JP2022115176A5 - - Google Patents

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本発明の実施形態による流量制御装置が組み込まれたガス供給システムを示す図である。 本発明の実施形態による流量制御装置の動作を説明するための図であり、上流開閉バルブＶ０の開閉信号、供給圧力Ｐ０、第１バルブＶ１の開度変化、保持圧力Ｐ１、第２バルブＶ２の開度変化をそれぞれ示す。 オーバーシュートの発生を防止することができる第２バルブの初期駆動値を求めるためのフローチャートを示す。 調整モードでの１回目の試行における上流開閉バルブＶ０、第１バルブＶ１、第２バルブＶ２の駆動電圧および供給圧力Ｐ０、保持圧力Ｐ１、下流側流量圧力ＰＴ（流量に対応）を示す。 ２回目の試行における上流開閉バルブＶ０、第１バルブＶ１、第２バルブＶ２の駆動電圧および供給圧力Ｐ０、保持圧力Ｐ１、下流側流量圧力ＰＴを示す。 ３回目の試行における上流開閉バルブＶ０、第１バルブＶ１、第２バルブＶ２の駆動電圧および供給圧力Ｐ０、保持圧力Ｐ１、下流側流量圧力ＰＴを示す。
また、上流開閉バルブＶ０の閉期間には供給圧力Ｐ０が低下するので、保持圧力Ｐ１を一定に保つために、その下流側の第１バルブＶ１は、供給圧力Ｐ０の低下にともなって少しずつ開かれる。このように、供給圧力Ｐ０が低下したとしても、第１バルブＶ１をフィードバック制御し、保持圧力Ｐ１を一定に保つことができるので、第１バルブＶ１と第２バルブとの間の容積のガスの物質量（モル数）をほぼ一定量に維持することができる。
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