JP2022078586A - 減圧乾燥装置 - Google Patents
減圧乾燥装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022078586A JP2022078586A JP2020189360A JP2020189360A JP2022078586A JP 2022078586 A JP2022078586 A JP 2022078586A JP 2020189360 A JP2020189360 A JP 2020189360A JP 2020189360 A JP2020189360 A JP 2020189360A JP 2022078586 A JP2022078586 A JP 2022078586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chamber
- vacuum drying
- heating
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 145
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 118
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 271
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 117
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 38
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 38
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 230000004044 response Effects 0.000 description 17
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 6
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 101000574352 Mus musculus Protein phosphatase 1 regulatory subunit 17 Proteins 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 235000014593 oils and fats Nutrition 0.000 description 1
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
<1-1.基板処理装置の構成>
図1は、第1実施形態に係る減圧乾燥装置1を含む基板処理装置9の概略的な構成の一例を示す図である。基板処理装置9は、例えば、基板Gに対して、処理液の塗布、露光および露光後の現像を行う装置である。基板Gには、例えば、平板状のガラス基板等が適用される。基板Gは、例えば、第1主面としての第1面G1と、この第1面G1とは逆の第2主面としての第2面G2と、を有する平板状の基板である。処理液には、例えば、ポリイミド前駆体と溶媒とを含む液(PI液ともいう)またはレジスト液等の塗布液が適用される。ポリイミド前駆体には、例えば、ポリアミド酸(ポリアミック酸)等が適用される。溶媒には、例えば、NMP(N-メチル-2-ピロリドン:N-Methyl-2-Pyrrolidone)が適用される。
図2は、第1実施形態に係る減圧乾燥装置1の概略的な構成の一例を示す図である。図3は、第1実施形態に係る減圧乾燥装置1の電気的な構成の一例を示す図である。減圧乾燥装置1は、例えば、第1面G1にPI液等の処理液が付着した基板Gを乾燥させる装置である。より具体的には、例えば、減圧乾燥装置1は、基板Gの表面に塗布された処理液の溶媒を減圧および加熱によって気化(蒸発)させることで、基板Gを乾燥させる装置である。減圧乾燥装置1は、例えば、図2で示されるように、チャンバー2、支持部3、排気部4および加熱部5を備えている。また、減圧乾燥装置1は、例えば、図2および図3に示すように、制御部8を備えている。制御部8は、例えば、減圧乾燥装置1の各部の動作を統括的に制御する。この制御部8は、例えば、中央処理装置(CPU:Central Processing Unit)と、RAM(Random access memory)等の揮発性のメモリと、ハードディスクドライブ等の不揮発性の記憶部と、を有するコンピュータによって構成される。また、減圧乾燥装置1は、例えば、整流板6および給気部7を備えている。
図4は、第1実施形態に係る減圧乾燥装置1の動作フローの一例を示す流れ図である。図5(a)から図8は、減圧乾燥装置1の動作を説明するための図である。図4の動作フローは、例えば、制御部8の制御によって実行される。この動作フローが開始される前には、例えば、第1開閉弁43および第2開閉弁73が閉じられており、図5(a)で示されるように、チャンバー2の処理空間2sが開放されているものとする。ここでは、図4のステップS1からステップS6の処理が、この記載の順に行われる。
以上のように、第1実施形態に係る減圧乾燥装置1では、例えば、チャンバー2内において支持部3に支持された基板Gが、加熱部5によってチャンバー2の外から加熱される。このため、例えば、基板Gを加熱するための加熱部5がチャンバー2内に存在していない。これにより、例えば、チャンバー2内における発塵が低減され得る。その結果、例えば、減圧乾燥装置1において基板Gが汚れにくくなる。したがって、例えば、基板Gの品質が向上し得る。
本発明は上述の第1実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更および改良等が可能である。
上記第1実施形態において、例えば、整流板6が存在していなくてもよい。
上記各実施形態において、例えば、支持部3に支持された基板Gをチャンバー2の側方から加熱する第3加熱部分53が存在していなくてもよい。
上記各実施形態において、例えば、チャンバー2は、ベース部21とこのベース部21に対して上下方向に接離可能な蓋部22とを有する代わりに、側方にシャッターのような開閉部が設けられた形態を有していてもよい。
上記各実施形態において、例えば、排気口1oは、チャンバー2,2Cの底板部211,241の4隅の部分等といった略中央以外の部分に位置していてもよい。また、例えば、排気口1oは、チャンバー2,2Cの側方の部分に位置していてもよい。
1o 排気口
2,2C チャンバー
21 ベース部(第1チャンバ部分)
22 蓋部(第2チャンバ部分)
23,23C シール材
24 チャンバー本体部
25 開閉部
2io 開口部
2m,2mC 開閉駆動部
2o 給気口
2s 処理空間
3 支持部
3p 支持ピン
3pt 接触部分
4 排気部
5,5B,5C 加熱部
51 第1加熱部分
52 第2加熱部分
53 第3加熱部分
54 第4加熱部分
6 整流板
7 給気部
8 制御部
92 デハイドベーク部
98 ポストベーク部
F 塗布膜
G 基板
G1 第1面
G2 第2面
Claims (8)
- 第1面に処理液が付着した基板を減圧によって乾燥する減圧乾燥装置であって、
前記基板を収容する処理空間を有するチャンバーと、
前記処理空間において前記第1面を上方に向けた状態で前記基板の前記第1面とは逆の第2面を支持する支持部と、
前記処理空間から気体を排出することで前記処理空間内を減圧する排気部と、
前記支持部に支持された前記基板を前記チャンバー外から加熱する加熱部と、
を備えている、減圧乾燥装置。 - 請求項1に記載の減圧乾燥装置であって、
前記加熱部は、前記支持部に支持された前記基板を前記チャンバーの上方から加熱する第1加熱部分と、前記支持部に支持された前記基板を前記チャンバーの下方から加熱する第2加熱部分と、を含む、減圧乾燥装置。 - 請求項2に記載の減圧乾燥装置であって、
前記加熱部は、前記支持部に支持された前記基板を前記チャンバーの側方から加熱する第3加熱部分、を含む、減圧乾燥装置。 - 請求項1から請求項3の何れか1つの請求項に記載の減圧乾燥装置であって、
前記加熱部および前記排気部を制御することで、前記加熱部による前記基板の加熱と、前記排気部による前記チャンバー内の減圧と、を並行して実行させる制御部、
を備えている、減圧乾燥装置。 - 請求項1から請求項4の何れか1つの請求項に記載の減圧乾燥装置であって、
前記チャンバーは、互いに接離可能な、第1チャンバー部分と、該第1チャンバー部分の上方に位置する第2チャンバー部分と、を含み、
前記支持部は、前記第1チャンバー部分に取り付けられており、
前記第1チャンバー部分と前記第2チャンバー部分とを互いに接触させることで前記処理空間を閉じる一方、前記第1チャンバー部分と前記第2チャンバー部分とを互いに離間させることで前記処理空間を開く駆動部、
をさらに備えている、減圧乾燥装置。 - 請求項5に記載の減圧乾燥装置であって、
前記支持部は、前記第2面に接触する接触部分、を含み、
前記接触部分は、上下方向において前記第1チャンバー部分の上端よりも高い位置に配されている、減圧乾燥装置。 - 請求項1から請求項6の何れか1つの請求項に記載の減圧乾燥装置であって、
前記処理空間内の前記支持部の下方において水平方向に沿って位置している整流板、を備えている、減圧乾燥装置。 - 請求項7に記載の減圧乾燥装置であって、
前記チャンバーは、前記整流板の下方に位置し、前記排気部に接続している排気口を有する、減圧乾燥装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020189360A JP7520696B2 (ja) | 2020-11-13 | 2020-11-13 | 減圧乾燥装置 |
CN202122722610.0U CN216441021U (zh) | 2020-11-13 | 2021-11-08 | 减压干燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020189360A JP7520696B2 (ja) | 2020-11-13 | 2020-11-13 | 減圧乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022078586A true JP2022078586A (ja) | 2022-05-25 |
JP7520696B2 JP7520696B2 (ja) | 2024-07-23 |
Family
ID=81351897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020189360A Active JP7520696B2 (ja) | 2020-11-13 | 2020-11-13 | 減圧乾燥装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7520696B2 (ja) |
CN (1) | CN216441021U (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3982573B2 (ja) | 2002-05-30 | 2007-09-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の洗浄・乾燥処理装置 |
JP2006339485A (ja) | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置 |
JP2013207022A (ja) | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR20180082498A (ko) | 2015-11-16 | 2018-07-18 | 카티바, 인크. | 기판을 열처리하기 위한 시스템 및 방법 |
JP6872328B2 (ja) | 2016-09-06 | 2021-05-19 | 株式会社Screenホールディングス | 減圧乾燥装置、減圧乾燥システム、減圧乾燥方法 |
JP6863747B2 (ja) | 2017-01-05 | 2021-04-21 | 東レエンジニアリング株式会社 | 減圧乾燥装置 |
JP6808690B2 (ja) | 2018-07-25 | 2021-01-06 | 株式会社Screenホールディングス | 減圧乾燥装置、基板処理装置および減圧乾燥方法 |
-
2020
- 2020-11-13 JP JP2020189360A patent/JP7520696B2/ja active Active
-
2021
- 2021-11-08 CN CN202122722610.0U patent/CN216441021U/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7520696B2 (ja) | 2024-07-23 |
CN216441021U (zh) | 2022-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009076547A (ja) | 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR20090088808A (ko) | 소수화 처리 방법, 소수화 처리 장치, 도포, 현상 장치 및 기억 매체 | |
KR101958636B1 (ko) | 기판 지지 장치 및 이를 가지는 기판 처리 설비, 그리고 기판 처리 방법 | |
JP4384686B2 (ja) | 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR20090031271A (ko) | 상압 건조 장치 및 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
KR20180000928A (ko) | 가열 처리 유닛, 이를 갖는 베이크 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 | |
JP5503057B2 (ja) | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
JP5377463B2 (ja) | 加熱処理装置 | |
KR20100031453A (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR20190004494A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2013089633A (ja) | 減圧乾燥装置 | |
JP2005064242A (ja) | 基板の処理システム及び基板の熱処理方法 | |
KR20190012965A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP2022078586A (ja) | 減圧乾燥装置 | |
TW516336B (en) | Temperature-controlled chamber, and vacuum processing apparatus using the same, and heating method to process the object, cooling method to process the object | |
KR20110066864A (ko) | 기판처리장치, 기판처리방법 및 이 기판처리방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록매체 | |
KR102378336B1 (ko) | 베이크 장치 및 베이크 방법 | |
KR102403200B1 (ko) | 기판 지지 유닛, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 | |
US8096805B2 (en) | Manufacturing apparatus for semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device | |
KR101909481B1 (ko) | 베이크 유닛, 이를 가지는 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP2019184230A (ja) | 有機膜形成装置、有機膜形成システム、および有機膜形成方法 | |
KR102534608B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 배기 방법 | |
KR20190004855A (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR101985751B1 (ko) | 기판 지지 장치 및 이를 가지는 기판 처리 설비, 그리고 기판 처리 방법 | |
JP2013026338A (ja) | 現像処理方法、現像処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230620 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240328 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240710 |