JP2022066481A

JP2022066481A - Microwave processing apparatus and method of manufacturing carbon fiber

Info

Publication number: JP2022066481A
Application number: JP2022035282A
Authority: JP
Inventors: 保徳塚原; Yasunori Tsukahara; 久夫渡辺; Hisao Watanabe; 隆平金城; Ryuhei Kaneshiro; 千佳衣川; Chika Kinugawa
Original assignee: Microwave Chemical Co Ltd
Current assignee: Microwave Chemical Co Ltd
Priority date: 2018-11-26
Filing date: 2022-03-08
Publication date: 2022-04-28
Also published as: JP2024023984A; JP7042490B2; JP2019125573A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microwave processing apparatus capable of appropriately processing a processing object using microwaves.

SOLUTION: A microwave processing apparatus 1a includes a container 10c in which a processing object 2 moves, microwave irradiation means 21 having an irradiation unit 203 for irradiating microwaves in the container 10c, and a heat generating member 30 provided in the container 10c so as to cover the processing object 2 along a moving path 2a of the processing object 2 and which absorbs microwaves irradiated by the microwave irradiation means 21 and generates heat, and the first microwave irradiation position where the intensity of the microwaves irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the heat generating member 30 and the second microwave irradiation position where the intensity of the microwaves irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the processing object 2 are provided along the movement path 2a of the processing object 2.

SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、マイクロ波を用いて加熱処理等の処理を行なうマイクロ波処理装置等に関するものである。 The present invention relates to a microwave processing apparatus or the like that performs processing such as heat treatment using microwaves.

マイクロ波を用いて処理を行なう従来の技術として、マイクロ波遮蔽材からなる加熱炉本体と、前記加熱炉本体にマイクロ波電力を導入するマイクロ波手段と、マイクロ波遮蔽機能を有する熱伝導材で形成し、前記加熱炉本体の一方側に設けた入口部と他方側に設けた出口部との間に直線的に配設した加熱筒体と、前記加熱筒体の外周側に設けて前記加熱筒体に熱伝達するマイクロ波発熱体と、前記加熱炉本体の入口部及び出口部の近くに設けて、前記加熱筒体の端部周囲に配設してマイクロ波電力の漏洩を防ぐフィルタと、前記入口部から供給したワークを、前記加熱筒体内を通し、前記出口部より排出し、前記加熱筒体内で加熱する構成としたものが知られていた。（例えば、特許文献１参照）。 As a conventional technique for processing using microwaves, a heating furnace main body made of a microwave shielding material, a microwave means for introducing microwave power into the heating furnace main body, and a heat conductive material having a microwave shielding function are used. A heating cylinder formed and linearly arranged between an inlet portion provided on one side of the heating furnace main body and an outlet portion provided on the other side, and the heating cylinder provided on the outer peripheral side of the heating cylinder. A microwave heating element that transfers heat to the cylinder, and a filter that is provided near the inlet and outlet of the heating furnace body and is arranged around the end of the heating cylinder to prevent leakage of microwave power. It has been known that a work supplied from the inlet portion is passed through the inside of the heating cylinder, discharged from the outlet portion, and heated in the heating cylinder. (See, for example, Patent Document 1).

特許第５８７７４４８号公報（第１頁、第１図等）Japanese Patent No. 587744 (1st page, 1st figure, etc.)

しかしながら、従来の技術においては、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができない、という課題があった。 However, in the conventional technique, there is a problem that the object to be processed cannot be appropriately processed by using microwaves.

例えば、従来の技術においては、マイクロ波を用いて加熱したマイクロ波発熱体の輻射熱で加熱を行なうため、ワーク等の処理対象物を、外部からしか加熱できず、均一な加熱等の所望の加熱を行なうことが困難であった。 For example, in the conventional technique, since heating is performed by the radiant heat of a microwave heating element heated by using microwaves, the object to be processed such as a work can be heated only from the outside, and desired heating such as uniform heating can be performed. Was difficult to do.

また、処理対象物にマイクロ波が直接照射されないため、処理対象物が、マイクロ波によって直接加熱できないため、加熱効率が悪いという問題があった。 Further, since the object to be treated is not directly irradiated with microwaves, the object to be treated cannot be directly heated by microwaves, so that there is a problem that the heating efficiency is poor.

本発明は、上記のような課題を解消するためになされたものであり、処理対象物を、マイクロ波を用いて適切に処理することができるマイクロ波処理装置等を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a microwave processing apparatus or the like capable of appropriately processing a processing object by using microwaves. ..

本発明のマイクロ波処理装置は、内部を処理対象物が移動する容器と、当該容器内にマイクロ波を照射する照射部を備えたマイクロ波照射手段と、前記容器内に前記処理対象物の移動経路に沿って該処理対象物を覆うように設けられると共に前記マイクロ波照射手段から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材と、を備えたマイクロ波処理装置であって、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記発熱部材において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが前記処理対象物の移動経路に沿って設けられているマイクロ波処理装置である。 The microwave processing apparatus of the present invention has a container in which the object to be processed moves inside, a microwave irradiation means having an irradiation unit for irradiating the microwave in the container, and movement of the object to be processed in the container. A microwave processing device provided with a heating member provided along a path so as to cover the object to be processed and that absorbs microwaves irradiated from the microwave irradiation means to generate heat, wherein the irradiation unit is provided. The first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation member becomes stronger in the heat generating member and the second microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit becomes stronger in the processing object. It is a microwave processing apparatus provided along the movement path of the object to be processed.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、上記マイクロ波処理装置において、前記照射部は、前記処理対象物の移動経路に沿って複数設けられ、前記各照射部の照射するマイクロ波の位相を制御することにより前記各照射位置のマイクロ波強度を制御するようになっているようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, a plurality of irradiation units are provided along the movement path of the object to be processed, and the phase of the microwave irradiated by each irradiation unit is controlled. By doing so, the microwave intensity at each irradiation position may be controlled.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、上記マイクロ波処理装置において、前記処理対象物の移動経路に沿って複数設けられ、前記処理対象物及び／または前記発熱部材の性質（材質・厚み）に応じて前記各照射部の照射するマイクロ波の周波数を制御することにより前記各照射位置のマイクロ波の吸収度を制御するようになっているようにしてもよい。 In addition, a plurality of microwave processing devices of the present invention are provided in the microwave processing device along the movement path of the processing target, and the properties (material / thickness) of the processing target and / or the heat generating member can be adjusted. Accordingly, the degree of absorption of the microwave at each irradiation position may be controlled by controlling the frequency of the microwave irradiated by each irradiation unit.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、上記マイクロ波処理装置において、前記発熱部材は、前記処理対象物の容器内の搬送を補助する部材であって、前記処理対象物に接触する部分にマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体を有するようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the heat generating member is a member that assists the transportation of the processing object in the container, and the portion in contact with the processing object is micron. It may have a heating medium that absorbs waves and generates heat.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、上記マイクロ波処理装置において、前記処理対象物は、炭素繊維の前駆体繊維であり、前記マイクロ波処理装置は、前記前駆体繊維の耐炎化処理に用いられるようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the object to be treated is a precursor fiber of carbon fiber, and the microwave processing apparatus is used for flame-resistant treatment of the precursor fiber. You may be able to do it.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、上記マイクロ波処理装置において、前記発熱部材の、第一のマイクロ波照射位置の温度の情報を取得する第一のセンサと、前記処理対象物の、第二のマイクロ波照射位置の温度の情報を取得する第二のセンサと、前記第一のセンサが取得する温度の情報を用いて、前記各マイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御する制御手段と、を更に備えたマイクロ波処理装置であってもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the first sensor that acquires the temperature information of the first microwave irradiation position of the heat generating member and the first sensor of the processing target object. The output of the microwave used for each microwave irradiation is feedback-controlled by using the second sensor that acquires the temperature information of the second microwave irradiation position and the temperature information acquired by the first sensor. It may be a microwave processing apparatus further provided with a control means.

本発明の炭素繊維の製造方法は、マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内に、マイクロ波を照射して、前記発熱部材に沿って移動する炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、前記加熱する工程において、前記発熱部材の第一のマイクロ波照射位置においてマイクロ波の強度が強くなるようマイクロ波を照射し、前記処理対象物の第二のマイクロ波照射位置においてマイクロ波の強度が強くなるようマイクロ波を照射する炭素繊維の製造方法である。 In the method for producing carbon fiber of the present invention, a carbon fiber precursor fiber that moves along the heat-generating member by irradiating the inside of a container provided with a heat-generating member that absorbs microwaves and generates heat with microwaves. A method for producing carbon fiber, which comprises a step of heating the carbon fiber, wherein in the heating step, microwaves are irradiated so that the intensity of the microwaves becomes stronger at the first microwave irradiation position of the heat generating member, and the treatment target. It is a method for producing carbon fiber that irradiates microwaves so that the intensity of microwaves becomes stronger at the second microwave irradiation position of an object.

本発明のマイクロ波処理装置は、内部に処理対象物が配置される容器と、容器内に、マイクロ波を照射するマイクロ波照射手段と、前記容器内に設けられ、マイクロ波照射手段から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材と、を備え、マイクロ波照射手段は、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうマイクロ波処理装置である。 The microwave processing apparatus of the present invention has a container in which a processing object is arranged, a microwave irradiation means for irradiating the inside of the container with microwaves, and a microwave irradiation means provided in the container and irradiated from the microwave irradiation means. A heat generating member that absorbs microwaves and generates heat is provided, and the microwave irradiation means performs a first microwave irradiation for heating the heat generating member and a second microwave irradiation for heating the object to be treated. It is a microwave processing device.

かかる構成により、処理対象物を、マイクロ波を用いて適切に処理することができる。例えば、マイクロ波の照射による発熱部材からの加熱と、処理対象物の内部からの加熱とを組み合わせて、処理対象物を適切に加熱することができる。 With such a configuration, the object to be processed can be appropriately processed by using microwaves. For example, the heat-generating member by irradiation with microwaves and the heating from the inside of the object to be treated can be combined to appropriately heat the object to be treated.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、処理対象物は、容器内を移動し、発熱部材は、処理対象物の移動経路に沿って部分的に設けられており、マイクロ波照射手段は、移動経路の発熱部材が設けられている部分に対するマイクロ波の照射である第一のマイクロ波照射を行う１以上の第一照射部と、移動経路の発熱部材が設けられていない部分に対するマイクロ波の照射である第二のマイクロ波照射を行う１以上の第二照射部とを備えたマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the object to be processed moves in the container, and the heat generating member is partially provided along the moving path of the object to be processed. The microwave irradiating means is provided with one or more first irradiation portions that perform the first microwave irradiation, which is the irradiation of microwaves to the portion provided with the heat generating member of the moving path, and the heat generating member of the moving path. It is a microwave processing apparatus provided with one or more second irradiation units that perform a second microwave irradiation, which is a microwave irradiation to a non-existing portion.

かかる構成により、第一のマイクロ波照射を第一照射部で行い、第二のマイクロ波照射を第二照射部で行うことにより、第一のマイクロ波照射の出力と、第二のマイクロ波照射の出力を個別に容易に制御することが可能となり、処理対象物に対して、効率よく処理を行うことができるとともに、高品質な処理結果を得ることができる。 With this configuration, the first microwave irradiation is performed in the first irradiation unit, and the second microwave irradiation is performed in the second irradiation unit, whereby the output of the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed. It is possible to easily control the output of each of the above, efficiently process the object to be processed, and obtain high-quality processing results.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、マイクロ波照射手段は、異なる位置からマイクロ波を照射する２以上の照射部を備え、２以上の照射部が照射するマイクロ波の位相を制御して、２以上の照射部が照射するマイクロ波が発熱部材において強めあう第一のマイクロ波照射と、２以上の照射部が照射するマイクロ波が処理対象物において強めあう第二のマイクロ波照射とを行なうマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the microwave irradiating means includes two or more irradiating portions that irradiate microwaves from different positions, and the microwave irradiating by the two or more irradiating portions. The first microwave irradiation in which the microwaves irradiated by two or more irradiation units intensify each other in the heat generating member and the second microwave irradiation in which the microwaves irradiated by two or more irradiation units intensify each other in the object to be processed by controlling the phase of It is a microwave processing device that performs microwave irradiation.

かかる構成により、処理対象物をマイクロ波で適切に加熱できる。また、位相を制御することで第一のマイクロ波照射で加熱する位置と、第二のマイクロ波照射で加熱する位置を容易に移動させることができる。 With such a configuration, the object to be treated can be appropriately heated by microwaves. Further, by controlling the phase, the position to be heated by the first microwave irradiation and the position to be heated by the second microwave irradiation can be easily moved.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、マイクロ波照射手段は、発熱部材の発熱が、処理対象物の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、処理対象物の発熱が、発熱部材の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する前記第二のマイクロ波照射と、を行うマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the microwave irradiating means is the first microwave that irradiates a microwave having a frequency at which the heat generated by the heat generating member becomes larger than the heat generated by the object to be processed. It is a microwave processing apparatus that performs wave irradiation and the second microwave irradiation that irradiates microwaves having a frequency at which the heat generated by the object to be processed is larger than the heat generated by the heat generating member.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、発熱部材で吸収されたマイクロ波が、発熱部材を透過したマイクロ波よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、発熱部材で吸収されたマイクロ波が、発熱部材を透過したマイクロ波よりも小さくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射と、を行なうマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing device of the present invention, in the microwave processing device, the first microwave that irradiates the microwave having a frequency at which the microwave absorbed by the heat generating member becomes larger than the microwave transmitted through the heat generating member. It is a microwave processing device that performs wave irradiation and a second microwave irradiation that irradiates a microwave having a frequency at which the microwave absorbed by the heat generating member is smaller than the microwave transmitted through the heat generating member.

かかる構成により、照射するマイクロ波の周波数の切り替えや組合せにより、処理対象物を適切に加熱することができる。 With such a configuration, the object to be processed can be appropriately heated by switching or combining the frequencies of the microwaves to be irradiated.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、発熱部材は筒形状を有しており、発熱部材の内側に、所定のガスを供給するガス供給手段をさらに備えたマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing device of the present invention, in the microwave processing device, the heat generating member has a tubular shape, and the microwave having a gas supply means for supplying a predetermined gas inside the heat generating member is further provided. It is a processing device.

かかる構成により、発熱部材内の所定のガスの量を制御して、適切な処理を行なうことができる。 With such a configuration, it is possible to control the amount of a predetermined gas in the heat generating member and perform an appropriate treatment.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、処理対象物は、容器内を移動し、発熱部材の処理対象部側の一部に、マイクロ波を透過させない非透過部が設けられているマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the object to be processed moves in the container, and a non-transmissive portion that does not transmit the microwave is formed in a part of the heat generating member on the processing target portion side. It is a microwave processing device provided.

かかる構成により、処理対象物にマイクロ波を直接照射しない部分を設けることができ、マイクロ波の照射の制御の幅が広がる。 With such a configuration, a portion that does not directly irradiate the microwave can be provided on the object to be processed, and the range of control of microwave irradiation is widened.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、発熱部材は、処理対象物の容器内の搬送を補助する部材であって、処理対象物に接触する部分にマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体を有するマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the heat generating member is a member that assists the transportation of the object to be processed in the container, and absorbs the microwave at the portion in contact with the object to be processed. It is a microwave processing device having a heating medium that generates heat.

かかる構成により、発熱部材からの加熱を、接触したか熱媒体からの熱伝導により行なうことができ、熱効率を向上させることができる。 With such a configuration, heating from the heat generating member can be performed by contact or heat conduction from a heat medium, and thermal efficiency can be improved.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、処理対象物は、炭素繊維の前駆体繊維であり、マイクロ波処理装置は、前駆体繊維の耐炎化処理に用いられるマイクロ波処理装置である。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the object to be treated is a precursor fiber of carbon fiber, and the microwave processing apparatus is a microwave used for flame-resistant treatment of the precursor fiber. It is a processing device.

かかる構成により、耐炎化処理済の高品質な炭素繊維の前駆体繊維を得ることができる。 With such a configuration, it is possible to obtain a high-quality carbon fiber precursor fiber that has been flame-resistant.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、発熱部材の、第一のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第一のセンサと、処理対象物の、第二のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第二のセンサと、第一のセンサが取得する温度の情報を用いて、第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御し、第二のセンサが取得する温度の情報を用いて、第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御する制御手段と、を更に備えたマイクロ波処理装置である。 Further, the microwave processing apparatus of the present invention comprises a first sensor for acquiring information on the temperature of a portion of the heat generating member to which the first microwave irradiation is performed in the microwave processing apparatus, and a processing object. The output of the microwave used for the first microwave irradiation using the second sensor that acquires the temperature information of the part where the second microwave irradiation is performed and the temperature information acquired by the first sensor. It is a microwave processing device further provided with a control means for feedback-controlling the output of the microwave used for the second microwave irradiation by using the temperature information acquired by the second sensor. ..

かかる構成により、第一のマイクロ波照射による発熱部材の加熱と、第二のマイクロ波照射による処理対象物の加熱とを適切に制御することができる。 With such a configuration, it is possible to appropriately control the heating of the heat generating member by the first microwave irradiation and the heating of the object to be processed by the second microwave irradiation.

本発明の炭素繊維の製造方法は、マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内に、マイクロ波を照射して、発熱部材に沿って配置された炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、加熱する工程において、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、前駆体繊維を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうようにした炭素繊維の製造方法である。 In the method for producing carbon fiber of the present invention, a carbon fiber precursor fiber arranged along a heat generating member by irradiating the container with a heat generating member that absorbs the microwave and generates heat is irradiated with the microwave. It is a method for producing carbon fiber including a step of heating the carbon fiber, and in the heating step, a first microwave irradiation for heating a heat generating member and a second microwave irradiation for heating the precursor fiber are performed. This is a method for producing carbon fiber.

かかる構成により、炭素繊維の前駆体繊維を外側から加熱および直接加熱して、品質のよい炭素繊維を得ることができる。 With such a configuration, the precursor fiber of carbon fiber can be heated and directly heated from the outside to obtain high quality carbon fiber.

本発明によれば、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。 According to the present invention, the object to be processed can be appropriately processed by using microwaves.

本発明の実施の形態１におけるマイクロ波処理装置の断面図Sectional drawing of the microwave processing apparatus in Embodiment 1 of this invention 同マイクロ波処理装置の発熱部材を示す図（図２（ａ））、およびその変形例を示す図（図２（ｂ）～図２（ｄ））The figure which shows the heat generation member of the microwave processing apparatus (FIG. 2 (a)), and the figure (FIG. 2 (b)-FIG. 2 (d)) which shows the modified example thereof. 同マイクロ波処理装置の変形例を示す断面図Cross-sectional view showing a modified example of the microwave processing device 同マイクロ波処理装置の変形例を示す断面図（図４（ａ）～図４（ｂ））Cross-sectional view showing a modified example of the microwave processing apparatus (FIGS. 4A to 4B). 本発明の実施の形態２におけるマイクロ波処理装置の断面図（図５（ａ））および断面模式図（図５（ｂ）～図５（ｃ））Cross-sectional view (FIG. 5 (a)) and schematic sectional view (FIG. 5 (b) to FIG. 5 (c)) of the microwave processing apparatus according to the second embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態３におけるマイクロ波処理装置の断面図（図６（ａ））および断面模式図（図６（ｂ）～図６（ｄ））Cross-sectional view (FIG. 6 (a)) and schematic sectional view (FIG. 6 (b) to FIG. 6 (d)) of the microwave processing apparatus according to the third embodiment of the present invention.

以下、マイクロ波処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments of the microwave processing apparatus and the like will be described with reference to the drawings. In addition, since the components with the same reference numerals perform the same operation in the embodiment, the description may be omitted again.

（実施の形態１）
以下、マイクロ波処理装置を、炭素繊維の製造に用いられる前駆体繊維に対して耐炎化処理を行なう装置を例に挙げて説明する。 (Embodiment 1)
Hereinafter, the microwave processing apparatus will be described by exemplifying an apparatus for performing flame resistance treatment on the precursor fiber used for producing carbon fiber.

まず、炭素繊維の製造工程の一例について説明する。ポリアクリルニトリル（ＰＡＮ）等の前駆体繊維を２００～３００℃の加熱空気中で６０～１２０分間加熱することによって前駆体繊維の酸化処理を行なう。この処理は、耐炎化処理と呼ばれる。この処理では、前駆体繊維の環化反応を生じさせ、酸素結合により耐炎化繊維が得られる。その後、得られた耐炎化繊維を窒素雰囲気下で１０００℃から１５００℃まで数分間加熱することで、繊維が炭素化され炭素繊維を得ることができる。 First, an example of the carbon fiber manufacturing process will be described. The precursor fiber is oxidized by heating the precursor fiber such as polyacrylic nitrile (PAN) in heated air at 200 to 300 ° C. for 60 to 120 minutes. This process is called a flame resistant process. In this treatment, a cyclization reaction of the precursor fiber is caused, and a flame-resistant fiber is obtained by oxygen bonding. Then, by heating the obtained flame-resistant fiber from 1000 ° C. to 1500 ° C. for several minutes in a nitrogen atmosphere, the fiber is carbonized and carbon fiber can be obtained.

図１は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view parallel to the moving direction of the object to be processed for explaining the microwave processing apparatus according to the present embodiment.

マイクロ波処理装置１は、容器１０と、マイクロ波照射手段２０と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５０と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing device 1 includes a container 10, a microwave irradiation means 20, a heat generating member 30, a sensor 40 of one or more, a control means 50, and a transport means 60.

容器１０は、ステンレス等のマイクロ波反射性を有する材質で構成されている。容器１０は、中空であって、横長の箱形状を有している。容器１０内には、処理対象物２が配置される。ここでは、処理対象物２は、例えば、ＰＡＮ系の前駆体繊維であるとする。処理対象物２である前駆体繊維は、例えば、一本の前駆体繊維であってもよく、複数の前駆体繊維がまとめられて、糸状や紐状になったものであってもよい。容器１０内に配置される処理対象物２は、単数であってもよく、複数であってもよい。ここでは、容器１０内に配置される処理対象物２が、容器１０を移動する例について説明する。なお、ここでの移動は、連続的な移動であってもよく、移動と停止とを組み合わせた非連続な移動であってもよい。例えば、容器１０内でマイクロ波の照射が行なわれている間は、処理対象物２の移動を停止し、マイクロ波の照射が行なわれていない間に処理対象物２を移動させてもよい。また、ここでの移動は、移動速度が一定の移動であってもよく、移動速度が連続的や非連続に変化する移動であってもよい。かかることは、他の実施の形態においても同様である。なお、以下においては、一例として、処理対象物２が連続的に移動している場合について説明する。 The container 10 is made of a material having microwave reflectivity such as stainless steel. The container 10 is hollow and has a horizontally long box shape. The object 2 to be processed is arranged in the container 10. Here, it is assumed that the object 2 to be treated is, for example, a PAN-based precursor fiber. The precursor fiber, which is the object to be treated 2, may be, for example, a single precursor fiber, or may be a thread-like or string-like form in which a plurality of precursor fibers are put together. The object to be processed 2 arranged in the container 10 may be singular or plural. Here, an example in which the processing object 2 arranged in the container 10 moves in the container 10 will be described. The movement here may be a continuous movement or a discontinuous movement that combines movement and stop. For example, the moving object 2 may be stopped while the microwave irradiation is being performed in the container 10, and the processing object 2 may be moved while the microwave irradiation is not being performed. Further, the movement here may be a movement in which the movement speed is constant, or may be a movement in which the movement speed changes continuously or discontinuously. This also applies to other embodiments. In the following, as an example, a case where the processing object 2 is continuously moving will be described.

容器１０の長手方向の両端の一方には、処理対象物２の入口１０１ａが設けられ、他方には出口１０１ｂが設けられている。処理対象物２は、入口１０１ａから容器１０内部に入り、容器１０の内部を移動し、出口１０１ｂから外部に出る。ここでは、一例として、処理対象物２が、容器１０の内部を略水平に移動する場合を例に挙げて説明する。ただし、処理対象物の容器１０の内外における移動方向や移動経路は問わない。例えば、ローラ等により、処理対象物の移動方向が途中で変更されていてもよく、例えば、前駆体繊維の移動方向はローラ等により１回以上折りかえされていてもよい。容器１０は、通常、長手方向が水平となるように配置されるが、容器１０は、傾斜して配置されてもよい。入口１０１ａおよび出口１０１ｂには、容器１０内に照射されるマイクロ波の外部への漏洩を防ぐためのフィルタ（図示せず）が設けられている。フィルタとしては、例えば、マイクロ波の波長の性質を利用したチョーク構造等を有しており、非接触でマイクロ波電力の通過を防止するものが用いられる。入口１０１ａおよび出口１０１ｂは、フィルタ以外のマイクロ波の漏洩を防止する構造を有していても良い。容器１０のサイズや、容器１０の外壁等の厚さは問わない。容器１０の外壁には断熱材（図示せず）等が設けられていてもよい。容器１０のサイズ等は、例えば、処理対象や、処理時間等に応じて決定される。 An inlet 101a for the object to be processed 2 is provided on one of both ends in the longitudinal direction of the container 10, and an outlet 101b is provided on the other end. The object 2 to be processed enters the inside of the container 10 from the inlet 101a, moves inside the container 10, and exits from the outlet 101b. Here, as an example, a case where the object 2 to be processed moves substantially horizontally inside the container 10 will be described as an example. However, the moving direction and the moving route inside and outside the container 10 of the object to be treated do not matter. For example, the moving direction of the object to be treated may be changed in the middle by a roller or the like, and for example, the moving direction of the precursor fiber may be folded once or more by the roller or the like. The container 10 is usually arranged so as to be horizontal in the longitudinal direction, but the container 10 may be arranged at an angle. The inlet 101a and the outlet 101b are provided with a filter (not shown) for preventing the microwave irradiated in the container 10 from leaking to the outside. As the filter, for example, a filter having a choke structure or the like utilizing the nature of the wavelength of the microwave and preventing the passage of microwave power in a non-contact manner is used. The inlet 101a and the outlet 101b may have a structure for preventing leakage of microwaves other than the filter. The size of the container 10 and the thickness of the outer wall of the container 10 are not limited. A heat insulating material (not shown) or the like may be provided on the outer wall of the container 10. The size of the container 10 and the like are determined according to, for example, the processing target, the processing time, and the like.

なお、上記のような容器１０の形状は一例であり、容器１０は、上記以外のどのような形状としても良い。例えば、容器１０は、横方向に伸びる円筒形状であっても良く、多角形柱形状であっても良く、これらの形状の組合せ等であっても良い。また、縦長の形状であってもよい。また、処理対象物２の移動経路２ａを、図示しないローラ等を用いて、水平方向において処理対象物２の移動方向が交互に反転するよう折り畳まれた経路となるようにし、容器１０を、この移動経路２ａの少なくとも処理対象物２が平行に移動する部分を覆うような形状としてもよい。なお、ここでは、説明の便宜上、移動経路２ａを処理対象物２と重ねて示している。また、移動経路２ａにおいて、処理対象物２の移動方向は矢印の向きで示している。かかることは、以下においても同様である。 The shape of the container 10 as described above is an example, and the container 10 may have any shape other than the above. For example, the container 10 may have a cylindrical shape extending in the lateral direction, a polygonal pillar shape, a combination of these shapes, or the like. Further, it may have a vertically long shape. Further, the moving path 2a of the processing object 2 is made to be a folded path so that the moving directions of the processing object 2 are alternately reversed in the horizontal direction by using a roller or the like (not shown), and the container 10 is used. The shape may be such that at least the portion of the movement path 2a where the object 2 to be processed moves in parallel is covered. Here, for convenience of explanation, the movement path 2a is shown superimposed on the processing target object 2. Further, in the movement path 2a, the movement direction of the processing object 2 is indicated by the direction of the arrow. The same applies to the following.

容器１０の形状や、大きさ等は、例えば、容器１０に照射されるマイクロ波の分布等に応じて決定される。例えば、容器１０の形状や大きさは、容器１０内におけるマイクロ波のモードがマルチモードとなるように、形状や大きさが設定されていることが好ましい。マイクロ波のマルチモードとは、例えば、容器１０内でマイクロ波の定在波が発生しないモードである。 The shape, size, and the like of the container 10 are determined, for example, according to the distribution of microwaves applied to the container 10. For example, it is preferable that the shape and size of the container 10 are set so that the microwave mode in the container 10 becomes a multi-mode. The microwave multi-mode is, for example, a mode in which a standing wave of microwave is not generated in the container 10.

容器１０の、入口１０１ａおよび出口１０１ｂが設けられている位置は問わない。例えば、入口１０１ａおよび出口１０１ｂが容器１０の同じ端部や側面等に設けられていてもよい。また、容器１０は、複数の入口１０１ａと出口１０１ｂとを有していても良く、例えば、処理対象物２の移動方向を図示しないローラ等で変更して、処理対象物２を複数の入口１０１ａと出口１０１ｂとから容器１０の内外に出し入れしてもよい。 The position of the container 10 where the inlet 101a and the outlet 101b are provided does not matter. For example, the inlet 101a and the outlet 101b may be provided on the same end or side surface of the container 10. Further, the container 10 may have a plurality of inlets 101a and outlets 101b. For example, the moving direction of the object to be processed 2 may be changed by a roller or the like (not shown) to make the object 2 to be processed a plurality of inlets 101a. And the outlet 101b may be taken in and out of the container 10.

なお、容器１０は、処理対象物２の入口１０１ａや、出口１０１ｂや、後述する開口部１０２等の、開口が必要な部分以外は、マイクロ波が漏洩しないように閉じられた構造であることが好ましい。 The container 10 may have a structure closed so that microwaves do not leak except for portions requiring an opening, such as the inlet 101a and the outlet 101b of the object 2 to be processed and the opening 102 described later. preferable.

なお、容器１０の外周には、図示していないが、容器１の温度を調整するための温水ジャケットや、冷水ジャケット、ヒータ等が設けられていても良い。また、容器１０には、図示しない内部を観察するための観察窓や、給排気等を行なう通風口やファン等が設けられていてもよい。 Although not shown, a hot water jacket, a cold water jacket, a heater, or the like for adjusting the temperature of the container 1 may be provided on the outer periphery of the container 10. Further, the container 10 may be provided with an observation window for observing the inside (not shown), a ventilation port for supplying / exhausting air, a fan, and the like.

図２は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の発熱部材３０を模式的に示す斜視図（図２（ａ））、および発熱部材３０の変形例を模式的に示す斜視図（図２（ｂ）～図２（ｃ））、および図２（ａ）に示した発熱部材３０の変形例を説明するための、処理対象物２の移動経路２ａに沿った断面図（図２（ｄ））である。容器１０内には、マイクロ波照射手段２０から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材３０が設けられている。発熱部材３０は、例えば、マイクロ波照射手段２０から照射されるマイクロ波の一部を吸収して発熱し、一部を透過するものであることが好ましい。発熱部材３０は、容器１０内に配置される処理対象物２に沿って配置されている。処理対象物２に沿って配置される、ということは、例えば、処理対象物２の外周に沿って配置されることと考えてもよく、処理対象物２の周りに配置されることと考えてもよい。なお、発熱部材３０と処理対象物２との間隔は、処理対象物２の長手方向や移動方向において一定であってもよく、異なっていてもよく、いずれの場合も、発熱部材３０が処理対象物に沿って配置されていると考えてもよい。また、発熱部材３０の、処理対象物２を介して対向する部分と、発熱部材３０との間隔も、一定であってもよく、異なっていてもよく、いずれの場合も、発熱部材３０が処理対象物に沿って配置されていると考えてもよい。ここでは、処理対象物２が容器１０内を移動するため、発熱部材３０は、処理対象物２の移動経路２ａに沿って配置されている。例えば、発熱部材３０の形状は、処理対象物２を覆う形状であればどのような形状であってもよい、発熱部材３０の形状は、図２（ａ）に示すように、処理対象物２の外周を囲むように設けられた円筒形状であることが好ましいが、例えば、円筒以外の筒形状であってもよく、環状の形状であってもよく、図２（ｂ）に示すように、処理対象物２の移動方向に対して垂直な断面がコの字となる形状であってもよい。また、発熱部材３０は、図２（ｃ）に示すように、処理対象物２を挟むよう配置された二つの板形状の部材であってもよい。また、発熱部材３０は、部分的に膨らんだ筒形状や、部分的に凹んだ筒形状や、部分的に湾曲した筒形状等を有していても良い。 FIG. 2 is a perspective view schematically showing a heat generating member 30 of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment (FIG. 2A), and a perspective view schematically showing a modified example of the heat generating member 30 (FIG. 2). (B)-FIG. 2 (c)) and a cross-sectional view (FIG. 2 (d)) along the movement path 2a of the object to be processed 2 for explaining a modification of the heat generating member 30 shown in FIG. 2 (a). )). Inside the container 10, a heat generating member 30 that absorbs the microwave emitted from the microwave irradiating means 20 and generates heat is provided. It is preferable that the heat generating member 30 absorbs a part of the microwave irradiated from the microwave irradiating means 20, generates heat, and transmits a part of the microwave. The heat generating member 30 is arranged along the processing object 2 arranged in the container 10. Being arranged along the object to be processed 2 may be considered to be arranged along the outer circumference of the object to be processed 2, for example, and may be considered to be arranged around the object to be processed 2. May be good. The distance between the heat generating member 30 and the object to be processed 2 may be constant or different in the longitudinal direction or the moving direction of the object to be processed 2. In either case, the heat generating member 30 is the object to be processed. You may think that it is arranged along an object. Further, the distance between the heat generating member 30 and the portion of the heat generating member 30 facing each other via the object 2 to be processed may be constant or different, and in either case, the heat generating member 30 processes. You may think that it is arranged along the object. Here, since the object 2 to be processed moves in the container 10, the heat generating member 30 is arranged along the movement path 2a of the object 2 to be processed. For example, the shape of the heat generating member 30 may be any shape as long as it covers the object to be processed 2. The shape of the heat generating member 30 may be any shape as long as it covers the object to be processed 2. It is preferable that the shape is a cylinder provided so as to surround the outer periphery of the surface, but for example, it may be a cylinder shape other than the cylinder or an annular shape, as shown in FIG. 2 (b). The cross section perpendicular to the moving direction of the object 2 to be processed may be U-shaped. Further, as shown in FIG. 2C, the heat generating member 30 may be two plate-shaped members arranged so as to sandwich the object to be processed 2. Further, the heat generating member 30 may have a partially bulging tubular shape, a partially concave tubular shape, a partially curved tubular shape, or the like.

発熱部材３０は、図２（ａ）～図２（ｃ）に示すように、照射されたマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体３０１と、加熱媒体３０１を支持する支持体３０２とを有している。加熱媒体３０１は、通常、支持体３０２の、処理対象物２に対向しない側面に設けられている。ここでの側面は、例えば、処理対象物２の移動方向に平行な面である。加熱媒体３０１は、例えば、カーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等で形成されている。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を吸収して発熱し、照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。なお、加熱媒体として、マイクロ波を部分的に透過可能な厚さの金属層、例えば、厚さ数μｍの金属層を用いてもよい。支持体３０２は、セラミックやガラス等のマイクロ波の透過性が高い材料で構成されている。加熱媒体３０１は、例えば、加熱媒体３０１の材料を支持体３０２の表面に塗布したり貼り付けたりすることで設けられる。なお、加熱媒体３０１が発熱体を含むセラミック等である場合のように、加熱媒体３０１だけで十分な強度等を有している場合、支持体３０２は省略してもよい。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。また、支持体３０２が、加熱媒体３０１の補強や、加熱媒体３０１の形を保つために用いられているものである場合、加熱媒体３０１だけを発熱部材３０と考えてもよい。発熱部材３０は、例えば、この発熱部材３０に対するマイクロ波照射による発熱が、この発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱よりも大きくなるようなものであることが好ましく、発熱部材３０は、例えば、この発熱部材３０に対するマイクロ波照射による発熱が、この発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱よりも大きくなるような材質および厚さを有することが好ましい。この場合の発熱部材３０の材質および厚さは、加熱媒体３０１の材質および厚さと考えてもよい。例えば、処理対象物２が、１本の前駆体繊維であるとした場合、円筒形の発熱部材３０の内径は９－１２ｍｍ、１１－１４ｍｍ程度であり、発熱部材３０の厚さや、２－５ｍｍ程度である。ただし、これ以外のサイズとしてもよい。 As shown in FIGS. 2A to 2C, the heat generating member 30 has a heating medium 301 that absorbs irradiated microwaves to generate heat, and a support 302 that supports the heating medium 301. ing. The heating medium 301 is usually provided on the side surface of the support 302 that does not face the object 2 to be processed. The side surface here is, for example, a surface parallel to the moving direction of the object 2 to be processed. The heating medium 301 is formed of, for example, a heating element such as carbon, SiC, a carbon fiber composite material, a metal siliconized material such as molybdenum siliconized or tungsten siliconized, or a ceramic material containing powder of these heating elements. ing. As the heating medium 301, for example, a material or a material having a thickness capable of absorbing a part of the microwave irradiated to the heat generating member 30 to generate heat and transmitting a part of the irradiated microwave is used. As the heating medium 301, for example, a material having a material and a thickness capable of transmitting a part of the microwave irradiated to the heat generating member 30 is used. As the heating medium, a metal layer having a thickness that allows partial transmission of microwaves, for example, a metal layer having a thickness of several μm may be used. The support 302 is made of a material having high microwave transparency, such as ceramic or glass. The heating medium 301 is provided, for example, by applying or attaching the material of the heating medium 301 to the surface of the support 302. The support 302 may be omitted when the heating medium 301 alone has sufficient strength or the like, as in the case where the heating medium 301 is a ceramic or the like containing a heating element. As the heating medium 301, for example, a material having a material and a thickness capable of transmitting a part of the microwave irradiated to the heat generating member 30 is used. Further, when the support 302 is used for reinforcing the heating medium 301 or maintaining the shape of the heating medium 301, only the heating medium 301 may be considered as the heat generating member 30. The heat-generating member 30 is preferably such that, for example, the heat generated by the microwave irradiation of the heat-generating member 30 is larger than the heat generated by the object 2 to be processed by the microwave transmitted through the heat-generating member 30. For example, it is preferable that the 30 has a material and a thickness such that the heat generated by the microwave irradiation on the heat generating member 30 is larger than the heat generated by the processing object 2 due to the microwave transmitted through the heat generating member 30. The material and thickness of the heat generating member 30 in this case may be considered as the material and thickness of the heating medium 301. For example, assuming that the object 2 to be processed is one precursor fiber, the inner diameter of the cylindrical heat generating member 30 is about 9-12 mm and 11-14 mm, and the thickness of the heat generating member 30 and 2-5 mm. Degree. However, other sizes may be used.

発熱部材３０は、例えば、容器１０内において、処理対象物２の長手方向や移動方向において、部分的に設けられていてもよく、容器１０内における処理対象物２の長手方向や移動方向の全体にわたって設けられていてもよい。例えば、複数の発熱部材３０が、処理対象物２の長手方向や移動方向に向かって、所望の間隔を隔てて配置されていてもよい。ここでは、図２（ａ）に示すような円筒形状の発熱部材３０が、処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に配置されている場合について説明する。具体的には、図１に示すように、３つの円筒形状の発熱部材３０が、それぞれの内部を処理対象物２が移動するよう、間隔を隔てて配置されている。なお、ここでは、３つの発熱部材３０を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、発熱部材３０ａ～３０ｃと表している。ただし、これらを区別する必要がない場合は、単に発熱部材３０と呼ぶ。かかることは、他の照射部２０１や、照射部２０２、センサ４０等についても同様である。各発熱部材３０の処理対象物２の移動方向の長さ（以下、発熱部材３０の長さと称す）、すなわち円筒形状の長手方向の長さは同じであってもよく、異なっていてもよく、それぞれの長さは問わない。例えば、処理対象物２が容器１０内を移動している場合、発熱部材３０の長さは、発熱部材３０を利用した加熱時間に対応するものと考えてもよい。また、発熱部材３０間の間隔は、等間隔であってもよく、等間隔でなくてもよく、それぞれの距離は問わない。例えば、処理対象物２が容器１０内を移動している場合、この移動方向における発熱部材３０間の間隔、最も入口１０１ａ側の発熱部材３０と入口１０１ａの距離、および最も出口１０１ｂ側の発熱部材３０と出口１０１ｂとの距離（以下、発熱部材が設けられていない部分の長さと称す）は、発熱部材３０を利用しない加熱時間に対応するものと考えてもよい。また、発熱部材３０と容器１０の入口１０１ａとの距離や、発熱部材３０と容器１０の出口１０１ｂとの距離は、等距離であってもよく、等距離でなくてもよく、その距離は問わない。また、ここでの円筒形状の発熱部材３０の直径等は問わない。また、各発熱部材３０の直径は同じであってもよく、異なっていてもよい。ここでは、発熱部材３０は、処理対象物２と接しないが、発熱部材３０の少なくとも一部が処理対象物と接するようにしてもよい。発熱部材３０の側面は、容器１０と接しないよう配置されている。 The heat generating member 30 may be partially provided in the container 10 in the longitudinal direction or the moving direction of the object to be processed 2, for example, and the entire heat generating member 30 may be provided in the container 10 in the longitudinal direction or the moving direction of the object to be processed 2. It may be provided over. For example, a plurality of heat generating members 30 may be arranged at desired intervals in the longitudinal direction or the moving direction of the object 2 to be processed. Here, a case where the cylindrical heat generating member 30 as shown in FIG. 2A is partially arranged along the moving path 2a of the object to be processed 2 will be described. Specifically, as shown in FIG. 1, three cylindrical heat generating members 30 are arranged at intervals so that the object 2 to be processed moves inside each of them. Here, the three heat-generating members 30 are represented as heat-generating members 30a to 30c in order from the inlet 101a side of the container 10. However, when it is not necessary to distinguish between them, it is simply referred to as a heat generating member 30. The same applies to the other irradiation unit 201, the irradiation unit 202, the sensor 40, and the like. The length of each heat generating member 30 in the moving direction of the object 2 to be processed (hereinafter referred to as the length of the heat generating member 30), that is, the length in the longitudinal direction of the cylindrical shape may be the same or different. The length of each does not matter. For example, when the object 2 to be processed is moving in the container 10, the length of the heat generating member 30 may be considered to correspond to the heating time using the heat generating member 30. Further, the intervals between the heat generating members 30 may be equal intervals or may not be equal intervals, and the respective distances do not matter. For example, when the object 2 to be processed is moving in the container 10, the distance between the heat generating members 30 in this moving direction, the distance between the heat generating member 30 on the most inlet 101a side and the inlet 101a, and the heat generating member on the most outlet 101b side. The distance between the 30 and the outlet 101b (hereinafter referred to as the length of the portion where the heat generating member is not provided) may be considered to correspond to the heating time when the heat generating member 30 is not used. Further, the distance between the heat generating member 30 and the inlet 101a of the container 10 and the distance between the heat generating member 30 and the outlet 101b of the container 10 may or may not be equidistant, and the distance is not limited. not. Further, the diameter of the cylindrical heat generating member 30 here does not matter. Further, the diameters of the heat generating members 30 may be the same or different. Here, the heat generating member 30 does not come into contact with the object to be processed 2, but at least a part of the heat generating member 30 may come into contact with the object to be processed. The side surface of the heat generating member 30 is arranged so as not to come into contact with the container 10.

なお、ここでは、説明の便宜上、３つの発熱部材３０が設けられている場合について説明したが、発熱部材３０の数は、１以上であればよい。例えば、容器１０内を移動する炭素繊維の前駆体繊維の耐炎化処理にマイクロ波処理装置１を用いる場合には、発熱部材３０を用いた加熱が必要な回数だけ、発熱部材を設けるようにすればよい。また、この場合、各発熱部材３０の長さは、例えば、発熱部材３０を用いた加熱に必要な時間に対応する長さとすればよく、発熱部材３０が設けられていない部分の長さは、発熱部材３０を用いない加熱に必要な時間に対応する長さとすればよい。また、処理対象物２の移動経路２ａが、折れ曲がったりしている場合等において、折れ曲がる前の部分と折れ曲がった後の部分の両方に１以上の発熱部材３０が配置されていてもよく、この場合、発熱部材３０は、同一直線状に配置されていなくてもよい。 Here, for convenience of explanation, the case where the three heat generating members 30 are provided has been described, but the number of the heat generating members 30 may be 1 or more. For example, when the microwave processing device 1 is used for the flame-resistant treatment of the precursor fiber of the carbon fiber moving in the container 10, the heat-generating member is provided as many times as necessary for heating using the heat-generating member 30. Just do it. Further, in this case, the length of each heat generating member 30 may be, for example, a length corresponding to the time required for heating using the heat generating member 30, and the length of the portion where the heat generating member 30 is not provided may be set. The length may be set to correspond to the time required for heating without using the heat generating member 30. Further, when the movement path 2a of the object to be processed 2 is bent or the like, one or more heat generating members 30 may be arranged in both the portion before the bending and the portion after the bending. In this case, , The heat generating member 30 does not have to be arranged in the same linear shape.

マイクロ波照射手段２０は、容器１０内にマイクロ波を照射する。マイクロ波照射手段２０は、例えば、容器１０に対して取付けられている。マイクロ波照射手段２０は、発熱部材３０を加熱する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なう。なお、発熱部材３０を加熱する、とは、例えば、発熱部材３０のみを加熱することであってもよく、発熱部材３０を処理対象物２よりも強く加熱することであってもよい。また、処理対象物２を加熱する、とは、例えば、処理対象物２のみを加熱することであってもよく、処理対象物２を発熱部材３０よりも強く加熱することであってもよい。ただし、第一のマイクロ波照射は、処理対象物２の加熱も行なう加熱であることが好ましい。 The microwave irradiating means 20 irradiates the inside of the container 10 with microwaves. The microwave irradiation means 20 is attached to, for example, the container 10. The microwave irradiation means 20 performs a first microwave irradiation for heating the heat generating member 30 and a second microwave irradiation for heating the object 2 to be processed. Note that heating the heat generating member 30 may mean, for example, heating only the heat generating member 30, or heating the heat generating member 30 more strongly than the object 2 to be processed. Further, heating the object to be processed 2 may mean, for example, heating only the object to be processed 2 or heating the object to be processed 2 more strongly than the heat generating member 30. However, it is preferable that the first microwave irradiation is heating that also heats the object 2 to be treated.

第一のマイクロ波照射とは、例えば、マイクロ波照射による発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなるマイクロ波照射である。第一のマイクロ波照射は、発熱部材３０の発熱が支配的となるマイクロ波照射と考えてもよい。ここでの発熱は、例えば、発熱量と考えてもよい。また、ここでの発熱部材３０の発熱は、処理対象物２が、マイクロ波によって発熱した発熱部材３０から受取る熱量と考えてもよい。 The first microwave irradiation is, for example, microwave irradiation in which the heat generated by the heat generating member 30 due to the microwave irradiation becomes larger than the heat generated by the object 2 to be processed. The first microwave irradiation may be considered as microwave irradiation in which the heat generated by the heat generating member 30 is dominant. The heat generated here may be considered as, for example, the amount of heat generated. Further, the heat generated by the heat generating member 30 here may be considered as the amount of heat received by the processing object 2 from the heat generating member 30 generated by the microwave.

第二のマイクロ波照射とは、例えば、マイクロ波照射による処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも大きくなるマイクロ波の照射である。第二のマイクロ波照射は、処理対象物２の発熱が支配的となるマイクロ波の照射と考えてもよい。ここでの発熱は、処理対象物２が、マイクロ波によって直接受取る熱量や加熱量と考えてもよい。 The second microwave irradiation is, for example, microwave irradiation in which the heat generated by the object 2 to be processed by the microwave irradiation becomes larger than the heat generated by the heat generating member 30. The second microwave irradiation may be considered as microwave irradiation in which the heat generation of the object 2 to be processed is dominant. The heat generated here may be considered as the amount of heat or the amount of heat directly received by the object 2 to be treated by the microwave.

本実施の形態においては、マイクロ波照射手段２０が、第一のマイクロ波照射を行なう１または２以上の第一照射部２０１と、第二のマイクロ波照射を行なう１または２以上の第二照射部２０２とを有している場合について説明する。 In the present embodiment, the microwave irradiation means 20 has one or two or more first irradiation units 201 that perform the first microwave irradiation and one or two or more second irradiation units that perform the second microwave irradiation. A case where the unit 202 is provided will be described.

第一照射部２０１は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられている部分に対してマイクロ波を照射することで、発熱部材３０を加熱する第一のマイクロ波照射を行なう。つまり、第一照射部２０１が行なう第一のマイクロ波照射は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられている部分に対するマイクロ波の照射である。なお、第一のマイクロ波照射においては、処理対象物２においても発熱も起こるようにすることが好ましい。例えば、第一照射部２０１が行なう第一のマイクロ波照射は、照射されたマイクロ波の一部の吸収による発熱部材３０の発熱と、発熱部材３０を透過したマイクロ波の一部の吸収による処理対象物２の発熱とが起こるマイクロ波照射であって、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなるマイクロ波照射である。第一のマイクロ波照射は、発熱部材３０の発熱による処理対象物２に対する外側からの加熱が、発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物の直接加熱よりも高くなるような発熱部材３０に対するマイクロ波の照射である。例えば、発熱部材３０の材質や厚さ等は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波および発熱部材３０を透過したマイクロ波によって、処理対象物２等が上記のように加熱されるように設定することが好ましい。 The first irradiation unit 201 irradiates the portion of the moving path 2a of the object to be processed 2 where the heat generating member 30 is provided with microwaves to heat the heat generating member 30. Do it. That is, the first microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 is the irradiation of the microwave on the portion of the moving path 2a of the object to be processed 2 where the heat generating member 30 is provided. In the first microwave irradiation, it is preferable that heat is also generated in the object 2 to be treated. For example, the first microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 is a process of generating heat of the heat generating member 30 by absorbing a part of the irradiated microwave and absorbing a part of the microwave transmitted through the heat generating member 30. This is microwave irradiation in which heat generation of the object 2 occurs, and the heat generation of the heat generating member 30 is larger than the heat generation of the object 2 to be processed. The first microwave irradiation is applied to the heat generating member 30 such that the heating from the outside to the processing object 2 due to the heat generated by the heat generating member 30 is higher than the direct heating of the processing object by the microwave transmitted through the heat generating member 30. Irradiation of microwaves. For example, the material and thickness of the heat generating member 30 are set so that the object to be processed 2 and the like are heated as described above by the microwave absorbed by the heat generating member 30 and the microwave transmitted through the heat generating member 30. Is preferable.

また、第二照射部２０２は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対してマイクロ波を照射することで、処理対象物２を加熱する第二のマイクロ波照射を行なう。つまり、第二照射部２０２が行なう第二のマイクロ波照射は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対するマイクロ波の照射である。第二照射部２０２が行なう第二のマイクロ波照射においては、マイクロ波を照射する位置に発熱部材３０が設けられていないため、発熱部材３０等の発熱によって、処理対象物２が外側から加熱されることがない。これにより、マイクロ波照射による処理対象物２の直接加熱が、マイクロ波照射された発熱部材３０等による処理対象物２の外側からの加熱よりも高くなる。 Further, the second irradiation unit 202 heats the processing object 2 by irradiating the portion of the movement path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is not provided with microwaves. Irradiate with waves. That is, the second microwave irradiation performed by the second irradiation unit 202 is the irradiation of the microwave on the portion of the movement path 2a of the object to be processed 2 where the heat generating member 30 is not provided. In the second microwave irradiation performed by the second irradiation unit 202, since the heat generating member 30 is not provided at the position where the microwave is irradiated, the heat generation member 30 or the like heats the object 2 to be treated from the outside. There is no such thing. As a result, the direct heating of the object 2 to be processed by the microwave irradiation becomes higher than the heating from the outside of the object 2 to be processed by the heat generating member 30 or the like irradiated with the microwave.

なお、以下、本実施の形態においては、一例として、図１に示すように、マイクロ波処理装置１が、３つの第一照射部２０１と３つの第二照射部２０２とを有している場合を例に挙げて示しているが、それぞれの数は問わない。ここでは、説明の便宜上、３つの第一照射部２０１を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、第一照射部２０１ａ～２０１ｃと表し、３つの第二照射部２０２を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、第二照射部２０２ａ～２０２ｃと表している。マイクロ波照射手段２０が有する１または２以上の第一照射部２０１と１または２以上の第二照射部２０２は、マイクロ波の出力（例えば、ワット数等）を個別に変更可能なものであることが好ましい。例えば、第一照射部２０１および第二照射部２０２は、後述する制御手段５０からの制御信号等に応じて出力が制御される。なお、図１に示すように、複数の発熱部材３０が配列されているマイクロ波処理装置１においては、第一照射部２０１は、各発熱部材３０にマイクロ波を直接照射可能な位置に１以上ずつ設けることが好ましく、第二照射部２０２は、例えば、各発熱部材３０間の領域、最も入口１０１ａ側の発熱部材３０と入口１０１ａとの間の領域、および最も出口１０１ｂ側の発熱部材３０と出口１０１ｂとの間の領域のうちの少なくとも１以上の領域のそれぞれに対して、マイクロ波を直接照射可能な位置に１以上ずつ設けることが好ましい。 Hereinafter, in the present embodiment, as an example, as shown in FIG. 1, the microwave processing device 1 has three first irradiation units 201 and three second irradiation units 202. Is shown as an example, but the number of each does not matter. Here, for convenience of explanation, the three first irradiation units 201 are referred to as the first irradiation units 201a to 201c in order from the inlet 101a side of the container 10, and the three second irradiation units 202 are referred to as the inlet 101a of the container 10. In order from the side, it is represented as the second irradiation unit 202a to 202c. The 1 or 2 or more first irradiation unit 201 and the 1 or 2 or more second irradiation unit 202 included in the microwave irradiation means 20 can individually change the microwave output (for example, wattage). Is preferable. For example, the output of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 is controlled according to a control signal or the like from the control means 50 described later. As shown in FIG. 1, in the microwave processing device 1 in which a plurality of heat generating members 30 are arranged, the first irradiation unit 201 is one or more at a position where each heat generating member 30 can be directly irradiated with microwaves. The second irradiation unit 202 is preferably provided, for example, with a region between the heat generating members 30, a region between the heat generating member 30 on the most inlet 101a side and the inlet 101a, and a heat generating member 30 on the outlet 101b side. It is preferable to provide one or more at a position where microwaves can be directly irradiated for each of at least one or more regions of the region between the outlet and the outlet 101b.

各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、例えば、マイクロ波発振器２００１と、マイクロ波発振器２００１が発生するマイクロ波を伝送して容器１０内にマイクロ波を照射する伝送部２００２とを備えている。マイクロ波発振器２００１は、どのようなマイクロ波発振器２００１であってもよく、例えば、マイクロトロンや、クライストロン、ジャイロトロン等であってもよく、半導体型発振器等であってもよい。各マイクロ波発振器２００１が出射するマイクロ波の周波数や強度等は問わない。各マイクロ波発振器２００１が出射するマイクロ波の周波数は、例えば、９１５ＭＨｚであっても良く、２．４５ＧＨｚであってもよく、５．８ＧＨｚであってもよく、その他の３００ＭＨｚから３００ＧＨｚの範囲内の周波数であっても良く、その周波数は問わない。伝送部２００２は、例えば、導波管や、マイクロ波を伝送する同軸ケーブル等である。 Each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 includes, for example, a microwave oscillator 2001 and a transmission unit 2002 that transmits the microwave generated by the microwave oscillator 2001 and irradiates the container 10 with the microwave. ing. The microwave oscillator 2001 may be any microwave oscillator 2001, for example, a microwave oscillator, a klystron, a gyrotron, or the like, or a semiconductor type oscillator or the like. The frequency and intensity of the microwave emitted by each microwave oscillator 2001 are not limited. The frequency of the microwave emitted by each microwave oscillator 2001 may be, for example, 915 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz, and the other frequencies in the range of 300 MHz to 300 GHz. It may be a frequency, and the frequency does not matter. The transmission unit 2002 is, for example, a waveguide, a coaxial cable for transmitting microwaves, or the like.

各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、例えば、容器１０に取付けられ、容器１０内にマイクロ波を照射する。例えば、各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、伝送部２００２のマイクロ波発振器２００１が取付けられていない端部が、容器１０の壁面等に設けられた開口部１０２に取付けられ、この開口部１０２を通じて、マイクロ波発振器２００１が出射して、伝送部２００２を伝送されたマイクロ波が、容器１０内に照射される。伝送部２００２の開口部１０２に取付けられる端部には、さらに、伝送部２００２を伝送されたマイクロ波を照射するためのアンテナ（図示せず）等を設けるようにしてもよい。また、開口部１０２は、マイクロ波透過性の高いＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素化ポリマー、ガラス、ゴム、およびナイロン等の材料の板等で塞がれていてもよい。第一照射部２０１および第二照射部２０２は、マイクロ波を容器１０内に照射可能なものであれば、上記以外のものであっても良い。 Each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 is attached to the container 10, for example, and irradiates the inside of the container 10 with microwaves. For example, in each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202, the end portion of the transmission unit 2002 to which the microwave oscillator 2001 is not attached is attached to the opening 102 provided in the wall surface or the like of the container 10. The microwave oscillator 2001 is emitted through the opening 102, and the microwave transmitted through the transmission unit 2002 is irradiated into the container 10. An antenna (not shown) for irradiating the microwave transmitted by the transmission unit 2002 may be further provided at the end portion attached to the opening 102 of the transmission unit 2002. Further, the opening 102 may be closed with a fluorinated polymer such as PTFE (polytetrafluoroethylene) having high microwave permeability, a plate of a material such as glass, rubber, or nylon. The first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 may be other than the above as long as they can irradiate the inside of the container 10 with microwaves.

各第一照射部２０１は、容器１０内の、処理対象物２の移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている部分に対してマイクロ波が照射されるよう、容器１０に取付けられている。ここでの部分とは領域と考えてもよい。例えば、各第一照射部２０１の伝送部２００２の端部が、容器１０の壁面の、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている部分に対面する位置に設けられた開口部１０２にそれぞれ取付けられている。ここでは、一の発熱部材３０が配置されている部分について設けられた一の開口部１０２に、一つの第一照射部２０１が設けられている例を示しているが、複数の第一照射部２０１が、一の発熱部材３０が配置されている部分について設けられた複数の開口部１０２にそれぞれ取付けられていてもよい。 Each first irradiation unit 201 is attached to the container 10 so that microwaves are irradiated to a portion of the container 10 in which each heat generating member 30 of the movement path 2a of the object to be processed 2 is arranged. .. The part here may be considered as an area. For example, the end of the transmission unit 2002 of each first irradiation unit 201 is provided in the opening 102 on the wall surface of the container 10 at a position facing the portion of the movement path 2a where the heat generating members 30 are arranged. It is installed. Here, an example is shown in which one first irradiation unit 201 is provided in one opening 102 provided for a portion in which one heat generating member 30 is arranged, but a plurality of first irradiation units are shown. 201 may be attached to each of a plurality of openings 102 provided for a portion where one heat generating member 30 is arranged.

各第二照射部２０２は、容器１０内の、処理対象物２の移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されてない部分に対してマイクロ波が照射されるよう、容器１０に取付けられている。具体的には、複数の各第二照射部２０２は、発熱部材３０同士の間の部分と、移動経路２ａの最も後方に配置された発熱部材３０と容器１０の出口１０１ｂとの間の部分とに対してそれぞれマイクロ波が照射されるよう取付けられている。例えば、各第二照射部２０２の伝送部２００２の端部が、容器１０の壁面の、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない部分に対面する位置に設けられた開口部１０２にそれぞれ取付けられている。ここでは、発熱部材３０が設けられていない一の部分に対して設けられた一の開口部１０２に、１つの第一照射部２０１が設けられている例を示しているが、複数の第一照射部２０１が、発熱部材３０が設けられていない一の部分について設けられた複数の開口部１０２にそれぞれ取付けられていてもよい。 Each second irradiation unit 202 is attached to the container 10 so that microwaves are irradiated to a portion of the container 10 in which the heat generating member 30 of the movement path 2a of the object to be processed 2 is not arranged. .. Specifically, each of the plurality of second irradiation units 202 includes a portion between the heat generating members 30 and a portion between the heat generating member 30 arranged at the rearmost position of the movement path 2a and the outlet 101b of the container 10. It is attached so that each of them is irradiated with microwaves. For example, the end of the transmission unit 2002 of each second irradiation unit 202 is attached to the opening 102 provided at a position facing the portion of the wall surface of the container 10 where the heat generating member 30 of the movement path 2a is not provided. Has been done. Here, an example is shown in which one first irradiation unit 201 is provided in one opening 102 provided for one portion in which the heat generating member 30 is not provided, but a plurality of first irradiation units 201 are provided. The irradiation unit 201 may be attached to a plurality of openings 102 provided for one portion where the heat generating member 30 is not provided.

ここでは、各第一照射部２０１および第二照射部２０２が照射するマイクロ波は、同じ周波数のマイクロ波であるとする。ただし、複数の第一照射部２０１および複数の第二照射部２０２のうちの１以上が、他と異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。 Here, it is assumed that the microwaves irradiated by the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 are microwaves having the same frequency. However, one or more of the plurality of first irradiation units 201 and the plurality of second irradiation units 202 may irradiate microwaves having a frequency different from the others.

容器１０内には、処理対象物の状況や、容器内の状況等の情報を取得する１以上のセンサ４０が設けられている。センサ４０は、どのような状況の情報を取得するセンサであってもよい。例えば、容器内の温度の情報を取得する温度センサであってもよく、容器内の湿度の情報等を取得する湿度センサ等であってもよい。あるいはマイクロ波による内部での放電を検知するセンサ等であってもよい。 In the container 10, one or more sensors 40 for acquiring information such as the status of the object to be processed and the status in the container are provided. The sensor 40 may be a sensor that acquires information on any situation. For example, it may be a temperature sensor that acquires information on the temperature inside the container, or it may be a humidity sensor or the like that acquires information on the humidity inside the container. Alternatively, it may be a sensor or the like that detects an internal discharge due to microwaves.

ここでは、センサ４０が放射温度計であり、容器１０内に、６つのセンサ４０が設置されている場合を例に挙げて説明する。ここでは、説明の便宜上、６つのセンサ４０を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、センサ４０ａ～４０ｆと表している。放射温度計とは、物体から放射される赤外線や可視光線の強度を測定することで物体の温度を測定する温度計である。ここでは、放射温度計であるセンサ４０ａ～４０ｃは、各発熱部材３０が設けられている領域から出る直前の処理対象物２の温度を測定するために、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられている領域内の、出口１０１ｂ側の近傍となる位置に設置されている。具体的には、センサ４０ａ～４０ｃは、それぞれ、水平方向の位置が発熱部材３０ａ～３０ｃの出口１０１ｂ側近傍となるよう容器１０に取付けられている。なお、ここでは、図示していないが、一例として、発熱部材３０ａ～３０ｃの、センサ４０ａ～４０ｃと、処理対象物２との間となる部分には、処理対象物２の温度を検出できるようにするための水平方向に伸びるスリット等の開口部が設けられているものとする。また、残りの放射温度計であるセンサ４０ｄ～４０ｆは、各発熱部材３０が設けられていない領域から出る直前の処理対象物２の温度を測定するために、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない領域内の、出口１０１ｂ側の近傍となる位置に設置されている。具体的には、センサ４０ｄ～４０ｅは、それぞれ、容器１０の、水平方向の位置が、各発熱部材３０ｂ～３０ｃよりも処理対象物２の移動方向において手前となる位置に取付けられており、センサ４０ｆは、出口１０１ｂの手前となる位置に取付けられている。ここではセンサ４０は、例えば、処理対象物２から、移動経路２ａに対して直交する方向に放射される赤外線等の強度を測定して、温度の情報を取得する。ただし、センサ４０が取付けられている位置は、他の位置であってもよい。センサ４０は、例えば、容器１０の壁面に設けられた開口部等に取付けられている。なお、前駆体繊維は、例えば、何千本の繊維が撚られて厚さが１ｍｍ程度の一本の繊維となっているため、処理対象物２が前駆体繊維である場合、その表面温度は、前駆体繊維の内部の温度と同じとみなしてもよい。 Here, a case where the sensor 40 is a radiation thermometer and six sensors 40 are installed in the container 10 will be described as an example. Here, for convenience of explanation, the six sensors 40 are represented as sensors 40a to 40f in order from the inlet 101a side of the container 10. A radiation thermometer is a thermometer that measures the temperature of an object by measuring the intensity of infrared rays or visible light emitted from the object. Here, the sensors 40a to 40c, which are radiation thermometers, are provided with the heat generating member 30 of the moving path 2a in order to measure the temperature of the object to be processed 2 immediately before leaving the region where the heat generating member 30 is provided. It is installed at a position in the vicinity of the exit 101b side in the area where the heat is generated. Specifically, the sensors 40a to 40c are attached to the container 10 so that their horizontal positions are close to the outlet 101b side of the heat generating members 30a to 30c, respectively. Although not shown here, as an example, the temperature of the object to be processed 2 can be detected in the portion of the heat generating members 30a to 30c between the sensors 40a to 40c and the object to be processed 2. It is assumed that an opening such as a slit extending in the horizontal direction is provided for the purpose. Further, the sensors 40d to 40f, which are the remaining radiation thermometers, are provided with the heat generating member 30 of the moving path 2a in order to measure the temperature of the object to be processed 2 immediately before leaving the region where the heat generating member 30 is not provided. It is installed at a position near the exit 101b side in the area not covered. Specifically, the sensors 40d to 40e are mounted at positions where the horizontal position of the container 10 is in front of the heat generating members 30b to 30c in the moving direction of the object 2 to be processed. The 40f is attached at a position in front of the outlet 101b. Here, the sensor 40, for example, measures the intensity of infrared rays or the like emitted from the object 2 to be processed in a direction orthogonal to the movement path 2a, and acquires temperature information. However, the position where the sensor 40 is attached may be another position. The sensor 40 is attached to, for example, an opening provided in the wall surface of the container 10. As the precursor fiber, for example, thousands of fibers are twisted to form a single fiber having a thickness of about 1 mm. Therefore, when the object 2 to be treated is a precursor fiber, the surface temperature thereof is determined. It may be regarded as the same as the temperature inside the precursor fiber.

制御手段５０は、マイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波を制御する。例えば、制御手段５０は、マイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波の出力を制御する。例えば、制御手段５０は、センサ４０が取得する情報に応じてマイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波の出力を制御する。 The control means 50 controls the microwave irradiated by the microwave irradiation means 20. For example, the control means 50 controls the output of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 20. For example, the control means 50 controls the output of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 20 according to the information acquired by the sensor 40.

ここでは、具体的には、制御手段５０は、各発熱部材３０が配置されている領域の出口１０１ｂ側に配置されているセンサ４０が取得する温度の情報を用いて、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている領域に対してマイクロ波を照射する第一照射部２０１が照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御する。また、制御手段５０は、各発熱部材３０が配置されていない領域の出口１０１ｂ側に配置されているセンサ４０が取得する温度の情報を用いて、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されていない領域に対してマイクロ波を照射する第二照射部２０２が照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御する。ここでの発熱部材３０が配置されている領域や発熱部材３０が配置されていない領域とは、例えば、移動経路２ａに対して垂直な仮想の面で区切られた領域である。例えば、センサ４０ａが取得する温度が、第一の閾値よりも高い場合、制御手段５０は、対応する第二照射部２０２ａが照射するマイクロ波の出力を下げ、第二の閾値よりも低い場合は、照射するマイクロ波の出力を上げる。ここでの第一閾値は、第二の閾値よりも高い値であるとする。 Here, specifically, the control means 50 uses the temperature information acquired by the sensor 40 arranged on the outlet 101b side of the region where each heat generating member 30 is arranged to generate heat in each of the moving paths 2a. The output of the microwave irradiated by the first irradiation unit 201 that irradiates the region where the member 30 is arranged with the microwave is feedback-controlled. Further, the control means 50 arranges each heat generating member 30 of the moving path 2a by using the temperature information acquired by the sensor 40 arranged on the outlet 101b side of the region where each heat generating member 30 is not arranged. The output of the microwave irradiated by the second irradiation unit 202 that irradiates the microwave to the non-existing region is feedback-controlled. The region where the heat generating member 30 is arranged and the region where the heat generating member 30 is not arranged are, for example, regions separated by a virtual surface perpendicular to the movement path 2a. For example, when the temperature acquired by the sensor 40a is higher than the first threshold value, the control means 50 lowers the output of the microwave irradiated by the corresponding second irradiation unit 202a, and when it is lower than the second threshold value. , Increase the output of the irradiating microwave. It is assumed that the first threshold value here is a value higher than the second threshold value.

なお、制御手段５０が行なう制御は、フィードバック制御以外の制御であってもよい。また、制御手段５０が、どのセンサ４０が取得する情報に応じて、どの照射部の出力を制御するかは問わない。例えば、制御手段５０は、複数のセンサ４０の出力に応じて、１以上の照射部の出力を制御してもよい。また、制御手段５０は、１のセンサ４０の出力に応じて、複数の照射部の出力を制御してもよい。 The control performed by the control means 50 may be a control other than the feedback control. Further, it does not matter which sensor 40 controls the output of which irradiation unit according to the information acquired by the control means 50. For example, the control means 50 may control the output of one or more irradiation units according to the output of the plurality of sensors 40. Further, the control means 50 may control the output of a plurality of irradiation units according to the output of one sensor 40.

また、１以上のセンサ４０により、１以上の発熱部材３０や、一の発熱部材３０の異なる位置における温度等の、発熱部材３０の状況を示す情報を取得し、この状況を示す情報を用いて、制御部５０が、１以上の照射部の出力を制御（例えば、フィードバック制御等）してもよい。例えば、各発熱部材３０の温度の情報を取得する各センサ４０が取得した各発熱部材３０の温度の情報を用いて、各発熱部材３０に対してそれぞれ行なわれる第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御してもよい。 Further, by using one or more sensors 40, information indicating the status of the heat generating member 30, such as the temperature at one or more heat generating members 30 and the temperature at different positions of the one heat generating member 30, is acquired, and the information indicating this status is used. , The control unit 50 may control the output of one or more irradiation units (for example, feedback control or the like). For example, using the temperature information of each heat generating member 30 acquired by each sensor 40 that acquires the temperature information of each heat generating member 30, it is used for the first microwave irradiation performed on each heat generating member 30. The output of the microwave may be feedback-controlled.

また、センサ４０の一部を、発熱部材３０の、第一のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第一のセンサとして設け、センサ４０の一部を、処理対象物２の、第二のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第二のセンサとして設け、制御手段５０が、第一のセンサが取得する温度の情報を用いて、第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御し、第二のセンサが取得する温度の情報を用いて、第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしてもよい。例えば、発熱部材３０ａ～３０ｃの、センサ４０ａ～４０ｃと処理対象物２との間となる部分にスリット等を設けないようにして、第一のセンサであるセンサ４０ａ～４０ｃが発熱部材３０ａ～３０ｃの温度の情報を取得するようにし、制御手段５０が、センサ４０ａ～４０ｃがそれぞれ取得した発熱部材３０ａ～３０ｃの温度の情報を用いて、第一照射部２０１ａ～２０１ｃがそれぞれ照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するとともに、第二のセンサ４０ｄ～４０ｆがそれぞれ取得した発熱部材３０が設けられていない領域の処理対象物２の温度の情報を用いて、第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしてもよい。このようにすることで、第一のマイクロ波照射による発熱部材３０の加熱と、第二のマイクロ波照射による処理対象物２の加熱とを適切に制御することが可能となる。 Further, a part of the sensor 40 is provided as a first sensor for acquiring information on the temperature of the part of the heat generating member 30 where the first microwave irradiation is performed, and a part of the sensor 40 is used for the object 2 to be processed. , The second sensor is provided as a second sensor to acquire the temperature information of the portion where the second microwave irradiation is performed, and the control means 50 uses the temperature information acquired by the first sensor to irradiate the first microwave. The output of the microwave used in the second sensor may be feedback-controlled, and the output of the microwave used for the second microwave irradiation may be feedback-controlled by using the temperature information acquired by the second sensor. For example, the sensors 40a to 40c, which are the first sensors, are the heat generating members 30a to 30c so that the portions of the heat generating members 30a to 30c between the sensors 40a to 40c and the object 2 to be processed are not provided with a slit or the like. The control means 50 uses the temperature information of the heat generating members 30a to 30c acquired by the sensors 40a to 40c to acquire the information on the temperature of the first irradiation unit 201a to 201c, respectively. In addition to controlling the output by feedback, the second irradiation units 202a to 202c irradiate using the temperature information of the processing object 2 in the region where the heat generating member 30 acquired by the second sensors 40d to 40f is not provided. The output of the microwave may be feedback-controlled. By doing so, it becomes possible to appropriately control the heating of the heat generating member 30 by the first microwave irradiation and the heating of the processing object 2 by the second microwave irradiation.

搬送手段６０は、容器１０内において処理対象物２を搬送する手段である。搬送手段６０は、容器１０内に設けられていてもよく、容器１０外に設けられていてもよい。ここでは、一例として、搬送手段６０が、容器１０の入口１０１ａ側において、処理対象物２である前駆体繊維が巻付けられたリール６１を回転可能に保持する保持部６２と、処理対象物２の移動方向を変更して、処理対象物２を入口１０１ａから容器１０内に送り込むローラ６３と、容器１０の出口１０１ｂから出てくる処理対象物２の移動方向を変更するローラ６４と、ローラ６４で移動方向が変更された処理対象物２を巻き取る巻き取り部６５とを備えている場合を示している。ただし、搬送手段６０としてどのような搬送手段を用いてもよい。また、複数の処理対象物２を、容器１０内に移動させる場合、複数の搬送手段６０を有していても良い。 The transport means 60 is a means for transporting the object 2 to be processed in the container 10. The transport means 60 may be provided inside the container 10 or may be provided outside the container 10. Here, as an example, the transport means 60 has a holding portion 62 that rotatably holds the reel 61 around which the precursor fiber, which is the object to be processed 2, is wound, and the object to be processed 2 on the inlet 101a side of the container 10. A roller 63 that changes the moving direction of the object 2 to be sent into the container 10 from the inlet 101a, a roller 64 that changes the moving direction of the processing object 2 coming out of the outlet 101b of the container 10, and a roller 64. The case where the winding unit 65 for winding the processing object 2 whose movement direction has been changed is provided is shown. However, any transport means may be used as the transport means 60. Further, when moving a plurality of objects 2 to be processed into the container 10, a plurality of transport means 60 may be provided.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１を用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図１に示したマイクロ波処理装置１を用いて説明を行なう。処理対象物２は、例えば、幅５～１０ｍｍ程度、厚さ１ｍｍ～２ｍｍ程度の前駆体繊維である。照射するマイクロ波としては、例えば、周波数が、９１５ＭＨｚまたは２．４５ＧＨｚであり、出力が６～２０ＫＷのものが用いられる。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment will be described with reference to specific examples. Here, a case where the PAN-based precursor fiber, which is the object to be treated 2, is subjected to the flame-resistant treatment by using the microwave processing apparatus 1 will be described as an example. Here, in order to simplify the explanation, the microwave processing apparatus 1 shown in FIG. 1 will be used for the explanation. The object 2 to be treated is, for example, a precursor fiber having a width of about 5 to 10 mm and a thickness of about 1 mm to 2 mm. As the microwave to be irradiated, for example, a microwave having a frequency of 915 MHz or 2.45 GHz and an output of 6 to 20 kW is used.

まず、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維を、その一端側が、入口１０１ａから容器１０内に入り、円筒形状の発熱部材３０ａ～３０ｃのそれぞれの内側を通って、出口１０１ｂから容器１０の外にでるよう、搬送手段６０にセットする。そして、搬送手段６０により、処理対象物２を容器１０内で移動させる。搬送手段６０の搬送速度は、例えば、予め決められた速度に制御する。また、第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃからマイクロ波の照射を開始する。なお、ここでは、第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波の周波数は同じ周波数（例えば、２．４５ＧＨｚ）であるとする。搬送手段６０の搬送速度は、例えば、制御手段５０や図示しない制御手段等により、予め決められた速度に制御する。制御手段５０は、各第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波が、予め個別に決められた出力のマイクロ波を照射するよう、各第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃを制御する。 First, one end of the PAN-based precursor fiber, which is the object to be treated 2, enters the container 10 from the inlet 101a, passes through the inside of each of the cylindrical heat-generating members 30a to 30c, and passes from the outlet 101b to the container 10. Set it in the transport means 60 so that it goes out. Then, the object 2 to be processed is moved in the container 10 by the transport means 60. The transport speed of the transport means 60 is controlled to, for example, a predetermined speed. Further, microwave irradiation is started from the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c. Here, it is assumed that the frequencies of the microwaves irradiated by the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c are the same frequency (for example, 2.45 GHz). The transport speed of the transport means 60 is controlled to a predetermined speed by, for example, a control means 50, a control means (not shown), or the like. In the control means 50, each of the first irradiation units 201a to 201c so that the microwaves irradiated by the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c irradiate the microwaves of the output determined individually in advance. The 201c and the second irradiation units 202a to 202c are controlled.

処理対象物２の入口１０１ａから容器１０内に入り、発熱部材３０の内側に入った部分は、第一照射部２０１が照射するマイクロ波の一部を吸収することによって発熱する発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱されるとともに、第一照射部２０１から照射されたマイクロ波のうちの発熱部材３０で吸収されずに透過したマイクロ波によって直接加熱される。ここでは、例えば、第一照射部２０１ａ～２０１ｃが照射するマイクロ波を、発熱部材３０ａ～３０ｃが吸収することによって起こる発熱量が、発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱量よりも十分大きくなるような材質や厚さに設定しているとすると、この発熱部材３０の内側の領域においては、処理対象物２に対する加熱は、発熱部材３０を透過したマイクロ波による直接加熱よりも、発熱部材３０による外部からの加熱の方が強くなる。なお、第一照射部２０１ａ～２０１ｃから照射されるマイクロ波の出力は、センサ４０ａ～４０ｃがそれぞれ取得する処理対象物２の温度に応じてフィードバック制御され、処理対象物２が所望の範囲の温度となるよう制御される。 The portion that enters the container 10 from the inlet 101a of the object 2 to be processed and enters the inside of the heat generating member 30 is from the heat generating member 30 that generates heat by absorbing a part of the microwave irradiated by the first irradiation unit 201. It is heated from the outside by radiant heat, and is directly heated by the microwave that has passed through without being absorbed by the heat generating member 30 among the microwaves irradiated from the first irradiation unit 201. Here, for example, the amount of heat generated by the heat generating members 30a to 30c absorbing the microwaves irradiated by the first irradiation units 201a to 201c is the amount of heat generated by the microwaves transmitted through the heat generating member 30. Assuming that the material and thickness are set to be sufficiently larger than those of the heat generating member 30, in the inner region of the heat generating member 30, the heating of the object 2 to be treated is more than the direct heating by the microwave transmitted through the heat generating member 30. However, the heating from the outside by the heat generating member 30 becomes stronger. The output of the microwave emitted from the first irradiation units 201a to 201c is feedback-controlled according to the temperature of the processing object 2 acquired by the sensors 40a to 40c, respectively, and the temperature of the processing object 2 is in a desired range. Is controlled to be.

処理対象物２の発熱部材３０の内側に入っていた部分が外側に出ると、発熱部材３０の直後の発熱部材３０が設けられていない領域に入り、発熱部材３０を介さずに第二照射部２０２からマイクロ波の照射を受け、マイクロ波によって発熱する。すなわち、マイクロ波で直接加熱される。この発熱部材３０が設けられていない領域においては、発熱部材３０の発熱による処理対象物の加熱が行われないため、マイクロ波による直接加熱が、発熱部材３０等による外部からの加熱よりも強くなる。なお、第二照射部２０２ａ～２０２ｃから照射されるマイクロ波の出力は、センサ４０ｄ～４０ｆがそれぞれ取得する処理対象物２の温度に応じてフィードバック制御され、処理対象物２が所望の範囲の温度となるよう制御される。 When the portion of the object 2 to be processed that has been inside the heat generating member 30 goes out, it enters a region immediately after the heat generating member 30 where the heat generating member 30 is not provided, and the second irradiation unit does not go through the heat generating member 30. It is irradiated with microwaves from 202 and generates heat by the microwaves. That is, it is directly heated by microwaves. In the region where the heat generating member 30 is not provided, the object to be processed is not heated by the heat generated by the heat generating member 30, so that the direct heating by the microwave is stronger than the heating from the outside by the heat generating member 30 or the like. .. The output of the microwave emitted from the second irradiation units 202a to 202c is feedback-controlled according to the temperature of the processing object 2 acquired by the sensors 40d to 40f, respectively, and the temperature of the processing object 2 is in a desired range. Is controlled to be.

このようにして、第一照射部２０１および第二照射部２０２により、容器１０内を移動する処理対象物２に対して、発熱部材３０からの加熱が強い加熱と、マイクロ波照射による直接加熱が強い加熱とを適宜切り替えて行うことができる。これにより、例えば、処理対象物２に対する外側からの加熱と、処理対象物２への直接加熱とを適宜切り替えて、処理対象物２を外側からの加熱や直接加熱とが偏らないよう均等に加熱すること等が可能となる。 In this way, the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 perform strong heating from the heat generating member 30 and direct heating by microwave irradiation for the processing object 2 moving in the container 10. It can be switched between strong heating and heating as appropriate. Thereby, for example, heating from the outside to the object to be treated 2 and direct heating to the object to be processed 2 are appropriately switched, and the object to be processed 2 is heated evenly so that the heating from the outside and the direct heating are not biased. It becomes possible to do such things.

特に、耐炎化処理が行なわれていないＰＡＮ系前駆体繊維においては、マイクロ波が吸収されにくいため、第一照射部２０１によって発熱部材３０をマイクロ波照射によって加熱している際にも、発熱部材３０を透過したマイクロ波によって、処理対象物２を直接加熱することで、第二照射部２０２によって処理対象物２を加熱する時間を削減することができる。 In particular, in the PAN-based precursor fiber that has not been flame-resistant, microwaves are difficult to be absorbed, so that even when the heat-generating member 30 is heated by the microwave irradiation by the first irradiation unit 201, the heat-generating member By directly heating the object 2 to be processed by the microwave transmitted through 30, the time for heating the object 2 to be processed by the second irradiation unit 202 can be reduced.

また、加熱によって処理対象物２がある温度に達すると、処理対象物２の発熱がピークに達し、処理対象物２が急激に発熱して、処理対象物２が炭化したりして、所望の処理が行えなくなる場合がある。例えば、加熱によって処理対象物２である前駆体繊維がある温度に達すると、酸化によって前駆体繊維の発熱がピークに達して、前駆体繊維が炭化してしまう場合がある。特に、第二のマイクロ波照射によって処理対象物２を直接加熱によって強く加熱する場合、熱効率がよく、また発熱箇所が一箇所に集中したりすることにより、発熱のピークの直前の温度から短時間で発熱のピークとなる温度まで加熱されるため、発熱のピークの前後における加熱のコントロールが困難となる。このため、第二のマイクロ波照射を行なって処理対象物を加熱している場合において、処理対象物２の温度が発熱のピークとなる温度の手前の温度になった時点で、第二のマイクロ波照射から第一のマイクロ波照射に切替わるように発熱部材３０を配置することで、処理対象物２の加熱を、発熱部材３０からの輻射熱による加熱として、急速な加熱を抑えて、炭化等を抑えることが可能となる。 Further, when the treatment target 2 reaches a certain temperature by heating, the heat generation of the treatment target 2 reaches a peak, the treatment target 2 rapidly generates heat, and the treatment target 2 is carbonized, which is desired. Processing may not be possible. For example, when the precursor fiber, which is the object to be treated 2, reaches a certain temperature by heating, the heat generation of the precursor fiber reaches a peak due to oxidation, and the precursor fiber may be carbonized. In particular, when the object 2 to be treated is strongly heated by direct heating by the second microwave irradiation, the heat efficiency is good and the heat generation points are concentrated in one place, so that the temperature immediately before the peak of heat generation is short. Since it is heated to the temperature at which the heat generation peaks, it becomes difficult to control the heating before and after the heat generation peak. Therefore, in the case where the object to be treated is heated by irradiating the second microwave, when the temperature of the object 2 to be processed reaches the temperature before the temperature at which the heat generation peaks, the second micro is used. By arranging the heat generating member 30 so as to switch from the wave irradiation to the first microwave irradiation, the heating of the object to be treated 2 is heated by the radiant heat from the heat generating member 30, and rapid heating is suppressed, carbonization, etc. Can be suppressed.

例えば、図１に示すようなマイクロ波処理装置１のように、処理対象物２を容器１０内において移動させて加熱する場合、移動速度と、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や、配置、出力等により、処理対象物２がどの位置に達した時点で、発熱のピークとなるかを予め知ることができる。この位置は実験等で検出してもよい。このため、例えば、処理対象物２の移動経路２ａの、処理対象物２の温度が、発熱のピークとなる位置や、この位置およびその前後を覆う位置に発熱部材３０を配置し、この発熱部材３０に対して第一照射部２０１からマイクロ波を照射することにより、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、この発熱のピークとなる位置を含まない位置においては、適宜、発熱部材３０を配置したり、配置しなかったりすることで、移動する処理対象物２に対する第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射との切替えを行なって、処理対象物２に対して均等な加熱や、所望の加熱を行なうことができる。なお、処理対象物の発熱のピークとなる温度は、例えば、ＴＧ－ＴＤＡ測定（熱重量・示差熱測定）等により測定可能である。 For example, when the object 2 to be processed is moved in the container 10 and heated as in the microwave processing device 1 as shown in FIG. 1, the moving speed and the number of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202. It is possible to know in advance at which position the object 2 to be processed reaches the peak of heat generation, depending on the arrangement, output, and the like. This position may be detected by an experiment or the like. Therefore, for example, the heat generating member 30 is arranged at a position where the temperature of the processing target object 2 becomes the peak of heat generation in the movement path 2a of the processing target object 2, or at a position covering this position and the front and back thereof, and the heat generating member. By irradiating 30 with microwaves from the first irradiation unit 201, it is possible to appropriately treat the object to be treated 2 while avoiding sudden heating when the object to be treated 2 reaches the peak of heat generation. It becomes. Further, in the position not including the position where the heat generation peak is included, by appropriately arranging or not arranging the heat generating member 30, the first microwave irradiation to the moving object 2 to be processed and the first microwave irradiation can be performed. By switching to the second microwave irradiation, it is possible to uniformly heat the object 2 to be treated or to perform desired heating. The temperature at which the heat generation of the object to be treated becomes the peak can be measured by, for example, TG-TDA measurement (thermogravimetric / differential thermal measurement) or the like.

なお、この具体例における発熱部材３０の数や、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や配置等は一例であり、発熱部材３０の数や、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や配置等は問わない。 The number of heat-generating members 30 and the number and arrangement of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 in this specific example are examples, and the number of heat-generating members 30 and the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 201 are examples. The number and arrangement of the parts 202 do not matter.

以上、本実施の形態においては、容器内において、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたので、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を発熱させることによる直接加熱との組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, in the present embodiment, since the first microwave irradiation for heating the heat generating member and the second microwave irradiation for heating the object to be treated are performed in the container, the microwave is used. The object to be processed can be appropriately processed. For example, appropriate heating is performed by controlling the combination and ratio of heating from the outside by a heat generating member heated by microwaves and direct heating by heating the object to be processed by microwaves. Can be done.

また、第一のマイクロ波照射を第一照射部２０１で行い、第二のマイクロ波照射を第二照射部２０２で行うことにより、第一のマイクロ波照射の出力と、第二のマイクロ波照射の出力を個別に制御することが可能となり、処理対象物に対する加熱を細かく制御することができ、高品質な処理結果を得ることができる。 Further, by performing the first microwave irradiation in the first irradiation unit 201 and the second microwave irradiation in the second irradiation unit 202, the output of the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed. It is possible to control the output of the device individually, and it is possible to finely control the heating of the object to be processed, and it is possible to obtain high-quality processing results.

なお、図２（ｄ）に示すように、発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部に、マイクロ波を透過させない非透過部３０３を設けるようにしてもよい。図２（ｄ）は、図２（ａ）で示した筒状の発熱部材３０の内側に、非透過部３０３を設けた発熱部材３０の例を示すための、処理対象物２の移動方向に沿った断面図である。発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部は、発熱部材３０の処理対象物２側の一部であることが好ましいが、発熱部材３０の処理対象物２側の全てであってもよい。発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部は、例えば、図２（ｄ）に示すように、円筒形状の発熱部材３０の内側の一部である。複数の発熱部材３０が容器１０内に設けられている場合、ここでの発熱部材３０の処理対象物２側の一部は、複数の発熱部材３０のうちの一以上の処理対象物側の全面であってもよい。非透過部３０３は、マイクロ波を透過させないとともに、熱伝導性のよい材質で構成することが好ましい。このような非透過部３０３の材質としては、例えば、グラファイトや金属等が利用可能である。なお、支持体３０２の一部の代わりに、非透過部３０３を用いてもよく、この場合も、発熱部材３０の処理対象物２側に非透過部３０３が設けられていると考えてもよい。このような非透過部３０３を設けることにより、非透過部３０３を設けた部分においては処理対象物２に対してマイクロ波が照射されないようにして、処理対象物２の直接加熱を行わないようにできるとともに、発熱部材３０の発熱により、処理対象物２を外側から加熱することができる。なお、他の実施の形態においても同様に発熱部材３０の少なくとも一部に非透過部を設けてもよい。 As shown in FIG. 2D, a non-transmissive portion 303 that does not transmit microwaves may be provided on at least a part of the heat generating member 30 on the side of the object to be processed 2. 2 (d) shows an example of the heat-generating member 30 in which the non-transmissive portion 303 is provided inside the tubular heat-generating member 30 shown in FIG. 2 (a) in the moving direction of the object to be processed 2. It is a cross-sectional view along. It is preferable that at least a part of the heat generating member 30 on the processing target 2 side is a part of the heat generating member 30 on the processing target 2 side, but it may be all on the processing target 2 side of the heat generating member 30. .. At least a part of the heat generating member 30 on the side of the object to be processed 2 is, for example, a part of the inside of the cylindrical heat generating member 30, as shown in FIG. 2 (d). When a plurality of heat generating members 30 are provided in the container 10, a part of the heat generating member 30 on the processing target side 2 is the entire surface of one or more of the heat generating members 30 on the processing target side. It may be. The non-transmissive portion 303 is preferably made of a material having good thermal conductivity while not transmitting microwaves. As the material of such a non-transmissive portion 303, for example, graphite, metal, or the like can be used. A non-transmissive portion 303 may be used instead of a part of the support 302, and in this case as well, it may be considered that the non-transmissive portion 303 is provided on the processing target 2 side of the heat generating member 30. .. By providing such a non-transmissive portion 303, the portion where the non-transmissive portion 303 is provided is prevented from being irradiated with microwaves, and the processing target object 2 is not directly heated. At the same time, the heat generation member 30 can heat the object 2 to be processed from the outside. Similarly, in other embodiments, a non-transmissive portion may be provided in at least a part of the heat generating member 30.

なお、上記において、発熱部材３０の厚さは均等な厚さであってもよく、均等な厚さでなくてもよい。発熱部材３０の厚さが均等な厚さでないということは、異なる厚さの部分が混在していることも含む概念である。発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さと考えてもよい。例えば、発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の長手方向や、処理対象物２の移動方向において均等な厚さであってもよく、均等な厚さでなくてもよい。例えば、容器１０内に複数の発熱部材３０が配置される場合、複数の発熱部材３０のうちの１以上（ただし、全部を除く）の厚さが、他の発熱部材３０とは異なる厚さであってもよい。この場合、複数の発熱部材３０のそれぞれの厚さは、長手方向や処理対象物２の移動方向において均一な厚さであってもよい。かかることは、以下においても同様である。 In the above, the thickness of the heat generating member 30 may be uniform and may not be uniform. The fact that the thickness of the heat generating member 30 is not uniform is a concept including the fact that portions having different thicknesses are mixed. The thickness of the heat generating member 30 may be considered as the thickness of the heating medium 301 of the heat generating member 30. For example, the thickness of the heat generating member 30 may be uniform in the longitudinal direction of the heat generating member 30 or in the moving direction of the object to be processed 2, and may not be uniform. For example, when a plurality of heat generating members 30 are arranged in the container 10, the thickness of one or more (but excluding all) of the plurality of heat generating members 30 is different from that of the other heat generating members 30. There may be. In this case, the thickness of each of the plurality of heat generating members 30 may be uniform in the longitudinal direction and the moving direction of the object to be processed 2. The same applies to the following.

例えば、上記の図１に示したようなマイクロ波処理装置において、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対して行なうマイクロ波照射を第二のマイクロ波照射とする代わりに、発熱部材３０が設けられていない１以上の部分に、発熱部材３０よりも厚さの薄い第二の発熱部材（図示せず）を設け、この第二の発熱部材に対して第二照射部２０２から行なうマイクロ波照射を、第二のマイクロ波照射としてもよい。第二の発熱部材の厚さを薄くすることで、照射されるマイクロ波の浸透深さが変化するため、第二の発熱部材の厚さを調節することで、第二の発熱部材に照射されるマイクロ波の第二の発熱部材による吸収を低減して、第二の発熱部材を透過するマイクロ波を増加させて、処理対象物２を第二の発熱部材よりも強く加熱することができる。また、この場合、第二の発熱部材の発熱によって、処理対象物２を外側からも加熱できる。 For example, in the microwave processing apparatus as shown in FIG. 1, the second microwave irradiation is performed on the portion of the moving path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is not provided. Instead, a second heat-generating member (not shown) having a thickness thinner than that of the heat-generating member 30 is provided in one or more portions where the heat-generating member 30 is not provided, and the second heat-generating member is provided with respect to the second heat-generating member. The microwave irradiation performed from the second irradiation unit 202 may be the second microwave irradiation. By reducing the thickness of the second heat-generating member, the penetration depth of the irradiated microwave changes, so by adjusting the thickness of the second heat-generating member, the second heat-generating member is irradiated. It is possible to reduce the absorption of the microwave by the second heat generating member and increase the microwave transmitted through the second heat generating member to heat the object 2 to be processed more strongly than the second heat generating member. Further, in this case, the object 2 to be processed can be heated from the outside by the heat generated by the second heat generating member.

なお、複数の発熱部材３０について、その１以上の厚さを他の発熱部材３０とは異なる厚さとしてもよい。これにより、発熱部材３０で吸収されるマイクロ波を、発熱部材３０の厚さによって変更して、第一のマイクロ波照射による、発熱部材３０の加熱と、発熱部材３０の加熱との割合を変更することが可能となる。かかることは、第二の発熱部材３０を用いた第二のマイクロ波照射においても同様である。また、かかることは、以下においても同様である。 The thickness of one or more of the plurality of heat generating members 30 may be different from that of the other heat generating members 30. As a result, the microwave absorbed by the heat generating member 30 is changed according to the thickness of the heat generating member 30, and the ratio between the heating of the heat generating member 30 and the heating of the heat generating member 30 by the first microwave irradiation is changed. It becomes possible to do. This also applies to the second microwave irradiation using the second heat generating member 30. The same applies to the following.

また、上記において、発熱部材３０の材質を、発熱部材３０の長手方向や、処理対象物２の移動方向において同じ材質としてもよく、異なる材質としてもよい。異なる材質とは、組成や成分、材料比等が異なる材質であってもよい。発熱部材３０が異なる材質であるということは、異なる材質の部分が混在していることも含む概念である。ここでの発熱部材３０の材質は、発熱部材３０の加熱媒体３０１の材質と考えてもよい。例えば、容器１０内に複数の発熱部材３０が配置される場合、複数の発熱部材３０のうちの１以上の材質（ただし、全部を除く）が、他の発熱部材３０とは異なる材質であってもよい。また、３以上の発熱部材３０が、３以上の異なる材質の発熱部材３０で構成されていてもよい。この場合、複数の発熱部材３０のそれぞれの材質は、均一な材質であってもよい。かかることは、以下においても同様である。 Further, in the above, the material of the heat generating member 30 may be the same material in the longitudinal direction of the heat generating member 30 or the moving direction of the object to be processed 2, or may be different materials. The different materials may be materials having different compositions, components, material ratios, and the like. The fact that the heat generating member 30 is made of a different material is a concept including a mixture of parts made of different materials. The material of the heat generating member 30 here may be considered as the material of the heating medium 301 of the heat generating member 30. For example, when a plurality of heat generating members 30 are arranged in the container 10, one or more of the plurality of heat generating members 30 (excluding all of them) is a material different from the other heat generating members 30. May be good. Further, the three or more heat generating members 30 may be composed of three or more heat generating members 30 made of different materials. In this case, the material of each of the plurality of heat generating members 30 may be a uniform material. The same applies to the following.

例えば、上記の図１に示したようなマイクロ波処理装置において、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対して行なうマイクロ波照射を第二のマイクロ波照射とする代わりに、発熱部材３０が設けられていない１以上の部分に、発熱部材３０とは材質が異なる第二の発熱部材（図示せず）を設け、この第二の発熱部材に対して第二照射部２０２から行なうマイクロ波照射を、第二のマイクロ波照射としてもよい。第二の発熱部材の組成を変えることで、照射されるマイクロ波の浸透深さ等が変化するため、第二の発熱部材の組成を選択することで、第二の発熱部材に照射されるマイクロ波の第二の発熱部材による吸収を低減して、第二の発熱部材を透過するマイクロ波を増加させて、処理対象物２を第二の発熱部材よりも強く加熱することができる。また、この場合、第二の発熱部材の発熱によって、処理対象物２を外側からも加熱できる。 For example, in the microwave processing apparatus as shown in FIG. 1, the second microwave irradiation is performed on the portion of the moving path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is not provided. Instead, a second heat-generating member (not shown) having a material different from that of the heat-generating member 30 is provided in one or more portions where the heat-generating member 30 is not provided, and a second heat-generating member is provided with respect to the second heat-generating member. (2) The microwave irradiation performed from the irradiation unit 202 may be the second microwave irradiation. By changing the composition of the second heat-generating member, the penetration depth of the irradiated microwave changes, etc. Therefore, by selecting the composition of the second heat-generating member, the micro that is irradiated to the second heat-generating member The absorption of the wave by the second heat-generating member can be reduced, the microwave transmitted through the second heat-generating member can be increased, and the object 2 to be processed can be heated more strongly than the second heat-generating member. Further, in this case, the object 2 to be processed can be heated from the outside by the heat generated by the second heat generating member.

なお、複数の発熱部材３０について、その１以上の材質を他の発熱部材３０とは異なる材質としてもよい。これにより、発熱部材３０で吸収されるマイクロ波を、発熱部材３０の材質によって変更して、第一のマイクロ波照射による、発熱部材３０の加熱と、発熱部材３０の加熱との割合を変更することが可能となる。かかることは、第二の発熱部材３０を用いた第二のマイクロ波照射においても同様である。また、かかることは、以下においても同様である。 The material of one or more of the plurality of heat generating members 30 may be different from that of the other heat generating members 30. As a result, the microwave absorbed by the heat generating member 30 is changed depending on the material of the heat generating member 30, and the ratio between the heating of the heat generating member 30 and the heating of the heat generating member 30 by the first microwave irradiation is changed. It becomes possible. This also applies to the second microwave irradiation using the second heat generating member 30. The same applies to the following.

なお、発熱部材３０や第二の発熱部材の材質および厚さの組合せを変えてもよいことはいうまでもない。 Needless to say, the combination of the material and the thickness of the heat generating member 30 and the second heat generating member may be changed.

また、上記においては、処理対象部２が移動する例について説明したが、処理対象部２が容器１０内を移動しないようにし、処理対象物２を、容器１０内に静置できるようにしてもよい。かかることは、他の実施の形態においても同様である。なお、移動が不要な場合、搬送手段６０は省略してもよい。 Further, in the above, the example in which the processing target unit 2 moves has been described, but even if the processing target unit 2 is prevented from moving in the container 10 and the processing target unit 2 can be allowed to stand in the container 10. good. This also applies to other embodiments. If movement is not required, the transport means 60 may be omitted.

（第一の変形例）
図３は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の第一の変形例を示す図である。この第一の変形例のマイクロ波処理装置１は、発熱部材３０が筒形状を有するマイクロ波処理装置１において、発熱部材３０の内側に酸素を供給するためのガス供給手段７０をさらに設けたものである。ガス供給手段７０は、酸素ボンベや、酸素発生器等の酸素を供給する供給部７０１と、例えば、一端が発熱部材３０の内側に開口するよう発熱部材３０と取り付けられ、他端が供給部７０１と接続された酸素を供給する管７０２と、この管７０２の経路に挿入された酸素の供給量を調節するバルブ７０３とを備えている。管７０２の一端が発熱部材３０に取り付けられる位置は問わない。このバルブ７０３は、例えば、制御手段５０等によって制御されてもよく、ユーザの操作等に応じて制御されるようにしても良い。ここでの酸素を供給する、ということは、例えば、容器１０内の空気等の気体よりも酸素濃度が高い気体（例えば、空気に酸素を加えた気体）等を供給することも含む概念である。なお、複数のガス供給手段７０が、一の供給部７０１を共用してもよい。また、供給部７０１の代わりに外部の供給部（図示せず）等を用いる場合等においては、ガス供給手段７０は、供給部７０１を有していなくても良い。 (First modification)
FIG. 3 is a diagram showing a first modification of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment. The microwave processing device 1 of the first modification is a microwave processing device 1 in which the heat generating member 30 has a tubular shape, and is further provided with a gas supply means 70 for supplying oxygen to the inside of the heat generating member 30. Is. The gas supply means 70 is attached to a supply unit 701 that supplies oxygen such as an oxygen cylinder or an oxygen generator, and, for example, a heat generation member 30 so that one end opens inside the heat generation member 30, and the other end is a supply unit 701. A pipe 702 for supplying oxygen connected to the pipe 702 and a valve 703 for adjusting the supply amount of oxygen inserted in the path of the pipe 702 are provided. The position where one end of the tube 702 is attached to the heat generating member 30 does not matter. The valve 703 may be controlled by, for example, the control means 50 or the like, or may be controlled according to a user operation or the like. Supplying oxygen here is a concept including supplying, for example, a gas having a higher oxygen concentration than a gas such as air in the container 10 (for example, a gas obtained by adding oxygen to air). .. In addition, a plurality of gas supply means 70 may share one supply unit 701. Further, when an external supply unit (not shown) or the like is used instead of the supply unit 701, the gas supply means 70 may not have the supply unit 701.

なお、発熱部材３０の内側に供給された酸素が、発熱部材３０の外側に逃げにくくするために、発熱部材３０の処理対象物２が出入りする両端は、処理対象物２を出入り可能とするための開口部を除いて塞ぐようにしても良い。 In addition, in order to make it difficult for oxygen supplied to the inside of the heat generating member 30 to escape to the outside of the heat generating member 30, both ends of the heat generating member 30 to which the processing object 2 enters and exits allow the processing object 2 to enter and exit. It may be closed except for the opening of.

また、ここでは、ガス供給手段７０を、複数の発熱部材３０の全てに対して個別に設けた場合について説明したが、ガス供給手段７０を、複数の発熱部材３０の一部にだけ設けるようにしても良い。 Further, here, the case where the gas supply means 70 is individually provided for all of the plurality of heat generating members 30, but the gas supply means 70 is provided only for a part of the plurality of heat generating members 30. May be.

このように、ガス供給手段７０によって、発熱部材３０内に酸素を供給することで、酸素濃度を制御して、マイクロ波処理装置１において行われる処理を適切に制御することが可能となる。例えば、処理対象物に応じて酸素を供給することで、処理時間の短縮や処理の均一化を促進することが可能となる。 In this way, by supplying oxygen into the heat generating member 30 by the gas supply means 70, it is possible to control the oxygen concentration and appropriately control the processing performed in the microwave processing apparatus 1. For example, by supplying oxygen according to the object to be treated, it is possible to shorten the treatment time and promote uniform treatment.

なお、かかるガス供給手段７０を設けてもよいことは、他の実施の形態の筒形状の発熱部材等を有するマイクロ波処理装置においても同様である。 It should be noted that the gas supply means 70 may be provided in the same manner in the microwave processing apparatus having the tubular heat generating member or the like of the other embodiment.

また、上記において、ガス供給手段７０は、酸素以外の所定のガスを供給するようにしてもよい。例えば、所定のガスは、窒素ガスや、アルゴンガス等の希ガスや、水素ガスや、これらの１以上の組合せである。ここでの所定のガスを供給する、ということは、例えば、容器１０内の空気等の気体よりも所定のガスの濃度が高い気体（例えば、空気に所定のガスを加えた気体）等を供給することも含む概念である。ガス供給手段７０の構成は、例えば、供給部７０１が供給するガスが所定のガスである点を除けば上記と同様である。なお、容器１０内が空気以外のガスで満たされている場合、ガス供給手段７０が供給するガスは空気であってもよい。また、異なる発熱部材３０に接続されているガス供給手段７０がそれぞれ供給するガスは、同じガスであってもよく、異なるガスであってもよい。また、異なる発熱部材３０に接続されているガス供給手段７０がそれぞれ供給するガスは所定の濃度が異なるガスであってもよく、組成比が異なるガスであってもよい。 Further, in the above, the gas supply means 70 may supply a predetermined gas other than oxygen. For example, the predetermined gas is a rare gas such as nitrogen gas or argon gas, hydrogen gas, or a combination of one or more of these. Supplying the predetermined gas here means, for example, supplying a gas having a concentration of a predetermined gas higher than that of a gas such as air in the container 10 (for example, a gas obtained by adding a predetermined gas to air). It is a concept that also includes doing. The configuration of the gas supply means 70 is the same as described above, except that the gas supplied by the supply unit 701 is a predetermined gas, for example. When the inside of the container 10 is filled with a gas other than air, the gas supplied by the gas supply means 70 may be air. Further, the gas supplied by the gas supply means 70 connected to the different heat generating members 30 may be the same gas or different gases. Further, the gas supplied by the gas supply means 70 connected to the different heat generating member 30 may be a gas having a predetermined concentration different or a gas having a different composition ratio.

（第二の変形例）
図４（ａ）および図４（ｂ）は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の第二の変形例を示す図である。この第二の変形例のマイクロ波処理装置１は、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、発熱部材として、発熱部材３０の代わりに、処理対象物２の容器内における搬送を補助する部材であって、処理対象物２に接触する部分を有しており、この処理対象物２に接触する部分にマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体を有するローラやベルト等の部材を用いるようにしたものである。なお、図４（ａ）および図４（ｂ）においては、容器１０ａおよび容器１０ｂは、容器１０に相当する容器である。なお、ここでは説明を省略しているが、図４（ａ）および図４（ｂ）に示したマイクロ波処理装置１の変形例も、図１に示した制御手段５０と同様の制御手段やセンサ４０と同様のセンサを有していても良く、センサの出力に応じて、マイクロ波の出力のフィードバック制御等を行なうようにしてもよい。 (Second modification)
4 (a) and 4 (b) are views showing a second modification of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment. As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), the microwave processing device 1 of this second modification transports the object to be processed 2 in the container instead of the heat generating member 30 as the heat generating member. A member such as a roller or a belt that has a portion that comes into contact with the object to be processed 2 and has a heating medium that absorbs microwaves and generates heat in the portion that comes into contact with the object to be processed 2. Is used. In addition, in FIGS. 4A and 4B, the container 10a and the container 10b are containers corresponding to the container 10. Although the description is omitted here, the modified examples of the microwave processing apparatus 1 shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b) also have the same control means and the same control means as the control means 50 shown in FIG. A sensor similar to the sensor 40 may be provided, and feedback control of microwave output may be performed according to the output of the sensor.

例えば、図４（ａ）においては、移動経路２ａが容器１０ａの外側に設けられた複数のローラ１１で多層状に折り返された経路となっており、容器１０ａは、この移動経路２ａの折り返しの部分以外の部分を覆う形状を有しており、移動経路２ａの折り返しの部分近傍に、それぞれ、処理対象物２が出し入れするための複数の入口１０１ａと、出口１０１ｂとが設けられている。ローラ１１のサイズ等は問わない。また、図４においては、容器１０ａは、移動経路２ａを複数の領域に区切るように設けられた２つのキャビティ１１０ａおよび１１０ｂを有しており、複数の入口１０１ａおよび出口１０１ｂは、それぞれの各キャビティ１１０ａおよび１１０ｂの処理対象物２が出入りする開口部として設けられている。 For example, in FIG. 4A, the movement path 2a is a path folded back in a multi-layered manner by a plurality of rollers 11 provided on the outside of the container 10a, and the container 10a is a folded path of the movement path 2a. It has a shape that covers a portion other than the portion, and a plurality of inlets 101a and outlets 101b for the processing object 2 to be taken in and out are provided in the vicinity of the folded portion of the movement path 2a, respectively. The size of the roller 11 does not matter. Further, in FIG. 4, the container 10a has two cavities 110a and 110b provided so as to divide the movement path 2a into a plurality of regions, and the plurality of inlets 101a and outlets 101b have respective cavities. It is provided as an opening through which the object 2 to be processed of 110a and 110b enters and exits.

キャビティ１１０ａ内には、上述したような加熱媒体を表面に有する発熱部材である複数のベルト３２ａが、移動経路２ａを移動する処理対象物２を上下等から挟み込んで接触するよう、ローラ３３に架け渡されている。ベルト３２ａの材質は、例えば、マイクロ波を一部透過可能な材質であるとする。そして、上述した第一照射部２０１が、移動経路２ａのベルト３２ａに挟み込まれた部分に対してマイクロ波を照射するように設けられている。ベルト３２は、例えば、ローラ３３がモータ等によって回転することで、隣接する移動経路２ａの移動方向に移動する。なお、ベルト３２ａとして、全体が、マイクロ波によって発熱するベルトを用いてもよい。例えば、上述したような加熱媒体等を含む材料をベルト３２ａの材料として用いてもよい。ベルト３２ａの素材としては、耐熱性樹脂や、グラファイト繊維等が利用可能である。ベルト３２ａ表面の加熱媒体としてはカーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等が利用可能である。 In the cavity 110a, a plurality of belts 32a, which are heat-generating members having a heating medium as described above on the surface, are hung on a roller 33 so as to sandwich and contact the processing object 2 moving in the movement path 2a from above and below. Has been passed. The material of the belt 32a is, for example, a material that can partially transmit microwaves. The first irradiation unit 201 described above is provided so as to irradiate the portion sandwiched between the belts 32a of the movement path 2a with microwaves. The belt 32 moves in the moving direction of the adjacent moving path 2a by, for example, rotating the roller 33 by a motor or the like. As the belt 32a, a belt that generates heat by microwaves may be used as a whole. For example, a material including a heating medium or the like as described above may be used as the material of the belt 32a. As the material of the belt 32a, a heat-resistant resin, graphite fiber, or the like can be used. As the heating medium on the surface of the belt 32a, a heating element such as carbon, SiC, a carbon fiber composite material, a metal siliconized material such as molybdenum siliconized or tungsten siliconized, or a ceramic material containing powder of these heating elements is used. It is possible.

また、キャビティ１１０ｂ内には、複数のベルト３２ｂが、移動経路２ａを移動する処理対象物２を上下等から挟み込んで接触するよう、ローラ３３に架け渡されている。このベルト３２ｂの材質は、マイクロ波透過性が高い材質である。また、このベルト３２ｂは、表面に、上述したような加熱媒体を有していないものとする。そして、上述した第二照射部２０２が、移動経路２ａのベルト３２ｂに挟み込まれた部分に対してマイクロ波を照射するように設けられている。ベルト３２ｂは、例えば、ローラ３３がモータ等によって回転することで、隣接する移動経路２ａの移動方向に移動する。 Further, in the cavity 110b, a plurality of belts 32b are bridged over the rollers 33 so as to sandwich and contact the processing object 2 moving on the movement path 2a from above and below. The material of the belt 32b is a material having high microwave transparency. Further, it is assumed that the belt 32b does not have the heating medium as described above on the surface. The second irradiation unit 202 described above is provided so as to irradiate the portion sandwiched between the belts 32b of the movement path 2a with microwaves. The belt 32b moves in the moving direction of the adjacent moving path 2a, for example, when the roller 33 is rotated by a motor or the like.

なお、ベルト３２ａおよび３２ｂの、処理対象物２を挟み込んでいる部分は、ローラ３３の近傍部分以外が処理対象物２に接触するよう設けられている。ただし、部分的には接触していない箇所があってもよい。 The portions of the belts 32a and 32b that sandwich the object to be processed 2 are provided so that the portion other than the portion near the roller 33 comes into contact with the object to be processed 2. However, there may be some parts that are not in contact with each other.

ベルト３２ａは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、キャビティ１１０ａ内においては、マイクロ波の照射によってベルト３２ａの表面が発熱して、発熱により発生する輻射熱で、ベルト３２近傍の処理対象物を加熱されることで、第一照射部２０１によって上述したような第一のマイクロ波照射が行なわれるとともに、処理対象物２のベルト３２が接触する部分を熱伝導により効率よく加熱することができる。 The belt 32a assists the transport by coming into contact with the object to be processed 2, and prevents the object to be processed 2 from being slackened during the process, causing the object to be processed 2 to be cut or the heating to be uneven. do. Further, in the cavity 110a, the surface of the belt 32a generates heat due to the irradiation of microwaves, and the radiant heat generated by the heat generation heats the object to be processed in the vicinity of the belt 32, so that the first irradiation unit 201 describes the above. In addition to the first microwave irradiation as described above, the portion of the object 2 to be treated that comes into contact with the belt 32 can be efficiently heated by heat conduction.

また、ベルト３２ｂは、ベルト３２ａと同様に、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、キャビティ１１０ｂ内のベルト３２ｂの表面は、マイクロ波の照射によりほとんど発熱せず、ベルト３２ｂを透過したマイクロ波で処理対象物２が直接加熱されることとなるため、第二照射部２０２により上述したような第二のマイクロ波照射を行なうことができる。 Further, like the belt 32a, the belt 32b assists the transportation by coming into contact with the object to be processed 2, and the object to be processed 2 has slack during the processing, so that the object to be processed 2 is cut or the heating is not performed. Prevents it from becoming uniform. Further, since the surface of the belt 32b in the cavity 110b hardly generates heat by the irradiation of the microwave and the object 2 to be processed is directly heated by the microwave transmitted through the belt 32b, the second irradiation unit 202 causes the surface to be heated. The second microwave irradiation as described above can be performed.

なお、ベルト３２ｂを用いる代わりに、ベルト３２ｂを省略して、このベルト３２ｂが省略された部分にマイクロ波を照射することで、第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。 Instead of using the belt 32b, the belt 32b may be omitted, and the portion where the belt 32b is omitted may be irradiated with microwaves to perform the second microwave irradiation.

また、ここでは、容器１０が二つのキャビティ１１０ａおよび１１０ｂを有している場合について説明したが、容器１０が有するキャビティ数は、１または２以上であればよく、その数は問わない。また、各キャビティのサイズ等は問わない。また、第一照射部２０１によりマイクロ波を照射するキャビティと、第二照射部２０２によりマイクロ波を照射するキャビティとの数や、その移動経路２ａに沿った配置順序等は問わない。また、容器１０が有する複数のキャビティ同士は、接続されて配置されていてもよく、分離して配置されていてもよい。例えば、同じ処理対象物２に対して上記のような処理を行なうために接続して配置された複数のキャビティや、分離して配置された複数のキャビティを、一の容器１０と考えてもよい。また、一のキャビティから外部に移動した処理対象物２を、再度、同じキャビティ内に戻すようにしてもよい。なお、容器１０が、２以上のキャビティを有していても良いことは、図４（ａ）に示したマイクロ波処理装置以外のマイクロ波処理装置についても同様である。 Further, here, the case where the container 10 has two cavities 110a and 110b has been described, but the number of cavities possessed by the container 10 may be 1 or 2 or more, and the number thereof does not matter. In addition, the size of each cavity does not matter. Further, the number of cavities in which microwaves are irradiated by the first irradiation unit 201 and the cavities in which microwaves are irradiated by the second irradiation unit 202, the arrangement order along the movement path 2a, and the like are not limited. Further, the plurality of cavities of the container 10 may be connected to each other or may be arranged separately. For example, a plurality of cavities arranged connected to each other for performing the above processing on the same object 2 to be processed, or a plurality of cavities arranged separately may be considered as one container 10. .. Further, the object 2 to be processed that has moved from one cavity to the outside may be returned to the same cavity again. The fact that the container 10 may have two or more cavities is the same for microwave processing devices other than the microwave processing device shown in FIG. 4 (a).

また、図４（ａ）に示したマイクロ波処理装置１において、容器１０として、複数のキャビティに区切られていない容器を用いるようにし、この容器１０内において、上記のような１以上のベルト３２ａおよび３２ｂを設け、ベルト３２ａに１以上の第一照射部２０１から第一のマイクロ波照射を行ない、ベルト３２ｂに１以上の第二照射部２０２から第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。 Further, in the microwave processing apparatus 1 shown in FIG. 4A, a container not divided into a plurality of cavities is used as the container 10, and one or more belts 32a as described above are used in the container 10. And 32b are provided so that the belt 32a is irradiated with the first microwave from one or more first irradiation units 201, and the belt 32b is irradiated with the second microwave from one or more second irradiation units 202. good.

なお、ここでの容器１０ａの形状や、移動経路２ａは一例であり、容器１０の形状や、処理対象物２の移動経路は、どのような形状や移動経路であってもよい。 The shape of the container 10a and the movement path 2a here are examples, and the shape of the container 10 and the movement path of the object to be processed 2 may be any shape or movement path.

また、例えば、図４（ｂ）に示すように、表面に加熱媒体を有する複数のローラ３１ａを、移動経路２ａを移動する処理対象物２と表面が接するよう配置し、表面に加熱部材を有さず、マイクロ波をほとんど吸収しない複数のローラ３１ｂを、この複数のローラ３１ａが設けられている領域とは異なる領域において、移動経路２ａを移動する処理対象物２と表面が接するよう配置し、移動経路２ａのローラ３１ａが設けられている領域にマイクロ波を照射する第一照射部２０１を設け、移動経路２ａのローラ３１ｂが設けられている領域にマイクロ波を照射する第二照射部２０２を設け、第一照射部２０１および第二照射部２０２からマイクロ波を照射するようにしてもよい。なお、ローラ３１ａとして、全体が、マイクロ波によって発熱するローラを用いてもよい。例えば、上述したような加熱媒体等を含む材料をローラ３１ａの材料として用いてもよい。ローラ３１ａの素材としては、耐熱性樹脂や、セラミックス、ガラス、グラファイト等が利用可能である。ベルト３２ａ表面の加熱媒体としてはカーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等が利用可能である。 Further, for example, as shown in FIG. 4B, a plurality of rollers 31a having a heating medium on the surface are arranged so that the surface is in contact with the processing object 2 moving in the movement path 2a, and the surface is provided with a heating member. Instead, a plurality of rollers 31b that hardly absorb microwaves are arranged so that the surface is in contact with the processing object 2 moving along the movement path 2a in a region different from the region where the plurality of rollers 31a are provided. A first irradiation unit 201 that irradiates a microwave in a region provided with a roller 31a of the movement path 2a is provided, and a second irradiation unit 202 that irradiates a microwave in a region provided with a roller 31b of the movement path 2a. It may be provided and microwaves may be irradiated from the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202. As the roller 31a, a roller that generates heat by microwaves may be used as a whole. For example, a material including a heating medium or the like as described above may be used as the material of the roller 31a. As the material of the roller 31a, heat-resistant resin, ceramics, glass, graphite and the like can be used. As the heating medium on the surface of the belt 32a, a heating element such as carbon, SiC, a carbon fiber composite material, a metal siliconized material such as molybdenum siliconized or tungsten siliconized, or a ceramic material containing powder of these heating elements is used. It is possible.

例えば、図４（ｂ）においては、移動経路２ａが容器１０ａの外側に設けられた複数のローラ１１により多層状に折り返された経路となっており、容器１０ａは、この移動経路２ａの折り返しの部分以外の部分を覆う形状を有しており、移動経路２ａの折り返しの部分近傍に、それぞれ、処理対象物２が出し入れするための複数の入口１０１ａと、出口１０１ｂとが設けられている。ローラ１１のサイズ等は問わない。 For example, in FIG. 4B, the movement path 2a is a path folded back in a multi-layered manner by a plurality of rollers 11 provided on the outside of the container 10a, and the container 10a is a folded path of the movement path 2a. It has a shape that covers a portion other than the portion, and a plurality of inlets 101a and outlets 101b for the processing object 2 to be taken in and out are provided in the vicinity of the folded portion of the movement path 2a, respectively. The size of the roller 11 does not matter.

複数のローラ３１ａは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、複数のローラ３１ａは、上述した加熱部材として用いられることとなり、マイクロ波照射によって表面が発熱して、発熱により発生する輻射熱で、ローラ３１近傍の処理対象物を加熱するとともに、処理対象物２のローラ３１が接触する部分を熱伝導により効率よく加熱することができる。これにより、第一照射部２０１が行なうマイクロ波照射が第一のマイクロ波照射となる。 The plurality of rollers 31a assist in transport by coming into contact with the object to be processed 2, and the object to be processed 2 has slack during processing, so that the object to be processed 2 is cut or the heating becomes uneven. To prevent. Further, the plurality of rollers 31a will be used as the heating member described above, and the surface will generate heat due to microwave irradiation, and the radiant heat generated by the heat generation will heat the object to be processed in the vicinity of the roller 31 and the object to be processed. The portion in contact with the roller 31 of 2 can be efficiently heated by heat conduction. As a result, the microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 becomes the first microwave irradiation.

複数のローラ３１ｂは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、複数のローラ３１ｂは、マイクロ波照射によってほとんど発熱せず、ローラ３１ｂを透過したマイクロ波で処理対象物２が直接加熱されることとなるため、第二照射部２０２により、上述したような第二のマイクロ波照射を行なうことができる。 The plurality of rollers 31b assist in transport by coming into contact with the object to be processed 2, and the object to be processed 2 has slack during processing, so that the object to be processed 2 is cut or the heating becomes uneven. To prevent. Further, since the plurality of rollers 31b hardly generate heat due to microwave irradiation and the object 2 to be processed is directly heated by the microwave transmitted through the rollers 31b, the second irradiation unit 202 is used as described above. A second microwave irradiation can be performed.

このローラ３１ａおよびローラ３１ｂは、モータ（図示せず）等と接続されて自転するものであってもよく、自転しないものであっても良い。また、ローラ３１ａおよびローラ３１ｂの数は、１以上であればよい。 The rollers 31a and 31b may be connected to a motor (not shown) or the like and rotate on their axis, or may not rotate on their axis. Further, the number of rollers 31a and rollers 31b may be 1 or more.

なお、ローラ３１ｂを用いる代わりに、ローラ３１ｂを省略して、このローラ３１ｂが省略された部分にマイクロ波を照射することで、第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。
また、ローラ３１ａとローラ３１ｂとの配置や配列順番等は、上記以外の配置や配列順番であってもよい。また、ローラ３１ａとローラ３１ｂとの数は問わない。 Instead of using the roller 31b, the roller 31b may be omitted, and the portion where the roller 31b is omitted may be irradiated with microwaves to perform the second microwave irradiation.
Further, the arrangement and arrangement order of the rollers 31a and the rollers 31b may be arrangements and arrangement orders other than the above. Further, the number of rollers 31a and rollers 31b does not matter.

また、図４（ｂ）に示したような容器１０ｂの代わりに、図４（ａ）に示したような複数のキャビティを有する容器を用いるようにしてもよい。そして、例えば、キャビティ毎に、第一照射部２０１または、第二照射部２０２を取付け、第一照射部２０１が取付けられたキャビティ内にはローラ３１ａを配置し、第二照射部２０２が取付けられたキャビティ内にはローラ３１ｂを配置するようにしてもよい。 Further, instead of the container 10b as shown in FIG. 4 (b), a container having a plurality of cavities as shown in FIG. 4 (a) may be used. Then, for example, the first irradiation unit 201 or the second irradiation unit 202 is attached to each cavity, the roller 31a is arranged in the cavity to which the first irradiation unit 201 is attached, and the second irradiation unit 202 is attached. A roller 31b may be arranged in the cavity.

（実施の形態２）
図５は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図（図５（ａ））、同マイクロ波処理装置の発熱部材の図５（ａ）の点Ａを通る長手方向に垂直な断面模式図（図５（ｂ））、および同マイクロ波処理装置の発熱部材の点Ｂを通る長手方向に垂直な断面模式図（図５（ｃ））である。本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａは、マイクロ波照射手段２１が異なる位置から出力する複数のマイクロ波の位相を制御することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたものである。 (Embodiment 2)
5A and 5B are a cross-sectional view (FIG. 5A) parallel to the moving direction of the object to be processed and FIG. 5 (FIG. 5) of a heat generating member of the microwave processing apparatus for explaining the microwave processing apparatus according to the present embodiment. A schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through the point A of a) (FIG. 5 (b)) and a schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through the point B of the heat generating member of the microwave processing device (FIG. 5 (c)). )). In the microwave processing device 1a of the present embodiment, the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed by controlling the phases of a plurality of microwaves output by the microwave irradiation means 21 from different positions. It is intended to do.

マイクロ波処理装置１ａは、容器１０ｃと、マイクロ波照射手段２１と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５１と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing device 1a includes a container 10c, a microwave irradiation means 21, a heat generating member 30, a sensor 40 of one or more, a control means 51, and a transport means 60.

容器１０ｃは、マイクロ波照射手段２１が有する後述する２以上の照射部２０３が取付けられることを除けば、上記実施の形態において図１に示した容器１０と同様のものである。また、容器１０ｃとしては、上記実施の形態において説明したような容器が利用可能であり、例えば、複数のキャビティを有する容器等も利用可能である。 The container 10c is the same as the container 10 shown in FIG. 1 in the above embodiment, except that two or more irradiation units 203, which will be described later, of the microwave irradiation means 21 are attached. Further, as the container 10c, a container as described in the above embodiment can be used, and for example, a container having a plurality of cavities can also be used.

容器１０内には、一本の筒形状の発熱部材３０が処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられている場合について説明する。ただし、発熱部材３０は複数であってもよい。なお、発熱部材３０としては、上記実施の形態において説明した発熱部材３０と同様のものが利用可能である。 A case where a single cylinder-shaped heat generating member 30 is provided in the container 10 along the moving path 2a of the object 2 to be processed will be described. However, the number of heat generating members 30 may be plural. As the heat generating member 30, the same heat generating member 30 as described in the above embodiment can be used.

マイクロ波照射手段２１は、異なる位置からマイクロ波を照射する２以上の照射部２０３を備えている。マイクロ波照射手段２１は、例えば、容器１０ｃの壁面の異なる位置に設けられた開口部１０２に取付けられて、容器１０ｃ内にマイクロ波を照射する２以上の照射部２０３を備えている。２以上の照射部２０３のうちの少なくとも一部は、照射するマイクロ波の位相を制御可能な照射部２０３である。位相を制御可能な照射部２０３は、例えば、上記実施の形態において説明したマイクロ波発振器２００１と、伝送部２００２とを備えた照射部２０３において、さらに、位相を制御可能な移相器（図示せず）を備えたものである。位相を制御可能な照射部２０３が有するマイクロ波発振器２００１としては、半導体型発振器を用いることが好ましい。位相を制御しない照射部２０３については、上記実施の形態の第一照射部２０１や第二照射部２０２と同様の照射部が利用可能である。ただし、照射するマイクロ波の位相を制御可能な照射部２０３は、位相が制御可能であれば、どのような構成であってもよい。ここでの位相の制御は、位相を特定の位相に設定することも含むと考えてもよい。 The microwave irradiation means 21 includes two or more irradiation units 203 that irradiate microwaves from different positions. The microwave irradiation means 21 is attached to, for example, openings 102 provided at different positions on the wall surface of the container 10c, and includes two or more irradiation units 203 that irradiate the inside of the container 10c with microwaves. At least a part of the two or more irradiation units 203 is an irradiation unit 203 capable of controlling the phase of the microwave to be irradiated. The irradiation unit 203 whose phase can be controlled is, for example, a phase shifter (shown) whose phase can be further controlled in the irradiation unit 203 including the microwave oscillator 2001 and the transmission unit 2002 described in the above embodiment. It is equipped with (1). As the microwave oscillator 2001 included in the irradiation unit 203 whose phase can be controlled, it is preferable to use a semiconductor type oscillator. As for the irradiation unit 203 whose phase is not controlled, the same irradiation unit as the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 of the above embodiment can be used. However, the irradiation unit 203 capable of controlling the phase of the microwave to be irradiated may have any configuration as long as the phase can be controlled. The control of the phase here may be considered to include setting the phase to a specific phase.

本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａは、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波が発熱部材３０において強めあう第一のマイクロ波照射と、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波が処理対象物２において強めあう第二のマイクロ波照射とを行なうものである。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、後述する制御手段５１等によって、個々の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なう。マイクロ波が強めあう、ということは、例えば、マイクロ波の強度が強めあうことである。例えば、マイクロ波が強めあう、ということは、マイクロ波の電界強度が強めあうことであってもよく、磁界強度が強めあうことであっても良く、その両方であってもよい。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、制御手段５１等を用いて、２以上の照射部が照射するマイクロ波の位相を制御して、それぞれから照射されるマイクロ波の位相が所望の位置で干渉により強めあうようにする。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、制御手段５１等を用いて、２以上の照射部が照射するマイクロ波の位相を制御して、それぞれから照射されるマイクロ波の位相が所望の位置で同位相となるようにすることで、マイクロ波を強めあうようにする。マイクロ波を所望の位置で強めあうようにすることは、マイクロ波を所望の位置で集中させることと考えてもよい。また、マイクロ波処理装置１ａは、所望の位置で干渉により強めあわないにすることで、マイクロ波を強めないようにする。また、マイクロ波処理装置１ａは、所望の位置で同位相とならない、例えば、逆移相となるようにすることで、マイクロ波を強めないようにする。複数の位置から照射されるマイクロ波が所望の位置において強めあうようにするためには、照射部２０３が照射するマイクロ波がいずれも同じ周波数とした場合、例えば、所望の位置と、マイクロ波を照射するそれぞれの位置との距離を、マイクロ波の波長で除算し、その余りをマイクロ波の波長で除算して２πを乗算した値だけ基準となる位相に対して進めるように設定してもよい。ただし、どのように、所望の箇所で同位相となるようマイクロ波の位相を制御するかは問わない。なお、マイクロ波の位相を制御してマイクロ波の強度を所望の位置で高める処理等については、例えば、特開２０１７－２１２２３７号公報等により公知であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 The microwave processing device 1a of the present embodiment controls the phase of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203, and the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 strengthen each other in the heat generating member 30. The microwave irradiation of the above and the second microwave irradiation in which the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 strengthen each other in the object 2 to be processed are performed. For example, the microwave processing device 1a controls the phase of the microwave irradiated by each irradiation unit 203 by the control means 51 or the like described later, thereby performing the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. To do. The fact that microwaves intensify each other means that, for example, the intensities of microwaves intensify each other. For example, the fact that the microwaves strengthen each other may mean that the electric field strengths of the microwaves strengthen each other, the magnetic field strengths may strengthen each other, or both of them may be used. For example, the microwave processing device 1a controls the phase of the microwave irradiated by two or more irradiation units by using the control means 51 or the like, and the phase of the microwave irradiated from each is interfered with at a desired position. Try to strengthen each other. For example, the microwave processing device 1a controls the phase of the microwave irradiated by two or more irradiation units by using the control means 51 or the like, and the phase of the microwave irradiated from each is in phase at a desired position. By making it so that the microwaves are strengthened each other. Enhancing the microwaves at the desired positions may be considered to concentrate the microwaves at the desired positions. Further, the microwave processing device 1a prevents the microwaves from being strengthened by interfering with each other at a desired position. Further, the microwave processing device 1a does not have the same phase at a desired position, for example, the reverse phase shift, so that the microwave is not strengthened. In order to intensify the microwaves emitted from a plurality of positions at a desired position, when the microwaves irradiated by the irradiation unit 203 all have the same frequency, for example, the desired position and the microwave are set. The distance to each position to be irradiated may be divided by the wavelength of the microwave, and the remainder may be divided by the wavelength of the microwave and multiplied by 2π to advance with respect to the reference phase. .. However, it does not matter how the phase of the microwave is controlled so as to be in phase at a desired location. The process of controlling the phase of the microwave to increase the intensity of the microwave at a desired position is known, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-212237, and therefore detailed description thereof will be omitted here.

２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して行なわれる第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあわず、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分において、マイクロ波が強めあうように位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することである。処理対象物２の所望の位置の周囲の１以上の部分とは、処理対象物２の伸びる方向または処理対象物２の移動方向に対して垂直方向に位置する１以上の部分である。処理対象物２の所望の位置は、例えば、処理対象物２の移動経路２ａ上の所望の位置である。かかることは以下においても同様である。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置におけるマイクロ波の強度よりも、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分におけるマイクロ波の強度が高くなるよう、位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することであってもよい。所望の位置の周囲の１以上の部分とは、例えば、発熱部材３０の、処理対象物２の移動経路２ａ上の所望の位置において、移動経路２ａの進行方向に垂直に交わる仮想面と交わる部分の１以上の部分である。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射し、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の、上記の複数の位置とは異なる複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射するとともに、発熱部材３０において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力を、処理対象物２において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力よりも高くすることであってもよい。 In the first microwave irradiation performed by controlling the phase of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203, for example, the microwaves do not intensify at a desired position of the object 2 to be processed, and the heat generating member 30 of the heat generating member 30. In one or more portions around the desired position, microwaves whose phases are controlled so that the microwaves intensify each other are irradiated from a plurality of positions in the container 10c. The one or more portions around the desired position of the object to be processed 2 are one or more portions located in the extending direction of the object 2 to be processed or the direction perpendicular to the moving direction of the object 2 to be processed. The desired position of the object to be processed 2 is, for example, a desired position on the movement path 2a of the object to be processed 2. The same applies to the following. Further, the first microwave irradiation here is, for example, a microwave in one or more portions around the desired position of the heat generating member 30 rather than the intensity of the microwave in the desired position of the object 2 to be processed. It may be possible to irradiate microwaves whose phase is controlled from a plurality of positions in the container 10c so that the intensity of the wave is increased. The one or more portions around the desired position are, for example, the portions of the heat generating member 30 that intersect the virtual surface perpendicular to the traveling direction of the moving path 2a at the desired position on the moving path 2a of the processing object 2. It is one or more parts of. Further, in the first microwave irradiation here, for example, microwaves whose phases are controlled are irradiated from a plurality of positions in the container 10c so that the microwaves strengthen each other at a desired position of the object 2 to be processed, and heat is generated. In addition to irradiating the member 30 with phase-controlled microwaves from a plurality of positions different from the above-mentioned plurality of positions in the container 10c so that the microwaves intensify each other in one or more portions around the desired position. The output of the microwave output by controlling the phase so as to strengthen each other in the heat generating member 30 is made higher than the output of the microwave output by controlling the phase so as to strengthen each other in the processing object 2. It is also good.

また、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して行なわれる第二のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあい、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲において、マイクロ波が強め合わないように位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することである。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置におけるマイクロ波の強度が、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分におけるマイクロ波の強度よりも高くなるよう、位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することであってもよい。また、ここでの第二のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射し、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の、上記の複数の位置とは異なる複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射するとともに、発熱部材３０において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力よりも、処理対象物２において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力を高くすることであってもよい。 Further, in the second microwave irradiation performed by controlling the phase of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203, for example, the microwaves intensify at a desired position of the object 2 to be processed, and the heat generating member 30. Around this desired position, microwaves whose phases are controlled so that the microwaves do not intensify are irradiated from a plurality of positions in the container 10c. Further, in the first microwave irradiation here, for example, the intensity of the microwave at the desired position of the object 2 to be processed is the microwave at one or more portions around the desired position of the heat generating member 30. Microwaves whose phase is controlled so as to be higher than the intensity may be irradiated from a plurality of positions in the container 10c. Further, in the second microwave irradiation here, for example, microwaves whose phases are controlled are irradiated from a plurality of positions in the container 10c so that the microwaves strengthen each other at a desired position of the object 2 to be processed, and heat is generated. In addition to irradiating the member 30 with phase-controlled microwaves from a plurality of positions different from the above-mentioned plurality of positions in the container 10c so that the microwaves intensify each other in one or more portions around the desired position. The output of the microwave output by controlling the phase of the object 2 to be processed is higher than the output of the microwave output by controlling the phase of the heat generating member 30 so as to strengthen each other. It is also good.

なお、ここでの第一のマイクロ波照射を行なってマイクロ波を強め合わせる位置と強め合わせる箇所数や、第二のマイクロ波照射を行なってマイクロ波を強め合わせる位置と、強め合わせる箇所数等は問わない。これらの位置や箇所数は、処理対象物２等に応じて行なわれる実験結果やシミュレーション結果等に応じて適宜設定するようにしてもよい。 In addition, here, the position where the first microwave irradiation is performed to strengthen the microwave and the number of points where the microwave is strengthened, the position where the second microwave irradiation is performed to strengthen the microwave, and the number of points where the microwave is strengthened are shown. It doesn't matter. These positions and the number of locations may be appropriately set according to the experimental results, simulation results, and the like performed according to the object to be processed 2 and the like.

また、第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３と、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３とは、同じ照射部２０３であってもよく、異なる照射部２０３であってもよく、一部だけが同じである照射部２０３であってもよい。第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波と、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波とは、同じ周波数であってもよく、異なる周波数であってもよい。 Further, the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation and the two or more irradiation units 203 that perform the second microwave irradiation may be the same irradiation unit 203, and may be different irradiation units 203. It may be present, or it may be an irradiation unit 203 in which only a part thereof is the same. The microwave irradiated by the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation and the microwave irradiated by the two or more irradiation units 203 that perform the second microwave irradiation may have the same frequency. , May be different frequencies.

１または２以上のセンサ４０は、例えば、上記実施の形態のセンサと同様のものである。各センサ４０は、例えば、容器１０ｃ内の、第一のマイクロ波照射が行なわれる場所の近傍や、第二のマイクロ波照射が行なわれる場所の近傍に設置される。 The sensor 40 of one or more is, for example, the same as the sensor of the above-described embodiment. Each sensor 40 is installed, for example, in the vicinity of the place where the first microwave irradiation is performed or the place where the second microwave irradiation is performed in the container 10c.

搬送手段６０については、上記実施の形態と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 Since the transport means 60 is the same as that of the above embodiment, detailed description thereof will be omitted here.

制御手段５１は、マイクロ波照射手段２１が複数の位置から照射するマイクロ波の位相をそれぞれ制御する。複数の位置から照射するマイクロ波の位相を制御する、ということは、基準になる１以上のマイクロ波の位相は制御せず、他のマイクロ波の位相を制御することも含む概念と考えてもよい。制御手段５１は、上記のように、処理対象物２の移動経路２ａ上の１または２以上の所望の位置において第一のマイクロ波照射が行なわれ、処理対象物２の移動経路２ａ上の、第一のマイクロ波照射が行なわれる位置を除いた１または２以上の所望の位置において第二のマイクロ波照射が行なわれるよう、マイクロ波照射手段２１が照射するマイクロ波の位相を制御する。例えば、このような第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とが行なわれるよう複数の照射部２０３がそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御する。また、制御手段５１は、マイクロ波照射手段２１が複数の位置から照射するマイクロ波の出力を個別に制御してもよい。例えば、制御手段５１は、各照射部２０３が照射するマイクロ波の出力を個別に制御してもよい。例えば、制御手段５１は、所望の位置に第一のマイクロ波照射を行なう照射部２０３の出力を、この所望の位置近傍に配置されたセンサ４０が出力する温度の情報等に応じてフィードバック制御する。また、例えば、制御手段５１は、所望の位置に第二のマイクロ波照射を行なう照射部２０３の出力を、この所望の位置近傍に配置されたセンサ４０が出力する温度の情報等に応じてフィードバック制御する。ただし、フィードバック制御以外の制御を行なっても良い。 The control means 51 controls the phase of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 21 from a plurality of positions. Controlling the phase of microwaves emitted from multiple positions is a concept that includes controlling the phase of other microwaves without controlling the phase of one or more microwaves as a reference. good. As described above, the control means 51 is subjected to the first microwave irradiation at one or more desired positions on the movement path 2a of the processing object 2, and the control means 51 is subjected to the first microwave irradiation on the movement path 2a of the processing object 2. The phase of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 21 is controlled so that the second microwave irradiation is performed at one or more desired positions excluding the position where the first microwave irradiation is performed. For example, the phase of the microwave irradiated by the plurality of irradiation units 203 is controlled so that the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed. Further, the control means 51 may individually control the output of microwaves irradiated by the microwave irradiation means 21 from a plurality of positions. For example, the control means 51 may individually control the output of the microwave irradiated by each irradiation unit 203. For example, the control means 51 feedback-controls the output of the irradiation unit 203 that irradiates the first microwave to a desired position according to the temperature information output by the sensor 40 arranged in the vicinity of the desired position. .. Further, for example, the control means 51 feeds back the output of the irradiation unit 203 that irradiates the second microwave to the desired position according to the temperature information output by the sensor 40 arranged in the vicinity of the desired position. Control. However, control other than feedback control may be performed.

なお、１または２以上の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、各照射部２０３の位相を一旦設定した後、変更が不要である場合や、各照射部２０３の位相の設定を手動で行なう場合等においては、制御手段５１により照射部２０３が照射する位相を制御しないにしてもよく、位相を制御するための制御手段は設けないようにしてよい。 After setting the phase of each irradiation unit 203 once so that the microwaves strengthen each other at one or two or more desired positions, if it is not necessary to change the phase or manually set the phase of each irradiation unit 203. In some cases, the phase irradiated by the irradiation unit 203 may not be controlled by the control means 51, and the control means for controlling the phase may not be provided.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａの動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１ａを用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図５（ａ）に示したマイクロ波処理装置１ａを用いて説明を行なう。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1a according to the present embodiment will be described with reference to specific examples. Here, a case where the PAN-based precursor fiber, which is the object to be treated 2, is subjected to the flame-resistant treatment by using the microwave processing apparatus 1a will be described as an example. Here, in order to simplify the explanation, the microwave processing apparatus 1a shown in FIG. 5A will be used for the explanation.

ここでは、処理対象物２が搬送手段６０によって移動経路２ａに沿って移動しているものとし、図５に示す処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａに対して、第一のマイクロ波照射が行なわれ、地点Ｂに対して、第二のマイクロ波照射が行なわれているとする。具体的には、制御手段５１は複数の照射部２０３を制御して、複数の照射部２０３に、処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａにおいてマイクロ波が強めあわず、地点Ａの周囲の発熱部材３０の１以上の部分において、マイクロ波が強めあうように位相を制御したマイクロ波を照射させる。ここでは、例えば、複数の照射部２０３のうちの、入口１０１ａ側に取付けられた半数から、地点Ａにおいて強め合うようマイクロ波が照射させていたとする。つまり、複数の照射部２０３のうちの、入口１０１ａ側に取付けられた半数によって、第一のマイクロ波照射が行なわれていたとする。また、制御手段５１は複数の照射部２０３を制御して、複数の照射部２０３に、処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａにおいてマイクロ波が強めあい、地点Ａの周囲の発熱部材３０の１以上の部分において、マイクロ波が強めあわないように位相を制御したマイクロ波を照射させる。ここでは、例えば、複数の照射部２０３のうちの、出口１０１ｂ側に取付けられた半数から、地点Ｂにおいて強め合うようマイクロ波が照射させていたとする。つまり、複数の照射部２０３のうちの、出口１０１ｂ側に取付けられた半数によって、第二のマイクロ波照射が行なわれていたとする。なお、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射は、上記の地点Ａおよび地点Ｂ以外の部分においても行なわれているようにしてもよい。 Here, it is assumed that the object 2 to be processed is moving along the movement path 2a by the transport means 60, and the first microwave is directed to the point A on the movement path 2a of the object 2 to be processed shown in FIG. It is assumed that the irradiation is performed and the second microwave irradiation is performed to the point B. Specifically, the control means 51 controls a plurality of irradiation units 203, and the microwaves do not intensify at the point A on the movement path 2a of the processing object 2 to the plurality of irradiation units 203, and the periphery of the point A. In one or more parts of the heat generating member 30 of the above, microwaves whose phases are controlled so that the microwaves intensify each other are irradiated. Here, for example, it is assumed that half of the plurality of irradiation units 203 attached to the inlet 101a are irradiated with microwaves so as to strengthen each other at the point A. That is, it is assumed that the first microwave irradiation is performed by half of the plurality of irradiation units 203 attached to the inlet 101a side. Further, the control means 51 controls a plurality of irradiation units 203, and microwaves are intensified at the point A on the movement path 2a of the processing object 2 to the plurality of irradiation units 203, and the heat generating member 30 around the point A is generated. In one or more parts of the above, microwaves whose phases are controlled so that the microwaves do not intensify each other are irradiated. Here, for example, it is assumed that half of the plurality of irradiation units 203 attached to the outlet 101b side are irradiated with microwaves so as to strengthen each other at the point B. That is, it is assumed that the second microwave irradiation is performed by half of the plurality of irradiation units 203 attached to the outlet 101b side. The first microwave irradiation and the second microwave irradiation may be performed at a portion other than the above points A and B.

第一のマイクロ波照射を行なっていることにより、地点Ａにおいては、図５（ｂ）に示すように、発熱部材３０の複数の地点（ここでは、一例として四点）において、マイクロ波が強めあう箇所３５が発生する。そして、この箇所３５で強めあうマイクロ波によって、発熱部材３０が発熱し、発熱部材３０の輻射熱によって、処理対象物２が外側から加熱される。なお、地点Ａにおいて、処理対象物２も、複数の照射部２０３から照射される複数のマイクロ波が完全に打ち消し合って「０」とならない限りは、マイクロ波によって直接加熱される。ただし、複数のマイクロ波が強めあう箇所ではないため、発熱量は小さい。 By performing the first microwave irradiation, at the point A, as shown in FIG. 5 (b), the microwave is strengthened at a plurality of points (here, four points as an example) of the heat generating member 30. A meeting place 35 occurs. Then, the heat generating member 30 generates heat due to the microwaves strengthening each other at this portion 35, and the object 2 to be processed is heated from the outside by the radiant heat of the heat generating member 30. At the point A, the object 2 to be processed is also directly heated by the microwaves unless the plurality of microwaves irradiated from the plurality of irradiation units 203 completely cancel each other out to become “0”. However, the calorific value is small because it is not a place where multiple microwaves strengthen each other.

また、第二のマイクロ波照射を行なっていることにより、地点Ｂにおいては、図５（ｃ）に示すように、処理対象物２においてマイクロ波が強めあう箇所３５が発生する。そして、この箇所３５で強めあうマイクロ波によって、処理対象物２が直接加熱される。なお、地点Ｂの周りの発熱部材３０においても、複数の照射部２０３から照射される複数のマイクロ波が完全に打ち消し合って「０」とならない限りは、マイクロ波によって発熱し、この発熱によって、処理対象物２は外側からも加熱される。ただし、複数のマイクロ波が強めあう箇所ではないため、発熱量は小さい。 Further, by performing the second microwave irradiation, at the point B, as shown in FIG. 5 (c), a place 35 where the microwaves strengthen each other is generated in the processing object 2. Then, the object 2 to be processed is directly heated by the microwaves that intensify each other at this portion 35. It should be noted that even in the heat generating member 30 around the point B, unless the plurality of microwaves irradiated from the plurality of irradiation units 203 completely cancel each other out and become "0", heat is generated by the microwaves, and this heat generation causes heat generation. The object 2 to be treated is also heated from the outside. However, the calorific value is small because it is not a place where multiple microwaves strengthen each other.

地点Ａ近傍に配置されたセンサ４０が取得する温度によって、制御手段５１が、第一のマイクロ波照射を地点Ａに対して行なう複数の照射部２０３の出力をフィードバック制御することで、地点Ａの周囲の発熱部材３０において強めあうマイクロ波の出力を増減して、地点Ａにおいて、処理対象物２に対して所望の温度による加熱を行なうことができる。また、地点Ｂ近傍に配置されたセンサ４０が取得する温度によって、制御手段５１が、第一のマイクロ波照射を地点Ｂに対して行なう複数の照射部２０３の出力をフィードバック制御することで、処理対象物２の地点Ｂにおいて強めあうマイクロ波の出力を増減して、地点Ｂにおいて、処理対象物２に対して所望の温度による加熱を行なうことができる。 The control means 51 feedback-controls the outputs of the plurality of irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation to the point A according to the temperature acquired by the sensor 40 arranged in the vicinity of the point A, thereby controlling the point A. By increasing or decreasing the output of the microwaves that intensify each other in the surrounding heat generating member 30, it is possible to heat the object 2 to be processed at a desired temperature at the point A. Further, the control means 51 feedback-controls the outputs of the plurality of irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation to the point B according to the temperature acquired by the sensor 40 arranged in the vicinity of the point B. By increasing or decreasing the output of the microwaves that intensify each other at the point B of the object 2, the processing object 2 can be heated at a desired temperature at the point B.

例えば、上記実施の形態において説明したように、処理対象物２の発熱のピークとなる位置やその近傍において、上記の地点Ａと同様に、周囲の発熱部材３０においてマイクロ波が強めあい、処理対象物２において強めあわないように位相を制御して第二のマイクロ波照射を行なうことで、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、他の位置においては、例えば、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうようマイクロ波を照射することで、処理対象物２を主としてマイクロ波による直接加熱によって効率良く加熱することができ、処理速度を向上させることができる。また、他の位置においては、例えば、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうようにしたり、発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうようにしたりすることで、移動する処理対象物２に対し、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを適切に切替えて行なって、処理対象物２に対して均等な加熱や、所望の加熱を行なうことができる。 For example, as described in the above embodiment, at the position where the heat generation of the object 2 to be processed becomes the peak or in the vicinity thereof, microwaves are intensified in the surrounding heat generating member 30 and the object to be processed is processed, as in the case of the above point A. By controlling the phase of the object 2 so as not to strengthen each other and performing the second microwave irradiation, the object to be processed 2 is appropriately treated by avoiding sudden heating when the object 2 to be processed reaches the peak of heat generation. It becomes possible to process. Further, at other positions, for example, by irradiating the object to be processed 2 with microwaves so that the microwaves intensify each other, the object to be processed 2 can be efficiently heated mainly by direct heating with microwaves, and the process can be performed. The speed can be improved. Further, at other positions, for example, by intensifying the microwaves in the processing object 2 or intensifying the microwaves in the heat generating member 30, the moving object 2 can be moved to the second position. By appropriately switching between the first microwave irradiation and the second microwave irradiation, uniform heating or desired heating can be performed on the object 2 to be processed.

なお、この具体例における複数の照射部２０３の配置は一例であり、複数の照射部２０３の配置や数等は問わない。
また、容器１０内の処理対象物２の移動経路２ａに対する、地点Ａのような発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうような地点や、地点Ｂのような処理対象物２においてマイクロ波が強めあうような地点や、地点Ｃのような発熱部材３０と処理対象物２との両方でマイクロ波が強めあうような地点のそれぞれの設定数や、それぞれの配置は問わない。マイクロ波処理装置１ａにおいては、例えば、移動経路２ａに対して、発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうような地点と、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうような地点とが、それぞれ少なくとも１以上、移動経路２ａに対して設定されればよい。 The arrangement of the plurality of irradiation units 203 in this specific example is an example, and the arrangement and number of the plurality of irradiation units 203 are not limited.
Further, with respect to the movement path 2a of the processing object 2 in the container 10, the microwaves intensify each other at the point where the microwaves intensify in the heat generating member 30 such as the point A and in the processing object 2 such as the point B. It does not matter the number of settings or the arrangement of each of such points or points where microwaves intensify each other at both the heat generating member 30 such as point C and the object to be processed 2. In the microwave processing apparatus 1a, for example, there is at least one point where the microwaves intensify each other in the heat generating member 30 and a point where the microwaves intensify in the processing object 2 with respect to the moving path 2a. As described above, it may be set for the movement path 2a.

以上、本実施の形態の形態によれば、マイクロ波照射手段２１が異なる位置から照射する複数のマイクロ波の位相を制御して、２以上のマイクロ波が発熱部材３０において強めあう第一のマイクロ波照射と、２以上のマイクロ波が処理対象物２において強めあう第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたことにより、マイクロ波を用いて処理対象物２を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を直接加熱との組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, according to the embodiment of the present embodiment, the first microwave in which the microwave irradiating means 21 controls the phases of the plurality of microwaves irradiated from different positions and the two or more microwaves intensify each other in the heat generating member 30. By performing wave irradiation and second microwave irradiation in which two or more microwaves intensify each other in the object 2 to be processed, the object 2 to be processed can be appropriately processed by using the microwave. For example, it is possible to control the combination and ratio of heating from the outside of the object to be processed by the heat generating member generated by microwave and direct heating of the object to be processed by microwave to perform appropriate heating.

なお、上記においては、センサ４０が取得する温度の情報等に応じて、照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしたが、１以上のセンサ４０が取得する温度の情報に応じて、マイクロ波照射手段２１が照射するマイクロ波の位相を制御して、第一のマイクロ波照射や第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置を、処理対象物２の移動経路２ａに沿って移動させることで、処理対象物２に対する加熱を制御してもよい。例えば、上記において、地点Ｂのセンサ４０が取得した温度が高い場合に、地点Ｂの位置を、出口側に移動させることで、第二のマイクロ波照射による加熱を行なうタイミングを遅らせるようにしてもよい。 In the above, the output of the irradiated microwave is feedback-controlled according to the temperature information acquired by the sensor 40, etc., but the microwave is micro-controlled according to the temperature information acquired by one or more sensors 40. By controlling the phase of the microwave irradiated by the wave irradiating means 21, the position where the microwave is strengthened by the first microwave irradiation and the second microwave irradiation is moved along the moving path 2a of the processing object 2. By doing so, the heating of the object 2 to be treated may be controlled. For example, in the above, when the temperature acquired by the sensor 40 at the point B is high, the position of the point B may be moved to the outlet side to delay the timing of heating by the second microwave irradiation. good.

また、上記において、処理対象物２の移動経路２ａ上の同じ位置において、発熱部材３０において強めあうようマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２において強めあうようマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射とを、同時に行なうようにしてもよい。また、この場合、第一のマイクロ波照射のマイクロ波の出力と、第二のマイクロ波照射のマイクロ波の出力とを異なる出力しても良い。 Further, in the above, at the same position on the movement path 2a of the object to be processed 2, the first microwave irradiation for irradiating the heat generating member 30 with microwaves to intensify each other and the microwave for intensifying each other in the object to be processed 2 are applied. The second microwave irradiation to be irradiated may be performed at the same time. Further, in this case, the output of the microwave of the first microwave irradiation and the output of the microwave of the second microwave irradiation may be different.

また、上記実施の形態においては、処理対象物２を容器１０内において移動させる場合を例に挙げて説明したが、処理対象物２を、容器１０内において移動させないようにするとともに、容器１０ｃ内に照射される複数のマイクロ波の位相を制御することで、発熱部材３０における第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置と、処理対象物２における第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置とを経時的に移動させることで、発熱部材３０が加熱される位置と、処理対象物２が直接加熱される位置とを、経時的に変更するようにしてもよい。このようにすることで、例えば、処理対象物２に対して適切な加熱を行なうことができる。 Further, in the above embodiment, the case where the object to be processed 2 is moved in the container 10 has been described as an example, but the object 2 to be processed is not moved in the container 10 and the inside of the container 10c. By controlling the phase of the plurality of microwaves to be irradiated to, the position where the microwaves are strengthened by the first microwave irradiation in the heat generating member 30 and the microwaves by the second microwave irradiation in the processing object 2 are generated. By moving the strengthening position with time, the position where the heat generating member 30 is heated and the position where the object 2 to be processed 2 is directly heated may be changed with time. By doing so, for example, it is possible to appropriately heat the object 2 to be treated.

なお、上記実施の形態において、マイクロ波照射手段２１が複数の照射部２０３から照射するマイクロ波の位相を制御した場合に、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が発熱部材３０において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物２において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが、処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられるように、容器１０ｃを設計することが好ましい。 In the above embodiment, when the microwave irradiation means 21 controls the phase of the microwaves irradiated from the plurality of irradiation units 203, the intensity of the microwaves irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the heat generating member 30. A microwave irradiation position of one and a second microwave irradiation position in which the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the object to be processed 2 are provided along the movement path 2a of the object to be processed 2. In addition, it is preferable to design the container 10c.

また、上記実施の形態において、マイクロ波照射手段２１が複数の照射部２０３から照射するマイクロ波の位相を制御しないようにしてもよい。例えば、マイクロ波照射手段２１がマイクロ波を照射する１以上の照射部２０３を備えている場合において、各照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御する代りに、容器１０ｃの設計によって、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が発熱部材３０において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物２において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが、処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられるようにしてもよい。 Further, in the above embodiment, the microwave irradiation means 21 may not control the phase of the microwave irradiated from the plurality of irradiation units 203. For example, when the microwave irradiation means 21 includes one or more irradiation units 203 for irradiating microwaves, instead of controlling the phase of the microwaves irradiated by each irradiation unit 203, irradiation is performed by the design of the container 10c. The first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the unit 203 becomes stronger in the heat generating member 30, and the second microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the object 2 to be processed. And may be provided along the movement path 2a of the processing object 2.

（実施の形態３）
図６は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図（図６（ａ））、図６（ａ）の点Ａを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｂ））、点Ｂを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｃ））、および点Ｃを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｄ））である。本実施の形態のマイクロ波処理装置１ｂは、マイクロ波照射手段２２が異なる周波数のマイクロ波を照射することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたものである。 (Embodiment 3)
FIG. 6 is a cross-sectional view (FIG. 6A) parallel to the moving direction of the object to be processed and a longitudinal direction passing through the point A in FIG. 6A for explaining the microwave processing apparatus according to the present embodiment. Schematic cross-section perpendicular to (FIG. 6 (b)), schematic cross-section perpendicular to longitudinal direction through point B (FIG. 6 (c)), and schematic sectional view perpendicular to longitudinal direction through point C (FIG. 6). (D)). In the microwave processing device 1b of the present embodiment, the microwave irradiating means 22 irradiates microwaves having different frequencies to perform the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. Is.

マイクロ波処理装置１ｂは、容器１０ｄと、マイクロ波照射手段２２と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５２と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing device 1b includes a container 10d, a microwave irradiation means 22, a heat generating member 30, a sensor 40 of one or more, a control means 52, and a transport means 60.

容器１０ｄは、マイクロ波照射手段２２が有する照射部が取付けられることを除けば、上記実施の形態において図１に示した容器１０と同様のものである。また、容器１０ｄとしては、上記実施の形態において説明したような容器が利用可能であり、例えば、複数のキャビティを有する容器等も利用可能である。 The container 10d is the same as the container 10 shown in FIG. 1 in the above embodiment, except that the irradiation portion included in the microwave irradiation means 22 is attached. Further, as the container 10d, a container as described in the above embodiment can be used, and for example, a container having a plurality of cavities can also be used.

容器１０ｄ内には、一本の筒形状の発熱部材３０が処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられている場合について説明する。ただし、発熱部材３０は複数であってもよい。なお、発熱部材３０としては、上記実施の形態において説明した発熱部材３０と同様のものが利用可能である。 A case will be described in which a single tubular heat generating member 30 is provided in the container 10d along the moving path 2a of the object 2 to be processed. However, the number of heat generating members 30 may be plural. As the heat generating member 30, the same heat generating member 30 as described in the above embodiment can be used.

マイクロ波照射手段２２は、異なる周波数のマイクロ波を照射可能であり、異なる周波数のマイクロ波を照射することで、上述したような第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なう。例えば、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射と、を行なう。例えば、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも小さくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射と、を行なう。マイクロ波照射手段２２がこのような第一のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、以下、第一の周波数と称す。また、マイクロ波照射手段２２がこのような第二のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、以下、第二の周波数と称す。 The microwave irradiation means 22 can irradiate microwaves of different frequencies, and by irradiating the microwaves of different frequencies, the first microwave irradiation and the second microwave irradiation as described above are performed. .. For example, in the microwave irradiation means 22, the first microwave irradiation that irradiates the microwave having a frequency at which the heat generated by the heat generating member 30 is larger than the heat generated by the object 2 to be processed and the heat generated by the object 2 to be processed 2 generate heat. A second microwave irradiation, which irradiates a microwave having a frequency higher than the heat generated by the member 30, is performed. For example, the microwave irradiating means 22 has a first microwave irradiation that irradiates a microwave having a frequency at which the microwave absorbed by the heat generating member 30 is larger than the microwave transmitted through the heat generating member 30, and a heat generating member 30. A second microwave irradiation is performed, in which the microwave absorbed in the above is irradiated with a microwave having a frequency smaller than that of the microwave transmitted through the heat generating member 30. The frequency of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 22 in such a first microwave irradiation is hereinafter referred to as a first frequency. Further, the frequency of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 22 in such a second microwave irradiation is hereinafter referred to as a second frequency.

例えば、発熱部材３０を透過するマイクロ波は、照射するマイクロ波の周波数に依存している。例えば、複素誘電率がε'＝１００、ε"＝１０であるような発熱部材３０を用いた場合、発熱部材３０内に侵入したマイクロ波の電力が半分となるような電力半減深度は、９１５ＭＨｚなら３６．３ｍｍ、２．４５ＧＨｚなら１３．６ｍｍとなる。そのため発熱部材３０の厚さを適切な厚さに設定すれば、例えば、２．４５ＧＨｚのマイクロ波を照射した場合、マイクロ波の半分以上、好ましくは大部分は発熱部材３０に吸収され、炭素繊維の前駆体繊維等の処理対象物２にまではマイクロ波が届かなくなる一方、９１５ＭＨｚのマイクロ波を照射した場合、照射したマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を、発熱部材３０を透過させて、炭素繊維の前駆体繊維にマイクロ波を照射することが可能となる。なお、ここでの発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さと考えてもよい。 For example, the microwave transmitted through the heat generating member 30 depends on the frequency of the irradiated microwave. For example, when a heat generating member 30 having a complex permittivity of ε'= 100 and ε "= 10 is used, the power halving depth such that the power of microwaves entering the heat generating member 30 is halved is 915 MHz. If it is 36.3 mm, it will be 13.6 mm if it is 2.45 GHz. Therefore, if the thickness of the heat generating member 30 is set to an appropriate thickness, for example, when irradiating a microwave of 2.45 GHz, it is more than half of the microwave. Most of the heat is preferably absorbed by the heat generating member 30, and the microwave does not reach the object 2 to be processed such as the precursor fiber of the carbon fiber. On the other hand, when the microwave of 915 MHz is irradiated, half of the irradiated microwave is used. As described above, it is possible to irradiate the precursor fibers of carbon fibers with microwaves, preferably by allowing most of them to pass through the heat generating member 30, and the thickness of the heat generating member 30 here is the heat generating member 30. It may be considered as the thickness of the heating medium 301.

例えば、電気抵抗率が２．８×１０^－８Ωｍであるようなアルミニウム等を発熱部材３０（例えば、発熱部材３０の加熱媒体３０１）として用いた場合、発熱部材３０内に侵入したマイクロ波の電界強度が１／ｅとなるような表皮深さは、周波数が９１５ＭＨｚならば２．２μｍ、２．４５ＧＨｚなら１．３μｍである。そのため発熱部材３０の厚さ（例えば、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さ）を、例えば、百ｎｍ単位程度でコントロールすれば、第一の周波数を２．４５ＧＨｚとした第一のマイクロ波照射ではマイクロ波の大部分が発熱部材３０に吸収され、炭素繊維の前駆体等の処理対象物２までマイクロ波が届かないようにできる一方、第二の周波数を９１５ＭＨｚとした第二のマイクロ波照射では発熱部材３０で大部分のマイクロ波を吸収させないようにして、処理対象物２にマイクロ波を照射して、処理対象物２を加熱することが可能となる。なお、上記の複素誘電率の虚部ε"は、比誘電損失とも呼ばれる場合がある。 For example, when aluminum or the like having an electric resistivity of 2.8 × 10 ^-8 Ωm is used as the heat generating member 30 (for example, the heating medium 301 of the heat generating member 30), the microwaves that have penetrated into the heat generating member 30 The skin depth such that the electric field strength is 1 / e is 2.2 μm when the frequency is 915 MHz and 1.3 μm when the frequency is 2.45 GHz. Therefore, if the thickness of the heat generating member 30 (for example, the thickness of the heating medium 301 of the heat generating member 30) is controlled in units of, for example, about 100 nm, the first microwave irradiation with the first frequency set to 2.45 GHz. Then, most of the microwave is absorbed by the heat generating member 30, so that the microwave does not reach the object 2 to be processed such as the precursor of carbon fiber, while the second microwave irradiation with the second frequency set to 915 MHz. Then, it is possible to heat the object to be processed 2 by irradiating the object to be processed 2 with the microwave so that the heat generating member 30 does not absorb most of the microwave. The above-mentioned imaginary part ε "of the complex permittivity may also be referred to as a relative dielectric loss.

マイクロ波照射手段２２は、例えば、処理対象部２が移動している場合において、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射と、を、処理対象物２の移動経路２ａの異なる位置に対して行なうようにしても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを、処理対象物２の移動経路２ａの同じ位置に対して同時に行なうようにしても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを、処理対象物２の移動経路２ａの同じ位置に対して切替えて行なうようにしてもよい。また、マイクロ波照射手段２２は、照射する各周波数のマイクロ波の出力を変更してもよい。 For example, when the processing target portion 2 is moving, the microwave irradiation means 22 places the first microwave irradiation and the second microwave irradiation at different positions of the movement path 2a of the processing target 2. You may do it for. Further, the microwave irradiation means 22 may simultaneously perform the first microwave irradiation and the second microwave irradiation on the same position of the movement path 2a of the processing object 2. Further, the microwave irradiation means 22 may switch between the first microwave irradiation and the second microwave irradiation with respect to the same position of the movement path 2a of the processing object 2. Further, the microwave irradiation means 22 may change the output of the microwave of each frequency to be irradiated.

マイクロ波照射手段２２は、例えば、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な１以上の照射部（図示せず）を有しており、出力する周波数を変更することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを切替えて行なっても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射を行なうための第一の周波数のマイクロ波を照射する１以上の照射部（以下、第一周波数照射部２０４と称す）と、第二のマイクロ波照射を行なうための、第一の周波数とは異なる第二の周波数のマイクロ波を照射する１以上の照射部（以下、第二周波数照射部２０５と称す）と、をそれぞれ有するようにし、これらが照射する異なる周波数のマイクロ波を照射することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なっても良い。以下、本実施の形態においては、１以上の第一周波数照射部２０４を用いて第一のマイクロ波照射を行ない、１以上の第二周波数照射部２０５を用いて第二のマイクロ波照射を行なう場合を例に挙げて説明する。 The microwave irradiation means 22 has, for example, one or more irradiation units (not shown) capable of changing the frequency of the microwave to be irradiated, and by changing the output frequency, the first microwave irradiation is performed. And the second microwave irradiation may be switched. Further, the microwave irradiation means 22 includes one or more irradiation units (hereinafter referred to as the first frequency irradiation unit 204) that irradiate the first frequency microwave for performing the first microwave irradiation, and the second. Have one or more irradiation units (hereinafter referred to as the second frequency irradiation unit 205) that irradiate microwaves with a second frequency different from the first frequency for performing microwave irradiation. , The first microwave irradiation and the second microwave irradiation may be performed by irradiating the microwaves of different frequencies that they irradiate. Hereinafter, in the present embodiment, the first microwave irradiation is performed by using one or more first frequency irradiation units 204, and the second microwave irradiation is performed by using one or more second frequency irradiation units 205. The case will be described as an example.

第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、例えば、容器１０ｄの壁面の異なる位置に設けられた開口部１０２に取付けられて、容器１０ｄ内にマイクロ波を照射する。第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、処理対象物２の移動経路の異なる位置にマイクロ波を照射するよう配置されていてもよく、同じ位置にマイクロ波を照射するように配置されていてもよい。 The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 are attached to, for example, openings 102 provided at different positions on the wall surface of the container 10d, and irradiate the inside of the container 10d with microwaves. The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 may be arranged so as to irradiate microwaves at different positions of the movement path of the processing object 2, and are arranged so as to irradiate microwaves at the same positions. It may have been done.

図６においては、第一周波数照射部２０４の一つが、照射する第一の周波数のマイクロ波が地点Ａを含む領域に照射されるよう容器１０ｄに取付けられており、第二周波数照射部２０５の一つが、照射する第一の周波数のマイクロ波が地点Ｂを含む領域に照射されるよう容器１０ｄに取付けられており、第一周波数照射部２０４の一つと第二周波数照射部２０５の一つとが、地点Ｃを含む領域に、それぞれ、第一の周波数のマイクロ波と第二の周波数のマイクロ波とを照射するよう取付けられている例について説明している。例えば、第一周波数照射部２０４が、地点Ａと地点Ｃの情報に、また、第二周波数照射部２０５が地点Ｂの上方と下方とにそれぞれ配置されている例について示している。ただし、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を配置する位置や、それぞれの配置される数等は問わない。 In FIG. 6, one of the first frequency irradiation units 204 is attached to the container 10d so that the microwave of the first frequency to be irradiated is irradiated to the region including the point A, and the second frequency irradiation unit 205 is attached. One is attached to the container 10d so that the microwave of the first frequency to be irradiated is irradiated to the region including the point B, and one of the first frequency irradiation unit 204 and one of the second frequency irradiation unit 205 are attached. , An example is described in which the region including the point C is attached so as to irradiate the microwave of the first frequency and the microwave of the second frequency, respectively. For example, an example is shown in which the first frequency irradiation unit 204 is arranged in the information of the points A and C, and the second frequency irradiation unit 205 is arranged above and below the point B, respectively. However, the position where the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 are arranged, the number of each arrangement, and the like are not limited.

なお、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、上記実施の形態において説明したように、例えば、マイクロ波発振器２００１と、伝送部２００２とを備えている。ただし、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、マイクロ波発振器２００１が発振するマイクロ波の周波数が異なる。照射部２０３が有するマイクロ波発振器２００１としては、半導体型発振器を用いることが好ましい。なお、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、上記以外の構造を有していてもよい。 The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 include, for example, a microwave oscillator 2001 and a transmission unit 2002, as described in the above embodiment. However, the frequency of the microwave oscillated by the microwave oscillator 2001 is different between the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205. As the microwave oscillator 2001 included in the irradiation unit 203, it is preferable to use a semiconductor type oscillator. The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 may have structures other than the above.

１または２以上のセンサ４０は、例えば、上記実施の形態のセンサと同様のものである。ここでは、３つのセンサ４０が、それぞれ、容器１０ｄの、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃにの近傍となる位置、例えば、容器１０ｄの、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃの上方の近傍に配置されている場合を例として示している。 The sensor 40 of one or more is, for example, the same as the sensor of the above-described embodiment. Here, the three sensors 40 are located near the points A, B, and C of the container 10d, respectively, for example, near the points A, B, and C above the container 10d. The case where it is arranged in is shown as an example.

制御手段５２は、マイクロ波照射手段２２が有する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波の出力を制御する。例えば、制御手段５２は、上記の三つのセンサ４０が取得する処理対象物２の温度の情報に応じて、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃにそれぞれマイクロ波を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力をフィードバック制御する。ただし、制御はフィードバック制御でなくてもよい。なお、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の位相を制御可能な複数の照射部（図示せず）を有する場合、制御手段５２は、マイクロ波照射手段２２が有する各照射部が、照射するマイクロ波の周波数をそれぞれ制御してもよい。 The control means 52 controls the output of the microwave irradiated by the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 of the microwave irradiation means 22. For example, the control means 52 is the first frequency irradiation unit 204 that irradiates the points A, the point B, and the point C with microwaves according to the temperature information of the processing object 2 acquired by the above three sensors 40. And the output of the second frequency irradiation unit 205 is feedback controlled. However, the control does not have to be feedback control. When the microwave irradiation means 22 has a plurality of irradiation units (not shown) capable of controlling the phase of the microwave to be irradiated, the control means 52 is such that each irradiation unit of the microwave irradiation means 22 irradiates. The frequency of each microwave may be controlled.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１ｂの動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１ｂを用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図６に示したマイクロ波処理装置１ｂを用いて説明を行なう。なお、ここでの第一周波数照射部２０４が照射するマイクロ波は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも大きくなる第一の周波数のマイクロ波であり、第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも小さくなる第二の周波数のマイクロ波であるとする。また、ここでの発熱部材２０は、照射される第一の周波数のマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を吸収し、照射される第二の周波数のマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を吸収せずに透過させる厚さを有するものであるとする。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1b of the present embodiment will be described with reference to specific examples. Here, a case where the PAN-based precursor fiber, which is the object to be treated 2, is subjected to the flame-resistant treatment by using the microwave processing apparatus 1b will be described as an example. Here, in order to simplify the explanation, the microwave processing apparatus 1b shown in FIG. 6 will be used for the explanation. The microwave irradiated by the first frequency irradiation unit 204 here is a microwave having a first frequency in which the microwave absorbed by the heat generating member 30 is larger than the microwave transmitted through the heat generating member 30. It is assumed that the microwave irradiated by the second frequency irradiation unit 205 is a microwave having a second frequency in which the microwave absorbed by the heat generating member 30 is smaller than the microwave transmitted through the heat generating member 30. Further, the heat generating member 20 here absorbs more than half, preferably most of the microwave of the first frequency to be irradiated, and more than half, preferably most of the microwave of the second frequency to be irradiated. It is assumed that it has a thickness that allows it to permeate without absorbing.

例えば、搬送手段６０により、処理対象物２が搬送されている状態において、第一周波数照射部２０４から、常時、第一の周波数のマイクロ波１６を照射し、第二周波数照射部２０５から、常時、第二の周波数のマイクロ波１７を照射する。なお、ここでは、第一周波数照射部２０４が照射するマイクロ波１６の出力および第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波１７の出力は、それぞれの近傍に配置されるセンサ４０が取得する温度の情報に応じて、フィードバック制御されるものとする。 For example, while the object 2 to be processed is being transported by the transport means 60, the first frequency irradiation unit 204 constantly irradiates the microwave 16 of the first frequency, and the second frequency irradiation unit 205 constantly irradiates the microwave 16. , Irradiates the microwave 17 of the second frequency. Here, the output of the microwave 16 irradiated by the first frequency irradiation unit 204 and the output of the microwave 17 irradiated by the second frequency irradiation unit 205 are the temperatures acquired by the sensors 40 arranged in the vicinity of each. Feedback control shall be performed according to the information.

地点Ａにおいては、第一周波数照射部２０４から、第一の周波数のマイクロ波１６が照射されて、第一のマイクロ波照射が行なわれることとなるため、発熱部材３０でマイクロ波が吸収されやすく、マイクロ波１６が処理対象物２に照射されにくいため、図６（ｂ）に示すように、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱される。なお、発熱部材３０よりも発熱は小さいが、処理対象物２も、照射されるマイクロ波１６の一部によって直接加熱される。 At the point A, the microwave 16 of the first frequency is irradiated from the first frequency irradiation unit 204, and the first microwave irradiation is performed. Therefore, the microwave is easily absorbed by the heat generating member 30. Since it is difficult for the microwave 16 to irradiate the object 2 to be processed, the heat generated by the heat generating member 30 is higher than the heat generated by the object 2 to be processed 2, as shown in FIG. 6B. As a result, the object 2 to be processed is heated from the outside by the radiant heat from the heat generating member 30. Although the heat generation is smaller than that of the heat generating member 30, the object 2 to be treated is also directly heated by a part of the irradiated microwave 16.

地点Ｂにおいては、第二周波数照射部２０５から、第二の周波数のマイクロ波１７が照射されて、第二のマイクロ波照射が行なわれることとなるため、発熱部材３０において、マイクロ波が吸収されにくく、透過したマイクロ波１７が処理対象物２に照射されて、図６（ｃ）に示すように、処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、照射されるマイクロ波１７によって直接加熱される。なお、発熱部材３０も照射されるマイクロ波１７の一部により加熱されるため、発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱される。 At the point B, the microwave 17 of the second frequency is irradiated from the second frequency irradiation unit 205, and the second microwave irradiation is performed. Therefore, the microwave is absorbed by the heat generating member 30. The microwave 17 that is difficult and transmitted is irradiated to the object 2 to be processed, and as shown in FIG. 6C, the heat generated by the object 2 to be processed becomes higher than the heat generated by the heat generating member 30. As a result, the object 2 to be treated is directly heated by the irradiated microwave 17. Since the heat generating member 30 is also heated by a part of the irradiated microwaves 17, it is heated from the outside by the radiant heat from the heat generating member 30.

地点Ｃにおいては、第一周波数照射部２０４から、第一の周波数のマイクロ波１６が照射されて、第一のマイクロ波照射が行なわれるとともに、第二周波数照射部２０５から、第二の周波数のマイクロ波１７が照射されて、第二のマイクロ波照射が行なわれることとなる。第一の周波数のマイクロ波１６によって、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも高くなる。一方、第二の周波数のマイクロ波１７によって、第二の周波数のマイクロ波１７による処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、図６（ｄ）に示すように、第一の周波数のマイクロ波１６の照射に応じて発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱されるとともに、第二の周波数のマイクロ波１７の照射に応じて直接加熱される。 At the point C, the first frequency irradiation unit 204 irradiates the first frequency microwave 16 to perform the first microwave irradiation, and the second frequency irradiation unit 205 irradiates the second frequency. The microwave 17 is irradiated, and the second microwave irradiation is performed. Due to the microwave 16 of the first frequency, the heat generated by the heat generating member 30 becomes higher than the heat generated by the object 2 to be processed. On the other hand, due to the microwave 17 having the second frequency, the heat generated by the object 2 to be processed by the microwave 17 having the second frequency becomes higher than the heat generated by the heat generating member 30. As a result, as shown in FIG. 6D, the object 2 to be processed is heated from the outside by the radiant heat from the heat generating member 30 in response to the irradiation of the microwave 16 having the first frequency, and the second frequency. It is directly heated according to the irradiation of the microwave 17.

各地点Ａ～Ｃに照射されるマイクロ波１６および１７の出力は、例えば、それぞれの地点の近傍に設けられたセンサ４０が取得する処理対象物２の温度の情報に応じて、制御手段５２がそれぞれの地点にマイクロ波を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力を制御することによって、フィードバック制御される。 The outputs of the microwaves 16 and 17 irradiated to the points A to C are, for example, controlled by the control means 52 according to the temperature information of the processing object 2 acquired by the sensor 40 provided near each point. Feedback control is performed by controlling the outputs of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 that irradiate each point with microwaves.

なお、地点Ｃに対して、異なる周波数のマイクロ波１６および１７を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力を個別に変更することで、地点Ｃにおける発熱部材３０の発熱量と、処理対象物２の発熱量との比率を制御することができる。例えば、第一周波数照射部２０４が出力する第一の周波数のマイクロ波１６の出力だけを高くすることで、発熱部材３０の発熱量を処理対象物２の発熱量に対して高くすることができ、第二周波数照射部２０５が出力する第二の周波数のマイクロ波１７の出力だけを高くすることで、処理対象物２の発熱量を発熱部材３０の発熱量に対して高くすることができる。 By individually changing the outputs of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 that irradiate the microwaves 16 and 17 of different frequencies with respect to the point C, the heat generation of the heat generating member 30 at the point C is generated. The ratio between the amount and the calorific value of the object 2 to be processed can be controlled. For example, by increasing only the output of the first frequency microwave 16 output by the first frequency irradiation unit 204, the heat generation amount of the heat generating member 30 can be increased with respect to the heat generation amount of the processing object 2. By increasing only the output of the second frequency microwave 17 output by the second frequency irradiation unit 205, the heat generation amount of the processing object 2 can be increased with respect to the heat generation amount of the heat generation member 30.

例えば、上記実施の形態において説明したように、移動経路２ａにおける処理対象物２の発熱のピークとなる位置やその近傍において、上記の地点Ａと同様に、発熱部材３０の発熱が処理対象物２よりも高くなる第一の周波数のマイクロ波照射を行なうことで、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、移動経路２ａのこれ以外の他の位置に対しては、例えば、適宜、第一の周波数のマイクロ波を照射したり、第二の周波数のマイクロ波を照射したり、第一の周波数のマイクロ波と第二の周波数のマイクロ波との両方を照射したりすることによって、移動する処理対象物２に対し、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを適切に組み合わせて行なうことができ、処理対象物２に対して所望の加熱を行なうことができる。 For example, as described in the above-described embodiment, the heat generated by the heat-generating member 30 is generated by the heat-generating object 2 at the position where the heat generation of the processing object 2 peaks in the moving path 2a or in the vicinity thereof, as in the case of the above-mentioned point A. By irradiating microwaves with a first frequency higher than that, it is possible to properly process the object 2 to be processed, avoiding sudden heating when the object 2 to be processed reaches the peak of heat generation. Become. Further, for the other positions of the movement path 2a, for example, microwaves of the first frequency may be irradiated, microwaves of the second frequency may be irradiated, or microwaves of the first frequency may be irradiated. By irradiating both the microwave and the microwave of the second frequency, the moving object 2 to be processed is appropriately combined with the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. This can be done, and the desired heating can be performed on the object 2 to be treated.

なお、この具体例における第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５との配置等は一例であり、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の配置や数等は問わない。マイクロ波処理装置１ｂは、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５のそれぞれを少なくとも１以上有していればよい。例えば、複数の第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を容器１０に対して取付けるようにしてもよい。 The arrangement of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 in this specific example is an example, and the arrangement and number of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 do not matter. The microwave processing device 1b may have at least one of each of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205. For example, a plurality of first frequency irradiation units 204 and second frequency irradiation unit 205 may be attached to the container 10.

また、上記具体例において、地点Ｃと同様に、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とを、複数の地点のそれぞれに対してマイクロ波を照射する照射部として設けるようにして、この複数の地点のうちの一以上の地点に対して、異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。また、この場合において、一の地点に対して、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とのうちの一方だけからマイクロ波を照射することで、いずれか一方の周波数のマイクロ波だけを照射できるようにしてもよく、一の地点に対してマイクロ波を照射する照射部を、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とで切替えることで、一の地点に対して照射するマイクロ波の周波数を変更できるようにしてもよい。 Further, in the above specific example, similarly to the point C, the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 are provided as irradiation units for irradiating each of the plurality of points with microwaves. Microwaves of different frequencies may be applied to one or more of the plurality of points. Further, in this case, by irradiating one point with microwaves from only one of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205, only the microwave of one of the frequencies is irradiated. The irradiation unit that irradiates microwaves to one point may be switched between the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 to irradiate one point. It may be possible to change the frequency of the microwave.

また、上記具体例において、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を設ける代わりに、周波数を変更可能な複数の照射部（図示せず）を、例えば、移動経路２ａに沿って設けるようにし、それぞれから、それぞれの位置に適した周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。例えば、図６のような地点Ａ～Ｃの上方に、周波数を変更可能な複数の照射部を配置し、地点Ａおよび地点Ｃの上方の照射部から、第一の周波数のマイクロ波を照射し、地点Ｂの上方の照射部から第二の周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。このように、第一の周波数のマイクロ波を照射する一の照射部と、第二の周波数のマイクロ波を照射する一の照射部とを、一の照射部により実現してもよい。 Further, in the above specific example, instead of providing the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205, a plurality of irradiation units (not shown) whose frequencies can be changed are provided, for example, along the movement path 2a. It is also possible to irradiate microwaves having a frequency suitable for each position from each of them. For example, a plurality of irradiation units whose frequencies can be changed are arranged above points A to C as shown in FIG. 6, and microwaves of the first frequency are irradiated from the irradiation units above points A and C. , The second frequency microwave may be irradiated from the irradiation unit above the point B. As described above, one irradiation unit that irradiates the microwave of the first frequency and one irradiation unit that irradiates the microwave of the second frequency may be realized by one irradiation unit.

また、この場合、それぞれの照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、適宜変更するようにしてもよい。例えば、地点Ｂの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、処理対象物２の材質や太さ、移動速度等に応じて、地点Ｂの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を第二の周波数から第一の周波数に変更するようにし、地点Ｃの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、第一の周波数から第二の周波数に変更するようにしてもよい。また、センサ４０が取得する温度の情報等に応じて、各照射部が照射するマイクロ波の周波数を変更してもよい。 Further, in this case, the frequency of the microwave emitted from each irradiation unit may be appropriately changed. For example, the frequency of the microwave emitted from the irradiation unit above the point B is set to the frequency of the microwave emitted from the irradiation unit above the point B according to the material, thickness, moving speed, etc. of the object 2 to be processed. Even if the frequency is changed from the second frequency to the first frequency and the frequency of the microwave emitted from the irradiation unit above the point C is changed from the first frequency to the second frequency. good. Further, the frequency of the microwave irradiated by each irradiation unit may be changed according to the temperature information or the like acquired by the sensor 40.

また、１以上のそれぞれの地点に対してマイクロ波を照射する照射部（図示せず）を複数設けるとともに、各照射部を、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な照射部とし、それぞれの地点にマイクロ波を照射する複数の照射部のマイクロ波の周波数を異なる周波数とすることで、各地点に対して、異なる周波数のマイクロ波を照射できるようにしてもよい。また、この場合、一の地点に対してマイクロ波を照射する複数の照射部のマイクロ波を同じ周波数のマイクロ波としたり、一の照射部だけがマイクロ波を照射するようにしたりすることで、異なる周波数のマイクロ波を照射する必要がない地点に対しては、一の周波数のマイクロ波だけを照射できるようにしてもよい。 In addition, a plurality of irradiation units (not shown) that irradiate microwaves at one or more points are provided, and each irradiation unit is an irradiation unit that can change the frequency of the microwave to be irradiated, and each point. By setting the frequencies of the microwaves of the plurality of irradiation units to be different frequencies, it may be possible to irradiate each point with microwaves of different frequencies. Further, in this case, the microwaves of the plurality of irradiation units that irradiate the microwave to one point may be set to the microwave of the same frequency, or only one irradiation unit may irradiate the microwave. For points where it is not necessary to irradiate microwaves of different frequencies, it may be possible to irradiate only microwaves of one frequency.

以上、本実施の形態においては、容器内に異なる周波数のマイクロ波を照射して第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたので、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を発熱させることによる処理対象物の直接加熱とを組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, in the present embodiment, since the inside of the container is irradiated with microwaves of different frequencies to perform the first microwave irradiation and the second microwave irradiation, the processing target using the microwave is used. Can handle things properly. For example, it is appropriate to control the combination and ratio of heating from the outside of the object to be processed by the heat generating member generated by microwave and direct heating of the object to be processed by generating heat by microwave. Heating can be done.

なお、上記実施の形態３において、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０に対するマイクロ波の損失が、処理対象物２に対する損失よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、発熱部材３０に対する損失が、処理対象物２に対する損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射とを、上記の第一のマイクロ波照射と第二のマイクロ波照射との代わりに行なうようにしてもよい。ここでのマイクロ波の損失は、マイクロ波による発熱部材３０や、処理対象物２の発熱と考えても良い。マイクロ波の損失は、例えば、比誘電損失等で表すことができる。比誘電損失とは、複素誘電率の虚部ε"である。通常、比誘電損失が大きくなると、マイクロ波照射による発熱が大きくなり、比誘電損失が小さくなると、マイクロ波照射による発熱が小さくなる。このような第一のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、上述した第一の周波数と考えるようにしてもよい。また、このような第二のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、上述した第二の周波数と考えるようにしてもよい。なお、ここでの発熱部材３０の比誘電損失は、発熱部材３０の加熱媒体３０１の比誘電損失と考えてもよい。 In the third embodiment, the microwave irradiation means 22 is the first microwave irradiation that irradiates the microwave having a frequency at which the loss of the microwave to the heat generating member 30 is larger than the loss to the object 2 to be processed. The second microwave irradiation that irradiates the microwave having a frequency at which the loss to the heat generating member 30 is smaller than the loss to the object 2 to be processed is the above-mentioned first microwave irradiation and the second microwave irradiation. You may do it instead of. The loss of the microwave here may be considered to be the heat generated by the heat generating member 30 and the object to be processed 2 due to the microwave. The microwave loss can be expressed, for example, by a specific dielectric loss or the like. The specific dielectric loss is the imaginary part ε "of the complex permittivity. Normally, when the specific dielectric loss is large, the heat generated by microwave irradiation is large, and when the specific dielectric loss is small, the heat generated by microwave irradiation is small. The frequency of the microwave irradiated in such a first microwave irradiation may be considered as the above-mentioned first frequency. Further, the frequency of the microwave irradiated in such a second microwave irradiation may be considered. The frequency may be considered as the second frequency described above. The specific dielectric loss of the heat generating member 30 here may be considered as the specific dielectric loss of the heating medium 301 of the heat generating member 30.

なお、上記において、容器１０ｄが複数のキャビティを有するようにし、キャビティ毎に、例えば、第一周波数照射部２０４または第二周波数照射部２０５のいずれか一方を１または２以上取付けるようにして、各キャビティ内に異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。このような構成により、処理対象物２に対して各キャビティ内で異なる周波数のマイクロ波を照射することができ、照射する異なる周波数のマイクロ波の出力等が制御しやすくなる。 In the above, the container 10d has a plurality of cavities, and for each cavity, for example, one or two or more of either the first frequency irradiation unit 204 or the second frequency irradiation unit 205 is attached. The cavity may be irradiated with microwaves of different frequencies. With such a configuration, it is possible to irradiate the object 2 to be processed with microwaves having different frequencies in each cavity, and it becomes easy to control the output of the microwaves having different frequencies to be irradiated.

また、上記実施の形態においては、処理対象物を容器内において移動させる場合を例に挙げて説明したが、処理対象物２を容器１０ｄ内に移動させないようにするとともに、容器１０ｄ内に照射されるマイクロ波の周波数を経時的に変更することで、発熱部材３０を加熱するための第一のマイクロ波照射と、処理対象物２を加熱するための第二のマイクロ波照射とを時間単位で切替えて行なうようにして、処理対象物２に対する発熱部材３０からの加熱と、処理対象物２に対するマイクロ波による直接加熱とを、時間単位で切替えて行なうようにしても良い。 Further, in the above embodiment, the case where the object to be processed is moved in the container has been described as an example, but the object 2 to be processed is not moved into the container 10d and is irradiated in the container 10d. By changing the frequency of the microwave over time, the first microwave irradiation for heating the heat generating member 30 and the second microwave irradiation for heating the object 2 to be processed are performed in hours. The heating of the processing object 2 from the heat generating member 30 and the direct heating of the processing object 2 by microwaves may be switched and performed in units of time.

なお、上記実施の形態３においては、マイクロ波照射手段２２が、異なる二つの周波数のマイクロ波を照射する場合について説明したが、マイクロ波照射手段２２が、三以上の異なる周波数のマイクロ波を照射できるようにしてもよい。例えば、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の周波数が異なる三以上の照射部をそれぞれ一以上有していても良い。また、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な三以上の照射部を有するようにし、この照射部のうちの三以上が、異なる周波数のマイクロ波を照射するようそれぞれが照射するマイクロ波の周波数を制御するようにしてもよい。また、上記実施の形態において、複数の照射部の共用可能な部分については、共用できるようにしてもよい。 In the third embodiment, the case where the microwave irradiating means 22 irradiates microwaves having two different frequencies has been described, but the microwave irradiating means 22 irradiates three or more different frequencies of microwaves. You may be able to do it. For example, the microwave irradiation means 22 may have one or more irradiation units having three or more different frequencies of microwaves to be irradiated. Further, the microwave irradiating means 22 has three or more irradiation units whose frequency of the microwave to be irradiated can be changed, and each of the three or more of the irradiation units irradiates microwaves having different frequencies. The frequency of the irradiated microwave may be controlled. Further, in the above embodiment, the shareable portions of the plurality of irradiation units may be shared.

また、上記実施の形態２において、上記実施の形態３において説明したように、第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が、第一の周波数のマイクロ波を照射するようにし、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が、第二の周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。 Further, in the second embodiment, as described in the third embodiment, the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation are arranged to irradiate the microwave of the first frequency. The two or more irradiation units 203 that perform the second microwave irradiation may irradiate the microwave of the second frequency.

また、上記各実施の形態においては、マイクロ波処理装置を、ＰＡＮ系等の前駆体繊維を処理対象物として、この処理対象物に対して耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明したが、このマイクロ波処理装置は、前駆体繊維以外の処理対象物に対する処理や、耐炎化処理以外の処理にも利用可能なものであり、このような場合においても上記実施の形態と同様の効果を奏する。例えば、処理対象物の材質等は問わない。例えば、処理対象物は、綿糸、ウール糸、カシミア糸、ポリマー糸、または金属糸等であってもよい。ポリマー糸は、例えば、ナイロン糸、フロロカーボン糸、またはポリエチレン糸等である。例えば、上記のマイクロ波処理装置を、綿糸、ウール糸、カシミア糸等の乾燥等に用いるようにしてもよい。また、例えば、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置を、ポリマー糸や金属糸等の加熱や、焼成、焼結等の処理等に用いるようにしてもよい。また、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置を、耐炎化処理を行なった前駆体繊維の炭化処理、すなわち耐炎化処理を行なった前駆体繊維を用いて炭素繊維を製造する処理に用いてもよい。また、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置において、前駆体繊維に対して上述したような耐炎化処理を行なった後、さらに同じ容器内において、炭化処理を行なって炭素繊維を製造してもよい。また、処理対象物２は、繊維状のものに限られるものではなく、例えば、棒状や鎖状、シート状、フィルム状、チューブ状等の他の形状のものであってもよい。また、処理対象物２は、発熱部材内等に配置可能なものや、発熱部材内を移動可能なものであれば、必ずしも所定の方向に向かって連続的に伸びる、あるいは連続的につながった形状を有していなくても良く、例えば、容器内の入口側から出口側に向かって移動するマイクロ波透過性の高い材料で構成されたベルト（図示せず）上に配置された連続していない固体状の物体であってもよく、容器内の入口側から出口側に向かって伸びるマイクロ波透過性の高いガラス等の材料で構成された筒や樋に配置されて移動する液体または粉体等の流体や、ゲル等であってもよい。なお、マイクロ波装置内のマイクロ波照射手段が照射するマイクロ波の数やマイクロ波の照射位置、マイクロ波の出力の強さ、マイクロ波の周波数等は、処理対象物や、処理対象物に対して行なう処理等に応じて適宜設定する。 Further, in each of the above embodiments, the microwave processing apparatus has been described by taking as an example a case where a precursor fiber such as a PAN system is used as a treatment target and the treatment target is subjected to flame resistance treatment. , This microwave processing apparatus can be used for treatment of objects other than precursor fibers and treatment other than flame resistance treatment, and even in such a case, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained. Play. For example, the material of the object to be processed does not matter. For example, the object to be treated may be cotton yarn, wool yarn, cashmere yarn, polymer yarn, metal yarn or the like. The polymer yarn is, for example, nylon yarn, fluorocarbon yarn, polyethylene yarn, or the like. For example, the above-mentioned microwave processing apparatus may be used for drying cotton yarn, wool yarn, cashmere yarn and the like. Further, for example, the microwave processing apparatus of each of the above embodiments may be used for heating polymer yarns, metal yarns and the like, firing, sintering and the like. Further, the microwave processing apparatus of each of the above embodiments may be used for carbonization treatment of the flame-resistant precursor fiber, that is, for the treatment of producing carbon fiber using the flame-resistant precursor fiber. good. Further, in the microwave processing apparatus of each of the above embodiments, the precursor fiber may be subjected to the flame resistance treatment as described above, and then carbonized in the same container to produce carbon fiber. good. Further, the object 2 to be treated is not limited to a fibrous one, and may be, for example, another shape such as a rod shape, a chain shape, a sheet shape, a film shape, or a tube shape. Further, the object 2 to be processed does not necessarily have a shape that continuously extends or is continuously connected in a predetermined direction as long as it can be arranged in a heat generating member or the like or can be moved in the heat generating member. May not be present, for example, discontinuously placed on a belt (not shown) made of a material with high microwave permeability that moves from the inlet side to the outlet side in the container. It may be a solid object, and a liquid or powder that moves in a cylinder or a gutter made of a material such as glass having high microwave permeability extending from the inlet side to the outlet side in the container. It may be a fluid of the above, a gel, or the like. The number of microwaves irradiated by the microwave irradiation means in the microwave device, the irradiation position of the microwave, the intensity of the microwave output, the frequency of the microwave, etc. are determined with respect to the object to be processed and the object to be processed. Set as appropriate according to the processing to be performed.

なお、マイクロ波処理装置内において、耐炎化処理を行なった前駆体繊維を用いて炭素繊維を製造する場合、上述したガス供給手段７０が、例えば、炭素繊維の製造に必要な窒素等のガスを供給することが好ましい。 When carbon fiber is produced using the flame-resistant precursor fiber in the microwave processing apparatus, the gas supply means 70 described above can be used, for example, to produce a gas such as nitrogen necessary for producing the carbon fiber. It is preferable to supply.

また、上記の実施の形態においては、マイクロ波処理装置の後ろに、処理を行なった処理対象物を巻き取る巻き取り部６５を設けた例について説明したが、耐炎化処理を行なった処理対象物を、巻き取ったりせずに、他の処理装置（図示せず）内に供給するようにしてもよい。例えば、上記のマイクロ波処理装置で耐炎化処理を行なった前駆体繊維を、そのまま耐炎化処理を行なった前駆体繊維に対して炭化処理を行なう装置（図示せず）に搬送手段６０を用いて送り込むようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the winding unit 65 for winding the processed object is provided behind the microwave processing device has been described, but the processed object that has been subjected to the flameproof treatment has been described. May be supplied into another processing device (not shown) without winding. For example, the transport means 60 is used in an apparatus (not shown) in which the precursor fiber that has been flame-resistant treated by the above-mentioned microwave processing apparatus is carbonized as it is into the precursor fiber that has been subjected to the flame-resistant treatment. You may send it in.

なお、上記の各実施の形態において説明した炭素繊維の前駆体繊維の耐炎化処理は、炭素繊維の製造方法の一工程と考えてもよい。すなわち、この耐炎化処理を含む炭素繊維の製造方法は、マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内に、マイクロ波を照射して、発熱部材に沿って配置された炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、上記の加熱する工程において、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、前駆体繊維を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうようにした炭素繊維の製造方法である。 The flame-resistant treatment of the carbon fiber precursor fiber described in each of the above embodiments may be considered as one step of the carbon fiber manufacturing method. That is, in the method for producing carbon fiber including this flame-resistant treatment, carbon is arranged along the heat-generating member by irradiating the container with a heat-generating member that absorbs the microwave and generates heat. A method for producing carbon fiber, which comprises a step of heating the precursor fiber of the fiber. In the above heating step, a first microwave irradiation for heating a heat generating member and a second micro for heating the precursor fiber. It is a method for producing carbon fiber so as to perform wave irradiation.

なお、この炭素繊維の製造方法においては、第二のマイクロ波の照射を行なっている場合において、前駆体繊維が発熱ピークとなる温度に達する場合に、第二のマイクロ波照射をやめて、第一のマイクロ波照射を行なうようにすることが好ましい。ここでの発熱ピークとなる温度となる場合、とは、例えば、発熱ピークとなる温度に達する時点を含む期間であり、好ましくは発熱ピークとなる温度に達する時点とその前後の期間である。 In this method for producing carbon fiber, when the precursor fiber reaches the temperature at which the exothermic peak is reached in the case where the second microwave irradiation is performed, the second microwave irradiation is stopped and the first It is preferable to perform microwave irradiation. The case where the temperature becomes the heat generation peak here is, for example, a period including a time point at which the temperature at which the heat generation peak is reached, and preferably a time point at which the temperature reaches the heat generation peak and a period before and after it.

本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。 It goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made, and these are also included in the scope of the present invention.

以上のように、本発明にかかるマイクロ波処理装置等は、マイクロ波を照射して処理対象物に対して所望の処理を行なう装置等として適しており、特に、加熱処理を行なう装置等として有用である。 As described above, the microwave processing apparatus or the like according to the present invention is suitable as an apparatus or the like that irradiates microwaves to perform desired treatment on the object to be processed, and is particularly useful as an apparatus or the like that performs heat treatment. Is.

１、１ａ、１ｂマイクロ波処理装置
２処理対象物
２ａ移動経路
１０、１０ａ～１０ｄ容器
２０、２１、２２マイクロ波照射手段
３０、３０ａ～３０ｃ発熱部材
３１、３１ａ、３１ｂローラ
３２、３２ａ、３２ｂベルト
４０４０ａ～４０ｆセンサ
５０、５１、５２制御手段
６０搬送手段
７０ガス供給手段
２０１、２０１ａ～２０１ｃ第一照射部
２０２、２０２ａ～２０２ｃ第二照射部
２０３照射部
２０４第一周波数照射部
２０５第二周波数照射部
３０１加熱媒体
３０２支持体
３０３非透過部
７０１供給部
２００１マイクロ波発振器
２００２伝送部 1, 1a, 1b Microwave processing device 2 Processing target 2a Movement path 10, 10a to 10d Container 20, 21, 22 Microwave irradiation means 30, 30a to 30c Heat generating member 31, 31a, 31b Roller 32, 32a, 32b Belt 40 40a-40f Sensor 50, 51, 52 Control means 60 Transport means 70 Gas supply means 201, 201a-201c First irradiation unit 202, 202a-202c Second irradiation unit 203 Irradiation unit 204 First frequency irradiation unit 205 Second frequency Irradiation part 301 Heating medium 302 Support 303 Non-transmissive part 701 Supply part 2001 Microwave oscillator 2002 Transmission part

Claims

内部を処理対象物が移動する容器と、当該容器内にマイクロ波を照射する照射部を備えたマイクロ波照射手段と、前記容器内に前記処理対象物の移動経路に沿って該処理対象物を覆うように設けられると共に前記マイクロ波照射手段から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材と、を備えたマイクロ波処理装置であって、
前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記発熱部材において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが前記処理対象物の移動経路に沿って設けられているマイクロ波処理装置。 A container in which the object to be processed moves inside, a microwave irradiation means having an irradiation unit for irradiating the inside of the container with microwaves, and the object to be processed in the container along the moving path of the object to be processed. It is a microwave processing apparatus provided so as to cover and a heat generating member that absorbs microwaves irradiated from the microwave irradiation means and generates heat.
The first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit becomes stronger in the heat generating member, and the second microwave irradiation where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit becomes stronger in the object to be processed. A microwave processing device whose position is provided along the movement path of the processing object.