JP2022164355A - 冷却器、半導体装置及び電力変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体パッケージが動作している状態で、半導体パッケージを効率よく冷却する技術を提供する。【解決手段】 第1方向に離隔して並んで設けられる複数の多穴管と、前記複数の多穴管のそれぞれの一端が接合される第1ヘッダと、前記第1方向に交差する第2方向に前記第1ヘッダから離隔して設けられ、前記複数の多穴管のそれぞれの他端が接合される第2ヘッダと、を備え、前記複数の多穴管のいずれか一つの第1多穴管は、前記第1多穴管の前記一端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第1傾斜部を有し、前記第1多穴管の前記他端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第2傾斜部を有する冷却器。【選択図】 図1
Description
本開示は、冷却器、半導体装置及び電力変換装置に関する。
発熱によるパワー半導体パッケージの温度上昇を抑えるために、冷媒を内部に流す冷却管が用いられる。
特許文献1には、電子部品を両面から挟持できるように積層配置してなる複数の冷却管と、供給ヘッダ部と、排出ヘッダ部とを有する積層型冷却器が開示されている。当該冷却管は、供給ヘッダ部に接続される第1接合部と、排出ヘッダ部に接続される第2接合部と、第1接合部と第2接合部との間に形成された拡管部と、を有する。
特許文献2には、複数の扁平冷媒管部と、入口側のヘッダ部と、出口側のヘッダ部と、半導体モジュール(半導体パッケージ)と扁平冷媒管部とを積層方向に挟圧する挟圧部とを備える冷媒冷却型両面冷却半導体装置が開示されている。
半導体パッケージを用いる電子機器において、半導体パッケージが動作している状態で、効率よく冷却することが求められる。
本開示は、半導体パッケージが動作している状態で、半導体パッケージを効率よく冷却する技術を提供する。
本開示の一の態様によれば、第1方向に離隔して並んで設けられる複数の多穴管と、前記複数の多穴管のそれぞれの一端が接合される第1ヘッダと、前記第1方向に交差する第2方向に前記第1ヘッダから離隔して設けられ、前記複数の多穴管のそれぞれの他端が接合される第2ヘッダと、を備え、前記複数の多穴管のいずれか一つの第1多穴管は、前記第1多穴管の前記一端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第1傾斜部を有し、前記第1多穴管の前記他端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第2傾斜部を有する冷却器を提供する。
本開示によれば、半導体パッケージが動作している状態で、半導体パッケージを効率よく冷却できる。
以下、本発明の各実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、各実施形態に係る明細書及び図面の記載に関して、実質的に同一の又は対応する機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省略する場合がある。また、理解を容易にするため、図面における各部の縮尺は、実際とは異なる場合がある。
平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右などの方向には、実施形態の効果を損なわない程度のずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直が含まれてもよい。
<<半導体装置1>>
図1は、本実施形態の半導体装置1の斜視図である。図2は、本実施形態の半導体装置1の分解斜視図である。半導体装置1は、例えば、3相モータの各相のそれぞれに2つの半導体パッケージ20によって直流を交流に変換して電力を供給する電力変換器である。半導体装置1は、例えば、モータを駆動する電力変換装置に用いられる。
図1は、本実施形態の半導体装置1の斜視図である。図2は、本実施形態の半導体装置1の分解斜視図である。半導体装置1は、例えば、3相モータの各相のそれぞれに2つの半導体パッケージ20によって直流を交流に変換して電力を供給する電力変換器である。半導体装置1は、例えば、モータを駆動する電力変換装置に用いられる。
なお、図には、説明の便宜のためXYZ直交座標系が設定される場合がある。図面の紙面に対して垂直な座標軸については、座標軸の丸の中にバツ印は紙面に対して奥の方向が正、丸の中に黒丸印は紙面に対して手前側が正であることを表している。ただし、当該座標系は、説明のために定めるものであって、半導体装置1等の姿勢について限定するものではない。
なお、本開示では、特に説明しない限り、X軸は冷却器30の第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの延在方向とする。また、Y軸は冷却器30の第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3が隣接する方向とする。なお、Y軸方向を、上下方向と呼ぶ場合がある。Z軸は、当該X軸、Y軸に垂直な方向とする。
半導体装置1は、複数の半導体パッケージ20と、冷却器30と、を備える。
本実施形態の半導体装置1は、6個の半導体パッケージ20を備える。具体的には、半導体装置1は、半導体パッケージ21、半導体パッケージ22、半導体パッケージ23、半導体パッケージ24、半導体パッケージ25及び半導体パッケージ26を備える。なお、以下の説明では、半導体パッケージ21、半導体パッケージ22、半導体パッケージ23、半導体パッケージ24、半導体パッケージ25及び半導体パッケージ26のそれぞれを区別して説明する必要がない場合は、それぞれを総称して半導体パッケージ20と呼ぶ場合がある。
半導体パッケージ20は、冷却器30の後述する第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の間に、横3列、縦2段に配置され、保持される。半導体パッケージ20は、隣接する二つ多穴管の間に設けられる。冷却器30には、冷媒導入口30ap1から冷媒(熱冷媒)、例えば、冷却水、が導入される。また、冷却器30に導入された冷媒は、冷媒導出口30ap2から導出される。半導体パッケージ20は、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3内を通流する冷却水と熱交換することにより冷却される。
第1多穴管30b1と第2多穴管30b2との間に、第1ヘッダ30aの側から順に並んで、半導体パッケージ21、半導体パッケージ22及び半導体パッケージ23を備える。また、第2多穴管30b2と第3多穴管30b3との間に、第1ヘッダ30aの側から順に並んで、半導体パッケージ24、半導体パッケージ25及び半導体パッケージ26を備える。
半導体装置1の半導体パッケージ20と冷却器30のそれぞれの詳細について説明する。
<半導体パッケージ20>
図3は、本実施形態の半導体装置1の半導体パッケージ20の上面図である。図4は、本実施形態の半導体装置1の半導体パッケージ20の下面図である。
図3は、本実施形態の半導体装置1の半導体パッケージ20の上面図である。図4は、本実施形態の半導体装置1の半導体パッケージ20の下面図である。
半導体パッケージ20は、例えば、1相分の上下アームを構成する2つの半導体素子がパッケージされたいわゆる2in1の半導体パッケージである。また、半導体パッケージ20は、いわゆる両面冷却型の半導体パッケージである。半導体パッケージ20の内部には、例えば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、FET(Field-Effect Transistor)等のパワートランジスタ等の半導体素子が内蔵される。
なお、内蔵する半導体素子としては、パワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)やFWD(Free Wheeling Diode)等でもよい。また、載置される半導体素子は、前述のIGBTやFWDをワンチップ化したRB-IGBT(Reverse Blocking-Insulated Gate Bipolar Transistor)でもよい。更に、載置される半導体素子は、前述のIGBTやFWDをワンチップ化したRC-IGBT(Reverse Conducting-Insulated Gate Bipolar Transistor)でもよい。
半導体パッケージ20は、略直方体状の形状の樹脂、例えば、エポキシ樹脂等、のケース20dを備える。ケース20dは、上面20dAと、上面20dAの反対側に下面20dBと、を有する。
半導体パッケージ20は、ケース20dの側面に、電流端子20a1、電流端子20a2及び電流端子20a3と、制御端子20b1、制御端子20b2、制御端子20b3及び制御端子20b4と、を有する。電流端子20a1、電流端子20a2及び電流端子20a3と、制御端子20b1、制御端子20b2、制御端子20b3及び制御端子20b4とは、半導体パッケージ20のケース20dの側面から突出して設けられる。
電流端子20a1、電流端子20a2及び電流端子20a3は、例えば、負荷に電流を流すための端子である。電流端子20a1、電流端子20a2及び電流端子20a3は、導電材料で形成される。制御端子20b1、制御端子20b2、制御端子20b3及び制御端子20b4は、負荷に流す電流を制御するための端子である。制御端子20b1、制御端子20b2、制御端子20b3及び制御端子20b4は、導電材料で形成される。
また、半導体パッケージ20は、放熱板20c1及び放熱板20c2を有する。半導体パッケージ20に内蔵される例えばパワートランジスタは、発熱素子であることから、冷却する必要がある。放熱板20c1及び放熱板20c2のそれぞれは、当該発熱素子を放熱するために設けられる。放熱板20c1及び放熱板20c2のそれぞれは、熱伝導性の高い材料、例えば、銅などの金属で形成される。放熱板20c1及び放熱板20c2のそれぞれは、当該発熱素子に熱的に接続される。放熱板20c1は、ケース20dの上面20dAに設けられる。放熱板20c2は、ケース20dの下面20dBに設けられる。
<冷却器30>
図5は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の斜視図である。図6は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の分解斜視図である。
図5は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の斜視図である。図6は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の分解斜視図である。
冷却器30は、半導体パッケージ20を冷却する。冷却器30の内部には、冷媒が通流する。冷却器30は、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3内を通流する冷媒(例えば冷却水)と半導体パッケージ20との間で熱交換することにより、半導体パッケージ20を冷却する。なお、冷媒は水に限らず、不凍液を含む液体でもよい。
冷却器30は、第1ヘッダ30aと、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3と、第2ヘッダ30cと、を備える。第2ヘッダ30cは、第1ヘッダ30aからX軸方向に離隔して設けられる。第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、Y軸方向、すなわち、X軸方向と交差する方向、に所定の間隔、具体的には、半導体パッケージ20を保持できる間隔、を隔てて設けられる。
なお、X軸方向は、第2方向の一例である。
第1ヘッダ30aは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの一端に連結される。具体的には、第1ヘッダ30aは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの-X側の端部に連結される。第2ヘッダ30cは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの他端に連結される。具体的には、第2ヘッダ30cは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの+X側の端部に連結される。
[第1ヘッダ30a]
最初に、第1ヘッダ30aについて説明する。図7は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の第1ヘッダ30aの斜視図である。第1ヘッダ30aは、冷媒を冷却器30の内部に導入するとともに、冷却器30の外部に導出する。第1ヘッダ30aは、壁部30aA、壁部30aB、壁部30aC、壁部30aD、壁部30aE及び壁部30aFにより構成される内部が空洞の直方体状である。
最初に、第1ヘッダ30aについて説明する。図7は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の第1ヘッダ30aの斜視図である。第1ヘッダ30aは、冷媒を冷却器30の内部に導入するとともに、冷却器30の外部に導出する。第1ヘッダ30aは、壁部30aA、壁部30aB、壁部30aC、壁部30aD、壁部30aE及び壁部30aFにより構成される内部が空洞の直方体状である。
第1ヘッダ30aの+X側の壁部である壁部30aEの一部が解放される。具体的には、第1ヘッダ30aは、壁部30aEに開口部30ah1、開口部30ah2及び開口部30ah3を有する。第1ヘッダ30aの開口部30ah1、開口部30ah2及び開口部30ah3には、それぞれ第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の一端が挿入され、固定される。第1ヘッダ30aと、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3とは例えばロウ付けにて固定され、水密を確保する。
第1ヘッダ30aは、壁部30aFに冷媒導入口30ap1及び冷媒導出口30ap2を有する。冷媒導入口30ap1は、外部の冷却装置から冷媒が導入される。冷媒導出口30ap2は、外部の冷却装置に冷媒を導出する。第1ヘッダ30aは、内部に後述する隔壁を有する。隔壁は、第1ヘッダ30aに導入される冷媒と、第1ヘッダ30aから導出される冷媒とを分ける壁である。隔壁については、後で詳細を述べる。
[第1多穴管30b1、第2多穴管30b2、第3多穴管30b3]
次に、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3について説明する。図8は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の断面図である。なお、図8では、第2多穴管30b2の中央で切断した断面図を代表的に示している。第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、長手方向の端部が解放され内部に冷媒が通流する管である。また、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、多穴管の内部を通流する冷媒と熱交換することで半導体パッケージ20を冷却する。
次に、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3について説明する。図8は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の断面図である。なお、図8では、第2多穴管30b2の中央で切断した断面図を代表的に示している。第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、長手方向の端部が解放され内部に冷媒が通流する管である。また、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、多穴管の内部を通流する冷媒と熱交換することで半導体パッケージ20を冷却する。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の短手方向の断面は外形が略長方形状になっている。第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、内部に分割された流路30bcを有するいわゆるマイクロチャネルである。なお、本実施例の流路30bcは、ミリ単位のオーダーの寸法で作成されても良い。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の各流路30bcは、Y軸方向(上下方向)に長い矩形状のマイクロチャネルになっている。なお、流路30bcは、Y軸方向に2段以上分けてもよい。
なお、Y軸方向(上下方向)は、第1方向の一例である。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3は、冷却面30bA、冷却面30bBを有する。半導体パッケージ20を冷却器30で冷却する場合には、冷却面30bA又は冷却面30bBに冷却する半導体パッケージ20が接触して設けられる。具体的には、冷却面30bAまたは冷却面30bBと、半導体パッケージ20の放熱板20c1または放熱板20c2とがハンダ付けや熱伝導グリス等の後述する接合部材で熱的に接合される。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの流路30bcは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの延在方向に対して一様な断面積を有する。第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの流路30bcの延在方向と冷媒の流れ方向は、X軸方向で一致する。なお、流路30bcの断面積とは、本開示においては、それぞれの流路30bcの延在方向、すなわち、冷媒の流れ方向に垂直な面の断面積とする。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の少なくとも1本の多穴管は、第1ヘッダ30aから第2ヘッダ30cの方向に冷媒が流れ、残りの多穴管は、第2ヘッダ30cから第1ヘッダ30aの方向に冷媒が流れる。なお、以下の説明において、第1ヘッダ30aから第2ヘッダ30cの方向に冷媒が流れる多穴管を上流側多穴管、第2ヘッダ30cから第1ヘッダ30aの方向に冷媒が流れる多穴管を下流側多穴管、という場合がある。
また、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のうち、Y軸方向の端に設けられる第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3のそれぞれは、X軸方向に対してY軸方向の外側に傾斜した傾斜部を備える。傾斜部の詳細については後述する。
[第2ヘッダ30c]
第2ヘッダ30cは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の少なくとも一本の多穴管から導入された冷媒を、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の残りの多穴管に導入する。いいかえると、第2ヘッダ30cは、上流側多穴管から導入された冷媒を、下流側多穴管に導入する。
第2ヘッダ30cは、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の少なくとも一本の多穴管から導入された冷媒を、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の残りの多穴管に導入する。いいかえると、第2ヘッダ30cは、上流側多穴管から導入された冷媒を、下流側多穴管に導入する。
第2ヘッダ30cは、片側が解放された空洞となっている。具体的には、第2ヘッダ30cは、-X側の面に開口部30ch1、開口部30ch2及び開口部30ch3を有する。第2ヘッダ30cの解放側には、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の他端が挿入され、固定される。具体的には、開口部30ch1には、第1多穴管30b1の他端が挿入され、固定される。開口部30ch2には、第2多穴管30b2の他端が挿入され、固定される。開口部30ch3には、第3多穴管30b3の他端が挿入され、固定される。第2ヘッダ30cと、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3とは例えばロウ付けにて固定され、水密を確保する。
<第1ヘッダ30aの隔壁>
ここで、第1ヘッダ30aに設けられる隔壁について説明する。
ここで、第1ヘッダ30aに設けられる隔壁について説明する。
外部の冷却装置から冷却器30に導入される冷媒は、半導体パッケージ20から熱を吸収して冷却器30から導出される。よって、冷却器30を通流する冷媒は、導入された直後において一番温度が低く、徐々に熱を吸収して温度が高くなる。すなわち、上流側多穴管を流れる冷媒の温度より、下流側多穴管の冷媒の温度は高くなる。
次に、第1ヘッダ30aに設けられる隔壁の位置について説明する。本実施形態の半導体装置1では、第1多穴管30b1及び第2多穴管30b2の2本の多穴管を上流側多穴管とする。また、第3多穴管30b3の1本の多穴管を下流側多穴管とする。
図9、図10は、本実施形態の半導体装置1の断面図である。具体的には、図9は、半導体装置1を第1ヘッダ30a部分で、X軸方向に垂直な面で切断した断面図である。具体的には、図10は、半導体装置1をZ方向の中心部分で、Z軸方向に垂直な面で切断した断面図である。なお、半導体パッケージ20については、内部の詳細は省略して、一様な断面として示している。また、図10では、多穴管の傾斜部は省略している。
本実施形態の半導体装置1では、第1多穴管30b1及び第2多穴管30b2が上流側多穴管、第3多穴管30b3が下流側多穴管となるように、隔壁30awを設ける。隔壁30awは、X軸方向において、第1ヘッダ30aの壁部30aFから壁部30aEまで延在する。
第1多穴管30b1及び第2多穴管30b2は、壁部30aAの一部、壁部30aB、壁部30aCの一部及び隔壁30awと、壁部30aE及び壁部30aFと、に囲まれる空間SPinに連通する。空間SPinには、冷媒導入口30ap1からの冷媒が導入される。空間SPinに導入された冷媒は、空間SPinに連通する第1多穴管30b1及び第2多穴管30b2から導出される。
一方、第3多穴管30b3は、壁部30aAの一部、隔壁30aw、壁部30aCの一部及び壁部30aDと、壁部30aE及び壁部30aFと、に囲まれる空間SPoutに連通する。空間SPoutに連通する第3多穴管30b3から冷媒が導入される。空間SPoutに導入された冷媒は、冷媒導出口30ap2から導出される。
<多穴管の傾斜部>
冷却器30が有する第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3に設けられる傾斜部について説明する。図11は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の概略を示す側面図である。
冷却器30が有する第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3に設けられる傾斜部について説明する。図11は、本実施形態の半導体装置1の冷却器30の概略を示す側面図である。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のうち、Y軸方向の最も外側に設けられる第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3は、それぞれX軸方向の両側に、X軸方向に対してY軸方向の外側に傾斜する傾斜部を有する。
具体的には、第1多穴管30b1は、-X側にY軸方向の外側、すなわち、-Y側に傾斜する傾斜部30b1aを有する。また、第1多穴管30b1は、+X側にY軸方向の外側、すなわち、-Y側に傾斜する傾斜部30b1bを有する。なお、第1多穴管30b1の両端は、傾斜部30b1a及び傾斜部30b1bに対して、傾斜してX軸方向を向く。
第3多穴管30b3は、-X側にY軸方向の外側、すなわち、+Y側に傾斜する傾斜部30b3aを有する。また、第3多穴管30b3は、+X側の端にY軸方向の外側、すなわち、+Y側に傾斜する傾斜部30b3bを有する。なお、第1多穴管30b1の両端は、傾斜部30b1a及び傾斜部30b1bに対して、傾斜してX軸方向を向く。
第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3は、それぞれ傾斜部を有することによって、幅Hの段差が設けられる。
第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの一端は、第1ヘッダ30aに接合される。また、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれの他端は、第2ヘッダ30cに接合される。
半導体装置1が動作すると、半導体パッケージ20は発熱する。半導体パッケージ20が発熱すると、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3が半導体パッケージ20によって加熱される。常温で第1ヘッダ30a及び第2ヘッダ30cが固定された状態から、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3が加熱されると、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3はそれぞれ熱膨張する。
例えば、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれは、両端固定されていない場合には、多穴管の長さL[m]と冷却管材料の線膨張係数α[1/K]と温度差ΔT[K]に比例して熱膨張する。すなわち、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3の熱変形量(長さ方向)δは、α×L×ΔTとなる。例えば、多穴管がアルミニウム材により構成される場合は、アルミニウム材の線膨張係数23.8×10-6[1/K]であることから、多穴管の長さ0.15[m]の場合、0.2[mm]の熱膨張が発生する。
第1ヘッダ30a及び第2ヘッダ30cは、半導体装置1が取り付けられる筐体に固定される。したがって、半導体装置1が動作しても、第1ヘッダ30aと第2ヘッダ30cとの間隔は変化しない。一方、半導体装置1が動作すると、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3が熱膨張する。
したがって、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれが接合する第1ヘッダ30aの壁部30aEが変形する。また、第1多穴管30b1、第2多穴管30b2及び第3多穴管30b3のそれぞれが接合する第2ヘッダ30cの壁部30cEが変形する。
第1多穴管30b1は、傾斜部30b1a及び傾斜部30b1bを有する。また、第3多穴管30b3は、傾斜部30b3a及び傾斜部30b3bを有する。傾斜部30b1a及び傾斜部30b3aのそれぞれは、矢印Aの向きに壁部30aEを押す。また、傾斜部30b1b及び傾斜部30b3bのそれぞれは、それぞれ矢印Aの向きに壁部30cEを押す。したがって、第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3は、Y軸方向において内側の第2多穴管30b2の向きに変形する。
第1多穴管30b1が、Y軸方向において内側の第2多穴管30b2の向きに変形することによって、第1多穴管30b1と第2多穴管30b2との間に配置される半導体パッケージ20は、より第1多穴管30b1及び第2多穴管30b2によって挟み込まれる。また、第3多穴管30b3が、内側の第2多穴管30b2の向きに変形することによって、第3多穴管30b3と第2多穴管30b2との間に配置される半導体パッケージ20は、より第3多穴管30b3及び第2多穴管30b2によって挟み込まれる。
したがって、半導体装置1が動作して、半導体パッケージ20は発熱した場合に、冷却器30によって、安定して半導体パッケージ20を冷却できる。
なお、例えば、第1多穴管30b1は第1外側多穴管の一例、傾斜部30b1aは第1傾斜部の一例、傾斜部30b1bは第2傾斜部の一例である。また、第3多穴管30b3は第2外側多穴管の一例、傾斜部30b3aは第3傾斜部の一例、傾斜部30b3bは第4傾斜部の一例である。また、第3多穴管30b3を第1多穴管を一例としてもよいし、第2ヘッダ30cを第1ヘッダの一例としてもよい。
なお、第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3の端は、X軸方向に平行になっていが、第1多穴管及び第3多穴管の端の形状は、第1多穴管30b1及び第3多穴管30b3の形状に限らない。図12は、本実施形態の半導体装置の冷却器30の変形例である冷却器130の概略を示す側面図である。
冷却器130の第1多穴管130b1は、両端にそれぞれ傾斜部130b1a及び傾斜部130b1bを備える。また、冷却器130の第3多穴管130b3は、両端にそれぞれ傾斜部130b3a及び傾斜部130b3bを備える。
冷却器130においては、第1多穴管130b1の両端は、傾斜部130b1a及び傾斜部130b1bとなっており、X軸方向に対して斜めに冷媒がそれぞれ第1ヘッダ130a及び第2ヘッダ130cに流れる。また、冷却器130においては、第3多穴管130b3の両端は、傾斜部130b3a及び傾斜部130b3bとなっており、X軸方向に対して斜めに冷媒がそれぞれ第1ヘッダ130a及び第2ヘッダ130cに流れる。
<多穴管とヘッダの接続について>
図13は、本実施形態の半導体装置の冷却器の多穴管とヘッダとの接続を示す図である。
図13は、本実施形態の半導体装置の冷却器の多穴管とヘッダとの接続を示す図である。
第1ヘッダ230aは、多穴管を接合する壁部230aEを備える。第1多穴管230b1及び第3多穴管230b3は、傾斜部を有する。当該傾斜部を接続するために、第1ヘッダ230aの壁部230aEは、傾斜部に適合するように傾斜した壁部230aE1及び壁部230aE3を備える。また、第1ヘッダ230aの壁部230aEは、壁部230aE1及び壁部230aE3を連結し、第2多穴管230b2に適合して垂直に設けられる壁部230aE2を有する。
壁部230aE1は、第1多穴管230b1が挿入される開口部230ah1を備える。壁部230aE2は、第2多穴管230b2が挿入される開口部230ah2を備える。壁部230aE3は、第3多穴管230b3が挿入される開口部230ah3を備える。
なお、第1ヘッダ230aについて説明したが、第2ヘッダについても同様である。例えば、壁部230aE1は第1傾斜壁部の一例である。第2ヘッダに設けられる傾斜壁部が第2傾斜壁部の一例である。
また、多穴管とヘッダを接続するために、開口部が傾斜を備えてもよい。図14は、本実施形態の半導体装置の冷却器の多穴管とヘッダとの接続を示す図である。
第1ヘッダ330aは、壁部330aEに開口部330ah1、開口部330ah2及び開口部330ah3を備える。
開口部330ah1は、第1多穴管330b1が挿入される。開口部330ah1は、第1多穴管330b1の傾斜部に適合するように、傾斜部が延びる方向に傾斜して貫通する。開口部330ah2は、第2多穴管330b2が挿入される。開口部330ah2は、第2多穴管330b2に適合するように水平に形成される。開口部330ah3は、第3多穴管330b3が挿入される。開口部330ah3は、第3多穴管330b3の傾斜部に適合するように、傾斜部が延びる方向に傾斜して貫通する。
なお、第1ヘッダ330aについて説明したが、第2ヘッダについても同様である。なお、例えば、開口部330ah1が第1傾斜開口部の一例である。また、第2ヘッダに設けられる傾斜開口部が第2傾斜開口部の一例である。
更に、位置が固定されたヘッダに対して、多穴管の熱膨張による寸法の変化を吸収するために、多穴管が接合される壁部を変形しやすくしてもよい。すなわち、多穴管が接合される壁部の剛性を低くしてもよい。
図15は、本実施形態の半導体装置の冷却器の多穴管とヘッダとの接続を示す図である。第1ヘッダ430aの多穴管と接合する壁部430aEは、他の壁部と比較して厚さ(壁厚)が薄くなっている。すなわち、壁部430aEは薄板により形成される。壁部430aEは、多穴管を取り付けるための開口部430ah1、開口部430ah2及び開口部430ah3を有する。
壁部430aEは、薄く形成されることにより、他の壁部と比較すると剛性が低くなっている。すなわち、壁部430aEは、第1ヘッダ430aを構成する壁部で最も剛性が低くなっている。なお、本実施例では、壁部430aEを他の壁部よりも薄く形成することで剛性を低くしているが、薄く形成することに限らない。例えば、局所的に薄く形成又は蛇腹状に形成しても良く、その他剛性を低くするためにとり得る他手段が含まれる。
したがって、第1多穴管430b1、第2多穴管430b2及び第3多穴管430b3のそれぞれが熱膨張しても、熱膨張して変形した量を吸収することができる。
なお、第1ヘッダ430aについて説明したが、第2ヘッダについても同様である。例えば、壁部430aEは接合壁部の一例である。
<<電力変換装置>>
次に、本実施形態に係る半導体装置を用いる電力変換装置について説明する。
次に、本実施形態に係る半導体装置を用いる電力変換装置について説明する。
図16及び図17は、本実施形態に係る半導体装置1を用いる電力変換装置5の斜視図である。図17は、図16の電力変換装置5のカバー51を外した図である。
電力変換装置5は、例えば、直流電力を所定の周波数の3相の交流電力に変換する。電力変換装置5は、例えば、自動車等に搭載される。
電力変換装置5は、カバー51と、ケース52と、を備える。ケース52は、外部の電源や負荷を接続するためのコネクタ53及びコネクタ54を備える。なお、カバー51及びケース52の組み合わせを筐体50という場合がある。
電力変換装置5は、カバー51及びケース52の内部に、制御基板55と、半導体装置1と、コンデンサ56と、を備える。パイプ112及びパイプ113を介して冷媒が導入導出される。
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
例えば、多穴管の本数は、3本に限らず、2本以上設けてもよい。また、傾斜部を有する多穴管は、第1多穴管及び第2多穴管に限らず、冷却器が備える多穴管のいずれかが傾斜部を有するようにしてもよい。
1 半導体装置
5 電力変換装置
20、21、22、23、24、25、26 半導体パッケージ
30、130 冷却器
30a、130a、230a、330a、430a 第1ヘッダ
230aE1、230aE3 壁部
330ah1、330ah3 開口部
30b1、130b1、230b1、330b1、430b1 第1多穴管
30b1a、30b1b、130b1a、130b1b、230b1a、330b1a 傾斜部
30b2、130b2、230b2、330b2、430b2 第2多穴管
30b3、130b3、230b3、330b3、430b3 第3多穴管
30b3a、30b3b、130b3a、130b3b、230b3a、330b3a 傾斜部
30c、130c 第2ヘッダ
SPin 空間
SPout 空間
5 電力変換装置
20、21、22、23、24、25、26 半導体パッケージ
30、130 冷却器
30a、130a、230a、330a、430a 第1ヘッダ
230aE1、230aE3 壁部
330ah1、330ah3 開口部
30b1、130b1、230b1、330b1、430b1 第1多穴管
30b1a、30b1b、130b1a、130b1b、230b1a、330b1a 傾斜部
30b2、130b2、230b2、330b2、430b2 第2多穴管
30b3、130b3、230b3、330b3、430b3 第3多穴管
30b3a、30b3b、130b3a、130b3b、230b3a、330b3a 傾斜部
30c、130c 第2ヘッダ
SPin 空間
SPout 空間
Claims (10)
- 第1方向に離隔して並んで設けられる複数の多穴管と、
前記複数の多穴管のそれぞれの一端が接合される第1ヘッダと、
前記第1方向に交差する第2方向に前記第1ヘッダから離隔して設けられ、前記複数の多穴管のそれぞれの他端が接合される第2ヘッダと、
を備え、
前記複数の多穴管のいずれか一つの第1多穴管は、
前記第1多穴管の前記一端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第1傾斜部を有し、
前記第1多穴管の前記他端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第2傾斜部を有する、
冷却器。 - 前記第1多穴管は、前記複数の多穴管において前記第1方向の最も外側に設けられる第1外側多穴管である、
請求項1に記載の冷却器。 - 前記第1傾斜部及び前記第2傾斜部は、それぞれ前記外側に傾斜する、
請求項2に記載の冷却器。 - 前記複数の多穴管は、前記第1方向の前記第1多穴管の反対側の最も外側に設けられる第2外側多穴管を含み、
前記第2外側多穴管は、
前記一端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第3傾斜部を有し、
前記他端に、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第4傾斜部を有する、
請求項2又は請求項3のいずれかに記載の冷却器。 - 前記第3傾斜部及び前記第4傾斜部は、それぞれ前記第1外側多穴管の反対側に傾斜する、
請求項4に記載の冷却器。 - 前記第1ヘッダは、前記第1多穴管の前記一端が接合する、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第1傾斜壁部を有し、
前記第2ヘッダは、前記第1多穴管の前記他端が接合する、前記第2方向に対して前記第1方向に傾斜する第2傾斜壁部を有する、
請求項1から請求項5のいずれかに記載の冷却器。 - 前記第1ヘッダは、前記第1多穴管の前記一端が接合する、前記第1傾斜部が延びる方向に傾斜して貫通する第1傾斜開口部を有し、
前記第2ヘッダは、前記第1多穴管の前記他端が接合する、前記第2傾斜部が延びる方向に傾斜して貫通する第2傾斜開口部を有する、
請求項1から請求項5のいずれかに記載の冷却器。 - 第1方向に離隔して並んで設けられる複数の多穴管と、
前記複数の多穴管のそれぞれの一端が接合される第1ヘッダと、
前記第1方向に交差する第2方向に前記第1ヘッダから離隔して設けられ、前記複数の多穴管のそれぞれの他端が接合される第2ヘッダと、
を備え、
前記第1ヘッダ及び前記第2ヘッダのそれぞれは、前記複数の多穴管が接合される接合壁部を含む複数の壁部を備え、
前記接合壁部は、前記複数の壁部のなかで最も剛性が低い、
冷却器。 - 複数の半導体パッケージと、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の冷却器と、を備え、
前記複数の半導体パッケージのそれぞれは、隣接する二つの前記多穴管の間に設けられる、
半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置を備える、
電力変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021069794A JP2022164355A (ja) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 冷却器、半導体装置及び電力変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021069794A JP2022164355A (ja) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 冷却器、半導体装置及び電力変換装置 |
Publications (1)
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JP2021069794A Pending JP2022164355A (ja) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 冷却器、半導体装置及び電力変換装置 |
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