JP2022115176A5 - - Google Patents
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Description
また、上流開閉バルブV0の閉期間には供給圧力P0が低下するので、保持圧力P1を一定に保つために、その下流側の第1バルブV1は、供給圧力P0の低下にともなって少しずつ開かれる。このように、供給圧力P0が低下したとしても、第1バルブV1をフィードバック制御し、保持圧力P1を一定に保つことができるので、第1バルブV1と第2バルブとの間の容積のガスの物質量(モル数)をほぼ一定量に維持することができる。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2021011670A JP2022115176A (ja) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | 流量制御装置および流量制御方法 |
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JP2022115176A JP2022115176A (ja) | 2022-08-09 |
JP2022115176A5 true JP2022115176A5 (ja) | 2024-01-04 |
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JP2021011670A Pending JP2022115176A (ja) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | 流量制御装置および流量制御方法 |
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