JP2022181522A - 液体供給装置および液体供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体収納容器の開口部に固定されるプラグの向きによらずにプラグ側液体流路とソケット側液体流路とを確実に連結する。
【解決手段】プラグ側液体流路１１を有するプラグ１０と、ソケット側液体流路２１を有するソケット２０と、ソケット２０を把持するとともにソケット２０を動作範囲内の３次元位置に所定の姿勢で配置するハンド部３１と、プラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識する撮像部と、を備え、ハンド部３１は、撮像部により認識されたプラグ軸線Ｚｐ１の向きとソケット軸線Ｚｓ１の向きとが一致する姿勢となるようにソケット２０を把持し、ハンド部３１により把持されたソケット２０をプラグ１０に挿入することによりソケット側液体流路２１とプラグ側液体流路とを連結する液体供給装置を提供する。
【選択図】図１１

Description

本発明は、液体供給装置および液体供給方法に関するものである。

従来、液体収納容器に収納される液体を複数の供給先装置へ供給する液体供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示される液体供給装置は、液体収納容器の開口部にプラグを固定し、プラグにソケットを取り付けることにより、プラグに形成される液体流路とソケットの形成される液体流路とを連結する。プラグにソケットを取り付ける際には、作業者が、ソケットが有する取付けナットに形成される雄ねじをプラグに形成される雌ねじ部に係合させる。

特開２０１８－２０７９３号公報

特許文献１に開示される液体供給装置は、プラグに形成される液体流路とソケットの形成される液体流路とを連結する際に、作業者がソケットを把持してプラグに取り付ける作業を行う必要がある。そのため、作業者の作業負担が増えるとともに危険性の高い液体を取り扱う場合には作業者が危険に晒される可能性がある。

そこで、作業者の作業負担の増大や作業者が危険に晒されることを防止するために、ソケットを把持するロボットハンドを用い、プラグにソケットを取り付ける作業を自動化することが考えられる。例えば、特許文献１に開示されるプラグの位置を予め記憶しておき、記憶した位置にソケットをロボットハンドにより移動させることが考えられる。

しかしながら、液体収納容器の個体ごとに開口部の位置や向きが異なるため、開口部に設置されるプラグの位置や向きも液体収納容器の個体ごとに異なってしまう。また、液体収納容器に収容される液体の状態や環境温度等により液体収納容器の内部圧力が変化すると、それに伴ってプラグが固定される開口部の向きが変化してしまう。

これらの場合、三次元空間上の予め定められた位置にソケットを正確に移動させたとしても、プラグの位置や向きによってはソケットを取り付けることができない可能性がある。また、ソケットとプラグの向きが一致しない状態でこれらを接続させようとすると、ソケットとプラグに負荷がかかり、この負荷が蓄積して故障に至る可能性がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、液体収納容器の開口部に固定されるプラグの向きによらずにプラグ側液体流路とソケット側液体流路とを確実に連結することが可能な液体供給装置および液体供給方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様にかかる液体供給装置は、液体収納容器の上面に設けられる第１開口部に固定されるとともに第１プラグ軸線に沿って延びるプラグ側液体流路を有する第１プラグと、前記第１プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第１ソケット軸線に沿って延びるソケット側液体流路を有する第１ソケットと、前記第１ソケットを把持するとともに前記第１ソケットを動作範囲内の３次元位置に所定の姿勢で配置する把持機構と、前記第１プラグの前記第１プラグ軸線の向きを認識する認識部と、を備え、前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記第１ソケットを把持し、前記把持機構により把持された前記第１ソケットを前記第１プラグに挿入することにより前記ソケット側液体流路と前記プラグ側液体流路とを連結する。

本発明の一態様にかかる液体供給装置によれば、認識部が第１プラグの第１プラグ軸線の向きを認識し、把持機構が第１プラグ軸線の向きと第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように第１ソケットを把持する。把持機構により把持された第１ソケットを第１プラグに挿入することによりソケット側液体流路とプラグ側液体流路とが連結される。第１ソケットが第１プラグの向きに対して適切な姿勢で把持機構により把持されるため、液体収納容器の第１開口部に固定される第１プラグの向きによらずにプラグ側液体流路とソケット側液体流路とを確実に連結することができる。

本発明の一態様に係る液体供給装置において、前記第１プラグの先端には、前記第１プラグ軸線回りに円環状に延びるとともにプラグ側固定部を有する第１溝部が形成され、前記第１ソケットの先端には、前記第１ソケット軸線回りに円環状に延びるとともにソケット側固定部を有する第１突起部が形成され、前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線上の前記プラグ側固定部から第１所定距離だけ離れた位置に前記ソケット側固定部が配置されるように前記第１突起部を前記第１溝部に挿入し、前記第１ソケットは、前記把持機構により把持される把持位置に対する前記ソケット側固定部の前記第１ソケット軸線上の位置を調整して前記ソケット側固定部が前記プラグ側固定部に固定された固定状態とする調整部を有する構成が好ましい。

上記構成の液体供給装置によれば、把持機構により第１ソケットの第１突起部が第１プラグの第１溝部に挿入された状態とし、ソケットが有する調整部によりソケット側固定部がプラグ側固定部に固定された固定状態とすることができる。

上記構成の液体供給装置において、前記調整部は、前記把持位置に対する前記ソケット側固定部の前記第１ソケット軸線上の位置を調整して前記固定状態を解除する態様が好ましい。
本態様の液体供給装置によれば、ソケット側固定部をプラグ側固定部に固定するために用いた調整部によりソケット側固定部の位置を調整し、ソケット側固定部がプラグ側固定部に固定された固定状態を解除することができる。

上記態様の液体供給装置において、前記把持機構は、前記第１プラグから取り外された前記第１ソケットを把持し、前記第１ソケットを洗浄する洗浄液が貯留された洗浄容器へ前記第１ソケットを移動させる形態が好ましい。
上記形態の液体供給装置によれば、第１プラグから取り外された第１ソケットを洗浄容器へ移動させ、第１ソケットを洗浄液により洗浄することができる。

本発明の一態様に係る液体供給装置において、前記プラグ側液体流路を封止するとともに前記第１溝部に挿入される第１挿入部を有する第１キャップ部と、前記第１キャップ部を保持する保持部を有するとともに該保持部を第１キャップ軸線回りに回転させる回転機構と、を備え、前記第１キャップ部の前記第１挿入部には、第１ねじ部が形成されており、前記第１プラグの前記第１溝部には、前記第１ねじ部と係合する第２ねじ部が形成されており、前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１キャップ軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記回転機構を把持し、前記回転機構は、前記保持部により前記第１キャップ部を保持した状態で前記保持部を所定方向に回転させることにより前記第１キャップ部を前記第１プラグから取り外す構成が好ましい。

上記構成の液体供給装置によれば、認識部が第１プラグの第１プラグ軸線の向きを認識し、把持機構が第１プラグ軸線の向きと第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように回転機構を把持する。把持機構により把持された回転機構が有する保持部を所定方向に回転させることにより、保持部に保持される第１キャップ部が第１プラグから取り外される。回転機構が第１プラグの向きに対して適切な姿勢で把持機構により把持されるため、液体収納容器の開口部に固定されるプラグの向きによらずに第１プラグから第１キャップ部を確実に取り外すことができる。

上記構成の液体供給装置において、前記回転機構は、前記保持部により前記第１キャップ部を保持した状態で前記所定方向の逆方向に前記保持部を回転させることにより前記第１キャップ部を前記第１プラグに取り付ける態様とするのが好ましい。

本態様の液体供給装置によれば、第１プラグから第１キャップ部を取り外すために用いた回転機構により保持部を所定方向の逆方向に回転させ、第１キャップ部を第１プラグに取り付けることができる。

本発明の一態様に係る液体供給装置において、前記液体収納容器の上面に設けられる第２開口部に固定されるとともに第２プラグ軸線に沿って延びるプラグ側気体流路を有する第２プラグと、前記第２プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第２ソケット軸線に沿って延びるソケット側気体流路を有する第２ソケットと、を備え、前記認識部は、前記第２プラグの前記第２プラグ軸線の向きを認識し、前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第２プラグ軸線の向きと前記第２ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記第２ソケットを把持し、前記把持機構により把持された前記第２ソケットを前記第２プラグに挿入することにより前記ソケット側気体流路と前記プラグ側気体流路とを連結する構成とするのが好ましい。

本構成の液体供給装置によれば、認識部が第２プラグの第２プラグ軸線の向きを認識し、把持機構が第２プラグ軸線の向きと第２ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように第２ソケットを把持する。把持機構により把持された第２ソケットを第２プラグに挿入することによりソケット側気体流路とプラグ側気体流路とが連結される。第２ソケットが第２プラグの向きに対して適切な姿勢で把持機構により把持されるため、液体収納容器の第２開口部に固定される第２プラグの向きによらずにプラグ側気体流路とソケット側気体流路とを確実に連結することができる。

本発明の一態様にかかる液体供給方法は、液体供給装置により液体を供給する方法であって、前記液体供給装置は、液体収納容器の上面に設けられる第１開口部に固定されるとともに第１プラグ軸線に沿って延びるプラグ側液体流路を有する第１プラグと、前記第１プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第１ソケット軸線に沿って延びるソケット側液体流路を有する第１ソケットと、前記第１ソケットを把持するとともに前記第１ソケットを動作範囲内の３次元位置に所定の姿勢で配置する把持機構と、を備え、前記第１プラグの前記第１プラグ軸線の向きを認識する認識工程と、前記認識工程により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記把持機構により前記第１ソケットを把持する把持工程と、前記把持工程により把持された前記第１ソケットを前記第１プラグに挿入することにより前記ソケット側液体流路と前記プラグ側液体流路とを連結する連結工程と、を備える。

本発明の一態様にかかる液体供給方法によれば、認識工程において第１プラグの第１プラグ軸線の向きを認識し、把持工程において第１プラグ軸線の向きと第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように第１ソケットを把持機構により把持する。把持工程により把持された第１ソケットを第１プラグに挿入することによりソケット側液体流路とプラグ側液体流路とが連結される。第１ソケットが第１プラグの向きに対して適切な姿勢で把持機構により把持されるため、液体収納容器の第１開口部に固定される第１プラグの向きによらずにプラグ側液体流路とソケット側液体流路とを確実に連結することができる。

本発明によれば、液体収納容器の開口部に固定されるプラグの向きによらずにプラグ側液体流路とソケット側液体流路とを確実に連結することが可能な液体供給装置および液体供給方法を提供することができる。

本発明の第１実施形態の液体供給装置を示す側面図であり、ロボットがソケットを把持して搬送する状態を示す。 本発明の第１実施形態の液体供給装置を示す側面図であり、ロボットがソケットをプラグの近傍に配置した状態を示す。 図１に示す液体供給装置を上方からみた平面図であり、ロボットがソケットを把持して搬送する状態を示す。 本実施形態の液体供給装置の制御方法を示すフローチャートであり、プラグにソケットを取り付ける処理を示す。 プラグの上面を撮像部により撮像した画像を示す図である。 キャップ治具をプラグの近傍へ移動した状態を示す部分断面図である。 キャップ治具によりキャップを保持した状態を示す部分断面図である。 キャップ治具によりキャップをプラグから取り外した状態を示す部分断面図である。 ソケットをプラグの近傍へ移動した状態を示す部分断面図である。 ソケットをプラグへ挿入した状態を示す部分断面図である。 ソケットをプラグに固定した状態を示す部分断面図である。 本実施形態の液体供給装置の制御方法を示すフローチャートであり、プラグからソケットを取り外す処理を示す。 キャップ治具によりキャップをプラグに取り付ける前の状態を示す部分断面図である。 本発明の第２実施形態の液体供給装置を示す側面図であり、ロボットがソケットをプラグの近傍に配置した状態を示す。 本発明の第３実施形態の液体供給装置を示す側面図であり、ロボットがソケットをプラグの近傍に配置した状態を示す。

〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態の液体供給装置１００について、図面を参照して説明する。図１および図２は、本実施形態の液体供給装置１００を示す側面図である。図１は、ロボット３０がソケット２０を把持して搬送する状態を示す。図２は、ロボット３０がソケット２０をプラグ１０の近傍に配置した状態を示す。図３は、図１に示す液体供給装置１００を上方からみた平面図であり、ロボット３０がソケット２０を把持して搬送する状態を示す。

図１に示す本実施形態の液体供給装置１００は、液体収納容器２００に収容される液体を複数の供給先装置（図示略）へ供給する装置である。ここで、本実施形態における液体とは、例えば、半導体製造装置の半導体製造工程で用いられる純水や各種の薬液である。

図１から図３に示すように、液体供給装置１００は、プラグ（第１プラグ）１０と、封止栓１５と、ソケット（第１ソケット）２０と、ロボット（把持機構）３０と、撮像部（認識部）４０と、キャップ部（第１キャップ部）５０と、キャップ治具（回転機構）６０と、制御部７０と、を備える。本実施形態の液体供給装置１００は、液体収納容器２００の内部空間が加圧された状態となって変形し、第１開口部２１０に固定されるプラグ１０の向きが変化する場合であっても、プラグ１０の向きによらずにプラグ１０にソケット２０を適切に固定するものである。

図１に示すように、液体収納容器２００は、鉛直方向に延びる軸線Ｚ１回りに円筒状に形成される容器であり、上面（天板）に第１開口部２１０および第２開口部２２０が設けられている。第１開口部２１０および第２開口部２２０の内周面には、雌ねじが形成されている。

液体収納容器２００は、個体ごとに第１開口部２１０の位置や向きが異なるため、第１開口部２１０に設置されるプラグ１０の位置や向きも液体収納容器２００の個体ごとに異なってしまう。また、液体収納容器２００に収容される液体の状態や環境温度等により液体収納容器の内部圧力が変化すると、それに伴ってプラグ１０が固定される第１開口部２１０の向きが変化してしまう。本実施形態の液体供給装置１００、液体収納容器２００の個体ごと形状の違いや、環境温度等の違いにより第１開口部２１０の向きが変化する場合であっても、プラグ１０とソケット２０とを確実に連結するものである。

プラグ１０は、第１開口部２１０に固定されるとともにプラグ軸線（第１プラグ軸線）Ｚｐ１に沿って延びるプラグ側液体流路１１を有する。プラグ側液体流路１１は、液体収納容器２００の底部２３０の近傍まで延びている。プラグ１０の上端の外周面には、雄ねじが形成されている。プラグ１０の雄ねじを第１開口部２１０の雌ねじに係合することにより、プラグ１０が第１開口部２１０に固定される。

図６は、キャップ治具６０をプラグ１０の近傍へ移動した状態を示す部分断面図である。図６に示すように、プラグ１０の先端（上端）には、プラグ軸線Ｚｐ１回りに円環状に延びる溝部（第１溝部）１２が形成されている。溝部１２は、ソケット２０のロックボール２２ａを固定するための固定溝（プラグ側固定部）１２ａを有する。固定溝１２ａは、プラグ軸線Ｚｐ１回りに円環状に形成される。プラグ１０の溝部１２には、キャップ部５０の雌ねじ５１ａと係合する雄ねじ（第２ねじ部）１２ｂが形成されている。

封止栓１５は、第２開口部２２０に固定されるとともに第２開口部２２０を封止する部材である。封止栓１５の外周面には、雄ねじが形成されている。封止栓１５の雄ねじを第２開口部２２０の雌ねじに係合することにより、封止栓１５が第２開口部２２０に固定される。

ソケット２０は、プラグ１０に着脱可能に取り付けられるとともにソケット軸線（第１ソケット軸線）Ｚｓ１に沿って延びるソケット側液体流路２１を有する。ソケット２０は、供給先装置へ液体を供給するための液体配管ＬＬ１および液体収納容器２００にガス（気体）を供給するためのガス配管ＧＬ１に接続されている。ソケット２０は、ロボット３０のハンド部３１により把持される。

図９は、ソケット２０をプラグ１０の近傍へ移動した状態を示す部分断面図である。図９に示すように、ソケット２０の先端（下端）には、ソケット軸線Ｚｓ１回りに円環状に延びる突起部（第１突起部）２２が形成されている。突起部２２は、プラグ１０の固定溝１２ａに固定される複数のロックボール（ソケット側固定部）２２ａを有する。ロックボール２２ａは、ソケット軸線Ｚｓ１回りに間隔を空けて複数箇所に配置される。

ロボット３０は、ソケット２０およびキャップ治具６０を把持するとともにソケット２０およびキャップ治具６０を動作範囲内の軸線Ｘ，軸線Ｙ，軸線Ｚにより規定される３次元位置に所定の姿勢で配置する機構である。ロボット３０は、例えば、６軸多関節型ロボットである。ロボット３０は、ハンド部３１と、手首部３２と、第１アーム部３３と、第２アーム部３４と、ベース部３５と、旋回胴３６と、を有する。

旋回胴３６は、ベース部３５に対して鉛直な軸線Ｚｒ１回りに回転可能に支持されている。第１アーム部３３は、水平な軸線Ｚｒ２回りに旋回胴３６に対して回転可能に支持されている。第２アーム部３４は、水平な軸線Ｚｒ３回りに第１アーム部３３に対して回転可能に支持されている。手首部３２は、一端が第２アーム部３４に取り付けられており、他端にハンド部３１が取り付けられている。

ベース部３５に対する旋回胴３６の回転動作、旋回胴３６に対する第１アーム部３３の回転動作、第１アーム部３３に対する第２アーム部３４の回転動作を組み合わせることにより、手首部３２を動作範囲内の任意の３次元位置に配置することができる。また、手首部３２は、３軸において回転可能であり、ハンド部３１を３軸に変位させて任意の姿勢とすることができる。

撮像部４０は、プラグ１０の上面を撮像し、プラグ１０の３次元空間上の位置とプラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識する装置である。撮像部４０は、プラグ１０の３次元空間上の位置とプラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きの認識結果を制御部７０に伝達する。

図６に示すように、キャップ部（第１キャップ部）５０は、プラグ側液体流路１１を封止する部材である。キャップ部５０は、プラグ１０の溝部１２に挿入される挿入部５１を有する。挿入部５１は、キャップ軸線Ｚｃ１回りに円筒状に延びるように形成される。挿入部５１の内周面には雌ねじ（第１ねじ部）５１ａが形成されている。

図６に示すように、キャップ治具６０は、キャップ部５０を保持する保持部６１を有するとともに保持部６１をキャップ軸線（第１キャップ軸線）Ｚｃ１回りに回転させる回転機構である。キャップ治具６０は、回転軸６３がキャップ軸線Ｚｃ１回りに回転する回転動力を保持部６１に伝達する伝達部６４を有する。キャップ治具６０は、回転軸６３の回転動力を保持部６１に伝達し、キャップ部５０をキャップ軸線Ｚｃ１回りに回転させる。保持部６１は、キャップ治具本体６５に対してシャフト部６６を介して接続されている。シャフト部６６には、キャップ治具本体６５に内蔵されたスプリング６２により、キャップ治具本体６５から離間する方向に向けた付勢力が付与されている。

制御部７０は、撮像部４０から伝達されたプラグ１０の３次元空間上の位置とプラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きの認識結果に基づいて、ハンド部３１が把持するソケット２０またはキャップ治具６０が所望の位置に所望の姿勢で配置されるようにロボット３０を制御する。

次に、図４を参照して、本実施形態の液体供給装置１００の制御方法について説明する。図４は、本実施形態の液体供給装置１００の制御方法を示すフローチャートであり、プラグ１０にソケット２０を取り付ける処理を示す。図４に示す各処理は、制御部７０が制御プログラムを実行することにより行われる。

ステップＳ１０１で、制御部７０は、内部に液体が収納された液体収納容器２００を貯蔵場所（図示略）からロボット３０の動作範囲内の予め定められた位置に搬入する。制御部７０は、例えば、液体収納容器２００を載せた無人搬送車（図示略）を移動させることにより、液体収納容器２００を予め定められた位置に搬入する。なお、作業者が搬送車（図示略）を用いて液体収納容器２００を搬入してもよい。

ステップＳ１０１で搬入される液体収納容器２００の第１開口部２１０には、キャップ部５０が取り付けられている。また、第２開口部２２０には、封止栓１５が取り付けられている。

ステップＳ１０２（認識工程）で、制御部７０は、プラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識するように撮像部４０を制御する。ここで、撮像部４０がプラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識する処理の一例について説明する。

図５は、プラグ１０の上面を撮像部４０により撮像した画像を示す図である。図５に示すように、プラグ１０の上面には、円形あるいは略円形の模様Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６が形成されている。図５に点線で示す模様Ｃｒ１，Ｃｒ２，Ｃｒ３，Ｃｒ４，Ｃｒ５，Ｃｒ６は、プラグ軸線Ｚｐ１と鉛直方向に延びる軸線Ｚ１とが一致する場合に撮像部４０がプラグ１０の上面を撮像した場合に得られる画像を示す。

模様Ｃｒ１，Ｃｒ２，Ｃｒ３，Ｃｒ４，Ｃｒ５，Ｃｒ６のＸＹ平面上の中心位置は、それぞれＰｒ１，Ｐｒ２，Ｐｒ３，Ｐｒ４，Ｐｒ５，Ｐｒ６である。撮像部４０は、模様Ｃｒ１，Ｃｒ２，Ｃｒ３，Ｃｒ４，Ｃｒ５，Ｃｒ６の画像からＰｒ１，Ｐｒ２，Ｐｒ３，Ｐｒ４，Ｐｒ５，Ｐｒ６の座標を検出し、プラグ１０の所定部分の三次元空間上の座標Ｐｒ（ＰｒＸ，ＰｒＹ，ＰｒＺ）と対応付けて予め記憶部（図示略）に記憶しておく。

撮像部４０は、ステップＳ１０２で撮像した画像から、模様Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６のＸＹ平面上の中心位置の座標であるＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６を検出する。そして、Ｐｒ１とＰ１，Ｐｒ２とＰ２，Ｐｒ３とＰ３，Ｐｒ４とＰ４，Ｐｒ５とＰ５，Ｐｒ６とＰ６をそれぞれ比較し、記憶部に記憶された三次元空間上の座標Ｐｒを補正した座標Ｐ（ＰＸ，ＰＹ，ＰＺ）を認識する。座標Ｐは、撮像部４０により撮像されたプラグ１０の所定部分の三次元空間上の位置を示す。撮像部４０は、Ｐｒ１とＰ１，Ｐｒ２とＰ２，Ｐｒ３とＰ３，Ｐｒ４とＰ４，Ｐｒ５とＰ５，Ｐｒ６とＰ６をそれぞれ比較し、プラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識する。

ステップＳ１０３で、制御部７０は、設置台ＴＢ１に設置されたキャップ治具６０を把持するようロボット３０を制御する。制御部７０は、設置台ＴＢ１に設置されたキャップ治具６０の位置を予め記憶しておき、ハンド部３１をキャップ治具６０の近傍の位置へ移動させ、キャップ治具６０を把持させる。

ステップＳ１０４で、制御部７０は、ハンド部３１がキャップ治具６０を把持した状態で、キャップ治具６０がプラグ１０の近傍へ移動するようロボット３０を制御する。制御部７０は、ステップＳ１０２で認識したプラグ１０の座標Ｐに対してプラグ軸線Ｚｐ１に沿って一定距離離れた位置に保持部６１が配置されるようにロボット３０を制御する。

ロボット３０は、キャップ治具６０をプラグ１０の近傍に配置する際に、撮像部４０により認識されたプラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが一致する姿勢となるようにキャップ治具６０を把持する。キャップ軸線Ｚｃ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させているのは、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きと一致していないからである。

図６に示すように、ＸＺ平面において、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きに対して角度θ１だけ傾斜している。キャップ軸線Ｚｃ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させることで、キャップ治具６０の保持部６１をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってキャップ部５０に向けて移動させることができる。

なお、プラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが一致する姿勢とは、必ずしもプラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが同一である必要はない。例えば、図６に示す角度θ１に対して十分に小さい角度でプラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが異なっている場合であっても、プラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが一致する姿勢であるとみなすことができる。以下の説明においても同様である。

ステップＳ１０５で、制御部７０は、キャップ治具６０によりキャップ部５０を保持するようキャップ治具６０を把持するロボット３０を制御する。ロボット３０は、キャップ治具６０をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってキャップ部５０に向けて移動させる。図６に示すように、キャップ治具６０は、キャップ部５０を保持する保持部６１を有する。

図６に示すように、保持部６１には、キャップ軸線Ｚｃ１に向けて付勢力を発生するロックボール６１ａが設けられている。また、キャップ部５０の上面には、保持部６１を収容可能な収容溝５２が形成されている。図５および図６に示すように、収容溝５２には、複数のロックボール６１ａが固定される複数の固定溝５２ａが形成されている。

キャップ治具６０は、保持部６１が収容溝５２に収容され、固定溝５２ａにロックボール６１ａが固定されるように、キャップ部５０に向けて移動する。ロックボール６１ａがキャップ部５０の中央部５３に接触した状態でキャップ治具６０を更に下方へ移動させると、スプリング６２が収縮してスプリング６２の付勢力が漸次増大する。

スプリング６２の付勢力が増大してロックボール６１ａがプラグ軸線Ｚｐ１から離間する方向に移動すると、ロックボール６１ａが固定溝５２ａの位置に移動し、固定溝５２ａにロックボール６１ａが固定される。これにより、キャップ治具６０の保持部６１によりキャップ部５０が保持された状態となる。

その後、ロボット３０が、収縮したスプリング６２が自然長となるようにキャップ治具６０をプラグ軸線Ｚｐ１に沿って上方に移動させると、図７に示す状態となる。保持部６１により保持されるキャップ部５０の中央部５３は、図５に示すように、プラグ軸線Ｚｐ１に沿ってみた形状が略四角形となっている。また、保持部６１は、キャップ部５０の略四角形の部分を収容するように、プラグ軸線Ｚｐ１に沿ってみた形状が略四角形の凹所を有する。保持部６１は、凹所に中央部５３を収容することにより、キャップ部５０を空回りさせずに保持する。

ステップＳ１０６で、制御部７０は、保持部６１によりキャップ部５０を保持した状態で保持部６１を反時計回り方向（所定方向）に回転させることによりキャップ部５０をプラグ１０から取り外す。キャップ部５０を反時計回りに回転させると、プラグ１０の雄ねじ１２ｂとキャップ部５０の雌ねじ５１ａとの係合が解除されて図８に示す状態となり、キャップ部５０がプラグ１０から取り外される。プラグ１０の雄ねじ１２ｂとキャップ部５０の雌ねじ５１ａとの係合が解除される際に、保持部６１がキャップ治具本体６５に近づき、スプリング６２が収縮し、シャフト部６６がキャップ治具本体６５の内部に収容される。

ステップＳ１０６で、制御部７０は、キャップ部５０を保持部６１で保持した状態で、キャップ治具６０をキャップ待機位置（図３の符号５０の位置）に移動させるようロボット３０を制御する。キャップ待機位置には、キャップ部５０の雌ねじ５１ａと係合する雄ねじを有する固定部（図示略）が設置されている。

キャップ治具６０は、回転軸６３がキャップ軸線Ｚｃ１回りに時計回りに回転する回転動力を保持部６１に伝達し、キャップ部５０を固定部の雌ねじに係合させ、キャップ部５０を固定部に固定する。その後、制御部７０は、キャップ部５０を保持しないキャップ治具６０をキャップ治具待機位置（図３の符号６０の位置）に移動させるようロボット３０を制御する。以上のステップＳ１０２からステップＳ１０７により、プラグ１０からキャップ部５０が取り外される。

ステップＳ１０８で、制御部７０は、プラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識するように撮像部４０を制御する。ステップＳ１０８における処理は、ステップＳ１０２における処理と同様である。ステップＳ１０８で改めてプラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識するのは、キャップ部５０を取り外す際にプラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きが変化する可能性があるからである。

ステップＳ１０９で、制御部７０は、設置台ＴＢ２に設置されたソケット２０を把持するようロボット３０を制御する。制御部７０は、設置台ＴＢ２に設置されたソケット２０の位置を予め記憶しておき、ハンド部３１をソケット２０の近傍の位置へ移動させ、ソケット２０を把持させる。

ステップＳ１１０（把持工程）で、制御部７０は、ハンド部３１がソケット２０を把持した状態で、ソケット２０がプラグ１０の近傍へ移動するようロボット３０を制御する。制御部７０は、ステップＳ１０８で認識したプラグ１０の座標Ｐに対してプラグ軸線Ｚｐ１に沿って一定距離離れた位置に突起部２２が配置されるようにロボット３０を制御する。

ロボット３０は、ソケット２０をプラグ１０の近傍に配置する際に、撮像部４０により認識されたプラグ軸線Ｚｐ１の向きとソケット軸線Ｚｓ１の向きとが一致する姿勢となるようにソケット２０を把持する。ソケット軸線Ｚｓ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させているのは、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きと一致していないからである。

図９に示すように、ＸＺ平面において、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きに対して角度θ２だけ傾斜している。ソケット軸線Ｚｓ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させることで、ソケット２０の突起部２２をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってプラグ１０に向けて移動させることができる。

ステップＳ１１１で、制御部７０は、ソケット２０をプラグ１０へ挿入するようロボット３０を制御する。ロボット３０は、突起部２２をプラグ１０の溝部１２へ向けて挿入するようにプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってハンド部３１を移動させる。図１０に示すように、ロボット３０は、プラグ軸線Ｚｐ１上の固定溝１２ａから所定距離（第１所定距離）Ｌ１だけ離れた位置にロックボール２２ａが配置されるように突起部２２を溝部１２に挿入する。ソケット２０の突起部２２がプラグ１０の溝部１２へ挿入されると、図１０に示す状態となる。

ステップＳ１１２（連結工程）で、制御部７０は、ソケット２０をプラグ１０に固定するようソケット２０を制御する。ソケット２０は、突起部２２をプラグ１０の溝部１２の底部に向けて移動させる調整部２３を有する。調整部２３は、ロボット３０のハンド部３１により把持される把持位置に対するロックボール２２ａのソケット軸線Ｚｓ１上の位置を調整してロックボール２２ａが固定溝１２ａに配置される状態とする。

ロックボール２２ａが固定溝１２ａに配置されると、スプリング２４の付勢力により、ロックボール２２ａが固定溝１２ａに固定された状態となる。そのため、スプリング２４の付勢力に打ち勝つ上方へ向けた力を付与しない限り、ソケット２０がプラグ１０に固定された状態が維持される。

図１０に示すように、ロックボール２２ａが固定溝１２ａに配置されない状態では、バルブ２５が本体部２６に接触し、ソケット側液体流路２１の下端が封止された状態となる。一方、ロックボール２２ａが固定溝１２ａに配置された状態では、本体部２６がプラグ１０の先端と接触し、それに応じてバルブ２５が本体部２６から離間する。これにより、ソケット側液体流路２１の封止が解除され、ソケット側液体流路２１とプラグ側液体流路１１とが連結される。

ステップＳ１１３で、制御部７０は、ハンド部３１がソケット２０を把持した状態を解除し、ハンド部３１を所定の待機位置に移動させるようロボット３０を制御する。

ステップＳ１１４で、制御部７０は、液体配管ＬＬ１に接続されたポンプ（図示略）を動作させ、液体収納容器２００に収納された液体の供給先装置への供給を開始する。制御部７０は、液体収納容器２００から取り出された液体の容積に相当するガス（例えば、空気や窒素）を液体収納容器２００に供給するようガス配管ＧＬ１に接続されたガス供給源（図示略）を制御する。

ガス配管ＧＬ１からソケット２０に供給されたガスは、ソケット２０の内部を流通し、プラグ側ガス流路１３を介して液体収納容器２００の上方の空間に供給される。プラグ側液体流路１１の上端へ到達した液体は、ソケット側液体流路２１を介して液体配管ＬＬ１に導かれる。液体配管ＬＬ１に導かれた液体は、供給先装置に供給される。以上により、液体供給装置１００による供給先装置への液体の供給が開始される。

液体供給装置１００による供給先装置への液体の供給は、液体収納容器２００の液体が残存する限りは継続されるが、液体収納容器２００の液体がなくなるか所定量以下となる場合には、新たな液体収納容器２００に交換する必要がある。次に、液体収納容器２００を交換するために、プラグ１０からソケット２０を取り外す処理について図１２を参照して説明する。

ステップＳ２０１で、制御部７０は、液体配管ＬＬ１に接続されたポンプの動作と、ガス配管ＧＬ１に接続されたガス供給源からソケット２０へのガスの供給を停止するよう制御する。ポンプの動作が停止されると、液体収納容器２００から液体配管ＬＬ１への液体の供給が停止される。

ステップＳ２０２で、制御部７０は、ハンド部３１を所定の待機位置からソケット２０を把持可能な位置に移動させ、ハンド部３１によりソケット２０を把持するようロボット３０を制御する。ハンド部３１がソケット２０を把持すると、図１１に示す状態となる。

ステップＳ２０３で、制御部７０は、ソケット２０がプラグ１０に固定された固定状態を解除するようソケット２０を制御する。調整部２３は、ロボット３０のハンド部３１により把持される把持位置に対するロックボール２２ａのソケット軸線Ｚｓ１上の位置を調整してロックボール２２ａが固定溝１２ａに配置されない状態とする。

調整部２３は、スプリング２４の付勢力に打ち勝つ上方へ向けた力を付与してスプリング２４を収縮させる。スプリング２４が収縮すると、ロックボール２２ａが固定溝１２ａに固定された状態が解除され、ロックボール２２ａが固定溝１２ａから離れた位置へ移動し、図１０に示す状態となる。その後、制御部７０は、ソケット２０をプラグ１０から引き抜くようロボット３０を制御する。ロボット３０は、突起部２２をプラグ１０の溝部１２から引き抜くようにプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってハンド部３１を移動させる。

ステップＳ２０４で、制御部７０は、ハンド部３１がソケット２０を把持した状態で、ハンド部３１を設置台ＴＢ２に設置された洗浄容器ＷＣに移動させるようロボット３０を制御する。洗浄容器ＷＣには、ソケット２０に付着した液体を洗浄する洗浄液（例えば、純水）が貯留されている。

ソケット２０を洗浄液に浸漬させることにより、ソケット２０に付着した液体がスラリー等の大気に触れると凝固する薬液である場合に、薬液がソケット２０に付着したまま乾燥して凝固することを防止することができる。なお、洗浄容器ＷＣに常に新たな洗浄液が供給される状態とし、ソケット２０が汚染されない状態を維持することが望ましい。

ステップＳ２０５で、制御部７０は、ハンド部３１がソケット２０を把持した状態を解除してハンド部３１がソケット２０を離すようにロボット３０を制御する。その後、制御部７０は、ハンド部３１が所定の待機位置へ移動するようロボット３０を制御する。以上により、プラグ１０からソケット２０を取り外す動作が完了する。

ステップＳ２０６で、制御部７０は、プラグ１０の位置およびプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識するように撮像部４０を制御する。ステップＳ２０６の処理はステップＳ１０２の処理と同様である。

ステップＳ２０７で、制御部７０は、設置台ＴＢ１に設置されたキャップ治具６０を把持するようロボット３０を制御する。制御部７０は、設置台ＴＢ１に設置されたキャップ治具６０のキャップ治具待機位置（図４の符号６０の位置）を予め記憶しておき、ハンド部３１をキャップ治具待機位置へ移動させ、キャップ治具６０を把持するようロボット３０を制御する。その後、制御部７０は、キャップ治具６０をキャップ待機位置（図３の符号５０の位置）に移動させ、キャップ部５０を保持部６１に保持するようロボット３０を制御する。

ステップＳ２０８で、制御部７０は、ハンド部３１がキャップ治具６０を把持した状態で、キャップ治具６０がプラグ１０の近傍へ移動するようロボット３０を制御する。制御部７０は、ステップＳ２０６で認識したプラグ１０の座標Ｐに対してプラグ軸線Ｚｐ１に沿って一定距離離れた位置に保持部６１が配置されるようにロボット３０を制御し、図１３に示す状態とする。

ロボット３０は、キャップ治具６０をプラグ１０の近傍に配置する際に、撮像部４０により認識されたプラグ軸線Ｚｐ１の向きとキャップ軸線Ｚｃ１の向きとが一致する姿勢となるようにキャップ治具６０を把持する。キャップ軸線Ｚｃ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させているのは、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きと一致していないからである。

図１３に示すように、ＸＺ平面において、プラグ軸線Ｚｐ１の向きが鉛直方向に延びる軸線Ｚ１の向きに対して角度θ３だけ傾斜している。キャップ軸線Ｚｃ１の向きをプラグ軸線Ｚｐ１の向きと一致させることで、キャップ治具６０の保持部６１により保持されるキャップ部５０をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってプラグ１０に向けて移動させることができる。制御部７０は、図１３に示す状態となった後に、キャップ部５０をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってプラグ１０に向けて移動させるようロボット３０を制御し、図８に示す状態とする。

ステップＳ２０９で、制御部７０は、キャップ部５０をプラグ１０に取り付けるようキャップ治具６０を把持するロボット３０を制御する。ロボット３０は、キャップ治具６０をプラグ軸線Ｚｐ１に沿ってキャップ部５０に向けて移動させ、図８に示す状態とする。制御部７０は、保持部６１によりキャップ部５０を保持した状態で、伝達部６４により保持部６１を時計回り方向（所定方向の逆方向）に回転させる。これにより、プラグ１０の雄ねじ１２ｂとキャップ部５０の雌ねじ５１ａとが係合し、キャップ部５０がプラグ１０に取り付けられる。

キャップ治具６０は、伝達部６４により、回転軸６３の時計回り方向の回転動力を保持部６１に伝達し、キャップ部５０を時計回りに回転させる。キャップ部５０を時計回りに回転させると、プラグ１０の雄ねじ１２ｂとキャップ部５０の雌ねじ５１ａとが係合して図７に示す状態となり、キャップ部５０がプラグ１０に取り付けられる。

ステップＳ２１０で、制御部７０は、保持部６１がキャップ軸線Ｚｃ１に沿って上方へ移動するようにキャップ治具６０を制御し、保持部６１からキャップ部５０が取り外された図６に示す状態とする。その後、制御部７０は、ハンド部３１がキャップ治具６０を把持した状態で、キャップ治具６０をキャップ治具待機位置へ移動させるようロボット３０を制御する。

ステップＳ２１１で、制御部７０は、使用済みの液体収納容器２００を廃棄場所（図示略）へ搬出する。制御部７０は、例えば、使用済みの液体収納容器２００を載せた無人搬送車（図示略）を移動させることにより、液体収納容器２００を廃棄場所へ搬出する。なお、作業者が搬送車（図示略）を用いて液体収納容器２００を搬出してもよい。

以上説明した本実施形態の液体供給装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の液体供給装置１００によれば、撮像部４０がプラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識し、ロボット３０がプラグ軸線Ｚｐ１の向きとソケット軸線Ｚｓ１の向きとが一致する姿勢となるようにソケット２０を把持する。ロボット３０により把持されたソケット２０をプラグ１０に挿入することによりソケット側液体流路２１とプラグ側液体流路１１とが連結される。ソケット２０がプラグ１０の向きに対して適切な姿勢でロボット３０のハンド部３１により把持されるため、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されるプラグ１０の向きによらずにプラグ側液体流路１１とソケット側液体流路２１とを確実に連結することができる。

また、本実施形態の液体供給装置１００によれば、ロボット３０によりソケット２０の突起部２２がプラグ１０の溝部１２に挿入された状態とし、ソケット２０が有する調整部２３によりロックボール２２ａが固定溝１２ａに固定された固定状態とすることができる。また、調整部２３によりロックボール２２ａの位置を調整し、ロックボール２２ａが固定溝１２ａに固定された固定状態を解除することができる。

また、本実施形態の液体供給装置１００によれば、撮像部４０がプラグ１０のプラグ軸線Ｚｐ１の向きを認識し、ロボット３０がプラグ軸線Ｚｐ１の向きとソケット軸線Ｚｓ１の向きとが一致する姿勢となるようにキャップ治具６０を把持する。ハンド部３１により把持されたキャップ治具６０が有する保持部６１を反時計回り方向に回転させることにより、保持部６１に保持されるキャップ部５０がプラグ１０から取り外される。

キャップ治具６０がプラグ１０の向きに対して適切な姿勢でハンド部３１により把持されるため、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されるプラグ１０の向きによらずにプラグ１０からキャップ部５０を確実に取り外すことができる。また、キャップ治具６０により、保持部６１を時計回り方向に回転させ、キャップ部５０をプラグ１０に取り付けることができる。

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態の液体供給装置１００Ａについて説明する。本実施形態は、第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとし、以下での説明を省略する。

第１実施形態の液体供給装置１００は、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されたプラグ１０にソケット２０を取り付け、ソケット２０を介して液体収納容器２００にガスを供給して液体を供給先装置へ供給するものであった。それに対して、本実施形態の液体供給装置１００Ａは、図１４に示すように、第１開口部２１０と第２開口部２２０の双方に固定されるプラグ１０にソケット２０を取り付けるものである。

図１４に示すように、本実施形態の液体供給装置１００Ａは、第１開口部２１０および第２開口部２２０の双方に固定されるプラグ１０と、プラグ１０の取付けられるソケット２０を備える。プラグ１０およびソケット２０の構造および機能は、第１実施形態と同様である。

第１開口部２１０に固定されたプラグ１０に取り付けられるソケット２０は、供給先装置へ液体を供給する液体配管ＬＬ１に接続されている。第２開口部２２０に固定されたプラグ１０に取り付けられるソケット２０は、供給先装置から循環する液体を液体収納容器２００へ戻す液体配管ＬＬ２に接続されている。本実施形態では、液体配管ＬＬ１を介して供給先装置へ供給した液体を、液体配管ＬＬ２を介して液体収納容器２００に戻し、液体を循環させる。

第１開口部２１０に固定されたプラグ１０と第２開口部２２０に固定されたプラグ１０の双方には、予めキャップ部５０が取り付けられている。本実施形態では、まず初めに、第１開口部２１０および第２開口部２２０の双方にキャップ部５０が取り付けられた液体収納容器２００をロボット３０の動作範囲内の予め定められた位置に搬入する。

その後、制御部７０は、第１開口部２１０に対して、図４のステップＳ１０２からＳ１１３を実行する。この動作により、第１開口部２１０のプラグ１０にソケット２０が取り付けられた状態となる。その後、制御部７０は、第２開口部２２０に対して、図４のステップＳ１０２からＳ１１３を実行する。この動作により、第２開口部２２０のプラグ１０にソケット２０が取り付けられた状態となる。

制御部７０は、第１開口部２１０のプラグ１０と第２開口部２２０のプラグ１０の双方にソケット２０が取り付けられた後に、液体配管ＬＬ１に接続されたポンプ（図示略）を動作させる。ポンプの動作が開始すると、液体収納容器２００から液体配管ＬＬ１を介して供給先装置へ液体が供給され、供給先装置から液体配管ＬＬ２を介して液体収納容器２００に液体が戻される。液体収納容器２００から外部へ供給された液体の容積を置換するためのガスは、ガス配管ＧＬ１およびガス配管ＧＬ２の双方から液体収納容器２００へ供給される。なお、図１４に示すガス配管ＧＬ１とガス配管ＧＬ２の一方のみをソケット２０に接続し、単一のガス配管から液体収納容器２００へガスを供給するようにしてもよい。

本実施形態の液体供給装置１００Ａによれば、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されるプラグ１０の向きによらずにプラグ側液体流路１１とソケット側液体流路２１とを確実に連結することができる。また、液体収納容器２００の第２開口部２２０に固定されるプラグ１０の向きによらずにプラグ側液体流路１１とソケット側液体流路２１とを確実に連結することができる。

〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態の液体供給装置１００Ｂについて説明する。本実施形態は、第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとし、以下での説明を省略する。

第１実施形態の液体供給装置１００は、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されたプラグ１０にソケット２０を取り付け、ソケット２０を介して液体収納容器２００にガスを供給して液体を供給先装置へ供給するものであった。それに対して、本実施形態の液体供給装置１００Ｂは、図１５に示すように、第２開口部２２０にプラグ８０を固定し、ソケット９０を取り付けるものである。

プラグ（第２プラグ）８０は、第２開口部２２０に固定されるとともにプラグ軸線（第２プラグ軸線）Ｚｐ２に沿って延びるプラグ側気体流路８１を有する。プラグ側気体流路８１は、液体収納容器２００の上方の空間と連通している。プラグ８０の上端の外周面には、雄ねじが形成されている。プラグ８０の雄ねじを第２開口部２２０の雌ねじに係合することにより、プラグ８０が第２開口部２２０に固定される。

ソケット９０は、プラグ８０に着脱可能に取り付けられるとともにソケット軸線（第２ソケット軸線）Ｚｓ２に沿って延びるソケット側気体流路９１を有する。ソケット９０は、液体収納容器２００にガスを供給するためのガス配管ＧＬ３に接続されている。ソケット９０は、ロボット３０のハンド部３１により把持される。

第１開口部２１０に固定されたプラグ１０と第２開口部２２０に固定されたプラグ８０の双方には、予めキャップ部５０が取り付けられている。本実施形態では、まず初めに、第１開口部２１０および第２開口部２２０の双方にキャップ部５０が取り付けられた液体収納容器２００をロボット３０の動作範囲内の予め定められた位置に搬入する。

その後、制御部７０は、第１開口部２１０に対して、図４のステップＳ１０２からＳ１１３を実行する。この動作により、第１開口部２１０のプラグ１０にソケット２０が取り付けられた状態となる。その後、制御部７０は、第２開口部２２０に対して、図４のステップＳ１０２からＳ１１３を実行する。この動作により、第２開口部２２０のプラグ１０にソケット９０が挿入された状態となり、プラグ側気体流路８１とソケット側気体流路９１とが連結される。

制御部７０は、第１開口部２１０のプラグ１０にソケット２０が取り付けられ、かつ第２開口部２２０のプラグ１０にソケット９０が取り付けられた後に、液体配管ＬＬ１に接続されたポンプ（図示略）を動作させる。ポンプの動作が開始すると、液体収納容器２００から液体配管ＬＬ１を介して供給先装置へ液体が供給される。液体収納容器２００から外部へ供給された液体の容積を置換するためのガスは、ガス配管ＧＬ３からソケット９０を介して液体収納容器２００へ供給される。

本実施形態の液体供給装置１００Ｂによれば、液体収納容器２００の第１開口部２１０に固定されるプラグ１０の向きによらずにプラグ側液体流路１１とソケット側液体流路２１とを確実に連結することができる。また、液体収納容器２００の第２開口部２２０に固定されるプラグ８０の向きによらずにプラグ側気体流路８１とソケット側気体流路９１とを確実に連結することができる。

本実施形態において、プラグ１０のソケット２０が挿入される部分の形状と、プラグ８０のソケット９０が挿入される部分の形状は異なっている。また、ソケット２０のプラグ１０に挿入する部分の形状と、ソケット９０のプラグ８０に挿入する部分の形状は異なっている。そのため、プラグ１０にソケット９０を接続しようとしても接続することができず、プラグ８０にソケット２０を接続しようとしても接続することができない。これにより、プラグ１０にソケット９０を誤接続すること、およびプラグ８０にソケット２０を誤接続することを防止することができる。

本実施形態においては、液体収納容器２００から外部へ供給された液体の容積を置換するために、ガス配管ＧＬ３からソケット９０を介して液体収納容器２００へガスを供給するものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、液体収納容器２００の上方の空間を加圧するために、ガス配管ＧＬ３からソケット９０を介して液体収納容器２００へガスを供給するものとしてもよい。この場合、液体収納容器２００に貯留される液体は、ガス配管ＧＬ３から供給されたガスの圧力により、液体収納容器２００から液体配管ＬＬ１を介して供給先装置へ供給される。

１０ プラグ（第１プラグ）
１１ プラグ側液体流路
１２ 溝部
１２ａ 固定溝（プラグ側固定部）
１２ｂ 雄ねじ
１３ プラグ側ガス流路
１５ 封止栓
２０ ソケット
２１ ソケット側液体流路
２２ 突起部
２２ａ ロックボール（ソケット側固定部）
２３ 調整部
３０ ロボット（把持機構）
３１ ハンド部
４０ 撮像部（認識部）
５０ キャップ部
５１ 挿入部
５１ａ 雌ねじ
５２ 収容溝
５２ａ 固定溝
６０ キャップ治具（回転機構）
６１ 保持部
６１ａ ロックボール
６２ スプリング
６３ 回転軸
６４ 伝達部
６５ キャップ治具本体
６６ シャフト部
７０ 制御部
８０ プラグ（第２プラグ）
８１ プラグ側気体流路
９０ ソケット
９１ ソケット側気体流路
１００，１００Ａ，１００Ｂ 液体供給装置
２００ 液体収納容器
２１０ 第１開口部
２２０ 第２開口部
ＧＬ１，ＧＬ２，ＧＬ３ ガス配管
ＬＬ１，ＬＬ２ 液体配管
ＴＢ１，ＴＢ２ 設置台
ＷＣ 洗浄容器
Ｚｃ１ キャップ軸線
Ｚｐ１ プラグ軸線
Ｚｓ１ ソケット軸線

Claims (8)

1. 液体収納容器の上面に設けられる第１開口部に固定されるとともに第１プラグ軸線に沿って延びるプラグ側液体流路を有する第１プラグと、
   前記第１プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第１ソケット軸線に沿って延びるソケット側液体流路を有する第１ソケットと、
   前記第１ソケットを把持するとともに前記第１ソケットを動作範囲内の３次元位置に所定の姿勢で配置する把持機構と、
   前記第１プラグの前記第１プラグ軸線の向きを認識する認識部と、を備え、
   前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記第１ソケットを把持し、
   前記把持機構により把持された前記第１ソケットを前記第１プラグに挿入することにより前記ソケット側液体流路と前記プラグ側液体流路とを連結する液体供給装置。
2. 前記第１プラグの先端には、前記第１プラグ軸線回りに円環状に延びるとともにプラグ側固定部を有する第１溝部が形成され、
   前記第１ソケットの先端には、前記第１ソケット軸線回りに円環状に延びるとともにソケット側固定部を有する第１突起部が形成され、
   前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線上の前記プラグ側固定部から第１所定距離だけ離れた位置に前記ソケット側固定部が配置されるように前記第１突起部を前記第１溝部に挿入し、
   前記第１ソケットは、前記把持機構により把持される把持位置に対する前記ソケット側固定部の前記第１ソケット軸線上の位置を調整して前記ソケット側固定部が前記プラグ側固定部に固定された固定状態とする調整部を有する請求項１に記載の液体供給装置。
3. 前記調整部は、前記把持位置に対する前記ソケット側固定部の前記第１ソケット軸線上の位置を調整して前記固定状態を解除する請求項２に記載の液体供給装置。
4. 前記把持機構は、前記第１プラグから取り外された前記第１ソケットを把持し、前記第１ソケットを洗浄する洗浄液が貯留された洗浄容器へ前記第１ソケットを移動させる請求項３に記載の液体供給装置。
5. 前記プラグ側液体流路を封止するとともに前記第１溝部に挿入される第１挿入部を有する第１キャップ部と、
   前記第１キャップ部を保持する保持部を有するとともに該保持部を第１キャップ軸線回りに回転させる回転機構と、を備え、
   前記第１キャップ部の前記第１挿入部には、第１ねじ部が形成されており、
   前記第１プラグの前記第１溝部には、前記第１ねじ部と係合する第２ねじ部が形成されており、
   前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１キャップ軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記回転機構を把持し、
   前記回転機構は、前記保持部により前記第１キャップ部を保持した状態で前記保持部を所定方向に回転させることにより前記第１キャップ部を前記第１プラグから取り外す請求項２から請求項４のいずれか一項に記載の液体供給装置。
6. 前記回転機構は、前記保持部により前記第１キャップ部を保持した状態で前記所定方向の逆方向に前記保持部を回転させることにより前記第１キャップ部を前記第１プラグに取り付ける請求項５に記載の液体供給装置。
7. 前記液体収納容器の上面に設けられる第２開口部に固定されるとともに第２プラグ軸線に沿って延びるプラグ側気体流路を有する第２プラグと、
   前記第２プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第２ソケット軸線に沿って延びるソケット側気体流路を有する第２ソケットと、を備え、
   前記認識部は、前記第２プラグの前記第２プラグ軸線の向きを認識し、
   前記把持機構は、前記認識部により認識された前記第２プラグ軸線の向きと前記第２ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記第２ソケットを把持し、
   前記把持機構により把持された前記第２ソケットを前記第２プラグに挿入することにより前記ソケット側気体流路と前記プラグ側気体流路とを連結する請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の液体供給装置。
8. 液体供給装置により液体を供給する液体供給方法であって、
   前記液体供給装置は、
   液体収納容器の上面に設けられる第１開口部に固定されるとともに第１プラグ軸線に沿って延びるプラグ側液体流路を有する第１プラグと、
   前記第１プラグに着脱可能に取り付けられるとともに第１ソケット軸線に沿って延びるソケット側液体流路を有する第１ソケットと、
   前記第１ソケットを把持するとともに前記第１ソケットを動作範囲内の３次元位置に所定の姿勢で配置する把持機構と、を備え、
   前記第１プラグの前記第１プラグ軸線の向きを認識する認識工程と、
   前記認識工程により認識された前記第１プラグ軸線の向きと前記第１ソケット軸線の向きとが一致する姿勢となるように前記把持機構により前記第１ソケットを把持する把持工程と、
   前記把持工程により把持された前記第１ソケットを前記第１プラグに挿入することにより前記ソケット側液体流路と前記プラグ側液体流路とを連結する連結工程と、を備える液体供給方法。
   

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