JP2024041698A - センサ及び電子装置 - Google Patents
センサ及び電子装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024041698A JP2024041698A JP2023004635A JP2023004635A JP2024041698A JP 2024041698 A JP2024041698 A JP 2024041698A JP 2023004635 A JP2023004635 A JP 2023004635A JP 2023004635 A JP2023004635 A JP 2023004635A JP 2024041698 A JP2024041698 A JP 2024041698A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opposing
- electrode
- support
- condition
- beam electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【課題】特性の向上が可能なセンサ及び電子装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、基体と、基体に固定された第1支持部と、第1支持部に支持された第1部材と、を含む。第1部材は、第1梁電極及び第2梁電極を含む。第2梁電極の質量は、第1梁電極の質量とは異なる。第2梁電極の厚さは、第1梁電極の厚さとは異なる。第2梁電極に含まれる材料の少なくとも一部は、第1梁電極に含まれる材料の少なくとも一部と異なる。第2梁電極に含まれる第2孔の大きさは、第1梁電極に含まれる第1孔の大きさとは異なる。第2孔の密度は、第1孔の密度とは異なる。第2孔の数は、第1孔の数とは異なる。第2孔の形状は、第1孔の形状とは異なる。第2梁電極の層構造は、第1梁電極の層構造とは異なる。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。
例えば、MEMS構造を利用したセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び電子装置を提供する。
実施形態によれば、センサは、基体と、前記基体に固定された第1支持部と、前記第1支持部に支持された第1部材と、を含む。前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられる。前記第1部材は、第1支持領域、第1接続構造体、第2接続構造体、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含む。前記第1支持部は、前記基体から前記第1支持部への第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にある。前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持される。前記第1梁及び前記第2梁は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる。前記第1接続構造体から前記第2接続構造体への方向は、前記第2方向に沿う。前記第1支持領域は、前記第2方向において、前記第1接続構造体と前記第2接続構造体との間にある。前記第1梁は、第1端と第1他端とを含む。前記第1端は前記第1接続構造体と接続される。前記第1他端は前記第1支持領域と接続される。前記第2梁は、第2端と第2他端とを含む。前記第2端は前記第2接続構造体と接続される。前記第2他端は前記第1支持領域と接続される。前記第1梁電極は、前記第1梁に接続される。前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する。前記第2梁電極は、前記第2梁に接続される。前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿う。前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たす。前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なる。前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なる。前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なる。前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なる。前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なる。前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なる。前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なる。前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図2は、図1のA1-A2線断面図である。
図1は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図2は、図1のA1-A2線断面図である。
図1及び図2に示すように、実施形態に係るセンサ110は、基体50S、第1支持部10S及び第1部材10Mを含む。
図2に示すように、第1支持部10Sは、基体50Sに固定される。第1部材10Mは、第1支持部10Sに支持される。基体50Sと第1部材10Mとの間に間隙g1が設けられる。第1部材10Mの少なくとも一部は、導電性で良い。
基体50Sから第1支持部10Sへの第1方向D1をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
図1に示すように、第1部材10Mは、第1支持領域10Ms、第1可動領域10Ma、第2可動領域10Mb、第1接続構造体21c、第2接続構造体22c、第1梁31、第2梁32、第1梁電極31E、及び、第2梁電極32Eを含む。
図2に示すように、第1支持部10Sは、第1方向D1において、基体50Sと第1支持領域10Msとの間にある。
図1に示すように、第1梁31及び第2梁32は、第2方向D2に沿って延びる。第2方向D2は、第1方向D1と交差する。第2方向D2は、例えばX軸方向である。
第2方向D2において、第1支持領域10Msは、第1可動領域10Maと第2可動領域10Mbとの間にある。
第1接続構造体21cは、第1可動領域10Maに支持される。第1接続構造体21cは、第2方向D2において第1可動領域10Maと第1支持領域10Msとの間にある。
第1梁31は、第1端31eと第1他端31fとを含む。第1端31eは第1接続構造体21cと接続される。第1他端31fは第1支持領域10Msと接続される。
第2接続構造体22cは、第2可動領域10Mbに支持される。第2接続構造体22cは、第2方向D2において第1支持領域10Msと第2可動領域10Mbとの間にある。
第2梁32は、第2端32eと第2他端32fとを含む。第2端32eは第2接続構造体22cと接続される。第2他端32fは第1支持領域10Msと接続される。
第1梁電極31Eは、第1梁31に接続される。第1梁31から第1梁電極31Eへの第3方向D3は、第1方向D1及び第2方向D2を含む平面と交差する。
第2梁電極32Eは、第2梁32に接続される。第2梁32から第2梁電極32Eへの方向は、第3方向D3に沿う。
実施形態において、第2梁電極32Eは、第1梁電極31Eに対して、非対称である。例えば、第1梁電極31Eと第2梁電極32Eとの間で、質量、厚さ、形状、層構造、材料、及び、孔の少なくともいずれかが異なる。これにより、例えば、第1梁31と第2梁32との間において、共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。特性の向上が可能なセンサを提供できる。
図3は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図3には、図1の一部が拡大されて示されている。
図3に示すように、センサ110は、第1電極51及び第2電極52を含んで良い。第1電極51及び第2電極52は、基体50Sに固定される。
図3には、図1の一部が拡大されて示されている。
図3に示すように、センサ110は、第1電極51及び第2電極52を含んで良い。第1電極51及び第2電極52は、基体50Sに固定される。
上記のように、第1部材10Mは、第1梁電極31E及び第2梁電極32Eを含む。第1電極51は、第1梁電極31Eと対向する。第2電極52は、第2梁電極32Eと対向する。
図3に示すように、制御部70が設けられて良い。制御部70は、センサ110に含まれて良い。制御部70は、センサ110とは別に設けられても良い。
制御部70は、第1電極51、第2電極52、第1梁電極31E及び第2梁電極32Eと電気的に接続される。例えば、第1梁電極31E及び第2梁電極32Eは、第1部材10Mの例えば第1支持領域10Msと電気的に接続される。
制御部70は、第1電極51と第1梁電極31Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部70は、第2電極52と第2梁電極32Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。第1梁31は、駆動信号に応じて振動可能である。第2梁32は、駆動信号に応じて振動可能である。
例えば、第1部材10Mに外部から力(加速度)が加わると、第1部材10Mは、第2方向D2に沿って変位可能である。例えば、第1可動領域10Ma及び第2可動領域10Mbは、第2方向D2に沿って変位する。変位が第1接続構造体21c及び第2接続構造体22cに伝達される。これにより、第1接続構造体21c及び第2接続構造体22cが、第2方向D2に沿って変位する。この変位に基づいて、第1梁31及び第2梁32に圧縮応力または引張応力が加わる。応力により、第1梁31の共振周波数が変化し、第2梁32の共振周波数が変化する。共振周波数の変化の大小は、第1梁31と第2梁32とで逆である。第1梁31の共振周波数と、第2梁32の共振周波数と、の差を検出することで、外部から加わった力(加速度)を高い精度で検出できる。
上記のように、実施形態においては、第1梁電極31Eと第2梁電極32Eとが互いに非対称である。これにより、第1梁31と第2梁32との間において共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。
第1梁31と第2梁32との間における共振周波数の差は、任意の手法で検出されて良い。例えば、光学的な手法により、共振周波数の差が検出されても良い。例えば、電気的な手法により、共振周波数の差が検出されても良い。以下では、電気的な手法により、共振周波数の差が検出される構成の例について説明する。
図3に示すように、センサ110は、第1対向電極51A及び第2対向電極52Aを含んで良い。第1対向電極51A及び第2対向電極52Aは、基体50Sに固定される。第1部材10Mは、第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEを含んで良い。第1対向梁電極31AEは、第1梁31に接続される。第3方向D3において、第1梁31は、第1対向梁電極31AEと第1梁電極31Eとの間にある。第2対向梁電極32AEは、第2梁32に接続される。第3方向D3において、第2梁32は、第2対向梁電極32AEと第2梁電極32Eとの間にある。
第1電極51は、第1梁電極31Eと対向する。第1対向電極51Aは、第1対向梁電極31AEと対向する。第2電極52は、第2梁電極32Eと対向する。第2対向電極52Aは、第2対向梁電極32AEと対向する。
図3に示すように、制御部70は、第1電極51と第1梁電極31Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部70は、第1対向電極51Aと第1対向梁電極31AEとの間に生じる電気信号を検出可能である。制御部70は、第2電極52と第2梁電極32Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部70は、第2対向電極52Aと第2対向梁電極32AEとの間に生じる電気信号を検出可能である。
第1対向電極51Aと第1対向梁電極31AEとの間に生じる電気信号、及び、第2対向電極52Aと第2対向梁電極32AEとの間に生じる電気信号を検出することで、第1梁31の共振周波数と、第2梁32の共振周波数と、の差が検出される。周波数の差を検出することで、外部から加わった力(加速度)を高い精度で検出できる。
実施形態において、第2対向梁電極32AEは、第1対向梁電極31AEに対して、非対称で良い。例えば、第1対向梁電極31AEと第2対向梁電極32AEとの間で、質量、厚さ、形状、層構造、材料及び孔の少なくともいずれかが異なる。これにより、例えば、第1梁31と第2梁32との間において、共振周波数の差が大きくなる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図4(a)は、図1のB1-B2線断面図である。図4(b)は、図1のC1-C2線断面図である。
図4(a)は、図1のB1-B2線断面図である。図4(b)は、図1のC1-C2線断面図である。
図4(a)に示すように、第1梁電極31Eは、第1孔31hを含む。第2梁電極32Eは、第2孔32hを含む。この例では、第2孔32hの数は、第1孔31hの数とは異なる。例えば、第2孔32hの第2密度は、第1孔31hの第1密度とは異なる。
図4(b)に示すように、第1対向梁電極31AEは、第1対向孔31Ahを含む。第2対向梁電極32AEは、第2対向孔32Ahを含む。この例では、第2対向孔32Ahの数は、第1対向孔31Ahの数とは異なる。例えば、第2対向孔32Ahの第2対向密度は、第1対向孔31Ahの第1対向密度とは異なる。
図5(a)及び図5(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図5(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図5(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図5(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図5(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図5(a)に示すように、実施形態に係るセンサ111において、第1梁電極31Eは、第1孔31hを含む。第2梁電極32Eは、第2孔32hを含む。この例では、第2孔32hの大きさ(この例では、第2方向D2に沿う長さ)は、第1孔31hの大きさ(この例では、第2方向D2に沿う長さ)とは異なる。例えば、第2孔32hの第2大きさは、第1孔31hの第1大きさとは異なる。
図5(b)に示すように、第1対向梁電極31AEは、第1対向孔31Ahを含む。第2対向梁電極32AEは、第2対向孔32Ahを含む。この例では、第2対向孔32Ahの大きさ(この例では、第2方向D2に沿う長さ)は、第1対向孔31Ahの大きさ(この例では、第2方向D2に沿う長さ)とは異なる。例えば、第2対向孔32Ahの第2対向大きさは、第1対向孔31Ahの第1対向大きさとは異なる。
図6(a)及び図6(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図6(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図6(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図6(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図6(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図6(a)に示すように、実施形態に係るセンサ112において、第1梁電極31Eの厚さは、第2梁電極32Eの厚さと異なる。例えば、第2梁電極32Eの第1方向D1に沿う第2厚さは、第1梁電極31Eの第1方向D1に沿う第1厚さとは異なる。
図6(b)に示すように、第1対向梁電極31AEの厚さは、第2対向梁電極32AEの厚さと異なる。例えば、第2対向梁電極32AEの第1方向D1に沿う第2対向厚さは、第1対向梁電極31AEの第1方向D1に沿う第1対向厚さとは異なる。
図7(a)及び図7(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図7(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図7(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図7(a)は、図1のB1-B2線に対応する断面図である。図7(b)は、図1のC1-C2線に対応する断面図である。
図7(a)に示すように、実施形態に係るセンサ113において、第2梁電極32Eは、金属層32Fを含む。第1梁電極31Eは、金属層32Fを含まない。例えば、第2梁電極32Eに含まれる第2材料の少なくとも一部は、第1梁電極31Eに含まれる第1材料の少なくとも一部と異なる。
図7(b)に示すように、第2対向梁電極32AEは、金属層32Fを含む。第1対向梁電極31AEは、金属層32Fを含まない。例えば、第2対向梁電極32AEに含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、第1対向梁電極31AEに含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なる。
例えば、第1梁電極31Eと第2梁電極32Eとにおいて質量が異なっても良い。
第1梁電極31E及び第2梁電極32Eは、以下の、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たして良い。
第1条件において、第2梁電極32Eの第2質量は、第1梁電極31Eの第1質量とは異なる。第2条件において、第2梁電極32Eの第1方向D1に沿う第2厚さは、第1梁電極31Eの第1方向D1に沿う第1厚さとは異なる。第3条件において、第2梁電極32Eに含まれる第2材料の少なくとも一部は、第1梁電極31Eに含まれる第1材料の少なくとも一部と異なる。
第4条件において、第2梁電極32Eに含まれる第2孔32hの第2大きさは、第1梁電極31Eに含まれる第1孔31hの第1大きさとは異なる。第5条件において、第2孔32hの第2密度は、第1孔31hの第1密度とは異なる。第6条件において、第2孔32hの第2数は、第1孔31hの第1数とは異なる。第7条件において、第2孔32hの第2形状は、第1孔31hの第1形状とは異なる。第8条件において、第2梁電極32Eの第2層構造は、第1梁電極31Eの第1層構造とは異なる。これらの条件により、第1梁31と第2梁32との間に、共振周波数の差が形成されて良い。
第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEは、以下の、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たして良い。
第9条件において、第2対向梁電極32AEの第2対向質量は、第1対向梁電極31AEの第1対向質量とは異なる。第10条件において、第2対向梁電極32AEの第1方向D1に沿う第2対向厚さは、第1対向梁電極31AEの第1方向D1に沿う第1対向厚さとは異なる。第11条件において、第2対向梁電極32AEに含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、第1対向梁電極31AEに含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なる。
第12条件において、第2対向梁電極32AEに含まれる第2対向孔32Ahの第2対向大きさは、第1対向梁電極31AEに含まれる第1対向孔31Ahの第1対向大きさとは異なる。第13条件において、第2対向孔32Ahの第2対向密度は、第1対向孔31Ahの第1対向密度とは異なる。第14条件において、第2対向孔32Ahの第2対向数は、第1対向孔31Ahの第1対向数とは異なる。第15条件において、第2対向孔32Ahの第2対向形状は、第1対向孔31Ahの第1対向形状とは異なる。第16条件において、第2対向梁電極32AEの第2対向層構造は、第1対向梁電極31AEの第1対向層構造とは異なる。これらの条件により、第1梁31と第2梁32との間に、共振周波数の差が形成されて良い。
実施形態において、第1梁電極31Eの平面形状の外形は、第2梁電極32Eの平面形状の外形と同じで良い。第1対向梁電極31AEの平面形状の外形は、第2対向梁電極32AEの平面形状の外形と同じで良い。例えば、同じ放熱性が得られる。例えば、第1梁電極31Eと第2梁電極32Eとの間における温度の差を抑制できる。例えば、第1対向梁電極31AEと第2対向梁電極32AEとの間における温度の差を抑制できる。
例えば、第2方向D2及び第3方向D3を含む第1平面(X-Y平面)における第1梁電極31Eの第1平面形状の第1外形は、第1平面における第2梁電極32Eの第2平面形状の第2外形と実質的に同じである。
例えば、第1対向梁電極31AEは、第1接続構造体21c及び第2接続構造体22cを通過し第2方向D2に沿う軸に対して、第1梁電極31Eと線対称であることが好ましい。例えば、第2対向梁電極32AEは、第1接続構造体21c及び第2接続構造体22cを通過し第2方向D2に沿う軸に対して、第2梁電極32Eと線対称であることが好ましい。安定した振動が得られる。
図1に示すように、第1部材10Mは、第1構造体21及び第1支持構造体11Sをさらに含んで良い。第1構造体21の第2方向D2における第1構造***置は、第1可動領域10Maの第2方向D2における第1可動領域位置と、第1梁31の第2方向D2における第1梁位置と、の間にある。
第1接続構造体21cの第2方向D2における第1接続構造***置は、第1構造***置と、第1梁位置と、の間にある。第1支持構造体11Sの第2方向D2における第1支持構造***置は、第1構造***置と、第1支持領域10Msの第2方向D2における第1支持領域位置と、の間にある。
第1構造体21は、第1部分21e、第1他部分21f及び第1中間部分21mを含む。第1部分21eから第1他部分21fへの方向は、第3方向D3に沿う。第1中間部分21mは、第1部分21eと第1他部分21fとの間にある。第1部分21eは、第1接続構造体21cと接続される。第1他部分21fは、第1可動領域10Maと接続される。第1中間部分21mは、第1支持構造体11Sと接続される。
図1に示すように、第1部材10Mは、第3構造体23及び第3支持構造体13Sをさらに含んで良い。第3構造体23の第2方向D2における第3構造***置は、第2梁32の第2方向D2における第2梁位置と、第2可動領域10Mbの第2方向D2における第2可動領域位置と、の間にある。
第2接続構造体22cの第2方向D2における第2接続構造***置は、第2梁位置と、第3構造***置と、の間にある。第3支持構造体13Sの第2方向D2における第3支持構造***置は、第1支持領域位置と、第3構造***置と、の間にある。
第3構造体23は、第3部分23e、第3他部分23f及び第3中間部分23mを含む。第3部分23eから第3他部分23fへの方向は、第3方向D3に沿う。第3中間部分23mは、第3部分23eと第3他部分23fとの間にある。第3部分23eは、第2接続構造体22cと接続される。第3他部分23fは、第2可動領域10Mbと接続される。第3中間部分23mは、第3支持構造体13Sと接続される。
図1に示すように、第1部材10Mは、第2構造体22及び第2支持構造体12Sをさらに含んで良い。第2構造体22の第2方向D2における第2構造***置は、第1可動領域位置と、第1梁位置と、の間にある。第2支持構造体12Sの第2方向D2における第2支持構造***置は、第2構造***置と、第1支持領域位置と、の間にある。
第2構造体22は、第2部分22e、第2他部分22f及び第2中間部分22mを含む。第2他部分22fから第2部分22eへの方向は、第3方向D3に沿う。第2中間部分22mは、第2他部分22fと第2部分22eとの間にある。第2部分22eは、第1接続構造体21cと接続される。第2他部分22fは、第1可動領域10Maと接続される。第2中間部分22mは、第2支持構造体12Sと接続される。第3方向D3において、第1接続構造体21cは、第2支持構造体12Sの少なくとも一部と、第1支持構造体11Sの少なくとも一部と、の間にある。
図1に示すように、第1部材10Mは、第4構造体24及び第4支持構造体14Sをさらに含んで良い。第4構造体24の第2方向D2における第4構造***置は、第2梁位置と、第2可動領域位置と、の間にある。第4支持構造体14Sの第2方向D2における第4支持構造***置は、第1支持領域位置と、第4構造***置と、の間にある。
第4構造体24は、第4部分24e、第4他部分24f及び第4中間部分24mを含む。第4他部分24fから第4部分24eへの方向は、第3方向D3に沿う。第4中間部分24mは、第4他部分24fと第4部分24eとの間にある。第4部分24eは、第2接続構造体22cと接続される。第4他部分24fは、第2可動領域10Mbと接続される。第4中間部分24mは、第4支持構造体14Sと接続される。第3方向D3において、第2接続構造体22cは、第4支持構造体14Sの少なくとも一部と、第3支持構造体13Sの少なくとも一部と、の間にある。
第1構造体21、第2構造体22、第3構造体23及び第4構造体24は、例えば、てこである。第1部分21eは、例えば、作用点である。第1他部分21fは、例えば、力点である。第1中間部分21mは、例えば、支点である。第2部分22eは、例えば、作用点である。第2他部分22fは、例えば、力点である。第2中間部分22mは、例えば、支点である。第3部分23eは、例えば、作用点である。第3他部分23fは、例えば、力点である。第3中間部分23mは、例えば、支点である。第4部分24eは、例えば、作用点である。第4他部分24fは、例えば、力点である。第4中間部分24mは、例えば、支点である。
第1構造体21及び第2構造体22により、第1可動領域10Maの変位が、第1接続構造体21cに効率良く伝わる。第3構造体23及び第4構造体24により、第2可動領域10Mbの変位が、第2接続構造体22cに効率良く伝わる。
第1部分21eと第1中間部分21mとの間の第3方向D3に沿う距離を第1距離とする。第1中間部分21mと第1他部分21fとの間の第3方向D3に沿う距離を第2距離とする。例えば、第1距離は、第2距離よりも短い。このような第1構造体21により、例えば、第1可動領域10Maの第2方向D2に沿う変位が、第1接続構造体21cに効率よく伝達される。第1構造体21に関する構成は、第2構造体22、第3構造体23及び第4構造体24に適用できる。
図1に示すように、第1部材10Mは、第3可動領域10Mc及び第4可動領域10Mdを含んで良い。第4可動領域10Mdから第3可動領域10Mcへの方向は、第3方向D3に沿う。第3可動領域10Mc及び第4可動領域10Mdは、第1可動領域10Ma及び第2可動領域10Mbと連続する。第3可動領域10Mcと第4可動領域10Mdとの間に、第1支持領域10Msがある。
図3に示すように、第1部材10Mは、第1可動領域接続部11Aをさらに含んで良い。第1支持構造体11Sの第3方向D3における位置は、第1支持領域10Msの第3方向D3における位置と、第3可動領域10Mcの第3方向D3における位置と、の間にある。第1可動領域接続部11Aは、第1支持構造体11Sを第3可動領域10Mcに接続する。第1可動領域接続部11Aが設けられることで、第1支持構造体11Sの第3方向D3に沿う変位が抑制される。第1支持構造体11Sの第2方向D2に沿う変位が安定になる。
図3に示すように、第1部材10Mは、第2可動領域接続部12Aをさらに含んで良い。第2支持構造体12Sの第3方向D3における位置は、第4可動領域10Mdの第3方向D3における位置と、第1支持領域10Msの第3方向D3における位置と、の間にある。第2可動領域接続部12Aは、第2支持構造体12Sを第4可動領域10Mdに接続する。第2可動領域接続部12Aが設けられることで、第2支持構造体12Sの第3方向D3に沿う変位が抑制される。第2支持構造体12Sの第2方向D2に沿う変位が安定になる。
図3に示すように、第1部材10Mは、第3可動領域接続部13Aをさらに含んで良い。第3支持構造体13Sの第3方向D3における位置は、第1支持領域10Msの第3方向D3における位置と、第3可動領域10Mcの第3方向D3における位置と、の間にある。第3可動領域接続部13Aは、第3支持構造体13Sを第3可動領域10Mcに接続する。第3可動領域接続部13Aが設けられることで、第3支持構造体13Sの第3方向D3に沿う変位が抑制される。第3支持構造体13Sの第2方向D2に沿う変位が安定になる。
図3に示すように、第1部材10Mは、第4可動領域接続部14Aをさらに含んで良い。第4支持構造体14Sの第3方向D3における位置は、第4可動領域10Mdの第3方向D3における位置と、第1支持領域10Msの第3方向D3における位置と、の間にある。第4可動領域接続部14Aは、第4支持構造体14Sを第4可動領域10Mdに接続する。第4可動領域接続部14Aが設けられることで、第4支持構造体14Sの第3方向D3に沿う変位が抑制される。第4支持構造体14Sの第2方向D2に沿う変位が安定になる。
センサ110に関して説明した上記の構成は、センサ111~113に適用されて良い。
図1に示すように、第1梁電極31Eは、第1延在部31Ea及び第1接続部31Exを含む。第1延在部31Eaは、第2方向D2に沿って延びる。第1接続部31Exは、第1延在部31Eaを第1梁31に接続する。第1梁電極31Eの構成は、第1対向梁電極31AE、第2梁電極32E及び第2対向梁電極32AEに適用されて良い。
図8は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図9(a)及び図9(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図9(a)及び図9(b)は、図8の一部を例示している。
図9(a)及び図9(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図9(a)及び図9(b)は、図8の一部を例示している。
図8に示すように、実施形態にかかるセンサ114において、第1梁電極31Eは、第2方向D2に沿って延びる第1延在部31Eaと、第1延在部31Eaを第1梁31に接続する第1接続部31Exと、を含む。センサ114においては、第1梁電極31Eは、複数の第1延在部31Eaを含む。
図9(a)に示すように、複数の第1延在部31Eaが設けられる。第1接続部31Exは、複数の第1延在部31Eaを互いに接続する。複数の第1延在部31Eaの1つは、第1梁31と、複数の第1延在部31Eaの別の1つと、の間にある。複数の第1延在部31Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1延在部31Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。複数の第1延在部31Eaの第2方向D2に沿う長さは、第1梁31から離れるに従って短くなる。
例えば、複数の第1延在部31Eaの1つは、第1電極51の一部と、第1対向電極51Aの一部と、の間に設けられても良い。複数の第1延在部31Eaが設けられることで、第1梁31をより効果的に振動させることができる。複数の第1延在部31Eaが設けられることで、第1梁31の共振周波数をより効果的に検出することができる。
図9(a)に示すように、第1対向梁電極31AEは、第2方向D2に沿って延びる第1対向延在部31AEaと、第1対向延在部31AEaを第1梁31に接続する第1対向接続部31AExと、を含んで良い。この例では、複数の第1対向延在部31AEaが設けられる。第1対向接続部31AExは、複数の第1対向延在部31AEaを互いに接続する。複数の第1対向延在部31AEaの1つは、第1梁31と、複数の第1対向延在部31AEaの別の1つと、の間にある。複数の第1対向延在部31AEaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1対向延在部31AEaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。複数の第1対向延在部31AEaの第2方向D2に沿う長さは、第1梁31から離れるに従って短くなる。
図9(b)に示すように、第2梁電極32Eは、第2方向D2に沿って延びる第2延在部32Eaと、第2延在部32Eaを第2梁32に接続する第2接続部32Exと、を含んで良い。複数の第2延在部32Eaが設けられる。第2接続部32Exは、複数の第2延在部32Eaを互いに接続する。複数の第2延在部32Eaの1つは、第2梁32と、複数の第2延在部32Eaの別の1つと、の間にある。複数の第2延在部32Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第2延在部32Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。複数の第2延在部32Eaの第2方向D2に沿う長さは、第2梁32から離れるに従って短くなる。
図9(b)に示すように、第2対向梁電極32AEは、第2方向D2に沿って延びる第2対向延在部32AEaと、第2対向延在部32AEaを第2梁32に接続する第2対向接続部32AExと、を含んで良い。この例では、複数の第2対向延在部32AEaが設けられる。第2対向接続部32AExは、複数の第2対向延在部32AEaを互いに接続する。複数の第2対向延在部32AEaの1つは、第2梁32と、複数の第2対向延在部32AEaの別の1つと、の間にある。複数の第2対向延在部32AEaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第2対向延在部32AEaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。複数の第2対向延在部32AEaの第2方向D2に沿う長さは、第2梁32から離れるに従って短くなる。
センサ111~114においても、広いダイナミックレンジが得られる。特性の向上が可能なセンサを提供できる。
図10は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図10に示すように、実施形態に係るセンサ120においては、第1梁31及び第2梁32に加えて、第1対向梁31A及び第2対向梁32Aが設けられる。これを除くセンサ120の構成は、センサ110の構成と同様で良い。
図10に示すように、実施形態に係るセンサ120においては、第1梁31及び第2梁32に加えて、第1対向梁31A及び第2対向梁32Aが設けられる。これを除くセンサ120の構成は、センサ110の構成と同様で良い。
センサ120において、第1部材10Mは、第1対向梁31A、第2対向梁32A、第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEを含む。第1対向梁31A及び第2対向梁32Aは、第2方向D2に沿って延びる。
第1対向梁31Aは、第1対向端31Aeと第1対向他端31Afとを含む。第1対向端31Aeは第1接続構造体21cと接続される。第1対向他端31Afは第1支持領域10Msと接続される。
第2対向梁32Aは、第2対向端32Aeと第2対向他端32Afとを含む。第2対向端32Aeは第2接続構造体22cと接続される。第2対向他端32Afは第1支持領域10Msと接続される。
第1対向梁電極31AEは、第1対向梁31Aに接続される。第3方向D3において、第1対向梁電極31AEと第1梁電極31Eとの間に第1対向梁31Aがある。第3方向D3において、第1対向梁31Aと第1梁電極31Eとの間に第1梁31がある。
第2対向梁電極32AEは、第2対向梁32Aに接続される。第3方向D3において、第2対向梁電極32AEと第2梁電極32Eとの間に第2対向梁32Aがある。第3方向D3において、第2対向梁32Aと第2梁電極32Eとの間に第2梁32がある。
第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEは、上記の第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たす。センサ120においても、広いダイナミックレンジが得られる。特性の向上が可能なセンサを提供できる。
センサ120において、第1電極51及び第1対向電極51Aが設けられて良い(図3参照)。第1電極51は、第1梁電極31Eと対向する。第1対向電極51Aは、第1対向梁電極31AEと対向する。第2電極52及び第2対向電極52Aが設けられて良い(図3参照)。第2電極52は、第2梁電極32Eと対向する。第2対向電極52Aは、第2対向梁電極32AEと対向する。
センサ120において、制御部70(図3参照)は、第1電極51と第1梁電極31Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部70は、第1対向電極51Aと第1対向梁電極31AEとの間に生じる電気信号を検出可能である。制御部70(図3参照)は、第2電極52と第2梁電極32Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。制御部70は、第2対向電極52Aと第2対向梁電極32AEとの間に生じる電気信号を検出可能である。
図11(a)及び図11(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図11(a)に示すように、実施形態に係るセンサ121においては、複数の第1延在部31Eaが設けられる。複数の第1延在部31Eaの1つは、第1梁31と、複数の第1延在部31Eaの別の1つと、の間にある。複数の第1延在部31Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1延在部31Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
図11(a)に示すように、実施形態に係るセンサ121においては、複数の第1延在部31Eaが設けられる。複数の第1延在部31Eaの1つは、第1梁31と、複数の第1延在部31Eaの別の1つと、の間にある。複数の第1延在部31Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1延在部31Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
図11(a)に示すように、複数の第1対向延在部31AEaが設けられて良い。複数の第1対向延在部31AEaの1つは、第1梁31と、複数の第1対向延在部31AEaの別の1つと、の間にある。複数の第1対向延在部31AEaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1対向延在部31AEaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
図11(b)に示すように、複数の第2延在部32Eaが設けられて良い。複数の第2延在部32Eaの1つは、第2梁32と、複数の第2延在部32Eaの別の1つと、の間にある。複数の第2延在部32Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第2延在部32Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
図11(b)に示すように、複数の第2対向延在部32AEaが設けられて良い。複数の第2対向延在部32AEaの1つは、第2梁32と、複数の第2対向延在部32AEaの別の1つと、の間にある。複数の第2対向延在部32AEaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第2対向延在部32AEaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
既に説明したように、第1部材10Mの少なくとも一部は、導電性で良い。第1部材10Mは、例えば、導電性のシリコンなどを含んで良い。第1部材10Mは、例えば、金属層を含んで良い。例えば、高い放熱性が得られる。
(第2実施形態)
第2実施形態は、電子装置に係る。
図12は、第2実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図12に示すように、実施形態に係る電子装置310は、第1実施形態に係るセンサと、回路制御部170と、を含む。図12の例では、センサとして、センサ110が描かれている。回路制御部170は、センサから得られる信号S1に基づいて回路180を制御可能である。回路180は、例えば駆動装置185の制御回路などである。実施形態によれば、例えば、駆動装置185を制御するための回路180などを高精度で制御できる。
第2実施形態は、電子装置に係る。
図12は、第2実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図12に示すように、実施形態に係る電子装置310は、第1実施形態に係るセンサと、回路制御部170と、を含む。図12の例では、センサとして、センサ110が描かれている。回路制御部170は、センサから得られる信号S1に基づいて回路180を制御可能である。回路180は、例えば駆動装置185の制御回路などである。実施形態によれば、例えば、駆動装置185を制御するための回路180などを高精度で制御できる。
図13(a)~図13(h)は、実施形態に係る電子装置の応用を例示する模式図である。
図13(a)に示すように、電子装置310は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図13(b)に示すように、電子装置310は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図13(c)に示すように、電子装置310は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図13(d)に示すように、電子装置310は、ドローン(無人航空機)の少なくとも一部でも良い。図13(e)に示すように、電子装置310は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図13(f)に示すように、電子装置310は、船舶の少なくとも一部でも良い。図13(g)に示すように、電子装置310は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図13(h)に示すように、電子装置310は、自動車の少なくとも一部でも良い。電子装置310は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
図13(a)に示すように、電子装置310は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図13(b)に示すように、電子装置310は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図13(c)に示すように、電子装置310は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図13(d)に示すように、電子装置310は、ドローン(無人航空機)の少なくとも一部でも良い。図13(e)に示すように、電子装置310は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図13(f)に示すように、電子装置310は、船舶の少なくとも一部でも良い。図13(g)に示すように、電子装置310は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図13(h)に示すように、電子装置310は、自動車の少なくとも一部でも良い。電子装置310は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
図14(a)及び図14(b)は、実施形態に係るセンサの応用を例示する模式図である。
図14(a)に示すように、実施形態に係るセンサ430は、第1実施形態に係るセンサと、送受信部420と、を含む。図14(a)の例では、センサとして、センサ110が描かれている。送受信部420は、センサ110から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ430は、例えば、道路400などのスロープ面410などに設けられる。センサ430は、例えば、施設(例えばインフラストラクチャ)などの状態をモニタリングできる。センサ430は、例えば状態モニタリング装置で良い。
図14(a)に示すように、実施形態に係るセンサ430は、第1実施形態に係るセンサと、送受信部420と、を含む。図14(a)の例では、センサとして、センサ110が描かれている。送受信部420は、センサ110から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ430は、例えば、道路400などのスロープ面410などに設けられる。センサ430は、例えば、施設(例えばインフラストラクチャ)などの状態をモニタリングできる。センサ430は、例えば状態モニタリング装置で良い。
例えば、センサ430により、道路400のスロープ面410の状態の変化が高精度で検出される。スロープ面410の状態の変化は、例えば、傾斜角度の変化、及び、振動状態の変化の少なくともいずれかを含む。センサ110から得られた信号(検査結果)が、送受信部420により伝達される。施設(例えばインフラストラクチャ)の状態を、例えば、連続的に、監視できる。
図14(b)に示すように、センサ430は、例えば、橋梁460の一部に設けられる。橋梁460は、河川470の上に設けられる。例えば、橋梁460は、主桁450及び橋脚440の少なくともいずれかを含む。センサ430は、主桁450及び橋脚440の少なくともいずれかに設けられる。例えば、劣化などに起因して、主桁450及び橋脚440の少なくともいずれかの角度が変化する場合がある。例えば、主桁450及び橋脚440の少なくともいずれかにおいて、振動状態が変化する場合がある。センサ430により、これらの変化が高精度で検出される。検出結果が、送受信部420により、任意の場所に伝達できる。異常を効果的に検知することができる。
実施形態は、以下の構成(例えば、技術案)を含む。
(構成1)
基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記第1支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1支持領域、第1可動領域、第2可動領域、第1接続構造体、第2接続構造体、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1支持部は、前記基体から前記第1支持部への第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1可動領域と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第1可動領域に支持され、
前記第1接続構造体は、前記第2方向において前記第1可動領域と前記第1支持領域との間にあり、
前記第1梁は、第1端と第1他端とを含み、前記第1端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2接続構造体は、前記第2可動領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第2方向において前記第1支持領域と前記第2可動領域との間にあり、
前記第2梁は、第2端と第2他端とを含み、前記第2端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。
(構成1)
基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記第1支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1支持領域、第1可動領域、第2可動領域、第1接続構造体、第2接続構造体、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1支持部は、前記基体から前記第1支持部への第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1可動領域と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第1可動領域に支持され、
前記第1接続構造体は、前記第2方向において前記第1可動領域と前記第1支持領域との間にあり、
前記第1梁は、第1端と第1他端とを含み、前記第1端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2接続構造体は、前記第2可動領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第2方向において前記第1支持領域と前記第2可動領域との間にあり、
前記第2梁は、第2端と第2他端とを含み、前記第2端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。
(構成2)
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成1に記載のセンサ。
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成1に記載のセンサ。
(構成3)
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成2に記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成2に記載のセンサ。
(構成4)
前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成1に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成1に記載のセンサ。
(構成5)
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成4に記載のセンサ。
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成4に記載のセンサ。
(構成6)
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成5に記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成5に記載のセンサ。
(構成7)
前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続された、構成4に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続された、構成4に記載のセンサ。
(構成8)
前記第1部材は、第3構造体及び第3支持構造体をさらに含み、
前記第3構造体の前記第2方向における第3構造***置は、前記第2梁の前記第2方向における第2梁位置と、前記第2可動領域の前記第2方向における第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第2接続構造体の前記第2方向における第2接続構造***置は、前記第2梁位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3支持構造体の前記第2方向における第3支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持構造体と接続された、構成7に記載のセンサ。
前記第1部材は、第3構造体及び第3支持構造体をさらに含み、
前記第3構造体の前記第2方向における第3構造***置は、前記第2梁の前記第2方向における第2梁位置と、前記第2可動領域の前記第2方向における第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第2接続構造体の前記第2方向における第2接続構造***置は、前記第2梁位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3支持構造体の前記第2方向における第3支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持構造体と接続された、構成7に記載のセンサ。
(構成9)
前記第1部材は、第2構造体及び第2支持構造体をさらに含み、
前記第2構造体の前記第2方向における第2構造***置は、前記第1可動領域位置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第2支持構造体の前記第2方向における第2支持構造***置は、前記第2構造***置と、前記第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第1接続構造体は、前記第2支持構造体の少なくとも一部と、前記第1支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成8に記載のセンサ。
前記第1部材は、第2構造体及び第2支持構造体をさらに含み、
前記第2構造体の前記第2方向における第2構造***置は、前記第1可動領域位置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第2支持構造体の前記第2方向における第2支持構造***置は、前記第2構造***置と、前記第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第1接続構造体は、前記第2支持構造体の少なくとも一部と、前記第1支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成8に記載のセンサ。
(構成10)
前記第1部材は、第4構造体及び第4支持構造体を含み、
前記第4構造体の前記第2方向における第4構造***置は、前記第2梁位置と、前記第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第4支持構造体の前記第2方向における第4支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第4構造***置と、の間にあり、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第4支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第2接続構造体は、前記第4支持構造体の少なくとも一部と、前記第3支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成9に記載のセンサ。
前記第1部材は、第4構造体及び第4支持構造体を含み、
前記第4構造体の前記第2方向における第4構造***置は、前記第2梁位置と、前記第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第4支持構造体の前記第2方向における第4支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第4構造***置と、の間にあり、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第4支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第2接続構造体は、前記第4支持構造体の少なくとも一部と、前記第3支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成9に記載のセンサ。
(構成11)
前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続され、
前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、第1対向端と第1対向他端とを含み、前記第1対向端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2対向梁は、第2対向端と第2対向他端とを含み、前記第2対向端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間に前記第1対向梁があり、
前記第3方向において、前記第1対向梁と前記第1梁電極との間に前記第1梁があり、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間に前記第2対向梁があり、
前記第3方向において、前記第2対向梁と前記第2梁電極との間に前記第2梁があり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成1に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続され、
前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、第1対向端と第1対向他端とを含み、前記第1対向端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2対向梁は、第2対向端と第2対向他端とを含み、前記第2対向端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間に前記第1対向梁があり、
前記第3方向において、前記第1対向梁と前記第1梁電極との間に前記第1梁があり、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間に前記第2対向梁があり、
前記第3方向において、前記第2対向梁と前記第2梁電極との間に前記第2梁があり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成1に記載のセンサ。
(構成12)
前記第1部材は、第3構造体及び第3支持構造体をさらに含み、
前記第3構造体の前記第2方向における第3構造***置は、前記第2梁の前記第2方向における第2梁位置と、前記第2可動領域の前記第2方向における第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第2接続構造体の前記第2方向における第2接続構造***置は、前記第2梁位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3支持構造体の前記第2方向における第3支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持構造体と接続され、
前記第1部材は、第2構造体及び第2支持構造体をさらに含み、
前記第2構造体の前記第2方向における第2構造***置は、前記第1可動領域位置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第2支持構造体の前記第2方向における第2支持構造***置は、前記第2構造***置と、前記第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第1接続構造体は、前記第2支持構造体の少なくとも一部と、前記第1支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成11に記載のセンサ。
前記第1部材は、第3構造体及び第3支持構造体をさらに含み、
前記第3構造体の前記第2方向における第3構造***置は、前記第2梁の前記第2方向における第2梁位置と、前記第2可動領域の前記第2方向における第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第2接続構造体の前記第2方向における第2接続構造***置は、前記第2梁位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3支持構造体の前記第2方向における第3支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持構造体と接続され、
前記第1部材は、第2構造体及び第2支持構造体をさらに含み、
前記第2構造体の前記第2方向における第2構造***置は、前記第1可動領域位置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第2支持構造体の前記第2方向における第2支持構造***置は、前記第2構造***置と、前記第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第1接続構造体は、前記第2支持構造体の少なくとも一部と、前記第1支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成11に記載のセンサ。
(構成13)
前記第1部材は、第4構造体及び第4支持構造体を含み、
前記第4構造体の前記第2方向における第4構造***置は、前記第2梁位置と、前記第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第4支持構造体の前記第2方向における第4支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第4構造***置と、の間にあり、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第4支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第2接続構造体は、前記第4支持構造体の少なくとも一部と、前記第3支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成12に記載のセンサ。
前記第1部材は、第4構造体及び第4支持構造体を含み、
前記第4構造体の前記第2方向における第4構造***置は、前記第2梁位置と、前記第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第4支持構造体の前記第2方向における第4支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第4構造***置と、の間にあり、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第4支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第2接続構造体は、前記第4支持構造体の少なくとも一部と、前記第3支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、構成12に記載のセンサ。
(構成14)
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成13に記載のセンサ。
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成13に記載のセンサ。
(構成15)
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成14に記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成14に記載のセンサ。
(構成16)
前記第1梁電極は、
前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部を前記第1梁に接続する第1接続部と、
を含む、構成1~15のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1梁電極は、
前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部を前記第1梁に接続する第1接続部と、
を含む、構成1~15のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成17)
複数の前記第1延在部が設けられ、
前記第1接続部は、前記複数の第1延在部を互いに接続し、
前記複数の第1延在部の1つは、前記第1梁と、前記複数の第1延在部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1延在部の前記1つの、前記第2方向に沿う長さは、前記複数の第1延在部の前記別の1つの、前記第2方向に沿う長さよりも長い、構成16に記載のセンサ。
複数の前記第1延在部が設けられ、
前記第1接続部は、前記複数の第1延在部を互いに接続し、
前記複数の第1延在部の1つは、前記第1梁と、前記複数の第1延在部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1延在部の前記1つの、前記第2方向に沿う長さは、前記複数の第1延在部の前記別の1つの、前記第2方向に沿う長さよりも長い、構成16に記載のセンサ。
(構成18)
前記第2方向及び前記第3方向を含む第1平面における前記第1梁電極の第1平面形状の第1外形は、前記第1平面における前記第2梁電極の第2平面形状の第2外形と実質的に同じである、構成1~17のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第2方向及び前記第3方向を含む第1平面における前記第1梁電極の第1平面形状の第1外形は、前記第1平面における前記第2梁電極の第2平面形状の第2外形と実質的に同じである、構成1~17のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成19)
前記第1対向梁電極は、前記第1接続構造体及び前記第2接続構造体を通過し前記第2方向に沿う軸に対して、前記第1梁電極と線対称である、構成2に記載のセンサ。
前記第1対向梁電極は、前記第1接続構造体及び前記第2接続構造体を通過し前記第2方向に沿う軸に対して、前記第1梁電極と線対称である、構成2に記載のセンサ。
(構成20)
構成1~19のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
構成1~19のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
(構成21)
基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記基体に固定された第2支持部と、
前記基体に固定された第3支持部と、
前記第1支持部、前記第2支持部及び前記第3支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記基体から前記第1支持部への第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第1支持部は、前記第2方向において、前記第2支持部と前記第3支持部との間にあり、
前記第1梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。
基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記基体に固定された第2支持部と、
前記基体に固定された第3支持部と、
前記第1支持部、前記第2支持部及び前記第3支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記基体から前記第1支持部への第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第1支持部は、前記第2方向において、前記第2支持部と前記第3支持部との間にあり、
前記第1梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。
(構成22)
前記第1部材は、第1支持領域、第2支持領域、第3支持領域、第1可動領域、第2可動領域、第1接続構造体及び第2接続構造体をさらに含み、
前記第1支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第2支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第2支持領域との間にあり、
前記第3支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第3支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第2支持領域は、前記第2支持部に支持され、
前記第3支持領域は、前記第3支持部に支持され、
前記第2方向において、前記第2支持領域は、前記第1可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1梁と前記第2梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第3支持領域は、前記第2梁と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第2支持領域に支持され、
前記第1梁は、前記第1接続構造体及び前記第1支持領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第3支持領域に支持され、
前記第2梁は、前記第1支持領域及び前記第2接続構造体に支持された、構成21に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1支持領域、第2支持領域、第3支持領域、第1可動領域、第2可動領域、第1接続構造体及び第2接続構造体をさらに含み、
前記第1支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第2支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第2支持領域との間にあり、
前記第3支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第3支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第2支持領域は、前記第2支持部に支持され、
前記第3支持領域は、前記第3支持部に支持され、
前記第2方向において、前記第2支持領域は、前記第1可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1梁と前記第2梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第3支持領域は、前記第2梁と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第2支持領域に支持され、
前記第1梁は、前記第1接続構造体及び前記第1支持領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第3支持領域に支持され、
前記第2梁は、前記第1支持領域及び前記第2接続構造体に支持された、構成21に記載のセンサ。
(構成23)
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成22に記載のセンサ。
前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、構成22に記載のセンサ。
(構成24)
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成23に記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、構成23に記載のセンサ。
(構成25)
前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成22に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、構成22に記載のセンサ。
(構成26)
前記第1部材は、第3可動領域及び第1構造体をさらに含み、
前記第1梁電極は、前記第3方向において前記第1梁と前記第3可動領域との間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第3支持領域と接続され、
前記第1部材は、第3構造体をさらに含み、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4可動領域及び第2構造体をさらに含み、
前記第1対向梁電極は、前記第3方向において前記第4可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4構造体をさらに含み、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第3支持領域と接続された、構成25に記載のセンサ。
前記第1部材は、第3可動領域及び第1構造体をさらに含み、
前記第1梁電極は、前記第3方向において前記第1梁と前記第3可動領域との間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第3支持領域と接続され、
前記第1部材は、第3構造体をさらに含み、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4可動領域及び第2構造体をさらに含み、
前記第1対向梁電極は、前記第3方向において前記第4可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4構造体をさらに含み、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第3支持領域と接続された、構成25に記載のセンサ。
(構成27)
前記第1部材は、第1支持構造体、第2支持構造体、第3支持構造体及び第4支持構造体をさらに含み、
前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体は、前記第2支持領域に接続され、
前記第2支持領域は、前記第3方向において前記第1支持構造体と前記第2支持構造体との間にあり、
前記第1可動領域は、前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体に支持され、
前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体は、前記第3支持領域に接続され、
前記第3支持領域は、前記第3方向において前記第3支持構造体と前記第4支持構造体との間にあり、
前記第2可動領域は、前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体に支持された、構成26に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1支持構造体、第2支持構造体、第3支持構造体及び第4支持構造体をさらに含み、
前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体は、前記第2支持領域に接続され、
前記第2支持領域は、前記第3方向において前記第1支持構造体と前記第2支持構造体との間にあり、
前記第1可動領域は、前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体に支持され、
前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体は、前記第3支持領域に接続され、
前記第3支持領域は、前記第3方向において前記第3支持構造体と前記第4支持構造体との間にあり、
前記第2可動領域は、前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体に支持された、構成26に記載のセンサ。
(構成28)
前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極をさらに含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2対向梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第1対向梁電極から前記第1対向梁への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第2対向梁電極から前記第2対向梁への方向は、前記第3方向に沿う、構成21に記載のセンサ。
前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極をさらに含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2対向梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第1対向梁電極から前記第1対向梁への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第2対向梁電極から前記第2対向梁への方向は、前記第3方向に沿う、構成21に記載のセンサ。
(構成29)
前記第1梁電極は、
前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部を前記第1梁に接続する第1接続部と、
を含む、構成21~28のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1梁電極は、
前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部を前記第1梁に接続する第1接続部と、
を含む、構成21~28のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成30)
複数の前記第1延在部が設けられ、
前記第1接続部は、前記複数の第1延在部を互いに接続し、
前記複数の第1延在部の1つは、前記第1梁と、前記複数の第1延在部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1延在部の前記1つの、前記第2方向に沿う長さは、前記複数の第1延在部の前記別の1つの、前記第2方向に沿う長さよりも長い、構成29に記載のセンサ。
複数の前記第1延在部が設けられ、
前記第1接続部は、前記複数の第1延在部を互いに接続し、
前記複数の第1延在部の1つは、前記第1梁と、前記複数の第1延在部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第1延在部の前記1つの、前記第2方向に沿う長さは、前記複数の第1延在部の前記別の1つの、前記第2方向に沿う長さよりも長い、構成29に記載のセンサ。
(構成31)
構成21~30のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
構成21~30のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
図15は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図15に示すように、実施形態に係るセンサ110Aにおいては、第1電極51の少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1梁電極31Eとの間にある。第2電極52の少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2梁電極32Eとの間にある。第1対向電極51Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1対向梁電極31AEとの間にある。第2対向電極52Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2対向梁電極32AEとの間にある。これ以外のセンサ110Aの構成は、センサ110の構成と同様で良い。
図15に示すように、実施形態に係るセンサ110Aにおいては、第1電極51の少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1梁電極31Eとの間にある。第2電極52の少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2梁電極32Eとの間にある。第1対向電極51Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1対向梁電極31AEとの間にある。第2対向電極52Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2対向梁電極32AEとの間にある。これ以外のセンサ110Aの構成は、センサ110の構成と同様で良い。
例えば、センサ120(図10参照)において、第1電極51の少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1梁電極31Eとの間に設けられて良い。第2電極52の少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2梁電極32Eとの間に設けられて良い。第1対向電極51Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁31と第1対向梁電極31AEとの間に設けられて良い。第2対向電極52Aの少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁32と第2対向梁電極32AEとの間に設けられて良い。
図16は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図16に示すように、実施形態に係るセンサ114Aにおいて、第1延在部電極51P、第2延在部電極52P、第1対向延在部電極51AP、及び、第2対向延在部電極52APが設けられて良い。これを除くセンサ114Aの構成は、センサ114の構成と同様で良い。
図16に示すように、実施形態に係るセンサ114Aにおいて、第1延在部電極51P、第2延在部電極52P、第1対向延在部電極51AP、及び、第2対向延在部電極52APが設けられて良い。これを除くセンサ114Aの構成は、センサ114の構成と同様で良い。
第1延在部電極51Pの少なくとも一部は、第3方向D3において、第1梁電極31Eに含まれる複数の部分(複数の第1延在部31Ea)の間にある。第2延在部電極52Pの少なくとも一部は、第3方向D3において、第2梁電極32Eに含まれる複数の部分の間にある。第1対向延在部電極51APの少なくとも一部は、第3方向D3において、第1対向梁電極31AEに含まれる複数の部分の間にある。第2対向延在部電極52APの少なくとも一部は、第3方向D3において、第2対向梁電極32AEに含まれる複数の部分の間にある。
第1延在部電極51P、第2延在部電極52P、第1対向延在部電極51AP、及び、第2対向延在部電極52APのそれぞれは、制御部70と電気的に接続されて良い。
(第3実施形態)
図17は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図18は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図18は、図17のA1-A2線断面図である。
図17は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図18は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図18は、図17のA1-A2線断面図である。
図17及び図18に示すように、実施形態に係るセンサ130は、基体50S、第1支持部10S、第2支持部20S、第3支持部30S、及び第1部材10Mを含む。第1支持部10S、第2支持部20S及び第3支持部30Sは、基体50Sに固定される。第1部材10Mは、第1支持部10S、第2支持部20S及び第3支持部30Sに支持される。基体50Sと第1部材10Mとの間に間隙g1が設けられる。
図17に示すように、第1部材10Mは、第1梁31、第2梁32、第1梁電極31E及び第2梁電極32Eを含む。
第1梁31及び第2梁32は、第2方向D2に沿って延びる。第2方向D2は、基体50Sから第1支持部10Sへの第1方向D1と交差する。
第1支持部10Sは、第2方向D2において、第2支持部20Sと第3支持部30Sとの間にある。第1梁31は、第2支持部20S及び第1支持部10Sにより支持される。第2梁32は、第1支持部10S及び第3支持部30Sにより支持される。
第1梁電極31Eは、第1梁31に接続される。第1梁31から第1梁電極31Eへの第3方向D3は、第1方向D1及び第2方向D2を含む平面と交差する。第2梁電極32Eは、第2梁32に接続される。第2梁32から第2梁電極32Eへの方向は、第3方向D3に沿う。
第1梁電極31E及び第2梁電極32Eは、上記の第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たす。
センサ130において、これにより、例えば、第1梁31と第2梁32との間において、共振周波数の差が生じる。これにより、検出のダイナミックレンジが拡大する。特性の向上が可能なセンサを提供できる。
図17に示すように、センサ130において、第1部材10Mは、第1支持領域10Ms、第2支持領域20Ms、第3支持領域30Ms、第1可動領域10Ma、第2可動領域10Mb、第1接続構造体21c及び第2接続構造体22cをさらに含んで良い。
第1支持部10Sは、第1方向D1において、基体50Sと第1支持領域10Msとの間にある。第2支持部20Sは、第1方向D1において、基体50Sと第2支持領域20Msとの間にある。第3支持部30Sは、第1方向D1において、基体50Sと第3支持領域30Msとの間にある。第1支持領域10Msは、第1支持部10Sに支持される。第2支持領域20Msは、第2支持部20Sに支持される。第3支持領域30Msは、第3支持部30Sに支持される。
第2方向D2において、第2支持領域20Msは、第1可動領域10Maと第1梁31との間にある。第2方向D2において、第1支持領域10Msは、第1梁31と第2梁32との間にある。第2方向D2において、第3支持領域30Msは、第2梁32と第2可動領域10Mbとの間にある。
第1接続構造体21cは、第2支持領域20Msに支持される。第1梁31は、第1接続構造体21c及び第1支持領域10Msに支持される。第2接続構造体22cは、第3支持領域30Msに支持される。第2梁32は、第1支持領域10Ms及び第2接続構造体22cに支持される。
センサ130は、第1電極51及び第1対向電極51Aを含んで良い。第1電極51及び第1対向電極51Aは、基体50Sに固定される。
第1部材10Mは、第1対向梁電極31AEを含む。第1対向梁電極31AEは、第1梁31に接続される。第3方向D3において、第1梁31は、第1対向梁電極31AEと第1梁電極31Eとの間にある。第1電極51は、第1梁電極31Eと対向する。第1対向電極51Aは、第1対向梁電極31AEと対向する。
センサ130は、制御部70(図3参照)を含んで良い。制御部70は、第1電極51と第1梁電極31Eとの間に交流成分を含む駆動信号を印加可能である。例えば、制御部70は、第1対向電極51Aと第1対向梁電極31AEとの間に生じる電気信号を検出可能である。
第1部材10Mは、第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEを含んで良い。第1対向梁電極31AEは、第1梁31に接続される。第3方向D3において、第1梁31は、第1対向梁電極31AEと第1梁電極31Eとの間にある。第2対向梁電極32AEは、第2梁32に接続される。第3方向D3において、第2梁32は、第2対向梁電極32AEと第2梁電極32Eとの間にある。
第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEは、例えば、上記の、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たす。
センサ130において、第1部材10Mは、第3可動領域10Mc及び第1構造体21をさらに含む。第1梁電極31Eは、第3方向D3において第1梁31と第3可動領域10Mcとの間にある。
第1構造体21は、第1部分21e、第1他部分21f及び第1中間部分21mを含む。第1部分21eから第1他部分21fへの方向は、第3方向D3に沿う。第1中間部分21mは、第1部分21eと第1他部分21fとの間にある。第1部分21eは、第1接続構造体21cと接続される。第1他部分21fは、第3可動領域10Mcと接続される。第1中間部分21mは、第2支持領域20Msと接続される。
第1部材10Mは、第3構造体23をさらに含んで良い。第3構造体23は、第3部分23e、第3他部分23f及び第3中間部分23mを含む。第3部分23eから第3他部分23fへの方向は、第3方向D3に沿う。第3中間部分23mは、第3部分23eと第3他部分23fとの間にある。第3部分23eは、第2接続構造体22cと接続される。第3他部分23fは、第3可動領域10Mcと接続される。第3中間部分23mは、第3支持領域30Msと接続される。
第1部材10Mは、第4可動領域10Md及び第2構造体22をさらに含んで良い。第1対向梁電極31AEは、第3方向D3において第4可動領域10Mdと第1梁31との間にある。
第2構造体22は、第2部分22e、第2他部分22f及び第2中間部分22mを含む。第2他部分22fから第2部分22eへの方向は、第3方向D3に沿う。第2中間部分22mは、第2他部分22fと第2部分22eとの間にある。第2部分22eは、第1接続構造体21cと接続される。第2他部分22fは、第4可動領域10Mdと接続される。第2中間部分22mは、第2支持領域20Msと接続される。
第1部材10Mは、第4構造体24をさらに含んで良い。第4構造体24は、第4部分24e、第4他部分24f及び第4中間部分24mを含む。第4他部分24fから第4部分24eへの方向は、第3方向D3に沿う。第4中間部分24mは、第4他部分24fと第4部分24eとの間にある。第4部分24eは、第2接続構造体22cと接続される。第4他部分24fは、第4可動領域10Mdと接続される。第4中間部分24mは、第3支持領域30Msと接続される。
図17に示すように、第1部材10Mは、第1支持構造体11S、第2支持構造体12S、第3支持構造体13S及び第4支持構造体14Sをさらに含んで良い。第1支持構造体11S及び第2支持構造体12Sは、第2支持領域20Msに接続される。第2支持領域20Msは、第3方向D3において第1支持構造体11Sと第2支持構造体12Sとの間にある。第1可動領域10Maは、第1支持構造体11S及び第2支持構造体12Sに支持される。
第3支持構造体13S及び第4支持構造体14Sは、第3支持領域30Msに接続される。第3支持領域30Msは、第3方向D3において第3支持構造体13Sと第4支持構造体14Sとの間にある。第2可動領域10Mbは、第3支持構造体13S及び第4支持構造体14Sに支持される。
図17に示すように、第1梁電極31Eは、第1延在部31Ea及び第1接続部31Exを含む。第1延在部31Eaは、第2方向D2に沿って延びる。第1接続部31Exは、第1延在部31Eaを第1梁31に接続する。第1梁電極31Eの構成は、第1対向梁電極31AE、第2梁電極32E及び第2対向梁電極32AEに適用されて良い。
図19は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図19に示すように、実施形態に係るセンサ131において、複数の第1延在部31Eaが設けられる。これを除くセンサ131の構成は、センサ130の構成と同様で良い。
図19に示すように、実施形態に係るセンサ131において、複数の第1延在部31Eaが設けられる。これを除くセンサ131の構成は、センサ130の構成と同様で良い。
第1接続部31Exは、複数の第1延在部31Eaを互いに接続する。複数の第1延在部31Eaの1つは、第1梁31と、複数の第1延在部31Eaの別の1つと、の間にある。複数の第1延在部31Eaの上記の1つの、第2方向D2に沿う長さは、複数の第1延在部31Eaの上記の別の1つの、第2方向D2に沿う長さよりも長い。
図20は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図20に示すように、実施形態に係るセンサ132において、第1部材10Mは、第1対向梁31A、第2対向梁32A、第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEをさらに含む。これを除くセンサ132の構成は、センサ130の構成と同様で良い。
図20に示すように、実施形態に係るセンサ132において、第1部材10Mは、第1対向梁31A、第2対向梁32A、第1対向梁電極31AE及び第2対向梁電極32AEをさらに含む。これを除くセンサ132の構成は、センサ130の構成と同様で良い。
第1対向梁31A及び第2対向梁32Aは、第2方向D2に沿って延びる。第1対向梁31Aは、第2支持部20S(第2支持領域20Ms)、及び、第1支持部10S(第1支持領域10Ms)により支持される。第2対向梁32Aは、第1支持部10S(第1支持領域10Ms)、及び、第3支持部30S(第3支持領域30Ms)により支持される。
第1対向梁電極31AEは、第1対向梁31Aに接続される。第1対向梁電極31AEから第1対向梁31Aへの方向は、第3方向D3に沿う。第2対向梁電極32AEは、第2対向梁32Aに接続される。第2対向梁電極32AEから第2対向梁32Aへの方向は、第3方向D3に沿う。
図21は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図21に示すように、実施形態に係るセンサ133において、複数の第1延在部31Eaが設けられる。これを除くセンサ133の構成は、センサ132の構成と同様で良い。
図21に示すように、実施形態に係るセンサ133において、複数の第1延在部31Eaが設けられる。これを除くセンサ133の構成は、センサ132の構成と同様で良い。
センサ131~133においても、特性の向上が可能なセンサを提供できる。センサ130~133は、電子装置310(図12)に適用されて良い。
実施形態において、第1層構造は、第1孔31hの層構造でも良い。第2層構造は、第2孔32hの層構造でも良い。第1対向層構造は、第1対向孔31Ahの層構造でも良い。第2対向層構造は、第2対向孔32Ahの層構造でも良い。
実施形態によれば、特性の向上が可能なセンサ及び電子装置が提供される。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、支持部、第1部材及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサ及び電子装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサ及び電子装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10M:第1部材、
10Ma~10Md:第1~第4可動領域、
10Ms、20Ms、30Ms:第1~第3支持領域、
10S、20S、30S:第1~第3支持部、
11A~14A:第1~第4可動領域接続部、
11S~14S:第1~第4支持構造体、
21~24:第1~第4構造体、
21c、22c:第1、第2接続構造体、
21e~24e:第1~第4部分、
21f~24f:第1~第4他部分、
21m~24m:第1~第4中間部分、
31、32:第1、第2梁、
31A、32A:第1、第2対向梁、
31AE、32AE:第1、第2対向梁電極、
31AEa、32AEa:第1、第2対向延在部、
31AEx、32AEx:第1、第2対向接続部、
31Ae、32Ae:第1、第2対向端、
31Af、32Af:第1、第2対向他端、
31Ah、32Ah:第1、第2対向孔、
31E、32E:第1、第2梁電極、
31Ea、32Ea:第1、第2延在部、
31Ex、32Ex:第1、第2接続部、
31e、32e:第1、第2端、
31f、32f:第1、第2他端、
31h、32h:第1孔、第2孔、
32F:金属層、
50S:基体、
51、52:第1、第2電極、
51A、52A:第1、第2対向電極、
51P、52P:第1、第2延在部電極
51AP、52AP:第1、第2対向延在部電極
70:制御部、
110~114、110A、114A、120、121、130~133:センサ、
170:回路制御部、
180:回路、
185:駆動装置、
310:電子装置、
400:道路、
410:スロープ面、
420:送受信部、
430:センサ、
440:橋脚、
450:主桁、
460:橋梁、
470:河川、
D1~D3:第1~第3方向、
S1:信号、
g1:間隙
10Ma~10Md:第1~第4可動領域、
10Ms、20Ms、30Ms:第1~第3支持領域、
10S、20S、30S:第1~第3支持部、
11A~14A:第1~第4可動領域接続部、
11S~14S:第1~第4支持構造体、
21~24:第1~第4構造体、
21c、22c:第1、第2接続構造体、
21e~24e:第1~第4部分、
21f~24f:第1~第4他部分、
21m~24m:第1~第4中間部分、
31、32:第1、第2梁、
31A、32A:第1、第2対向梁、
31AE、32AE:第1、第2対向梁電極、
31AEa、32AEa:第1、第2対向延在部、
31AEx、32AEx:第1、第2対向接続部、
31Ae、32Ae:第1、第2対向端、
31Af、32Af:第1、第2対向他端、
31Ah、32Ah:第1、第2対向孔、
31E、32E:第1、第2梁電極、
31Ea、32Ea:第1、第2延在部、
31Ex、32Ex:第1、第2接続部、
31e、32e:第1、第2端、
31f、32f:第1、第2他端、
31h、32h:第1孔、第2孔、
32F:金属層、
50S:基体、
51、52:第1、第2電極、
51A、52A:第1、第2対向電極、
51P、52P:第1、第2延在部電極
51AP、52AP:第1、第2対向延在部電極
70:制御部、
110~114、110A、114A、120、121、130~133:センサ、
170:回路制御部、
180:回路、
185:駆動装置、
310:電子装置、
400:道路、
410:スロープ面、
420:送受信部、
430:センサ、
440:橋脚、
450:主桁、
460:橋梁、
470:河川、
D1~D3:第1~第3方向、
S1:信号、
g1:間隙
Claims (20)
- 基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記第1支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1支持領域、第1接続構造体、第2接続構造体、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1支持部は、前記基体から前記第1支持部への第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第1接続構造体から前記第2接続構造体への方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1支持領域は、前記第2方向において、前記第1接続構造体と前記第2接続構造体との間にあり、
前記第1梁は、第1端と第1他端とを含み、前記第1端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2梁は、第2端と第2他端とを含み、前記第2端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。 - 前記第1部材は、第1可動領域及び第2可動領域をさらに含み、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1可動領域と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第1可動領域に支持され、
前記第1接続構造体は、前記第2方向において前記第1可動領域と前記第1支持領域との間にあり、
前記第2接続構造体は、前記第2可動領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第2方向において前記第1支持領域と前記第2可動領域との間にある、請求項1に記載のセンサ。 - 前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、請求項2に記載のセンサ。 - 制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、請求項3に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、請求項2に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続された、請求項5に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第3構造体及び第3支持構造体をさらに含み、
前記第3構造体の前記第2方向における第3構造***置は、前記第2梁の前記第2方向における第2梁位置と、前記第2可動領域の前記第2方向における第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第2接続構造体の前記第2方向における第2接続構造***置は、前記第2梁位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3支持構造体の前記第2方向における第3支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第3構造***置と、の間にあり、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持構造体と接続された、請求項6に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第2構造体及び第2支持構造体をさらに含み、
前記第2構造体の前記第2方向における第2構造***置は、前記第1可動領域位置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第2支持構造体の前記第2方向における第2支持構造***置は、前記第2構造***置と、前記第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第1接続構造体は、前記第2支持構造体の少なくとも一部と、前記第1支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、請求項7に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第4構造体及び第4支持構造体を含み、
前記第4構造体の前記第2方向における第4構造***置は、前記第2梁位置と、前記第2可動領域位置と、の間にあり、
前記第4支持構造体の前記第2方向における第4支持構造***置は、前記第1支持領域位置と、前記第4構造***置と、の間にあり、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第2可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第4支持構造体と接続され、
前記第3方向において、前記第2接続構造体は、前記第4支持構造体の少なくとも一部と、前記第3支持構造体の少なくとも一部と、の間にある、請求項8に記載のセンサ。 - 前記第1梁電極は、
前記第2方向に沿って延びる第1延在部と、
前記第1延在部を前記第1梁に接続する第1接続部と、
を含む、請求項1~9のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1構造体及び第1支持構造体をさらに含み、
前記第1構造体の前記第2方向における第1構造***置は、前記第1可動領域の前記第2方向における第1可動領域位置と、前記第1梁の前記第2方向における第1梁位置と、の間にあり、
前記第1接続構造体の前記第2方向における第1接続構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1梁位置と、の間にあり、
前記第1支持構造体の前記第2方向における第1支持構造***置は、前記第1構造***置と、前記第1支持領域の前記第2方向における第1支持領域位置と、の間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第1可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第1支持構造体と接続され、
前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、第1対向端と第1対向他端とを含み、前記第1対向端は前記第1接続構造体と接続され、前記第1対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第2対向梁は、第2対向端と第2対向他端とを含み、前記第2対向端は前記第2接続構造体と接続され、前記第2対向他端は前記第1支持領域と接続され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間に前記第1対向梁があり、
前記第3方向において、前記第1対向梁と前記第1梁電極との間に前記第1梁があり、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間に前記第2対向梁があり、
前記第3方向において、前記第2対向梁と前記第2梁電極との間に前記第2梁があり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、請求項2に記載のセンサ。 - 基体と、
前記基体に固定された第1支持部と、
前記基体に固定された第2支持部と、
前記基体に固定された第3支持部と、
前記第1支持部、前記第2支持部及び前記第3支持部に支持された第1部材と、
を備え、
前記基体と前記第1部材との間に間隙が設けられ、
前記第1部材は、第1梁、第2梁、第1梁電極及び第2梁電極を含み、
前記第1梁及び前記第2梁は、前記基体から前記第1支持部への第1方向と交差する第2方向に沿って延び、
前記第1支持部は、前記第2方向において、前記第2支持部と前記第3支持部との間にあり、
前記第1梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第1梁から前記第1梁電極への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差し、
前記第2梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第2梁から前記第2梁電極への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1梁電極及び前記第2梁電極は、第1条件、第2条件、第3条件、第4条件、第5条件、第6条件、第7条件及び第8条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第1条件において、前記第2梁電極の第2質量は、前記第1梁電極の第1質量とは異なり、
前記第2条件において、前記第2梁電極の前記第1方向に沿う第2厚さは、前記第1梁電極の前記第1方向に沿う第1厚さとは異なり、
前記第3条件において、前記第2梁電極に含まれる第2材料の少なくとも一部は、前記第1梁電極に含まれる第1材料の少なくとも一部と異なり、
前記第4条件において、前記第2梁電極に含まれる第2孔の第2大きさは、前記第1梁電極に含まれる第1孔の第1大きさとは異なり、
前記第5条件において、前記第2孔の第2密度は、前記第1孔の第1密度とは異なり、
前記第6条件において、前記第2孔の第2数は、前記第1孔の第1数とは異なり、
前記第7条件において、前記第2孔の第2形状は、前記第1孔の第1形状とは異なり、
前記第8条件において、前記第2梁電極の第2層構造は、前記第1梁電極の第1層構造とは異なる、センサ。 - 前記第1部材は、第1支持領域、第2支持領域、第3支持領域、第1可動領域、第2可動領域、第1接続構造体及び第2接続構造体をさらに含み、
前記第1支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第1支持領域との間にあり、
前記第2支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第2支持領域との間にあり、
前記第3支持部は、前記第1方向において、前記基体と前記第3支持領域との間にあり、
前記第1支持領域は、前記第1支持部に支持され、
前記第2支持領域は、前記第2支持部に支持され、
前記第3支持領域は、前記第3支持部に支持され、
前記第2方向において、前記第2支持領域は、前記第1可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第1支持領域は、前記第1梁と前記第2梁との間にあり、
前記第2方向において、前記第3支持領域は、前記第2梁と前記第2可動領域との間にあり、
前記第1接続構造体は、前記第2支持領域に支持され、
前記第1梁は、前記第1接続構造体及び前記第1支持領域に支持され、
前記第2接続構造体は、前記第3支持領域に支持され、
前記第2梁は、前記第1支持領域及び前記第2接続構造体に支持された、請求項12に記載のセンサ。 - 前記基体に固定された第1電極と、
前記基体に固定された第1対向電極と、
をさらに備え、
前記第1部材は、前記第1梁に接続された第1対向梁電極をさらに含み、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第1電極は、前記第1梁電極と対向し、
前記第1対向電極は、前記第1対向梁電極と対向する、請求項13に記載のセンサ。 - 制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1電極と前記第1梁電極との間に交流成分を含む駆動信号を印加可能であり、
前記制御部は、前記第1対向電極と前記第1対向梁電極との間に生じる電気信号を検出可能である、請求項14に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1対向梁電極及び第2対向梁電極を含み、
前記第1対向梁電極は、前記第1梁に接続され、
前記第3方向において、前記第1梁は、前記第1対向梁電極と前記第1梁電極との間にあり、
前記第2対向梁電極は、前記第2梁に接続され、
前記第3方向において、前記第2梁は、前記第2対向梁電極と前記第2梁電極との間にあり、
前記第1対向梁電極及び前記第2対向梁電極は、第9条件、第10条件、第11条件、第12条件、第13条件、第14条件、第15条件及び第16条件の少なくともいずれかを満たし、
前記第9条件において、前記第2対向梁電極の第2対向質量は、前記第1対向梁電極の第1対向質量とは異なり、
前記第10条件において、前記第2対向梁電極の前記第1方向に沿う第2対向厚さは、前記第1対向梁電極の前記第1方向に沿う第1対向厚さとは異なり、
前記第11条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向材料の少なくとも一部は、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向材料の少なくとも一部と異なり、
前記第12条件において、前記第2対向梁電極に含まれる第2対向孔の第2対向大きさは、前記第1対向梁電極に含まれる第1対向孔の第1対向大きさとは異なり、
前記第13条件において、前記第2対向孔の第2対向密度は、前記第1対向孔の第1対向密度とは異なり、
前記第14条件において、前記第2対向孔の第2対向数は、前記第1対向孔の第1対向数とは異なり、
前記第15条件において、前記第2対向孔の第2対向形状は、前記第1対向孔の第1対向形状とは異なり、
前記第16条件において、前記第2対向梁電極の第2対向層構造は、前記第1対向梁電極の第1対向層構造とは異なる、請求項13に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第3可動領域及び第1構造体をさらに含み、
前記第1梁電極は、前記第3方向において前記第1梁と前記第3可動領域との間にあり、
前記第1構造体は、第1部分、第1他部分及び第1中間部分を含み、
前記第1部分から前記第1他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1中間部分は、前記第1部分と前記第1他部分との間にあり、
前記第1部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第1他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第1中間部分は、前記第2支持領域と接続され、
前記第1部材は、第3構造体をさらに含み、
前記第3構造体は、第3部分、第3他部分及び第3中間部分を含み、
前記第3部分から前記第3他部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第3中間部分は、前記第3部分と前記第3他部分との間にあり、
前記第3部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第3他部分は、前記第3可動領域と接続され、
前記第3中間部分は、前記第3支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4可動領域及び第2構造体をさらに含み、
前記第1対向梁電極は、前記第3方向において前記第4可動領域と前記第1梁との間にあり、
前記第2構造体は、第2部分、第2他部分及び第2中間部分を含み、
前記第2他部分から前記第2部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2中間部分は、前記第2他部分と前記第2部分との間にあり、
前記第2部分は、前記第1接続構造体と接続され、
前記第2他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第2中間部分は、前記第2支持領域と接続され、
前記第1部材は、第4構造体をさらに含み、
前記第4構造体は、第4部分、第4他部分及び第4中間部分を含み、
前記第4他部分から前記第4部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第4中間部分は、前記第4他部分と前記第4部分との間にあり、
前記第4部分は、前記第2接続構造体と接続され、
前記第4他部分は、前記第4可動領域と接続され、
前記第4中間部分は、前記第3支持領域と接続された、請求項16に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1支持構造体、第2支持構造体、第3支持構造体及び第4支持構造体をさらに含み、
前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体は、前記第2支持領域に接続され、
前記第2支持領域は、前記第3方向において前記第1支持構造体と前記第2支持構造体との間にあり、
前記第1可動領域は、前記第1支持構造体及び前記第2支持構造体に支持され、
前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体は、前記第3支持領域に接続され、
前記第3支持領域は、前記第3方向において前記第3支持構造体と前記第4支持構造体との間にあり、
前記第2可動領域は、前記第3支持構造体及び前記第4支持構造体に支持された、請求項17に記載のセンサ。 - 前記第1部材は、第1対向梁、第2対向梁、第1対向梁電極及び第2対向梁電極をさらに含み、
前記第1対向梁及び前記第2対向梁は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1対向梁は、前記第2支持部及び前記第1支持部により支持され、
前記第2対向梁は、前記第1支持部及び前記第3支持部により支持され、
前記第1対向梁電極は、前記第1対向梁に接続され、
前記第1対向梁電極から前記第1対向梁への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第2対向梁電極は、前記第2対向梁に接続され、
前記第2対向梁電極から前記第2対向梁への方向は、前記第3方向に沿う、請求項12に記載のセンサ。 - 請求項1に記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP23156529.2A EP4339622A1 (en) | 2022-09-14 | 2023-02-14 | Sensor and electronic device |
US18/174,551 US20240085181A1 (en) | 2022-09-14 | 2023-02-24 | Sensor and electronic device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022146097 | 2022-09-14 | ||
JP2022146097 | 2022-09-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024041698A true JP2024041698A (ja) | 2024-03-27 |
Family
ID=90416971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023004635A Pending JP2024041698A (ja) | 2022-09-14 | 2023-01-16 | センサ及び電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2024041698A (ja) |
-
2023
- 2023-01-16 JP JP2023004635A patent/JP2024041698A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100431004B1 (ko) | 회전형 비연성 멤스 자이로스코프 | |
KR100492105B1 (ko) | 수평 가진 수직형 mems 자이로스코프 및 그 제작 방법 | |
CN103091510B (zh) | 微机械器件以及用于制造微机械器件的方法 | |
CN103901227B (zh) | 硅微谐振式加速度计 | |
KR101068341B1 (ko) | 용량형 역학량 센서 | |
JP2009002834A (ja) | 角速度検出装置 | |
CN104133079B (zh) | 一种石英梳齿电容式加速度计的制备方法 | |
KR20200087165A (ko) | 광학 디바이스 | |
US11397084B2 (en) | Vibration gyroscope | |
CN115078768A (zh) | 一种具有应力释放的双质量mems陀螺敏感结构 | |
JP2024041698A (ja) | センサ及び電子装置 | |
JP2020059118A (ja) | Mems周波数チューニングばね | |
CN112880628B (zh) | 一种用于测量轴承应力大小的lc应变传感器及测量方法 | |
US12019092B2 (en) | Sensor and electronic device | |
WO2018003692A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP2024041344A (ja) | センサ及び電子装置 | |
EP4339622A1 (en) | Sensor and electronic device | |
CN107963606B (zh) | 用于传感器元件的微机械弹簧 | |
JP5888411B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP5816707B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
WO2016088468A1 (ja) | 加速度センサおよび振動モニタリングシステム | |
JP7419202B2 (ja) | センサ | |
US9964561B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP5481545B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
KR100631218B1 (ko) | 병진형 mems 자이로스코프 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20230616 |