JP2024041698A - センサ及び電子装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特性の向上が可能なセンサ及び電子装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、基体と、基体に固定された第１支持部と、第１支持部に支持された第１部材と、を含む。第１部材は、第１梁電極及び第２梁電極を含む。第２梁電極の質量は、第１梁電極の質量とは異なる。第２梁電極の厚さは、第１梁電極の厚さとは異なる。第２梁電極に含まれる材料の少なくとも一部は、第１梁電極に含まれる材料の少なくとも一部と異なる。第２梁電極に含まれる第２孔の大きさは、第１梁電極に含まれる第１孔の大きさとは異なる。第２孔の密度は、第１孔の密度とは異なる。第２孔の数は、第１孔の数とは異なる。第２孔の形状は、第１孔の形状とは異なる。第２梁電極の層構造は、第１梁電極の層構造とは異なる。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。

例えば、ＭＥＭＳ構造を利用したセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。

米国特許第１０５６６２５８号明細書

実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び電子装置を提供する。

実施形態によれば、センサは、基体と、前記基体に固定された第１支持部と、前記第１支持部に支持された第１部材と、を含む。前記基体と前記第１部材との間に間隙が設けられる。前記第１部材は、第１支持領域、第１接続構造体、第２接続構造体、第１梁、第２梁、第１梁電極及び第２梁電極を含む。前記第１支持部は、前記基体から前記第１支持部への第１方向において、前記基体と前記第１支持領域との間にある。前記第１支持領域は、前記第１支持部に支持される。前記第１梁及び前記第２梁は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる。前記第１接続構造体から前記第２接続構造体への方向は、前記第２方向に沿う。前記第１支持領域は、前記第２方向において、前記第１接続構造体と前記第２接続構造体との間にある。前記第１梁は、第１端と第１他端とを含む。前記第１端は前記第１接続構造体と接続される。前記第１他端は前記第１支持領域と接続される。前記第２梁は、第２端と第２他端とを含む。前記第２端は前記第２接続構造体と接続される。前記第２他端は前記第１支持領域と接続される。前記第１梁電極は、前記第１梁に接続される。前記第１梁から前記第１梁電極への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する。前記第２梁電極は、前記第２梁に接続される。前記第２梁から前記第２梁電極への方向は、前記第３方向に沿う。前記第１梁電極及び前記第２梁電極は、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たす。前記第１条件において、前記第２梁電極の第２質量は、前記第１梁電極の第１質量とは異なる。前記第２条件において、前記第２梁電極の前記第１方向に沿う第２厚さは、前記第１梁電極の前記第１方向に沿う第１厚さとは異なる。前記第３条件において、前記第２梁電極に含まれる第２材料の少なくとも一部は、前記第１梁電極に含まれる第１材料の少なくとも一部と異なる。前記第４条件において、前記第２梁電極に含まれる第２孔の第２大きさは、前記第１梁電極に含まれる第１孔の第１大きさとは異なる。前記第５条件において、前記第２孔の第２密度は、前記第１孔の第１密度とは異なる。前記第６条件において、前記第２孔の第２数は、前記第１孔の第１数とは異なる。前記第７条件において、前記第２孔の第２形状は、前記第１孔の第１形状とは異なる。前記第８条件において、前記第２梁電極の第２層構造は、前記第１梁電極の第１層構造とは異なる。

図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図３は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。 図７（ａ）及び図７（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。 図８は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１０は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１２は、第２実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。 図１３（ａ）～図１３（ｈ）は、実施形態に係る電子装置の応用を例示する模式図である。 図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、実施形態に係るセンサの応用を例示する模式図である。 図１５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１７は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１８は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図１９は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図２０は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図２１は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図２は、図１のＡ１－Ａ２線断面図である。

図１及び図２に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、基体５０Ｓ、第１支持部１０Ｓ及び第１部材１０Ｍを含む。

図２に示すように、第１支持部１０Ｓは、基体５０Ｓに固定される。第１部材１０Ｍは、第１支持部１０Ｓに支持される。基体５０Ｓと第１部材１０Ｍとの間に間隙ｇ１が設けられる。第１部材１０Ｍの少なくとも一部は、導電性で良い。

基体５０Ｓから第１支持部１０Ｓへの第１方向Ｄ１をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第１支持領域１０Ｍｓ、第１可動領域１０Ｍａ、第２可動領域１０Ｍｂ、第１接続構造体２１ｃ、第２接続構造体２２ｃ、第１梁３１、第２梁３２、第１梁電極３１Ｅ、及び、第２梁電極３２Ｅを含む。

図２に示すように、第１支持部１０Ｓは、第１方向Ｄ１において、基体５０Ｓと第１支持領域１０Ｍｓとの間にある。

図１に示すように、第１梁３１及び第２梁３２は、第２方向Ｄ２に沿って延びる。第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１と交差する。第２方向Ｄ２は、例えばＸ軸方向である。

第２方向Ｄ２において、第１支持領域１０Ｍｓは、第１可動領域１０Ｍａと第２可動領域１０Ｍｂとの間にある。

第１接続構造体２１ｃは、第１可動領域１０Ｍａに支持される。第１接続構造体２１ｃは、第２方向Ｄ２において第１可動領域１０Ｍａと第１支持領域１０Ｍｓとの間にある。

第１梁３１は、第１端３１ｅと第１他端３１ｆとを含む。第１端３１ｅは第１接続構造体２１ｃと接続される。第１他端３１ｆは第１支持領域１０Ｍｓと接続される。

第２接続構造体２２ｃは、第２可動領域１０Ｍｂに支持される。第２接続構造体２２ｃは、第２方向Ｄ２において第１支持領域１０Ｍｓと第２可動領域１０Ｍｂとの間にある。

第２梁３２は、第２端３２ｅと第２他端３２ｆとを含む。第２端３２ｅは第２接続構造体２２ｃと接続される。第２他端３２ｆは第１支持領域１０Ｍｓと接続される。

第１梁電極３１Ｅは、第１梁３１に接続される。第１梁３１から第１梁電極３１Ｅへの第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。

第２梁電極３２Ｅは、第２梁３２に接続される。第２梁３２から第２梁電極３２Ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。

実施形態において、第２梁電極３２Ｅは、第１梁電極３１Ｅに対して、非対称である。例えば、第１梁電極３１Ｅと第２梁電極３２Ｅとの間で、質量、厚さ、形状、層構造、材料、及び、孔の少なくともいずれかが異なる。これにより、例えば、第１梁３１と第２梁３２との間において、共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。特性の向上が可能なセンサを提供できる。

図３は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図３には、図１の一部が拡大されて示されている。
図３に示すように、センサ１１０は、第１電極５１及び第２電極５２を含んで良い。第１電極５１及び第２電極５２は、基体５０Ｓに固定される。

上記のように、第１部材１０Ｍは、第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅを含む。第１電極５１は、第１梁電極３１Ｅと対向する。第２電極５２は、第２梁電極３２Ｅと対向する。

図３に示すように、制御部７０が設けられて良い。制御部７０は、センサ１１０に含まれて良い。制御部７０は、センサ１１０とは別に設けられても良い。

制御部７０は、第１電極５１、第２電極５２、第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅと電気的に接続される。例えば、第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅは、第１部材１０Ｍの例えば第１支持領域１０Ｍｓと電気的に接続される。

制御部７０は、第１電極５１と第１梁電極３１Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部７０は、第２電極５２と第２梁電極３２Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。第１梁３１は、駆動信号に応じて振動可能である。第２梁３２は、駆動信号に応じて振動可能である。

例えば、第１部材１０Ｍに外部から力（加速度）が加わると、第１部材１０Ｍは、第２方向Ｄ２に沿って変位可能である。例えば、第１可動領域１０Ｍａ及び第２可動領域１０Ｍｂは、第２方向Ｄ２に沿って変位する。変位が第１接続構造体２１ｃ及び第２接続構造体２２ｃに伝達される。これにより、第１接続構造体２１ｃ及び第２接続構造体２２ｃが、第２方向Ｄ２に沿って変位する。この変位に基づいて、第１梁３１及び第２梁３２に圧縮応力または引張応力が加わる。応力により、第１梁３１の共振周波数が変化し、第２梁３２の共振周波数が変化する。共振周波数の変化の大小は、第１梁３１と第２梁３２とで逆である。第１梁３１の共振周波数と、第２梁３２の共振周波数と、の差を検出することで、外部から加わった力（加速度）を高い精度で検出できる。

上記のように、実施形態においては、第１梁電極３１Ｅと第２梁電極３２Ｅとが互いに非対称である。これにより、第１梁３１と第２梁３２との間において共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。

第１梁３１と第２梁３２との間における共振周波数の差は、任意の手法で検出されて良い。例えば、光学的な手法により、共振周波数の差が検出されても良い。例えば、電気的な手法により、共振周波数の差が検出されても良い。以下では、電気的な手法により、共振周波数の差が検出される構成の例について説明する。

図３に示すように、センサ１１０は、第１対向電極５１Ａ及び第２対向電極５２Ａを含んで良い。第１対向電極５１Ａ及び第２対向電極５２Ａは、基体５０Ｓに固定される。第１部材１０Ｍは、第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥを含んで良い。第１対向梁電極３１ＡＥは、第１梁３１に接続される。第３方向Ｄ３において、第１梁３１は、第１対向梁電極３１ＡＥと第１梁電極３１Ｅとの間にある。第２対向梁電極３２ＡＥは、第２梁３２に接続される。第３方向Ｄ３において、第２梁３２は、第２対向梁電極３２ＡＥと第２梁電極３２Ｅとの間にある。

第１電極５１は、第１梁電極３１Ｅと対向する。第１対向電極５１Ａは、第１対向梁電極３１ＡＥと対向する。第２電極５２は、第２梁電極３２Ｅと対向する。第２対向電極５２Ａは、第２対向梁電極３２ＡＥと対向する。

図３に示すように、制御部７０は、第１電極５１と第１梁電極３１Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部７０は、第１対向電極５１Ａと第１対向梁電極３１ＡＥとの間に生じる電気信号を検出可能である。制御部７０は、第２電極５２と第２梁電極３２Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部７０は、第２対向電極５２Ａと第２対向梁電極３２ＡＥとの間に生じる電気信号を検出可能である。

第１対向電極５１Ａと第１対向梁電極３１ＡＥとの間に生じる電気信号、及び、第２対向電極５２Ａと第２対向梁電極３２ＡＥとの間に生じる電気信号を検出することで、第１梁３１の共振周波数と、第２梁３２の共振周波数と、の差が検出される。周波数の差を検出することで、外部から加わった力（加速度）を高い精度で検出できる。

実施形態において、第２対向梁電極３２ＡＥは、第１対向梁電極３１ＡＥに対して、非対称で良い。例えば、第１対向梁電極３１ＡＥと第２対向梁電極３２ＡＥとの間で、質量、厚さ、形状、層構造、材料及び孔の少なくともいずれかが異なる。これにより、例えば、第１梁３１と第２梁３２との間において、共振周波数の差が大きくなる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。

図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図４（ａ）は、図１のＢ１－Ｂ２線断面図である。図４（ｂ）は、図１のＣ１－Ｃ２線断面図である。

図４（ａ）に示すように、第１梁電極３１Ｅは、第１孔３１ｈを含む。第２梁電極３２Ｅは、第２孔３２ｈを含む。この例では、第２孔３２ｈの数は、第１孔３１ｈの数とは異なる。例えば、第２孔３２ｈの第２密度は、第１孔３１ｈの第１密度とは異なる。

図４（ｂ）に示すように、第１対向梁電極３１ＡＥは、第１対向孔３１Ａｈを含む。第２対向梁電極３２ＡＥは、第２対向孔３２Ａｈを含む。この例では、第２対向孔３２Ａｈの数は、第１対向孔３１Ａｈの数とは異なる。例えば、第２対向孔３２Ａｈの第２対向密度は、第１対向孔３１Ａｈの第１対向密度とは異なる。

図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図５（ａ）は、図１のＢ１－Ｂ２線に対応する断面図である。図５（ｂ）は、図１のＣ１－Ｃ２線に対応する断面図である。

図５（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１１において、第１梁電極３１Ｅは、第１孔３１ｈを含む。第２梁電極３２Ｅは、第２孔３２ｈを含む。この例では、第２孔３２ｈの大きさ（この例では、第２方向Ｄ２に沿う長さ）は、第１孔３１ｈの大きさ（この例では、第２方向Ｄ２に沿う長さ）とは異なる。例えば、第２孔３２ｈの第２大きさは、第１孔３１ｈの第１大きさとは異なる。

図５（ｂ）に示すように、第１対向梁電極３１ＡＥは、第１対向孔３１Ａｈを含む。第２対向梁電極３２ＡＥは、第２対向孔３２Ａｈを含む。この例では、第２対向孔３２Ａｈの大きさ（この例では、第２方向Ｄ２に沿う長さ）は、第１対向孔３１Ａｈの大きさ（この例では、第２方向Ｄ２に沿う長さ）とは異なる。例えば、第２対向孔３２Ａｈの第２対向大きさは、第１対向孔３１Ａｈの第１対向大きさとは異なる。

図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図６（ａ）は、図１のＢ１－Ｂ２線に対応する断面図である。図６（ｂ）は、図１のＣ１－Ｃ２線に対応する断面図である。

図６（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１２において、第１梁電極３１Ｅの厚さは、第２梁電極３２Ｅの厚さと異なる。例えば、第２梁電極３２Ｅの第１方向Ｄ１に沿う第２厚さは、第１梁電極３１Ｅの第１方向Ｄ１に沿う第１厚さとは異なる。

図６（ｂ）に示すように、第１対向梁電極３１ＡＥの厚さは、第２対向梁電極３２ＡＥの厚さと異なる。例えば、第２対向梁電極３２ＡＥの第１方向Ｄ１に沿う第２対向厚さは、第１対向梁電極３１ＡＥの第１方向Ｄ１に沿う第１対向厚さとは異なる。

図７（ａ）及び図７（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図７（ａ）は、図１のＢ１－Ｂ２線に対応する断面図である。図７（ｂ）は、図１のＣ１－Ｃ２線に対応する断面図である。

図７（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１３において、第２梁電極３２Ｅは、金属層３２Ｆを含む。第１梁電極３１Ｅは、金属層３２Ｆを含まない。例えば、第２梁電極３２Ｅに含まれる第２材料の少なくとも一部は、第１梁電極３１Ｅに含まれる第１材料の少なくとも一部と異なる。

図７（ｂ）に示すように、第２対向梁電極３２ＡＥは、金属層３２Ｆを含む。第１対向梁電極３１ＡＥは、金属層３２Ｆを含まない。例えば、第２対向梁電極３２ＡＥに含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、第１対向梁電極３１ＡＥに含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なる。

例えば、第１梁電極３１Ｅと第２梁電極３２Ｅとにおいて質量が異なっても良い。

第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅは、以下の、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たして良い。

第１条件において、第２梁電極３２Ｅの第２質量は、第１梁電極３１Ｅの第１質量とは異なる。第２条件において、第２梁電極３２Ｅの第１方向Ｄ１に沿う第２厚さは、第１梁電極３１Ｅの第１方向Ｄ１に沿う第１厚さとは異なる。第３条件において、第２梁電極３２Ｅに含まれる第２材料の少なくとも一部は、第１梁電極３１Ｅに含まれる第１材料の少なくとも一部と異なる。

第４条件において、第２梁電極３２Ｅに含まれる第２孔３２ｈの第２大きさは、第１梁電極３１Ｅに含まれる第１孔３１ｈの第１大きさとは異なる。第５条件において、第２孔３２ｈの第２密度は、第１孔３１ｈの第１密度とは異なる。第６条件において、第２孔３２ｈの第２数は、第１孔３１ｈの第１数とは異なる。第７条件において、第２孔３２ｈの第２形状は、第１孔３１ｈの第１形状とは異なる。第８条件において、第２梁電極３２Ｅの第２層構造は、第１梁電極３１Ｅの第１層構造とは異なる。これらの条件により、第１梁３１と第２梁３２との間に、共振周波数の差が形成されて良い。

第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥは、以下の、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たして良い。

第９条件において、第２対向梁電極３２ＡＥの第２対向質量は、第１対向梁電極３１ＡＥの第１対向質量とは異なる。第１０条件において、第２対向梁電極３２ＡＥの第１方向Ｄ１に沿う第２対向厚さは、第１対向梁電極３１ＡＥの第１方向Ｄ１に沿う第１対向厚さとは異なる。第１１条件において、第２対向梁電極３２ＡＥに含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、第１対向梁電極３１ＡＥに含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なる。

第１２条件において、第２対向梁電極３２ＡＥに含まれる第２対向孔３２Ａｈの第２対向大きさは、第１対向梁電極３１ＡＥに含まれる第１対向孔３１Ａｈの第１対向大きさとは異なる。第１３条件において、第２対向孔３２Ａｈの第２対向密度は、第１対向孔３１Ａｈの第１対向密度とは異なる。第１４条件において、第２対向孔３２Ａｈの第２対向数は、第１対向孔３１Ａｈの第１対向数とは異なる。第１５条件において、第２対向孔３２Ａｈの第２対向形状は、第１対向孔３１Ａｈの第１対向形状とは異なる。第１６条件において、第２対向梁電極３２ＡＥの第２対向層構造は、第１対向梁電極３１ＡＥの第１対向層構造とは異なる。これらの条件により、第１梁３１と第２梁３２との間に、共振周波数の差が形成されて良い。

実施形態において、第１梁電極３１Ｅの平面形状の外形は、第２梁電極３２Ｅの平面形状の外形と同じで良い。第１対向梁電極３１ＡＥの平面形状の外形は、第２対向梁電極３２ＡＥの平面形状の外形と同じで良い。例えば、同じ放熱性が得られる。例えば、第１梁電極３１Ｅと第２梁電極３２Ｅとの間における温度の差を抑制できる。例えば、第１対向梁電極３１ＡＥと第２対向梁電極３２ＡＥとの間における温度の差を抑制できる。

例えば、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３を含む第１平面（Ｘ－Ｙ平面）における第１梁電極３１Ｅの第１平面形状の第１外形は、第１平面における第２梁電極３２Ｅの第２平面形状の第２外形と実質的に同じである。

例えば、第１対向梁電極３１ＡＥは、第１接続構造体２１ｃ及び第２接続構造体２２ｃを通過し第２方向Ｄ２に沿う軸に対して、第１梁電極３１Ｅと線対称であることが好ましい。例えば、第２対向梁電極３２ＡＥは、第１接続構造体２１ｃ及び第２接続構造体２２ｃを通過し第２方向Ｄ２に沿う軸に対して、第２梁電極３２Ｅと線対称であることが好ましい。安定した振動が得られる。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第１構造体２１及び第１支持構造体１１Ｓをさらに含んで良い。第１構造体２１の第２方向Ｄ２における第１構造***置は、第１可動領域１０Ｍａの第２方向Ｄ２における第１可動領域位置と、第１梁３１の第２方向Ｄ２における第１梁位置と、の間にある。

第１接続構造体２１ｃの第２方向Ｄ２における第１接続構造***置は、第１構造***置と、第１梁位置と、の間にある。第１支持構造体１１Ｓの第２方向Ｄ２における第１支持構造***置は、第１構造***置と、第１支持領域１０Ｍｓの第２方向Ｄ２における第１支持領域位置と、の間にある。

第１構造体２１は、第１部分２１ｅ、第１他部分２１ｆ及び第１中間部分２１ｍを含む。第１部分２１ｅから第１他部分２１ｆへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第１中間部分２１ｍは、第１部分２１ｅと第１他部分２１ｆとの間にある。第１部分２１ｅは、第１接続構造体２１ｃと接続される。第１他部分２１ｆは、第１可動領域１０Ｍａと接続される。第１中間部分２１ｍは、第１支持構造体１１Ｓと接続される。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第３構造体２３及び第３支持構造体１３Ｓをさらに含んで良い。第３構造体２３の第２方向Ｄ２における第３構造***置は、第２梁３２の第２方向Ｄ２における第２梁位置と、第２可動領域１０Ｍｂの第２方向Ｄ２における第２可動領域位置と、の間にある。

第２接続構造体２２ｃの第２方向Ｄ２における第２接続構造***置は、第２梁位置と、第３構造***置と、の間にある。第３支持構造体１３Ｓの第２方向Ｄ２における第３支持構造***置は、第１支持領域位置と、第３構造***置と、の間にある。

第３構造体２３は、第３部分２３ｅ、第３他部分２３ｆ及び第３中間部分２３ｍを含む。第３部分２３ｅから第３他部分２３ｆへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第３中間部分２３ｍは、第３部分２３ｅと第３他部分２３ｆとの間にある。第３部分２３ｅは、第２接続構造体２２ｃと接続される。第３他部分２３ｆは、第２可動領域１０Ｍｂと接続される。第３中間部分２３ｍは、第３支持構造体１３Ｓと接続される。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第２構造体２２及び第２支持構造体１２Ｓをさらに含んで良い。第２構造体２２の第２方向Ｄ２における第２構造***置は、第１可動領域位置と、第１梁位置と、の間にある。第２支持構造体１２Ｓの第２方向Ｄ２における第２支持構造***置は、第２構造***置と、第１支持領域位置と、の間にある。

第２構造体２２は、第２部分２２ｅ、第２他部分２２ｆ及び第２中間部分２２ｍを含む。第２他部分２２ｆから第２部分２２ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第２中間部分２２ｍは、第２他部分２２ｆと第２部分２２ｅとの間にある。第２部分２２ｅは、第１接続構造体２１ｃと接続される。第２他部分２２ｆは、第１可動領域１０Ｍａと接続される。第２中間部分２２ｍは、第２支持構造体１２Ｓと接続される。第３方向Ｄ３において、第１接続構造体２１ｃは、第２支持構造体１２Ｓの少なくとも一部と、第１支持構造体１１Ｓの少なくとも一部と、の間にある。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第４構造体２４及び第４支持構造体１４Ｓをさらに含んで良い。第４構造体２４の第２方向Ｄ２における第４構造***置は、第２梁位置と、第２可動領域位置と、の間にある。第４支持構造体１４Ｓの第２方向Ｄ２における第４支持構造***置は、第１支持領域位置と、第４構造***置と、の間にある。

第４構造体２４は、第４部分２４ｅ、第４他部分２４ｆ及び第４中間部分２４ｍを含む。第４他部分２４ｆから第４部分２４ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第４中間部分２４ｍは、第４他部分２４ｆと第４部分２４ｅとの間にある。第４部分２４ｅは、第２接続構造体２２ｃと接続される。第４他部分２４ｆは、第２可動領域１０Ｍｂと接続される。第４中間部分２４ｍは、第４支持構造体１４Ｓと接続される。第３方向Ｄ３において、第２接続構造体２２ｃは、第４支持構造体１４Ｓの少なくとも一部と、第３支持構造体１３Ｓの少なくとも一部と、の間にある。

第１構造体２１、第２構造体２２、第３構造体２３及び第４構造体２４は、例えば、てこである。第１部分２１ｅは、例えば、作用点である。第１他部分２１ｆは、例えば、力点である。第１中間部分２１ｍは、例えば、支点である。第２部分２２ｅは、例えば、作用点である。第２他部分２２ｆは、例えば、力点である。第２中間部分２２ｍは、例えば、支点である。第３部分２３ｅは、例えば、作用点である。第３他部分２３ｆは、例えば、力点である。第３中間部分２３ｍは、例えば、支点である。第４部分２４ｅは、例えば、作用点である。第４他部分２４ｆは、例えば、力点である。第４中間部分２４ｍは、例えば、支点である。

第１構造体２１及び第２構造体２２により、第１可動領域１０Ｍａの変位が、第１接続構造体２１ｃに効率良く伝わる。第３構造体２３及び第４構造体２４により、第２可動領域１０Ｍｂの変位が、第２接続構造体２２ｃに効率良く伝わる。

第１部分２１ｅと第１中間部分２１ｍとの間の第３方向Ｄ３に沿う距離を第１距離とする。第１中間部分２１ｍと第１他部分２１ｆとの間の第３方向Ｄ３に沿う距離を第２距離とする。例えば、第１距離は、第２距離よりも短い。このような第１構造体２１により、例えば、第１可動領域１０Ｍａの第２方向Ｄ２に沿う変位が、第１接続構造体２１ｃに効率よく伝達される。第１構造体２１に関する構成は、第２構造体２２、第３構造体２３及び第４構造体２４に適用できる。

図１に示すように、第１部材１０Ｍは、第３可動領域１０Ｍｃ及び第４可動領域１０Ｍｄを含んで良い。第４可動領域１０Ｍｄから第３可動領域１０Ｍｃへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第３可動領域１０Ｍｃ及び第４可動領域１０Ｍｄは、第１可動領域１０Ｍａ及び第２可動領域１０Ｍｂと連続する。第３可動領域１０Ｍｃと第４可動領域１０Ｍｄとの間に、第１支持領域１０Ｍｓがある。

図３に示すように、第１部材１０Ｍは、第１可動領域接続部１１Ａをさらに含んで良い。第１支持構造体１１Ｓの第３方向Ｄ３における位置は、第１支持領域１０Ｍｓの第３方向Ｄ３における位置と、第３可動領域１０Ｍｃの第３方向Ｄ３における位置と、の間にある。第１可動領域接続部１１Ａは、第１支持構造体１１Ｓを第３可動領域１０Ｍｃに接続する。第１可動領域接続部１１Ａが設けられることで、第１支持構造体１１Ｓの第３方向Ｄ３に沿う変位が抑制される。第１支持構造体１１Ｓの第２方向Ｄ２に沿う変位が安定になる。

図３に示すように、第１部材１０Ｍは、第２可動領域接続部１２Ａをさらに含んで良い。第２支持構造体１２Ｓの第３方向Ｄ３における位置は、第４可動領域１０Ｍｄの第３方向Ｄ３における位置と、第１支持領域１０Ｍｓの第３方向Ｄ３における位置と、の間にある。第２可動領域接続部１２Ａは、第２支持構造体１２Ｓを第４可動領域１０Ｍｄに接続する。第２可動領域接続部１２Ａが設けられることで、第２支持構造体１２Ｓの第３方向Ｄ３に沿う変位が抑制される。第２支持構造体１２Ｓの第２方向Ｄ２に沿う変位が安定になる。

図３に示すように、第１部材１０Ｍは、第３可動領域接続部１３Ａをさらに含んで良い。第３支持構造体１３Ｓの第３方向Ｄ３における位置は、第１支持領域１０Ｍｓの第３方向Ｄ３における位置と、第３可動領域１０Ｍｃの第３方向Ｄ３における位置と、の間にある。第３可動領域接続部１３Ａは、第３支持構造体１３Ｓを第３可動領域１０Ｍｃに接続する。第３可動領域接続部１３Ａが設けられることで、第３支持構造体１３Ｓの第３方向Ｄ３に沿う変位が抑制される。第３支持構造体１３Ｓの第２方向Ｄ２に沿う変位が安定になる。

図３に示すように、第１部材１０Ｍは、第４可動領域接続部１４Ａをさらに含んで良い。第４支持構造体１４Ｓの第３方向Ｄ３における位置は、第４可動領域１０Ｍｄの第３方向Ｄ３における位置と、第１支持領域１０Ｍｓの第３方向Ｄ３における位置と、の間にある。第４可動領域接続部１４Ａは、第４支持構造体１４Ｓを第４可動領域１０Ｍｄに接続する。第４可動領域接続部１４Ａが設けられることで、第４支持構造体１４Ｓの第３方向Ｄ３に沿う変位が抑制される。第４支持構造体１４Ｓの第２方向Ｄ２に沿う変位が安定になる。

センサ１１０に関して説明した上記の構成は、センサ１１１～１１３に適用されて良い。

図１に示すように、第１梁電極３１Ｅは、第１延在部３１Ｅａ及び第１接続部３１Ｅｘを含む。第１延在部３１Ｅａは、第２方向Ｄ２に沿って延びる。第１接続部３１Ｅｘは、第１延在部３１Ｅａを第１梁３１に接続する。第１梁電極３１Ｅの構成は、第１対向梁電極３１ＡＥ、第２梁電極３２Ｅ及び第２対向梁電極３２ＡＥに適用されて良い。

図８は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、図８の一部を例示している。

図８に示すように、実施形態にかかるセンサ１１４において、第１梁電極３１Ｅは、第２方向Ｄ２に沿って延びる第１延在部３１Ｅａと、第１延在部３１Ｅａを第１梁３１に接続する第１接続部３１Ｅｘと、を含む。センサ１１４においては、第１梁電極３１Ｅは、複数の第１延在部３１Ｅａを含む。

図９（ａ）に示すように、複数の第１延在部３１Ｅａが設けられる。第１接続部３１Ｅｘは、複数の第１延在部３１Ｅａを互いに接続する。複数の第１延在部３１Ｅａの１つは、第１梁３１と、複数の第１延在部３１Ｅａの別の１つと、の間にある。複数の第１延在部３１Ｅａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第１延在部３１Ｅａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。複数の第１延在部３１Ｅａの第２方向Ｄ２に沿う長さは、第１梁３１から離れるに従って短くなる。

例えば、複数の第１延在部３１Ｅａの１つは、第１電極５１の一部と、第１対向電極５１Ａの一部と、の間に設けられても良い。複数の第１延在部３１Ｅａが設けられることで、第１梁３１をより効果的に振動させることができる。複数の第１延在部３１Ｅａが設けられることで、第１梁３１の共振周波数をより効果的に検出することができる。

図９（ａ）に示すように、第１対向梁電極３１ＡＥは、第２方向Ｄ２に沿って延びる第１対向延在部３１ＡＥａと、第１対向延在部３１ＡＥａを第１梁３１に接続する第１対向接続部３１ＡＥｘと、を含んで良い。この例では、複数の第１対向延在部３１ＡＥａが設けられる。第１対向接続部３１ＡＥｘは、複数の第１対向延在部３１ＡＥａを互いに接続する。複数の第１対向延在部３１ＡＥａの１つは、第１梁３１と、複数の第１対向延在部３１ＡＥａの別の１つと、の間にある。複数の第１対向延在部３１ＡＥａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第１対向延在部３１ＡＥａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。複数の第１対向延在部３１ＡＥａの第２方向Ｄ２に沿う長さは、第１梁３１から離れるに従って短くなる。

図９（ｂ）に示すように、第２梁電極３２Ｅは、第２方向Ｄ２に沿って延びる第２延在部３２Ｅａと、第２延在部３２Ｅａを第２梁３２に接続する第２接続部３２Ｅｘと、を含んで良い。複数の第２延在部３２Ｅａが設けられる。第２接続部３２Ｅｘは、複数の第２延在部３２Ｅａを互いに接続する。複数の第２延在部３２Ｅａの１つは、第２梁３２と、複数の第２延在部３２Ｅａの別の１つと、の間にある。複数の第２延在部３２Ｅａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第２延在部３２Ｅａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。複数の第２延在部３２Ｅａの第２方向Ｄ２に沿う長さは、第２梁３２から離れるに従って短くなる。

図９（ｂ）に示すように、第２対向梁電極３２ＡＥは、第２方向Ｄ２に沿って延びる第２対向延在部３２ＡＥａと、第２対向延在部３２ＡＥａを第２梁３２に接続する第２対向接続部３２ＡＥｘと、を含んで良い。この例では、複数の第２対向延在部３２ＡＥａが設けられる。第２対向接続部３２ＡＥｘは、複数の第２対向延在部３２ＡＥａを互いに接続する。複数の第２対向延在部３２ＡＥａの１つは、第２梁３２と、複数の第２対向延在部３２ＡＥａの別の１つと、の間にある。複数の第２対向延在部３２ＡＥａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第２対向延在部３２ＡＥａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。複数の第２対向延在部３２ＡＥａの第２方向Ｄ２に沿う長さは、第２梁３２から離れるに従って短くなる。

センサ１１１～１１４においても、広いダイナミックレンジが得られる。特性の向上が可能なセンサを提供できる。

図１０は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１０に示すように、実施形態に係るセンサ１２０においては、第１梁３１及び第２梁３２に加えて、第１対向梁３１Ａ及び第２対向梁３２Ａが設けられる。これを除くセンサ１２０の構成は、センサ１１０の構成と同様で良い。

センサ１２０において、第１部材１０Ｍは、第１対向梁３１Ａ、第２対向梁３２Ａ、第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥを含む。第１対向梁３１Ａ及び第２対向梁３２Ａは、第２方向Ｄ２に沿って延びる。

第１対向梁３１Ａは、第１対向端３１Ａｅと第１対向他端３１Ａｆとを含む。第１対向端３１Ａｅは第１接続構造体２１ｃと接続される。第１対向他端３１Ａｆは第１支持領域１０Ｍｓと接続される。

第２対向梁３２Ａは、第２対向端３２Ａｅと第２対向他端３２Ａｆとを含む。第２対向端３２Ａｅは第２接続構造体２２ｃと接続される。第２対向他端３２Ａｆは第１支持領域１０Ｍｓと接続される。

第１対向梁電極３１ＡＥは、第１対向梁３１Ａに接続される。第３方向Ｄ３において、第１対向梁電極３１ＡＥと第１梁電極３１Ｅとの間に第１対向梁３１Ａがある。第３方向Ｄ３において、第１対向梁３１Ａと第１梁電極３１Ｅとの間に第１梁３１がある。

第２対向梁電極３２ＡＥは、第２対向梁３２Ａに接続される。第３方向Ｄ３において、第２対向梁電極３２ＡＥと第２梁電極３２Ｅとの間に第２対向梁３２Ａがある。第３方向Ｄ３において、第２対向梁３２Ａと第２梁電極３２Ｅとの間に第２梁３２がある。

第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥは、上記の第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たす。センサ１２０においても、広いダイナミックレンジが得られる。特性の向上が可能なセンサを提供できる。

センサ１２０において、第１電極５１及び第１対向電極５１Ａが設けられて良い（図３参照）。第１電極５１は、第１梁電極３１Ｅと対向する。第１対向電極５１Ａは、第１対向梁電極３１ＡＥと対向する。第２電極５２及び第２対向電極５２Ａが設けられて良い（図３参照）。第２電極５２は、第２梁電極３２Ｅと対向する。第２対向電極５２Ａは、第２対向梁電極３２ＡＥと対向する。

センサ１２０において、制御部７０（図３参照）は、第１電極５１と第１梁電極３１Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部７０は、第１対向電極５１Ａと第１対向梁電極３１ＡＥとの間に生じる電気信号を検出可能である。制御部７０（図３参照）は、第２電極５２と第２梁電極３２Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部７０は、第２対向電極５２Ａと第２対向梁電極３２ＡＥとの間に生じる電気信号を検出可能である。

図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１１（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１２１においては、複数の第１延在部３１Ｅａが設けられる。複数の第１延在部３１Ｅａの１つは、第１梁３１と、複数の第１延在部３１Ｅａの別の１つと、の間にある。複数の第１延在部３１Ｅａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第１延在部３１Ｅａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

図１１（ａ）に示すように、複数の第１対向延在部３１ＡＥａが設けられて良い。複数の第１対向延在部３１ＡＥａの１つは、第１梁３１と、複数の第１対向延在部３１ＡＥａの別の１つと、の間にある。複数の第１対向延在部３１ＡＥａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第１対向延在部３１ＡＥａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

図１１（ｂ）に示すように、複数の第２延在部３２Ｅａが設けられて良い。複数の第２延在部３２Ｅａの１つは、第２梁３２と、複数の第２延在部３２Ｅａの別の１つと、の間にある。複数の第２延在部３２Ｅａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第２延在部３２Ｅａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

図１１（ｂ）に示すように、複数の第２対向延在部３２ＡＥａが設けられて良い。複数の第２対向延在部３２ＡＥａの１つは、第２梁３２と、複数の第２対向延在部３２ＡＥａの別の１つと、の間にある。複数の第２対向延在部３２ＡＥａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第２対向延在部３２ＡＥａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

既に説明したように、第１部材１０Ｍの少なくとも一部は、導電性で良い。第１部材１０Ｍは、例えば、導電性のシリコンなどを含んで良い。第１部材１０Ｍは、例えば、金属層を含んで良い。例えば、高い放熱性が得られる。

（第２実施形態）
第２実施形態は、電子装置に係る。
図１２は、第２実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図１２に示すように、実施形態に係る電子装置３１０は、第１実施形態に係るセンサと、回路制御部１７０と、を含む。図１２の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。回路制御部１７０は、センサから得られる信号Ｓ１に基づいて回路１８０を制御可能である。回路１８０は、例えば駆動装置１８５の制御回路などである。実施形態によれば、例えば、駆動装置１８５を制御するための回路１８０などを高精度で制御できる。

図１３（ａ）～図１３（ｈ）は、実施形態に係る電子装置の応用を例示する模式図である。
図１３（ａ）に示すように、電子装置３１０は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図１３（ｂ）に示すように、電子装置３１０は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図１３（ｃ）に示すように、電子装置３１０は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図１３（ｄ）に示すように、電子装置３１０は、ドローン（無人航空機）の少なくとも一部でも良い。図１３（ｅ）に示すように、電子装置３１０は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図１３（ｆ）に示すように、電子装置３１０は、船舶の少なくとも一部でも良い。図１３（ｇ）に示すように、電子装置３１０は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図１３（ｈ）に示すように、電子装置３１０は、自動車の少なくとも一部でも良い。電子装置３１０は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。

図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、実施形態に係るセンサの応用を例示する模式図である。
図１４（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ４３０は、第１実施形態に係るセンサと、送受信部４２０と、を含む。図１４（ａ）の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。送受信部４２０は、センサ１１０から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ４３０は、例えば、道路４００などのスロープ面４１０などに設けられる。センサ４３０は、例えば、施設（例えばインフラストラクチャ）などの状態をモニタリングできる。センサ４３０は、例えば状態モニタリング装置で良い。

例えば、センサ４３０により、道路４００のスロープ面４１０の状態の変化が高精度で検出される。スロープ面４１０の状態の変化は、例えば、傾斜角度の変化、及び、振動状態の変化の少なくともいずれかを含む。センサ１１０から得られた信号（検査結果）が、送受信部４２０により伝達される。施設（例えばインフラストラクチャ）の状態を、例えば、連続的に、監視できる。

図１４（ｂ）に示すように、センサ４３０は、例えば、橋梁４６０の一部に設けられる。橋梁４６０は、河川４７０の上に設けられる。例えば、橋梁４６０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかを含む。センサ４３０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかに設けられる。例えば、劣化などに起因して、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかの角度が変化する場合がある。例えば、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかにおいて、振動状態が変化する場合がある。センサ４３０により、これらの変化が高精度で検出される。検出結果が、送受信部４２０により、任意の場所に伝達できる。異常を効果的に検知することができる。

実施形態は、以下の構成（例えば、技術案）を含む。
（構成１）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持された第１部材と、
を備え、
前記基体と前記第１部材との間に間隙が設けられ、
前記第１部材は、第１支持領域、第１可動領域、第２可動領域、第１接続構造体、第２接続構造体、第１梁、第２梁、第１梁電極及び第２梁電極を含み、
前記第１支持部は、前記基体から前記第１支持部への第１方向において、前記基体と前記第１支持領域との間にあり、
前記第１支持領域は、前記第１支持部に支持され、
前記第１梁及び前記第２梁は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延び、
前記第２方向において、前記第１支持領域は、前記第１可動領域と前記第２可動領域との間にあり、
前記第１接続構造体は、前記第１可動領域に支持され、
前記第１接続構造体は、前記第２方向において前記第１可動領域と前記第１支持領域との間にあり、
前記第１梁は、第１端と第１他端とを含み、前記第１端は前記第１接続構造体と接続され、前記第１他端は前記第１支持領域と接続され、
前記第２接続構造体は、前記第２可動領域に支持され、
前記第２接続構造体は、前記第２方向において前記第１支持領域と前記第２可動領域との間にあり、
前記第２梁は、第２端と第２他端とを含み、前記第２端は前記第２接続構造体と接続され、前記第２他端は前記第１支持領域と接続され、
前記第１梁電極は、前記第１梁に接続され、
前記第１梁から前記第１梁電極への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記第２梁電極は、前記第２梁に接続され、
前記第２梁から前記第２梁電極への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１梁電極及び前記第２梁電極は、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第１条件において、前記第２梁電極の第２質量は、前記第１梁電極の第１質量とは異なり、
前記第２条件において、前記第２梁電極の前記第１方向に沿う第２厚さは、前記第１梁電極の前記第１方向に沿う第１厚さとは異なり、
前記第３条件において、前記第２梁電極に含まれる第２材料の少なくとも一部は、前記第１梁電極に含まれる第１材料の少なくとも一部と異なり、
前記第４条件において、前記第２梁電極に含まれる第２孔の第２大きさは、前記第１梁電極に含まれる第１孔の第１大きさとは異なり、
前記第５条件において、前記第２孔の第２密度は、前記第１孔の第１密度とは異なり、
前記第６条件において、前記第２孔の第２数は、前記第１孔の第１数とは異なり、
前記第７条件において、前記第２孔の第２形状は、前記第１孔の第１形状とは異なり、
前記第８条件において、前記第２梁電極の第２層構造は、前記第１梁電極の第１層構造とは異なる、センサ。

（構成２）
前記基体に固定された第１電極と、
前記基体に固定された第１対向電極と、
をさらに備え、
前記第１部材は、前記第１梁に接続された第１対向梁電極をさらに含み、
前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、構成１に記載のセンサ。

（構成３）
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成２に記載のセンサ。

（構成４）
前記第１部材は、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
前記第１対向梁電極は、前記第１梁に接続され、
前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
前記第２対向梁電極は、前記第２梁に接続され、
前記第３方向において、前記第２梁は、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間にあり、
前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、構成１に記載のセンサ。

（構成５）
前記基体に固定された第１電極と、
前記基体に固定された第１対向電極と、
をさらに備え、
前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、構成４に記載のセンサ。

（構成６）
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成５に記載のセンサ。

（構成７）
前記第１部材は、第１構造体及び第１支持構造体をさらに含み、
前記第１構造体の前記第２方向における第１構造***置は、前記第１可動領域の前記第２方向における第１可動領域位置と、前記第１梁の前記第２方向における第１梁位置と、の間にあり、
前記第１接続構造体の前記第２方向における第１接続構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
前記第１支持構造体の前記第２方向における第１支持構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１支持領域の前記第２方向における第１支持領域位置と、の間にあり、
前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第１他部分は、前記第１可動領域と接続され、
前記第１中間部分は、前記第１支持構造体と接続された、構成４に記載のセンサ。

（構成８）
前記第１部材は、第３構造体及び第３支持構造体をさらに含み、
前記第３構造体の前記第２方向における第３構造***置は、前記第２梁の前記第２方向における第２梁位置と、前記第２可動領域の前記第２方向における第２可動領域位置と、の間にあり、
前記第２接続構造体の前記第２方向における第２接続構造***置は、前記第２梁位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
前記第３支持構造体の前記第２方向における第３支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
前記第３構造体は、第３部分、第３他部分及び第３中間部分を含み、
前記第３部分から前記第３他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第３中間部分は、前記第３部分と前記第３他部分との間にあり、
前記第３部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第３他部分は、前記第２可動領域と接続され、
前記第３中間部分は、前記第３支持構造体と接続された、構成７に記載のセンサ。

（構成９）
前記第１部材は、第２構造体及び第２支持構造体をさらに含み、
前記第２構造体の前記第２方向における第２構造***置は、前記第１可動領域位置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
前記第２支持構造体の前記第２方向における第２支持構造***置は、前記第２構造***置と、前記第１支持領域位置と、の間にあり、
前記第２構造体は、第２部分、第２他部分及び第２中間部分を含み、
前記第２他部分から前記第２部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第２中間部分は、前記第２他部分と前記第２部分との間にあり、
前記第２部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第２他部分は、前記第１可動領域と接続され、
前記第２中間部分は、前記第２支持構造体と接続され、
前記第３方向において、前記第１接続構造体は、前記第２支持構造体の少なくとも一部と、前記第１支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成８に記載のセンサ。

（構成１０）
前記第１部材は、第４構造体及び第４支持構造体を含み、
前記第４構造体の前記第２方向における第４構造***置は、前記第２梁位置と、前記第２可動領域位置と、の間にあり、
前記第４支持構造体の前記第２方向における第４支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第４構造***置と、の間にあり、
前記第４構造体は、第４部分、第４他部分及び第４中間部分を含み、
前記第４他部分から前記第４部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第４中間部分は、前記第４他部分と前記第４部分との間にあり、
前記第４部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第４他部分は、前記第２可動領域と接続され、
前記第４中間部分は、前記第４支持構造体と接続され、
前記第３方向において、前記第２接続構造体は、前記第４支持構造体の少なくとも一部と、前記第３支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成９に記載のセンサ。

（構成１１）
前記第１部材は、第１構造体及び第１支持構造体をさらに含み、
前記第１構造体の前記第２方向における第１構造***置は、前記第１可動領域の前記第２方向における第１可動領域位置と、前記第１梁の前記第２方向における第１梁位置と、の間にあり、
前記第１接続構造体の前記第２方向における第１接続構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
前記第１支持構造体の前記第２方向における第１支持構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１支持領域の前記第２方向における第１支持領域位置と、の間にあり、
前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第１他部分は、前記第１可動領域と接続され、
前記第１中間部分は、前記第１支持構造体と接続され、
前記第１部材は、第１対向梁、第２対向梁、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
前記第１対向梁及び前記第２対向梁は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１対向梁は、第１対向端と第１対向他端とを含み、前記第１対向端は前記第１接続構造体と接続され、前記第１対向他端は前記第１支持領域と接続され、
前記第２対向梁は、第２対向端と第２対向他端とを含み、前記第２対向端は前記第２接続構造体と接続され、前記第２対向他端は前記第１支持領域と接続され、
前記第１対向梁電極は、前記第１対向梁に接続され、
前記第３方向において、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間に前記第１対向梁があり、
前記第３方向において、前記第１対向梁と前記第１梁電極との間に前記第１梁があり、
前記第２対向梁電極は、前記第２対向梁に接続され、
前記第３方向において、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間に前記第２対向梁があり、
前記第３方向において、前記第２対向梁と前記第２梁電極との間に前記第２梁があり、
前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、構成１に記載のセンサ。

（構成１２）
前記第１部材は、第３構造体及び第３支持構造体をさらに含み、
前記第３構造体の前記第２方向における第３構造***置は、前記第２梁の前記第２方向における第２梁位置と、前記第２可動領域の前記第２方向における第２可動領域位置と、の間にあり、
前記第２接続構造体の前記第２方向における第２接続構造***置は、前記第２梁位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
前記第３支持構造体の前記第２方向における第３支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
前記第３構造体は、第３部分、第３他部分及び第３中間部分を含み、
前記第３部分から前記第３他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第３中間部分は、前記第３部分と前記第３他部分との間にあり、
前記第３部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第３他部分は、前記第２可動領域と接続され、
前記第３中間部分は、前記第３支持構造体と接続され、
前記第１部材は、第２構造体及び第２支持構造体をさらに含み、
前記第２構造体の前記第２方向における第２構造***置は、前記第１可動領域位置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
前記第２支持構造体の前記第２方向における第２支持構造***置は、前記第２構造***置と、前記第１支持領域位置と、の間にあり、
前記第２構造体は、第２部分、第２他部分及び第２中間部分を含み、
前記第２他部分から前記第２部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第２中間部分は、前記第２他部分と前記第２部分との間にあり、
前記第２部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第２他部分は、前記第１可動領域と接続され、
前記第２中間部分は、前記第２支持構造体と接続され、
前記第３方向において、前記第１接続構造体は、前記第２支持構造体の少なくとも一部と、前記第１支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成１１に記載のセンサ。

（構成１３）
前記第１部材は、第４構造体及び第４支持構造体を含み、
前記第４構造体の前記第２方向における第４構造***置は、前記第２梁位置と、前記第２可動領域位置と、の間にあり、
前記第４支持構造体の前記第２方向における第４支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第４構造***置と、の間にあり、
前記第４構造体は、第４部分、第４他部分及び第４中間部分を含み、
前記第４他部分から前記第４部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第４中間部分は、前記第４他部分と前記第４部分との間にあり、
前記第４部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第４他部分は、前記第２可動領域と接続され、
前記第４中間部分は、前記第４支持構造体と接続され、
前記第３方向において、前記第２接続構造体は、前記第４支持構造体の少なくとも一部と、前記第３支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成１２に記載のセンサ。

（構成１４）
前記基体に固定された第１電極と、
前記基体に固定された第１対向電極と、
をさらに備え、
前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、構成１３に記載のセンサ。

（構成１５）
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成１４に記載のセンサ。

（構成１６）
前記第１梁電極は、
前記第２方向に沿って延びる第１延在部と、
前記第１延在部を前記第１梁に接続する第１接続部と、
を含む、構成１～１５のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１７）
複数の前記第１延在部が設けられ、
前記第１接続部は、前記複数の第１延在部を互いに接続し、
前記複数の第１延在部の１つは、前記第１梁と、前記複数の第１延在部の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第１延在部の前記１つの、前記第２方向に沿う長さは、前記複数の第１延在部の前記別の１つの、前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成１６に記載のセンサ。

（構成１８）
前記第２方向及び前記第３方向を含む第１平面における前記第１梁電極の第１平面形状の第１外形は、前記第１平面における前記第２梁電極の第２平面形状の第２外形と実質的に同じである、構成１～１７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１９）
前記第１対向梁電極は、前記第１接続構造体及び前記第２接続構造体を通過し前記第２方向に沿う軸に対して、前記第１梁電極と線対称である、構成２に記載のセンサ。

（構成２０）
構成１～１９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。

（構成２１）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記基体に固定された第２支持部と、
前記基体に固定された第３支持部と、
前記第１支持部、前記第２支持部及び前記第３支持部に支持された第１部材と、
を備え、
前記基体と前記第１部材との間に間隙が設けられ、
前記第１部材は、第１梁、第２梁、第１梁電極及び第２梁電極を含み、
前記第１梁及び前記第２梁は、前記基体から前記第１支持部への第１方向と交差する第２方向に沿って延び、
前記第１支持部は、前記第２方向において、前記第２支持部と前記第３支持部との間にあり、
前記第１梁は、前記第２支持部及び前記第１支持部により支持され、
前記第２梁は、前記第１支持部及び前記第３支持部により支持され、
前記第１梁電極は、前記第１梁に接続され、
前記第１梁から前記第１梁電極への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記第２梁電極は、前記第２梁に接続され、
前記第２梁から前記第２梁電極への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１梁電極及び前記第２梁電極は、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第１条件において、前記第２梁電極の第２質量は、前記第１梁電極の第１質量とは異なり、
前記第２条件において、前記第２梁電極の前記第１方向に沿う第２厚さは、前記第１梁電極の前記第１方向に沿う第１厚さとは異なり、
前記第３条件において、前記第２梁電極に含まれる第２材料の少なくとも一部は、前記第１梁電極に含まれる第１材料の少なくとも一部と異なり、
前記第４条件において、前記第２梁電極に含まれる第２孔の第２大きさは、前記第１梁電極に含まれる第１孔の第１大きさとは異なり、
前記第５条件において、前記第２孔の第２密度は、前記第１孔の第１密度とは異なり、
前記第６条件において、前記第２孔の第２数は、前記第１孔の第１数とは異なり、
前記第７条件において、前記第２孔の第２形状は、前記第１孔の第１形状とは異なり、
前記第８条件において、前記第２梁電極の第２層構造は、前記第１梁電極の第１層構造とは異なる、センサ。

（構成２２）
前記第１部材は、第１支持領域、第２支持領域、第３支持領域、第１可動領域、第２可動領域、第１接続構造体及び第２接続構造体をさらに含み、
前記第１支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第１支持領域との間にあり、
前記第２支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第２支持領域との間にあり、
前記第３支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第３支持領域との間にあり、
前記第１支持領域は、前記第１支持部に支持され、
前記第２支持領域は、前記第２支持部に支持され、
前記第３支持領域は、前記第３支持部に支持され、
前記第２方向において、前記第２支持領域は、前記第１可動領域と前記第１梁との間にあり、
前記第２方向において、前記第１支持領域は、前記第１梁と前記第２梁との間にあり、
前記第２方向において、前記第３支持領域は、前記第２梁と前記第２可動領域との間にあり、
前記第１接続構造体は、前記第２支持領域に支持され、
前記第１梁は、前記第１接続構造体及び前記第１支持領域に支持され、
前記第２接続構造体は、前記第３支持領域に支持され、
前記第２梁は、前記第１支持領域及び前記第２接続構造体に支持された、構成２１に記載のセンサ。

（構成２３）
前記基体に固定された第１電極と、
前記基体に固定された第１対向電極と、
をさらに備え、
前記第１部材は、前記第１梁に接続された第１対向梁電極をさらに含み、
前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、構成２２に記載のセンサ。

（構成２４）
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成２３に記載のセンサ。

（構成２５）
前記第１部材は、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
前記第１対向梁電極は、前記第１梁に接続され、
前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
前記第２対向梁電極は、前記第２梁に接続され、
前記第３方向において、前記第２梁は、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間にあり、
前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、構成２２に記載のセンサ。

（構成２６）
前記第１部材は、第３可動領域及び第１構造体をさらに含み、
前記第１梁電極は、前記第３方向において前記第１梁と前記第３可動領域との間にあり、
前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第１他部分は、前記第３可動領域と接続され、
前記第１中間部分は、前記第３支持領域と接続され、
前記第１部材は、第３構造体をさらに含み、
前記第３構造体は、第３部分、第３他部分及び第３中間部分を含み、
前記第３部分から前記第３他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第３中間部分は、前記第３部分と前記第３他部分との間にあり、
前記第３部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第３他部分は、前記第３可動領域と接続され、
前記第３中間部分は、前記第３支持領域と接続され、
前記第１部材は、第４可動領域及び第２構造体をさらに含み、
前記第１対向梁電極は、前記第３方向において前記第４可動領域と前記第１梁との間にあり、
前記第２構造体は、第２部分、第２他部分及び第２中間部分を含み、
前記第２他部分から前記第２部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第２中間部分は、前記第２他部分と前記第２部分との間にあり、
前記第２部分は、前記第１接続構造体と接続され、
前記第２他部分は、前記第４可動領域と接続され、
前記第２中間部分は、前記第２支持領域と接続され、
前記第１部材は、第４構造体をさらに含み、
前記第４構造体は、第４部分、第４他部分及び第４中間部分を含み、
前記第４他部分から前記第４部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第４中間部分は、前記第４他部分と前記第４部分との間にあり、
前記第４部分は、前記第２接続構造体と接続され、
前記第４他部分は、前記第４可動領域と接続され、
前記第４中間部分は、前記第３支持領域と接続された、構成２５に記載のセンサ。

（構成２７）
前記第１部材は、第１支持構造体、第２支持構造体、第３支持構造体及び第４支持構造体をさらに含み、
前記第１支持構造体及び前記第２支持構造体は、前記第２支持領域に接続され、
前記第２支持領域は、前記第３方向において前記第１支持構造体と前記第２支持構造体との間にあり、
前記第１可動領域は、前記第１支持構造体及び前記第２支持構造体に支持され、
前記第３支持構造体及び前記第４支持構造体は、前記第３支持領域に接続され、
前記第３支持領域は、前記第３方向において前記第３支持構造体と前記第４支持構造体との間にあり、
前記第２可動領域は、前記第３支持構造体及び前記第４支持構造体に支持された、構成２６に記載のセンサ。

（構成２８）
前記第１部材は、第１対向梁、第２対向梁、第１対向梁電極及び第２対向梁電極をさらに含み、
前記第１対向梁及び前記第２対向梁は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１対向梁は、前記第２支持部及び前記第１支持部により支持され、
前記第２対向梁は、前記第１支持部及び前記第３支持部により支持され、
前記第１対向梁電極は、前記第１対向梁に接続され、
前記第１対向梁電極から前記第１対向梁への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第２対向梁電極は、前記第２対向梁に接続され、
前記第２対向梁電極から前記第２対向梁への方向は、前記第３方向に沿う、構成２１に記載のセンサ。

（構成２９）
前記第１梁電極は、
前記第２方向に沿って延びる第１延在部と、
前記第１延在部を前記第１梁に接続する第１接続部と、
を含む、構成２１～２８のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成３０）
複数の前記第１延在部が設けられ、
前記第１接続部は、前記複数の第１延在部を互いに接続し、
前記複数の第１延在部の１つは、前記第１梁と、前記複数の第１延在部の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第１延在部の前記１つの、前記第２方向に沿う長さは、前記複数の第１延在部の前記別の１つの、前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成２９に記載のセンサ。

（構成３１）
構成２１～３０のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。

図１５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１５に示すように、実施形態に係るセンサ１１０Ａにおいては、第１電極５１の少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１梁３１と第１梁電極３１Ｅとの間にある。第２電極５２の少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２梁３２と第２梁電極３２Ｅとの間にある。第１対向電極５１Ａの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１梁３１と第１対向梁電極３１ＡＥとの間にある。第２対向電極５２Ａの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２梁３２と第２対向梁電極３２ＡＥとの間にある。これ以外のセンサ１１０Ａの構成は、センサ１１０の構成と同様で良い。

例えば、センサ１２０（図１０参照）において、第１電極５１の少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１梁３１と第１梁電極３１Ｅとの間に設けられて良い。第２電極５２の少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２梁３２と第２梁電極３２Ｅとの間に設けられて良い。第１対向電極５１Ａの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１梁３１と第１対向梁電極３１ＡＥとの間に設けられて良い。第２対向電極５２Ａの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２梁３２と第２対向梁電極３２ＡＥとの間に設けられて良い。

図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１６に示すように、実施形態に係るセンサ１１４Ａにおいて、第１延在部電極５１Ｐ、第２延在部電極５２Ｐ、第１対向延在部電極５１ＡＰ、及び、第２対向延在部電極５２ＡＰが設けられて良い。これを除くセンサ１１４Ａの構成は、センサ１１４の構成と同様で良い。

第１延在部電極５１Ｐの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１梁電極３１Ｅに含まれる複数の部分（複数の第１延在部３１Ｅａ）の間にある。第２延在部電極５２Ｐの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２梁電極３２Ｅに含まれる複数の部分の間にある。第１対向延在部電極５１ＡＰの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第１対向梁電極３１ＡＥに含まれる複数の部分の間にある。第２対向延在部電極５２ＡＰの少なくとも一部は、第３方向Ｄ３において、第２対向梁電極３２ＡＥに含まれる複数の部分の間にある。

第１延在部電極５１Ｐ、第２延在部電極５２Ｐ、第１対向延在部電極５１ＡＰ、及び、第２対向延在部電極５２ＡＰのそれぞれは、制御部７０と電気的に接続されて良い。

（第３実施形態）
図１７は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１８は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１８は、図１７のＡ１－Ａ２線断面図である。

図１７及び図１８に示すように、実施形態に係るセンサ１３０は、基体５０Ｓ、第１支持部１０Ｓ、第２支持部２０Ｓ、第３支持部３０Ｓ、及び第１部材１０Ｍを含む。第１支持部１０Ｓ、第２支持部２０Ｓ及び第３支持部３０Ｓは、基体５０Ｓに固定される。第１部材１０Ｍは、第１支持部１０Ｓ、第２支持部２０Ｓ及び第３支持部３０Ｓに支持される。基体５０Ｓと第１部材１０Ｍとの間に間隙ｇ１が設けられる。

図１７に示すように、第１部材１０Ｍは、第１梁３１、第２梁３２、第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅを含む。

第１梁３１及び第２梁３２は、第２方向Ｄ２に沿って延びる。第２方向Ｄ２は、基体５０Ｓから第１支持部１０Ｓへの第１方向Ｄ１と交差する。

第１支持部１０Ｓは、第２方向Ｄ２において、第２支持部２０Ｓと第３支持部３０Ｓとの間にある。第１梁３１は、第２支持部２０Ｓ及び第１支持部１０Ｓにより支持される。第２梁３２は、第１支持部１０Ｓ及び第３支持部３０Ｓにより支持される。

第１梁電極３１Ｅは、第１梁３１に接続される。第１梁３１から第１梁電極３１Ｅへの第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２を含む平面と交差する。第２梁電極３２Ｅは、第２梁３２に接続される。第２梁３２から第２梁電極３２Ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。

第１梁電極３１Ｅ及び第２梁電極３２Ｅは、上記の第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たす。

センサ１３０において、これにより、例えば、第１梁３１と第２梁３２との間において、共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。特性の向上が可能なセンサを提供できる。

図１７に示すように、センサ１３０において、第１部材１０Ｍは、第１支持領域１０Ｍｓ、第２支持領域２０Ｍｓ、第３支持領域３０Ｍｓ、第１可動領域１０Ｍａ、第２可動領域１０Ｍｂ、第１接続構造体２１ｃ及び第２接続構造体２２ｃをさらに含んで良い。

第１支持部１０Ｓは、第１方向Ｄ１において、基体５０Ｓと第１支持領域１０Ｍｓとの間にある。第２支持部２０Ｓは、第１方向Ｄ１において、基体５０Ｓと第２支持領域２０Ｍｓとの間にある。第３支持部３０Ｓは、第１方向Ｄ１において、基体５０Ｓと第３支持領域３０Ｍｓとの間にある。第１支持領域１０Ｍｓは、第１支持部１０Ｓに支持される。第２支持領域２０Ｍｓは、第２支持部２０Ｓに支持される。第３支持領域３０Ｍｓは、第３支持部３０Ｓに支持される。

第２方向Ｄ２において、第２支持領域２０Ｍｓは、第１可動領域１０Ｍａと第１梁３１との間にある。第２方向Ｄ２において、第１支持領域１０Ｍｓは、第１梁３１と第２梁３２との間にある。第２方向Ｄ２において、第３支持領域３０Ｍｓは、第２梁３２と第２可動領域１０Ｍｂとの間にある。

第１接続構造体２１ｃは、第２支持領域２０Ｍｓに支持される。第１梁３１は、第１接続構造体２１ｃ及び第１支持領域１０Ｍｓに支持される。第２接続構造体２２ｃは、第３支持領域３０Ｍｓに支持される。第２梁３２は、第１支持領域１０Ｍｓ及び第２接続構造体２２ｃに支持される。

センサ１３０は、第１電極５１及び第１対向電極５１Ａを含んで良い。第１電極５１及び第１対向電極５１Ａは、基体５０Ｓに固定される。

第１部材１０Ｍは、第１対向梁電極３１ＡＥを含む。第１対向梁電極３１ＡＥは、第１梁３１に接続される。第３方向Ｄ３において、第１梁３１は、第１対向梁電極３１ＡＥと第１梁電極３１Ｅとの間にある。第１電極５１は、第１梁電極３１Ｅと対向する。第１対向電極５１Ａは、第１対向梁電極３１ＡＥと対向する。

センサ１３０は、制御部７０（図３参照）を含んで良い。制御部７０は、第１電極５１と第１梁電極３１Ｅとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。例えば、制御部７０は、第１対向電極５１Ａと第１対向梁電極３１ＡＥとの間に生じる電気信号を検出可能である。

第１部材１０Ｍは、第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥを含んで良い。第１対向梁電極３１ＡＥは、第１梁３１に接続される。第３方向Ｄ３において、第１梁３１は、第１対向梁電極３１ＡＥと第１梁電極３１Ｅとの間にある。第２対向梁電極３２ＡＥは、第２梁３２に接続される。第３方向Ｄ３において、第２梁３２は、第２対向梁電極３２ＡＥと第２梁電極３２Ｅとの間にある。

第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥは、例えば、上記の、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たす。

センサ１３０において、第１部材１０Ｍは、第３可動領域１０Ｍｃ及び第１構造体２１をさらに含む。第１梁電極３１Ｅは、第３方向Ｄ３において第１梁３１と第３可動領域１０Ｍｃとの間にある。

第１構造体２１は、第１部分２１ｅ、第１他部分２１ｆ及び第１中間部分２１ｍを含む。第１部分２１ｅから第１他部分２１ｆへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第１中間部分２１ｍは、第１部分２１ｅと第１他部分２１ｆとの間にある。第１部分２１ｅは、第１接続構造体２１ｃと接続される。第１他部分２１ｆは、第３可動領域１０Ｍｃと接続される。第１中間部分２１ｍは、第２支持領域２０Ｍｓと接続される。

第１部材１０Ｍは、第３構造体２３をさらに含んで良い。第３構造体２３は、第３部分２３ｅ、第３他部分２３ｆ及び第３中間部分２３ｍを含む。第３部分２３ｅから第３他部分２３ｆへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第３中間部分２３ｍは、第３部分２３ｅと第３他部分２３ｆとの間にある。第３部分２３ｅは、第２接続構造体２２ｃと接続される。第３他部分２３ｆは、第３可動領域１０Ｍｃと接続される。第３中間部分２３ｍは、第３支持領域３０Ｍｓと接続される。

第１部材１０Ｍは、第４可動領域１０Ｍｄ及び第２構造体２２をさらに含んで良い。第１対向梁電極３１ＡＥは、第３方向Ｄ３において第４可動領域１０Ｍｄと第１梁３１との間にある。

第２構造体２２は、第２部分２２ｅ、第２他部分２２ｆ及び第２中間部分２２ｍを含む。第２他部分２２ｆから第２部分２２ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第２中間部分２２ｍは、第２他部分２２ｆと第２部分２２ｅとの間にある。第２部分２２ｅは、第１接続構造体２１ｃと接続される。第２他部分２２ｆは、第４可動領域１０Ｍｄと接続される。第２中間部分２２ｍは、第２支持領域２０Ｍｓと接続される。

第１部材１０Ｍは、第４構造体２４をさらに含んで良い。第４構造体２４は、第４部分２４ｅ、第４他部分２４ｆ及び第４中間部分２４ｍを含む。第４他部分２４ｆから第４部分２４ｅへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第４中間部分２４ｍは、第４他部分２４ｆと第４部分２４ｅとの間にある。第４部分２４ｅは、第２接続構造体２２ｃと接続される。第４他部分２４ｆは、第４可動領域１０Ｍｄと接続される。第４中間部分２４ｍは、第３支持領域３０Ｍｓと接続される。

図１７に示すように、第１部材１０Ｍは、第１支持構造体１１Ｓ、第２支持構造体１２Ｓ、第３支持構造体１３Ｓ及び第４支持構造体１４Ｓをさらに含んで良い。第１支持構造体１１Ｓ及び第２支持構造体１２Ｓは、第２支持領域２０Ｍｓに接続される。第２支持領域２０Ｍｓは、第３方向Ｄ３において第１支持構造体１１Ｓと第２支持構造体１２Ｓとの間にある。第１可動領域１０Ｍａは、第１支持構造体１１Ｓ及び第２支持構造体１２Ｓに支持される。

第３支持構造体１３Ｓ及び第４支持構造体１４Ｓは、第３支持領域３０Ｍｓに接続される。第３支持領域３０Ｍｓは、第３方向Ｄ３において第３支持構造体１３Ｓと第４支持構造体１４Ｓとの間にある。第２可動領域１０Ｍｂは、第３支持構造体１３Ｓ及び第４支持構造体１４Ｓに支持される。

図１７に示すように、第１梁電極３１Ｅは、第１延在部３１Ｅａ及び第１接続部３１Ｅｘを含む。第１延在部３１Ｅａは、第２方向Ｄ２に沿って延びる。第１接続部３１Ｅｘは、第１延在部３１Ｅａを第１梁３１に接続する。第１梁電極３１Ｅの構成は、第１対向梁電極３１ＡＥ、第２梁電極３２Ｅ及び第２対向梁電極３２ＡＥに適用されて良い。

図１９は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１９に示すように、実施形態に係るセンサ１３１において、複数の第１延在部３１Ｅａが設けられる。これを除くセンサ１３１の構成は、センサ１３０の構成と同様で良い。

第１接続部３１Ｅｘは、複数の第１延在部３１Ｅａを互いに接続する。複数の第１延在部３１Ｅａの１つは、第１梁３１と、複数の第１延在部３１Ｅａの別の１つと、の間にある。複数の第１延在部３１Ｅａの上記の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さは、複数の第１延在部３１Ｅａの上記の別の１つの、第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

図２０は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図２０に示すように、実施形態に係るセンサ１３２において、第１部材１０Ｍは、第１対向梁３１Ａ、第２対向梁３２Ａ、第１対向梁電極３１ＡＥ及び第２対向梁電極３２ＡＥをさらに含む。これを除くセンサ１３２の構成は、センサ１３０の構成と同様で良い。

第１対向梁３１Ａ及び第２対向梁３２Ａは、第２方向Ｄ２に沿って延びる。第１対向梁３１Ａは、第２支持部２０Ｓ（第２支持領域２０Ｍｓ）、及び、第１支持部１０Ｓ（第１支持領域１０Ｍｓ）により支持される。第２対向梁３２Ａは、第１支持部１０Ｓ（第１支持領域１０Ｍｓ）、及び、第３支持部３０Ｓ（第３支持領域３０Ｍｓ）により支持される。

第１対向梁電極３１ＡＥは、第１対向梁３１Ａに接続される。第１対向梁電極３１ＡＥから第１対向梁３１Ａへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。第２対向梁電極３２ＡＥは、第２対向梁３２Ａに接続される。第２対向梁電極３２ＡＥから第２対向梁３２Ａへの方向は、第３方向Ｄ３に沿う。

図２１は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図２１に示すように、実施形態に係るセンサ１３３において、複数の第１延在部３１Ｅａが設けられる。これを除くセンサ１３３の構成は、センサ１３２の構成と同様で良い。

センサ１３１～１３３においても、特性の向上が可能なセンサを提供できる。センサ１３０～１３３は、電子装置３１０（図１２）に適用されて良い。

実施形態において、第１層構造は、第１孔３１ｈの層構造でも良い。第２層構造は、第２孔３２ｈの層構造でも良い。第１対向層構造は、第１対向孔３１Ａｈの層構造でも良い。第２対向層構造は、第２対向孔３２Ａｈの層構造でも良い。

実施形態によれば、特性の向上が可能なセンサ及び電子装置が提供される。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、支持部、第１部材及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述したセンサ及び電子装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサ及び電子装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０Ｍ：第１部材、
１０Ｍａ～１０Ｍｄ：第１～第４可動領域、
１０Ｍｓ、２０Ｍｓ、３０Ｍｓ：第１～第３支持領域、
１０Ｓ、２０Ｓ、３０Ｓ：第１～第３支持部、
１１Ａ～１４Ａ：第１～第４可動領域接続部、
１１Ｓ～１４Ｓ：第１～第４支持構造体、
２１～２４：第１～第４構造体、
２１ｃ、２２ｃ：第１、第２接続構造体、
２１ｅ～２４ｅ：第１～第４部分、
２１ｆ～２４ｆ：第１～第４他部分、
２１ｍ～２４ｍ：第１～第４中間部分、
３１、３２：第１、第２梁、
３１Ａ、３２Ａ：第１、第２対向梁、
３１ＡＥ、３２ＡＥ：第１、第２対向梁電極、
３１ＡＥａ、３２ＡＥａ：第１、第２対向延在部、
３１ＡＥｘ、３２ＡＥｘ：第１、第２対向接続部、
３１Ａｅ、３２Ａｅ：第１、第２対向端、
３１Ａｆ、３２Ａｆ：第１、第２対向他端、
３１Ａｈ、３２Ａｈ：第１、第２対向孔、
３１Ｅ、３２Ｅ：第１、第２梁電極、
３１Ｅａ、３２Ｅａ:第１、第２延在部、
３１Ｅｘ、３２Ｅｘ：第１、第２接続部、
３１ｅ、３２ｅ：第１、第２端、
３１ｆ、３２ｆ：第１、第２他端、
３１ｈ、３２ｈ：第１孔、第２孔、
３２Ｆ：金属層、
５０Ｓ：基体、
５１、５２：第１、第２電極、
５１Ａ、５２Ａ：第１、第２対向電極、
５１Ｐ、５２Ｐ：第１、第２延在部電極
５１ＡＰ、５２ＡＰ：第１、第２対向延在部電極
７０：制御部、
１１０～１１４、１１０Ａ、１１４Ａ、１２０、１２１、１３０～１３３：センサ、
１７０：回路制御部、
１８０：回路、
１８５：駆動装置、
３１０：電子装置、
４００：道路、
４１０：スロープ面、
４２０：送受信部、
４３０：センサ、
４４０：橋脚、
４５０：主桁、
４６０：橋梁、
４７０：河川、
Ｄ１～Ｄ３：第１～第３方向、
Ｓ１：信号、
ｇ１：間隙

Claims (20)

1. 基体と、
   前記基体に固定された第１支持部と、
   前記第１支持部に支持された第１部材と、
   を備え、
   前記基体と前記第１部材との間に間隙が設けられ、
   前記第１部材は、第１支持領域、第１接続構造体、第２接続構造体、第１梁、第２梁、第１梁電極及び第２梁電極を含み、
   前記第１支持部は、前記基体から前記第１支持部への第１方向において、前記基体と前記第１支持領域との間にあり、
   前記第１支持領域は、前記第１支持部に支持され、
   前記第１梁及び前記第２梁は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延び、
   前記第１接続構造体から前記第２接続構造体への方向は、前記第２方向に沿い、
   前記第１支持領域は、前記第２方向において、前記第１接続構造体と前記第２接続構造体との間にあり、
   前記第１梁は、第１端と第１他端とを含み、前記第１端は前記第１接続構造体と接続され、前記第１他端は前記第１支持領域と接続され、
   前記第２梁は、第２端と第２他端とを含み、前記第２端は前記第２接続構造体と接続され、前記第２他端は前記第１支持領域と接続され、
   前記第１梁電極は、前記第１梁に接続され、
   前記第１梁から前記第１梁電極への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
   前記第２梁電極は、前記第２梁に接続され、
   前記第２梁から前記第２梁電極への方向は、前記第３方向に沿い、
   前記第１梁電極及び前記第２梁電極は、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たし、
   前記第１条件において、前記第２梁電極の第２質量は、前記第１梁電極の第１質量とは異なり、
   前記第２条件において、前記第２梁電極の前記第１方向に沿う第２厚さは、前記第１梁電極の前記第１方向に沿う第１厚さとは異なり、
   前記第３条件において、前記第２梁電極に含まれる第２材料の少なくとも一部は、前記第１梁電極に含まれる第１材料の少なくとも一部と異なり、
   前記第４条件において、前記第２梁電極に含まれる第２孔の第２大きさは、前記第１梁電極に含まれる第１孔の第１大きさとは異なり、
   前記第５条件において、前記第２孔の第２密度は、前記第１孔の第１密度とは異なり、
   前記第６条件において、前記第２孔の第２数は、前記第１孔の第１数とは異なり、
   前記第７条件において、前記第２孔の第２形状は、前記第１孔の第１形状とは異なり、
   前記第８条件において、前記第２梁電極の第２層構造は、前記第１梁電極の第１層構造とは異なる、センサ。
2. 前記第１部材は、第１可動領域及び第２可動領域をさらに含み、
   前記第２方向において、前記第１支持領域は、前記第１可動領域と前記第２可動領域との間にあり、
   前記第１接続構造体は、前記第１可動領域に支持され、
   前記第１接続構造体は、前記第２方向において前記第１可動領域と前記第１支持領域との間にあり、
   前記第２接続構造体は、前記第２可動領域に支持され、
   前記第２接続構造体は、前記第２方向において前記第１支持領域と前記第２可動領域との間にある、請求項１に記載のセンサ。
3. 前記基体に固定された第１電極と、
   前記基体に固定された第１対向電極と、
   をさらに備え、
   前記第１部材は、前記第１梁に接続された第１対向梁電極をさらに含み、
   前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
   前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
   前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、請求項２に記載のセンサ。
4. 制御部をさらに備え、
   前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
   前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、請求項３に記載のセンサ。
5. 前記第１部材は、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
   前記第１対向梁電極は、前記第１梁に接続され、
   前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
   前記第２対向梁電極は、前記第２梁に接続され、
   前記第３方向において、前記第２梁は、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間にあり、
   前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
   前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
   前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
   前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
   前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
   前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
   前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
   前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
   前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、請求項２に記載のセンサ。
6. 前記第１部材は、第１構造体及び第１支持構造体をさらに含み、
   前記第１構造体の前記第２方向における第１構造***置は、前記第１可動領域の前記第２方向における第１可動領域位置と、前記第１梁の前記第２方向における第１梁位置と、の間にあり、
   前記第１接続構造体の前記第２方向における第１接続構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
   前記第１支持構造体の前記第２方向における第１支持構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１支持領域の前記第２方向における第１支持領域位置と、の間にあり、
   前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
   前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
   前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
   前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
   前記第１他部分は、前記第１可動領域と接続され、
   前記第１中間部分は、前記第１支持構造体と接続された、請求項５に記載のセンサ。
7. 前記第１部材は、第３構造体及び第３支持構造体をさらに含み、
   前記第３構造体の前記第２方向における第３構造***置は、前記第２梁の前記第２方向における第２梁位置と、前記第２可動領域の前記第２方向における第２可動領域位置と、の間にあり、
   前記第２接続構造体の前記第２方向における第２接続構造***置は、前記第２梁位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
   前記第３支持構造体の前記第２方向における第３支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第３構造***置と、の間にあり、
   前記第３構造体は、第３部分、第３他部分及び第３中間部分を含み、
   前記第３部分から前記第３他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
   前記第３中間部分は、前記第３部分と前記第３他部分との間にあり、
   前記第３部分は、前記第２接続構造体と接続され、
   前記第３他部分は、前記第２可動領域と接続され、
   前記第３中間部分は、前記第３支持構造体と接続された、請求項６に記載のセンサ。
8. 前記第１部材は、第２構造体及び第２支持構造体をさらに含み、
   前記第２構造体の前記第２方向における第２構造***置は、前記第１可動領域位置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
   前記第２支持構造体の前記第２方向における第２支持構造***置は、前記第２構造***置と、前記第１支持領域位置と、の間にあり、
   前記第２構造体は、第２部分、第２他部分及び第２中間部分を含み、
   前記第２他部分から前記第２部分への方向は、前記第３方向に沿い、
   前記第２中間部分は、前記第２他部分と前記第２部分との間にあり、
   前記第２部分は、前記第１接続構造体と接続され、
   前記第２他部分は、前記第１可動領域と接続され、
   前記第２中間部分は、前記第２支持構造体と接続され、
   前記第３方向において、前記第１接続構造体は、前記第２支持構造体の少なくとも一部と、前記第１支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、請求項７に記載のセンサ。
9. 前記第１部材は、第４構造体及び第４支持構造体を含み、
   前記第４構造体の前記第２方向における第４構造***置は、前記第２梁位置と、前記第２可動領域位置と、の間にあり、
   前記第４支持構造体の前記第２方向における第４支持構造***置は、前記第１支持領域位置と、前記第４構造***置と、の間にあり、
   前記第４構造体は、第４部分、第４他部分及び第４中間部分を含み、
   前記第４他部分から前記第４部分への方向は、前記第３方向に沿い、
   前記第４中間部分は、前記第４他部分と前記第４部分との間にあり、
   前記第４部分は、前記第２接続構造体と接続され、
   前記第４他部分は、前記第２可動領域と接続され、
   前記第４中間部分は、前記第４支持構造体と接続され、
   前記第３方向において、前記第２接続構造体は、前記第４支持構造体の少なくとも一部と、前記第３支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、請求項８に記載のセンサ。
10. 前記第１梁電極は、
    前記第２方向に沿って延びる第１延在部と、
    前記第１延在部を前記第１梁に接続する第１接続部と、
    を含む、請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサ。
11. 前記第１部材は、第１構造体及び第１支持構造体をさらに含み、
    前記第１構造体の前記第２方向における第１構造***置は、前記第１可動領域の前記第２方向における第１可動領域位置と、前記第１梁の前記第２方向における第１梁位置と、の間にあり、
    前記第１接続構造体の前記第２方向における第１接続構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１梁位置と、の間にあり、
    前記第１支持構造体の前記第２方向における第１支持構造***置は、前記第１構造***置と、前記第１支持領域の前記第２方向における第１支持領域位置と、の間にあり、
    前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
    前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
    前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
    前記第１他部分は、前記第１可動領域と接続され、
    前記第１中間部分は、前記第１支持構造体と接続され、
    前記第１部材は、第１対向梁、第２対向梁、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
    前記第１対向梁及び前記第２対向梁は、前記第２方向に沿って延び、
    前記第１対向梁は、第１対向端と第１対向他端とを含み、前記第１対向端は前記第１接続構造体と接続され、前記第１対向他端は前記第１支持領域と接続され、
    前記第２対向梁は、第２対向端と第２対向他端とを含み、前記第２対向端は前記第２接続構造体と接続され、前記第２対向他端は前記第１支持領域と接続され、
    前記第１対向梁電極は、前記第１対向梁に接続され、
    前記第３方向において、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間に前記第１対向梁があり、
    前記第３方向において、前記第１対向梁と前記第１梁電極との間に前記第１梁があり、
    前記第２対向梁電極は、前記第２対向梁に接続され、
    前記第３方向において、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間に前記第２対向梁があり、
    前記第３方向において、前記第２対向梁と前記第２梁電極との間に前記第２梁があり、
    前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
    前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
    前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
    前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
    前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
    前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
    前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
    前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
    前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、請求項２に記載のセンサ。
12. 基体と、
    前記基体に固定された第１支持部と、
    前記基体に固定された第２支持部と、
    前記基体に固定された第３支持部と、
    前記第１支持部、前記第２支持部及び前記第３支持部に支持された第１部材と、
    を備え、
    前記基体と前記第１部材との間に間隙が設けられ、
    前記第１部材は、第１梁、第２梁、第１梁電極及び第２梁電極を含み、
    前記第１梁及び前記第２梁は、前記基体から前記第１支持部への第１方向と交差する第２方向に沿って延び、
    前記第１支持部は、前記第２方向において、前記第２支持部と前記第３支持部との間にあり、
    前記第１梁は、前記第２支持部及び前記第１支持部により支持され、
    前記第２梁は、前記第１支持部及び前記第３支持部により支持され、
    前記第１梁電極は、前記第１梁に接続され、
    前記第１梁から前記第１梁電極への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
    前記第２梁電極は、前記第２梁に接続され、
    前記第２梁から前記第２梁電極への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第１梁電極及び前記第２梁電極は、第１条件、第２条件、第３条件、第４条件、第５条件、第６条件、第７条件及び第８条件の少なくともいずれかを満たし、
    前記第１条件において、前記第２梁電極の第２質量は、前記第１梁電極の第１質量とは異なり、
    前記第２条件において、前記第２梁電極の前記第１方向に沿う第２厚さは、前記第１梁電極の前記第１方向に沿う第１厚さとは異なり、
    前記第３条件において、前記第２梁電極に含まれる第２材料の少なくとも一部は、前記第１梁電極に含まれる第１材料の少なくとも一部と異なり、
    前記第４条件において、前記第２梁電極に含まれる第２孔の第２大きさは、前記第１梁電極に含まれる第１孔の第１大きさとは異なり、
    前記第５条件において、前記第２孔の第２密度は、前記第１孔の第１密度とは異なり、
    前記第６条件において、前記第２孔の第２数は、前記第１孔の第１数とは異なり、
    前記第７条件において、前記第２孔の第２形状は、前記第１孔の第１形状とは異なり、
    前記第８条件において、前記第２梁電極の第２層構造は、前記第１梁電極の第１層構造とは異なる、センサ。
13. 前記第１部材は、第１支持領域、第２支持領域、第３支持領域、第１可動領域、第２可動領域、第１接続構造体及び第２接続構造体をさらに含み、
    前記第１支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第１支持領域との間にあり、
    前記第２支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第２支持領域との間にあり、
    前記第３支持部は、前記第１方向において、前記基体と前記第３支持領域との間にあり、
    前記第１支持領域は、前記第１支持部に支持され、
    前記第２支持領域は、前記第２支持部に支持され、
    前記第３支持領域は、前記第３支持部に支持され、
    前記第２方向において、前記第２支持領域は、前記第１可動領域と前記第１梁との間にあり、
    前記第２方向において、前記第１支持領域は、前記第１梁と前記第２梁との間にあり、
    前記第２方向において、前記第３支持領域は、前記第２梁と前記第２可動領域との間にあり、
    前記第１接続構造体は、前記第２支持領域に支持され、
    前記第１梁は、前記第１接続構造体及び前記第１支持領域に支持され、
    前記第２接続構造体は、前記第３支持領域に支持され、
    前記第２梁は、前記第１支持領域及び前記第２接続構造体に支持された、請求項１２に記載のセンサ。
14. 前記基体に固定された第１電極と、
    前記基体に固定された第１対向電極と、
    をさらに備え、
    前記第１部材は、前記第１梁に接続された第１対向梁電極をさらに含み、
    前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
    前記第１電極は、前記第１梁電極と対向し、
    前記第１対向電極は、前記第１対向梁電極と対向する、請求項１３に記載のセンサ。
15. 制御部をさらに備え、
    前記制御部は、前記第１電極と前記第１梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
    前記制御部は、前記第１対向電極と前記第１対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、請求項１４に記載のセンサ。
16. 前記第１部材は、第１対向梁電極及び第２対向梁電極を含み、
    前記第１対向梁電極は、前記第１梁に接続され、
    前記第３方向において、前記第１梁は、前記第１対向梁電極と前記第１梁電極との間にあり、
    前記第２対向梁電極は、前記第２梁に接続され、
    前記第３方向において、前記第２梁は、前記第２対向梁電極と前記第２梁電極との間にあり、
    前記第１対向梁電極及び前記第２対向梁電極は、第９条件、第１０条件、第１１条件、第１２条件、第１３条件、第１４条件、第１５条件及び第１６条件の少なくともいずれかを満たし、
    前記第９条件において、前記第２対向梁電極の第２対向質量は、前記第１対向梁電極の第１対向質量とは異なり、
    前記第１０条件において、前記第２対向梁電極の前記第１方向に沿う第２対向厚さは、前記第１対向梁電極の前記第１方向に沿う第１対向厚さとは異なり、
    前記第１１条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向材料の少なくとも一部は、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向材料の少なくとも一部と異なり、
    前記第１２条件において、前記第２対向梁電極に含まれる第２対向孔の第２対向大きさは、前記第１対向梁電極に含まれる第１対向孔の第１対向大きさとは異なり、
    前記第１３条件において、前記第２対向孔の第２対向密度は、前記第１対向孔の第１対向密度とは異なり、
    前記第１４条件において、前記第２対向孔の第２対向数は、前記第１対向孔の第１対向数とは異なり、
    前記第１５条件において、前記第２対向孔の第２対向形状は、前記第１対向孔の第１対向形状とは異なり、
    前記第１６条件において、前記第２対向梁電極の第２対向層構造は、前記第１対向梁電極の第１対向層構造とは異なる、請求項１３に記載のセンサ。
17. 前記第１部材は、第３可動領域及び第１構造体をさらに含み、
    前記第１梁電極は、前記第３方向において前記第１梁と前記第３可動領域との間にあり、
    前記第１構造体は、第１部分、第１他部分及び第１中間部分を含み、
    前記第１部分から前記第１他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第１中間部分は、前記第１部分と前記第１他部分との間にあり、
    前記第１部分は、前記第１接続構造体と接続され、
    前記第１他部分は、前記第３可動領域と接続され、
    前記第１中間部分は、前記第２支持領域と接続され、
    前記第１部材は、第３構造体をさらに含み、
    前記第３構造体は、第３部分、第３他部分及び第３中間部分を含み、
    前記第３部分から前記第３他部分への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第３中間部分は、前記第３部分と前記第３他部分との間にあり、
    前記第３部分は、前記第２接続構造体と接続され、
    前記第３他部分は、前記第３可動領域と接続され、
    前記第３中間部分は、前記第３支持領域と接続され、
    前記第１部材は、第４可動領域及び第２構造体をさらに含み、
    前記第１対向梁電極は、前記第３方向において前記第４可動領域と前記第１梁との間にあり、
    前記第２構造体は、第２部分、第２他部分及び第２中間部分を含み、
    前記第２他部分から前記第２部分への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第２中間部分は、前記第２他部分と前記第２部分との間にあり、
    前記第２部分は、前記第１接続構造体と接続され、
    前記第２他部分は、前記第４可動領域と接続され、
    前記第２中間部分は、前記第２支持領域と接続され、
    前記第１部材は、第４構造体をさらに含み、
    前記第４構造体は、第４部分、第４他部分及び第４中間部分を含み、
    前記第４他部分から前記第４部分への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第４中間部分は、前記第４他部分と前記第４部分との間にあり、
    前記第４部分は、前記第２接続構造体と接続され、
    前記第４他部分は、前記第４可動領域と接続され、
    前記第４中間部分は、前記第３支持領域と接続された、請求項１６に記載のセンサ。
18. 前記第１部材は、第１支持構造体、第２支持構造体、第３支持構造体及び第４支持構造体をさらに含み、
    前記第１支持構造体及び前記第２支持構造体は、前記第２支持領域に接続され、
    前記第２支持領域は、前記第３方向において前記第１支持構造体と前記第２支持構造体との間にあり、
    前記第１可動領域は、前記第１支持構造体及び前記第２支持構造体に支持され、
    前記第３支持構造体及び前記第４支持構造体は、前記第３支持領域に接続され、
    前記第３支持領域は、前記第３方向において前記第３支持構造体と前記第４支持構造体との間にあり、
    前記第２可動領域は、前記第３支持構造体及び前記第４支持構造体に支持された、請求項１７に記載のセンサ。
19. 前記第１部材は、第１対向梁、第２対向梁、第１対向梁電極及び第２対向梁電極をさらに含み、
    前記第１対向梁及び前記第２対向梁は、前記第２方向に沿って延び、
    前記第１対向梁は、前記第２支持部及び前記第１支持部により支持され、
    前記第２対向梁は、前記第１支持部及び前記第３支持部により支持され、
    前記第１対向梁電極は、前記第１対向梁に接続され、
    前記第１対向梁電極から前記第１対向梁への方向は、前記第３方向に沿い、
    前記第２対向梁電極は、前記第２対向梁に接続され、
    前記第２対向梁電極から前記第２対向梁への方向は、前記第３方向に沿う、請求項１２に記載のセンサ。
20. 請求項１に記載のセンサと、
    前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
    を備えた電子装置。

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