JP2023515866A - 接触クリーニング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、湾曲した前縁部を有するシート基板の接触クリーニング装置に関する。特に、限定はしないが、本発明は、湾曲した前縁部を有するシート基板の接触クリーニング装置であって、シート基板の湾曲した前縁部に動作可能に係合する平坦化手段を備える、接触クリーニング装置に関する。本発明は、シートの湾曲した前縁部においてシート基板の表面上に、及び/又はシート基板の前縁部の到着に先立ってエラストマ製クリーニングローラ上に空気を向ける、空気供給マニホールドにも関する。
接触クリーニングは、基板又はシートの表面をクリーニングするのに使用される。基板は、クリーニングされた後、電子機器、光起電機器、及びフラットパネルディスプレイの製造等における様々な精巧なプロセスに使用される。通常、接触クリーニング装置は、基板表面から汚染粒子を除去するのに使用されるゴム又はエラストマ製のクリーニングローラと、クリーニングローラから汚染粒子を除去するのに使用される接着ロールとからなる。
本発明によれば、添付の特許請求の範囲に記載の接触クリーニング装置が提供される。
エラストマ製クリーニングローラと、
クリーニングされるシート基板を上記エラストマ製クリーニングローラに向かって運ぶ第1のコンベヤであって、上記エラストマ製クリーニングローラは、上記第1のコンベヤからシート基板を受け取って係合するように配置される接触ゾーンを有する、第1のコンベヤと、
上記第1のコンベヤに近接して配置される平坦化手段であって、シート基板の湾曲した前縁部がエラストマ製クリーニングローラに接触する点において平坦化されるように、シート基板の湾曲した前縁部に動作可能に係合するように構成される、平坦化手段と、
を備える。
図面の簡単な説明
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態を例としてのみ説明する。
以下の説明において或る特定の用語を使用するのは便宜のためでしかなく、限定するものではない。「右」、「左」、「下側」、「上側」、「前側」、「後側」、「上向き」「下」、及び「下向き」という単語は、参照する図面における方向を指定するものであり、組み立て及び取り付け時の説明する構成部材に対するものである。「内側」、「内向き」及び「外側」、「外向き」という単語は、それぞれ、説明中の要素の指定された中心線又は幾何学的中心(例えば、中心軸)に向かう方向及び離れる方向を指すものであり、具体的な意味は説明の文脈から容易に明らかになる。
Claims (19)
- 湾曲した前縁部を有するシート基板の接触クリーニング装置であって、
エラストマ製クリーニングローラと、
クリーニングされる前記シート基板を前記エラストマ製クリーニングローラに向かって運ぶ第1のコンベヤであって、前記エラストマ製クリーニングローラは、該第1のコンベヤから前記シート基板を受け取って係合するように配置される接触ゾーンを有する、第1のコンベヤと、
前記第1のコンベヤに近接して配置される平坦化手段であって、前記シート基板の前記湾曲した前縁部が前記エラストマ製クリーニングローラに接触する点において平坦化されるように、前記シート基板の前記湾曲した前縁部に動作可能に係合するように構成される、平坦化手段と、
を備える、接触クリーニング装置。 - 前記平坦化手段は、前記第1のコンベヤと対向して配置されたガイドであって、前記シート基板の前記湾曲した前縁部が前記エラストマ製クリーニングローラに接触する前記点において平坦化されるように、前記シート基板の前記湾曲した前縁部に接触係合するように構成されるガイドを含む、請求項1に記載の接触クリーニング装置。
- 前記ガイドは、前記第1のコンベヤに対して角度をなして設けられ、前記ガイド及び前記第1のコンベヤは、前記湾曲した前縁部が前記接触ゾーンに接近する際に、前記湾曲した前縁部の誘導をもたらすように構成される、請求項2に記載の接触クリーニング装置。
- 前記ガイドの前記第1のコンベヤに対する前記角度は、垂直と平行との間で選択可能に調整可能である、請求項3に記載の接触クリーニング装置。
- 前記ガイドは第2のコンベヤを含み、該第2のコンベヤは、前記湾曲した前縁部の前記誘導をもたらすように、前記第1のコンベヤに対して角度をなして配置される、請求項3又は4に記載の接触クリーニング装置。
- 前記第2のコンベヤは、前記第1のコンベヤに接触係合する、請求項5に記載の接触クリーニング装置。
- 前記第2のコンベヤは駆動される、請求項5又は6に記載の接触クリーニング装置。
- 前記平坦化手段は空気供給マニホールドを含み、該空気供給マニホールドは、前記シート基板の前記湾曲した前縁部が前記エラストマ製クリーニングローラに接触する前記点において平坦化されるように、前記シート基板の前記湾曲した前縁部上に及び/又は前記接触ゾーン上に空気ストリームを向けるように動作可能である、請求項1に記載の接触クリーニング装置。
- 湾曲した前縁部を有するシート基板の接触クリーニング装置であって、
エラストマ製クリーニングローラと、
前記エラストマ製クリーニングローラ上の接触ゾーン上に空気を向けるように構成及び配置される空気供給マニホールドと、
クリーニングされる前記シート基板を前記エラストマ製クリーニングローラに向かって運ぶコンベヤと、
を備え、
前記空気供給マニホールドは、前記シート基板の前記湾曲した前縁部が前記エラストマ製クリーニングローラに接触する点において平坦化されるように、前記シート基板の前記湾曲した前縁部上に及び/又は前記接触ゾーン上に空気ストリームを向けるように動作可能である、
接触クリーニング装置。 - 前記エラストマ製クリーニングローラは回転軸を有し、前記空気供給マニホールドは、前記回転軸を通って鉛直に延在する基準平面に対して調整可能な角度で、前記シート基板の前記湾曲した前縁部に及び/又は前記エラストマ製クリーニングローラの前記接触ゾーン上に空気を向けるように動作可能である、請求項8又は9に記載の接触クリーニング装置。
- 前記空気供給マニホールドは、互いに離隔した複数の空気送達開口を有する管状のマニホールドを含む、請求項8~10のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 前記空気ストリームは選択的に起動される、請求項8~11のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 前記接触ゾーンに係合する前に前記シート基板の前記前縁部を動作可能に検出するように配置されるセンサーを備え、前記センサーは、前記前縁部の検出に応じて、前記空気ストリームを動作可能に起動する、請求項12に記載の接触クリーニング装置。
- 前記空気供給マニホールドの前記調整可能な角度は、前記基準平面に対して垂直と、前記基準平面に対して平行との間で選択可能である、請求項10~13のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 前記調整可能な角度は、前記接触クリーニング装置の動作の前に、前記基準平面に対して選択され固定される、請求項10~14に記載の接触クリーニング装置。
- 前記エラストマ製クリーニングローラは、一対のエラストマ製クリーニングローラを含み、該一対のエラストマ製クリーニングローラは、ニップ間隙を形成するように対向して配置され、その間を通って前記シート基板が搬送される、請求項1~15のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 前記エラストマ製クリーニングローラは、少なくとも1つの対のエラストマ製クリーニングローラを含み、該少なくとも1つの対のエラストマ製クリーニングローラは、各対のローラ間に前記シート基板に対するクリーニング表面を提供するように構成及び配置される、請求項1~16のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 各エラストマ製クリーニングローラは、隣接する接着ロールによってクリーニングされる、請求項1~17のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
- 前記接触ゾーンは、前記エラストマ製クリーニングローラの周りに少なくとも部分的に延在する、請求項1~18のいずれか1項に記載の接触クリーニング装置。
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