JP2008235572A - 電子部品冷却装置 - Google Patents

電子部品冷却装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008235572A
JP2008235572A JP2007073010A JP2007073010A JP2008235572A JP 2008235572 A JP2008235572 A JP 2008235572A JP 2007073010 A JP2007073010 A JP 2007073010A JP 2007073010 A JP2007073010 A JP 2007073010A JP 2008235572 A JP2008235572 A JP 2008235572A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refrigerant
refrigerant flow
electronic component
flow paths
cooling device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007073010A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Hario
聡 針生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Industries Corp
Original Assignee
Toyota Industries Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Industries Corp filed Critical Toyota Industries Corp
Priority to JP2007073010A priority Critical patent/JP2008235572A/ja
Publication of JP2008235572A publication Critical patent/JP2008235572A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】複数の電子部品を冷却する条件が電子部品の配置位置によって偏るのを抑制することができるとともに、同じ伝熱面積でも並行流に比較して電子部品を効率よく冷却することができる電子部品冷却装置を提供する。
【解決手段】冷却装置本体11は、冷却すべき電子部品17の搭載部18と、搭載部18に連結されるとともに、入口12a,13a及び出口12b,13bが異なりかつ対向流となる複数の冷媒流路12,13を備えている。電子部品17は、搭載部18に冷媒流路12,13の流れの方向に沿って複数搭載されている。冷媒流路12,13は、仕切り壁14により互いに区画され、冷媒流路12,13内にはフィン16が冷媒の流れと平行に配置されている。冷媒流路12,13の各入口12a,13aはそれぞれラジエータ24に直接連結されて使用される。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子部品冷却装置に係り、詳しくはダイオードやパワー素子等のように発熱する電子部品を冷却するための電子部品冷却装置に関する。
発熱する電子部品を冷却するための電子部品冷却装置が提案されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。特許文献1には、図7(a),(b)に示すように、複数本のチューブ61を入口側タンク62と出口側タンク63との間に連結するとともに、その複数本のチューブ61を挟むように2枚のコールドプレート64,65がロウ付けされた構成のものが提案されている。電子部品66はコールドプレート64,65に装着される。この電子部品冷却装置は、図7(a)に示すように、冷却手段67で冷却された冷媒が入口パイプ62aから入口側タンク62に供給され、チューブ61を通って出口側タンク63に至り、出口パイプ63aから流出されて冷却手段67に戻る。
また、特許文献2には、図8(a),(b)に示すように、半導体素子である発熱体71が取り付けられたベース72に2列の通水孔73a,73bが設けられた構成の冷却装置が提案されている(特許文献2参照)。2列の通水孔73a,73bは接続管74で連結され、2列の通水孔73a,73bのうちの一方の通水孔73aに供給された液体冷媒は他方の通水孔73bを通って外部に排出されるようになっている。発熱体71はプリント基板75にリード76を介して半田付けされている。
特開平10−98144号公報 特開平11−261268号公報
特許文献1の構成では、各チューブ61に流れる冷媒量を増やすことにより冷却能力を高めることができる。しかし、冷媒は各チューブ61内を入口側タンク62側から出口側タンク63側へと流れる構成のため、チューブ61内を流れる冷媒は発熱部品を冷却しながら流れるため、冷媒の温度は下流側ほど高くなり、電子部品の配置位置によって冷却条件が偏る状態になる。そのため、最も下流側に配置された発熱部品の冷却を十分に行うには、冷媒流量を多くするか、冷媒温度を低くする必要がある。冷媒温度を低くすると、上流側に配置された発熱部品と冷媒の温度差が大きくなり、耐久性にとって好ましくない。
一方、特許文献2の構成では、2列の通水孔73a,73bは接続管74により連結され、2列の通水孔73a,73bを流れる冷媒は見かけ上、対向流になっている。しかし、冷媒は、一方の通水孔73aを通過する際に発熱体71を冷却することにより温度上昇した後、接続管74を経て他方の通水孔73bに導入されて当該通水孔73bが設けられたベース72に取り付けられた発熱体71の冷却を行う。したがって、他方の通水孔73bでは、一方の通水孔73aを流れる間に発熱体71を冷却することで温度上昇した後の液体冷媒を使用して発熱体71を冷却することになり、両通水孔73a,73bの冷却効果が大きく異なり、全体として冷却効率が悪くなる。
本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数の電子部品を冷却する条件が電子部品の配置位置によって偏るのを抑制することができるとともに、同じ伝熱面積でも並行流に比較して電子部品を効率よく冷却することができる電子部品冷却装置を提供することにある。
前記の目的を達成するため請求項1に記載の発明は、冷却すべき電子部品の搭載部と、前記搭載部に連結されるとともに、入口及び出口が異なりかつ対向流となる複数の冷媒流路を備え、前記電子部品が前記冷媒流路の流れの方向に沿って複数搭載されている。ここで、「対向流となる複数の冷媒流路」とは、隣り合う冷媒流路を流れる冷媒の向きが逆方向であるだけでなく、各冷媒流路を流れる冷媒は、それぞれ他の冷媒流路から排出されたものが供給されるのではなく、冷媒温度がほぼ同じ状態のものが供給される冷媒流路を意味する。また、「入口及び出口が異なる」とは、複数の冷媒流路のそれぞれの入口及び出口が独立して存在することを意味し、例えば特許文献2のように冷媒流路がU字管で連結され冷媒流路の入口及び出口が共通のものとなっているものは含まない。
この発明では、搭載部が複数の冷媒流路を流れる冷媒により冷却され、搭載部に搭載された電子部品も冷却される。各冷媒流路を流れる冷媒の温度は、入口で最も低く出口側ほど高くなる。そのため、冷媒の冷却効果は下流側程低くなる。しかし、複数の冷媒流路は入口及び出口が異なりかつ冷媒が対向流となるため、隣接する冷媒流路を流れる冷媒の温度差により、温度の高い側の冷媒流路と対応する搭載部の部分に温度の低い側の冷媒流路を流れる冷媒の作用が及ぶ。したがって、複数の電子部品を冷却する条件が電子部品の配置位置によって偏るのを抑制することができるとともに、同じ伝熱面積でも並行流に比較して電子部品を効率よく冷却することができる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記冷媒流路は、仕切り壁により互いに区画されている。複数の冷媒流路は必ずしも完全に互いに区画されていなくても、部分的に区画することで各冷媒流路を冷媒が対向流で流れるようにすることも可能である。しかし、この発明では、冷媒流路は仕切り壁により互いに区画されているため、隣接する冷媒流路を流れる冷媒同士が干渉する虞が無く、冷媒が円滑に流れる。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の発明において、前記複数の冷媒流路の各入口はそれぞれラジエータに直接連結されて使用される。この発明では、ラジエータで冷却された冷媒が各冷媒流路に直接供給されるため、各冷媒流路の冷却機能を同等にすることが容易になる。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の発明において、前記冷媒流路内にはフィンが冷媒の流れと平行に配置されている。この発明では、フィンを設けない場合に比較して冷媒流路を流れる冷媒による冷却効率が向上するとともに、フィンが冷媒の流れと交差する状態に配置された場合に比較して圧力損失が低減する。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の発明において、前記搭載部には電子部品が2列に搭載されている。この発明では、2列に搭載された電子部品が同等に冷却される。例えば、冷却すべき電子部品として3相インバータのスイッチング素子を搭載した場合、各スイッチング素子が同等に冷却されるため好ましい。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の発明において、前記複数の冷媒流路にはそれぞれの冷媒流路毎に開口端の形成された入口及び出口が設けられている。この発明においては、対応する前記請求項に記載の発明の作用、効果を奏する。
本発明によれば、複数の電子部品を冷却する条件が電子部品の配置位置によって偏るのを抑制することができるとともに、同じ伝熱面積でも並行流に比較して電子部品を効率よく冷却することができる。
以下、本発明を車両に搭載されて使用される半導体装置を冷却する冷却装置に具体化した一実施形態を図1(a),(b)にしたがって説明する。
図1(a),(b)に示すように、電子部品冷却装置10は、冷却装置本体11を備えている。冷却装置本体11は四角箱状に形成され、複数(この実施形態では2本)の冷媒流路12,13を備えている。冷媒流路12,13は、仕切り壁14により互いに区画されている。各冷媒流路12,13は、入口12a,13a及び出口12b,13bが異なりかつ対向流となるように並列状態に設けられている。入口12a,13a及び出口12b,13bにはパイプ15a,15bが鋳込まれている。即ち、複数の冷媒流路12,13にはそれぞれの冷媒流路毎に開口端の形成された入口12a,13a及び出口12b,13bが設けられている。パイプ15a,15bは、例えば、車両に装備された冷却媒体循環路に連結可能に形成されている。
各冷媒流路12,13は、断面矩形状に形成されるとともに、同じ形状で同じ長さに形成されている。冷媒流路12,13内には複数のフィン16が冷媒の流れと平行に配置されている。フィン16は、冷媒流路12,13の入口12a,13a側端部と、出口12b,13b側端部から所定間隔を空けた位置から形成されている。所定間隔とは、入口12a,13aから冷媒流路12,13内に流入した冷媒が各フィン16の間に均等に流入するのに適した間隔である。フィン16は冷却装置本体11の厚さ方向と並行に設けられている。冷却装置本体11は、アルミニウム系金属で形成されている。アルミニウム系金属とはアルミニウム又はアルミニウム合金を意味する。
冷却装置本体11の厚さ方向の一方の表面、図1(b)における上側の面は、冷却すべき電子部品17の搭載部18を構成する。搭載部18上には表面に金属回路19を有するセラミック絶縁体としてのセラミック基板20が金属板21を介して一体化されている。セラミック基板20は、搭載部18上の冷媒流路12,13と対応する位置に2列に配置されている。電子部品17は、金属回路19に接合(半田付け)されている。即ち、電子部品17は冷却装置本体11の搭載部18に2列に搭載されている。電子部品17としては、例えば、3相インバータのスイッチング素子を構成するIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor )が用いられている。
金属回路19は、例えば、アルミニウムや銅等で形成されている。セラミック基板20は、例えば、窒化アルミニウム、アルミナ、窒化ケイ素等により形成されている。金属板21は、セラミック基板20と冷却装置本体11とを接合する接合層として機能し、例えば、アルミニウムや銅などで形成されている。
次に前記のように構成された電子部品冷却装置10の作用を説明する。電子部品冷却装置10は、ハイブリッド車に搭載されるとともに、図1(a)に示すように、冷却媒体循環路22に対してパイプ15a,15bにおいて連結されて使用される。冷却媒体循環路22にはポンプ23及びラジエータ24が設けられ、ラジエータ24は、モータ25により回転されるファン26を備え、ラジエータ24からの放熱が効率よく行われるようになっている。ラジエータ24の出口側に連結された配管22aは途中で分岐されるとともに、冷媒流路12,13の各入口12a,13aに連結されている。即ち、冷却装置本体11の複数の冷媒流路12,13の各入口12a,13aはそれぞれラジエータ24に直接連結されて使用される。また、冷媒流路12,13の各出口12b,13bに連結された配管22bは途中で集合されてポンプ23の吸入口に連結されている。冷却媒体(冷媒)として、例えば、水や不凍液の混合された水が使用される。
電子部品冷却装置10に搭載された電子部品17が駆動されると、電子部品17から熱が発生する。電子部品17から発生した熱は、金属回路19、セラミック基板20、金属板21及び搭載部18を介して冷却装置本体11に伝導される。冷却装置本体11に伝導された熱は、冷媒流路12,13を流れる冷媒に伝導されるとともに持ち去られる。即ち、冷却装置本体11は、冷媒流路12,13を流れる冷媒によって強制冷却されるため、電子部品17から冷却装置本体11に至る熱の伝導経路における温度勾配が大きくなり、電子部品17で発生した熱がセラミック基板20等を介して効率良く除去される。冷却装置本体11の冷媒流路12,13を通過する間に電子部品17を冷却することで加熱された冷媒は、ポンプ23によりラジエータ24へ送られ、ファン26の風で冷却された後、再び入口12a,13aから冷媒流路12,13に供給されて電子部品17の冷却に使用される。
冷媒流路12,13は、入口12a,13a及び出口12b,13bが異なり、ラジエータ24から供給される冷媒が対向流となるように配置されている。即ち、各冷媒流路12,13にはラジエータ24で冷却された冷媒が直接供給されるため、冷媒流路12,13の入口12a,13aにおける冷媒温度は、配管22aを流れる間の温度変化が同等であれば同等になる。そのため、特許文献2のように、冷却装置における冷媒流路(通水孔73a,73b)をUターンさせた見かけ上、対向流となる構成と異なり、両冷媒流路12,13を流れる冷媒の温度は、それぞれ入口12a,13aからの距離が同じ箇所で比較すると同等になる。
また、冷媒が対向流となって流れるため、即ち隣り合う冷媒流路12,13を流れる冷媒の向きが逆方向であるため、流れが並行流の場合と異なり、両冷媒流路12,13内を流れる冷媒の温度は、冷媒流路12,13の流れ方向の中央付近を除いて同じではない。そのため、冷媒流路12,13を流れる温度が高い方の冷媒の熱が温度の低い方の冷媒へ伝達される。冷媒流路12,13を流れる冷媒の温度は、入口12a,13aで最も低く、出口12b,13bで最も高くなり、冷媒流路12,13の長手方向中央部では同等となる。そのため、一方の冷媒流路12についてみると、中央部より入口12a側では冷媒流路13側から熱が伝達され、中央部より出口12b側では冷媒流路13側へ熱が伝達される。即ち、隣接する冷媒流路12,13を流れる冷媒の温度差により、温度の高い側の冷媒流路と対応する搭載部18の部分に温度の低い側の冷媒流路を流れる冷媒の作用が及ぶ。その結果、対向流でない場合と比較して、両冷媒流路12,13における上流から下流までの温度差が小さくなる。したがって、複数の電子部品17を冷却する条件が、電子部品17の配置位置によって偏るのが抑制される。
したがって、この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
(1)電子部品冷却装置10は、冷却すべき電子部品17の搭載部18と、搭載部18に連結されるとともに、入口12a,13a及び出口12b,13bが異なりかつ対向流となる複数の冷媒流路12,13を備え、電子部品17が冷媒流路12,13の流れの方向に沿って複数搭載されている。したがって、複数の電子部品17を冷却する条件が電子部品17の配置位置によって偏るのを抑制することができるとともに、同じ伝熱面積でも並行流に比較して電子部品17を効率よく冷却することができる。
(2)冷媒流路12,13は、仕切り壁14により互いに区画されている。複数の冷媒流路12,13は必ずしも完全に互いに区画されていなくても、部分的に区画することで各冷媒流路12,13を冷媒が対向流で流れるようにすることも可能である。しかし、冷媒流路12,13は仕切り壁14により互いに区画されているため、隣接する冷媒流路12,13を流れる冷媒同士が干渉する虞が無く、冷媒が円滑に流れる。
(3)複数の冷媒流路12,13の各入口12a,13aはそれぞれラジエータ24に直接連結されて使用される。したがって、ラジエータ24で冷却された冷媒が各冷媒流路12,13に直接供給されるため、各冷媒流路12,13の冷却機能を同等にすることが容易になる。
(4)冷媒流路12,13内にはフィン16が冷媒の流れと平行に配置されている。したがって、フィン16を設けない場合に比較して冷媒流路12,13を流れる冷媒による冷却効率が向上するとともに、フィン16が冷媒の流れと交差する状態に配置された場合に比較して圧力損失が低減する。
(5)搭載部18には電子部品17が2列に搭載されている。したがって、2列に搭載された電子部品17が同等に冷却されるため、例えば、冷却すべき電子部品17として3相インバータのスイッチング素子を搭載した場合、各スイッチング素子が同等に冷却されるため好ましい。
(6)両冷媒流路12,13は、ポンプ23及びラジエータ24を1個ずつ備えた冷却媒体循環路22に連結されて使用されるため、各冷媒流路12,13にそれぞれ独立の冷却媒体循環路22を連結する場合に比較して構成が簡単になる。
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○ 電子部品冷却装置10は、2列の冷媒流路12,13を備える構成に限らず複数列であればよい。4列以上の偶数列の場合は、冷却装置本体11の幅を拡げて冷媒流路12,13及びパイプ15a,15bの数を増やすことで対応できる。また、3列の場合は、図2に示すように、冷媒流路12,13を交互に並行に配置する。中央に配置される冷媒流路13は他の冷媒流路12より流量が多くなるように流路の断面積を大きくすることにより、中央の冷媒流路13と両側の冷媒流路12との間の熱伝導のバランスを取るのが容易になる。搭載部18は各冷媒流路12,13に対応して3列に配置する構成に限らず、両冷媒流路12,13に跨るように2列に配置してもよい。もちろん、各冷媒流路12,13に対応してそれぞれ1列、合計3列に電子部品17を配置してもよい。なお、図2においては金属回路19及びセラミック基板20の図示を省略している。
○ 各冷媒流路12,13に共通のラジエータ24から冷媒を供給する構成では、ラジエータ24の出口から冷媒流路12,13の入口12a,13aまでの流路抵抗が同等であるのが好ましい。例えば、図3に示すように、ラジエータ24から各入口12a,13aまでの配管22aの長さが同じに、かつ各出口12b,13bからポンプ23の吸入口までの配管22bの長さが同じになるように構成し、配管22a,22bの断面積を同じにする。なお、図3においても金属回路19及びセラミック基板20の図示を省略している。
○ 各冷媒流路12,13に共通のラジエータ24から冷媒を供給する構成において、各冷媒流路12,13に連結される配管22a,22bの断面積及び長さを同じにするのではなく、長さは同じにせずに配管22a,22bの断面積を変更して流路抵抗を同等にしてもよい。
○ 各冷媒流路12,13の入口12a,13a及び出口12b,13bは、それぞれ別のラジエータ24やポンプ23に連結された状態で使用されてもよい。
○ 冷媒流路12,13内にフィン16を冷媒の流れと平行に設ける場合、フィン16は搭載部18と直交する状態に限らず、搭載部18と平行に、即ち仕切り壁14と直交する状態に設けられてもよい。
○ 冷媒流路12,13内に設けられるフィン16を省略してもよい。
○ 電子部品17は、冷媒流路12,13の冷媒の流れの方向に沿って複数搭載されていればよく、複数列に配置される必要はなく、例えば、図4に示すように、1列の電子部品17が2列の冷媒流路12,13に跨るように配置されてもよい。なお、図4においても金属回路19及びセラミック基板20の図示を省略している。
○ 冷却装置本体11は、箱状のハウジングに仕切り壁14を設けて冷媒流路12,13を区画形成する構成に限らず、例えば、図5に示すように、搭載部18を構成する支持プレート27と、支持プレート27に連結された冷媒流路12,13を構成するパイプ28,29とで構成してもよい。この場合、パイプ28,29は支持プレート27との接触面積を多くするため、角パイプが好ましい。但し、パイプ28,29の両端には、冷却媒体循環路22に連結可能な連結部としてのパイプが固着されている。
○ 冷却装置本体11は、搭載部18が冷媒流路12,13の一方の側だけに存在する構成に限らず、例えば、図6に示すように、冷媒流路12,13を挟んで両側に搭載部18が存在する構成であってもよい。冷媒流路12,13がパイプ28,29で構成される場合でもパイプ28,29を挟んで両側に支持プレート27を固定した構成にし、電子部品17の搭載部18をパイプ28,29を挟んで両側に設けてもよい。
○ 電子部品17は発熱する電子部品であればよく、IGBTに限らず、MOSトランジスタ等の他のパワー素子やダイオードが搭載されてもよい。また、異なる電子部品17が複数搭載されてもよい。
○ 冷媒流路12,13を仕切り壁14で区画する場合、各冷媒流路12,13の全長にわたって完全に仕切り壁14で区画される構成に限らず、冷媒流路12,13を流れる冷媒の流れが混合されない状態であれば、仕切り壁14の一部に両冷媒流路12,13を連通させる孔が存在してもよい。
○ 冷却媒体循環路22に流す冷却媒体は水に限らず、他の液体やあるいは気体であってもよい。
○ 電子部品冷却装置10の用途は、ハイブリッド自動車等に搭載されるものに限らず、家電製品や産業機械に適用してもよい。
以下の技術的思想(発明)は前記実施形態から把握できる。
(1)冷却すべき電子部品が接合された基板を搭載する搭載部に連結されるとともに、入口及び出口が異なりかつ対向流となる複数の冷媒流路を備えた冷却器の各入口に、ラジエータの出口から吐出された冷媒を供給し、前記冷媒流路の出口から排出された冷媒を、ポンプを介して前記ラジエータの入口に供給することにより冷媒を循環させ、前記搭載部上に前記電子部品を前記冷媒流路の流れの方向に沿って複数搭載して前記電子部品を冷却する電子部品の冷却方法。
(a)は一実施形態の模式平面図、(b)は(a)のA−A線拡大断面図。 別の実施形態の平面図。 別の実施形態の平面図。 別の実施形態の平面図。 別の実施形態の模式断面図。 別の実施形態の模式断面図。 (a)は従来技術の平面図、(b)は断面図。 (a)は別の従来技術の平面図、(b)は側面図。
符号の説明
12,13…冷媒流路、12a,13a…入口、12b,13b…出口、14…仕切り壁、16…フィン、17…電子部品、18…搭載部、24…ラジエータ。

Claims (6)

  1. 冷却すべき電子部品の搭載部と、前記搭載部に連結されるとともに、入口及び出口が異なりかつ対向流となる複数の冷媒流路を備え、前記電子部品が前記冷媒流路の流れの方向に沿って複数搭載されていることを特徴とする電子部品冷却装置。
  2. 前記冷媒流路は、仕切り壁により互いに区画されている請求項1に記載の電子部品冷却装置。
  3. 前記複数の冷媒流路の各入口はそれぞれラジエータに直接連結されて使用される請求項1又は請求項2に記載の電子部品冷却装置。
  4. 前記冷媒流路内にはフィンが冷媒の流れと平行に配置されている請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の電子部品冷却装置。
  5. 前記搭載部には電子部品が2列に搭載されている請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電子部品冷却装置。
  6. 前記複数の冷媒流路にはそれぞれの冷媒流路毎に開口端の形成された入口及び出口が設けられている請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の電子部品冷却装置。
JP2007073010A 2007-03-20 2007-03-20 電子部品冷却装置 Pending JP2008235572A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007073010A JP2008235572A (ja) 2007-03-20 2007-03-20 電子部品冷却装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007073010A JP2008235572A (ja) 2007-03-20 2007-03-20 電子部品冷却装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008235572A true JP2008235572A (ja) 2008-10-02

Family

ID=39908020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007073010A Pending JP2008235572A (ja) 2007-03-20 2007-03-20 電子部品冷却装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008235572A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011210813A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Toyota Industries Corp 電子部品装置の製造方法
JP2011226711A (ja) * 2010-04-20 2011-11-10 Pan Pacific Copper Co Ltd 自溶炉の冷却構造体、及び自溶炉の冷却方法
CN110520980A (zh) * 2017-03-22 2019-11-29 福利家麦克罗斯株式会社 冷却构造体、冷却***、发热装置以及构造物
JPWO2020031753A1 (ja) * 2018-08-09 2020-12-17 富士電機株式会社 冷却器、半導体モジュール

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011210813A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Toyota Industries Corp 電子部品装置の製造方法
JP2011226711A (ja) * 2010-04-20 2011-11-10 Pan Pacific Copper Co Ltd 自溶炉の冷却構造体、及び自溶炉の冷却方法
CN110520980A (zh) * 2017-03-22 2019-11-29 福利家麦克罗斯株式会社 冷却构造体、冷却***、发热装置以及构造物
US11994351B2 (en) 2017-03-22 2024-05-28 Beji Sasaki Cooling structural body, cooling system, heat generator and construction
JPWO2020031753A1 (ja) * 2018-08-09 2020-12-17 富士電機株式会社 冷却器、半導体モジュール
US11075144B2 (en) 2018-08-09 2021-07-27 Fuji Electric Co., Ltd. Cooler and semiconductor module

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8472193B2 (en) Semiconductor device
US10260781B2 (en) Liquid cooling device having diversion mechanism
CA2820330C (en) Two-phase cooling system for electronic components
JP4675283B2 (ja) ヒートシンクおよび冷却器
US20100032150A1 (en) Microscale cooling apparatus and method
JP2008535261A (ja) 選択的に溝切りされた電子機器冷却のための冷却プレート
WO2006075614A1 (ja) ヒートシンクおよびそれを用いた冷却ユニット
TW200529733A (en) Liquid cooling system and electronic apparatus having the same therein
BR102012015581A2 (pt) Dispositivo de resfriamento, módulo de energia e método
US20200029466A1 (en) Liquid-heat-transmission device
JP5114323B2 (ja) 半導体装置
CN107084550A (zh) 半导体制冷组件及冰淇淋机
JP5145981B2 (ja) 部品冷却構造
JP5287922B2 (ja) 冷却装置
JP2008235572A (ja) 電子部品冷却装置
JP4697171B2 (ja) 冷却装置、およびそれを備えた電子機器
JP5114324B2 (ja) 半導体装置
JP4517962B2 (ja) 電子機器用冷却装置
KR102069804B1 (ko) 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치
JP2015140949A (ja) 冷却装置とこれを備えたデータセンター
CN205606949U (zh) 半导体制冷组件及冰淇淋机
JP7431719B2 (ja) パワーデバイス用冷却器
WO2014032365A1 (zh) Igbt水冷式散热器
KR200235565Y1 (ko) 고효율의 열전도성을 갖는 액체냉각방식의선형전력증폭기 유니트용 알루미늄 방열판 구조
KR20210108922A (ko) 열교환장치