこで、治具Z3では、発光装置S4の電極の位置に合わせて、設置部Z3cにおける発光装置S4の上面に対応する位置に、プローブZ3dが設けられている。
プローブZ3dは、設置部Z3cにおける発光装置S4の載置面から上方に隙間を空けて設けられている。プローブZ3dは、設置部Z3cに発光装置S4がセットされると、発光装置S4の上面側(出射面S4aと同じ側)に設けられた電極と当接し、発光装置S4に対して電力を供給する。
ここで、検査対象となる発光装置S4は、図2(d)に示すように、他の発光装置S1~S3,S5とは異なり、出射面S4aと同じ上面に、電極が設けられている。
そこで、治具Z3では、発光装置S4の電極の位置に合わせて、設置部Z3cにおける発光装置S4の上面に対応する位置に、プローブZ3dが設けられている。
これにより、第3治具Z3の設置部Z3cに発光装置S4をセットする際には、治具ピンZ3bが操作され、設置部Z3cにおけるプローブZ3dを上昇させた状態で、第2搬送ユニット20bによって側方から発光装置S4をスライド移動させる。
このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S4が設置部Z3cの空間内にセットされる。そして、治具ピンZ3bの操作が解除され、設置部Z3cにセットされた発光装置S4の電極に対応する位置へプローブZ3dが上方から降下することで、設置部Z3cにおいて発光装置S4を保持される。
これにより、出射面S4aと同じ上面に電極が設けられた発光装置S4の検査を実施する場合でも、上面を保持するプローブZ3dを上下させて、発光装置S4の保持と電極への電力供給とを両立させ、適正な検査を実施することができる。
このとき、コレットCによる吸着をオフにすることで、第2搬送ユニット20bのコレットCに保持された発光装置S4が設置部Z3cの空間内にセットされる。そして、治具ピンZ3bの操作が解除され、設置部Z3cにセットされた発光装置S4の電極に対応する位置へプローブZ3dが上方から降下することで、設置部Z3cにおいて発光装置S4を保持される。
これにより、出射面S4aと同じ上面に電極が設けられた発光装置S4の検査を実施する場合でも、上面を保持するプローブZ3dを上下させて、発光装置S4の保持と電極への電力供給とを両立させ、適正な検査を実施することができる。
以上のように、本実施形態の検査装置10は、所定の供給位置に供給された複数の発光装置S1~S5を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う装置であって、情報取得部31、種別特定部33、治具選択部35、搬送機構20、コレットC、検査ユニット16を備える。情報取得部31は、発光装置S1~S5の情報を取得する。種別特定部33は、供給位置に供給された発光装置S1~S5の種別を特定する。治具選択部35は、情報取得部31において取得された発光装置S1~S5の情報と種別特定部33において特定された発光装置S1~S5の種別とに基づいて、それぞれの発光装置S1~S5に対応する検査用の治具Zを選択する。コレットCは、搬送機構20によって搬送され、発光装置S1~S5を供給位置において把持して治具Zにおける所定の位置へセットする。検査ユニット16は、検査位置において、治具選択部35において選択された治具Zにセットされた発光装置S1~S5の検査を実施する。
これにより、検査対象となる発光装置S1~S5の種別に応じて適切な検査用の治具Zが選択されて使用される。このため、発光装置S1~S5を1つずつ保持したコレットCが装着された搬送機構20によって、検査対象となる発光装置S1~S5を1つずつ適切な治具Zへと搬送することで、検査ユニット16において適切な検査を自動的に行うことができる。
この結果、発光装置S1~S5の種別に応じて適切なテスト用の治具Zを自動的に選択して、所望の検査を実施することができる。
この結果、発光装置S1~S5の種別に応じて適切なテスト用の治具Zを自動的に選択して、所望の検査を実施することができる。
<発光装置S1~S5の検査方法>
本実施形態の発光装置S1~S5の検査方法は、図20に示すフローチャートに従って、処理を実行する。
すなわち、ステップS11では、情報取得部31が、検査対象となる発光装置S1~S5の情報を取得する(情報取得ステップ)。
次に、ステップS12では、種別特定部33が、上述した通り、検査対象として搬送機構20によって1つずつ搬送される発光装置S1~S5に関するデータに基づいて、各発光装置S1~S5の種別を特定する(種別特定ステップ)。
次に、ステップS13では、コレット選択部34が、ステップS12において特定された発光装置S1~S5の種別情報に基づいて、その種別に対応するコレットCを選択する、これにより、コレットCをコレット交換ユニット15から取り出して搬送機構20に装着する。
次に、ステップS14では、姿勢判定部32が、上述した通り、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて、搬送される発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを判定する。
本実施形態の発光装置S1~S5の検査方法は、図20に示すフローチャートに従って、処理を実行する。
すなわち、ステップS11では、情報取得部31が、検査対象となる発光装置S1~S5の情報を取得する(情報取得ステップ)。
次に、ステップS12では、種別特定部33が、上述した通り、検査対象として搬送機構20によって1つずつ搬送される発光装置S1~S5に関するデータに基づいて、各発光装置S1~S5の種別を特定する(種別特定ステップ)。
次に、ステップS13では、コレット選択部34が、ステップS12において特定された発光装置S1~S5の種別情報に基づいて、その種別に対応するコレットCを選択する、これにより、コレットCをコレット交換ユニット15から取り出して搬送機構20に装着する。
次に、ステップS14では、姿勢判定部32が、上述した通り、側面カメラ12および裏面カメラ13aによって撮影された発光装置S1~S5を含む画像を用いて、搬送される発光装置S1~S5の姿勢が適正であるか否かを判定する。
ここで、本実施形態では、上述した通り、検査ユニット16における発光装置S1~S5の検査に適した出射面S1a~S5aが鉛直上向きとなる姿勢を適正な姿勢として判定する。
次に、ステップS15では、姿勢判定部32が、ステップS14における姿勢判定の結果、姿勢の補正が必要か否かを判定する。ここで、姿勢の補正が必要である場合(出射面S1a~S5aが横向きあるいは裏面向き)には、ステップS16へ進む。一方、姿勢の補正が必要ではない場合(すでに出射面S1a~S5aが上向きである場合)には、ステップS17へ進む。
次に、ステップS16では、ステップS15において姿勢の補正が必要と判定されたため、発光装置の姿勢を補正する。例えば、姿勢補正ユニット14が、発光装置S1~S5の姿勢を出射面S1a~S5aが上を向くように、90度あるいは180度回転させる。
次に、ステップS15では、姿勢判定部32が、ステップS14における姿勢判定の結果、姿勢の補正が必要か否かを判定する。ここで、姿勢の補正が必要である場合(出射面S1a~S5aが横向きあるいは裏面向き)には、ステップS16へ進む。一方、姿勢の補正が必要ではない場合(すでに出射面S1a~S5aが上向きである場合)には、ステップS17へ進む。
次に、ステップS16では、ステップS15において姿勢の補正が必要と判定されたため、発光装置の姿勢を補正する。例えば、姿勢補正ユニット14が、発光装置S1~S5の姿勢を出射面S1a~S5aが上を向くように、90度あるいは180度回転させる。
次に、ステップS17では、治具交換ハンド18aが、ステップS12において特定された発光装置S1~S5の種別情報に基づいて、検査対象となる発光装置S1~S5に対応する検査用の治具Zを選択する。これにより、検査用の治具Zを治具交換ユニット18から取り出す(治具選択ステップ)。
次に、ステップS18では、選択された治具へ発光装置を搬送する。例えば、搬送機構20(第2搬送ユニット20b)が、コレットCを用いて、適正な姿勢の発光装置S1~S5を保持した状態で、検査用の治具Zの上面へ搬送する(搬送ステップ)。
次に、ステップS19では、発光装置の検査を実施する。例えば、検査ユニット16が、検査用の治具Zの上面にセットされた発光装置S1~S5について、所定の検査位置において検査を実施する(検査ステップ)。
次に、ステップS18では、選択された治具へ発光装置を搬送する。例えば、搬送機構20(第2搬送ユニット20b)が、コレットCを用いて、適正な姿勢の発光装置S1~S5を保持した状態で、検査用の治具Zの上面へ搬送する(搬送ステップ)。
次に、ステップS19では、発光装置の検査を実施する。例えば、検査ユニット16が、検査用の治具Zの上面にセットされた発光装置S1~S5について、所定の検査位置において検査を実施する(検査ステップ)。
次に、ステップS20では、排出ユニット19が、ステップS19において検査が実施された発光装置S1~S5を、排出ステージ19aから排出トレイ19bへと排出する。
なお、ステップS19における検査の結果、十分な光度が得られない等の不具合が生じた発光装置S1~S5については、排出トレイ19bではなく、所定の廃棄トレイ等へ排出される。
次に、ステップS21では、検査が完了して排出トレイ19bへ排出された発光装置S1~S5を排出トレイ19bから取り出して、実装基板上へ配置する。
これにより、検査が実施され正常と判定された発光装置S1~S5が実装基板上に取り付けられたモジュールを製造することができる。
なお、ステップS19における検査の結果、十分な光度が得られない等の不具合が生じた発光装置S1~S5については、排出トレイ19bではなく、所定の廃棄トレイ等へ排出される。
次に、ステップS21では、検査が完了して排出トレイ19bへ排出された発光装置S1~S5を排出トレイ19bから取り出して、実装基板上へ配置する。
これにより、検査が実施され正常と判定された発光装置S1~S5が実装基板上に取り付けられたモジュールを製造することができる。
[他の実施形態]
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(A)
上記実施形態では、発光装置の検査装置および検査方法として、本発明の一実施形態を実現した例を挙げて説明した。
例えば、上述した発光装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムとして本実施形態を実現してもよい。
この検査プログラムは、検査装置に搭載されたメモリ(記憶部)に保存されており、CPUがメモリに保存された検査プログラムを読み込んで、ハードウェアに各ステップを実行させる。より具体的には、CPUがプログラムを読み込んで、上述した情報取得ステップと、種別特定ステップと、治具選択ステップと、搬送ステップと、検査ステップとを実行することで、上記と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態は、発光装置の検査プログラムを保存した記録媒体として実現されてもよい。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(A)
上記実施形態では、発光装置の検査装置および検査方法として、本発明の一実施形態を実現した例を挙げて説明した。
例えば、上述した発光装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムとして本実施形態を実現してもよい。
この検査プログラムは、検査装置に搭載されたメモリ(記憶部)に保存されており、CPUがメモリに保存された検査プログラムを読み込んで、ハードウェアに各ステップを実行させる。より具体的には、CPUがプログラムを読み込んで、上述した情報取得ステップと、種別特定ステップと、治具選択ステップと、搬送ステップと、検査ステップとを実行することで、上記と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態は、発光装置の検査プログラムを保存した記録媒体として実現されてもよい。
(B)
上記実施形態では、検査対象となる発光装置S1~S5の種別(形状、大きさ等)に応じて選択される9種類のコレットCがコレット交換ユニット15に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類のコレット(把持部材)がコレット交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類のコレットがコレット交換ユニットに用意されていてもよい。
(C)
上記実施形態では、検査対象となる発光装置S1~S5の種別(形状、大きさ等)に応じて選択される9種類の治具Zが治具交換ユニット18に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよい。
上記実施形態では、検査対象となる発光装置S1~S5の種別(形状、大きさ等)に応じて選択される9種類のコレットCがコレット交換ユニット15に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類のコレット(把持部材)がコレット交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類のコレットがコレット交換ユニットに用意されていてもよい。
(C)
上記実施形態では、検査対象となる発光装置S1~S5の種別(形状、大きさ等)に応じて選択される9種類の治具Zが治具交換ユニット18に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよい。
(D)
上記実施形態では、検査装置10が、検査ユニット16において実施される発光装置S1~S5の検査として、積分球16aおよび光度計16bを用いた積分球測定および光度測定とを実施する例を挙げて説明した。
例えば、上記検査以外の検査を実施する検査装置であってもよい。
この場合でも、情報取得部において取得された発光装置の種別に基づいて、適切な治具と把持部材とを用いて各種検査を自動的に実施することができる。
上記実施形態では、検査装置10が、検査ユニット16において実施される発光装置S1~S5の検査として、積分球16aおよび光度計16bを用いた積分球測定および光度測定とを実施する例を挙げて説明した。
例えば、上記検査以外の検査を実施する検査装置であってもよい。
この場合でも、情報取得部において取得された発光装置の種別に基づいて、適切な治具と把持部材とを用いて各種検査を自動的に実施することができる。
(E)
上記実施形態では、発光装置S1~S5の搬送中の姿勢を判定し、適正な姿勢ではないと判定されると、姿勢補正ユニット14において、90度あるいは180度、回転させることで、発光装置S1~S5の姿勢を補正する例を挙げて説明した。
例えば、薄板状の発光装置のみを検査対象とする場合には、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を180度回転させる180度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
あるいは、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を90度回転させる90度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
この場合には、発光装置の90度回転を2回繰り返すことで、180度回転させることができるため、90度回転機構のみを含む構成とすることで、姿勢補正ユニットの構成を簡素化することができる。
上記実施形態では、発光装置S1~S5の搬送中の姿勢を判定し、適正な姿勢ではないと判定されると、姿勢補正ユニット14において、90度あるいは180度、回転させることで、発光装置S1~S5の姿勢を補正する例を挙げて説明した。
例えば、薄板状の発光装置のみを検査対象とする場合には、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を180度回転させる180度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
あるいは、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を90度回転させる90度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
この場合には、発光装置の90度回転を2回繰り返すことで、180度回転させることができるため、90度回転機構のみを含む構成とすることで、姿勢補正ユニットの構成を簡素化することができる。
(F)
上記実施形態では、検査装置10内に、発光装置S1~S5に関する種別情報、発光装置の検査結果等の各種情報を保存する記憶部23が設けられている例を挙げて説明した。
例えば、発光装置の種別情報、検査結果等の各種情報は、検査装置の外部に設けられたサーバ、クラウド空間等に保存されていてもよい。
なお、請求項の構成において、以下に示す[項1]から[項20]のような従属関係であっても構わない。
以上、説明した構成を採用することによって、1つの検査部(積分球)を用いて、大きさや形状等の異なる種類の発光装置を10秒以内毎に次々測定することができる。このため、検査部による時間や温度等に伴う測定バラツキを低減することができる。また、異なる種類の発光装置を、1種の検査装置で測定することができるため、発光装置ごとの測定バラツキを低減することができる。
上記実施形態では、検査装置10内に、発光装置S1~S5に関する種別情報、発光装置の検査結果等の各種情報を保存する記憶部23が設けられている例を挙げて説明した。
例えば、発光装置の種別情報、検査結果等の各種情報は、検査装置の外部に設けられたサーバ、クラウド空間等に保存されていてもよい。
なお、請求項の構成において、以下に示す[項1]から[項20]のような従属関係であっても構わない。
以上、説明した構成を採用することによって、1つの検査部(積分球)を用いて、大きさや形状等の異なる種類の発光装置を10秒以内毎に次々測定することができる。このため、検査部による時間や温度等に伴う測定バラツキを低減することができる。また、異なる種類の発光装置を、1種の検査装置で測定することができるため、発光装置ごとの測定バラツキを低減することができる。
また、異なる種類の発光装置であっても、発光装置に応じて適切なコレットや治具を選定し、自動交換し、発光装置を適切な姿勢に回転等させて治具に適切に配置し、自動で測定することができ、さらに自動で排出することができる等、発光装置の供給から、搬送、検査、測定、排出まで全て自動で行うことができる。
この結果、発光装置の検査において、従来よりも大幅な時間短縮と作業効率の向上を図ることができる。さらに、依頼ID等を予め付与しておくことで、全ての工程の検査、測定結果を確認することができる。
この結果、発光装置の検査において、従来よりも大幅な時間短縮と作業効率の向上を図ることができる。さらに、依頼ID等を予め付与しておくことで、全ての工程の検査、測定結果を確認することができる。
[項1]
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査装置であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得部と、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定部と、
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択部と、
前記供給位置から前記検査位置へと前記半導体装置を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送され、前記半導体装置を前記供給位置において把持して前記治具における所定の位置へセットする把持部材と、
前記検査位置において、前記治具選択部において選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査部と、
を備えている半導体装置の検査装置。
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査装置であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得部と、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定部と、
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択部と、
前記供給位置から前記検査位置へと前記半導体装置を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送され、前記半導体装置を前記供給位置において把持して前記治具における所定の位置へセットする把持部材と、
前記検査位置において、前記治具選択部において選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査部と、
を備えている半導体装置の検査装置。
[項2]
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する前記把持部材を選択する把持部材選択部を、さらに備えている、項1に記載の検査装置。
[項3]
前記半導体装置の情報は、前記半導体装置の形状、大きさ、重量、電極の位置、対応する治具の情報を含む、項1または2に記載の検査装置。
[項4]
前記供給位置に供給された前記半導体装置の姿勢を判定する姿勢判定部を、さらに備えている、項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する前記把持部材を選択する把持部材選択部を、さらに備えている、項1に記載の検査装置。
[項3]
前記半導体装置の情報は、前記半導体装置の形状、大きさ、重量、電極の位置、対応する治具の情報を含む、項1または2に記載の検査装置。
[項4]
前記供給位置に供給された前記半導体装置の姿勢を判定する姿勢判定部を、さらに備えている、項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
[項5]
前記姿勢判定部において判定された前記半導体装置の姿勢に応じて、前記半導体装置の姿勢を所定のピックアップ姿勢に補正する姿勢補正部を、さらに備えている、項4に記載の検査装置。
[項6]
前記姿勢補正部は、前記半導体装置に対して振動を付与する、項5に記載の検査装置。
[項7]
前記姿勢補正部は、前記半導体装置の向きを90度あるいは180度変更する、項5に記載の検査装置。
[項8]
前記種別特定部は、前記半導体装置を複数の方向から撮影する複数の撮像装置において撮影された画像に基づいて、前記半導体装置の種別を特定する、項1から7のいずれか一項に記載の検査装置。
前記姿勢判定部において判定された前記半導体装置の姿勢に応じて、前記半導体装置の姿勢を所定のピックアップ姿勢に補正する姿勢補正部を、さらに備えている、項4に記載の検査装置。
[項6]
前記姿勢補正部は、前記半導体装置に対して振動を付与する、項5に記載の検査装置。
[項7]
前記姿勢補正部は、前記半導体装置の向きを90度あるいは180度変更する、項5に記載の検査装置。
[項8]
前記種別特定部は、前記半導体装置を複数の方向から撮影する複数の撮像装置において撮影された画像に基づいて、前記半導体装置の種別を特定する、項1から7のいずれか一項に記載の検査装置。
[項9]
前記検査部は、前記半導体装置に通電させた状態で、前記半導体装置から発せられる光の光束、輝度、配向の少なくとも1つについて検査を行う、項1から8のいずれか一項に記載の検査装置。
[項10]
前記検査部は、積分球および光度計の少なくとも1つを含む、項1から9のいずれか一項に記載の検査装置。
[項11]
前記検査部における検査が完了した前記半導体装置を所定の排出位置へ排出する排出機構を、さらに備えている、項1から10のいずれか一項に記載の検査装置。
前記検査部は、前記半導体装置に通電させた状態で、前記半導体装置から発せられる光の光束、輝度、配向の少なくとも1つについて検査を行う、項1から8のいずれか一項に記載の検査装置。
[項10]
前記検査部は、積分球および光度計の少なくとも1つを含む、項1から9のいずれか一項に記載の検査装置。
[項11]
前記検査部における検査が完了した前記半導体装置を所定の排出位置へ排出する排出機構を、さらに備えている、項1から10のいずれか一項に記載の検査装置。
[項12]
前記半導体装置に関する情報を保存する記憶部を、さらに備え、
前記情報取得部は、前記記憶部から前記情報を取得する、項1から11のいずれか一項に記載の検査装置。
[項13]
前記記憶部は、前記半導体装置の種別ごとの測定条件を保存しており、
使用者からの検査指示が入力される入力受付部と、
前記記憶部に保存された前記測定条件と、前記入力受付部に入力された検査指示の情報に基づいて、前記半導体装置の種別ごとに前記供給位置への配置図を作成する配置図作成部と、
前記配置図作成部において作成された配置図を表示する表示部と、
さらに備えている、項12に記載の検査装置。
前記半導体装置に関する情報を保存する記憶部を、さらに備え、
前記情報取得部は、前記記憶部から前記情報を取得する、項1から11のいずれか一項に記載の検査装置。
[項13]
前記記憶部は、前記半導体装置の種別ごとの測定条件を保存しており、
使用者からの検査指示が入力される入力受付部と、
前記記憶部に保存された前記測定条件と、前記入力受付部に入力された検査指示の情報に基づいて、前記半導体装置の種別ごとに前記供給位置への配置図を作成する配置図作成部と、
前記配置図作成部において作成された配置図を表示する表示部と、
さらに備えている、項12に記載の検査装置。
[項14]
前記供給位置には、検査対象となる複数の種別の半導体装置が供給される供給部を、さらに備えている、項1から13のいずれか一項に記載の検査装置。
[項15]
前記供給部は、複数の種別の半導体装置が供給される多段構造を有している、項14に記載の検査装置。
[項16]
前記供給部にセットされ、同一平面上において複数の区画を有しており、複数の種別ごとの前記半導体装置を保持する供給トレイを、さらに備えている、項14または15に記載の検査装置。
前記供給位置には、検査対象となる複数の種別の半導体装置が供給される供給部を、さらに備えている、項1から13のいずれか一項に記載の検査装置。
[項15]
前記供給部は、複数の種別の半導体装置が供給される多段構造を有している、項14に記載の検査装置。
[項16]
前記供給部にセットされ、同一平面上において複数の区画を有しており、複数の種別ごとの前記半導体装置を保持する供給トレイを、さらに備えている、項14または15に記載の検査装置。
[項17]
前記治具は、前記半導体装置に対して電流を供給する電極部を有している、項1から16のいずれか一項に記載の検査装置。
[項18]
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法。
前記治具は、前記半導体装置に対して電流を供給する電極部を有している、項1から16のいずれか一項に記載の検査装置。
[項18]
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法。
[項19]
項18に記載の半導体装置の検査方法によって検査された前記半導体装置を、実装基板上に配置するステップを備えた、
モジュールの製造方法。
[項20]
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査プログラムであって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法を、コンピュータに実行させる半導体装置の検査プログラム。
項18に記載の半導体装置の検査方法によって検査された前記半導体装置を、実装基板上に配置するステップを備えた、
モジュールの製造方法。
[項20]
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査プログラムであって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法を、コンピュータに実行させる半導体装置の検査プログラム。
本開示の発光装置の検査装置は、発光装置の種別に応じて適切な治具を自動的に選択して検査を実施することができるという効果を奏することから、各種発光装置の検査を実施する検査装置に対して広く適用可能である。
10 検査装置
10a 本体フレーム
10b,10c,10d レール
11 供給ユニット(供給部)
11a 供給トレイ
11aa トレイ保持部
11b 供給ステージ
11c 加振ユニット
11d 突き上げユニット
11da 円筒部
11db 開口
11dc 針部
12 側面カメラ
13a,13b 裏面カメラ
13c 上面カメラ
14 姿勢補正ユニット(姿勢補正部)
14a 90度回転機構
14aa 回転治具
14b 180度回転機構
14ba,14bb 回転治具
14bc 回転軸
15 コレット交換ユニット
16 検査ユニット(検査部)
16a 積分球
16b 光度計
16f 測定ステージ
17 表示部
18 治具交換ユニット
18a 治具交換ハンド
18b コードリーダ
18c 治具センサ
19 排出ユニット
19a 排出ステージ
19b 排出トレイ
20 搬送機構
20a 第1搬送ユニット
20b 第2搬送ユニット
20c 第3搬送ユニット
21 入力受付部
23 記憶部
30 制御部
31 情報取得部
32 姿勢判定部
33 種別特定部
34 コレット選択部(把持部材選択部)
35 治具選択部
36 検査制御部
37 排出制御部
38 配置図作成部
39 表示制御部
C コレット(把持部材)
C1 先端部
C2 保持部
C3 円板部
DM データマトリックス
g 溝
S1 発光装置
S1a 出射面
S2 発光装置
S2a 出射面
S3 発光装置
S3a 出射面
S4 発光装置
S4a 出射面
S4b 基板
S5 発光装置
S5a 出射面
T1 トレイ
T1a 粘着膜
T1b 枠
T2 トレイ
T2a 区分け部
T2b 枠
Z 治具
Z1 第1治具
Z1a 円筒部
Z1b 治具ピン
Z1c 設置部
Z2 第2治具
Z2a 円筒部
Z2b 設置部
Z3 第3治具
Z3a 円筒部
Z3b 治具ピン
Z3c 設置部
Z3d プローブ(電極部)
10a 本体フレーム
10b,10c,10d レール
11 供給ユニット(供給部)
11a 供給トレイ
11aa トレイ保持部
11b 供給ステージ
11c 加振ユニット
11d 突き上げユニット
11da 円筒部
11db 開口
11dc 針部
12 側面カメラ
13a,13b 裏面カメラ
13c 上面カメラ
14 姿勢補正ユニット(姿勢補正部)
14a 90度回転機構
14aa 回転治具
14b 180度回転機構
14ba,14bb 回転治具
14bc 回転軸
15 コレット交換ユニット
16 検査ユニット(検査部)
16a 積分球
16b 光度計
16f 測定ステージ
17 表示部
18 治具交換ユニット
18a 治具交換ハンド
18b コードリーダ
18c 治具センサ
19 排出ユニット
19a 排出ステージ
19b 排出トレイ
20 搬送機構
20a 第1搬送ユニット
20b 第2搬送ユニット
20c 第3搬送ユニット
21 入力受付部
23 記憶部
30 制御部
31 情報取得部
32 姿勢判定部
33 種別特定部
34 コレット選択部(把持部材選択部)
35 治具選択部
36 検査制御部
37 排出制御部
38 配置図作成部
39 表示制御部
C コレット(把持部材)
C1 先端部
C2 保持部
C3 円板部
DM データマトリックス
g 溝
S1 発光装置
S1a 出射面
S2 発光装置
S2a 出射面
S3 発光装置
S3a 出射面
S4 発光装置
S4a 出射面
S4b 基板
S5 発光装置
S5a 出射面
T1 トレイ
T1a 粘着膜
T1b 枠
T2 トレイ
T2a 区分け部
T2b 枠
Z 治具
Z1 第1治具
Z1a 円筒部
Z1b 治具ピン
Z1c 設置部
Z2 第2治具
Z2a 円筒部
Z2b 設置部
Z3 第3治具
Z3a 円筒部
Z3b 治具ピン
Z3c 設置部
Z3d プローブ(電極部)
Claims (20)
- 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査装置であって、
前記発光装置の情報を取得する情報取得部と、
前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定部と、
前記情報取得部において取得された前記発光装置の情報と前記種別特定部において特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択部と、
前記供給位置から前記検査位置へと前記発光装置を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送され、前記発光装置を前記供給位置において把持して前記治具における所定の位置へセットする把持部材と、
前記検査位置において、前記治具選択部において選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査部と、
を備えている発光装置の検査装置。 - 前記情報取得部において取得された前記発光装置の情報と前記種別特定部において特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する前記把持部材を選択する把持部材選択部を、さらに備えている、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記発光装置の情報は、前記発光装置の形状、大きさ、重量、電極の位置、対応する治具の情報を含む、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記供給位置に供給された前記発光装置の姿勢を判定する姿勢判定部を、さらに備えている、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記姿勢判定部において判定された前記発光装置の姿勢に応じて、前記発光装置の姿勢を所定のピックアップ姿勢に補正する姿勢補正部を、さらに備えている、
請求項4に記載の検査装置。 - 前記姿勢補正部は、前記発光装置に対して振動を付与する、
請求項5に記載の検査装置。 - 前記姿勢補正部は、前記発光装置の向きを90度あるいは180度変更する、
請求項5に記載の検査装置。 - 前記種別特定部は、前記発光装置を複数の方向から撮影する複数の撮像装置において撮影された画像に基づいて、前記発光装置の種別を特定する、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記検査部は、前記発光装置に通電させた状態で、前記発光装置から発せられる光の光束、輝度、配向の少なくとも1つについて検査を行う、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記検査部は、積分球および光度計の少なくとも1つを含む、
請求項9に記載の検査装置。 - 前記検査部における検査が完了した前記発光装置を所定の排出位置へ排出する排出機構を、さらに備えている、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記発光装置に関する情報を保存する記憶部を、さらに備え、
前記情報取得部は、前記記憶部から前記情報を取得する、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記記憶部は、前記発光装置の種別ごとの測定条件を保存しており、
使用者からの検査指示が入力される入力受付部と、
前記記憶部に保存された前記測定条件と、前記入力受付部に入力された検査指示の情報に基づいて、前記発光装置の種別ごとに前記供給位置への配置図を作成する配置図作成部と、
前記配置図作成部において作成された配置図を表示する表示部と、
さらに備えている、
請求項12に記載の検査装置。 - 前記供給位置には、検査対象となる複数の種別の発光装置が供給される供給部を、さらに備えている、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記供給部は、複数の種別の発光装置が供給される多段構造を有している、
請求項14に記載の検査装置。 - 前記供給部にセットされ、同一平面上において複数の区画を有しており、複数の種別ごとの前記発光装置を保持する供給トレイを、さらに備えている、
請求項14または15に記載の検査装置。 - 前記治具は、前記発光装置に対して電流を供給する電極部を有している、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査方法であって、
前記発光装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記発光装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記発光装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記発光装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている発光装置の検査方法。 - 請求項18に記載の発光装置の検査方法によって検査された前記発光装置を、実装基板上に配置するステップを備えた、
モジュールの製造方法。 - 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査プログラムであって、
前記発光装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記発光装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記発光装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記発光装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている発光装置の検査方法を、コンピュータに実行させる発光装置の検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022158250A JP2024051876A (ja) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラム |
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JP2022158250A JP2024051876A (ja) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラム |
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