JP7278569B2 - Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method - Google Patents

Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP7278569B2
JP7278569B2 JP2018236423A JP2018236423A JP7278569B2 JP 7278569 B2 JP7278569 B2 JP 7278569B2 JP 2018236423 A JP2018236423 A JP 2018236423A JP 2018236423 A JP2018236423 A JP 2018236423A JP 7278569 B2 JP7278569 B2 JP 7278569B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
microwave
microwaves
irradiation
generating member
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018236423A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020098716A (en
Inventor
保徳 塚原
久夫 渡辺
隆平 金城
千佳 衣川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MICORWAVE CHEMICAL CO., LTD.
Original Assignee
MICORWAVE CHEMICAL CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2018236423A priority Critical patent/JP7278569B2/en
Application filed by MICORWAVE CHEMICAL CO., LTD. filed Critical MICORWAVE CHEMICAL CO., LTD.
Priority to MX2020007655A priority patent/MX2020007655A/en
Priority to US16/962,972 priority patent/US20230137733A1/en
Priority to PCT/JP2018/046616 priority patent/WO2019142578A1/en
Priority to KR1020207023206A priority patent/KR20200110765A/en
Priority to TW107146483A priority patent/TWI704261B/en
Priority to TW109126712A priority patent/TWI830937B/en
Publication of JP2020098716A publication Critical patent/JP2020098716A/en
Priority to JP2023073968A priority patent/JP2023095923A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7278569B2 publication Critical patent/JP7278569B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、マイクロ波を用いて加熱処理等の処理を行なうマイクロ波処理装置等に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microwave processing apparatus and the like for performing processing such as heating using microwaves.

マイクロ波を用いて処理を行なう従来の技術として、マイクロ波遮蔽材からなる加熱炉本体と、前記加熱炉本体にマイクロ波電力を導入するマイクロ波手段と、マイクロ波遮蔽機能を有する熱伝導材で形成し、前記加熱炉本体の一方側に設けた入口部と他方側に設けた出口部との間に直線的に配設した加熱筒体と、前記加熱筒体の外周側に設けて前記加熱筒体に熱伝達するマイクロ波発熱体と、前記加熱炉本体の入口部及び出口部の近くに設けて、前記加熱筒体の端部周囲に配設してマイクロ波電力の漏洩を防ぐフィルタと、前記入口部から供給したワークを、前記加熱筒体内を通し、前記出口部より排出し、前記加熱筒体内で加熱する構成としたものが知られていた。（例えば、特許文献１参照）。 As a conventional technique for processing using microwaves, a heating furnace body made of a microwave shielding material, microwave means for introducing microwave power into the heating furnace body, and a heat conductive material having a microwave shielding function. a heating cylinder provided linearly between an inlet provided on one side of the heating furnace body and an outlet provided on the other side; a microwave heating element that conducts heat to the cylinder; and a filter that is provided near the inlet and outlet of the heating furnace body and is disposed around the end of the heating cylinder to prevent leakage of microwave power. Also known is a configuration in which a workpiece supplied from the inlet is passed through the heating cylinder, discharged from the outlet, and heated in the heating cylinder. (See Patent Document 1, for example).

特許第５８７７４４８号公報（第１頁、第１図等）Japanese Patent No. 5877448 (page 1, FIG. 1, etc.)

しかしながら、従来の技術においては、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができない、という課題があった。 However, the conventional technique has a problem that the object to be treated cannot be appropriately treated using microwaves.

例えば、従来の技術においては、マイクロ波を用いて加熱したマイクロ波発熱体の輻射熱で加熱を行なうため、ワーク等の処理対象物を、外部からしか加熱できず、均一な加熱等の所望の加熱を行なうことが困難であった。 For example, in the conventional technology, since heating is performed by radiant heat of a microwave heating element heated using microwaves, an object to be processed such as a work can be heated only from the outside, and a desired heating such as uniform heating can be achieved. It was difficult to carry out

また、処理対象物にマイクロ波が直接照射されないため、処理対象物が、マイクロ波によって直接加熱できないため、加熱効率が悪いという問題があった。 In addition, since the object to be treated is not directly irradiated with microwaves, the object to be treated cannot be directly heated by microwaves, resulting in a problem of poor heating efficiency.

本発明は、上記のような課題を解消するためになされたものであり、処理対象物を、マイクロ波を用いて適切に処理することができるマイクロ波処理装置等を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems described above, and an object of the present invention is to provide a microwave processing apparatus or the like capable of appropriately processing an object to be processed using microwaves. .

本発明のマイクロ波処理装置は、内部を処理対象物が移動する容器と、当該容器内にマイクロ波を照射する照射部を備えたマイクロ波照射手段と、前記容器内に前記処理対象物の移動経路に沿って該処理対象物を覆うように部分的に設けられており、移動経路に沿った他の部分には設けられておらず、前記マイクロ波照射手段から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材と、を備えたマイクロ波処理装置であって、前記マイクロ波照射手段は、前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対してマイクロ波を照射して前記発熱部材を加熱し、前記移動経路の発熱部材が設けられていない部分に対してマイクロ波を照射して前記処理対象物を加熱するマイクロ波処理装置である。 The microwave processing apparatus of the present invention comprises a container in which an object to be treated moves, microwave irradiation means having an irradiation unit for irradiating microwaves into the container, and movement of the object to be treated in the container. It is partially provided along the route so as to cover the object to be processed, is not provided in other portions along the movement route, and absorbs the microwaves irradiated from the microwave irradiation means. and a heating member that generates heat by heating the heating member, wherein the microwave irradiating means irradiates a portion of the movement path where the heating member is provided with microwaves to irradiate the heating member. and irradiating a portion of the moving path where the heating member is not provided with microwaves to heat the object to be processed.

かかる構成により、処理対象物をマイクロ波を用いて適切に処理することができる。 With such a configuration, the object to be processed can be appropriately processed using microwaves.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記発熱部材において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物の前記発熱部材が設けられていない部分において強くなる第二のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物の前記発熱部材が設けられている部分において強くなる第三のマイクロ波照射位置とが設けられているようにしてもよい。 Further, the microwave processing apparatus of the present invention is characterized in that, in the microwave processing apparatus, a first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit is high in the heat generating member, and a second microwave irradiation position where the intensity of the microwave is strong in a portion of the object to be processed where the heat generating member is not provided; There may be provided a third microwave irradiation position that is stronger at the portion where is provided.

かかる構成により、発熱部材が設けられていない部分の処理対象物を直接加熱できるとともに、発熱部材が設けられている部分において、発熱部材の発熱によって処理対象物を強く加熱される部分と、発熱部材の内側の処理対象物を直接加熱できる部分とを設けることができる。 With such a configuration, it is possible to directly heat the object to be processed in the portion where the heat generating member is not provided, and in the portion where the heat generating member is provided, the portion where the object to be processed is strongly heated by the heat generated by the heat generating member; A portion can be provided that can directly heat the object to be treated inside the .

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、１以上の前記第一のマイクロ波照射位置と、１以上の前記第三のマイクロ波照射位置とは、前記移動経路に沿った方向における位置が同じであるようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the one or more first microwave irradiation positions and the one or more third microwave irradiation positions are along the moving route The positions in the same direction may be the same.

かかる構成により、発熱部材が設けられている部分の、同じ位置において、発熱部材の発熱による処理対象物の加熱と、処理対象物の直接加熱との両方を強く行うことができる。 With such a configuration, both the heating of the object to be processed by the heat generated by the heat generating member and the direct heating of the object to be processed can be strongly performed at the same position of the portion where the heat generating member is provided.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、２以上の前記発熱部材が、発熱部材が設けられていない領域をはさんで移動経路に沿って設けられており、１以上の前記第一のマイクロ波照射位置と、１以上の第三のマイクロ波照射位置とは、異なる発熱部材が設けられている部分に位置しているようにしてもよい。 Further, the microwave processing apparatus of the present invention is the microwave processing apparatus, wherein two or more of the heat-generating members are provided along the movement path across a region where no heat-generating member is provided, and one or more The first microwave irradiation position and the one or more third microwave irradiation positions may be located in portions where different heat generating members are provided.

かかる構成により、異なる発熱部材において、発熱部材の発熱によって処理対象物を強く加熱することと、発熱部材内の処置対象物を直接加熱によって強く加熱することとを、行うことができる。 With such a configuration, it is possible to strongly heat the object to be treated by the heat generated by the heat generating member and to strongly heat the object to be treated in the heat generating member by directly heating the different heat generating members.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記照射部は複数設けられており、前記第一のマイクロ波照射位置、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置においてマイクロ波の強度が強くなるよう前記照射部が照射するマイクロ波の位相を制御するようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, a plurality of the irradiation units are provided, and the first microwave irradiation position, the second microwave irradiation position, and the third microwave irradiation position are provided. The phase of the microwave irradiated by the irradiation unit may be controlled so that the intensity of the microwave is increased at the wave irradiation position.

かかる構成により、マイクロ波の位相を制御することで、容易に、第一のマイクロ波照射位置、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置においてマイクロ波の強度が強くなるよう、マイクロ波照射を行うことができる。 With such a configuration, by controlling the phase of the microwave, the intensity of the microwave can be easily increased at the first microwave irradiation position, the second microwave irradiation position, and the third microwave irradiation position. , microwave irradiation can be performed.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記マイクロ波照射手段は、前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対してマイクロ波を照射して前記発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、前記移動経路の前記発熱部材が設けられていない部分に対して、前記第一のマイクロ波照射とは異なる周波数のマイクロ波を照射して前記処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射と、を行うようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the microwave irradiating means irradiates a portion of the moving path where the heat generating member is provided with microwaves to irradiate the heat generating member. and a portion of the movement path where the heat generating member is not provided is irradiated with a microwave having a frequency different from that of the first microwave irradiation to heat the object to be processed A second microwave irradiation for heating may be performed.

かかる構成により、発熱部材が設けられている部分と、発熱部材が設けられていない部分とのそれぞれにおいて、処理対象物を適切に加熱することができる。 With such a configuration, it is possible to appropriately heat the object to be processed in each of the portion provided with the heat generating member and the portion not provided with the heat generating member.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数は、前記発熱部材に対する比誘電損失が、前記処理対象物に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数であるようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the frequency of the microwave used for the first microwave irradiation is such that the relative dielectric loss with respect to the heat generating member is such that the relative dielectric loss with respect to the processing object is The frequency may be greater than the loss.

かかる構成により、発熱部材が設けられている部分においては、発熱部材を効率的に加熱して、処理対象物を加熱することができ、発熱部材が設けられていない部分においては、処理対象物を直接加熱することができる。 With such a configuration, the heat generating member can be efficiently heated in the portion where the heat generating member is provided to heat the object to be processed, and the portion where the heat generating member is not provided can heat the object to be processed. Can be heated directly.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記マイクロ波照射手段は、前記発熱部材に対する比誘電損失が、前記処理対象物に対する比誘電損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を、前記発熱部材が設けられている部分に照射して、当該発熱部材が設けられている部分の処理対象物を加熱する第三のマイクロ波照射を更に行うようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, the microwave irradiating means is a microwave having a frequency in which the relative dielectric loss to the heat generating member is smaller than the relative dielectric loss to the object to be processed. may be applied to the portion where the heat generating member is provided, and a third microwave irradiation for heating the object to be processed in the portion where the heat generating member is provided may be further performed.

かかる構成により、発熱部材が設けられていない部分においては、処理対象物を直接加熱することができるとともに、発熱部材が設けられている部分においては、発熱部材を効率的に加熱して、処理対象物を加熱する位置と、処理対象物を直接加熱する位置とを設けることができる。、 With such a configuration, it is possible to directly heat the object to be processed in the portion where the heat generating member is not provided, and to efficiently heat the heat generating member in the portion where the heat generating member is provided, so that the object to be processed can be heated. A location for heating the object and a location for directly heating the object to be treated can be provided. ,

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、前記第一のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置と、前記第三のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置とは、前記移動経路に沿った方向における位置が同じであるようにしてもよい。 Further, the microwave processing apparatus of the present invention is characterized in that, in the microwave processing apparatus, at least one position where microwaves are irradiated by the first microwave irradiation and microwaves are irradiated by the third microwave irradiation The one or more positions to be moved may be the same position in the direction along the movement path.

かかる構成により、発熱部材が設けられていない部分においては、処理対象物を直接加熱することができるとともに、発熱部材が設けられている部分の、同じ位置において、発熱部材の発熱による処理対象物の加熱と、処理対象物の直接加熱との両方を強く行うことができる。 With this configuration, the object to be processed can be directly heated in the portion where the heat generating member is not provided, and the object to be processed can be heated by the heat generated by the heat generating member at the same position as the portion where the heat generating member is provided. Both heating and direct heating of the object to be treated can be intense.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記マイクロ波処理装置において、２以上の前記発熱部材が、発熱部材が設けられていない領域をはさんで移動経路に沿って設けられており、前記第一のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置と、前記第三のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置とは、異なる発熱部材が設けられている部分に位置しているようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, in the microwave processing apparatus, two or more of the heat-generating members are provided along the moving route with a region where no heat-generating member is provided interposed therebetween, The one or more positions where microwaves are irradiated by one microwave irradiation and the one or more positions where microwaves are irradiated by the third microwave irradiation are located in different portions where heat generating members are provided. You can make it look like

かかる構成により、発熱部材が設けられていない部分においては、処理対象物を直接加熱することができるとともに、異なる発熱部材において、発熱部材の発熱によって処理対象物を強く加熱することと、発熱部材内の処置対象物を直接加熱によって強く加熱することとを、行うことができる。 With such a configuration, it is possible to directly heat the object to be processed in a portion where the heat generating member is not provided, and to strongly heat the object to be processed by the heat generated by the heat generating member in the different heat generating member. and intensely heating the object to be treated by direct heating.

また、本発明のマイクロ波処理装置は、前記処理対象物は、炭素繊維の前駆体繊維であり、前記マイクロ波処理装置は、前記前駆体繊維の耐炎化処理に用いられるようにしてもよい。 Further, in the microwave processing apparatus of the present invention, the object to be processed may be precursor fibers of carbon fibers, and the microwave processing apparatus may be used for flameproofing treatment of the precursor fibers.

かかる構成により、耐炎化処理済の炭素繊維の前駆体繊維を得ることができる。 With such a configuration, it is possible to obtain a carbon fiber precursor fiber that has been subjected to a flameproofing treatment.

また、本発明の炭素繊維の製造方法は、マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内にマイクロ波を照射して、前記発熱部材に沿って移動する炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、前記発熱部材は、前記前駆体繊維の移動経路に沿って部分的に設けられており、移動経路に沿った他の部分には設けられておらず、前記加熱する工程において、前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対するマイクロ波の照射による前記発熱部材の加熱と、前記移動経路の発熱部材が設けられていない部分に対するマイクロ波の照射による前記処理対象物の加熱と、を行うようにしたものである。 Further, the carbon fiber manufacturing method of the present invention includes irradiating microwaves into a container having a heat generating member that generates heat by absorbing microwaves, and carbon fiber precursors that move along the heat generating member. A carbon fiber manufacturing method including a step of heating a fiber, wherein the heat generating member is partially provided along the moving path of the precursor fiber, and is provided at another portion along the moving path. In the heating step, heating the heat generating member by irradiating the portion of the movement path where the heat generating member is provided by microwave irradiation, and heating the portion of the movement path where the heat generating member is not provided and heating the object to be processed by irradiating microwaves.

かかる構成により、炭素繊維の前駆体繊維を適切に外側から加熱および直接加熱して、品質のよい炭素繊維を得ることができる。 With such a configuration, it is possible to appropriately heat the precursor fiber of the carbon fiber from the outside and directly heat it to obtain a carbon fiber of good quality.

本発明によれば、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a processing target can be processed appropriately using a microwave.

本発明の実施の形態１におけるマイクロ波処理装置の断面図1 is a cross-sectional view of a microwave processing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention; 同マイクロ波処理装置の発熱部材を示す図（図２（ａ））、およびその変形例を示す図（図２（ｂ）～図２（ｄ））Fig. 2(a) showing a heat-generating member of the same microwave processing apparatus, and Figs. 2(b) to 2(d) showing modifications thereof. 同マイクロ波処理装置の変形例を示す断面図Sectional drawing which shows the modification of the same microwave processing apparatus 同マイクロ波処理装置の変形例を示す断面図（図４（ａ）～図４（ｂ））Cross-sectional views showing modifications of the same microwave processing apparatus (FIGS. 4(a) to 4(b)) 本発明の実施の形態２におけるマイクロ波処理装置の断面図（図５（ａ））および断面模式図（図５（ｂ）～図５（ｃ））Cross-sectional view (FIG. 5(a)) and cross-sectional schematic views (FIGS. 5(b) to 5(c)) of the microwave processing apparatus according to Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態３におけるマイクロ波処理装置の断面図（図６（ａ））および断面模式図（図６（ｂ）～図６（ｄ））Cross-sectional view (FIG. 6(a)) and cross-sectional schematic views (FIGS. 6(b) to 6(d)) of the microwave processing apparatus according to Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態２におけるマイクロ波処理装置の変形例を説明するための断面模式図（図７（ａ））、および模式図（図７（ｂ）～図７（ｄ））Cross-sectional schematic diagram (FIG. 7(a)) and schematic diagrams (FIGS. 7(b) to 7(d)) for explaining a modification of the microwave processing apparatus according to Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態３におけるマイクロ波処理装置の変形例を説明するための模式図（図８（ａ）～図８（ｄ））Schematic diagrams for explaining modifications of the microwave processing apparatus according to Embodiment 3 of the present invention (Figs. 8(a) to 8(d))

以下、マイクロ波処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments of a microwave processing apparatus and the like will be described with reference to the drawings. It should be noted that, since components denoted by the same reference numerals in the embodiments perform similar operations, repetitive description may be omitted.

（実施の形態１）
以下、マイクロ波処理装置を、炭素繊維の製造に用いられる前駆体繊維に対して耐炎化処理を行なう装置を例に挙げて説明する。 (Embodiment 1)
Hereinafter, the microwave treatment apparatus will be described by taking as an example an apparatus for performing a flameproofing treatment on precursor fibers used in the production of carbon fibers.

まず、炭素繊維の製造工程の一例について説明する。ポリアクリルニトリル（ＰＡＮ）等の前駆体繊維を２００～３００℃の加熱空気中で６０～１２０分間加熱することによって前駆体繊維の酸化処理を行なう。この処理は、耐炎化処理と呼ばれる。この処理では、前駆体繊維の環化反応を生じさせ、酸素結合により耐炎化繊維が得られる。その後、得られた耐炎化繊維を窒素雰囲気下で１０００℃から１５００℃まで数分間加熱することで、繊維が炭素化され炭素繊維を得ることができる。 First, an example of a carbon fiber manufacturing process will be described. A precursor fiber such as polyacrylonitrile (PAN) is oxidized by heating it in heated air at 200 to 300° C. for 60 to 120 minutes. This treatment is called a flameproofing treatment. This treatment causes a cyclization reaction of the precursor fiber, resulting in a flame resistant fiber through oxygen bonding. After that, the obtained flame-resistant fiber is heated from 1000° C. to 1500° C. for several minutes in a nitrogen atmosphere, whereby the fiber is carbonized and carbon fiber can be obtained.

図１は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view parallel to the moving direction of an object to be processed, for explaining the microwave processing apparatus according to the present embodiment.

マイクロ波処理装置１は、容器１０と、マイクロ波照射手段２０と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５０と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing apparatus 1 includes a container 10 , microwave irradiation means 20 , heat generating member 30 , one or more sensors 40 , control means 50 and transport means 60 .

容器１０は、ステンレス等のマイクロ波反射性を有する材質で構成されている。容器１０は、中空であって、横長の箱形状を有している。容器１０内には、処理対象物２が配置される。ここでは、処理対象物２は、例えば、ＰＡＮ系の前駆体繊維であるとする。処理対象物２である前駆体繊維は、例えば、一本の前駆体繊維であってもよく、複数の前駆体繊維がまとめられて、糸状や紐状になったものであってもよい。容器１０内に配置される処理対象物２は、単数であってもよく、複数であってもよい。ここでは、容器１０内に配置される処理対象物２が、容器１０を移動する例について説明する。なお、ここでの移動は、連続的な移動であってもよく、移動と停止とを組み合わせた非連続な移動であってもよい。例えば、容器１０内でマイクロ波の照射が行なわれている間は、処理対象物２の移動を停止し、マイクロ波の照射が行なわれていない間に処理対象物２を移動させてもよい。また、ここでの移動は、移動速度が一定の移動であってもよく、移動速度が連続的や非連続に変化する移動であってもよい。かかることは、他の実施の形態においても同様である。なお、以下においては、一例として、処理対象物２が連続的に移動している場合について説明する。 The container 10 is made of a microwave reflective material such as stainless steel. The container 10 is hollow and has a horizontally long box shape. An object 2 to be processed is placed in the container 10 . Here, it is assumed that the processing object 2 is, for example, a PAN-based precursor fiber. The precursor fiber, which is the object 2 to be processed, may be, for example, a single precursor fiber, or may be a string-like or string-like bundle of a plurality of precursor fibers. The processing object 2 arranged in the container 10 may be singular or plural. Here, an example in which the processing object 2 placed in the container 10 moves within the container 10 will be described. Note that the movement here may be continuous movement or non-continuous movement combining movement and stopping. For example, while the microwave irradiation is being performed in the container 10, the movement of the processing object 2 may be stopped, and the processing object 2 may be moved while the microwave irradiation is not being performed. Further, the movement here may be movement with a constant movement speed, or may be movement with a movement speed that changes continuously or non-continuously. This also applies to other embodiments. In addition, below, the case where the to-be-processed object 2 is moving continuously is demonstrated as an example.

容器１０の長手方向の両端の一方には、処理対象物２の入口１０１ａが設けられ、他方には出口１０１ｂが設けられている。処理対象物２は、入口１０１ａから容器１０内部に入り、容器１０の内部を移動し、出口１０１ｂから外部に出る。ここでは、一例として、処理対象物２が、容器１０の内部を略水平に移動する場合を例に挙げて説明する。ただし、処理対象物の容器１０の内外における移動方向や移動経路は問わない。例えば、ローラ等により、処理対象物の移動方向が途中で変更されていてもよく、例えば、前駆体繊維の移動方向はローラ等により１回以上折りかえされていてもよい。容器１０は、通常、長手方向が水平となるように配置されるが、容器１０は、傾斜して配置されてもよい。入口１０１ａおよび出口１０１ｂには、容器１０内に照射されるマイクロ波の外部への漏洩を防ぐためのフィルタ（図示せず）が設けられている。フィルタとしては、例えば、マイクロ波の波長の性質を利用したチョーク構造等を有しており、非接触でマイクロ波電力の通過を防止するものが用いられる。入口１０１ａおよび出口１０１ｂは、フィルタ以外のマイクロ波の漏洩を防止する構造を有していても良い。容器１０のサイズや、容器１０の外壁等の厚さは問わない。容器１０の外壁には断熱材（図示せず）等が設けられていてもよい。容器１０のサイズ等は、例えば、処理対象や、処理時間等に応じて決定される。 An inlet 101a for the object to be processed 2 is provided at one of both ends of the container 10 in the longitudinal direction, and an outlet 101b is provided at the other end. The object 2 to be processed enters the container 10 through the inlet 101a, moves inside the container 10, and exits through the outlet 101b. Here, as an example, a case where the processing target 2 moves substantially horizontally inside the container 10 will be described. However, the moving direction and moving route inside and outside the container 10 of the object to be processed are not limited. For example, the moving direction of the object to be processed may be changed midway by rollers or the like, and for example, the moving direction of the precursor fibers may be folded once or more by rollers or the like. The container 10 is generally arranged so that its longitudinal direction is horizontal, but the container 10 may be arranged with an inclination. The inlet 101a and the outlet 101b are provided with filters (not shown) for preventing leakage of the microwave irradiated into the container 10 to the outside. As the filter, for example, a filter that has a choke structure or the like that utilizes the properties of the wavelength of microwaves and that prevents passage of microwave power in a non-contact manner is used. The inlet 101a and the outlet 101b may have a structure other than filters to prevent leakage of microwaves. The size of the container 10 and the thickness of the outer wall and the like of the container 10 do not matter. A heat insulating material (not shown) or the like may be provided on the outer wall of the container 10 . The size and the like of the container 10 are determined according to, for example, the object to be treated, the treatment time, and the like.

なお、上記のような容器１０の形状は一例であり、容器１０は、上記以外のどのような形状としても良い。例えば、容器１０は、横方向に伸びる円筒形状であっても良く、多角形柱形状であっても良く、これらの形状の組合せ等であっても良い。また、縦長の形状であってもよい。また、処理対象物２の移動経路２ａを、図示しないローラ等を用いて、水平方向において処理対象物２の移動方向が交互に反転するよう折り畳まれた経路となるようにし、容器１０を、この移動経路２ａの少なくとも処理対象物２が平行に移動する部分を覆うような形状としてもよい。なお、ここでは、説明の便宜上、移動経路２ａを処理対象物２と重ねて示している。また、移動経路２ａにおいて、処理対象物２の移動方向は矢印の向きで示している。かかることは、以下においても同様である。 The shape of the container 10 as described above is merely an example, and the container 10 may have any shape other than the above. For example, the container 10 may have a laterally extending cylindrical shape, a polygonal prism shape, or a combination of these shapes. It may also have a vertically long shape. In addition, the moving path 2a of the object 2 to be processed is made to be a folded path by using a roller or the like (not shown) so that the direction of movement of the object 2 to be processed is alternately reversed in the horizontal direction, and the container 10 is arranged in this way. It may be shaped so as to cover at least a portion of the movement path 2a along which the processing object 2 moves in parallel. Here, for convenience of explanation, the movement path 2a is shown superimposed on the object 2 to be processed. In addition, in the moving path 2a, the moving direction of the processing object 2 is indicated by the direction of the arrow. This also applies to the following.

容器１０の形状や、大きさ等は、例えば、容器１０に照射されるマイクロ波の分布等に応じて決定される。例えば、容器１０の形状や大きさは、容器１０内におけるマイクロ波のモードがマルチモードとなるように、形状や大きさが設定されていることが好ましい。マイクロ波のマルチモードとは、例えば、容器１０内でマイクロ波の定在波が発生しないモードである。 The shape, size, and the like of the container 10 are determined according to, for example, the distribution of microwaves with which the container 10 is irradiated. For example, the shape and size of the container 10 are preferably set so that the mode of microwaves in the container 10 is multimode. The microwave multimode is, for example, a mode in which no standing microwaves are generated in the container 10 .

容器１０の、入口１０１ａおよび出口１０１ｂが設けられている位置は問わない。例えば、入口１０１ａおよび出口１０１ｂが容器１０の同じ端部や側面等に設けられていてもよい。また、容器１０は、複数の入口１０１ａと出口１０１ｂとを有していても良く、例えば、処理対象物２の移動方向を図示しないローラ等で変更して、処理対象物２を複数の入口１０１ａと出口１０１ｂとから容器１０の内外に出し入れしてもよい。 It does not matter where the inlet 101a and the outlet 101b of the container 10 are provided. For example, inlet 101a and outlet 101b may be provided at the same end, side, etc. of container 10 . Further, the container 10 may have a plurality of inlets 101a and outlets 101b. For example, the moving direction of the processing object 2 is changed by a roller or the like (not shown) so that the processing object 2 can move through the plurality of inlets 101a. , and the outlet 101b.

なお、容器１０は、処理対象物２の入口１０１ａや、出口１０１ｂや、後述する開口部１０２等の、開口が必要な部分以外は、マイクロ波が漏洩しないように閉じられた構造であることが好ましい。 It should be noted that the container 10 has a structure that is closed so that microwaves do not leak, except for portions that require openings, such as the entrance 101a and the exit 101b of the object 2 to be processed, and an opening 102 described later. preferable.

なお、容器１０の外周には、図示していないが、容器１の温度を調整するための温水ジャケットや、冷水ジャケット、ヒータ等が設けられていても良い。また、容器１０には、図示しない内部を観察するための観察窓や、給排気等を行なう通風口やファン等が設けられていてもよい。 Although not shown, the outer periphery of the container 10 may be provided with a hot water jacket, a cold water jacket, a heater, and the like for adjusting the temperature of the container 1 . Further, the container 10 may be provided with an observation window (not shown) for observing the inside, a ventilation port for air supply and exhaust, a fan, and the like.

図２は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の発熱部材３０を模式的に示す斜視図（図２（ａ））、および発熱部材３０の変形例を模式的に示す斜視図（図２（ｂ）～図２（ｃ））、および図２（ａ）に示した発熱部材３０の変形例を説明するための、処理対象物２の移動経路２ａに沿った断面図（図２（ｄ））である。容器１０内には、マイクロ波照射手段２０から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材３０が設けられている。発熱部材３０は、例えば、マイクロ波照射手段２０から照射されるマイクロ波の一部を吸収して発熱し、一部を透過するものであることが好ましい。発熱部材３０は、容器１０内に配置される処理対象物２に沿って配置されている。処理対象物２に沿って配置される、ということは、例えば、処理対象物２の外周に沿って配置されることと考えてもよく、処理対象物２の周りに配置されることと考えてもよい。なお、発熱部材３０と処理対象物２との間隔は、処理対象物２の長手方向や移動方向において一定であってもよく、異なっていてもよく、いずれの場合も、発熱部材３０が処理対象物に沿って配置されていると考えてもよい。また、発熱部材３０の、処理対象物２を介して対向する部分と、発熱部材３０との間隔も、一定であってもよく、異なっていてもよく、いずれの場合も、発熱部材３０が処理対象物に沿って配置されていると考えてもよい。ここでは、処理対象物２が容器１０内を移動するため、発熱部材３０は、処理対象物２の移動経路２ａに沿って配置されている。例えば、発熱部材３０の形状は、処理対象物２を覆う形状であればどのような形状であってもよい、発熱部材３０の形状は、図２（ａ）に示すように、処理対象物２の外周を囲むように設けられた円筒形状であることが好ましいが、例えば、円筒以外の筒形状であってもよく、環状の形状であってもよく、図２（ｂ）に示すように、処理対象物２の移動方向に対して垂直な断面がコの字となる形状であってもよい。また、発熱部材３０は、図２（ｃ）に示すように、処理対象物２を挟むよう配置された二つの板形状の部材であってもよい。また、発熱部材３０は、部分的に膨らんだ筒形状や、部分的に凹んだ筒形状や、部分的に湾曲した筒形状等を有していても良い。 FIG. 2 is a perspective view (FIG. 2A) schematically showing the heat generating member 30 of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment, and a perspective view schematically showing a modification of the heat generating member 30 (FIG. 2A). (b) to FIG. 2(c)), and a cross-sectional view (FIG. 2(d) )). A heat-generating member 30 that generates heat by absorbing microwaves emitted from the microwave irradiation means 20 is provided in the container 10 . The heat generating member 30 preferably absorbs part of the microwaves emitted from the microwave irradiation means 20 to generate heat and transmits part of the microwaves. The heat-generating member 30 is arranged along the processing object 2 arranged in the container 10 . "Arranged along the object 2 to be processed" may be considered, for example, to be arranged along the outer periphery of the object 2 to be processed, or to be arranged around the object 2 to be processed. good too. The distance between the heat generating member 30 and the object 2 to be processed may be constant in the longitudinal direction or moving direction of the object 2 to be processed, or may be different. You may think that it is arranged along the thing. Further, the distance between the heat generating member 30 and the portion of the heat generating member 30 that faces the object 2 to be processed may be constant or may be different. You may think that it is arrange|positioned along the target object. Here, since the processing object 2 moves inside the container 10 , the heat generating member 30 is arranged along the movement path 2 a of the processing object 2 . For example, the heat-generating member 30 may have any shape as long as it covers the object 2 to be processed. Although it is preferable to have a cylindrical shape provided to surround the outer periphery of the, for example, it may be a cylindrical shape other than a cylinder, or may be an annular shape. A cross-section perpendicular to the moving direction of the processing object 2 may have a U-shaped shape. Moreover, as shown in FIG. 2(c), the heat generating member 30 may be two plate-shaped members arranged so as to sandwich the object 2 to be processed. Further, the heat-generating member 30 may have a partially bulging cylindrical shape, a partially concave cylindrical shape, a partially curved cylindrical shape, or the like.

発熱部材３０は、図２（ａ）～図２（ｃ）に示すように、照射されたマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体３０１と、加熱媒体３０１を支持する支持体３０２とを有している。加熱媒体３０１は、通常、支持体３０２の、処理対象物２に対向しない側面に設けられている。ここでの側面は、例えば、処理対象物２の移動方向に平行な面である。加熱媒体３０１は、例えば、カーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等で形成されている。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を吸収して発熱し、照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。なお、加熱媒体として、マイクロ波を部分的に透過可能な厚さの金属層、例えば、厚さ数μｍの金属層を用いてもよい。支持体３０２は、セラミックやガラス等のマイクロ波の透過性が高い材料で構成されている。加熱媒体３０１は、例えば、加熱媒体３０１の材料を支持体３０２の表面に塗布したり貼り付けたりすることで設けられる。なお、加熱媒体３０１が発熱体を含むセラミック等である場合のように、加熱媒体３０１だけで十分な強度等を有している場合、支持体３０２は省略してもよい。加熱媒体３０１としては、例えば、発熱部材３０に照射されるマイクロ波の一部を透過可能な材料や厚さを有するものが用いられる。また、支持体３０２が、加熱媒体３０１の補強や、加熱媒体３０１の形を保つために用いられているものである場合、加熱媒体３０１だけを発熱部材３０と考えてもよい。発熱部材３０は、例えば、この発熱部材３０に対するマイクロ波照射による発熱が、この発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱よりも大きくなるようなものであることが好ましく、発熱部材３０は、例えば、この発熱部材３０に対するマイクロ波照射による発熱が、この発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱よりも大きくなるような材質および厚さを有することが好ましい。この場合の発熱部材３０の材質および厚さは、加熱媒体３０１の材質および厚さと考えてもよい。例えば、処理対象物２が、１本の前駆体繊維であるとした場合、円筒形の発熱部材３０の内径は９－１２ｍｍ、１１－１４ｍｍ程度であり、発熱部材３０の厚さや、２－５ｍｍ程度である。ただし、これ以外のサイズとしてもよい。 As shown in FIGS. 2(a) to 2(c), the heat generating member 30 has a heating medium 301 that absorbs irradiated microwaves to generate heat, and a support 302 that supports the heating medium 301. ing. The heating medium 301 is normally provided on the side of the support 302 that does not face the object 2 to be processed. The side surface here is, for example, a surface parallel to the moving direction of the object 2 to be processed. The heating medium 301 is made of, for example, a heating element such as carbon, SiC, a carbon fiber composite material, a metal silicide such as molybdenum silicide or tungsten silicide, or a ceramic material containing powder of these heating elements. ing. As the heating medium 301, for example, a material having a thickness capable of absorbing a portion of the microwaves irradiated to the heat generating member 30 to generate heat and transmitting a portion of the irradiated microwaves is used. As the heating medium 301, for example, a material having a thickness and a material that can transmit part of the microwaves irradiated to the heat generating member 30 is used. As the heating medium, a metal layer having a thickness that allows partial transmission of microwaves, for example, a metal layer having a thickness of several μm may be used. The support 302 is made of a material such as ceramic, glass, or the like, which is highly transparent to microwaves. The heating medium 301 is provided, for example, by coating or attaching the material of the heating medium 301 to the surface of the support 302 . Note that the support 302 may be omitted when the heating medium 301 alone has sufficient strength, such as when the heating medium 301 is ceramic or the like including a heating element. As the heating medium 301, for example, a material having a thickness and a material that can transmit part of the microwaves irradiated to the heat generating member 30 is used. Further, when the support 302 is used to reinforce the heating medium 301 or to keep the shape of the heating medium 301 , the heating medium 301 alone may be considered as the heat generating member 30 . The heat generating member 30 is preferably such that the heat generated by the microwave irradiation to the heat generating member 30 is greater than the heat generated by the microwave transmitted through the heat generating member 30 by the object 2 to be processed. The material and thickness of the heat generating member 30 are preferably such that the heat generated by microwave irradiation to the heat generating member 30 is greater than the heat generated by the processing object 2 due to the microwave transmitted through the heat generating member 30, for example. The material and thickness of the heat generating member 30 in this case may be considered to be the material and thickness of the heating medium 301 . For example, if the object to be processed 2 is one precursor fiber, the inner diameter of the cylindrical heat generating member 30 is about 9-12 mm and 11-14 mm, and the thickness of the heat generating member 30 is about 2-5 mm. degree. However, other sizes may be used.

発熱部材３０は、例えば、容器１０内において、処理対象物２の長手方向や移動方向において、部分的に設けられていてもよく、容器１０内における処理対象物２の長手方向や移動方向の全体にわたって設けられていてもよい。例えば、複数の発熱部材３０が、処理対象物２の長手方向や移動方向に向かって、所望の間隔を隔てて配置されていてもよい。ここでは、図２（ａ）に示すような円筒形状の発熱部材３０が、処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に配置されている場合について説明する。具体的には、図１に示すように、３つの円筒形状の発熱部材３０が、それぞれの内部を処理対象物２が移動するよう、間隔を隔てて配置されている。なお、ここでは、３つの発熱部材３０を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、発熱部材３０ａ～３０ｃと表している。ただし、これらを区別する必要がない場合は、単に発熱部材３０と呼ぶ。かかることは、他の照射部２０１や、照射部２０２、センサ４０等についても同様である。各発熱部材３０の処理対象物２の移動方向の長さ（以下、発熱部材３０の長さと称す）、すなわち円筒形状の長手方向の長さは同じであってもよく、異なっていてもよく、それぞれの長さは問わない。例えば、処理対象物２が容器１０内を移動している場合、発熱部材３０の長さは、発熱部材３０を利用した加熱時間に対応するものと考えてもよい。また、発熱部材３０間の間隔は、等間隔であってもよく、等間隔でなくてもよく、それぞれの距離は問わない。例えば、処理対象物２が容器１０内を移動している場合、この移動方向における発熱部材３０間の間隔、最も入口１０１ａ側の発熱部材３０と入口１０１ａの距離、および最も出口１０１ｂ側の発熱部材３０と出口１０１ｂとの距離（以下、発熱部材が設けられていない部分の長さと称す）は、発熱部材３０を利用しない加熱時間に対応するものと考えてもよい。また、発熱部材３０と容器１０の入口１０１ａとの距離や、発熱部材３０と容器１０の出口１０１ｂとの距離は、等距離であってもよく、等距離でなくてもよく、その距離は問わない。また、ここでの円筒形状の発熱部材３０の直径等は問わない。また、各発熱部材３０の直径は同じであってもよく、異なっていてもよい。ここでは、発熱部材３０は、処理対象物２と接しないが、発熱部材３０の少なくとも一部が処理対象物と接するようにしてもよい。発熱部材３０の側面は、容器１０と接しないよう配置されている。 For example, the heat generating member 30 may be provided partially in the longitudinal direction or the movement direction of the processing object 2 in the container 10 , or may be provided entirely in the longitudinal direction or the movement direction of the processing object 2 in the container 10 . may be provided over the For example, a plurality of heat generating members 30 may be arranged at desired intervals in the longitudinal direction or moving direction of the object 2 to be processed. Here, a case where a cylindrical heat-generating member 30 as shown in FIG. Specifically, as shown in FIG. 1, three cylindrical heat-generating members 30 are arranged at intervals so that the processing object 2 moves inside each. Here, the three heat generating members 30 are expressed as heat generating members 30a to 30c in order from the entrance 101a side of the container 10. As shown in FIG. However, when there is no need to distinguish between them, they are simply referred to as the heat generating member 30 . The same applies to other irradiation units 201, 202, sensors 40, and the like. The length of each heat generating member 30 in the moving direction of the object 2 to be processed (hereinafter referred to as the length of the heat generating member 30), that is, the length in the longitudinal direction of the cylindrical shape may be the same or different. The length of each is not specified. For example, when the processing object 2 is moving inside the container 10 , the length of the heat generating member 30 may be considered to correspond to the heating time using the heat generating member 30 . Also, the intervals between the heat-generating members 30 may or may not be equal, and the respective distances do not matter. For example, when the object to be processed 2 is moving in the container 10, the distance between the heat generating members 30 in this moving direction, the distance between the heat generating member 30 closest to the inlet 101a and the inlet 101a, and the heat generating member closest to the outlet 101b are It may be considered that the distance between 30 and outlet 101b (hereinafter referred to as the length of the portion where no heat generating member is provided) corresponds to the heating time during which heat generating member 30 is not used. Further, the distance between the heat generating member 30 and the inlet 101a of the container 10 and the distance between the heat generating member 30 and the outlet 101b of the container 10 may or may not be equal, and the distance does not matter. do not have. Further, the diameter of the cylindrical heat-generating member 30 is not limited here. Moreover, the diameter of each heat generating member 30 may be the same or may be different. Here, the heat-generating member 30 does not come into contact with the processing object 2, but at least a part of the heat-generating member 30 may come into contact with the processing object. A side surface of the heat generating member 30 is arranged so as not to come into contact with the container 10 .

なお、ここでは、説明の便宜上、３つの発熱部材３０が設けられている場合について説明したが、発熱部材３０の数は、１以上であればよい。例えば、容器１０内を移動する炭素繊維の前駆体繊維の耐炎化処理にマイクロ波処理装置１を用いる場合には、発熱部材３０を用いた加熱が必要な回数だけ、発熱部材を設けるようにすればよい。また、この場合、各発熱部材３０の長さは、例えば、発熱部材３０を用いた加熱に必要な時間に対応する長さとすればよく、発熱部材３０が設けられていない部分の長さは、発熱部材３０を用いない加熱に必要な時間に対応する長さとすればよい。また、処理対象物２の移動経路２ａが、折れ曲がったりしている場合等において、折れ曲がる前の部分と折れ曲がった後の部分の両方に１以上の発熱部材３０が配置されていてもよく、この場合、発熱部材３０は、同一直線状に配置されていなくてもよい。 Here, for convenience of explanation, the case where three heat generating members 30 are provided has been described, but the number of heat generating members 30 may be one or more. For example, when the microwave processing apparatus 1 is used for the flameproofing treatment of the carbon fiber precursor fiber moving in the container 10, the heat generating member 30 may be provided as many times as necessary for heating. Just do it. Also, in this case, the length of each heat generating member 30 may be, for example, a length corresponding to the time required for heating using the heat generating member 30, and the length of the portion where the heat generating member 30 is not provided is The length may correspond to the time required for heating without using the heat generating member 30 . Further, when the moving path 2a of the processing object 2 is bent or the like, one or more heat generating members 30 may be arranged in both the portion before the bending and the portion after the bending. , the heat generating members 30 may not be arranged on the same straight line.

マイクロ波照射手段２０は、容器１０内にマイクロ波を照射する。マイクロ波照射手段２０は、例えば、容器１０に対して取付けられている。マイクロ波照射手段２０は、発熱部材３０を加熱する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なう。なお、発熱部材３０を加熱する、とは、例えば、発熱部材３０のみを加熱することであってもよく、発熱部材３０を処理対象物２よりも強く加熱することであってもよい。また、処理対象物２を加熱する、とは、例えば、処理対象物２のみを加熱することであってもよく、処理対象物２を発熱部材３０よりも強く加熱することであってもよい。ただし、第一のマイクロ波照射は、処理対象物２の加熱も行なう加熱であることが好ましい。 The microwave irradiation means 20 irradiates the container 10 with microwaves. The microwave irradiation means 20 is attached to the container 10, for example. The microwave irradiation means 20 performs first microwave irradiation for heating the heating member 30 and second microwave irradiation for heating the object 2 to be processed. Heating the heat generating member 30 may mean, for example, heating only the heat generating member 30 or heating the heat generating member 30 more strongly than the object 2 to be processed. Moreover, heating the processing object 2 may mean, for example, heating only the processing object 2 or heating the processing object 2 more strongly than the heating member 30 . However, the first microwave irradiation is preferably heating that also heats the object 2 to be processed.

第一のマイクロ波照射とは、例えば、マイクロ波照射による発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなるマイクロ波照射である。第一のマイクロ波照射は、発熱部材３０の発熱が支配的となるマイクロ波照射と考えてもよい。ここでの発熱は、例えば、発熱量と考えてもよい。また、ここでの発熱部材３０の発熱は、処理対象物２が、マイクロ波によって発熱した発熱部材３０から受取る熱量と考えてもよい。 The first microwave irradiation is, for example, microwave irradiation in which the heat generation of the heating member 30 due to the microwave irradiation is greater than the heat generation of the processing object 2 . The first microwave irradiation may be considered as microwave irradiation in which heat generation of the heat generating member 30 is dominant. The heat generated here may be considered as, for example, the amount of heat generated. Further, the heat generated by the heat generating member 30 may be considered as the amount of heat received by the processing object 2 from the heat generating member 30 generated by the microwaves.

第二のマイクロ波照射とは、例えば、マイクロ波照射による処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも大きくなるマイクロ波の照射である。第二のマイクロ波照射は、処理対象物２の発熱が支配的となるマイクロ波の照射と考えてもよい。ここでの発熱は、処理対象物２が、マイクロ波によって直接受取る熱量や加熱量と考えてもよい。 The second microwave irradiation is, for example, microwave irradiation in which heat generation of the processing object 2 due to microwave irradiation is greater than heat generation of the heat generating member 30 . The second microwave irradiation may be considered as microwave irradiation in which heat generation of the processing object 2 is dominant. The heat generated here may be considered as the amount of heat or heat directly received by the object 2 to be processed by microwaves.

本実施の形態においては、マイクロ波照射手段２０が、第一のマイクロ波照射を行なう１または２以上の第一照射部２０１と、第二のマイクロ波照射を行なう１または２以上の第二照射部２０２とを有している場合について説明する。 In the present embodiment, the microwave irradiation means 20 includes one or more first irradiation units 201 that perform the first microwave irradiation, and one or more second irradiation units that perform the second microwave irradiation. 202 will be described.

第一照射部２０１は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられている部分に対してマイクロ波を照射することで、発熱部材３０を加熱する第一のマイクロ波照射を行なう。つまり、第一照射部２０１が行なう第一のマイクロ波照射は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられている部分に対するマイクロ波の照射である。なお、第一のマイクロ波照射においては、処理対象物２においても発熱も起こるようにすることが好ましい。例えば、第一照射部２０１が行なう第一のマイクロ波照射は、照射されたマイクロ波の一部の吸収による発熱部材３０の発熱と、発熱部材３０を透過したマイクロ波の一部の吸収による処理対象物２の発熱とが起こるマイクロ波照射であって、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなるマイクロ波照射である。第一のマイクロ波照射は、発熱部材３０の発熱による処理対象物２に対する外側からの加熱が、発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物の直接加熱よりも高くなるような発熱部材３０に対するマイクロ波の照射である。例えば、発熱部材３０の材質や厚さ等は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波および発熱部材３０を透過したマイクロ波によって、処理対象物２等が上記のように加熱されるように設定することが好ましい。 The first irradiation unit 201 irradiates a portion of the moving path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is provided with microwaves, thereby performing the first microwave irradiation for heating the heat generating member 30. do In other words, the first microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 is irradiation of microwaves to the portion of the movement path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is provided. In the first microwave irradiation, it is preferable that heat is also generated in the object 2 to be processed. For example, the first microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 includes heat generation of the heat generating member 30 by absorption of a part of the irradiated microwave and processing by absorption of a part of the microwave transmitted through the heat generating member 30. The microwave irradiation causes the object 2 to generate heat, and the microwave irradiation causes the heat generation of the heating member 30 to be greater than the heat generation of the processing object 2 . The first microwave irradiation is applied to the heating member 30 such that the heating of the processing object 2 from the outside due to the heat generated by the heating member 30 is higher than the direct heating of the processing object 2 by the microwave that has passed through the heating member 30. Microwave irradiation. For example, the material, thickness, etc. of the heat generating member 30 are set so that the object to be processed 2 or the like is heated as described above by the microwaves absorbed by the heat generating member 30 and the microwaves transmitted through the heat generating member 30. is preferred.

また、第二照射部２０２は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対してマイクロ波を照射することで、処理対象物２を加熱する第二のマイクロ波照射を行なう。つまり、第二照射部２０２が行なう第二のマイクロ波照射は、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対するマイクロ波の照射である。第二照射部２０２が行なう第二のマイクロ波照射においては、マイクロ波を照射する位置に発熱部材３０が設けられていないため、発熱部材３０等の発熱によって、処理対象物２が外側から加熱されることがない。これにより、マイクロ波照射による処理対象物２の直接加熱が、マイクロ波照射された発熱部材３０等による処理対象物２の外側からの加熱よりも高くなる。 In addition, the second irradiation unit 202 irradiates a portion of the moving path 2a of the processing object 2 where the heat generating member 30 is not provided with microwaves, thereby heating the processing object 2 as a second microwave. Perform wave irradiation. That is, the second microwave irradiation performed by the second irradiation unit 202 is irradiation of microwaves to a portion of the movement path 2a of the object 2 where the heat generating member 30 is not provided. In the second microwave irradiation performed by the second irradiation unit 202, the heat generating member 30 is not provided at the microwave irradiation position, so the object 2 is heated from the outside by the heat generated by the heat generating member 30 and the like. never As a result, the direct heating of the processing object 2 by microwave irradiation becomes higher than the heating from the outside of the processing object 2 by the heating member 30 or the like irradiated with microwaves.

なお、以下、本実施の形態においては、一例として、図１に示すように、マイクロ波処理装置１が、３つの第一照射部２０１と３つの第二照射部２０２とを有している場合を例に挙げて示しているが、それぞれの数は問わない。ここでは、説明の便宜上、３つの第一照射部２０１を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、第一照射部２０１ａ～２０１ｃと表し、３つの第二照射部２０２を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、第二照射部２０２ａ～２０２ｃと表している。マイクロ波照射手段２０が有する１または２以上の第一照射部２０１と１または２以上の第二照射部２０２は、マイクロ波の出力（例えば、ワット数等）を個別に変更可能なものであることが好ましい。例えば、第一照射部２０１および第二照射部２０２は、後述する制御手段５０からの制御信号等に応じて出力が制御される。なお、図１に示すように、複数の発熱部材３０が配列されているマイクロ波処理装置１においては、第一照射部２０１は、各発熱部材３０にマイクロ波を直接照射可能な位置に１以上ずつ設けることが好ましく、第二照射部２０２は、例えば、各発熱部材３０間の領域、最も入口１０１ａ側の発熱部材３０と入口１０１ａとの間の領域、および最も出口１０１ｂ側の発熱部材３０と出口１０１ｂとの間の領域のうちの少なくとも１以上の領域のそれぞれに対して、マイクロ波を直接照射可能な位置に１以上ずつ設けることが好ましい。 In the present embodiment, as an example, as shown in FIG. 1, the microwave processing apparatus 1 includes three first irradiation units 201 and three second irradiation units 202. is shown as an example, but the number of each does not matter. Here, for convenience of explanation, the three first irradiation units 201 are referred to as first irradiation units 201a to 201c in order from the inlet 101a side of the container 10, and the three second irradiation units 202 are referred to as the inlet 101a of the container 10. They are indicated as second irradiation units 202a to 202c in order from the side. One or two or more first irradiation units 201 and one or two or more second irradiation units 202 of the microwave irradiation means 20 are capable of individually changing microwave output (for example, wattage). is preferred. For example, the outputs of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 are controlled according to a control signal or the like from the control means 50, which will be described later. As shown in FIG. 1, in the microwave processing apparatus 1 in which a plurality of heat-generating members 30 are arranged, one or more first irradiation units 201 are provided at positions where each heat-generating member 30 can be directly irradiated with microwaves. For example, the second irradiation unit 202 is provided in the area between the heat generating members 30, the area between the heat generating member 30 closest to the entrance 101a and the entrance 101a, and the heat generating member 30 closest to the exit 101b. It is preferable to provide one or more microwaves at positions where direct irradiation of microwaves is possible for each of at least one or more regions between the exit 101b.

各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、例えば、マイクロ波発振器２００１と、マイクロ波発振器２００１が発生するマイクロ波を伝送して容器１０内にマイクロ波を照射する伝送部２００２とを備えている。マイクロ波発振器２００１は、どのようなマイクロ波発振器２００１であってもよく、例えば、マグネトロンや、クライストロン、ジャイロトロン等であってもよく、半導体型発振器等であってもよい。各マイクロ波発振器２００１が出射するマイクロ波の周波数や強度等は問わない。各マイクロ波発振器２００１が出射するマイクロ波の周波数は、例えば、９１５ＭＨｚであっても良く、２．４５ＧＨｚであってもよく、５．８ＧＨｚであってもよく、その他の３００ＭＨｚから３００ＧＨｚの範囲内の周波数であっても良く、その周波数は問わない。伝送部２００２は、例えば、導波管や、マイクロ波を伝送する同軸ケーブル等である。 Each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 includes, for example, a microwave oscillator 2001 and a transmission unit 2002 that transmits the microwave generated by the microwave oscillator 2001 and irradiates the microwave into the container 10. ing. The microwave oscillator 2001 may be any microwave oscillator 2001, such as a magnetron, klystron, gyrotron, or semiconductor oscillator. The frequency, intensity, etc. of the microwaves emitted from each microwave oscillator 2001 do not matter. The frequency of the microwave emitted by each microwave oscillator 2001 may be, for example, 915 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz, or any other frequency within the range of 300 MHz to 300 GHz. Any frequency may be used. The transmission unit 2002 is, for example, a waveguide or a coaxial cable that transmits microwaves.

各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、例えば、容器１０に取付けられ、容器１０内にマイクロ波を照射する。例えば、各第一照射部２０１および第二照射部２０２は、伝送部２００２のマイクロ波発振器２００１が取付けられていない端部が、容器１０の壁面等に設けられた開口部１０２に取付けられ、この開口部１０２を通じて、マイクロ波発振器２００１が出射して、伝送部２００２を伝送されたマイクロ波が、容器１０内に照射される。伝送部２００２の開口部１０２に取付けられる端部には、さらに、伝送部２００２を伝送されたマイクロ波を照射するためのアンテナ（図示せず）等を設けるようにしてもよい。また、開口部１０２は、マイクロ波透過性の高いＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素化ポリマー、ガラス、ゴム、およびナイロン等の材料の板等で塞がれていてもよい。第一照射部２０１および第二照射部２０２は、マイクロ波を容器１０内に照射可能なものであれば、上記以外のものであっても良い。 Each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 is attached to, for example, the container 10 and irradiates the inside of the container 10 with microwaves. For example, in each of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202, the end of the transmission unit 2002 to which the microwave oscillator 2001 is not attached is attached to the opening 102 provided in the wall surface of the container 10 or the like. The microwave oscillator 2001 emits through the opening 102 and the microwave transmitted through the transmission section 2002 is irradiated into the container 10 . An antenna (not shown) or the like for irradiating the microwave transmitted through the transmission section 2002 may be further provided at the end of the transmission section 2002 attached to the opening 102 . Further, the opening 102 may be closed with a plate or the like made of a material such as fluorinated polymer such as PTFE (polytetrafluoroethylene), glass, rubber, nylon, or the like, which is highly transparent to microwaves. The first irradiating part 201 and the second irradiating part 202 may be other than those described above as long as they can irradiate the inside of the container 10 with microwaves.

各第一照射部２０１は、容器１０内の、処理対象物２の移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている部分に対してマイクロ波が照射されるよう、容器１０に取付けられている。ここでの部分とは領域と考えてもよい。例えば、各第一照射部２０１の伝送部２００２の端部が、容器１０の壁面の、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている部分に対面する位置に設けられた開口部１０２にそれぞれ取付けられている。ここでは、一の発熱部材３０が配置されている部分について設けられた一の開口部１０２に、一つの第一照射部２０１が設けられている例を示しているが、複数の第一照射部２０１が、一の発熱部材３０が配置されている部分について設けられた複数の開口部１０２にそれぞれ取付けられていてもよい。 Each first irradiation unit 201 is attached to the container 10 so as to irradiate the portion of the movement path 2a of the object 2 in the container 10 where the heat generating members 30 are arranged with microwaves. . The portion here may be considered as an area. For example, the ends of the transmission units 2002 of the first irradiation units 201 are connected to the openings 102 provided on the wall surface of the container 10 at positions facing the portions of the movement path 2a where the heat generating members 30 are arranged. installed. Here, an example is shown in which one first irradiation unit 201 is provided in one opening 102 provided for a portion where one heat generating member 30 is arranged, but a plurality of first irradiation units 201 may be attached to a plurality of openings 102 provided for a portion where one heat generating member 30 is arranged.

各第二照射部２０２は、容器１０内の、処理対象物２の移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されてない部分に対してマイクロ波が照射されるよう、容器１０に取付けられている。具体的には、複数の各第二照射部２０２は、発熱部材３０同士の間の部分と、移動経路２ａの最も後方に配置された発熱部材３０と容器１０の出口１０１ｂとの間の部分とに対してそれぞれマイクロ波が照射されるよう取付けられている。例えば、各第二照射部２０２の伝送部２００２の端部が、容器１０の壁面の、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない部分に対面する位置に設けられた開口部１０２にそれぞれ取付けられている。ここでは、発熱部材３０が設けられていない一の部分に対して設けられた一の開口部１０２に、１つの第一照射部２０１が設けられている例を示しているが、複数の第一照射部２０１が、発熱部材３０が設けられていない一の部分について設けられた複数の開口部１０２にそれぞれ取付けられていてもよい。 Each second irradiation unit 202 is attached to the container 10 so as to irradiate the portion of the movement path 2a of the object 2 in the container 10 where the heat generating member 30 is not arranged with the microwave. . Specifically, each of the plurality of second irradiation units 202 includes a portion between the heat-generating members 30 and a portion between the heat-generating member 30 arranged at the rearmost position in the movement path 2a and the outlet 101b of the container 10. are attached so that microwaves are applied to each of them. For example, the ends of the transmission parts 2002 of the second irradiation parts 202 are attached to the openings 102 provided on the wall surface of the container 10 at positions facing the portion of the movement path 2a where the heat generating member 30 is not provided. It is Here, an example is shown in which one first irradiation unit 201 is provided in one opening 102 provided for one portion where the heat generating member 30 is not provided. The irradiation unit 201 may be attached to each of a plurality of openings 102 provided in one portion where the heat generating member 30 is not provided.

ここでは、各第一照射部２０１および第二照射部２０２が照射するマイクロ波は、同じ周波数のマイクロ波であるとする。ただし、複数の第一照射部２０１および複数の第二照射部２０２のうちの１以上が、他と異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。 Here, it is assumed that the microwaves emitted by the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 have the same frequency. However, one or more of the plurality of first irradiating units 201 and the plurality of second irradiating units 202 may irradiate microwaves with different frequencies.

容器１０内には、処理対象物の状況や、容器内の状況等の情報を取得する１以上のセンサ４０が設けられている。センサ４０は、どのような状況の情報を取得するセンサであってもよい。例えば、容器内の温度の情報を取得する温度センサであってもよく、容器内の湿度の情報等を取得する湿度センサ等であってもよい。あるいはマイクロ波による内部での放電を検知するセンサ等であってもよい。 One or more sensors 40 are provided in the container 10 to acquire information such as the status of the object to be processed and the status inside the container. Sensor 40 may be a sensor that acquires information on any situation. For example, it may be a temperature sensor that acquires information about the temperature inside the container, or a humidity sensor that acquires information about the humidity inside the container, or the like. Alternatively, it may be a sensor or the like that detects internal discharge due to microwaves.

ここでは、センサ４０が放射温度計であり、容器１０内に、６つのセンサ４０が設置されている場合を例に挙げて説明する。ここでは、説明の便宜上、６つのセンサ４０を、容器１０の入口１０１ａ側から順番に、センサ４０ａ～４０ｆと表している。放射温度計とは、物体から放射される赤外線や可視光線の強度を測定することで物体の温度を測定する温度計である。ここでは、放射温度計であるセンサ４０ａ～４０ｃは、各発熱部材３０が設けられている領域から出る直前の処理対象物２の温度を測定するために、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられている領域内の、出口１０１ｂ側の近傍となる位置に設置されている。具体的には、センサ４０ａ～４０ｃは、それぞれ、水平方向の位置が発熱部材３０ａ～３０ｃの出口１０１ｂ側近傍となるよう容器１０に取付けられている。なお、ここでは、図示していないが、一例として、発熱部材３０ａ～３０ｃの、センサ４０ａ～４０ｃと、処理対象物２との間となる部分には、処理対象物２の温度を検出できるようにするための水平方向に伸びるスリット等の開口部が設けられているものとする。また、残りの放射温度計であるセンサ４０ｄ～４０ｆは、各発熱部材３０が設けられていない領域から出る直前の処理対象物２の温度を測定するために、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない領域内の、出口１０１ｂ側の近傍となる位置に設置されている。具体的には、センサ４０ｄ～４０ｅは、それぞれ、容器１０の、水平方向の位置が、各発熱部材３０ｂ～３０ｃよりも処理対象物２の移動方向において手前となる位置に取付けられており、センサ４０ｆは、出口１０１ｂの手前となる位置に取付けられている。ここではセンサ４０は、例えば、処理対象物２から、移動経路２ａに対して直交する方向に放射される赤外線等の強度を測定して、温度の情報を取得する。ただし、センサ４０が取付けられている位置は、他の位置であってもよい。センサ４０は、例えば、容器１０の壁面に設けられた開口部等に取付けられている。なお、前駆体繊維は、例えば、何千本の繊維が撚られて厚さが１ｍｍ程度の一本の繊維となっているため、処理対象物２が前駆体繊維である場合、その表面温度は、前駆体繊維の内部の温度と同じとみなしてもよい。 Here, a case where the sensors 40 are radiation thermometers and six sensors 40 are installed in the container 10 will be described as an example. Here, for convenience of explanation, the six sensors 40 are represented as sensors 40a to 40f in order from the inlet 101a side of the container 10. As shown in FIG. A radiation thermometer is a thermometer that measures the temperature of an object by measuring the intensity of infrared rays or visible light emitted from the object. Here, the sensors 40a to 40c, which are radiation thermometers, are provided with the heat generating members 30 on the moving path 2a in order to measure the temperature of the processing object 2 immediately before leaving the area where each heat generating member 30 is provided. It is installed at a position in the vicinity of the exit 101b side in the area where the Specifically, the sensors 40a to 40c are attached to the container 10 so that their horizontal positions are near the outlets 101b of the heat generating members 30a to 30c. Although not shown here, as an example, heat-generating members 30a to 30c are provided between the sensors 40a to 40c and the processing object 2 so that the temperature of the processing object 2 can be detected. It is assumed that an opening such as a slit extending in the horizontal direction is provided. In addition, the remaining radiation thermometers, sensors 40d to 40f, are provided with the heat generating members 30 on the movement path 2a in order to measure the temperature of the processing object 2 immediately before leaving the area where each heat generating member 30 is not provided. It is installed at a position close to the exit 101b side in an area where the outlet 101b is not provided. Specifically, each of the sensors 40d to 40e is attached to the container 10 at a position in the horizontal direction that is in front of the heat generating members 30b to 30c in the moving direction of the object to be processed 2. 40f is installed in front of the outlet 101b. Here, the sensor 40 acquires temperature information by, for example, measuring the intensity of infrared rays or the like emitted from the processing object 2 in a direction perpendicular to the moving path 2a. However, the position where the sensor 40 is attached may be another position. The sensor 40 is attached to, for example, an opening provided in the wall surface of the container 10 . In addition, the precursor fiber is, for example, a single fiber having a thickness of about 1 mm by twisting thousands of fibers. It may be regarded as the same as the temperature inside the precursor fiber.

制御手段５０は、マイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波を制御する。例えば、制御手段５０は、マイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波の出力を制御する。例えば、制御手段５０は、センサ４０が取得する情報に応じてマイクロ波照射手段２０が照射するマイクロ波の出力を制御する。 The control means 50 controls the microwaves irradiated by the microwave irradiation means 20 . For example, the control means 50 controls the output of microwaves irradiated by the microwave irradiation means 20 . For example, the control means 50 controls the output of microwaves irradiated by the microwave irradiation means 20 according to information acquired by the sensor 40 .

ここでは、具体的には、制御手段５０は、各発熱部材３０が配置されている領域の出口１０１ｂ側に配置されているセンサ４０が取得する温度の情報を用いて、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されている領域に対してマイクロ波を照射する第一照射部２０１が照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御する。また、制御手段５０は、各発熱部材３０が配置されていない領域の出口１０１ｂ側に配置されているセンサ４０が取得する温度の情報を用いて、移動経路２ａの各発熱部材３０が配置されていない領域に対してマイクロ波を照射する第二照射部２０２が照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御する。ここでの発熱部材３０が配置されている領域や発熱部材３０が配置されていない領域とは、例えば、移動経路２ａに対して垂直な仮想の面で区切られた領域である。例えば、センサ４０ａが取得する温度が、第一の閾値よりも高い場合、制御手段５０は、対応する第二照射部２０２ａが照射するマイクロ波の出力を下げ、第二の閾値よりも低い場合は、照射するマイクロ波の出力を上げる。ここでの第一閾値は、第二の閾値よりも高い値であるとする。 Here, specifically, the control means 50 uses the temperature information acquired by the sensor 40 arranged on the exit 101b side of the area where each heat generating member 30 is arranged, to obtain each heat generated in the movement path 2a. Feedback control is performed on the output of the microwaves emitted by the first irradiation unit 201 that emits microwaves to the area where the member 30 is arranged. In addition, the control means 50 uses temperature information acquired by the sensor 40 arranged on the exit 101b side of the area where the heat generating members 30 are not arranged to determine whether the heat generating members 30 on the moving path 2a are arranged. Feedback control is performed on the output of the microwaves irradiated by the second irradiation unit 202 that irradiates the microwaves to the region where no microwaves are present. Here, the area where the heat generating member 30 is arranged and the area where the heat generating member 30 is not arranged are, for example, areas separated by an imaginary plane perpendicular to the movement path 2a. For example, if the temperature acquired by the sensor 40a is higher than the first threshold, the control means 50 reduces the output of the microwave emitted by the corresponding second irradiation unit 202a, and if it is lower than the second threshold , to increase the power of the irradiated microwave. It is assumed here that the first threshold is higher than the second threshold.

なお、制御手段５０が行なう制御は、フィードバック制御以外の制御であってもよい。また、制御手段５０が、どのセンサ４０が取得する情報に応じて、どの照射部の出力を制御するかは問わない。例えば、制御手段５０は、複数のセンサ４０の出力に応じて、１以上の照射部の出力を制御してもよい。また、制御手段５０は、１のセンサ４０の出力に応じて、複数の照射部の出力を制御してもよい。 The control performed by the control means 50 may be control other than feedback control. Further, it does not matter which irradiator output is controlled by the control means 50 according to the information acquired by which sensor 40 . For example, the control means 50 may control outputs of one or more irradiating units according to outputs of a plurality of sensors 40 . Further, the control means 50 may control the outputs of a plurality of irradiation units according to the output of one sensor 40 .

また、１以上のセンサ４０により、１以上の発熱部材３０や、一の発熱部材３０の異なる位置における温度等の、発熱部材３０の状況を示す情報を取得し、この状況を示す情報を用いて、制御部５０が、１以上の照射部の出力を制御（例えば、フィードバック制御等）してもよい。例えば、各発熱部材３０の温度の情報を取得する各センサ４０が取得した各発熱部材３０の温度の情報を用いて、各発熱部材３０に対してそれぞれ行なわれる第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御してもよい。 In addition, one or more sensors 40 acquire information indicating the status of one or more heat generating members 30, temperatures at different positions of one heat generating member 30, and the like, and use the information indicating the status. , the control unit 50 may control the output of one or more irradiation units (for example, feedback control, etc.). For example, the temperature information of each heat generating member 30 acquired by each sensor 40 that acquires the temperature information of each heat generating member 30 is used for the first microwave irradiation performed on each heat generating member 30. The output of microwaves may be feedback-controlled.

また、センサ４０の一部を、発熱部材３０の、第一のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第一のセンサとして設け、センサ４０の一部を、処理対象物２の、第二のマイクロ波照射が行なわれる部分の温度の情報を取得する第二のセンサとして設け、制御手段５０が、第一のセンサが取得する温度の情報を用いて、第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御し、第二のセンサが取得する温度の情報を用いて、第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしてもよい。例えば、発熱部材３０ａ～３０ｃの、センサ４０ａ～４０ｃと処理対象物２との間となる部分にスリット等を設けないようにして、第一のセンサであるセンサ４０ａ～４０ｃが発熱部材３０ａ～３０ｃの温度の情報を取得するようにし、制御手段５０が、センサ４０ａ～４０ｃがそれぞれ取得した発熱部材３０ａ～３０ｃの温度の情報を用いて、第一照射部２０１ａ～２０１ｃがそれぞれ照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するとともに、第二のセンサ４０ｄ～４０ｆがそれぞれ取得した発熱部材３０が設けられていない領域の処理対象物２の温度の情報を用いて、第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしてもよい。このようにすることで、第一のマイクロ波照射による発熱部材３０の加熱と、第二のマイクロ波照射による処理対象物２の加熱とを適切に制御することが可能となる。 Further, a part of the sensor 40 is provided as a first sensor for acquiring information on the temperature of the portion of the heat generating member 30 where the first microwave irradiation is performed, and a part of the sensor 40 is provided as , provided as a second sensor for acquiring temperature information of the portion where the second microwave irradiation is performed, and the control means 50 uses the temperature information acquired by the first sensor to perform the first microwave irradiation The output of the microwave used for the second microwave irradiation may be feedback-controlled using temperature information obtained by the second sensor. For example, the heat generating members 30a to 30c are not provided with slits or the like in the portions between the sensors 40a to 40c and the processing object 2, so that the sensors 40a to 40c, which are the first sensors, are connected to the heat generating members 30a to 30c. The control means 50 uses the temperature information of the heat-generating members 30a to 30c respectively acquired by the sensors 40a to 40c to obtain the temperature information of the microwaves emitted by the first irradiation units 201a to 201c, respectively. While feedback-controlling the output, the second irradiation units 202a to 202c irradiate using information on the temperature of the processing object 2 in the region where the heat generating member 30 is not provided, which is acquired by the second sensors 40d to 40f. The microwave output may be feedback-controlled. By doing so, it becomes possible to appropriately control the heating of the heat-generating member 30 by the first microwave irradiation and the heating of the processing object 2 by the second microwave irradiation.

搬送手段６０は、容器１０内において処理対象物２を搬送する手段である。搬送手段６０は、容器１０内に設けられていてもよく、容器１０外に設けられていてもよい。ここでは、一例として、搬送手段６０が、容器１０の入口１０１ａ側において、処理対象物２である前駆体繊維が巻付けられたリール６１を回転可能に保持する保持部６２と、処理対象物２の移動方向を変更して、処理対象物２を入口１０１ａから容器１０内に送り込むローラ６３と、容器１０の出口１０１ｂから出てくる処理対象物２の移動方向を変更するローラ６４と、ローラ６４で移動方向が変更された処理対象物２を巻き取る巻き取り部６５とを備えている場合を示している。ただし、搬送手段６０としてどのような搬送手段を用いてもよい。また、複数の処理対象物２を、容器１０内に移動させる場合、複数の搬送手段６０を有していても良い。 The conveying means 60 is means for conveying the processing object 2 within the container 10 . The conveying means 60 may be provided inside the container 10 or may be provided outside the container 10 . Here, as an example, the conveying means 60 includes, on the inlet 101a side of the container 10, a holding portion 62 that rotatably holds a reel 61 around which the precursor fibers that are the processing object 2 are wound, and the processing object 2 A roller 63 for feeding the object 2 into the container 10 from the inlet 101a by changing the moving direction of the roller 63, a roller 64 for changing the moving direction of the object 2 coming out of the outlet 101b of the container 10, and a roller 64 and a winding unit 65 that winds up the object 2 whose moving direction has been changed. However, any transport means may be used as the transport means 60 . Moreover, when moving a plurality of processing objects 2 into the container 10, a plurality of transport means 60 may be provided.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１を用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図１に示したマイクロ波処理装置１を用いて説明を行なう。処理対象物２は、例えば、幅５～１０ｍｍ程度、厚さ１ｍｍ～２ｍｍ程度の前駆体繊維である。照射するマイクロ波としては、例えば、周波数が、９１５ＭＨｚまたは２．４５ＧＨｚであり、出力が６～２０ＫＷのものが用いられる。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment will be described with a specific example. Here, an example will be described in which the microwave processing apparatus 1 is used to perform a flameproofing treatment on the PAN-based precursor fiber, which is the object 2 to be treated. In order to simplify the explanation, the microwave processing apparatus 1 shown in FIG. 1 will be used here. The object 2 to be processed is, for example, a precursor fiber having a width of about 5 to 10 mm and a thickness of about 1 mm to 2 mm. As microwaves to be irradiated, those having a frequency of 915 MHz or 2.45 GHz and an output of 6 to 20 KW are used, for example.

まず、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維を、その一端側が、入口１０１ａから容器１０内に入り、円筒形状の発熱部材３０ａ～３０ｃのそれぞれの内側を通って、出口１０１ｂから容器１０の外にでるよう、搬送手段６０にセットする。そして、搬送手段６０により、処理対象物２を容器１０内で移動させる。搬送手段６０の搬送速度は、例えば、予め決められた速度に制御する。また、第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃからマイクロ波の照射を開始する。なお、ここでは、第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波の周波数は同じ周波数（例えば、２．４５ＧＨｚ）であるとする。搬送手段６０の搬送速度は、例えば、制御手段５０や図示しない制御手段等により、予め決められた速度に制御する。制御手段５０は、各第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃが照射するマイクロ波が、予め個別に決められた出力のマイクロ波を照射するよう、各第一照射部２０１ａ～２０１ｃおよび第二照射部２０２ａ～２０２ｃを制御する。 First, one end of the PAN-based precursor fiber, which is the object to be processed 2, enters the container 10 from the inlet 101a, passes through the inside of each of the cylindrical heat-generating members 30a to 30c, and exits the container 10 from the outlet 101b. It is set on the conveying means 60 so as to go outside. Then, the object 2 to be processed is moved within the container 10 by the transport means 60 . The conveying speed of the conveying means 60 is controlled to a predetermined speed, for example. Also, microwave irradiation is started from the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c. Here, it is assumed that the microwaves emitted by the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c have the same frequency (for example, 2.45 GHz). The conveying speed of the conveying means 60 is controlled to a predetermined speed by, for example, the control means 50 or a control means (not shown). The control means 50 controls the first irradiation units 201a to 201c so that the microwaves irradiated by the first irradiation units 201a to 201c and the second irradiation units 202a to 202c irradiate microwaves with outputs individually determined in advance. 201c and the second irradiation units 202a to 202c.

処理対象物２の入口１０１ａから容器１０内に入り、発熱部材３０の内側に入った部分は、第一照射部２０１が照射するマイクロ波の一部を吸収することによって発熱する発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱されるとともに、第一照射部２０１から照射されたマイクロ波のうちの発熱部材３０で吸収されずに透過したマイクロ波によって直接加熱される。ここでは、例えば、第一照射部２０１ａ～２０１ｃが照射するマイクロ波を、発熱部材３０ａ～３０ｃが吸収することによって起こる発熱量が、発熱部材３０を透過したマイクロ波による処理対象物２の発熱量よりも十分大きくなるような材質や厚さに設定しているとすると、この発熱部材３０の内側の領域においては、処理対象物２に対する加熱は、発熱部材３０を透過したマイクロ波による直接加熱よりも、発熱部材３０による外部からの加熱の方が強くなる。なお、第一照射部２０１ａ～２０１ｃから照射されるマイクロ波の出力は、センサ４０ａ～４０ｃがそれぞれ取得する処理対象物２の温度に応じてフィードバック制御され、処理対象物２が所望の範囲の温度となるよう制御される。 The part that enters the container 10 from the inlet 101a of the object 2 to be processed and enters the inside of the heat generating member 30 is the part of the heat generating member 30 that generates heat by absorbing part of the microwaves irradiated by the first irradiation unit 201. It is heated from the outside by radiant heat, and directly heated by the microwaves that are transmitted through the heat generating member 30 without being absorbed by the microwaves emitted from the first irradiation unit 201 . Here, for example, the amount of heat generated by the heat generating members 30a to 30c absorbing the microwaves emitted by the first irradiation units 201a to 201c is the amount of heat generated by the microwaves transmitted through the heat generating members 30. If the material and thickness are set so as to be sufficiently larger than the heating member 30, the heating of the processing object 2 in the inner region of the heating member 30 is more than the direct heating by the microwave transmitted through the heating member 30. Also, the heating from the outside by the heat generating member 30 is stronger. The outputs of the microwaves emitted from the first irradiation units 201a to 201c are feedback-controlled according to the temperature of the processing object 2 obtained by the sensors 40a to 40c, respectively, and the temperature of the processing object 2 is within a desired range. is controlled to be

処理対象物２の発熱部材３０の内側に入っていた部分が外側に出ると、発熱部材３０の直後の発熱部材３０が設けられていない領域に入り、発熱部材３０を介さずに第二照射部２０２からマイクロ波の照射を受け、マイクロ波によって発熱する。すなわち、マイクロ波で直接加熱される。この発熱部材３０が設けられていない領域においては、発熱部材３０の発熱による処理対象物の加熱が行われないため、マイクロ波による直接加熱が、発熱部材３０等による外部からの加熱よりも強くなる。なお、第二照射部２０２ａ～２０２ｃから照射されるマイクロ波の出力は、センサ４０ｄ～４０ｆがそれぞれ取得する処理対象物２の温度に応じてフィードバック制御され、処理対象物２が所望の範囲の温度となるよう制御される。 When the portion of the object to be processed 2 that was inside the heat generating member 30 goes outside, it enters the area where the heat generating member 30 is not provided immediately after the heat generating member 30, and enters the second irradiation section without passing through the heat generating member 30. It is irradiated with microwaves from 202 and heat is generated by the microwaves. That is, it is directly heated by microwaves. In the area where the heat generating member 30 is not provided, the object to be processed is not heated by the heat generated by the heat generating member 30, so the direct heating by the microwave is stronger than the external heating by the heat generating member 30 or the like. . The outputs of the microwaves emitted from the second irradiation units 202a to 202c are feedback-controlled according to the temperature of the processing object 2 obtained by the sensors 40d to 40f, respectively, and the temperature of the processing object 2 is within a desired range. is controlled to be

このようにして、第一照射部２０１および第二照射部２０２により、容器１０内を移動する処理対象物２に対して、発熱部材３０からの加熱が強い加熱と、マイクロ波照射による直接加熱が強い加熱とを適宜切り替えて行うことができる。これにより、例えば、処理対象物２に対する外側からの加熱と、処理対象物２への直接加熱とを適宜切り替えて、処理対象物２を外側からの加熱や直接加熱とが偏らないよう均等に加熱すること等が可能となる。 In this manner, the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 apply strong heating from the heating member 30 and direct heating by microwave irradiation to the object 2 moving in the container 10 . Strong heating can be switched as appropriate. Thereby, for example, the heating from the outside of the processing object 2 and the direct heating of the processing object 2 are appropriately switched, and the processing object 2 is evenly heated so that the heating from the outside and the direct heating are not biased. It is possible to

特に、耐炎化処理が行なわれていないＰＡＮ系前駆体繊維においては、マイクロ波が吸収されにくいため、第一照射部２０１によって発熱部材３０をマイクロ波照射によって加熱している際にも、発熱部材３０を透過したマイクロ波によって、処理対象物２を直接加熱することで、第二照射部２０２によって処理対象物２を加熱する時間を削減することができる。 In particular, PAN-based precursor fibers that have not been subjected to flame-resistant treatment do not easily absorb microwaves. By directly heating the object 2 to be processed by the microwave transmitted through the microwave 30, the time required for heating the object 2 by the second irradiation unit 202 can be reduced.

また、加熱によって処理対象物２がある温度に達すると、処理対象物２の発熱がピークに達し、処理対象物２が急激に発熱して、処理対象物２が炭化したりして、所望の処理が行えなくなる場合がある。例えば、加熱によって処理対象物２である前駆体繊維がある温度に達すると、酸化によって前駆体繊維の発熱がピークに達して、前駆体繊維が炭化してしまう場合がある。特に、第二のマイクロ波照射によって処理対象物２を直接加熱によって強く加熱する場合、熱効率がよく、また発熱箇所が一箇所に集中したりすることにより、発熱のピークの直前の温度から短時間で発熱のピークとなる温度まで加熱されるため、発熱のピークの前後における加熱のコントロールが困難となる。このため、第二のマイクロ波照射を行なって処理対象物を加熱している場合において、処理対象物２の温度が発熱のピークとなる温度の手前の温度になった時点で、第二のマイクロ波照射から第一のマイクロ波照射に切替わるように発熱部材３０を配置することで、処理対象物２の加熱を、発熱部材３０からの輻射熱による加熱として、急速な加熱を抑えて、炭化等を抑えることが可能となる。 Further, when the object 2 reaches a certain temperature by heating, the heat generation of the object 2 reaches a peak, the object 2 rapidly heats up, the object 2 is carbonized, and the desired temperature is reached. processing may not be possible. For example, when the precursor fiber, which is the object 2 to be processed, reaches a certain temperature due to heating, the heat generation of the precursor fiber reaches a peak due to oxidation, and the precursor fiber may be carbonized. In particular, when the object 2 to be processed is strongly heated by direct heating by the second microwave irradiation, the thermal efficiency is good, and the heat generation is concentrated in one place, so that the temperature immediately before the peak of heat generation rises for a short time. is heated to the temperature at which the heat generation peaks, it becomes difficult to control the heating before and after the heat generation peak. For this reason, when the object to be processed is heated by the second microwave irradiation, the second microwave By arranging the heating member 30 so as to switch from the wave irradiation to the first microwave irradiation, the heating of the processing object 2 is performed by the radiant heat from the heating member 30, and rapid heating is suppressed, and carbonization or the like is performed. can be suppressed.

例えば、図１に示すようなマイクロ波処理装置１のように、処理対象物２を容器１０内において移動させて加熱する場合、移動速度と、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や、配置、出力等により、処理対象物２がどの位置に達した時点で、発熱のピークとなるかを予め知ることができる。この位置は実験等で検出してもよい。このため、例えば、処理対象物２の移動経路２ａの、処理対象物２の温度が、発熱のピークとなる位置や、この位置およびその前後を覆う位置に発熱部材３０を配置し、この発熱部材３０に対して第一照射部２０１からマイクロ波を照射することにより、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、この発熱のピークとなる位置を含まない位置においては、適宜、発熱部材３０を配置したり、配置しなかったりすることで、移動する処理対象物２に対する第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射との切替えを行なって、処理対象物２に対して均等な加熱や、所望の加熱を行なうことができる。なお、処理対象物の発熱のピークとなる温度は、例えば、ＴＧ－ＴＤＡ測定（熱重量・示差熱測定）等により測定可能である。 For example, as in the microwave processing device 1 as shown in FIG. In addition, it is possible to know in advance at which position the object 2 to be processed reaches the peak of heat generation, depending on the arrangement, output, and the like. This position may be detected by experiment or the like. For this reason, for example, the heat generating member 30 is arranged at a position where the temperature of the processing object 2 reaches a heat generation peak on the moving path 2a of the processing object 2, or at a position covering this position and its front and back. By irradiating the microwave from the first irradiation unit 201 to 30, it is possible to avoid rapid heating when the processing object 2 reaches the heat generation peak, and to process the processing object 2 appropriately. becomes. In addition, at a position that does not include the peak heat generation position, the heat generating member 30 may or may not be disposed as appropriate, so that the moving processing object 2 is irradiated with the first microwave and the second microwave is irradiated. It is possible to perform uniform heating or desired heating of the object 2 by switching between two types of microwave irradiation. The temperature at which the heat generation peak of the object to be processed can be measured, for example, by TG-TDA measurement (thermogravimetry/differential thermal measurement).

なお、この具体例における発熱部材３０の数や、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や配置等は一例であり、発熱部材３０の数や、第一照射部２０１および第二照射部２０２の数や配置等は問わない。 It should be noted that the number of heat generating members 30, the number and arrangement of the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202, etc. in this specific example are examples, and the number of the heat generating members 30, the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit The number and arrangement of the units 202 do not matter.

以上、本実施の形態においては、容器内において、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたので、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を発熱させることによる直接加熱との組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, in the present embodiment, the first microwave irradiation for heating the heat-generating member and the second microwave irradiation for heating the object to be processed are performed in the container. can properly process the object to be processed. For example, appropriate heating is performed by controlling the combination and ratio of heating from the outside of the object to be processed by a heating member heated by microwaves and direct heating by heating the object to be processed by microwaves. can be done.

また、第一のマイクロ波照射を第一照射部２０１で行い、第二のマイクロ波照射を第二照射部２０２で行うことにより、第一のマイクロ波照射の出力と、第二のマイクロ波照射の出力を個別に制御することが可能となり、処理対象物に対する加熱を細かく制御することができ、高品質な処理結果を得ることができる。 Further, by performing the first microwave irradiation in the first irradiation unit 201 and performing the second microwave irradiation in the second irradiation unit 202, the output of the first microwave irradiation and the output of the second microwave irradiation It is possible to individually control the output of each, and it is possible to finely control the heating of the object to be processed, and to obtain high-quality processing results.

なお、図２（ｄ）に示すように、発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部に、マイクロ波を透過させない非透過部３０３を設けるようにしてもよい。図２（ｄ）は、図２（ａ）で示した筒状の発熱部材３０の内側に、非透過部３０３を設けた発熱部材３０の例を示すための、処理対象物２の移動方向に沿った断面図である。発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部は、発熱部材３０の処理対象物２側の一部であることが好ましいが、発熱部材３０の処理対象物２側の全てであってもよい。発熱部材３０の処理対象物２側の少なくとも一部は、例えば、図２（ｄ）に示すように、円筒形状の発熱部材３０の内側の一部である。複数の発熱部材３０が容器１０内に設けられている場合、ここでの発熱部材３０の処理対象物２側の一部は、複数の発熱部材３０のうちの一以上の処理対象物側の全面であってもよい。非透過部３０３は、マイクロ波を透過させないとともに、熱伝導性のよい材質で構成することが好ましい。このような非透過部３０３の材質としては、例えば、グラファイトや金属等が利用可能である。なお、支持体３０２の一部の代わりに、非透過部３０３を用いてもよく、この場合も、発熱部材３０の処理対象物２側に非透過部３０３が設けられていると考えてもよい。このような非透過部３０３を設けることにより、非透過部３０３を設けた部分においては処理対象物２に対してマイクロ波が照射されないようにして、処理対象物２の直接加熱を行わないようにできるとともに、発熱部材３０の発熱により、処理対象物２を外側から加熱することができる。なお、他の実施の形態においても同様に発熱部材３０の少なくとも一部に非透過部を設けてもよい。 In addition, as shown in FIG. 2D, a non-transmissive portion 303 that does not transmit microwaves may be provided on at least a portion of the heating member 30 on the side of the object 2 to be processed. FIG. 2(d) shows an example of the heat-generating member 30 in which a non-transmissive portion 303 is provided inside the cylindrical heat-generating member 30 shown in FIG. 1 is a cross-sectional view along FIG. It is preferable that at least a part of the heat generating member 30 on the processing object 2 side is a part of the heat generating member 30 on the processing object 2 side, but it may be all of the heat generating member 30 on the processing object 2 side. . At least a portion of the heat generating member 30 on the processing object 2 side is, for example, a portion of the inside of the cylindrical heat generating member 30 as shown in FIG. 2(d). When a plurality of heat-generating members 30 are provided in the container 10, a part of the heat-generating member 30 on the processing object 2 side here is the entire surface of one or more of the plurality of heat-generating members 30 on the processing object side. may be The non-transmissive portion 303 is preferably made of a material that does not transmit microwaves and has good thermal conductivity. Graphite, metal, or the like, for example, can be used as the material of such a non-transmissive portion 303 . A non-transmissive portion 303 may be used instead of a part of the support 302, and in this case also, it may be considered that the non-transmissive portion 303 is provided on the heat generating member 30 on the side of the object 2 to be processed. . By providing such a non-transmitting portion 303, the microwave is not irradiated to the processing object 2 in the portion where the non-transmitting portion 303 is provided, so that the processing object 2 is not directly heated. In addition, the object to be processed 2 can be heated from the outside by the heat generated by the heat generating member 30 . Incidentally, in other embodiments, at least part of the heat generating member 30 may be similarly provided with a non-transmissive portion.

なお、上記において、発熱部材３０の厚さは均等な厚さであってもよく、均等な厚さでなくてもよい。発熱部材３０の厚さが均等な厚さでないということは、異なる厚さの部分が混在していることも含む概念である。発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さと考えてもよい。例えば、発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の長手方向や、処理対象物２の移動方向において均等な厚さであってもよく、均等な厚さでなくてもよい。例えば、容器１０内に複数の発熱部材３０が配置される場合、複数の発熱部材３０のうちの１以上（ただし、全部を除く）の厚さが、他の発熱部材３０とは異なる厚さであってもよい。この場合、複数の発熱部材３０のそれぞれの厚さは、長手方向や処理対象物２の移動方向において均一な厚さであってもよい。かかることは、以下においても同様である。 In addition, in the above description, the thickness of the heat generating member 30 may be uniform or may not be uniform. The fact that the thickness of the heat-generating member 30 is not uniform is a concept that includes a mixture of portions with different thicknesses. The thickness of the heat-generating member 30 may be considered as the thickness of the heating medium 301 of the heat-generating member 30 . For example, the thickness of the heat-generating member 30 may be uniform in the longitudinal direction of the heat-generating member 30 and in the movement direction of the processing object 2, or may not be uniform. For example, when a plurality of heat generating members 30 are arranged in the container 10, the thickness of one or more (but not all) of the plurality of heat generating members 30 is different from the thickness of the other heat generating members 30. There may be. In this case, the thickness of each of the plurality of heat generating members 30 may be uniform in the longitudinal direction and the moving direction of the object 2 to be processed. This also applies to the following.

例えば、上記の図１に示したようなマイクロ波処理装置において、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対して行なうマイクロ波照射を第二のマイクロ波照射とする代わりに、発熱部材３０が設けられていない１以上の部分に、発熱部材３０よりも厚さの薄い第二の発熱部材（図示せず）を設け、この第二の発熱部材に対して第二照射部２０２から行なうマイクロ波照射を、第二のマイクロ波照射としてもよい。第二の発熱部材の厚さを薄くすることで、照射されるマイクロ波の浸透深さが変化するため、第二の発熱部材の厚さを調節することで、第二の発熱部材に照射されるマイクロ波の第二の発熱部材による吸収を低減して、第二の発熱部材を透過するマイクロ波を増加させて、処理対象物２を第二の発熱部材よりも強く加熱することができる。また、この場合、第二の発熱部材の発熱によって、処理対象物２を外側からも加熱できる。 For example, in the microwave processing apparatus as shown in FIG. 1, the second microwave irradiation is applied to a portion of the moving path 2a of the object 2 where the heating member 30 is not provided. Instead, a second heat-generating member (not shown) thinner than the heat-generating member 30 is provided in one or more portions where the heat-generating member 30 is not provided, and the second heat-generating member is provided with The microwave irradiation performed from the second irradiation unit 202 may be used as the second microwave irradiation. By reducing the thickness of the second heat-generating member, the penetration depth of the irradiated microwave changes. Therefore, by adjusting the thickness of the second heat-generating member, It is possible to reduce the absorption of microwaves by the second heat generating member and increase the amount of microwaves that pass through the second heat generating member, thereby heating the object 2 more strongly than the second heat generating member. Moreover, in this case, the processing object 2 can also be heated from the outside by the heat generated by the second heat generating member.

なお、複数の発熱部材３０について、その１以上の厚さを他の発熱部材３０とは異なる厚さとしてもよい。これにより、発熱部材３０で吸収されるマイクロ波を、発熱部材３０の厚さによって変更して、第一のマイクロ波照射による、発熱部材３０の加熱と、発熱部材３０の加熱との割合を変更することが可能となる。かかることは、第二の発熱部材３０を用いた第二のマイクロ波照射においても同様である。また、かかることは、以下においても同様である。 Note that one or more of the plurality of heat generating members 30 may have a thickness different from that of the other heat generating members 30 . Thereby, the microwave absorbed by the heat-generating member 30 is changed by the thickness of the heat-generating member 30, and the ratio of the heating of the heat-generating member 30 by the first microwave irradiation and the heating of the heat-generating member 30 is changed. It becomes possible to The same applies to the second microwave irradiation using the second heat generating member 30 . This also applies to the following.

また、上記において、発熱部材３０の材質を、発熱部材３０の長手方向や、処理対象物２の移動方向において同じ材質としてもよく、異なる材質としてもよい。異なる材質とは、組成や成分、材料比等が異なる材質であってもよい。発熱部材３０が異なる材質であるということは、異なる材質の部分が混在していることも含む概念である。ここでの発熱部材３０の材質は、発熱部材３０の加熱媒体３０１の材質と考えてもよい。例えば、容器１０内に複数の発熱部材３０が配置される場合、複数の発熱部材３０のうちの１以上の材質（ただし、全部を除く）が、他の発熱部材３０とは異なる材質であってもよい。また、３以上の発熱部材３０が、３以上の異なる材質の発熱部材３０で構成されていてもよい。この場合、複数の発熱部材３０のそれぞれの材質は、均一な材質であってもよい。かかることは、以下においても同様である。 Further, in the above, the material of the heat generating member 30 may be the same material in the longitudinal direction of the heat generating member 30 and the moving direction of the processing object 2, or may be different materials. The different materials may be materials having different compositions, components, material ratios, and the like. The fact that the heat-generating member 30 is made of different materials is a concept that includes the mixture of parts made of different materials. The material of the heat generating member 30 here may be considered as the material of the heating medium 301 of the heat generating member 30 . For example, when a plurality of heat-generating members 30 are arranged in the container 10, one or more of the plurality of heat-generating members 30 (except all) is made of a material different from that of the other heat-generating members 30. good too. Also, three or more heat generating members 30 may be composed of three or more heat generating members 30 made of different materials. In this case, the material of each of the plurality of heat generating members 30 may be a uniform material. This also applies to the following.

例えば、上記の図１に示したようなマイクロ波処理装置において、処理対象物２の移動経路２ａの、発熱部材３０が設けられていない部分に対して行なうマイクロ波照射を第二のマイクロ波照射とする代わりに、発熱部材３０が設けられていない１以上の部分に、発熱部材３０とは材質が異なる第二の発熱部材（図示せず）を設け、この第二の発熱部材に対して第二照射部２０２から行なうマイクロ波照射を、第二のマイクロ波照射としてもよい。第二の発熱部材の組成を変えることで、照射されるマイクロ波の浸透深さ等が変化するため、第二の発熱部材の組成を選択することで、第二の発熱部材に照射されるマイクロ波の第二の発熱部材による吸収を低減して、第二の発熱部材を透過するマイクロ波を増加させて、処理対象物２を第二の発熱部材よりも強く加熱することができる。また、この場合、第二の発熱部材の発熱によって、処理対象物２を外側からも加熱できる。 For example, in the microwave processing apparatus as shown in FIG. 1, the second microwave irradiation is applied to a portion of the moving path 2a of the object 2 where the heating member 30 is not provided. Instead, a second heat-generating member (not shown) made of a material different from that of the heat-generating member 30 is provided in one or more portions where the heat-generating member 30 is not provided, and the second heat-generating member is provided with a second heat-generating member. The microwave irradiation performed from the second irradiation unit 202 may be the second microwave irradiation. By changing the composition of the second heat-generating member, the depth of penetration of the irradiated microwave changes. By reducing the absorption of waves by the second heat generating member and increasing the microwaves that pass through the second heat generating member, the object to be processed 2 can be heated more strongly than the second heat generating member. Moreover, in this case, the processing object 2 can also be heated from the outside by the heat generated by the second heat generating member.

なお、複数の発熱部材３０について、その１以上の材質を他の発熱部材３０とは異なる材質としてもよい。これにより、発熱部材３０で吸収されるマイクロ波を、発熱部材３０の材質によって変更して、第一のマイクロ波照射による、発熱部材３０の加熱と、発熱部材３０の加熱との割合を変更することが可能となる。かかることは、第二の発熱部材３０を用いた第二のマイクロ波照射においても同様である。また、かかることは、以下においても同様である。 Note that one or more of the plurality of heat generating members 30 may be made of a material different from that of the other heat generating members 30 . Thereby, the microwave absorbed by the heat generating member 30 is changed according to the material of the heat generating member 30, and the ratio of the heating of the heat generating member 30 by the first microwave irradiation and the heating of the heat generating member 30 is changed. becomes possible. The same applies to the second microwave irradiation using the second heat generating member 30 . This also applies to the following.

なお、発熱部材３０や第二の発熱部材の材質および厚さの組合せを変えてもよいことはいうまでもない。 Needless to say, the combination of materials and thicknesses of the heat-generating member 30 and the second heat-generating member may be changed.

また、上記においては、処理対象部２が移動する例について説明したが、処理対象部２が容器１０内を移動しないようにし、処理対象物２を、容器１０内に静置できるようにしてもよい。かかることは、他の実施の形態においても同様である。なお、移動が不要な場合、搬送手段６０は省略してもよい。また、マイクロ波照射手段２０が有する一以上の照射部（図示せず）が、それぞれ、発熱部材３０が配置されている部分と、処理対象物２の発熱部材３０が設けられていない部分との両方にマイクロ波を照射するようにしても良い。このことは、例えば、マイクロ波照射手段２０が有する一以上の照射部（図示せず）が、それぞれ第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射との両方を行うことと考えてもよい。この場合、上記の照射部は、例えば、１以上の発熱部材３０と、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない１以上の部分とにマイクロ波を照射可能な位置に設置する。例えば、照射部を発熱部材３０と、発熱部材３０に隣接する移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない部分との境界近傍等に配置するようにしても良い。ここでの照射部としては、例えば、上述した第一照射部２０１や第二照射部２０２と同様の照射部が利用可能である。 In the above description, an example in which the processing object 2 moves has been described. good. This also applies to other embodiments. It should be noted that the conveying means 60 may be omitted if movement is unnecessary. In addition, one or more irradiating units (not shown) of the microwave irradiating means 20 are divided between a portion where the heat generating member 30 is arranged and a portion where the heat generating member 30 of the processing object 2 is not provided. You may make it irradiate a microwave to both. This means that, for example, one or more irradiation units (not shown) of the microwave irradiation means 20 each perform both the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. good. In this case, the irradiating section is installed at a position capable of irradiating microwaves to one or more heat generating members 30 and one or more portions of the moving path 2a where the heat generating members 30 are not provided. For example, the irradiation section may be arranged near the boundary between the heat generating member 30 and a portion of the movement path 2a adjacent to the heat generating member 30 where the heat generating member 30 is not provided. As the irradiation unit here, for example, an irradiation unit similar to the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 described above can be used.

（第一の変形例）
図３は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の第一の変形例を示す図である。この第一の変形例のマイクロ波処理装置１は、発熱部材３０が筒形状を有するマイクロ波処理装置１において、発熱部材３０の内側に酸素を供給するためのガス供給手段７０をさらに設けたものである。ガス供給手段７０は、酸素ボンベや、酸素発生器等の酸素を供給する供給部７０１と、例えば、一端が発熱部材３０の内側に開口するよう発熱部材３０と取り付けられ、他端が供給部７０１と接続された酸素を供給する管７０２と、この管７０２の経路に挿入された酸素の供給量を調節するバルブ７０３とを備えている。管７０２の一端が発熱部材３０に取り付けられる位置は問わない。このバルブ７０３は、例えば、制御手段５０等によって制御されてもよく、ユーザの操作等に応じて制御されるようにしても良い。ここでの酸素を供給する、ということは、例えば、容器１０内の空気等の気体よりも酸素濃度が高い気体（例えば、空気に酸素を加えた気体）等を供給することも含む概念である。なお、複数のガス供給手段７０が、一の供給部７０１を共用してもよい。また、供給部７０１の代わりに外部の供給部（図示せず）等を用いる場合等においては、ガス供給手段７０は、供給部７０１を有していなくても良い。 (First modification)
FIG. 3 is a diagram showing a first modification of the microwave processing apparatus 1 of this embodiment. The microwave processing apparatus 1 of this first modification is the microwave processing apparatus 1 in which the heat generating member 30 has a cylindrical shape, and is further provided with gas supply means 70 for supplying oxygen to the inside of the heat generating member 30. is. The gas supply means 70 is attached to a supply portion 701 such as an oxygen cylinder or an oxygen generator that supplies oxygen, for example, the heat generating member 30 is attached to the heat generating member 30 so that one end opens inside the heat generating member 30, and the other end is the supply portion 701. and a valve 703 inserted into the path of the pipe 702 for adjusting the amount of oxygen supplied. The position where one end of the tube 702 is attached to the heat generating member 30 does not matter. For example, the valve 703 may be controlled by the control means 50 or the like, or may be controlled according to user's operation or the like. Supplying oxygen here is, for example, a concept that includes supplying a gas having a higher oxygen concentration than the gas such as the air in the container 10 (for example, a gas obtained by adding oxygen to air). . A plurality of gas supply units 70 may share one supply unit 701 . Also, in the case where an external supply unit (not shown) or the like is used instead of the supply unit 701 , the gas supply unit 70 does not have to have the supply unit 701 .

なお、発熱部材３０の内側に供給された酸素が、発熱部材３０の外側に逃げにくくするために、発熱部材３０の処理対象物２が出入りする両端は、処理対象物２を出入り可能とするための開口部を除いて塞ぐようにしても良い。 In order to prevent the oxygen supplied to the inside of the heat generating member 30 from escaping to the outside of the heat generating member 30, both ends of the heat generating member 30 through which the object to be processed 2 enters and exits are arranged so that the object to be processed 2 can enter and exit. You may make it close except the opening of .

また、ここでは、ガス供給手段７０を、複数の発熱部材３０の全てに対して個別に設けた場合について説明したが、ガス供給手段７０を、複数の発熱部材３０の一部にだけ設けるようにしても良い。 Also, here, the case where the gas supply means 70 are individually provided for all of the plurality of heat generating members 30 has been described, but the gas supply means 70 is provided only for some of the plurality of heat generating members 30. can be

このように、ガス供給手段７０によって、発熱部材３０内に酸素を供給することで、酸素濃度を制御して、マイクロ波処理装置１において行われる処理を適切に制御することが可能となる。例えば、処理対象物に応じて酸素を供給することで、処理時間の短縮や処理の均一化を促進することが可能となる。 By supplying oxygen into the heat-generating member 30 by the gas supply means 70 in this manner, the oxygen concentration can be controlled, and the processing performed in the microwave processing apparatus 1 can be appropriately controlled. For example, by supplying oxygen depending on the object to be processed, it is possible to shorten the processing time and promote uniformity of processing.

なお、かかるガス供給手段７０を設けてもよいことは、他の実施の形態の筒形状の発熱部材等を有するマイクロ波処理装置においても同様である。 It should be noted that the fact that such a gas supply means 70 may be provided is the same in the microwave processing apparatus having a cylindrical heat-generating member or the like according to other embodiments.

また、上記において、ガス供給手段７０は、酸素以外の所定のガスを供給するようにしてもよい。例えば、所定のガスは、窒素ガスや、アルゴンガス等の希ガスや、水素ガスや、これらの１以上の組合せである。ここでの所定のガスを供給する、ということは、例えば、容器１０内の空気等の気体よりも所定のガスの濃度が高い気体（例えば、空気に所定のガスを加えた気体）等を供給することも含む概念である。ガス供給手段７０の構成は、例えば、供給部７０１が供給するガスが所定のガスである点を除けば上記と同様である。なお、容器１０内が空気以外のガスで満たされている場合、ガス供給手段７０が供給するガスは空気であってもよい。また、異なる発熱部材３０に接続されているガス供給手段７０がそれぞれ供給するガスは、同じガスであってもよく、異なるガスであってもよい。また、異なる発熱部材３０に接続されているガス供給手段７０がそれぞれ供給するガスは所定の濃度が異なるガスであってもよく、組成比が異なるガスであってもよい。 Moreover, in the above, the gas supply means 70 may supply a predetermined gas other than oxygen. For example, the predetermined gas is nitrogen gas, a rare gas such as argon gas, hydrogen gas, or a combination of one or more of these. Supplying the predetermined gas here means, for example, supplying a gas having a higher concentration of the predetermined gas than the gas such as the air in the container 10 (for example, a gas obtained by adding the predetermined gas to the air). It is a concept that also includes doing. The configuration of the gas supply means 70 is the same as described above, except that the gas supplied by the supply unit 701 is a predetermined gas. In addition, when the inside of the container 10 is filled with a gas other than air, the gas supplied by the gas supply means 70 may be air. Further, the gases supplied by the gas supply means 70 connected to different heat generating members 30 may be the same gas or different gases. Further, the gases supplied by the gas supply means 70 connected to different heat generating members 30 may have different predetermined concentrations or may have different composition ratios.

（第二の変形例）
図４（ａ）および図４（ｂ）は、本実施の形態のマイクロ波処理装置１の第二の変形例を示す図である。この第二の変形例のマイクロ波処理装置１は、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、発熱部材として、発熱部材３０の代わりに、処理対象物２の容器内における搬送を補助する部材であって、処理対象物２に接触する部分を有しており、この処理対象物２に接触する部分にマイクロ波を吸収して発熱する加熱媒体を有するローラやベルト等の部材を用いるようにしたものである。なお、図４（ａ）および図４（ｂ）においては、容器１０ａおよび容器１０ｂは、容器１０に相当する容器である。なお、ここでは説明を省略しているが、図４（ａ）および図４（ｂ）に示したマイクロ波処理装置１の変形例も、図１に示した制御手段５０と同様の制御手段やセンサ４０と同様のセンサを有していても良く、センサの出力に応じて、マイクロ波の出力のフィードバック制御等を行なうようにしてもよい。 (Second modification)
FIGS. 4(a) and 4(b) are diagrams showing a second modification of the microwave processing apparatus 1 of the present embodiment. As shown in FIGS. 4(a) and 4(b), the microwave processing apparatus 1 of the second modification has a heat generating member, instead of the heat generating member 30, for conveying the object 2 in the container. A member such as a roller or a belt that has a part that contacts the object 2 and that has a heating medium that absorbs microwaves and generates heat in the part that contacts the object 2. is used. 4A and 4B, the container 10a and the container 10b are containers corresponding to the container 10. As shown in FIG. Although the description is omitted here, the modified example of the microwave processing apparatus 1 shown in FIGS. A sensor similar to the sensor 40 may be provided, and feedback control or the like of the microwave output may be performed according to the output of the sensor.

例えば、図４（ａ）においては、移動経路２ａが容器１０ａの外側に設けられた複数のローラ１１で多層状に折り返された経路となっており、容器１０ａは、この移動経路２ａの折り返しの部分以外の部分を覆う形状を有しており、移動経路２ａの折り返しの部分近傍に、それぞれ、処理対象物２が出し入れするための複数の入口１０１ａと、出口１０１ｂとが設けられている。ローラ１１のサイズ等は問わない。また、図４においては、容器１０ａは、移動経路２ａを複数の領域に区切るように設けられた２つのキャビティ１１０ａおよび１１０ｂを有しており、複数の入口１０１ａおよび出口１０１ｂは、それぞれの各キャビティ１１０ａおよび１１０ｂの処理対象物２が出入りする開口部として設けられている。 For example, in FIG. 4(a), the moving path 2a is a path folded back in multiple layers by a plurality of rollers 11 provided outside the container 10a, and the container 10a is folded back over the moving path 2a. A plurality of entrances 101a and exits 101b for taking in and out the objects to be processed 2 are provided in the vicinity of the folded portion of the moving path 2a. The size and the like of the roller 11 do not matter. Also, in FIG. 4, the container 10a has two cavities 110a and 110b provided so as to divide the movement path 2a into a plurality of regions, and a plurality of inlets 101a and outlets 101b are provided in each cavity. They are provided as openings through which the objects 2 to be processed of 110a and 110b enter and exit.

キャビティ１１０ａ内には、上述したような加熱媒体を表面に有する発熱部材である複数のベルト３２ａが、移動経路２ａを移動する処理対象物２を上下等から挟み込んで接触するよう、ローラ３３に架け渡されている。ベルト３２ａの材質は、例えば、マイクロ波を一部透過可能な材質であるとする。そして、上述した第一照射部２０１が、移動経路２ａのベルト３２ａに挟み込まれた部分に対してマイクロ波を照射するように設けられている。ベルト３２は、例えば、ローラ３３がモータ等によって回転することで、隣接する移動経路２ａの移動方向に移動する。なお、ベルト３２ａとして、全体が、マイクロ波によって発熱するベルトを用いてもよい。例えば、上述したような加熱媒体等を含む材料をベルト３２ａの材料として用いてもよい。ベルト３２ａの素材としては、耐熱性樹脂や、グラファイト繊維等が利用可能である。ベルト３２ａ表面の加熱媒体としてはカーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等が利用可能である。 In the cavity 110a, a plurality of belts 32a, which are heat-generating members having a heating medium as described above on their surfaces, are suspended over rollers 33 so as to sandwich and contact the object 2 moving on the movement path 2a from above and below. passed. Assume that the material of the belt 32a is, for example, a material that partially transmits microwaves. The above-described first irradiation unit 201 is provided so as to irradiate microwaves to a portion sandwiched between the belts 32a of the moving path 2a. The belt 32 moves in the moving direction of the adjacent moving path 2a, for example, when the roller 33 is rotated by a motor or the like. As the belt 32a, a belt whose entirety generates heat by microwaves may be used. For example, a material containing a heating medium or the like as described above may be used as the material of the belt 32a. As a material for the belt 32a, a heat-resistant resin, graphite fiber, or the like can be used. As the heating medium for the surface of the belt 32a, heat generating elements such as carbon, SiC, carbon fiber composite materials, metal silicides such as molybdenum silicide and tungsten silicide, and ceramic materials containing powders of these heat generating elements are used. It is possible.

また、キャビティ１１０ｂ内には、複数のベルト３２ｂが、移動経路２ａを移動する処理対象物２を上下等から挟み込んで接触するよう、ローラ３３に架け渡されている。このベルト３２ｂの材質は、マイクロ波透過性が高い材質である。また、このベルト３２ｂは、表面に、上述したような加熱媒体を有していないものとする。そして、上述した第二照射部２０２が、移動経路２ａのベルト３２ｂに挟み込まれた部分に対してマイクロ波を照射するように設けられている。ベルト３２ｂは、例えば、ローラ３３がモータ等によって回転することで、隣接する移動経路２ａの移動方向に移動する。 Further, in the cavity 110b, a plurality of belts 32b are stretched over the rollers 33 so as to sandwich and contact the processing object 2 moving on the movement path 2a from above and below. The material of the belt 32b is a material having high microwave permeability. It is also assumed that this belt 32b does not have a heating medium as described above on its surface. The above-described second irradiating section 202 is provided so as to irradiate a portion of the moving path 2a sandwiched between the belts 32b with microwaves. The belt 32b moves in the moving direction of the adjacent moving path 2a by, for example, rotating the roller 33 by a motor or the like.

なお、ベルト３２ａおよび３２ｂの、処理対象物２を挟み込んでいる部分は、ローラ３３の近傍部分以外が処理対象物２に接触するよう設けられている。ただし、部分的には接触していない箇所があってもよい。 The portions of the belts 32a and 32b sandwiching the processing object 2 are provided so that the portions other than the portion near the roller 33 come into contact with the processing object 2. As shown in FIG. However, there may be portions that are not in contact with each other.

ベルト３２ａは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、キャビティ１１０ａ内においては、マイクロ波の照射によってベルト３２ａの表面が発熱して、発熱により発生する輻射熱で、ベルト３２近傍の処理対象物を加熱されることで、第一照射部２０１によって上述したような第一のマイクロ波照射が行なわれるとともに、処理対象物２のベルト３２が接触する部分を熱伝導により効率よく加熱することができる。 The belt 32a assists the transportation by coming into contact with the processing object 2, and prevents the processing object 2 from becoming slack during processing, cutting the processing object 2, and uneven heating. do. Further, in the cavity 110a, the surface of the belt 32a is heated by the irradiation of the microwave, and the object to be processed near the belt 32 is heated by the radiant heat generated by the heat generation. While the first microwave irradiation is performed as described above, the portion of the object to be processed 2 in contact with the belt 32 can be efficiently heated by heat conduction.

また、ベルト３２ｂは、ベルト３２ａと同様に、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、キャビティ１１０ｂ内のベルト３２ｂの表面は、マイクロ波の照射によりほとんど発熱せず、ベルト３２ｂを透過したマイクロ波で処理対象物２が直接加熱されることとなるため、第二照射部２０２により上述したような第二のマイクロ波照射を行なうことができる。 Further, like the belt 32a, the belt 32b assists the conveyance of the processing object 2 by coming into contact with it. Prevent uniformity. In addition, the surface of the belt 32b in the cavity 110b hardly generates heat when irradiated with microwaves, and the object to be processed 2 is directly heated by the microwaves transmitted through the belt 32b. A second microwave irradiation can be performed as described above.

なお、ベルト３２ｂを用いる代わりに、ベルト３２ｂを省略して、このベルト３２ｂが省略された部分にマイクロ波を照射することで、第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。 Instead of using the belt 32b, the belt 32b may be omitted, and the second microwave irradiation may be performed by irradiating the portion where the belt 32b is omitted with the microwave.

また、ここでは、容器１０が二つのキャビティ１１０ａおよび１１０ｂを有している場合について説明したが、容器１０が有するキャビティ数は、１または２以上であればよく、その数は問わない。また、各キャビティのサイズ等は問わない。また、第一照射部２０１によりマイクロ波を照射するキャビティと、第二照射部２０２によりマイクロ波を照射するキャビティとの数や、その移動経路２ａに沿った配置順序等は問わない。また、容器１０が有する複数のキャビティ同士は、接続されて配置されていてもよく、分離して配置されていてもよい。例えば、同じ処理対象物２に対して上記のような処理を行なうために接続して配置された複数のキャビティや、分離して配置された複数のキャビティを、一の容器１０と考えてもよい。また、一のキャビティから外部に移動した処理対象物２を、再度、同じキャビティ内に戻すようにしてもよい。なお、容器１０が、２以上のキャビティを有していても良いことは、図４（ａ）に示したマイクロ波処理装置以外のマイクロ波処理装置についても同様である。 Moreover, although the case where the container 10 has two cavities 110a and 110b has been described here, the number of cavities that the container 10 has may be 1 or 2 or more, and the number does not matter. Moreover, the size of each cavity is not limited. Further, the number of cavities irradiated with microwaves by the first irradiation unit 201 and the cavities irradiated with microwaves by the second irradiation unit 202, the order of arrangement along the movement path 2a, and the like are not limited. Moreover, the plurality of cavities of the container 10 may be arranged to be connected to each other, or may be arranged to be separated from each other. For example, a plurality of cavities that are connected and arranged to perform the above processing on the same processing object 2, and a plurality of cavities that are separated and arranged may be considered as one container 10. . Moreover, the processing object 2 that has moved out of one cavity may be returned into the same cavity again. Note that the fact that the container 10 may have two or more cavities is the same for microwave processing apparatuses other than the microwave processing apparatus shown in FIG. 4(a).

また、図４（ａ）に示したマイクロ波処理装置１において、容器１０として、複数のキャビティに区切られていない容器を用いるようにし、この容器１０内において、上記のような１以上のベルト３２ａおよび３２ｂを設け、ベルト３２ａに１以上の第一照射部２０１から第一のマイクロ波照射を行ない、ベルト３２ｂに１以上の第二照射部２０２から第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。 Further, in the microwave processing apparatus 1 shown in FIG. 4A, a container that is not divided into a plurality of cavities is used as the container 10, and one or more belts 32a as described above are used in the container 10. and 32b, the belt 32a is subjected to first microwave irradiation from one or more first irradiation units 201, and the belt 32b is subjected to second microwave irradiation from one or more second irradiation units 202. good.

なお、ここでの容器１０ａの形状や、移動経路２ａは一例であり、容器１０の形状や、処理対象物２の移動経路は、どのような形状や移動経路であってもよい。 It should be noted that the shape of the container 10a and the movement route 2a here are examples, and the shape of the container 10 and the movement route of the object to be processed 2 may be any shape or movement route.

また、例えば、図４（ｂ）に示すように、表面に加熱媒体を有する複数のローラ３１ａを、移動経路２ａを移動する処理対象物２と表面が接するよう配置し、表面に加熱部材を有さず、マイクロ波をほとんど吸収しない複数のローラ３１ｂを、この複数のローラ３１ａが設けられている領域とは異なる領域において、移動経路２ａを移動する処理対象物２と表面が接するよう配置し、移動経路２ａのローラ３１ａが設けられている領域にマイクロ波を照射する第一照射部２０１を設け、移動経路２ａのローラ３１ｂが設けられている領域にマイクロ波を照射する第二照射部２０２を設け、第一照射部２０１および第二照射部２０２からマイクロ波を照射するようにしてもよい。なお、ローラ３１ａとして、全体が、マイクロ波によって発熱するローラを用いてもよい。例えば、上述したような加熱媒体等を含む材料をローラ３１ａの材料として用いてもよい。ローラ３１ａの素材としては、耐熱性樹脂や、セラミックス、ガラス、グラファイト等が利用可能である。ベルト３２ａ表面の加熱媒体としてはカーボン、ＳｉＣ、炭素繊維複合材料、珪素化モリブデン、珪素化タングステン等の金属珪素化物等の発熱体や、これらの発熱体の粉末等を含有するセラミック材料等が利用可能である。 Further, for example, as shown in FIG. 4B, a plurality of rollers 31a having a heating medium on their surfaces are arranged so that their surfaces are in contact with the object 2 moving on the movement path 2a, and heating members are provided on their surfaces. a plurality of rollers 31b that hardly absorb microwaves are arranged in a region different from the region where the plurality of rollers 31a are provided so that the surface of the object 2 moves in the movement path 2a and is in contact with the surface, A first irradiating unit 201 for irradiating microwaves is provided on the area where the rollers 31a of the moving path 2a are provided, and a second irradiating unit 202 for irradiating microwaves on the area where the rollers 31b are provided on the moving path 2a. may be provided, and microwaves may be emitted from the first irradiation section 201 and the second irradiation section 202 . As the roller 31a, a roller whose entirety is heated by microwaves may be used. For example, a material containing a heating medium or the like as described above may be used as the material of the roller 31a. Heat-resistant resin, ceramics, glass, graphite, or the like can be used as the material of the roller 31a. As the heating medium for the surface of the belt 32a, heat generating elements such as carbon, SiC, carbon fiber composite materials, metal silicides such as molybdenum silicide and tungsten silicide, and ceramic materials containing powders of these heat generating elements are used. It is possible.

例えば、図４（ｂ）においては、移動経路２ａが容器１０ａの外側に設けられた複数のローラ１１により多層状に折り返された経路となっており、容器１０ａは、この移動経路２ａの折り返しの部分以外の部分を覆う形状を有しており、移動経路２ａの折り返しの部分近傍に、それぞれ、処理対象物２が出し入れするための複数の入口１０１ａと、出口１０１ｂとが設けられている。ローラ１１のサイズ等は問わない。 For example, in FIG. 4(b), the moving path 2a is a path folded back in multiple layers by a plurality of rollers 11 provided outside the container 10a, and the container 10a is folded back of the moving path 2a. A plurality of entrances 101a and exits 101b for taking in and out the objects to be processed 2 are provided in the vicinity of the folded portion of the moving path 2a. The size and the like of the roller 11 do not matter.

複数のローラ３１ａは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、複数のローラ３１ａは、上述した加熱部材として用いられることとなり、マイクロ波照射によって表面が発熱して、発熱により発生する輻射熱で、ローラ３１近傍の処理対象物を加熱するとともに、処理対象物２のローラ３１が接触する部分を熱伝導により効率よく加熱することができる。これにより、第一照射部２０１が行なうマイクロ波照射が第一のマイクロ波照射となる。 The plurality of rollers 31a assist the conveyance by contacting the object 2 to be processed, so that the object 2 to be processed may be slackened during processing, and the object 2 to be processed may be cut or heated unevenly. to prevent In addition, the plurality of rollers 31a are used as the above-described heating member, and the surface of the rollers 31a is heated by microwave irradiation, and the radiant heat generated by the heat generation heats the object to be processed near the rollers 31, and the object to be processed The portion with which the second roller 31 contacts can be efficiently heated by heat conduction. Thereby, the microwave irradiation performed by the first irradiation unit 201 becomes the first microwave irradiation.

複数のローラ３１ｂは、処理対象物２に接することによって搬送を補助して、処理対象物２に処理中にたるみが生じて、処理対象物２が切れたり、加熱が不均一になったりすることを防止する。また、複数のローラ３１ｂは、マイクロ波照射によってほとんど発熱せず、ローラ３１ｂを透過したマイクロ波で処理対象物２が直接加熱されることとなるため、第二照射部２０２により、上述したような第二のマイクロ波照射を行なうことができる。 The plurality of rollers 31b assists the transportation by contacting the object 2 to be processed, so that the object 2 to be processed may be slackened during processing, and the object 2 to be processed may be cut or heated unevenly. to prevent In addition, the plurality of rollers 31b hardly generate heat by microwave irradiation, and the object 2 is directly heated by the microwaves transmitted through the rollers 31b. A second microwave irradiation can be performed.

このローラ３１ａおよびローラ３１ｂは、モータ（図示せず）等と接続されて自転するものであってもよく、自転しないものであっても良い。また、ローラ３１ａおよびローラ３１ｂの数は、１以上であればよい。 The rollers 31a and 31b may be connected to a motor (not shown) or the like to rotate, or may not rotate. Moreover, the number of rollers 31a and rollers 31b may be one or more.

なお、ローラ３１ｂを用いる代わりに、ローラ３１ｂを省略して、このローラ３１ｂが省略された部分にマイクロ波を照射することで、第二のマイクロ波照射を行なうようにしても良い。
また、ローラ３１ａとローラ３１ｂとの配置や配列順番等は、上記以外の配置や配列順番であってもよい。また、ローラ３１ａとローラ３１ｂとの数は問わない。 Instead of using the roller 31b, the roller 31b may be omitted, and the second microwave irradiation may be performed by irradiating the portion where the roller 31b is omitted with the microwave.
Further, the arrangement and arrangement order of the rollers 31a and the rollers 31b may be other arrangements and arrangement orders than those described above. Moreover, the number of the rollers 31a and the rollers 31b does not matter.

また、図４（ｂ）に示したような容器１０ｂの代わりに、図４（ａ）に示したような複数のキャビティを有する容器を用いるようにしてもよい。そして、例えば、キャビティ毎に、第一照射部２０１または、第二照射部２０２を取付け、第一照射部２０１が取付けられたキャビティ内にはローラ３１ａを配置し、第二照射部２０２が取付けられたキャビティ内にはローラ３１ｂを配置するようにしてもよい。 Also, instead of the container 10b as shown in FIG. 4(b), a container having a plurality of cavities as shown in FIG. 4(a) may be used. Then, for example, the first irradiation unit 201 or the second irradiation unit 202 is attached to each cavity, the roller 31a is arranged in the cavity to which the first irradiation unit 201 is attached, and the second irradiation unit 202 is attached. A roller 31b may be arranged in the cavity.

（実施の形態２）
図５は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図（図５（ａ））、同マイクロ波処理装置の発熱部材の図５（ａ）の点Ａを通る長手方向に垂直な断面模式図（図５（ｂ））、および同マイクロ波処理装置の発熱部材の点Ｂを通る長手方向に垂直な断面模式図（図５（ｃ））である。本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａは、マイクロ波照射手段２１が異なる位置から出力する複数のマイクロ波の位相を制御することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたものである。 (Embodiment 2)
FIG. 5 is a cross-sectional view (FIG. 5(a)) parallel to the moving direction of the object to be processed, and FIG. a) A schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through point A (FIG. 5B), and a schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through point B of the heat generating member of the microwave processing apparatus (FIG. 5C )). The microwave processing apparatus 1a of the present embodiment controls the phases of a plurality of microwaves output from different positions by the microwave irradiation means 21, thereby performing the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. It is designed to perform

マイクロ波処理装置１ａは、容器１０ｃと、マイクロ波照射手段２１と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５１と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing apparatus 1 a includes a container 10 c , microwave irradiation means 21 , heat generating member 30 , one or more sensors 40 , control means 51 and transport means 60 .

容器１０ｃは、マイクロ波照射手段２１が有する後述する２以上の照射部２０３が取付けられることを除けば、上記実施の形態において図１に示した容器１０と同様のものである。また、容器１０ｃとしては、上記実施の形態において説明したような容器が利用可能であり、例えば、複数のキャビティを有する容器等も利用可能である。 The container 10c is the same as the container 10 shown in FIG. 1 in the above embodiment except that two or more irradiation units 203 of the microwave irradiation means 21 are attached. Moreover, as the container 10c, the container described in the above embodiment can be used, and for example, a container having a plurality of cavities can also be used.

容器１０ｃ内には、一本の筒形状の発熱部材３０が処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられている場合について説明する。ただし、発熱部材３０は複数であってもよい。なお、発熱部材３０としては、上記実施の形態において説明した発熱部材３０と同様のものが利用可能である。 A case in which a single cylindrical heat-generating member 30 is provided in the container 10c along the moving path 2a of the object 2 to be processed will be described. However, a plurality of heat generating members 30 may be provided. As the heat-generating member 30, the same heat-generating member 30 as described in the above embodiment can be used.

マイクロ波照射手段２１は、異なる位置からマイクロ波を照射する２以上の照射部２０３を備えている。マイクロ波照射手段２１は、例えば、容器１０ｃの壁面の異なる位置に設けられた開口部１０２に取付けられて、容器１０ｃ内にマイクロ波を照射する２以上の照射部２０３を備えている。２以上の照射部２０３のうちの少なくとも一部は、照射するマイクロ波の位相を制御可能な照射部２０３である。位相を制御可能な照射部２０３は、例えば、上記実施の形態において説明したマイクロ波発振器２００１と、伝送部２００２とを備えた照射部２０３において、さらに、位相を制御可能な移相器（図示せず）を備えたものである。位相を制御可能な照射部２０３が有するマイクロ波発振器２００１としては、半導体型発振器を用いることが好ましい。位相を制御しない照射部２０３については、上記実施の形態の第一照射部２０１や第二照射部２０２と同様の照射部が利用可能である。ただし、照射するマイクロ波の位相を制御可能な照射部２０３は、位相が制御可能であれば、どのような構成であってもよい。ここでの位相の制御は、位相を特定の位相に設定することも含むと考えてもよい。 The microwave irradiating means 21 includes two or more irradiating units 203 that irradiate microwaves from different positions. The microwave irradiation means 21 includes, for example, two or more irradiation units 203 attached to openings 102 provided at different positions on the wall surface of the container 10c to irradiate microwaves into the container 10c. At least some of the two or more irradiating units 203 are irradiating units 203 capable of controlling the phase of the microwaves to be irradiated. The phase-controllable irradiation unit 203 includes, for example, a phase-controllable phase shifter (not shown) in the irradiation unit 203 including the microwave oscillator 2001 described in the above embodiment and the transmission unit 2002 ). A semiconductor oscillator is preferably used as the microwave oscillator 2001 included in the phase-controllable irradiation unit 203 . As for the irradiation unit 203 that does not control the phase, the same irradiation unit as the first irradiation unit 201 and the second irradiation unit 202 in the above embodiment can be used. However, the irradiation unit 203 capable of controlling the phase of the microwave to be irradiated may have any configuration as long as the phase can be controlled. Controlling the phase here may also be considered to include setting the phase to a specific phase.

本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａは、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波が発熱部材３０において強めあう第一のマイクロ波照射と、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波が処理対象物２において強めあう第二のマイクロ波照射とを行なうものである。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、後述する制御手段５１等によって、個々の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なう。マイクロ波が強めあう、ということは、例えば、マイクロ波の強度が強めあうことである。例えば、マイクロ波が強めあう、ということは、マイクロ波の電界強度が強めあうことであってもよく、磁界強度が強めあうことであっても良く、その両方であってもよい。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、制御手段５１等を用いて、２以上の照射部が照射するマイクロ波の位相を制御して、それぞれから照射されるマイクロ波の位相が所望の位置で干渉により強めあうようにする。例えば、マイクロ波処理装置１ａは、制御手段５１等を用いて、２以上の照射部が照射するマイクロ波の位相を制御して、それぞれから照射されるマイクロ波の位相が所望の位置で同位相となるようにすることで、マイクロ波を強めあうようにする。マイクロ波を所望の位置で強めあうようにすることは、マイクロ波を所望の位置で集中させることと考えてもよい。また、マイクロ波処理装置１ａは、所望の位置で干渉により強めあわないにすることで、マイクロ波を強めないようにする。また、マイクロ波処理装置１ａは、所望の位置で同位相とならない、例えば、逆移相となるようにすることで、マイクロ波を強めないようにする。複数の位置から照射されるマイクロ波が所望の位置において強めあうようにするためには、照射部２０３が照射するマイクロ波がいずれも同じ周波数とした場合、例えば、所望の位置と、マイクロ波を照射するそれぞれの位置との距離を、マイクロ波の波長で除算し、その余りをマイクロ波の波長で除算して２πを乗算した値だけ基準となる位相に対して進めるように設定してもよい。ただし、どのように、所望の箇所で同位相となるようマイクロ波の位相を制御するかは問わない。なお、マイクロ波の位相を制御してマイクロ波の強度を所望の位置で高める処理等については、例えば、特開２０１７－２１２２３７号公報等により公知であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 In the microwave processing apparatus 1a of the present embodiment, the phases of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 are controlled so that the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 strengthen each other in the heat generating member 30. and a second microwave irradiation in which the microwaves irradiated by two or more irradiation units 203 reinforce each other on the object 2 to be processed. For example, the microwave processing apparatus 1a controls the phase of the microwaves irradiated by the individual irradiation units 203 using the control means 51 or the like, which will be described later, so that the first microwave irradiation and the second microwave irradiation do The fact that microwaves reinforce each other means, for example, that the intensity of microwaves reinforces each other. For example, the fact that microwaves reinforce each other may mean that the electric field strengths of the microwaves reinforce each other, that the magnetic field strengths reinforce each other, or both. For example, the microwave processing apparatus 1a uses the control means 51 or the like to control the phases of microwaves irradiated by two or more irradiation units, so that the phases of the microwaves irradiated from each are controlled by interference at desired positions. Try to strengthen each other. For example, the microwave processing apparatus 1a uses the control means 51 or the like to control the phases of the microwaves irradiated by two or more irradiation units so that the phases of the microwaves irradiated from each are the same at desired positions. By making it so that the microwaves reinforce each other. Concentrating the microwaves at the desired position may be considered as concentrating the microwaves at the desired position. Further, the microwave processing device 1a prevents the microwaves from being strengthened by interference at a desired position. Further, the microwave processing device 1a prevents the microwaves from being intensified by preventing the same phase at a desired position, for example, the opposite phase. In order for the microwaves irradiated from a plurality of positions to reinforce each other at the desired position, if all the microwaves irradiated by the irradiation unit 203 have the same frequency, for example, the desired position and the microwave The distance from each position to be irradiated may be divided by the wavelength of the microwave, and the remainder may be divided by the wavelength of the microwave and multiplied by 2π to advance the reference phase. . However, it does not matter how the phases of the microwaves are controlled so that they are in phase at desired locations. Note that the process of controlling the phase of the microwave to increase the intensity of the microwave at a desired position is known from, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-212237, and detailed description thereof will be omitted here.

２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して行なわれる第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあわず、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分において、マイクロ波が強めあうように位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することである。処理対象物２の所望の位置の周囲の１以上の部分とは、処理対象物２の伸びる方向または処理対象物２の移動方向に対して垂直方向に位置する１以上の部分である。処理対象物２の所望の位置は、例えば、処理対象物２の移動経路２ａ上の所望の位置である。かかることは以下においても同様である。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置におけるマイクロ波の強度よりも、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分におけるマイクロ波の強度が高くなるよう、位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することであってもよい。所望の位置の周囲の１以上の部分とは、例えば、発熱部材３０の、処理対象物２の移動経路２ａ上の所望の位置において、移動経路２ａの進行方向に垂直に交わる仮想面と交わる部分の１以上の部分である。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射し、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の、上記の複数の位置とは異なる複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射するとともに、発熱部材３０において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力を、処理対象物２において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力よりも高くすることであってもよい。 The first microwave irradiation performed by controlling the phase of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 is, for example, the microwaves do not reinforce each other at a desired position of the processing object 2, and the heat generating member 30, Microwaves whose phases are controlled so that the microwaves are constructive in one or more portions around the desired position are irradiated from a plurality of positions in the container 10c. The one or more portions around the desired position of the processing object 2 are one or more portions positioned perpendicular to the direction in which the processing object 2 extends or the direction in which the processing object 2 moves. The desired position of the processing object 2 is, for example, a desired position on the movement path 2a of the processing object 2. FIG. This also applies to the following. In addition, the first microwave irradiation here is, for example, the intensity of the microwave at one or more portions around the desired position of the heat generating member 30 rather than the intensity of the microwave at the desired position of the processing object 2. Phase-controlled microwaves may be radiated from a plurality of positions in the container 10c so that the intensity of .alpha. The at least one portion around the desired position is, for example, a portion of the heat-generating member 30 that intersects a virtual plane perpendicular to the traveling direction of the movement path 2a at the desired position on the movement path 2a of the object 2 to be processed. is one or more portions of Further, the first microwave irradiation here is, for example, irradiating microwaves whose phases are controlled from a plurality of positions in the container 10c so that the microwaves strengthen each other at a desired position of the processing object 2, and heat is generated. Phase-controlled microwaves are radiated from a plurality of positions different from the above-described plurality of positions in the container 10c so that the microwaves reinforce each other in one or more portions around the desired position of the member 30. , the output of the microwaves output from the heating member 30 with phases controlled to be constructive is made higher than the output of the microwaves output from the processing object 2 with phases controlled to be constructive; good too.

また、２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御して行なわれる第二のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあい、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲において、マイクロ波が強め合わないように位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することである。また、ここでの第一のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置におけるマイクロ波の強度が、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分におけるマイクロ波の強度よりも高くなるよう、位相を制御したマイクロ波を、容器１０ｃ内の複数の位置から照射することであってもよい。また、ここでの第二のマイクロ波照射は、例えば、処理対象物２の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射し、発熱部材３０の、この所望の位置の周囲の１以上の部分においてマイクロ波が強めあうよう、容器１０ｃ内の、上記の複数の位置とは異なる複数の位置から位相を制御したマイクロ波を照射するとともに、発熱部材３０において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力よりも、処理対象物２において強めあうよう位相を制御して出力されるマイクロ波の出力を高くすることであってもよい。 Further, the second microwave irradiation performed by controlling the phase of the microwaves irradiated by two or more irradiation units 203 is, for example, the microwaves reinforced at a desired position of the processing object 2, and the heat generating member 30 , the phases of the microwaves are controlled so that the microwaves do not constructively radiate from a plurality of positions in the container 10c around the desired position. Further, the first microwave irradiation here is, for example, the intensity of the microwave at the desired position of the processing object 2 is the intensity of the microwave at one or more portions around the desired position of the heat generating member 30. Microwaves whose phases are controlled to be higher than the intensity may be irradiated from a plurality of positions within the container 10c. Further, the second microwave irradiation here is, for example, irradiating microwaves whose phases are controlled from a plurality of positions in the container 10c so that the microwaves strengthen each other at a desired position of the processing object 2, and heat is generated. Phase-controlled microwaves are radiated from a plurality of positions different from the above-described plurality of positions in the container 10c so that the microwaves reinforce each other in one or more portions around the desired position of the member 30. , the output of the microwaves output by controlling the phases constructively at the object 2 to be processed is higher than the output of the microwaves output by controlling the phases constructively at the heat generating member 30; good too.

なお、ここでの第一のマイクロ波照射を行なってマイクロ波を強め合わせる位置と強め合わせる箇所数や、第二のマイクロ波照射を行なってマイクロ波を強め合わせる位置と、強め合わせる箇所数等は問わない。これらの位置や箇所数は、処理対象物２等に応じて行なわれる実験結果やシミュレーション結果等に応じて適宜設定するようにしてもよい。 Here, the position and the number of locations where the microwaves are intensified by performing the first microwave irradiation, the position and the number of locations where the microwaves are intensified by performing the second microwave irradiation, etc. I don't mind. These positions and the number of locations may be appropriately set according to the results of experiments or simulations performed according to the object to be processed 2 or the like.

また、第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３と、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３とは、同じ照射部２０３であってもよく、異なる照射部２０３であってもよく、一部だけが同じである照射部２０３であってもよい。第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波と、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が照射するマイクロ波とは、同じ周波数であってもよく、異なる周波数であってもよい。 Further, the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation and the two or more irradiation units 203 that perform the second microwave irradiation may be the same irradiation unit 203, or may be different irradiation units 203. There may be, or the irradiation unit 203 may be partially the same. The microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation and the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 that perform the second microwave irradiation may have the same frequency. , may be different frequencies.

１または２以上のセンサ４０は、例えば、上記実施の形態のセンサと同様のものである。各センサ４０は、例えば、容器１０ｃ内の、第一のマイクロ波照射が行なわれる場所の近傍や、第二のマイクロ波照射が行なわれる場所の近傍に設置される。 One or more sensors 40 are, for example, similar to the sensors of the above embodiments. Each sensor 40 is installed, for example, in the vicinity of the location where the first microwave irradiation is performed, or the vicinity of the location where the second microwave irradiation is performed, in the container 10c.

搬送手段６０については、上記実施の形態と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 Since the conveying means 60 is the same as in the above-described embodiment, detailed description thereof is omitted here.

制御手段５１は、マイクロ波照射手段２１が複数の位置から照射するマイクロ波の位相をそれぞれ制御する。複数の位置から照射するマイクロ波の位相を制御する、ということは、基準になる１以上のマイクロ波の位相は制御せず、他のマイクロ波の位相を制御することも含む概念と考えてもよい。制御手段５１は、上記のように、処理対象物２の移動経路２ａ上の１または２以上の所望の位置において第一のマイクロ波照射が行なわれ、処理対象物２の移動経路２ａ上の、第一のマイクロ波照射が行なわれる位置を除いた１または２以上の所望の位置において第二のマイクロ波照射が行なわれるよう、マイクロ波照射手段２１が照射するマイクロ波の位相を制御する。例えば、このような第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とが行なわれるよう複数の照射部２０３がそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御する。また、制御手段５１は、マイクロ波照射手段２１が複数の位置から照射するマイクロ波の出力を個別に制御してもよい。例えば、制御手段５１は、各照射部２０３が照射するマイクロ波の出力を個別に制御してもよい。例えば、制御手段５１は、所望の位置に第一のマイクロ波照射を行なう照射部２０３の出力を、この所望の位置近傍に配置されたセンサ４０が出力する温度の情報等に応じてフィードバック制御する。また、例えば、制御手段５１は、所望の位置に第二のマイクロ波照射を行なう照射部２０３の出力を、この所望の位置近傍に配置されたセンサ４０が出力する温度の情報等に応じてフィードバック制御する。ただし、フィードバック制御以外の制御を行なっても良い。 The control means 51 controls the phases of the microwaves that the microwave irradiation means 21 irradiates from a plurality of positions. Controlling the phases of microwaves irradiated from multiple positions does not control the phases of one or more reference microwaves, but can be considered a concept that includes controlling the phases of other microwaves. good. As described above, the control means 51 performs the first microwave irradiation at one or more desired positions on the movement route 2a of the processing object 2, The phase of the microwave irradiated by the microwave irradiation means 21 is controlled so that the second microwave irradiation is performed at one or more desired positions other than the position where the first microwave irradiation is performed. For example, the phases of the microwaves irradiated by the plurality of irradiation units 203 are controlled so that the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed. Further, the control means 51 may individually control the output of microwaves irradiated from a plurality of positions by the microwave irradiation means 21 . For example, the control means 51 may individually control the output of the microwaves emitted by the irradiation units 203 . For example, the control means 51 feedback-controls the output of the irradiating unit 203 that irradiates the first microwave at a desired position according to the temperature information output from the sensor 40 arranged near the desired position. . Further, for example, the control means 51 feeds back the output of the irradiation unit 203 that performs the second microwave irradiation at a desired position according to the temperature information etc. output by the sensor 40 arranged near the desired position. Control. However, control other than feedback control may be performed.

なお、１または２以上の所望の位置においてマイクロ波が強めあうよう、各照射部２０３の位相を一旦設定した後、変更が不要である場合や、各照射部２０３の位相の設定を手動で行なう場合等においては、制御手段５１により照射部２０３が照射する位相を制御しないにしてもよく、位相を制御するための制御手段は設けないようにしてよい。 In addition, once the phase of each irradiation unit 203 is set so that the microwaves are intensified at one or more desired positions, the phase of each irradiation unit 203 is set manually if no change is required. In some cases, the phase of irradiation by the irradiation unit 203 may not be controlled by the control means 51, and no control means for controlling the phase may be provided.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１ａの動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１ａを用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図５（ａ）に示したマイクロ波処理装置１ａを用いて説明を行なう。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1a of this embodiment will be described with a specific example. Here, a case where the PAN-based precursor fiber, which is the object 2 to be treated, is subjected to a flameproofing treatment using the microwave treatment apparatus 1a will be described as an example. In order to simplify the explanation, the microwave processing apparatus 1a shown in FIG. 5(a) will be used here.

ここでは、処理対象物２が搬送手段６０によって移動経路２ａに沿って移動しているものとし、図５に示す処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａに対して、第一のマイクロ波照射が行なわれ、地点Ｂに対して、第二のマイクロ波照射が行なわれているとする。具体的には、制御手段５１は複数の照射部２０３を制御して、複数の照射部２０３に、処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａにおいてマイクロ波が強めあわず、地点Ａの周囲の発熱部材３０の１以上の部分において、マイクロ波が強めあうように位相を制御したマイクロ波を照射させる。ここでは、例えば、複数の照射部２０３のうちの、入口１０１ａ側に取付けられた半数から、地点Ａにおいて強め合うようマイクロ波が照射させていたとする。つまり、複数の照射部２０３のうちの、入口１０１ａ側に取付けられた半数によって、第一のマイクロ波照射が行なわれていたとする。また、制御手段５１は複数の照射部２０３を制御して、複数の照射部２０３に、処理対象物２の移動経路２ａ上の地点Ａにおいてマイクロ波が強めあい、地点Ａの周囲の発熱部材３０の１以上の部分において、マイクロ波が強めあわないように位相を制御したマイクロ波を照射させる。ここでは、例えば、複数の照射部２０３のうちの、出口１０１ｂ側に取付けられた半数から、地点Ｂにおいて強め合うようマイクロ波が照射させていたとする。つまり、複数の照射部２０３のうちの、出口１０１ｂ側に取付けられた半数によって、第二のマイクロ波照射が行なわれていたとする。なお、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射は、上記の地点Ａおよび地点Ｂ以外の部分においても行なわれているようにしてもよい。 Here, it is assumed that the processing object 2 is moving along the movement route 2a by the transport means 60, and the first microwave Assume that irradiation is performed and point B is being subjected to a second microwave irradiation. Specifically, the control means 51 controls the plurality of irradiation units 203 so that the microwaves do not intensify at point A on the movement path 2a of the object 2 to be processed, and the surroundings of point A At one or more portions of the heat generating member 30, the microwaves are irradiated with phase-controlled microwaves so that the microwaves reinforce each other. Here, for example, it is assumed that half of the plurality of irradiation units 203 attached to the entrance 101a side irradiate microwaves at point A so as to strengthen each other. In other words, it is assumed that half of the plurality of irradiation units 203 attached to the entrance 101a side are performing the first microwave irradiation. Further, the control means 51 controls the plurality of irradiating units 203 so that the plurality of irradiating units 203 generate microwaves at a point A on the movement path 2a of the object to be processed 2, and the heat-generating member 30 around the point A is irradiated with microwaves whose phases are controlled so that the microwaves do not build up each other. Here, for example, it is assumed that half of the plurality of irradiation units 203 attached to the exit 101b side irradiate microwaves at the point B so as to strengthen each other. In other words, it is assumed that the second microwave irradiation is performed by half of the plurality of irradiation units 203 attached to the outlet 101b side. Note that the first microwave irradiation and the second microwave irradiation may be performed also at portions other than the points A and B described above.

第一のマイクロ波照射を行なっていることにより、地点Ａにおいては、図５（ｂ）に示すように、発熱部材３０の複数の地点（ここでは、一例として四点）において、マイクロ波が強めあう箇所３５が発生する。そして、この箇所３５で強めあうマイクロ波によって、発熱部材３０が発熱し、発熱部材３０の輻射熱によって、処理対象物２が外側から加熱される。なお、地点Ａにおいて、処理対象物２も、複数の照射部２０３から照射される複数のマイクロ波が完全に打ち消し合って「０」とならない限りは、マイクロ波によって直接加熱される。ただし、複数のマイクロ波が強めあう箇所ではないため、発熱量は小さい。 By performing the first microwave irradiation, at point A, as shown in FIG. A meeting point 35 is generated. The heating member 30 generates heat due to the microwaves that strengthen each other at this point 35 , and the object 2 is heated from the outside by the radiant heat of the heating member 30 . At the point A, the processing object 2 is also directly heated by the microwaves unless the microwaves emitted from the plurality of irradiation units 203 completely cancel each other out and become "0". However, since it is not a place where multiple microwaves strengthen each other, the amount of heat generated is small.

また、第二のマイクロ波照射を行なっていることにより、地点Ｂにおいては、図５（ｃ）に示すように、処理対象物２においてマイクロ波が強めあう箇所３５が発生する。そして、この箇所３５で強めあうマイクロ波によって、処理対象物２が直接加熱される。なお、地点Ｂの周りの発熱部材３０においても、複数の照射部２０３から照射される複数のマイクロ波が完全に打ち消し合って「０」とならない限りは、マイクロ波によって発熱し、この発熱によって、処理対象物２は外側からも加熱される。ただし、複数のマイクロ波が強めあう箇所ではないため、発熱量は小さい。 Further, since the second microwave irradiation is performed, at the point B, as shown in FIG. The object 2 is then directly heated by microwaves that are constructive at this point 35 . Also, in the heat-generating member 30 around the point B, heat is generated by the microwave unless the plurality of microwaves emitted from the plurality of irradiation units 203 completely cancel each other out and become "0". The object 2 to be processed is also heated from the outside. However, since it is not a place where multiple microwaves strengthen each other, the amount of heat generated is small.

地点Ａ近傍に配置されたセンサ４０が取得する温度によって、制御手段５１が、第一のマイクロ波照射を地点Ａに対して行なう複数の照射部２０３の出力をフィードバック制御することで、地点Ａの周囲の発熱部材３０において強めあうマイクロ波の出力を増減して、地点Ａにおいて、処理対象物２に対して所望の温度による加熱を行なうことができる。また、地点Ｂ近傍に配置されたセンサ４０が取得する温度によって、制御手段５１が、第一のマイクロ波照射を地点Ｂに対して行なう複数の照射部２０３の出力をフィードバック制御することで、処理対象物２の地点Ｂにおいて強めあうマイクロ波の出力を増減して、地点Ｂにおいて、処理対象物２に対して所望の温度による加熱を行なうことができる。 By the temperature acquired by the sensor 40 arranged near the point A, the control means 51 feedback-controls the output of the plurality of irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation to the point A, so that the point A By increasing or decreasing the output of the microwaves that are reinforced in the surrounding heat-generating member 30, the object 2 can be heated at the point A to a desired temperature. Further, the control means 51 feedback-controls the output of the plurality of irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation to the point B according to the temperature acquired by the sensor 40 arranged near the point B, so that the processing By increasing or decreasing the microwave output that is constructive at the point B of the object 2, the object 2 can be heated at the point B to a desired temperature.

例えば、上記実施の形態において説明したように、処理対象物２の発熱のピークとなる位置やその近傍において、上記の地点Ａと同様に、周囲の発熱部材３０においてマイクロ波が強めあい、処理対象物２において強めあわないように位相を制御して第一のマイクロ波照射を行なうことで、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、他の位置においては、例えば、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうようマイクロ波を照射することで、処理対象物２を主としてマイクロ波による直接加熱によって効率良く加熱することができ、処理速度を向上させることができる。また、他の位置においては、例えば、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうようにしたり、発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうようにしたりすることで、移動する処理対象物２に対し、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを適切に切替えて行なって、処理対象物２に対して均等な加熱や、所望の加熱を行なうことができる。 For example, as described in the above embodiment, at the position where the heat generation of the object to be processed 2 peaks or in the vicinity thereof, similar to the above point A, the microwaves reinforce each other in the surrounding heat generating member 30, and the object to be processed By performing the first microwave irradiation while controlling the phase so that the object 2 does not reinforce each other, sudden heating when the object 2 reaches the heat generation peak is avoided, and the object 2 is properly heated. can be processed. Further, at another position, for example, by irradiating the object 2 with microwaves so that the microwaves reinforce each other, the object 2 can be efficiently heated mainly by direct heating by microwaves, and the treatment can be performed. Speed can be improved. At another position, for example, the microwaves are reinforced at the object 2 to be processed, or the microwaves are reinforced at the heating member 30, so that the moving object 2 is subjected to the first By appropriately switching between the first microwave irradiation and the second microwave irradiation, uniform heating or desired heating can be performed on the object 2 to be processed.

なお、この具体例における複数の照射部２０３の配置は一例であり、複数の照射部２０３の配置や数等は問わない。
また、容器１０ｃ内の処理対象物２の移動経路２ａに対する、地点Ａのような発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうような地点や、地点Ｂのような処理対象物２においてマイクロ波が強めあうような地点や、地点Ｃのような発熱部材３０と処理対象物２との両方でマイクロ波が強めあうような地点のそれぞれの設定数や、それぞれの配置は問わない。マイクロ波処理装置１ａにおいては、例えば、移動経路２ａに対して、発熱部材３０においてマイクロ波が強めあうような地点と、処理対象物２においてマイクロ波が強めあうような地点とが、それぞれ少なくとも１以上、移動経路２ａに対して設定されればよい。 Note that the arrangement of the plurality of irradiation units 203 in this specific example is an example, and the arrangement and number of the plurality of irradiation units 203 do not matter.
In addition, with respect to the movement path 2a of the object 2 to be processed in the container 10c, the microwaves are reinforced at a point such as a point A where the microwaves are reinforced at the heat generating member 30, and at a point 2 such as the point B where the microwaves are reinforced. , and points such as the point C where the microwaves are strengthened by both the heating member 30 and the object 2 to be processed, and the number and arrangement of the points are not limited. In the microwave processing apparatus 1a, for example, there are at least one point on the heat-generating member 30 and one point on the object to be processed 2 at which the microwaves reinforce each other with respect to the moving path 2a. As described above, the setting may be made for the moving route 2a.

以上、本実施の形態によれば、マイクロ波照射手段２１が異なる位置から照射する複数のマイクロ波の位相を制御して、２以上のマイクロ波が発熱部材３０において強めあう第一のマイクロ波照射と、２以上のマイクロ波が処理対象物２において強めあう第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたことにより、マイクロ波を用いて処理対象物２を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を直接加熱との組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, according to the present embodiment, the phases of a plurality of microwaves irradiated from different positions by the microwave irradiation means 21 are controlled, and the first microwave irradiation in which two or more microwaves reinforce each other in the heat generating member 30 and the second microwave irradiation in which two or more microwaves reinforce each other on the object 2 to be treated, the object 2 to be treated can be appropriately treated using microwaves. For example, appropriate heating can be performed by controlling the combination and ratio of heating the object to be processed from the outside by a heating member heated by microwaves and directly heating the object to be processed by microwaves.

なお、上記においては、センサ４０が取得する温度の情報等に応じて、照射するマイクロ波の出力をフィードバック制御するようにしたが、１以上のセンサ４０が取得する温度の情報に応じて、マイクロ波照射手段２１が照射するマイクロ波の位相を制御して、第一のマイクロ波照射や第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置を、処理対象物２の移動経路２ａに沿って移動させることで、処理対象物２に対する加熱を制御してもよい。例えば、上記において、地点Ｂのセンサ４０が取得した温度が高い場合に、地点Ｂの位置を、出口側に移動させることで、第二のマイクロ波照射による加熱を行なうタイミングを遅らせるようにしてもよい。 In the above description, the output of the microwave to be irradiated is feedback-controlled according to the temperature information obtained by the sensor 40. However, according to the temperature information obtained by one or more sensors 40, the microwave By controlling the phase of the microwaves irradiated by the wave irradiation means 21, the position where the microwaves are strengthened by the first microwave irradiation and the second microwave irradiation is moved along the moving path 2a of the processing object 2. Heating of the processing object 2 may be controlled by causing the heating to occur. For example, in the above, when the temperature acquired by the sensor 40 at the point B is high, the position of the point B may be moved to the exit side to delay the timing of heating by the second microwave irradiation. good.

また、上記において、処理対象物２の移動経路２ａ上の同じ位置において、発熱部材３０において強めあうようマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２において強めあうようマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射とを、同時に行なうようにしてもよい。また、この場合、第一のマイクロ波照射のマイクロ波の出力と、第二のマイクロ波照射のマイクロ波の出力とを異なる出力しても良い。 Further, in the above, at the same position on the movement path 2a of the object 2 to be processed, the first microwave irradiation that irradiates the microwaves so as to strengthen each other on the heat generating member 30, and the microwaves that irradiate the object to be processed 2 so as to strengthen each other. You may make it perform simultaneously with the 2nd microwave irradiation to irradiate. In this case, the output of the microwaves for the first microwave irradiation and the output of the microwaves for the second microwave irradiation may be different outputs.

また、上記実施の形態においては、処理対象物２を容器１０ｃ内において移動させる場合を例に挙げて説明したが、処理対象物２を、容器１０ｃ内において移動させないようにするとともに、容器１０ｃ内に照射される複数のマイクロ波の位相を制御することで、発熱部材３０における第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置と、処理対象物２における第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が強めあう位置とを経時的に移動させることで、発熱部材３０が加熱される位置と、処理対象物２が直接加熱される位置とを、経時的に変更するようにしてもよい。このようにすることで、例えば、処理対象物２に対して適切な加熱を行なうことができる。 In the above embodiment, the case where the object 2 to be processed is moved within the container 10c has been described as an example. By controlling the phases of the plurality of microwaves irradiated to the heat generating member 30, the microwaves are strengthened by the first microwave irradiation on the heat generating member 30, and the microwaves are generated by the second microwave irradiation on the processing object 2. The position where the heating member 30 is heated and the position where the processing object 2 is directly heated may be changed over time by moving the reinforcing positions over time. By doing so, for example, the object 2 to be processed can be appropriately heated.

なお、上記実施の形態において、マイクロ波照射手段２１が複数の照射部２０３から照射するマイクロ波の位相を制御した場合に、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が発熱部材３０において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物２において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが、処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられるように、容器１０ｃを設計することが好ましい。 In the above embodiment, when the microwave irradiation means 21 controls the phases of the microwaves irradiated from the plurality of irradiation units 203, the intensity of the microwaves irradiated by the irradiation units 203 increases in the heat generating member 30. One microwave irradiation position and a second microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit 203 is strong on the processing object 2 are provided along the movement path 2a of the processing object 2. It is preferable to design the container 10c as follows.

また、上記実施の形態において、マイクロ波照射手段２１が複数の照射部２０３から照射するマイクロ波の位相を制御しないようにしてもよい。例えば、マイクロ波照射手段２１がマイクロ波を照射する１以上の照射部２０３を備えている場合において、各照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御する代りに、容器１０ｃの設計によって、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が発熱部材３０において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物２において強くなる第二のマイクロ波照射位置とが、処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられるようにしてもよい。 Further, in the above embodiment, the microwave irradiating means 21 may not control the phase of the microwaves radiated from the plurality of irradiating units 203 . For example, when the microwave irradiation means 21 includes one or more irradiation units 203 that irradiate microwaves, instead of controlling the phase of the microwaves irradiated by each irradiation unit 203, the design of the container 10c allows irradiation A first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the unit 203 is high on the heat generating member 30 and a second microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit 203 is high on the processing object 2 may be provided along the moving path 2a of the object 2 to be processed.

（変形例）
なお、上記実施の形態２のマイクロ波処理装置１ａにおいて、容器１０ｃ内に、上記実施の形態１と同様に処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に１または２以上の発熱部材３０を設けるようにし、異なる位置からマイクロ波を照射する２以上の照射部２０３がそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御手段５１等により制御して、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が発熱部材３０において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物の発熱部材が設けられていない部分において強くなる第二のマイクロ波照射位置と、照射部２０３が照射するマイクロ波の強度が処理対象物２の発熱部材が設けられている部分において強くなる第三のマイクロ波照射位置とが設けられるようにしてもよい。 (Modification)
In the microwave processing apparatus 1a of the second embodiment, one or two or more heat generating members 30 are partially provided in the container 10c along the movement path 2a of the object 2 to be processed, as in the first embodiment. is provided, and the phase of the microwaves irradiated by the two or more irradiation units 203 that irradiate microwaves from different positions is controlled by the control means 51 or the like, and the intensity of the microwaves irradiated by the irradiation units 203 is adjusted to the heat generating member 30, the first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit 203 becomes stronger in the portion of the object to be processed where the heat generating member is not provided, and the irradiation unit A third microwave irradiation position may be provided at which the intensity of the microwaves irradiated by the microwaves 203 is high in the portion of the object 2 where the heating member is provided.

図７（ａ）は、このようなマイクロ波処理装置１ａの変形例の一例を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面模式図である。このマイクロ波処理装置１ａは、実施の形態２のマイクロ波処理装置１ａにおいて、容器１０ｃ内に、処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に、処理対象物２を覆うように２つの発熱部材である発熱部材３０ｄおよび３０ｅを予め決められた間隔を隔てて設置するとともに、マイクロ波照射手段２１が、２以上の照射部２０３として、異なる位置からマイクロ波を照射する３つの照射部２０３ａと、３つの照射部２０３ｂと、３つの照射部２０３ｃとを備えたものである。３つの照射部２０３ａ、３つの照射部２０３ｂ、および３つの照射部２０３ｃのそれぞれは、上記照射部２０３と同様に容器１０ｃに取付けられている。発熱部材３０ｄおよび３０ｅは、発熱部材が設けられていない領域を挟んで配置されていると考えてもよい。ここでは、容器１０ｃの入口側から順に、３つの照射部２０３ａ、３つの照射部２０３ｂ、および３つの照射部２０３ｃが、処理対象物２０の移動経路に沿って配置されている例を示しているが、これらの配置は上記の配置に限定されるものではない。例えば、各照射部２０３は、位相を制御することで、マイクロ波の強度が所望の１以上の位置で強めあうことが可能となる位置には位置される。なお、図において、センサおよび制御手段等は省略している。 FIG. 7(a) is a schematic cross-sectional view parallel to the moving direction of the object to be processed, for explaining an example of a modification of such a microwave processing apparatus 1a. This microwave processing apparatus 1a is different from the microwave processing apparatus 1a of Embodiment 2 in that two microwave processing apparatuses are provided in a container 10c so as to partially cover the processing object 2 along the movement path 2a of the processing object 2. The heat generating members 30d and 30e, which are heat generating members, are installed at a predetermined interval, and the microwave irradiation means 21 has three irradiation units 203a that irradiate microwaves from different positions as two or more irradiation units 203. , three irradiation units 203b, and three irradiation units 203c. Each of the three irradiation units 203a, the three irradiation units 203b, and the three irradiation units 203c is attached to the container 10c in the same manner as the irradiation units 203 described above. It may be considered that the heat generating members 30d and 30e are arranged so as to sandwich an area where no heat generating member is provided. Here, an example is shown in which three irradiation units 203a, three irradiation units 203b, and three irradiation units 203c are arranged in order from the entrance side of the container 10c along the movement path of the processing object 20. However, these arrangements are not limited to the above arrangements. For example, each irradiating unit 203 is positioned at a position where the microwave intensity can reinforce each other at one or more desired positions by controlling the phase. Note that sensors, control means, and the like are omitted in the figure.

図７（ｂ）～図７（ｄ）は、マイクロ波強度が高くなる位置を説明するための、図７（ａ）に示したマイクロ波処理装置の発熱部材３０ｄおよび発熱部材３０ｅと、その近傍を示す模式図である。 7(b) to 7(d) show the heat generating member 30d and the heat generating member 30e of the microwave processing apparatus shown in FIG. It is a schematic diagram showing.

例えば、図７（ａ）に示すマイクロ波処理装置１ａにおいて、処理対象物２の移動方向における発熱部材３０ｄが設けられている位置４００ａにおいてマイクロ波の強度が強くなるよう、３つの照射部２０３ａがそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御し、処理対象物２の移動方向における発熱部材３０ｅが設けられていない発熱部材３０ｄと３０ｅとの間の位置４００ｂにおいては、処理対象物２においてマイクロ波の強度が強くなるよう、３つの照射部２０３ｂがそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御し、処理対象物２の移動方向における発熱部材３０ｄが設けられている位置４００ｃにおいては、発熱部材３０の内部に位置する処理対象物の部分においてマイクロ波の強度が強くなるよう、３つの照射部２０３ｃがそれぞれ照射するマイクロ波の位相を制御する。ここでは、位置４００ａと位置４００ｃとの処理対象物２の移動経路２ａに沿った方向における位置が異なる位置であるとする。また、ここでは、位置４００ｃは位置４００ａに対して、部材３０ｅ側に位置するように位相を制御するが、位置４００ａは位置４００ｃに対して、部材３０ｅ側に位置するように位相を制御してもよい。位相の制御は、例えば、制御手段５１と同様の制御手段を用いて行う。 For example, in the microwave processing apparatus 1a shown in FIG. 7A, the three irradiating units 203a are arranged so that the intensity of the microwave is increased at the position 400a where the heat generating member 30d is provided in the moving direction of the processing object 2. The phase of each irradiated microwave is controlled, and at a position 400b between the heat generating members 30d and 30e where the heat generating member 30e is not provided in the moving direction of the processing object 2, the intensity of the microwave on the processing object 2 is The phases of the microwaves emitted by the three irradiating units 203b are controlled so as to increase the intensity of the radiation, and at a position 400c where the heat generating member 30d is provided in the moving direction of the processing object 2, the position inside the heat generating member 30 The phases of the microwaves emitted by the three irradiating units 203c are controlled so that the intensity of the microwaves increases in the portion of the object to be processed. Here, it is assumed that the positions 400a and 400c are different positions in the direction along the movement path 2a of the object 2 to be processed. Also, here, the phase is controlled so that the position 400c is positioned on the member 30e side with respect to the position 400a, but the phase is controlled so that the position 400a is positioned on the member 30e side with respect to the position 400c. good too. Phase control is performed using a control means similar to the control means 51, for example.

マイクロ波照射手段２１が上記のようにマイクロ波を照射した場合、図７（ｂ）に示すように、位置４００ａと、位置４００ｂと、位置４００ｃとがマイクロ波の強度が高い位置となる。これにより、位置４００ａにおいては、発熱部材３０ｄが強く加熱され、位置４００ｂおよび位置４００ｃにおいては、処理対象物２が強く加熱される。なお、位置４００ｂは、発熱部材３０ｄ内側の、処理対象物２と重なる位置であるとする。ここでの、位置４００ａが第一のマイクロ波照射位置、位置４００ｂが第二のマイクロ波照射位置、位置４００ｃおよびその近傍が第三のマイクロ波照射位置に相当する。なお、ここでの位置は、領域と考えてもよい。 When the microwave irradiation means 21 irradiates microwaves as described above, positions 400a, 400b, and 400c are positions where the intensity of the microwaves is high, as shown in FIG. 7(b). As a result, the heat-generating member 30d is strongly heated at the position 400a, and the processing object 2 is strongly heated at the positions 400b and 400c. It is assumed that the position 400b is a position overlapping the processing object 2 inside the heat generating member 30d. Here, the position 400a corresponds to the first microwave irradiation position, the position 400b corresponds to the second microwave irradiation position, and the position 400c and its vicinity correspond to the third microwave irradiation position. Note that the position here may be considered as an area.

このように、マイクロ波の強度が高くなる位置を、発熱部材３０が設けられている部分と、処理対象物２の発熱部材３０が設けられていない部分と、処理対象物２の発熱部材３０が設けられている部分（例えば、処理対象物２の発熱部材３０の内側に位置する部分）とすることで、例えば、処理対象物２に対して所望の加熱を行うことが可能となる。 In this way, the position where the intensity of the microwave is high is the portion where the heat generating member 30 is provided, the portion where the heat generating member 30 of the processing object 2 is not provided, and the heat generating member 30 of the processing object 2. By using the provided portion (for example, the portion of the processing object 2 located inside the heat generating member 30), for example, the processing object 2 can be heated as desired.

なお、上記において、３つの照射部２０３ａがそれぞれ照射するマイクロ波の位相と、３つの照射部２０３ｃがそれぞれ照射するマイクロ波の位相と、をそれぞれ制御することによって、図７（ｃ）に示すように、第一のマイクロ波照射位置である位置４００ａと、第三のマイクロ波照射位置である位置４００ｃとの、処理対象物の移動経路２ａに沿った方向における位置が同じ位置となるように、マイクロ波を照射するようにしてもよい。 In the above, by controlling the phases of the microwaves respectively irradiated by the three irradiation units 203a and the phases of the microwaves irradiated by the three irradiation units 203c, as shown in FIG. In addition, so that the position 400a, which is the first microwave irradiation position, and the position 400c, which is the third microwave irradiation position, are the same in the direction along the movement path 2a of the object to be processed, You may make it irradiate a microwave.

また、上記において、３つの照射部２０３がそれぞれ照射するマイクロ波の位相と、３つの照射部２０３ｃがそれぞれ照射するマイクロ波の位相と、をそれぞれ制御することによって、第一のマイクロ波照射位置である位置４００ａと、第三のマイクロ波照射位置である位置４００ｃとが、異なる発熱部材３０が設けられている部分に位置するようにしても良い。例えば、図７（ｄ）に示すように、第一のマイクロ波照射位置である位置４００ａが、発熱部材３０ｄに位置し、第二のマイクロ波照射位置である位置４００ｃが、発熱部材３０ｅに位置するようにしてもよい。 Further, in the above, by controlling the phases of the microwaves respectively irradiated by the three irradiation units 203 and the phases of the microwaves irradiated by the three irradiation units 203c, at the first microwave irradiation position A certain position 400a and a position 400c, which is the third microwave irradiation position, may be positioned in portions where different heat generating members 30 are provided. For example, as shown in FIG. 7D, a position 400a that is the first microwave irradiation position is located on the heat generating member 30d, and a position 400c that is the second microwave irradiation position is located on the heat generating member 30e. You may make it

なお、上記においては、発熱部材３０が２つである場合を例に挙げて説明したが、図７（ｂ）や図７（ｃ）のように、第一のマイクロ波照射位置と、第三のマイクロ波照射位置とを同じ発熱部材３０が設けられている部分に配置する場合、発熱部材３０は、１以上であればよい。また、２以上の発熱部材３０のうちの少なくとも一部の長さや材質等は同じであっても良く、異なっていても良い。 In the above description, the case where there are two heat-generating members 30 has been described as an example, but as shown in FIGS. When the microwave irradiation position of 1 is arranged in the same portion where the heat generating member 30 is provided, the number of the heat generating members 30 may be one or more. Moreover, the length, material, etc. of at least a portion of the two or more heat generating members 30 may be the same or may be different.

また、図７（ｃ）のように、第一のマイクロ波照射位置と、第三のマイクロ波照射位置とを異なる発熱部材３０が設けられている部分に配置する場合、発熱部材３０は、２以上であればよい。 Further, as shown in FIG. 7C, when the first microwave irradiation position and the third microwave irradiation position are arranged in portions where different heat generating members 30 are provided, the heat generating members 30 are divided into two Anything above that is fine.

また、第一のマイクロ波照射位置が配置される発熱部材３０と、第二のマイクロ波照射位置が配置される処理対象物２の発熱部材が設けられていない領域とは、図７（ｂ）のように、隣り合っていても良く、隣り合わなくてもよい。 In addition, the heat generating member 30 where the first microwave irradiation position is arranged and the area where the heat generating member is not provided of the processing object 2 where the second microwave irradiation position is arranged are shown in FIG. Like , they may be adjacent to each other or may not be adjacent to each other.

また、第一のマイクロ波照射位置である位置４００ａと、第三のマイクロ波照射位置である位置４００ｃとが、異なる発熱部材３０が設けられている部分に位置しているようにする場合、第一のマイクロ波照射位置と、第三のマイクロ波照射位置とは、発熱部材が設けられていない領域を一つだけはさんで隣り合う発熱部材３０であってもよく、発熱部材が設けられていない領域を２つ以上はさんで隣り合う発熱部材３０であってもよい。 Further, when the position 400a, which is the first microwave irradiation position, and the position 400c, which is the third microwave irradiation position, are positioned in different portions where the heat generating members 30 are provided, The one microwave irradiation position and the third microwave irradiation position may be heat generating members 30 adjacent to each other with only one region in which no heat generating member is provided, and the heat generating member is provided. The heat-generating members 30 may be adjacent to each other with two or more non-existing regions interposed therebetween.

また、照射部２０３ａの数は、２以上であれば、その数は問わない。かかることは、照射部２０３ｂおよび照射部２０３ｃについても同様である。また、２以上の照射部２０３ａと２以上の照射部２０３ｂとの少なくとも一部を同じ照射部で実現しても良い。すなわち、２以上の照射部２０３ａの少なくとも一部を、２以上の照射部２０３ｂの少なくとも一部としても用いるようにして、照射部２０３ａの少なくとも一部と、照射部２０３ｂの少なくとも一部とを共用しても良い。かかることは、２以上の照射部２０３ａと２以上の照射部２０３ｃとの少なくとも一部、２以上の照射部２０３ｂと２以上の照射部２０３ｃとの少なくとも一部についても同様である。また、同様に、２以上の照射部２０３ａと２以上の照射部２０３ｂと、２以上の照射部２０３ｃとの少なくとも一部を同じ照射部で実現しても良い。すなわち、２以上の照射部２０３ａの少なくとも一部を、２以上の照射部２０３ｂの少なくとも一部としても用いるとともに、２以上の照射部２０３ｃの少なくとも一部としても用いるようにしてもよい。また、マイクロ波照射手段２１は、２以上の第一の照射部２０３ａで構成される組を複数有していても良い。かかることは、第二の照射部２０３ｂおよび第三の照射部２０３ｃについても同様である。 Also, the number of irradiation units 203a is not limited as long as it is two or more. The same applies to the irradiation section 203b and the irradiation section 203c. Moreover, at least a part of the two or more irradiation units 203a and the two or more irradiation units 203b may be realized by the same irradiation unit. That is, at least part of the two or more irradiation units 203a is also used as at least part of the two or more irradiation units 203b, so that at least part of the irradiation units 203a and at least part of the irradiation units 203b are shared. You can The same applies to at least a portion of the two or more irradiation units 203a and the two or more irradiation units 203c, and at least a portion of the two or more irradiation units 203b and the two or more irradiation units 203c. Similarly, at least a part of the two or more irradiation units 203a, the two or more irradiation units 203b, and the two or more irradiation units 203c may be realized by the same irradiation unit. That is, at least some of the two or more irradiation units 203a may be used as at least some of the two or more irradiation units 203b, and may also be used as at least some of the two or more irradiation units 203c. Further, the microwave irradiation means 21 may have a plurality of sets each composed of two or more first irradiation units 203a. The same applies to the second irradiation section 203b and the third irradiation section 203c.

また、マイクロ波処理装置１ｂ内に第一のマイクロ波照射位置が複数配置されるよう、マイクロ波照射手段２１が位相を制御したマイクロ波を照射しても良い。かかることは、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置についても同様である。また、１つの発熱部材３０に、第一のマイクロ波照射位置が複数配置されるように、マイクロ波照射手段２１が位相を制御したマイクロ波を照射しても良い。かかることは、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置についても同様である。 Further, the microwave irradiation means 21 may irradiate the microwaves whose phases are controlled so that a plurality of first microwave irradiation positions are arranged in the microwave processing apparatus 1b. The same applies to the second microwave irradiation position and the third microwave irradiation position. Alternatively, the microwave irradiation means 21 may irradiate a microwave whose phase is controlled so that a plurality of first microwave irradiation positions are arranged on one heat generating member 30 . The same applies to the second microwave irradiation position and the third microwave irradiation position.

なお、上記においては、照射部２０３が照射するマイクロ波の位相を制御することで、上記のように第一～第三のマイクロ波照射位置を配置するようにしたが、容器１０ｃ等の設計により、上記のように第一～第三のマイクロ波照射位置を配置するようにしてもよい。この場合、マイクロ波照射手段２１が有する照射部２０３は１以上であればよい。なお容器１０ｃ等の設計は、マイクロ波が照射されるキャビティ設計等と考えてもよい。容器１０ｃ等の設計は、照射部２０３の配置等も含めた設計と考えてもよい。 In the above, by controlling the phase of the microwave irradiated by the irradiation unit 203, the first to third microwave irradiation positions are arranged as described above, but depending on the design of the container 10c etc. , the first to third microwave irradiation positions may be arranged as described above. In this case, the microwave irradiation means 21 may have one or more irradiation units 203 . The design of the container 10c and the like may be considered as the design of a cavity to which microwaves are irradiated. The design of the container 10c and the like may be considered to include the arrangement of the irradiation unit 203 and the like.

（実施の形態３）
図６は、本実施の形態におけるマイクロ波処理装置を説明するための、処理対象物の移動方向に平行な断面図（図６（ａ））、図６（ａ）の点Ａを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｂ））、点Ｂを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｃ））、および点Ｃを通る長手方向に垂直な断面模式図（図６（ｄ））である。本実施の形態のマイクロ波処理装置１ｂは、マイクロ波照射手段２２が異なる周波数のマイクロ波を照射することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたものである。 (Embodiment 3)
FIG. 6 is a cross-sectional view (FIG. 6(a)) parallel to the moving direction of the object to be processed, for explaining the microwave processing apparatus according to the present embodiment, and a longitudinal direction passing through point A in FIG. 6(a). (FIG. 6(b)), a schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through point B (FIG. 6(c)), and a schematic cross-sectional view perpendicular to the longitudinal direction passing through point C (FIG. 6 (d)). The microwave processing apparatus 1b of the present embodiment performs first microwave irradiation and second microwave irradiation by irradiating microwaves of different frequencies from the microwave irradiation means 22. is.

マイクロ波処理装置１ｂは、容器１０ｄと、マイクロ波照射手段２２と、発熱部材３０と、１または２以上のセンサ４０と、制御手段５２と、搬送手段６０とを備えている。 The microwave processing apparatus 1 b includes a container 10 d , microwave irradiation means 22 , heat generating member 30 , one or more sensors 40 , control means 52 and transport means 60 .

容器１０ｄは、マイクロ波照射手段２２が有する照射部が取付けられることを除けば、上記実施の形態において図１に示した容器１０と同様のものである。また、容器１０ｄとしては、上記実施の形態において説明したような容器が利用可能であり、例えば、複数のキャビティを有する容器等も利用可能である。 The container 10d is similar to the container 10 shown in FIG. 1 in the above embodiment, except that the irradiation section of the microwave irradiation means 22 is attached. As the container 10d, the container described in the above embodiment can be used, and for example, a container having a plurality of cavities can be used.

容器１０ｄ内には、一本の筒形状の発熱部材３０が処理対象物２の移動経路２ａに沿って設けられている場合について説明する。ただし、発熱部材３０は複数であってもよい。なお、発熱部材３０としては、上記実施の形態において説明した発熱部材３０と同様のものが利用可能である。 A case in which a single cylindrical heat-generating member 30 is provided along the moving path 2a of the object 2 to be processed in the container 10d will be described. However, a plurality of heat generating members 30 may be provided. As the heat-generating member 30, the same heat-generating member 30 as described in the above embodiment can be used.

マイクロ波照射手段２２は、異なる周波数のマイクロ波を照射可能であり、異なる周波数のマイクロ波を照射することで、上述したような第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なう。例えば、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射と、を行なう。例えば、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも小さくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射と、を行なう。マイクロ波照射手段２２がこのような第一のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、以下、第一の周波数と称す。また、マイクロ波照射手段２２がこのような第二のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、以下、第二の周波数と称す。 The microwave irradiation means 22 can irradiate microwaves of different frequencies, and by irradiating microwaves of different frequencies, the above-described first microwave irradiation and second microwave irradiation are performed. . For example, the microwave irradiating means 22 includes first microwave irradiation for irradiating microwaves having a frequency at which the heat generation of the heat generating member 30 is greater than the heat generation of the processing object 2, and and a second microwave irradiation for irradiating a microwave with a frequency higher than the heat generated by the member 30 . For example, the microwave irradiating means 22 irradiates a microwave having a frequency at which the microwave absorbed by the heat-generating member 30 is higher than the microwave transmitted through the heat-generating member 30; and a second microwave irradiation for irradiating a microwave having a frequency at which the microwave absorbed by the heating member 30 is smaller than the microwave transmitted through the heat generating member 30 . The frequency of the microwaves irradiated by the microwave irradiation means 22 in such first microwave irradiation is hereinafter referred to as the first frequency. Further, the frequency of the microwaves irradiated by the microwave irradiation means 22 in such second microwave irradiation is hereinafter referred to as the second frequency.

例えば、発熱部材３０を透過するマイクロ波は、照射するマイクロ波の周波数に依存している。例えば、複素誘電率がε'＝１００、ε"＝１０であるような発熱部材３０を用いた場合、発熱部材３０内に侵入したマイクロ波の電力が半分となるような電力半減深度は、９１５ＭＨｚなら３６．３ｍｍ、２．４５ＧＨｚなら１３．６ｍｍとなる。そのため発熱部材３０の厚さを適切な厚さに設定すれば、例えば、２．４５ＧＨｚのマイクロ波を照射した場合、マイクロ波の半分以上、好ましくは大部分は発熱部材３０に吸収され、炭素繊維の前駆体繊維等の処理対象物２にまではマイクロ波が届かなくなる一方、９１５ＭＨｚのマイクロ波を照射した場合、照射したマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を、発熱部材３０を透過させて、炭素繊維の前駆体繊維にマイクロ波を照射することが可能となる。なお、ここでの発熱部材３０の厚さは、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さと考えてもよい。このため、第一のマイクロ波照射において、発熱部材３０に対して、この発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が大きくなる電力半減深度となる周波数のマイクロ波を照射することで、第一のマイクロ波照射で発熱部材３０を加熱することができるとともに、第二のマイクロ波照射において、発熱部材３０に対して、この発熱部材を透過したマイクロ波よりもこの発熱部材３０で吸収されたマイクロ波のが小さくなる電力半減深度となる周波数のマイクロ波を照射して、この発熱部材３０を透過したマイクロ波を処理対象物２に照射することにより、第二のマイクロ波照射で発熱部材の内側の処理対象物２を加熱することができる。 For example, the microwaves that pass through the heating member 30 depend on the frequency of the irradiated microwaves. For example, when the heat generating member 30 having complex dielectric constants of ε′=100 and ε″=10 is used, the depth of power halving at which the power of microwaves entering the heat generating member 30 is halved is 915 MHz. 36.3 mm for 2.45 GHz, and 13.6 mm for 2.45 GHz. , Preferably, most of the microwaves are absorbed by the heat generating member 30, and the microwaves do not reach the processing object 2 such as carbon fiber precursor fibers. As described above, it is possible to irradiate the precursor fibers of carbon fibers with microwaves, preferably by transmitting most of them through the heat-generating member 30. Note that the thickness of the heat-generating member 30 here is the thickness of the heat-generating member 30. For this reason, in the first microwave irradiation, the microwave absorbed by the heat generating member 30 is greater than the microwave transmitted through the heat generating member 30 . By irradiating the microwave with a frequency that makes the power half-life where the wave increases, the heat-generating member 30 can be heated by the first microwave irradiation, and the heat-generating member 30 can be heated by the second microwave irradiation. Then, a microwave having a frequency that provides a power half-life depth at which the microwave absorbed by the heat-generating member 30 is smaller than the microwave that has passed through the heat-generating member 30 is irradiated, and the microwave that has passed through the heat-generating member 30 is emitted. By irradiating the processing object 2, the processing object 2 inside the heat generating member can be heated by the second microwave irradiation.

例えば、電気抵抗率が２．８×１０－８Ωｍであるようなアルミニウム等を発熱部材３０（例えば、発熱部材３０の加熱媒体３０１）として用いた場合、発熱部材３０内に侵入したマイクロ波の電界強度が１／ｅとなるような表皮深さは、周波数が９１５ＭＨｚならば２．２μｍ、２．４５ＧＨｚなら１．３μｍである。そのため発熱部材３０の厚さ（例えば、発熱部材３０の加熱媒体３０１の厚さ）を、例えば、百ｎｍ単位程度でコントロールすれば、第一の周波数を２．４５ＧＨｚとした第一のマイクロ波照射ではマイクロ波の大部分が発熱部材３０に吸収され、炭素繊維の前駆体等の処理対象物２までマイクロ波が届かないようにできる一方、第二の周波数を９１５ＭＨｚとした第二のマイクロ波照射では発熱部材３０で大部分のマイクロ波を吸収させないようにして、処理対象物２にマイクロ波を照射して、処理対象物２を加熱することが可能となる。なお、上記の複素誘電率の虚部ε"は、比誘電損失とも呼ばれる場合がある。 For example, when aluminum or the like having an electrical resistivity of 2.8×10 −8 Ωm is used as the heat generating member 30 (for example, the heating medium 301 of the heat generating member 30), microwaves entering the heat generating member 30 are The skin depth at which the electric field strength becomes 1/e is 2.2 μm if the frequency is 915 MHz, and 1.3 μm if the frequency is 2.45 GHz. Therefore, if the thickness of the heat-generating member 30 (for example, the thickness of the heating medium 301 of the heat-generating member 30) is controlled, for example, in units of about 100 nm, the first microwave irradiation with the first frequency of 2.45 GHz can be performed. , most of the microwaves are absorbed by the heat-generating member 30, and the microwaves can be prevented from reaching the processing object 2 such as the carbon fiber precursor, while the second microwave irradiation with the second frequency of 915 MHz Then, it becomes possible to irradiate the processing object 2 with microwaves and heat the processing object 2 without allowing the heating member 30 to absorb most of the microwaves. The imaginary part ε″ of the complex permittivity is sometimes called relative dielectric loss.

マイクロ波照射手段２２は、例えば、処理対象部２が移動している場合において、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射と、を、処理対象物２の移動経路２ａの異なる位置に対して行なうようにしても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを、処理対象物２の移動経路２ａの同じ位置に対して同時に行なうようにしても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを、処理対象物２の移動経路２ａの同じ位置に対して切替えて行なうようにしてもよい。また、マイクロ波照射手段２２は、照射する各周波数のマイクロ波の出力を変更してもよい。 For example, when the processing target part 2 is moving, the microwave irradiation means 22 performs the first microwave irradiation and the second microwave irradiation at different positions on the movement path 2a of the processing target 2. You can also do it for Further, the microwave irradiation means 22 may simultaneously perform the first microwave irradiation and the second microwave irradiation to the same position on the movement path 2a of the object 2 to be processed. Further, the microwave irradiation means 22 may switch between the first microwave irradiation and the second microwave irradiation with respect to the same position on the moving path 2a of the object 2 to be processed. Moreover, the microwave irradiation means 22 may change the output of the microwave of each frequency to irradiate.

マイクロ波照射手段２２は、例えば、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な１以上の照射部（図示せず）を有しており、出力する周波数を変更することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを切替えて行なっても良い。また、マイクロ波照射手段２２は、第一のマイクロ波照射を行なうための第一の周波数のマイクロ波を照射する１以上の照射部（以下、第一周波数照射部２０４と称す）と、第二のマイクロ波照射を行なうための、第一の周波数とは異なる第二の周波数のマイクロ波を照射する１以上の照射部（以下、第二周波数照射部２０５と称す）と、をそれぞれ有するようにし、これらが照射する異なる周波数のマイクロ波を照射することで、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なっても良い。以下、本実施の形態においては、１以上の第一周波数照射部２０４を用いて第一のマイクロ波照射を行ない、１以上の第二周波数照射部２０５を用いて第二のマイクロ波照射を行なう場合を例に挙げて説明する。 The microwave irradiation means 22 has, for example, one or more irradiation units (not shown) capable of changing the frequency of the microwave to be irradiated, and by changing the output frequency, the first microwave irradiation and the second microwave irradiation may be switched. Further, the microwave irradiation means 22 includes one or more irradiation units (hereinafter referred to as a first frequency irradiation unit 204) that irradiate microwaves of a first frequency for performing the first microwave irradiation, and a second and one or more irradiating units (hereinafter referred to as second frequency irradiating units 205) that irradiate microwaves of a second frequency different from the first frequency for performing microwave irradiation of , the first microwave irradiation and the second microwave irradiation may be performed by irradiating microwaves of different frequencies emitted by these. Hereinafter, in the present embodiment, first microwave irradiation is performed using one or more first frequency irradiation units 204, and second microwave irradiation is performed using one or more second frequency irradiation units 205. A case will be described as an example.

第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、例えば、容器１０ｄの壁面の異なる位置に設けられた開口部１０２に取付けられて、容器１０ｄ内にマイクロ波を照射する。第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、処理対象物２の移動経路の異なる位置にマイクロ波を照射するよう配置されていてもよく、同じ位置にマイクロ波を照射するように配置されていてもよい。 The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 are attached, for example, to openings 102 provided at different positions on the wall surface of the container 10d, and irradiate microwaves into the container 10d. The first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 may be arranged to irradiate microwaves at different positions on the moving path of the object 2, or may be arranged to irradiate microwaves at the same position. may have been

図６においては、第一周波数照射部２０４の一つが、照射する第一の周波数のマイクロ波が地点Ａを含む領域に照射されるよう容器１０ｄに取付けられており、第二周波数照射部２０５の一つが、照射する第一の周波数のマイクロ波が地点Ｂを含む領域に照射されるよう容器１０ｄに取付けられており、第一周波数照射部２０４の一つと第二周波数照射部２０５の一つとが、地点Ｃを含む領域に、それぞれ、第一の周波数のマイクロ波と第二の周波数のマイクロ波とを照射するよう取付けられている例について説明している。例えば、第一周波数照射部２０４が、地点Ａと地点Ｃの情報に、また、第二周波数照射部２０５が地点Ｂの上方と下方とにそれぞれ配置されている例について示している。ただし、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を配置する位置や、それぞれの配置される数等は問わない。 In FIG. 6, one of the first frequency irradiation units 204 is attached to the container 10d so that the microwave of the first frequency to be irradiated is irradiated to the area including the point A, and the second frequency irradiation unit 205 One is attached to the container 10d so that the microwave of the first frequency to be irradiated is irradiated to the area including the point B, and one of the first frequency irradiation units 204 and one of the second frequency irradiation units 205 are , and are mounted to irradiate microwaves of a first frequency and microwaves of a second frequency, respectively, to a region containing point C. FIG. For example, an example in which the first frequency irradiation unit 204 is arranged for the information of the point A and the point C, and the second frequency irradiation unit 205 is arranged above and below the point B is shown. However, the positions where the first frequency irradiating units 204 and the second frequency irradiating units 205 are arranged, the number of each arranged, etc. are not limited.

なお、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、上記実施の形態において説明したように、例えば、マイクロ波発振器２００１と、伝送部２００２とを備えている。ただし、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、マイクロ波発振器２００１が発振するマイクロ波の周波数が異なる。照射部２０３が有するマイクロ波発振器２００１としては、半導体型発振器を用いることが好ましい。なお、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５は、上記以外の構造を有していてもよい。 Note that the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 each include, for example, the microwave oscillator 2001 and the transmission section 2002, as described in the above embodiments. However, the frequencies of the microwaves oscillated by the microwave oscillator 2001 are different between the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 . A semiconductor oscillator is preferably used as the microwave oscillator 2001 of the irradiation unit 203 . Note that the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 may have structures other than those described above.

１または２以上のセンサ４０は、例えば、上記実施の形態のセンサと同様のものである。ここでは、３つのセンサ４０が、それぞれ、容器１０ｄの、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃにの近傍となる位置、例えば、容器１０ｄの、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃの上方の近傍に配置されている場合を例として示している。 One or more sensors 40 are, for example, similar to the sensors of the above embodiments. Here, the three sensors 40 are positioned near points A, B, and C of the container 10d, respectively, for example, near points A, B, and C above the container 10d. is shown as an example.

搬送手段６０については、上記実施の形態と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。 Since the conveying means 60 is the same as in the above-described embodiment, detailed description thereof is omitted here.

制御手段５２は、マイクロ波照射手段２２が有する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波の出力を制御する。例えば、制御手段５２は、上記の三つのセンサ４０が取得する処理対象物２の温度の情報に応じて、地点Ａ、地点Ｂ、及び地点Ｃにそれぞれマイクロ波を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力をフィードバック制御する。ただし、制御はフィードバック制御でなくてもよい。なお、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の位相を制御可能な複数の照射部（図示せず）を有する場合、制御手段５２は、マイクロ波照射手段２２が有する各照射部が、照射するマイクロ波の周波数をそれぞれ制御してもよい。 The control means 52 controls the output of microwaves irradiated by the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 of the microwave irradiation means 22 . For example, the control means 52 controls the first frequency irradiation unit 204 that irradiates microwaves to points A, B, and C, respectively, according to temperature information of the processing object 2 acquired by the three sensors 40. and feedback control of the output of the second frequency irradiation unit 205 . However, the control does not have to be feedback control. In addition, when the microwave irradiation means 22 has a plurality of irradiation units (not shown) capable of controlling the phase of the irradiated microwave, the control means 52 controls each irradiation unit of the microwave irradiation means 22 to You may control the frequency of the microwave which carries out, respectively.

次に、本実施の形態のマイクロ波処理装置１ｂの動作について具体例を挙げて説明する。ここでは、マイクロ波処理装置１ｂを用いて、処理対象物２であるＰＡＮ系前駆体繊維の耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは説明を簡略化するために、図６に示したマイクロ波処理装置１ｂを用いて説明を行なう。なお、ここでの第一周波数照射部２０４が照射するマイクロ波は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも大きくなる第一の周波数のマイクロ波であり、第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波は、発熱部材３０で吸収されたマイクロ波が、発熱部材３０を透過したマイクロ波よりも小さくなる第二の周波数のマイクロ波であるとする。また、ここでの発熱部材２０は、照射される第一の周波数のマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を吸収し、照射される第二の周波数のマイクロ波の半分以上、好ましくは大部分を吸収せずに透過させる厚さを有するものであるとする。 Next, the operation of the microwave processing apparatus 1b of this embodiment will be described with a specific example. Here, a case where the PAN-based precursor fiber, which is the object 2 to be treated, is subjected to the flameproofing treatment using the microwave treatment apparatus 1b will be described as an example. In order to simplify the description, the microwave processing apparatus 1b shown in FIG. 6 will be used here. Note that the microwaves irradiated by the first frequency irradiation unit 204 here are microwaves of a first frequency in which the microwaves absorbed by the heat generating member 30 are higher than the microwaves transmitted through the heat generating member 30. , the microwave irradiated by the second frequency irradiation unit 205 is a microwave of a second frequency in which the microwave absorbed by the heat generating member 30 is smaller than the microwave transmitted through the heat generating member 30 . In addition, the heat-generating member 20 here absorbs more than half, preferably most, of the microwaves of the first frequency to be irradiated, and more than half, preferably most, of the microwaves of the second frequency to be irradiated. is thick enough to transmit without absorbing.

例えば、搬送手段６０により、処理対象物２が搬送されている状態において、第一周波数照射部２０４から、常時、第一の周波数のマイクロ波１６を照射し、第二周波数照射部２０５から、常時、第二の周波数のマイクロ波１７を照射する。なお、ここでは、第一周波数照射部２０４が照射するマイクロ波１６の出力および第二周波数照射部２０５が照射するマイクロ波１７の出力は、それぞれの近傍に配置されるセンサ４０が取得する温度の情報に応じて、フィードバック制御されるものとする。 For example, while the object 2 is being transported by the transport means 60, the first frequency irradiation unit 204 always irradiates the microwave 16 of the first frequency, and the second frequency irradiation unit 205 always irradiates , emit microwaves 17 of a second frequency. Here, the output of the microwave 16 irradiated by the first frequency irradiation unit 204 and the output of the microwave 17 irradiated by the second frequency irradiation unit 205 are the temperatures obtained by the sensors 40 arranged in the vicinity of each. It shall be feedback controlled according to the information.

地点Ａにおいては、第一周波数照射部２０４から、第一の周波数のマイクロ波１６が照射されて、第一のマイクロ波照射が行なわれることとなるため、発熱部材３０でマイクロ波が吸収されやすく、マイクロ波１６が処理対象物２に照射されにくいため、図６（ｂ）に示すように、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱される。なお、発熱部材３０よりも発熱は小さいが、処理対象物２も、照射されるマイクロ波１６の一部によって直接加熱される。 At the point A, the microwaves 16 of the first frequency are irradiated from the first frequency irradiation unit 204, and the first microwave irradiation is performed. , the microwave 16 is less likely to irradiate the object 2 to be processed, so that the heat generation of the heating member 30 is higher than that of the object 2 to be processed, as shown in FIG. 6(b). Thereby, the processing object 2 is heated from the outside by the radiant heat from the heat generating member 30 . The object 2 to be processed is also directly heated by part of the irradiated microwaves 16, although it generates less heat than the heat generating member 30 does.

地点Ｂにおいては、第二周波数照射部２０５から、第二の周波数のマイクロ波１７が照射されて、第二のマイクロ波照射が行なわれることとなるため、発熱部材３０において、マイクロ波が吸収されにくく、透過したマイクロ波１７が処理対象物２に照射されて、図６（ｃ）に示すように、処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、照射されるマイクロ波１７によって直接加熱される。なお、発熱部材３０も照射されるマイクロ波１７の一部により加熱されるため、発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱される。 At the point B, the microwave 17 of the second frequency is irradiated from the second frequency irradiation unit 205, and the second microwave irradiation is performed. The object 2 to be processed is irradiated with the microwave 17 that is difficult to pass through, and the heat generation of the object 2 becomes higher than the heat generation of the heat generating member 30, as shown in FIG. 6(c). Thereby, the processing object 2 is directly heated by the irradiated microwaves 17 . Since the heating member 30 is also heated by part of the irradiated microwaves 17 , the heating member 30 is heated from the outside by the radiant heat.

地点Ｃにおいては、第一周波数照射部２０４から、第一の周波数のマイクロ波１６が照射されて、第一のマイクロ波照射が行なわれるとともに、第二周波数照射部２０５から、第二の周波数のマイクロ波１７が照射されて、第二のマイクロ波照射が行なわれることとなる。第一の周波数のマイクロ波１６によって、発熱部材３０の発熱が、処理対象物２の発熱よりも高くなる。一方、第二の周波数のマイクロ波１７によって、第二の周波数のマイクロ波１７による処理対象物２の発熱が、発熱部材３０の発熱よりも高くなる。これにより、処理対象物２は、図６（ｄ）に示すように、第一の周波数のマイクロ波１６の照射に応じて発熱部材３０からの輻射熱によって外側から加熱されるとともに、第二の周波数のマイクロ波１７の照射に応じて直接加熱される。 At the point C, the microwaves 16 of the first frequency are irradiated from the first frequency irradiation unit 204 to perform the first microwave irradiation, and the second frequency irradiation unit 205 emits the microwaves of the second frequency. Microwaves 17 are applied to perform the second microwave irradiation. The heat generation of the heating member 30 becomes higher than the heat generation of the processing object 2 by the microwave 16 of the first frequency. On the other hand, due to the microwaves 17 of the second frequency, the heat generation of the processing object 2 by the microwaves 17 of the second frequency is higher than the heat generation of the heat generating member 30 . As a result, as shown in FIG. 6D, the processing object 2 is heated from the outside by the radiant heat from the heating member 30 in response to the irradiation of the microwaves 16 of the first frequency, and is heated to the second frequency. is directly heated in response to the irradiation of the microwaves 17 of the .

各地点Ａ～Ｃに照射されるマイクロ波１６および１７の出力は、例えば、それぞれの地点の近傍に設けられたセンサ４０が取得する処理対象物２の温度の情報に応じて、制御手段５２がそれぞれの地点にマイクロ波を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力を制御することによって、フィードバック制御される。 The output of the microwaves 16 and 17 irradiated to each point A to C is controlled by the control means 52 according to the temperature information of the processing object 2 acquired by the sensor 40 provided near each point, for example. Feedback control is performed by controlling the outputs of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 that irradiate microwaves to respective points.

なお、地点Ｃに対して、異なる周波数のマイクロ波１６および１７を照射する第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の出力を個別に変更することで、地点Ｃにおける発熱部材３０の発熱量と、処理対象物２の発熱量との比率を制御することができる。例えば、第一周波数照射部２０４が出力する第一の周波数のマイクロ波１６の出力だけを高くすることで、発熱部材３０の発熱量を処理対象物２の発熱量に対して高くすることができ、第二周波数照射部２０５が出力する第二の周波数のマイクロ波１７の出力だけを高くすることで、処理対象物２の発熱量を発熱部材３０の発熱量に対して高くすることができる。 Note that by individually changing the outputs of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 that irradiate the microwaves 16 and 17 of different frequencies with respect to the point C, the heat generation of the heat generating member 30 at the point C The ratio between the amount and the calorific value of the object 2 to be processed can be controlled. For example, by increasing only the output of the first frequency microwave 16 output by the first frequency irradiation unit 204, the heat generation amount of the heat generating member 30 can be increased relative to the heat generation amount of the processing object 2. By increasing only the output of the second frequency microwave 17 output by the second frequency irradiation unit 205 , the amount of heat generated by the object 2 to be processed can be made higher than the amount of heat generated by the heat generating member 30 .

例えば、上記実施の形態において説明したように、移動経路２ａにおける処理対象物２の発熱のピークとなる位置やその近傍において、上記の地点Ａと同様に、発熱部材３０の発熱が処理対象物２よりも高くなる第一の周波数のマイクロ波照射を行なうことで、処理対象物２が発熱のピークに達した場合の急激な加熱を避けて、処理対象物２を適切に処理することが可能となる。また、移動経路２ａのこれ以外の他の位置に対しては、例えば、適宜、第一の周波数のマイクロ波を照射したり、第二の周波数のマイクロ波を照射したり、第一の周波数のマイクロ波と第二の周波数のマイクロ波との両方を照射したりすることによって、移動する処理対象物２に対し、第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを適切に組み合わせて行なうことができ、処理対象物２に対して所望の加熱を行なうことができる。 For example, as described in the above embodiment, at or near the position where the heat generation of the processing object 2 peaks on the movement path 2a, the heat generation of the heat generating member 30 is similar to the above point A, and the processing object 2 By irradiating microwaves with a first frequency that is higher than the above, it is possible to appropriately process the object 2 by avoiding sudden heating when the object 2 reaches the heat generation peak. Become. Further, other positions on the movement route 2a may be irradiated with microwaves of the first frequency, microwaves of the second frequency, microwaves of the first frequency, or microwaves of the first frequency. Appropriately combining the first microwave irradiation and the second microwave irradiation to the moving processing object 2 by irradiating both the microwave and the microwave of the second frequency The desired heating can be performed on the object 2 to be processed.

なお、この具体例における第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５との配置等は一例であり、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５の配置や数等は問わない。マイクロ波処理装置１ｂは、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５のそれぞれを少なくとも１以上有していればよい。例えば、複数の第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を容器１０に対して取付けるようにしてもよい。 Note that the arrangement and the like of the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 in this specific example are examples, and the arrangement, number, etc. of the first frequency irradiation section 204 and the second frequency irradiation section 205 do not matter. The microwave processing device 1b may have at least one first frequency irradiation unit 204 and at least one second frequency irradiation unit 205, respectively. For example, a plurality of first frequency irradiation units 204 and second frequency irradiation units 205 may be attached to the container 10 .

また、上記具体例において、地点Ｃと同様に、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とを、複数の地点のそれぞれに対してマイクロ波を照射する照射部として設けるようにして、この複数の地点のうちの一以上の地点に対して、異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。また、この場合において、一の地点に対して、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とのうちの一方だけからマイクロ波を照射することで、いずれか一方の周波数のマイクロ波だけを照射できるようにしてもよく、一の地点に対してマイクロ波を照射する照射部を、第一周波数照射部２０４と第二周波数照射部２０５とで切替えることで、一の地点に対して照射するマイクロ波の周波数を変更できるようにしてもよい。 Further, in the above specific example, similarly to the point C, the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 are provided as irradiation units for irradiating microwaves to each of the plurality of points, Microwaves of different frequencies may be irradiated to one or more points among the plurality of points. Further, in this case, by irradiating microwaves from only one of the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205 to one point, microwaves of only one frequency By switching the irradiation unit that irradiates microwaves to one point between the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205, irradiation to one point You may enable it to change the frequency of the microwave which carries out.

また、上記具体例において、第一周波数照射部２０４および第二周波数照射部２０５を設ける代わりに、周波数を変更可能な複数の照射部（図示せず）を、例えば、移動経路２ａに沿って設けるようにし、それぞれから、それぞれの位置に適した周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。例えば、図６のような地点Ａ～Ｃの上方に、周波数を変更可能な複数の照射部を配置し、地点Ａおよび地点Ｃの上方の照射部から、第一の周波数のマイクロ波を照射し、地点Ｂの上方の照射部から第二の周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。このように、第一の周波数のマイクロ波を照射する一の照射部と、第二の周波数のマイクロ波を照射する一の照射部とを、一の照射部により実現してもよい。 In the above specific example, instead of providing the first frequency irradiation unit 204 and the second frequency irradiation unit 205, a plurality of irradiation units (not shown) capable of changing the frequency are provided, for example, along the movement path 2a. It is also possible to irradiate microwaves of frequencies suitable for the respective positions from each of them. For example, above points A to C as shown in FIG. 6, a plurality of irradiation units that can change the frequency are arranged, and microwaves of a first frequency are irradiated from the irradiation units above points A and C. , the microwave of the second frequency may be emitted from an irradiation unit above the point B. In this manner, one irradiating unit that irradiates microwaves of the first frequency and one irradiating unit that irradiates microwaves of the second frequency may be realized by one irradiating unit.

また、この場合、それぞれの照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、適宜変更するようにしてもよい。例えば、地点Ｂの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、処理対象物２の材質や太さ、移動速度等に応じて、地点Ｂの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を第二の周波数から第一の周波数に変更するようにし、地点Ｃの上方の照射部から照射されるマイクロ波の周波数を、第一の周波数から第二の周波数に変更するようにしてもよい。また、センサ４０が取得する温度の情報等に応じて、各照射部が照射するマイクロ波の周波数を変更してもよい。 Further, in this case, the frequencies of the microwaves emitted from the respective irradiating units may be appropriately changed. For example, the frequency of the microwaves irradiated from the irradiation unit above the point B is changed according to the material, thickness, moving speed, etc. of the object 2 to be processed. Even if the frequency is changed from the second frequency to the first frequency, and the frequency of the microwave irradiated from the irradiation unit above the point C is changed from the first frequency to the second frequency good. Further, the frequency of the microwaves emitted by each irradiating unit may be changed according to temperature information or the like acquired by the sensor 40 .

また、１以上のそれぞれの地点に対してマイクロ波を照射する照射部（図示せず）を複数設けるとともに、各照射部を、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な照射部とし、それぞれの地点にマイクロ波を照射する複数の照射部のマイクロ波の周波数を異なる周波数とすることで、各地点に対して、異なる周波数のマイクロ波を照射できるようにしてもよい。また、この場合、一の地点に対してマイクロ波を照射する複数の照射部のマイクロ波を同じ周波数のマイクロ波としたり、一の照射部だけがマイクロ波を照射するようにしたりすることで、異なる周波数のマイクロ波を照射する必要がない地点に対しては、一の周波数のマイクロ波だけを照射できるようにしてもよい。 In addition, a plurality of irradiation units (not shown) that irradiate microwaves to one or more points are provided, and each irradiation unit is an irradiation unit that can change the frequency of the microwave to be irradiated, and each point By setting the frequencies of the microwaves of the plurality of irradiation units that irradiate the microwaves to different frequencies, each point may be irradiated with microwaves of different frequencies. Further, in this case, the microwaves of the plurality of irradiating units that irradiate microwaves to one point are microwaves of the same frequency, or only one irradiating unit irradiates microwaves, Only microwaves of one frequency may be irradiated to points that do not need to be irradiated with microwaves of different frequencies.

以上、本実施の形態においては、容器内に異なる周波数のマイクロ波を照射して第一のマイクロ波照射と、第二のマイクロ波照射とを行なうようにしたので、マイクロ波を用いて処理対象物を適切に処理することができる。例えば、マイクロ波によって発熱させた発熱部材による処理対象物の外側からの加熱と、マイクロ波によって処理対象物を発熱させることによる処理対象物の直接加熱とを組み合わせや比率を制御して、適切な加熱を行なうことができる。 As described above, in the present embodiment, the first microwave irradiation and the second microwave irradiation are performed by irradiating microwaves of different frequencies into the container. You can handle things properly. For example, by controlling the combination or ratio of heating from the outside of the object to be processed by a heat-generating member heated by microwaves and direct heating of the object by heating the object by microwaves, Heating can be performed.

なお、上記実施の形態３において、マイクロ波照射手段２２は、発熱部材３０に対するマイクロ波の損失が、処理対象物２に対する損失よりも大きくなる周波数のマイクロ波を照射する第一のマイクロ波照射と、発熱部材３０に対する損失が、処理対象物２に対する損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を照射する第二のマイクロ波照射とを、上記の第一のマイクロ波照射と第二のマイクロ波照射との代わりに行なうようにしてもよい。ここでのマイクロ波の損失は、マイクロ波による発熱部材３０や、処理対象物２の発熱と考えても良い。マイクロ波の損失は、例えば、比誘電損失等で表すことができる。比誘電損失とは、複素誘電率の虚部ε"である。通常、比誘電損失が大きくなると、マイクロ波照射による発熱が大きくなり、比誘電損失が小さくなると、マイクロ波照射による発熱が小さくなる。このような第一のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、上述した第一の周波数と考えるようにしてもよい。また、このような第二のマイクロ波照射において照射するマイクロ波の周波数を、上述した第二の周波数と考えるようにしてもよい。なお、ここでの発熱部材３０の比誘電損失は、発熱部材３０の加熱媒体３０１の比誘電損失と考えてもよい。 In the above-described Embodiment 3, the microwave irradiation means 22 is the first microwave irradiation that irradiates the microwave with a frequency at which the loss of the microwave to the heat generating member 30 is greater than the loss to the object 2 to be processed. , and the second microwave irradiation for irradiating microwaves having a frequency at which the loss to the heat generating member 30 is smaller than the loss to the processing object 2, the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. can be done instead of The microwave loss here may be considered as heat generation of the heating member 30 or the processing object 2 due to microwaves. Loss of microwaves can be represented by, for example, relative dielectric loss. The relative dielectric loss is the imaginary part ε″ of the complex dielectric constant. Normally, the larger the relative dielectric loss, the larger the heat generated by microwave irradiation, and the smaller the relative dielectric loss, the smaller the heat generated by microwave irradiation. The frequency of the microwaves irradiated in such first microwave irradiation may be considered as the above-mentioned first frequency.Furthermore, the frequency of microwaves irradiated in such second microwave irradiation may be The frequency may be considered as the second frequency described above, and the relative dielectric loss of the heat-generating member 30 may be considered as the relative dielectric loss of the heating medium 301 of the heat-generating member 30 .

なお、上記において、容器１０ｄが複数のキャビティを有するようにし、キャビティ毎に、例えば、第一周波数照射部２０４または第二周波数照射部２０５のいずれか一方を１または２以上取付けるようにして、各キャビティ内に異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。このような構成により、処理対象物２に対して各キャビティ内で異なる周波数のマイクロ波を照射することができ、照射する異なる周波数のマイクロ波の出力等が制御しやすくなる。 In the above, the container 10d has a plurality of cavities, and for each cavity, for example, one or more of the first frequency irradiation unit 204 or the second frequency irradiation unit 205 is attached. Microwaves of different frequencies may be radiated into the cavity. With such a configuration, it is possible to irradiate the object 2 with microwaves of different frequencies in the respective cavities, making it easier to control the output of the microwaves of different frequencies to be radiated.

また、上記実施の形態においては、処理対象物を容器内において移動させる場合を例に挙げて説明したが、処理対象物２を容器１０ｄ内に移動させないようにするとともに、容器１０ｄ内に照射されるマイクロ波の周波数を経時的に変更することで、発熱部材３０を加熱するための第一のマイクロ波照射と、処理対象物２を加熱するための第二のマイクロ波照射とを時間単位で切替えて行なうようにして、処理対象物２に対する発熱部材３０からの加熱と、処理対象物２に対するマイクロ波による直接加熱とを、時間単位で切替えて行なうようにしても良い。 In the above embodiment, the case where the object to be processed is moved within the container has been described as an example. The first microwave irradiation for heating the heat-generating member 30 and the second microwave irradiation for heating the processing object 2 are performed in units of time by changing the frequency of the microwave over time. The heating of the object to be processed 2 by the heating member 30 and the direct heating of the object to be processed 2 by the microwaves may be switched in units of time.

なお、上記実施の形態３においては、マイクロ波照射手段２２が、異なる二つの周波数のマイクロ波を照射する場合について説明したが、マイクロ波照射手段２２が、三以上の異なる周波数のマイクロ波を照射できるようにしてもよい。例えば、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の周波数が異なる三以上の照射部をそれぞれ一以上有していても良い。また、マイクロ波照射手段２２が、照射するマイクロ波の周波数を変更可能な三以上の照射部を有するようにし、この照射部のうちの三以上が、異なる周波数のマイクロ波を照射するようそれぞれが照射するマイクロ波の周波数を制御するようにしてもよい。また、上記実施の形態において、複数の照射部の共用可能な部分については、共用できるようにしてもよい。 In the third embodiment, the microwave irradiation means 22 irradiates microwaves with two different frequencies, but the microwave irradiation means 22 irradiates microwaves with three or more different frequencies. You may make it possible. For example, the microwave irradiating means 22 may have one or more three or more irradiating units that irradiate different frequencies of microwaves. Further, the microwave irradiation means 22 has three or more irradiation units capable of changing the frequency of the microwave to be irradiated, and three or more of these irradiation units are configured to irradiate microwaves of different frequencies. You may make it control the frequency of the microwave to irradiate. Further, in the above-described embodiment, portions that can be shared by a plurality of irradiation units may be shared.

また、上記実施の形態２において、上記実施の形態３において説明したように、第一のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が、第一の周波数のマイクロ波を照射するようにし、第二のマイクロ波照射を行なう２以上の照射部２０３が、第二の周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。 Further, in the second embodiment, as described in the third embodiment, the two or more irradiation units 203 that perform the first microwave irradiation irradiate microwaves of the first frequency. Two or more irradiation units 203 that perform two microwave irradiations may irradiate microwaves of the second frequency.

（変形例１）
なお、上記実施の形態３のマイクロ波処理装置１ｂにおいて、容器１０ｄ内に、上記実施の形態１と同様に処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に１または２以上の発熱部材３０を設けるようにし、マイクロ波照射手段２２が、移動経路２ａの１以上の発熱部材３０が設けられている部分に対してマイクロ波を照射して発熱部材３０を加熱する第一のマイクロ波照射と、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない１以上の部分に対して、第一のマイクロ波照射とは異なる周波数のマイクロ波を照射して処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射と、を行うようにしてもよい。言い換えれば、マイクロ波照射手段２２が、移動経路２ａの１以上の発熱部材３０が設けられている部分と、移動経路２ａの発熱部材３０が設けられていない１以上の部分とに、異なる周波数のマイクロ波を照射するようにしてもよい。 (Modification 1)
In the microwave processing apparatus 1b of the third embodiment, one or two or more heat generating members 30 are partially provided in the container 10d along the movement path 2a of the object 2 to be processed, as in the first embodiment. and a first microwave irradiation in which the microwave irradiation means 22 heats the heat-generating members 30 by irradiating microwaves to a portion of the movement path 2a where one or more heat-generating members 30 are provided; , second microwave irradiation for heating the object to be processed by irradiating microwaves having a frequency different from that of the first microwave irradiation to one or more portions of the movement path 2a where the heat generating member 30 is not provided. and may be performed. In other words, the microwave irradiating means 22 applies different frequencies to a portion of the movement path 2a where the one or more heat generating members 30 are provided and one or more portions of the movement path 2a where the heat generating members 30 are not provided. You may make it irradiate a microwave.

なお、この場合において、第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数を、発熱部材３０に対する比誘電損失が、処理対象物２に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数とすることが好ましい。また、第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数は、処理対象物２に対する比誘電損失が、発熱部材３０に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数とすることが好ましい。ただし、第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数は、処理対象物２に対する比誘電損失が、発熱部材３０に対する比誘電損失よりも大きくならない周波数であってもよい。 In this case, it is preferable that the frequency of the microwave used for the first microwave irradiation be such that the relative dielectric loss to the heating member 30 is greater than the relative dielectric loss to the object 2 to be processed. Moreover, it is preferable that the frequency of the microwave used for the second microwave irradiation be a frequency at which the relative dielectric loss to the processing object 2 is greater than the relative dielectric loss to the heating member 30 . However, the frequency of the microwaves used for the second microwave irradiation may be a frequency at which the relative dielectric loss to the processing object 2 does not become larger than the relative dielectric loss to the heating member 30 .

図８（ａ）は、このようなマイクロ波処理装置１ｂの変形例の一例を説明するための模式図である。このマイクロ波処理装置１ｂは、実施の形態３のマイクロ波処理装置１ｂにおいて、容器１０ｄ内に、処理対象物２の移動経路２ａに沿って部分的に、実施の形態２の変形例において説明したような２つの発熱部材３０である発熱部材３０ｄおよび３０ｅを予め決められた間隔を隔てて設置するとともに、マイクロ波照射手段２２が、照射部２０４および照射部２０５の代わりに、異なる位置から、異なる周波数のマイクロ波を照射する２つの照射部２０６ａおよび照射部２０６ｂを備えるようにしたものである。なお、図８（ａ）においては、容器、センサ、および制御手段等は図示を省略している。図中の実線矢印は、照射部２０６ａおよび照射部２０６ｂが照射するマイクロ波を模式的に示している。 FIG. 8(a) is a schematic diagram for explaining an example of a modification of such a microwave processing apparatus 1b. In the microwave processing device 1b of the third embodiment, the microwave processing device 1b is partially inside the container 10d along the movement path 2a of the object 2 to be processed, as described in the modification of the second embodiment. The heat generating members 30d and 30e, which are two heat generating members 30 such as the above, are installed at a predetermined interval, and the microwave irradiation means 22, instead of the irradiation section 204 and the irradiation section 205, emits light from different positions from different positions. It is provided with two irradiating units 206a and 206b for irradiating frequency microwaves. Note that illustration of the container, the sensor, the control means, and the like is omitted in FIG. 8(a). Solid arrows in the figure schematically indicate microwaves emitted by the irradiation units 206a and 206b.

照射部２０６ａは、図８（ａ）に示すように、発熱部材３０ｄにマイクロ波が照射可能となる位置（例えば、図示しない容器の発熱部材３０ｄの側面に対向する位置）に取付けられ、発熱部材３０ｄに対する比誘電損失が、処理対象物２に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数のマイクロ波を出射することで、第一のマイクロ波照射を行う。照射部２０６ｂは、図８（ａ）に示すように、発熱部材３０ｄと発熱部材３０ｅとの間の、発熱部材３０が設けられていない部分に位置する処理対象物２にマイクロ波が照射可能となる位置（例えば、図示しない容器の発熱部材３０ｄと発熱部材３０ｅとの間の発熱部材３０が設けられていない領域に対向する位置）に取付けられ、第一のマイクロ波照射とは異なる周波数のマイクロ波を出射することで第二のマイクロ波照射を行う。照射部２０６ａおよび２０６ｂは、上記のような周波数のマイクロ波を照射可能な、照射部２０４や照射部２０５等と同様の照射部が利用可能である。 As shown in FIG. 8A, the irradiation unit 206a is attached to a position where the heat generating member 30d can be irradiated with microwaves (for example, a position facing the side surface of the heat generating member 30d of a container (not shown)). The first microwave irradiation is performed by emitting microwaves having a frequency at which the relative dielectric loss for 30d is greater than the relative dielectric loss for the object 2 to be processed. As shown in FIG. 8A, the irradiating unit 206b can irradiate microwaves to the processing object 2 located in a portion where the heat generating member 30 is not provided between the heat generating member 30d and the heat generating member 30e. (for example, a position facing an area where the heat generating member 30 is not provided between the heat generating member 30d and the heat generating member 30e of the container (not shown)), and a microwave with a frequency different from that of the first microwave irradiation Second microwave irradiation is performed by emitting waves. As the irradiation units 206a and 206b, irradiation units similar to the irradiation unit 204, the irradiation unit 205, etc. that can irradiate microwaves of the above frequencies can be used.

図８（ａ）に示したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、照射部２０６ａが第一のマイクロ波照射を行うと、照射されたマイクロ波が発熱部材３０ｄと重なる位置５００ａにおいては、第一のマイクロ波照射に用いられる周波数によって発熱部材３０ｄに対する比誘電損失が、処理対象物２に対する比誘電損失よりも大きくなるため、発熱部材３０ｄの位置５００ａの内側に位置する処理対象物２よりも加熱効率が高くなり、発熱部材３０ｄを効率良く加熱して、内側の処理対象物２を、加熱された発熱部材３０ｄによって外側から効率良く加熱できる。また、発熱部材３０ｄの位置５００ａの内側においては、処理対象物２に対する直接加熱を抑えることができる。また、照射部２０６ｂが第二のマイクロ波照射を行うと、照射されたマイクロ波が、発熱部材が設けられていない部分に位置する処理対象物２と重なる位置５００ｂにおいては、発熱部材３０が設けられていないため、処理対象物２の直接加熱だけを行うことができる。なお、照射部２０６ｂが照射する第二のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数を、処理対象物２に対する比誘電損失が大きい周波数とすることで、処理対象物２の直接加熱する加熱効率を向上させることができる。なお、図８（ａ）において示す位置５００ａおよび位置５００ｂは、説明のための位置であり、実際のマイクロ波が照射される位置等を厳密に示すものではない。かかることは、後述する図８（ｂ）～図８（ｄ）においても同様である。また、かかることは、後述する位置５００ｃについても同様である。 In the microwave processing apparatus 1b shown in FIG. 8A, when the irradiation unit 206a performs the first microwave irradiation, the first microwave Depending on the frequency used for irradiation, the relative dielectric loss to the heat generating member 30d becomes greater than the relative dielectric loss to the processing object 2, so the heating efficiency is higher than that of the processing object 2 located inside the position 500a of the heat generating member 30d. As a result, the heat generating member 30d can be efficiently heated, and the inner processing object 2 can be efficiently heated from the outside by the heated heat generating member 30d. In addition, direct heating of the processing object 2 can be suppressed inside the position 500a of the heat generating member 30d. Further, when the irradiation unit 206b performs the second microwave irradiation, the heat-generating member 30 is provided at the position 500b where the irradiated microwave overlaps the processing object 2 located in the portion where the heat-generating member is not provided. Since it is not heated, only direct heating of the object to be treated 2 can take place. In addition, by setting the frequency of the microwave used for the second microwave irradiation emitted by the irradiation unit 206b to a frequency at which the relative dielectric loss of the processing object 2 is large, the heating efficiency of directly heating the processing object 2 can be improved. can be improved. Note that the positions 500a and 500b shown in FIG. 8(a) are positions for explanation, and do not strictly indicate the positions where the microwaves are actually irradiated. This also applies to FIGS. 8(b) to 8(d), which will be described later. Moreover, this also applies to a position 500c, which will be described later.

このように、この変形例においては、発熱部材３０と、発熱部材３０が設けられていない領域に位置する処理対象物２とに、異なる周波数のマイクロ波を照射することで、処理対象物２に対して、発熱部材３０が設けられている位置と、設けられていない位置とで、それぞれ所望の加熱を行うことが可能となる。特に、発熱部材３０に対して、発熱部材３０ｄに対する比誘電損失が、処理対象物２に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数を照射することで、発熱部材３０が設けられている部分における処理対象物２に対する加熱を抑えることができる。 Thus, in this modification, by irradiating the heating member 30 and the processing object 2 located in the region where the heating member 30 is not provided with microwaves of different frequencies, the processing object 2 is On the other hand, desired heating can be performed at the position where the heat generating member 30 is provided and at the position where it is not provided. In particular, by irradiating the heating member 30 with a frequency at which the relative dielectric loss of the heating member 30d is greater than the relative dielectric loss of the processing object 2, the processing object in the portion where the heating member 30 is provided 2 can be suppressed.

（変形例２）
なお、上記の変形例１において説明したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、マイクロ波照射手段２２が、上記の第一のマイクロ波照射と第二のマイクロ波照射とに加えて、更に、部分的に設けられた発熱部材３０に対する比誘電損失が処理対象物２に対する比誘電損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を、発熱部材３０が設けられている部分に照射して、この発熱部材３０が設けられている部分の処理対象物を加熱する第三のマイクロ波照射を行うようにしてもよい。 (Modification 2)
In addition, in the microwave processing apparatus 1b described in the above modification 1, the microwave irradiation means 22 is partially provided in addition to the first microwave irradiation and the second microwave irradiation. A portion where the heat-generating member 30 is provided is irradiated with a microwave having a frequency at which the relative dielectric loss of the heat-generating member 30 is smaller than the relative dielectric loss of the object 2 to be processed. A third microwave irradiation may be performed to heat the portion of the object to be processed.

図８（ｂ）～図８（ｄ）は、このような第三のマイクロ波照射を更に行うようにしたマイクロ波処理装置１ｂの変形例を説明するための、発熱部材３０ｄおよび発熱部材３０ｅとその近傍を示す模式図であり、図８（ａ）と同一符号は同一または相当する部分を示す。図において、照射部２０６ｃは、発熱部材３０に対する比誘電損失が、処理対象物２に対する比誘電損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を、発熱部材３０が設けられている部分に照射することにより、第三のマイクロ波照射を行う。照射部２０６ｃとしては、上記のような周波数のマイクロ波を照射可能な、照射部２０４や照射部２０５等と同様の照射部が利用可能である。照射部２０６ｃは、容器（図示せず）に対して取付けられている。図中の実線矢印は、照射部２０６ａおよび照射部２０６ｂが照射するマイクロ波を模式的に示しており、点線矢印は、発熱部材３０を透過したマイクロ波を模式的に示している。なお、図において、後述する位置５００ｃは、発熱部材３０ｄの内側の位置を表しているものとする。 FIGS. 8(b) to 8(d) show a heat-generating member 30d and a heat-generating member 30e for explaining a modification of the microwave processing apparatus 1b in which such third microwave irradiation is further performed. It is a schematic diagram showing the vicinity thereof, and the same reference numerals as those in FIG. 8A indicate the same or corresponding parts. In the figure, the irradiating unit 206c irradiates a portion where the heat generating member 30 is provided with a microwave having a frequency in which the relative dielectric loss of the heat generating member 30 is smaller than the relative dielectric loss of the object 2 to be processed. A third microwave irradiation is performed. As the irradiating unit 206c, an irradiating unit similar to the irradiating unit 204, the irradiating unit 205, etc., capable of irradiating microwaves of the above frequencies can be used. The irradiation unit 206c is attached to a container (not shown). Solid-line arrows in the figure schematically indicate the microwaves emitted by the irradiation units 206 a and 206 b , and dotted-line arrows schematically indicate the microwaves transmitted through the heat-generating member 30 . In the figure, a position 500c, which will be described later, represents a position inside the heat generating member 30d.

図８（ｂ）に示すように、発熱部材３０ｄの、照射部２０６ａからの第一のマイクロ波照射によって照射されたマイクロ波が重なる位置５００ａとは異なる位置にマイクロ波が照射されるよう、照射部２０６ｃを、容器（図示せず）の発熱部材３０ｄの側面に対向する位置に取付けたとする。なお、ここでは、照射部２０６ｃが照射したマイクロ波が発熱部材３０ｄと重なる位置が、位置５００ａよりも発熱部材３０ｅ側となるように、照射部２０６を取付けた場合を例に挙げて説明するが、照射部２０６ｃが照射したマイクロ波が発熱部材３０ｄと重なる位置が、位置５００ａよりも発熱部材３０ｅから離れた位置となるように、照射部２０６を取付けてもよい。 As shown in FIG. 8B, irradiation is performed so that the microwaves are irradiated to a position different from the position 500a where the microwaves irradiated by the first microwave irradiation from the irradiation unit 206a of the heating member 30d overlap. Assume that the portion 206c is attached to a position facing the side surface of the heat generating member 30d of the container (not shown). Here, the case where the irradiation unit 206 is attached so that the position where the microwave irradiated by the irradiation unit 206c overlaps the heat generating member 30d is closer to the heat generating member 30e than the position 500a will be described as an example. Alternatively, the irradiation unit 206 may be attached such that the position where the microwave irradiated by the irradiation unit 206c overlaps with the heat generating member 30d is located farther from the heat generating member 30e than the position 500a.

図８（ｂ）に示したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、図８（ａ）のマイクロ波処理装置１ｂと同様に、照射部２０６ａが第一のマイクロ波照射を行うと、照射されたマイクロ波が発熱部材３０ｄと重なる位置５００ａにおいては、発熱部材３０ｄが効率良く加熱され、この位置５００ａの内側となる部分の処理対象物２の直接加熱を抑えることができる。また、照射部２０６ｂが第二のマイクロ波照射を行うと、照射されたマイクロ波が、発熱部材が設けられていない領域の処理対象物２と重なる位置５００ｂにおいては、処理対象物２の直接加熱だけを行うことができる。更に、照射部２０６ｃが第三のマイクロ波照射が行うと、第三のマイクロ波照射に用いられる周波数により、処理対象物２に対する比誘電損失が、発熱部材３０ｄに対する比誘電損失よりも大きくなるため、発熱部材３０ｄの内側に位置する処理対象物２の、照射部２０６ｃから照射されたマイクロ波と重なる位置５００ｃにおいては、処理対象物２の加熱効率が高くなり、内側の処理対象物２を効率良く直接加熱できる。また、照射部２０６ｃから照射されるマイクロ波が、発熱部材３０ｄと重なる部分においては、加熱効率が低くなるため、照射部２０６ｃからのマイクロ波照射による処理対象物２の外側の発熱部材３０ｄの加熱を抑えて、加熱された発熱部材３０ｄによる処理対象物２に対する外側からの加熱を抑えることができる。 In the microwave processing apparatus 1b shown in FIG. 8B, similarly to the microwave processing apparatus 1b in FIG. 8A, when the irradiation unit 206a performs the first microwave irradiation, the irradiated microwave is At the position 500a overlapping the heat generating member 30d, the heat generating member 30d is efficiently heated, and direct heating of the processing object 2 inside the position 500a can be suppressed. Further, when the irradiation unit 206b performs the second microwave irradiation, the irradiated microwave directly heats the processing object 2 at the position 500b overlapping the processing object 2 in the region where the heat generating member is not provided. can only do Furthermore, when the irradiation unit 206c performs the third microwave irradiation, the relative dielectric loss to the processing object 2 becomes larger than the relative dielectric loss to the heat generating member 30d due to the frequency used for the third microwave irradiation. , the heating efficiency of the processing object 2 becomes high at a position 500c where the microwave irradiated from the irradiation unit 206c overlaps with the processing object 2 located inside the heat generating member 30d. Can be heated directly. In addition, since the heating efficiency of the portion where the microwave irradiated from the irradiation unit 206c overlaps with the heat generating member 30d is low, the heat generating member 30d outside the processing object 2 is heated by the microwave irradiation from the irradiation unit 206c. can be suppressed, and heating of the processing object 2 from the outside by the heated heat generating member 30d can be suppressed.

このように、この変形例においては、第一のマイクロ波照射、第二のマイクロ波照射、および第三のマイクロ波照射とを行うことで、処理対象物２に対する加熱を、適切に行うことができる。 Thus, in this modification, by performing the first microwave irradiation, the second microwave irradiation, and the third microwave irradiation, the object 2 to be processed can be appropriately heated. can.

なお、図８（ｂ）を用いて説明したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａと、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃとの、処理対象物２の移動経路２ａに沿った方向における位置が同じ位置となるように、マイクロ波を照射するようにしてもよい。例えば、図８（ｃ）に示すように、図８（ｂ）を用いて説明したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、第一のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される位置と、第二のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される位置とが移動経路２ａに沿った方向において同じ位置となるように、照射部２０６ａと、照射部２０６ｃとを、それぞれのマイクロ波を出射する位置が、発熱部材３０ｄを介して対向する位置となるよう、容器（図示せず）に取付けるようにして、位置５００ａと、位置５００ｃとの、処理対象物２の移動経路２ａに沿った方向における位置が同じ位置となるようにもよい。ただし、マイクロ波が照射される位置の処理対象物２の移動経路２ａに沿った方向における位置が同じ位置となるように第一のマイクロ波照射と第二のマイクロ波照射とを行うことができれば、照射部２０６ａと照射部２０６ｃとの配置は、上記に限定されるものではない。例えば、照射部２０６ａおよび照射部２０６ｃを、それぞれのマイクロ波を出射する位置が、処理対象物２の移動経路２ａに沿った方向における位置が同じ位置となり、かつ、発熱部材３０ｄを介して対向しないように、容器に取付けても良い。また、上記において、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａと、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃとの容器１０ｄの幅方向における位置も、同じ位置となるように、マイクロ波を照射するようにしても良い。なお、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａは、第一のマイクロ波照射によって一の発熱部材３０が加熱される位置と考えても良く、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃは、第三のマイクロ波照射によって一の発熱部材３０が設けられている部分に位置する処理対象物２が加熱される位置と考えてもよい。かかることは、以下においても同様である。 In the microwave processing apparatus 1b described with reference to FIG. 8(b), a position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and a position where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation The microwave may be irradiated so that the position in the direction along the movement path 2a of the object 2 to be processed is the same as the position 500c. For example, as shown in FIG. 8C, in the microwave processing apparatus 1b described with reference to FIG. The positions from which the microwaves are emitted from the irradiation units 206a and 206c are aligned with the heating member 30d so that the positions at which the microwaves are irradiated by the irradiation are the same positions in the direction along the moving path 2a. The position 500a and the position 500c in the direction along the moving path 2a of the object 2 to be processed are the same position by attaching to a container (not shown) so that they are opposed to each other via the as good as However, if the first microwave irradiation and the second microwave irradiation can be performed so that the position in the direction along the movement path 2a of the object 2 to be processed at the position irradiated with the microwave is the same. , the arrangement of the irradiation unit 206a and the irradiation unit 206c is not limited to the above. For example, the irradiation unit 206a and the irradiation unit 206c emit microwaves at the same position in the direction along the movement path 2a of the processing object 2 and do not face each other via the heat generating member 30d. It may be attached to the container as follows. Further, in the above description, the position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and the position 500c where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation are also the same position in the width direction of the container 10d. You may make it irradiate a microwave so that it may become. Note that the position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation may be considered as the position where the one heat generating member 30 is heated by the first microwave irradiation, and the microwave is irradiated by the third microwave irradiation. The wave-irradiated position 500c may be considered as a position where the processing object 2 located in the portion where one heat-generating member 30 is provided is heated by the third microwave irradiation. This also applies to the following.

また、図８（ｂ）を用いて説明したマイクロ波処理装置１ｂにおいて、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａと、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃとが、異なる発熱部材３０が設けられている部分に位置するようにしても良い。例えば、図８（ｄ）に示すように、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａが、発熱部材３０ｄが設けられている部分に位置し、第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃが、発熱部材３０ｅが設けられている部分に位置するようにしてもよい。この場合、例えば、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａが、発熱部材３０ｄが設けられている部分に位置するよう、照射部２０６ａを、発熱部材３０ｄの側面に対向する位置に配置するようにし、第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃが、発熱部材３０ｅが設けられている部分に位置するよう、照射部２０６ｃを、発熱部材３０ｅの側面に対向する位置に配置するようにすればよい。ただし、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ａと、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置５００ｃとが、異なる発熱部材３０が設けられている部分に位置するようマイクロ波が照射可能であれば、照射部２０６ａと照射部２０６ｃとの配置は上記に限定されるものではない。 Further, in the microwave processing apparatus 1b described with reference to FIG. 8B, a position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and a position where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation 500c may be positioned at a portion where a different heat generating member 30 is provided. For example, as shown in FIG. 8(d), a position 500a where microwaves are irradiated by the first microwave irradiation is located in a portion where the heat generating member 30d is provided, and microwaves are irradiated by the second microwave irradiation. A position 500c irradiated with waves may be positioned at a portion where the heat generating member 30e is provided. In this case, for example, the irradiation section 206a is placed at a position facing the side surface of the heat generating member 30d so that the position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation is positioned at the portion where the heat generating member 30d is provided. , and the irradiating part 206c is opposed to the side surface of the heat-generating member 30e so that the position 500c where the microwave is irradiated by the second microwave irradiation is located in the portion where the heat-generating member 30e is provided. It should be placed in position. However, the position 500a where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and the position 500c where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation are located in different portions where the heat generating member 30 is provided. The arrangement of the irradiation unit 206a and the irradiation unit 206c is not limited to the above, as long as it is possible to irradiate such microwaves.

なお、上記においては、発熱部材３０が２つである場合を例に挙げて説明したが、図８（ａ）のように、第三のマイクロ波照射を行わない場合や、図８（ｂ）および図８（ｃ）のように、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置と、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置とを、同じ発熱部材３０が設けられている部分に位置するようにする場合や、異なる発熱部材にマイクロ波を照射する必要がない場合、発熱部材３０は、１以上であればよい。また、２以上の発熱部材３０のうちの少なくとも一部の長さや材質等は同じであっても良く、異なっていても良い。 In the above description, the case where the number of the heat generating members 30 is two has been described as an example. And as shown in FIG. 8(c), the same heat-generating member 30 is provided for the position where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and the position where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation. If the heat generating member 30 is positioned at a portion where the heat generating member 30 is located, or if there is no need to irradiate microwaves to different heat generating members, the number of heat generating members 30 may be one or more. Moreover, the length, material, etc. of at least a portion of the two or more heat generating members 30 may be the same or may be different.

また、図８（ｃ）のように、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置と、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置と、を異なる発熱部材３０が設けられている部分に配置する場合、発熱部材３０は、２以上であればよい。 Further, as shown in FIG. 8(c), a heat-generating member 30 is provided in which the position irradiated with microwaves by the first microwave irradiation and the position irradiated with microwaves by the third microwave irradiation are different. When the heating member 30 is arranged in the portion where the heat generating member 30 is located, two or more heat generating members 30 may be provided.

また、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される発熱部材３０と、第二のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される発熱部材が設けられていない領域とは、図８（ｂ）のように、隣り合っていても良く、隣り合わなくてもよい。 Further, the heat generating member 30 irradiated with microwaves by the first microwave irradiation and the region where no heat generating members are irradiated with microwaves by the second microwave irradiation are shown in FIG. , they may be adjacent to each other or may not be adjacent to each other.

また、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置と、第三のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置とが、異なる発熱部材３０が設けられている部分に位置しているようにする場合、第一のマイクロ波照射位置と、第三のマイクロ波照射位置とは、発熱部材３０が設けられていない領域を一つだけはさんで隣り合う発熱部材３０であってもよく、発熱部材３０が設けられていない領域を２以上はさんで位置する発熱部材３０であってもよい。 Further, the position where the microwave is irradiated by the first microwave irradiation and the position where the microwave is irradiated by the third microwave irradiation are located in different portions where the heat generating member 30 is provided. In such a case, the first microwave irradiation position and the third microwave irradiation position may be heat generating members 30 that are adjacent to each other with only one region in between where the heat generating member 30 is not provided. , the heat generating members 30 may be located across two or more areas where the heat generating members 30 are not provided.

また、マイクロ波処理装置１ｂが有する照射部２０６ａの数は、１以上であれば、その数は問わない。かかることは、照射部２０６ｂおよび照射部２０６ｃについても同様である。 Moreover, the number of irradiation units 206a included in the microwave processing apparatus 1b is not limited as long as it is one or more. The same applies to the irradiation section 206b and the irradiation section 206c.

また、マイクロ波処理装置１ｂ内の、異なる複数の位置に、第一のマイクロ波照射によってマイクロ波が照射される位置が配置されるよう、マイクロ波照射手段２１がマイクロ波を照射しても良い。例えば、マイクロ波照射手段２１が、異なる複数の位置に、第一のマイクロ波照射を行う複数の照射部２０６ａを有していても良い。かかることは、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置についても同様である。 Further, the microwave irradiation means 21 may irradiate the microwaves so that the positions to which the microwaves are irradiated by the first microwave irradiation are arranged at a plurality of different positions in the microwave processing apparatus 1b. . For example, the microwave irradiation means 21 may have a plurality of irradiation units 206a that perform the first microwave irradiation at a plurality of different positions. The same applies to the second microwave irradiation position and the third microwave irradiation position.

また、上記各実施の形態においては、マイクロ波処理装置を、ＰＡＮ系等の前駆体繊維を処理対象物として、この処理対象物に対して耐炎化処理を行なう場合を例に挙げて説明したが、このマイクロ波処理装置は、前駆体繊維以外の処理対象物に対する処理や、耐炎化処理以外の処理にも利用可能なものであり、このような場合においても上記実施の形態と同様の効果を奏する。例えば、処理対象物の材質等は問わない。例えば、処理対象物は、綿糸、ウール糸、カシミア糸、ポリマー糸、または金属糸等であってもよい。ポリマー糸は、例えば、ナイロン糸、フロロカーボン糸、またはポリエチレン糸等である。例えば、上記のマイクロ波処理装置を、綿糸、ウール糸、カシミア糸等の乾燥等に用いるようにしてもよい。また、例えば、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置を、ポリマー糸や金属糸等の加熱や、焼成、焼結等の処理等に用いるようにしてもよい。また、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置を、耐炎化処理を行なった前駆体繊維の炭化処理、すなわち耐炎化処理を行なった前駆体繊維を用いて炭素繊維を製造する処理に用いてもよい。また、上記各実施の形態のマイクロ波処理装置において、前駆体繊維に対して上述したような耐炎化処理を行なった後、さらに同じ容器内において、炭化処理を行なって炭素繊維を製造してもよい。また、処理対象物２は、繊維状のものに限られるものではなく、例えば、棒状や鎖状、シート状、フィルム状、チューブ状等の他の形状のものであってもよい。また、処理対象物２は、発熱部材内等に配置可能なものや、発熱部材内を移動可能なものであれば、必ずしも所定の方向に向かって連続的に伸びる、あるいは連続的につながった形状を有していなくても良く、例えば、容器内の入口側から出口側に向かって移動するマイクロ波透過性の高い材料で構成されたベルト（図示せず）上に配置された連続していない固体状の物体であってもよく、容器内の入口側から出口側に向かって伸びるマイクロ波透過性の高いガラス等の材料で構成された筒や樋に配置されて移動する液体または粉体等の流体や、ゲル等であってもよい。なお、マイクロ波装置内のマイクロ波照射手段が照射するマイクロ波の数やマイクロ波の照射位置、マイクロ波の出力の強さ、マイクロ波の周波数等は、処理対象物や、処理対象物に対して行なう処理等に応じて適宜設定する。 In each of the above-described embodiments, the microwave processing apparatus has been described as an example in which a precursor fiber such as a PAN-based fiber is subjected to a flameproofing treatment. This microwave treatment apparatus can also be used for treatment of objects other than precursor fibers and for treatment other than flameproofing treatment, and even in such cases, the same effects as those of the above embodiment can be obtained. Play. For example, the material of the object to be processed does not matter. For example, the object to be treated may be cotton thread, wool thread, cashmere thread, polymer thread, metal thread, or the like. Polymer threads are, for example, nylon threads, fluorocarbon threads, or polyethylene threads. For example, the above microwave processing apparatus may be used for drying cotton thread, wool thread, cashmere thread, and the like. Further, for example, the microwave processing apparatus of each of the above-described embodiments may be used for heating, firing, sintering, and the like of polymer threads, metal threads, and the like. Further, the microwave processing apparatus of each of the above-described embodiments may be used for the carbonization process of flame-resistant precursor fibers, that is, the process for producing carbon fibers using the flame-resistant precursor fibers. good. Further, in the microwave processing apparatus of each of the above-described embodiments, carbon fibers may be produced by performing carbonization treatment in the same container after performing the flameproofing treatment as described above on the precursor fibers. good. Moreover, the object 2 to be processed is not limited to a fibrous object, and may be, for example, a rod-like, chain-like, sheet-like, film-like, tube-like, or other shape. In addition, the processing object 2 does not necessarily have a shape that extends continuously in a predetermined direction or that is continuously connected as long as it can be placed inside a heat-generating member or can move inside a heat-generating member. , e.g., a discontinuous belt arranged on a belt (not shown) made of a highly microwave-transparent material that moves from the inlet side to the outlet side in the container. It may be a solid object, and a liquid or powder that moves while being placed in a cylinder or a trough made of a material such as glass with high microwave permeability that extends from the inlet side to the outlet side in the container. fluid, gel, or the like. In addition, the number of microwaves irradiated by the microwave irradiation means in the microwave device, the irradiation position of microwaves, the intensity of the output of microwaves, the frequency of microwaves, etc. It is set appropriately according to the processing to be performed by

なお、マイクロ波処理装置内において、耐炎化処理を行なった前駆体繊維を用いて炭素繊維を製造する場合、上述したガス供給手段７０が、例えば、炭素繊維の製造に必要な窒素等のガスを供給することが好ましい。 In addition, in the case where carbon fibers are produced using flame-resistant precursor fibers in a microwave processing apparatus, the above-described gas supply means 70 supplies a gas such as nitrogen necessary for producing carbon fibers. preferably supplied.

また、上記の実施の形態においては、マイクロ波処理装置の後ろに、処理を行なった処理対象物を巻き取る巻き取り部６５を設けた例について説明したが、耐炎化処理を行なった処理対象物を、巻き取ったりせずに、他の処理装置（図示せず）内に供給するようにしてもよい。例えば、上記のマイクロ波処理装置で耐炎化処理を行なった前駆体繊維を、そのまま耐炎化処理を行なった前駆体繊維に対して炭化処理を行なう装置（図示せず）に搬送手段６０を用いて送り込むようにしてもよい。 Further, in the above embodiment, an example was described in which the winding unit 65 for winding the processed object was provided behind the microwave processing apparatus. may be fed into other processing equipment (not shown) without being wound. For example, the precursor fiber that has been subjected to the flameproofing treatment by the above-described microwave treatment apparatus is directly transferred to an apparatus (not shown) for carbonizing the precursor fiber that has been subjected to the flameproofing treatment using the conveying means 60. You can send it in.

なお、上記の各実施の形態において説明した炭素繊維の前駆体繊維の耐炎化処理は、炭素繊維の製造方法の一工程と考えてもよい。すなわち、この耐炎化処理を含む炭素繊維の製造方法は、マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内に、マイクロ波を照射して、発熱部材に沿って配置された炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、上記の加熱する工程において、発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、前駆体繊維を加熱する第二のマイクロ波照射とを行なうようにした炭素繊維の製造方法である。 It should be noted that the flameproofing treatment of the carbon fiber precursor fiber described in each of the above embodiments may be considered as one step of the carbon fiber manufacturing method. That is, in the method for producing carbon fiber including this flameproof treatment, microwaves are irradiated in a container having a heat-generating member that generates heat by absorbing microwaves, and carbon fiber is disposed along the heat-generating member A carbon fiber manufacturing method including a step of heating a precursor fiber of the fiber, wherein in the heating step, a first microwave irradiation for heating the heat-generating member and a second microwave irradiation for heating the precursor fiber are performed. It is a method for manufacturing carbon fibers in which wave irradiation is performed.

なお、この炭素繊維の製造方法においては、第二のマイクロ波の照射を行なっている場合において、前駆体繊維が発熱ピークとなる温度に達する場合に、第二のマイクロ波照射をやめて、第一のマイクロ波照射を行なうようにすることが好ましい。ここでの発熱ピークとなる温度となる場合、とは、例えば、発熱ピークとなる温度に達する時点を含む期間であり、好ましくは発熱ピークとなる温度に達する時点とその前後の期間である。 In this carbon fiber manufacturing method, when the second microwave irradiation is performed, when the precursor fiber reaches the temperature at which the exothermic peak occurs, the second microwave irradiation is stopped and the first microwave is irradiated. of microwave irradiation is preferably performed. Here, when the exothermic peak temperature is reached, it is, for example, a period including the time when the exothermic peak temperature is reached, preferably the time when the exothermic peak temperature is reached and the period before and after that.

本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。 It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and that various modifications are possible and are also included within the scope of the present invention.

以上のように、本発明にかかるマイクロ波処理装置等は、マイクロ波を照射して処理対象物に対して所望の処理を行なう装置等として適しており、特に、加熱処理を行なう装置等として有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the microwave processing apparatus or the like according to the present invention is suitable as a device or the like for performing desired processing on an object to be processed by irradiating microwaves, and is particularly useful as a device or the like for heat processing. is.

１、１ａ、１ｂ マイクロ波処理装置
２ 処理対象物
２ａ 移動経路
１０、１０ａ～１０ｄ 容器
２０、２１、２２ マイクロ波照射手段
３０、３０ａ～３０ｅ 発熱部材
３１、３１ａ、３１ｂ ローラ
３２、３２ａ、３２ｂ ベルト
４０ ４０ａ～４０ｆ センサ
５０、５１、５２ 制御手段
６０ 搬送手段
７０ ガス供給手段
２０１、２０１ａ～２０１ｃ 第一照射部
２０２、２０２ａ～２０２ｃ 第二照射部
２０３、２０３ａ～２０３ｃ、２０６ａ～２０６ｃ 照射部
２０４ 第一周波数照射部
２０５ 第二周波数照射部
３０１ 加熱媒体
３０２ 支持体
３０３ 非透過部
７０１ 供給部
２００１ マイクロ波発振器
２００２ 伝送部 Reference Signs List 1, 1a, 1b microwave processing device 2 processing object 2a movement path 10, 10a to 10d container 20, 21, 22 microwave irradiation means 30, 30a to 30e heat generating member 31, 31a, 31b roller 32, 32a, 32b belt 40 40a-40f Sensors 50, 51, 52 Control Means 60 Transport Means 70 Gas Supply Means 201, 201a-201c First Irradiation Units 202, 202a-202c Second Irradiation Units 203, 203a-203c, 206a-206c Irradiation Unit 204 First frequency irradiation unit 205 Second frequency irradiation unit 301 Heating medium 302 Support 303 Non-transmitting unit 701 Supply unit 2001 Microwave oscillator 2002 Transmission unit

Claims (11)

内部を処理対象物が移動する容器と、
当該容器内にマイクロ波を照射する照射部を備えたマイクロ波照射手段と、
前記容器内に前記処理対象物の移動経路に沿って該処理対象物を覆うように部分的に設けられており、移動経路に沿った他の部分には設けられておらず、前記マイクロ波照射手段から照射されるマイクロ波を吸収して発熱する発熱部材と
を備えたマイクロ波処理装置であって、
前記マイクロ波照射手段は、前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対してマイクロ波を照射して前記発熱部材を加熱し、前記移動経路の発熱部材が設けられていない部分に対してマイクロ波を照射して前記処理対象物を加熱し、
前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記発熱部材において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物の前記発熱部材が設けられていない部分において強くなる第二のマイクロ波照射位置と、前記照射部が照射するマイクロ波の強度が前記処理対象物の前記発熱部材が設けられている部分において強くなる第三のマイクロ波照射位置とが設けられているマイクロ波処理装置。 a container in which the object to be treated moves ;
microwave irradiation means having an irradiation unit for irradiating microwaves in the container ;
It is partially provided in the container so as to cover the object to be processed along the movement path of the object to be processed, and is not provided in other parts along the movement path, and the microwave irradiation a heat-generating member that generates heat by absorbing microwaves emitted from the means ;
A microwave processing device comprising
The microwave irradiating means heats the heat generating member by irradiating the portion of the movement route where the heat generating member is provided with microwaves, and heats the portion of the movement route where the heat generating member is not provided. to heat the object to be processed by irradiating it with microwaves ,
A first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit is high in the heat generating member, and a first microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit is the object to be processed where the heat generating member is not provided and a third microwave irradiation position where the intensity of the microwave irradiated by the irradiation unit is high in the portion of the object to be processed where the heat generating member is provided. Microwave processor provided . １以上の前記第一のマイクロ波照射位置と、１以上の前記第三のマイクロ波照射位置とは、前記移動経路に沿った方向における位置が同じである請求項１記載のマイクロ波処理装置。 2. The microwave processing apparatus according to claim 1 , wherein the one or more first microwave irradiation positions and the one or more third microwave irradiation positions are at the same position in the direction along the moving route. ２以上の前記発熱部材が、発熱部材が設けられていない領域をはさんで移動経路に沿って設けられており、
１以上の前記第一のマイクロ波照射位置と、１以上の第三のマイクロ波照射位置とは、異なる発熱部材が設けられている部分に位置している請求項１記載のマイクロ波処理装置。 Two or more of the heat-generating members are provided along the movement route with a region where no heat-generating members are provided interposed therebetween,
2. The microwave processing apparatus according to claim 1 , wherein the one or more first microwave irradiation positions and the one or more third microwave irradiation positions are located in portions where different heat generating members are provided. 前記照射部は複数設けられており、
前記第一のマイクロ波照射位置、第二のマイクロ波照射位置、および第三のマイクロ波照射位置においてマイクロ波の強度が強くなるよう前記照射部が照射するマイクロ波の位相を制御する請求項１から請求項３いずれか一項記載のマイクロ波処理装置。 A plurality of the irradiation units are provided,
2. The phase of the microwaves irradiated by the irradiation unit is controlled so that the intensity of the microwaves increases at the first microwave irradiation position, the second microwave irradiation position, and the third microwave irradiation position. 4. The microwave processing apparatus according to any one of claims 3 to 4 . 前記マイクロ波照射手段は、前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対してマイクロ波を照射して前記発熱部材を加熱する第一のマイクロ波照射と、前記移動経路の前記発熱部材が設けられていない部分に対して、前記第一のマイクロ波照射とは異なる周波数のマイクロ波を照射して前記処理対象物を加熱する第二のマイクロ波照射と、を行う請求項１記載のマイクロ波処理装置。 The microwave irradiating means includes first microwave irradiation for irradiating a portion of the movement path where the heat generating member is provided to heat the heat generating member, and the heat generating member on the movement path. A second microwave irradiation for heating the object to be processed by irradiating a microwave having a frequency different from that of the first microwave irradiation to a portion where is not provided. Microwave processor. 前記第一のマイクロ波照射に用いられるマイクロ波の周波数は、前記発熱部材に対する比誘電損失が、前記処理対象物に対する比誘電損失よりも大きくなる周波数である請求項５記載のマイクロ波処理装置。 6. The microwave processing apparatus according to claim 5 , wherein the frequency of the microwave used for the first microwave irradiation is such that the relative dielectric loss to the heating member is greater than the relative dielectric loss to the object to be processed. 前記マイクロ波照射手段は、前記発熱部材に対する比誘電損失が、前記処理対象物に対する比誘電損失よりも小さくなる周波数のマイクロ波を、前記発熱部材が設けられている部分に照射して、当該発熱部材が設けられている部分の処理対象物を加熱する第三のマイクロ波照射を更に行う請求項６記載のマイクロ波処理装置。 The microwave irradiation means irradiates a portion where the heat generating member is provided with a microwave having a frequency in which the relative dielectric loss of the heat generating member is smaller than the relative dielectric loss of the object to be processed, thereby generating the heat. 7. The microwave processing apparatus according to claim 6 , further performing a third microwave irradiation for heating a portion of the object to be processed where the member is provided. 前記第一のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置と、前記第三のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置とは、前記移動経路に沿った方向における位置が同じである請求項７記載のマイクロ波処理装置。 The one or more positions where microwaves are irradiated by the first microwave irradiation and the one or more positions where microwaves are irradiated by the third microwave irradiation are positions in the direction along the movement route are the same . ２以上の前記発熱部材が、発熱部材が設けられていない領域をはさんで移動経路に沿って設けられており、
前記第一のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置と、前記第三のマイクロ波照射によりマイクロ波が照射される１以上の位置とは、異なる発熱部材が設けられている部分に位置している請求項７記載のマイクロ波処理装置。 Two or more of the heat-generating members are provided along the movement route with a region where no heat-generating members are provided interposed therebetween,
The one or more positions where microwaves are irradiated by the first microwave irradiation and the one or more positions where microwaves are irradiated by the third microwave irradiation are portions provided with different heat generating members. 8. The microwave processing apparatus of claim 7 , located at . 前記処理対象物は、炭素繊維の前駆体繊維であり、
前記マイクロ波処理装置は、前記前駆体繊維の耐炎化処理に用いられる請求項１から請求項９いずれか一項記載のマイクロ波処理装置。 The object to be treated is a carbon fiber precursor fiber,
10. The microwave processing apparatus according to any one of claims 1 to 9 , wherein the microwave processing apparatus is used for flameproofing treatment of the precursor fiber. マイクロ波を吸収して発熱する発熱部材を内部に備えた容器内にマイクロ波を照射して、前記発熱部材に沿って移動する炭素繊維の前駆体繊維を加熱する工程を含む炭素繊維の製造方法であって、
前記発熱部材は、前記前駆体繊維の移動経路に沿って部分的に設けられており、移動経路に沿った他の部分には設けられておらず、
前記加熱する工程において、
前記移動経路の前記発熱部材が設けられている部分に対するマイクロ波の照射による前記発熱部材の加熱と、
前記移動経路の発熱部材が設けられていない部分に対するマイクロ波の照射による前記前駆体繊維の加熱と、を行うようにし、
前記容器内に照射されるマイクロ波の強度が前記発熱部材において強くなる第一のマイクロ波照射位置と、前記容器内に照射されるマイクロ波の強度が前記前駆体繊維の前記発熱部材が設けられていない部分において強くなる第二のマイクロ波照射位置と、前記容器内に照射されるマイクロ波の強度が前記前駆体繊維の前記発熱部材が設けられている部分において強くなる第三のマイクロ波照射位置とが設けられている炭素繊維の製造方法。 A method for producing carbon fibers, comprising the step of irradiating microwaves in a container having therein a heat generating member that generates heat by absorbing microwaves, thereby heating precursor fibers of carbon fibers moving along the heat generating member. and
The heat-generating member is partially provided along the movement path of the precursor fibers, and is not provided at other portions along the movement path,
In the heating step,
heating the heat-generating member by irradiating a portion of the movement path where the heat-generating member is provided with microwaves;
and heating the precursor fibers by irradiating a portion of the movement path where the heat generating member is not provided with microwaves ,
A first microwave irradiation position where the intensity of microwaves irradiated into the container is high in the heat-generating member, and the heat-generating member of the precursor fiber are provided so that the intensity of the microwaves irradiated into the container is increased. A second microwave irradiation position where the intensity of the microwaves irradiated into the container is high in the portion where the heat generating member is provided in the precursor fiber. A method of manufacturing a carbon fiber provided with a position .
JP2018236423A 2018-01-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method Active JP7278569B2 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MX2020007655A MX2020007655A (en) 2018-01-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber production method.
US16/962,972 US20230137733A1 (en) 2018-01-18 2018-12-18 Microwave treatment apparatus and method for producing carbon fiber
PCT/JP2018/046616 WO2019142578A1 (en) 2018-01-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber production method
KR1020207023206A KR20200110765A (en) 2018-01-18 2018-12-18 Microwave processing apparatus and manufacturing method of carbon fiber
JP2018236423A JP7278569B2 (en) 2018-12-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
TW107146483A TWI704261B (en) 2018-01-18 2018-12-21 Microwave processing device and manufacturing method of carbon fiber
TW109126712A TWI830937B (en) 2018-01-18 2018-12-21 Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
JP2023073968A JP2023095923A (en) 2018-12-18 2023-04-28 Microwave treatment apparatus and manufacturing method of carbon fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018236423A JP7278569B2 (en) 2018-12-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023073968A Division JP2023095923A (en) 2018-12-18 2023-04-28 Microwave treatment apparatus and manufacturing method of carbon fiber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020098716A JP2020098716A (en) 2020-06-25
JP7278569B2 true JP7278569B2 (en) 2023-05-22

Family

ID=71106013

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018236423A Active JP7278569B2 (en) 2018-01-18 2018-12-18 Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
JP2023073968A Pending JP2023095923A (en) 2018-12-18 2023-04-28 Microwave treatment apparatus and manufacturing method of carbon fiber

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023073968A Pending JP2023095923A (en) 2018-12-18 2023-04-28 Microwave treatment apparatus and manufacturing method of carbon fiber

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP7278569B2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013002767A (en) 2011-06-20 2013-01-07 Micro Denshi Kk Heating device utilizing microwave
JP2013103160A (en) 2011-11-11 2013-05-30 Microwave Chemical Co Ltd Chemical reaction device
JP2017204459A (en) 2017-03-02 2017-11-16 マイクロ波化学株式会社 Heating device, and heating method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013002767A (en) 2011-06-20 2013-01-07 Micro Denshi Kk Heating device utilizing microwave
JP2013103160A (en) 2011-11-11 2013-05-30 Microwave Chemical Co Ltd Chemical reaction device
JP2017204459A (en) 2017-03-02 2017-11-16 マイクロ波化学株式会社 Heating device, and heating method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020098716A (en) 2020-06-25
JP2023095923A (en) 2023-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111869321B (en) Microwave processing device and method for producing carbon fiber
JP5787289B2 (en) Heating device using microwaves
JP2024023984A (en) Microwave treatment device and carbon fiber manufacturing method
JP5877448B2 (en) Heating device using microwaves
US7189940B2 (en) Plasma-assisted melting
US6891140B2 (en) Sintering furnace, method of manufacturing sintered objects, and sintered objects
WO2014030625A1 (en) Microwave heating device and firing facility
JP4362014B2 (en) Microwave probe applicator for physical and chemical processing
WO2003096383A2 (en) Cavity shapes for plasma-assisted processing
TWI704261B (en) Microwave processing device and manufacturing method of carbon fiber
KR20020013904A (en) Linearly extended device for large-surface microwave treatment and for large surface plasma production
WO2006067579A2 (en) Microwave chemical reactor
JP7278569B2 (en) Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
JP2013231244A (en) Apparatus for producing carbon fiber
US7560657B2 (en) Plasma-assisted processing in a manufacturing line
US20060237400A1 (en) Surface cleaning and sterilization
TWI830937B (en) Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
US20230217559A1 (en) Microwave processing device, and microwave processing method
US20230156876A1 (en) Microwave processing apparatus and microwave processing method
JP2003096570A (en) Method and apparatus for plasma treatment
JP6971812B2 (en) Microwave processing equipment, microwave processing method, heat treatment method and chemical reaction method
RU2324023C2 (en) Device for continuous high-temperature processing of carbon yarn
TW200419065A (en) Plasma-assisted engine exhaust treatment
TWM327006U (en) Microwave heating apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230123

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230228

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20230320

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230428

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7278569

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150