JP2022131177A - ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2…スリットノズル(塗布部)
2a…(ノズルの)下端部
3…基板
5…塗布処理部(塗布部)
7…洗浄ユニット(ノズル洗浄装置)
21…吐出口
71…付着物除去部
72…ノズル洗浄移動部
73,75…回収部
74…排出部
731,751…底部
731a,751a…(底部の)内底面
732~735,752…側壁
736…回収領域
736a…集積部位
738…開閉部材
753…樋部材
MR…移動範囲
X…延設方向
Y…水平方向
Z…鉛直方向
Claims (9)
- ノズルの下端部に設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出して前記塗布液を基板に塗布する塗布装置に装備され、前記ノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、
ノズル当接部材を前記ノズルの下端部に向けた状態で支持部材により支持した付着物除去部と、
前記ノズル当接部材を前記ノズルの下端部に当接させた状態で前記吐出口の延設方向に前記付着物除去部を移動させる移動部と、
前記移動部による前記ノズル当接部材の移動によって除去された後で前記付着物除去部を経由して下方に流動する前記塗布液を前記付着物除去部の下方で回収する回収部と、
前記回収部で回収された前記塗布液を前記塗布装置の外部に案内して排出する排出部と、を備え、
前記回収部は、前記付着物除去部の下方で前記排出部に向けて傾斜する内底面を有する底部と、前記底部の辺部から立設された側壁と、を有する構造体であり、前記底部および前記側壁で形成される回収領域に沿って前記塗布液を前記排出部に向けて流動させることを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項1に記載のノズル洗浄装置であって、
前記回収部は、
前記回収領域のうち鉛直方向において最も低く前記塗布液が集まってくる集積部位で前記排出部を臨むように前記構造体に開口された排液口に対して開閉自在な開閉部材をさらに有し、
前記開閉部材により前記排液口を閉成することで前記回収領域で前記塗布液を貯留する一方、前記開閉部材による前記排液口の閉成を解除して前記排液口を開成することで前記塗布液を前記排出部に流出させるノズル洗浄装置。 - 請求項2に記載のノズル洗浄装置であって、
前記回収部は、前記内底面が鉛直上方からの平面視で前記付着物除去部を下方から覆うように配置された状態で、前記付着物除去部と一体的に前記移動部により前記延設方向に移動されるノズル洗浄装置。 - 請求項3に記載のノズル洗浄装置であって、
前記排出部は前記回収部の移動範囲の下方に配置され、
前記開閉部材は、前記移動範囲のうち前記回収部が前記排出部の直上位置から外れた位置に位置する間においては前記排液口を閉成し、前記回収部が前記排出部の直上位置に位置するときに前記排液口を開成するノズル洗浄装置。 - 請求項1に記載のノズル洗浄装置であって、
前記排出部は、前記移動部による前記ノズル当接部材の移動範囲の一方側に配置され、
前記回収部は、前記底部が前記移動範囲に沿って延設されるとともに前記側壁が前記延設方向と直交する水平方向における前記底部の一対の辺部から立設され、断面が凹形状を有する樋部材であり、
前記樋部材は、前記移動範囲の一方側での前記内底面の高さ位置が前記移動範囲の他方側での高さ位置よりも低くなるように、傾斜して配置されるノズル洗浄装置。 - 請求項5に記載のノズル洗浄装置であって、
前記樋部材は交換可能に設けられるノズル洗浄装置。 - 請求項5または6に記載のノズル洗浄装置であって、
前記付着物除去部は、前記支持部材の下方で前記支持部材に沿って下方に流れてくる前記塗布液を受け止めて前記樋部材に流下させるシューターを有するノズル洗浄装置。 - ノズルの下端部に設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出して前記塗布液を塗布する塗布装置において、前記ノズルを洗浄するノズル洗浄方法であって、
ノズル当接部材を前記ノズルの下端部に向けた状態で支持部材により支持した付着物除去部を、前記ノズル当接部材を前記ノズルの下端部に当接させた状態で前記吐出口の延設方向に移動させて前記ノズルの下端部に付着する前記塗布液を前記ノズル当接部材により除去する第1工程と、
前記ノズル当接部材により除去された後で前記付着物除去部を経由して下方に流動する、前記塗布液を前記付着物除去部の下方で回収する第2工程と、
回収された前記塗布液を排出部を介して前記塗布装置の外部に排出する第3工程と、を備え、
前記第2工程は、前記付着物除去部の下方で前記排出部に向けて傾斜する内底面を有する底部と、前記底部の辺部から立設された側壁と、を有する構造体で構成される回収部により前記塗布液を回収し、前記底部および前記側壁で形成される回収領域に沿って前記排出部に向けて流動させる工程であることを特徴とするノズル洗浄方法。 - ノズルの下端部に設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出して前記塗布液を基板に塗布する塗布部と、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載のノズル洗浄装置と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
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