JP2023059427A - 電子線監視装置及び電子線照射システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 電子線を出射窓を介して被照射物に照射する電子線照射装置を含む電子線照射システムにおいて、当該電子線を監視する電子線監視装置であって、
前記出射窓と前記被照射物との間に向けた検出面を有し、X線を検出する第1X線検出部と、
前記出射窓に対向するように配置され、X線の一次元分布又は二次元分布を検出する第2X線検出部と、を備える、電子線監視装置。 - 前記出射窓は、長尺な形状を呈し、
前記第1X線検出部は、前記出射窓の長手方向において前記出射窓に対して離間する位置に配置されている、請求項1に記載の電子線監視装置。 - 前記第1X線検出部は、前記X線を検出するチャンネルを1つのみ有する第1X線検出器を1つのみ備える、請求項1又は2に記載の電子線監視装置。
- 前記第1X線検出部は、前記X線を検出するチャンネルを1つのみ有する第1X線検出器を複数備える、請求項1又は2に記載の電子線監視装置。
- 複数の前記第1X線検出器のうちの一対の前記第1X線検出器は、前記電子線照射装置から照射された電子線が到達する範囲である電子線到達範囲を挟んで互いに対向するように配置される、請求項4に記載の電子線監視装置。
- 前記第2X線検出部は、長尺な形状の検出面を有する、請求項1~5の何れか一項に記載の電子線監視装置。
- 前記第2X線検出部は、前記X線を検出するチャンネルを複数有する第2X線検出器を備え、
複数の前記チャンネルは、一次元状又は二次元状に並べられている、請求項1~6の何れか一項に記載の電子線監視装置。 - 前記第2X線検出部は、前記X線を検出するチャンネルを1つのみ有する第2X線検出器を複数備え、
複数の前記第2X線検出器は、一次元状又は二次元状に並べられている、請求項1~6の何れか一項に記載の電子線監視装置。 - 前記出射窓と前記第2X線検出部との間に配置され、X線の進行方向を前記出射窓に対向する方向に沿うように制限するコリメータを備える、請求項1~5の何れか一項に記載の電子線監視装置。
- 前記第2X線検出部に入力されるX線を遮断可能な遮断部を備える、請求項1~9の何れか一項に記載の電子線監視装置。
- 前記第1X線検出部及び前記第2X線検出部は、前記被照射物への前記電子線の照射を妨げない位置に配置されている、請求項1~10の何れか一項に記載の電子線監視装置。
- 前記第1X線検出部及び前記第2X線検出部は、前記電子線照射装置から照射された電子線が到達する範囲である電子線到達範囲外に配置されている、請求項11に記載の電子線監視装置。
- 前記第1X線検出部の検出結果に基づいて、前記第2X線検出部の検出結果を補正する補正部を備える、請求項1~12の何れか一項に記載の電子線監視装置。
- 前記第1X線検出部は、経時的に検出データを取得し、
前記第2X線検出部は、複数のチャンネルにおいて経時的に検出データを取得し、
前記補正部は、
前記第1X線検出部で取得した検出データの変動率を、第1変動率として算出し、
前記第2X線検出部で取得した複数の検出データの総和又は平均の変動率を、第2変動率として算出し、
前記第2変動率が前記第1変動率と一致するように、前記第2X線検出部における複数のチャンネルで取得する検出データのそれぞれに、補正係数を乗算する、請求項13に記載の電子線監視装置。 - 前記電子線照射システムは、前記被照射物を搬送する搬送面を備えた搬送機構を含み、
前記第1X線検出部は、前記搬送面に沿う方向であって前記搬送機構の搬送方向と交差する所定方向において前記搬送面に対して離間する位置に配置され、
前記第2X線検出部は、前記搬送面に対して前記出射窓側と反対側に配置されている、請求項1~14の何れか一項に記載の電子線監視装置。 - 請求項1~15の何れか一項に記載の電子線監視装置を備える、電子線照射システム。
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