JP2022066416A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022066416A JP2022066416A JP2022033429A JP2022033429A JP2022066416A JP 2022066416 A JP2022066416 A JP 2022066416A JP 2022033429 A JP2022033429 A JP 2022033429A JP 2022033429 A JP2022033429 A JP 2022033429A JP 2022066416 A JP2022066416 A JP 2022066416A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- main body
- measuring device
- shape measuring
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 5
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 4
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【課題】測定環境の外乱の影響を抑制して高精度な測定を行う形状測定装置を提供する。【解決手段】被測定物に接触子を接触させ、被測定物と接触子とを相対移動させて被測定物の形状を測定する形状測定装置において、設置面に設置される除振台と、除振台に載置される装置本体と、設置面に設置され、装置本体及び除振台を囲繞する第1カバーと、第1カバーの内部の空間を、少なくとも装置本体の一部が配置される本体室と少なくとも被測定物が配置される被測定物室とに区画し、装置本体の一部が挿通する開口部を有する第2カバーと、を備え、第1カバーと第2カバーとは可撓性部材によって接続される形状測定装置によって上記課題を解決する。【選択図】図2
Description
本発明は形状測定装置に係り、特にカバーによって覆われた形状測定装置に関する。
被測定物であるワークに接触子を接触させ、ワークと接触子とを相対移動させることでワークの形状を測定する形状測定装置が知られている。例えば、ワークの真円度を測定する形状測定装置として、真円度測定機が知られている(特許文献1参照)。真円度測定機は、ベースと、ベースに配置され、上面にワークを載置して回転する回転テーブルと、ベースに立設されたコラムと、鉛直方向に移動自在にコラムに支持されたキャリッジと、水平方向に移動自在にキャリッジに支持されたアームと、アームに支持され、回転テーブルに載置されたワークの表面に接触する測定子の変位を検出する検出器と、を備えている。
このような真円度測定機は、設置面の振動の影響を抑制するために、装置本体が除振台上に設けられる。
真円度測定機は、測定環境下の熱及び風の外乱の影響によりベース及びコラムに温度勾配が発生すると、測定精度が悪化する。これを防止するため、装置本体をカバーで覆い、装置本体の温度を安定化することが考えられる。しかしながら、カバーが除振台に設置されると質量が増加することで除振台が不安定になり、測定精度が悪化するという問題があった。
これに対し、カバーを装置の設置面に設置することが考えられる。しかしながら、除振台に連動するワークとカバーとが、除振台の振動により接触する場合があるという問題点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、測定環境の外乱の影響を抑制して高精度な測定を行う形状測定装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために形状測定装置の一の態様は、被測定物に接触子を接触させ、被測定物と接触子とを相対移動させて被測定物の形状を測定する形状測定装置において、設置面に設置される除振台と、除振台に載置される装置本体と、設置面に設置され、装置本体及び除振台を囲繞する第1カバーと、第1カバーの内部の空間を、少なくとも装置本体の一部が配置される本体室と少なくとも被測定物が配置される被測定物室とに区画し、装置本体の一部が挿通する開口部を有する第2カバーと、を備え、第2カバーは、装置本体に支持され、第1カバーと第2カバーとは可撓性部材によって接続される形状測定装置である。
本態様によれば、設置面に設置される除振台と、除振台に載置される装置本体と、設置面に設置され、装置本体及び除振台を囲繞する第1カバーと、装置本体の一部が挿通する開口部を有し、第1カバーの内部の空間を装置本体が配置される本体室と、被測定物が設置される被測定物室とに区画する第2カバーと、を備え、第2カバーは、装置本体に支持され、第1カバーと第2カバーとは可撓性部材によって接続されるようにしたので、測定環境の外乱の影響を抑制して高精度な測定を行うことができる。
可撓性部材は気密性を有することが好ましい。これにより、本体室の気密性を高めることができ、本体室の温度を安定させて高精度な測定を行うことができる。
第1カバーの内側には断熱材が設けられていることが好ましい。これにより、第1カバー外部の熱が第1カバーの内部に伝達することを防止し、高精度な測定を行うことができる。
第1カバーの外面は白色であることが好ましい。これにより、第1カバーの外部からの光及び赤外線を反射して第1カバーの内部の温度上昇を低減し、高精度な測定を行うことができる。
第1カバーの外面は光及び赤外線の非吸収材料で塗装されていることが好ましい。これにより、第1カバーの外部からの光及び赤外線を反射して第1カバーの内部の温度上昇を低減し、高精度な測定を行うことができる。
第1カバーは、被測定物室に被測定物を出し入れするための扉を備え、扉は、透明な部材で構成された窓部を有することが好ましい。これにより、被測定物室に被測定物を容易に出し入れすることができ、さらに扉を閉じた状態で窓部から内部を観察し、被測定物の位置合わせ及び形状測定が可能となる。したがって、外乱を最小にし、高精度な測定を行うことができる。
装置本体は、ベースと、ベースに配置され、上面にワークを載置して回転する回転テーブルと、ベースに立設されたコラムと、鉛直方向に移動自在にコラムに支持されたキャリッジと、水平方向に移動自在にキャリッジに支持されたアームと、アームに支持される検出器であって、回転テーブルに載置されたワークの表面に接触する測定子の変位を検出する検出器と、を有し、第2カバーの開口部は、回転テーブルが挿通する第1開口部及びアームが挿通する第2開口部を有し、第2カバーは、ベース及びコラムに支持される。これにより、被測定物の真円度を測定する真円度測定機に適用し、高精度な測定を行うことができる。
第1カバーの外面は、コラムの上端の高さの位置からベースの下端の高さの位置まで無段差形状であることが好ましい。これにより、第1カバー表面の温度勾配の発生を防止し高精度な測定を行うことができる。
本発明によれば、外乱の影響を抑制して高精度な測定を行うことができる。
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について詳説する。
<真円度測定機の構成>
図1は、本実施形態に係る形状測定装置の一例である真円度測定機10の外観斜視図である。また、図2は、真円度測定機10の構成概要図である。
図1は、本実施形態に係る形状測定装置の一例である真円度測定機10の外観斜視図である。また、図2は、真円度測定機10の構成概要図である。
図1及び図2に示すように、真円度測定機10は、本体ベース12、回転テーブル14、コラム16、キャリッジ18、アーム20、検出器22、及び測定子24からなる本体部26(装置本体の一例)、除振台28、第1カバー30、及び第2カバー50等を備えて構成される。
除振台28は、パッシブ式又はアクティブ式の除振装置である。除振台28は、上面の除振面28Aの振動を低減する。本体ベース12は、除振台28の除振面28Aに載置される。これにより、外乱により本体ベース12に発生する振動が抑制される。
本体ベース12には、被測定物であるワークWを載置する回転テーブル14が設けられている。回転テーブル14は、±X方向微動つまみ(不図示)及び±Y方向微動つまみ(不図示)によって±X方向及び±Y方向に微動送りがされ、±X方向傾斜つまみ(不図示)及び±Y方向傾斜つまみ(不図示)によって±X方向及び±Y方向に傾斜が調整されるようになっている。
なお、±X方向、±Y方向、及び±Z方向は互いに直交する方向であり、±X方向は水平方向(後述するアーム20の移動方向)、±Y方向は±X方向に直交する水平方向、±Z方向は鉛直方向(後述するキャリッジ18の移動方向)である。以下において、+X方向を左、-X方向を右、+Y方向を手前、-Y方向を奥、+Z方向を上、-Z方向を下、と表記する場合があるが、これらの語句は説明のために便宜上使用するものであり、装置を使用する際の向きを限定するものではない。
本体ベース12の内部には、回転テーブル14に連結されるモータ(不図示)が備えられている。回転テーブル14は、±Z方向に平行な回転軸を中心に回転する。
回転テーブル14の上面には、ワークWが載置される。ワークWは、その中心軸が回転テーブル14の回転軸と同軸上となるように載置される。回転テーブル14に載置されたワークWは、回転テーブル14とともに回転軸を中心に回転する。
また、本体ベース12上には、±Z方向に延びるコラム16が立設され、コラム16にはキャリッジ18が±Z方向に移動自在に支持されている。キャリッジ18は、モータ(不図示)の駆動により±Z方向に移動する。
キャリッジ18には、アーム20が±X方向に移動自在に支持されている。アーム20は、モータ(不図示)の駆動により±X方向に移動する。
アーム20の先端には検出器22が着脱可能に取り付けられる。検出器22は、ワークWの表面に接触する測定子24を備えている。検出器22は、例えば、差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用される。検出器22は、回転テーブル14とともに回転するワークWの表面に測定子24を接触させ、測定子24の変位を検出することで、ワークWの表面性状を測定する。
キャリッジ18の±Z方向の移動及びアーム20の±X方向の移動により、検出器22の±Z方向及び±X方向の位置を変更することができる。
真円度測定機10は、床1の設置面1Aに載置される。詳細には、除振台28及び第1カバー30がXY平面に平行な設置面1Aに載置される。
第1カバー30は、本体部26及び除振台28の、前方向、後方向、右方向、左方向、及び上方向を囲繞する。第1カバー30は、それぞれ板状の部材で構成される前面カバー32、背面カバー34、左側面カバー36、右側面カバー38、及び上面カバー40を備えている。
前面カバー32及び背面カバー34は、それぞれXZ平面に平行に、かつ一定の間隔を持って立設される。左側面カバー36及び右側面カバー38は、それぞれYZ平面に平行に、かつ一定の間隔を持って立設される。左側面カバー36及び右側面カバー38は、それぞれ前面カバー32及び背面カバー34を連結する。上面カバー40は、XY平面に平行に配置され、前面カバー32、背面カバー34、左側面カバー36、及び右側面カバー38の上端を連結する。
なお、右側面カバー38は、その上部に左側に傾斜する傾斜部38Aを有しており、傾斜部38Aにおいて上面カバー40と連結される。
第1カバー30には断熱材が設けられる。ここでは、第1カバー30の内側に断熱材が貼り付けられている。
第1カバー30の外面は白色である。また、第1カバー30の外面は、光及び赤外線の反射率の高い、光及び赤外線の非吸収材料で塗装されている。さらに、第1カバー30の外面は、コラム16の上端の高さの位置から本体ベース12の下端の高さの位置まで、±Z方向に平行に設けられた無段差形状である。
真円度測定機10は、第2カバー50を備えている。第2カバー50は、光及び赤外線を透過させない素材によって構成される。第2カバー50は、第1カバー30の内部を少なくとも本体ベース12、コラム16、キャリッジ18(装置本体の一部の一例)、及び除振台28を収容する本体室60Aと、少なくともワークWを収容するワーク室60B(被測定物室の一例)とに区画する。
第2カバー50は、水平部50A及び垂直部50Bから構成される。水平部50AはXY平面に水平に配置される。また、垂直部50BはYZ平面に水平に配置される。ワーク室60Bの背面、左側面、右側面、上面、及び底面は、それぞれ背面カバー34、左側面カバー36、垂直部50B、上面カバー40、及び水平部50Aによって構成される。なお、ワーク室60Bの前面については後述する。
第2カバー50は、除振台28の除振面28Aに連動して支持される。ここでは、第2カバー50は、水平部50Aが支持部52Aにより本体ベース12に支持され、垂直部50Bが支持部52Bによりコラム16に支持される。
また、第2カバー50には、水平部50Aに開口部54A(第1開口部の一例)が、垂直部50Bに開口部54B(第2開口部の一例)が設けられている。開口部54Aには回転テーブル14が挿通し、開口部54Bには、アーム20が挿通する。開口部54A及び54Bは、それぞれ本体ベース12及びコラム16を基準として位置合わせされている。
第1カバー30と第2カバー50とは、可撓性を有する材質を用いて接続される。ここでは、第1カバー30の左側面カバー36と第2カバー50の水平部50Aとが可撓性部材56Aによって接続され、第1カバー30の上面カバー40と第2カバー50の垂直部50Bとが可撓性部材56Bによって接続されている。可撓性部材56A及び56Bは、それぞれ略気密性を有している。
このように、真円度測定機10は、第1カバー30及び第2カバー50により、本体部26が外部の熱、光、及び風から遮断されている。
前面カバー32は、本体室60Aの前面を覆っている。前面カバー32は、左側面カバー36と連結される左前面カバー32A、及び右側面カバー38と連結される右前面カバー32Bから構成される。
左前面カバー32A及び右前面カバー32Bは、それぞれXZ平面に平行に配置される。また、右前面カバー32Bは、左前面カバー32Aよりも手前側に配置される。右前面カバー32Bの左端には奥側に向けて傾斜する傾斜部32Cが設けられており、右前面カバー32Bは、傾斜部32Cにおいて左前面カバー32Aと連結される。
第1カバー30のワーク室60Bの前面には、ワーク室60BにワークWを出し入れするための開閉機構である扉32Dが設けられている。扉32Dは、透明な部材で構成される窓部32Eを有している。ここでは、扉32Dの全体を透明な部材で構成し、扉32D全体が窓部32Eとして機能している。
第1カバー30の内側には、扉32Dを第1カバー30の内面に沿ってスライドさせるためのガイド部(不図示)が設けられている。ユーザが扉32Dを左側にスライドすると、扉32Dはガイド部に沿って移動し開状態となり、ワーク室60Bが開放される。図1は、扉32Dが開状態の様子を示している。
ワーク室60Bの扉32Dを挟んだ位置には、操作部32Fが設けられている。操作部32Fは、ユーザが真円度測定機10を操作するための入力インターフェースである。
<比較例の真円度測定機の構成>
図3は、比較例の真円度測定機100の構成概要図である。なお、図2に示す構成概要図と共通する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図3に示すように、真円度測定機100は、本体ベース12、回転テーブル14、コラム16、キャリッジ18、アーム20、検出器22、測定子24、除振台28、第1カバー102、及び第2カバー104等を備えて構成される。
図3は、比較例の真円度測定機100の構成概要図である。なお、図2に示す構成概要図と共通する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図3に示すように、真円度測定機100は、本体ベース12、回転テーブル14、コラム16、キャリッジ18、アーム20、検出器22、測定子24、除振台28、第1カバー102、及び第2カバー104等を備えて構成される。
真円度測定機100は、床1の設置面1Aに載置される。詳細には、除振台28及び第1カバー102が設置面1Aに載置される。
第1カバー102は、設置面1Aに載置される。第1カバー102は、本体ベース12、回転テーブル14、コラム16、キャリッジ18、アーム20、検出器22、及び測定子24からなる本体部26と除振台28との、前方向、後方向、右方向、左方向、及び上方向を囲繞する。
第2カバー104は、除振台28の除振面28Aに載置される。第2カバー104は、本体部26のうち少なくとも本体ベース12、コラム16、及びキャリッジ18を囲繞する。
第1カバー102の内部の空間は、第2カバー104により、第2カバー104の内部の空間である本体室110Aと、第2カバー104の外部の空間であるワーク室110Bとに区画される。
また、第2カバー104には、回転テーブル14が挿通する開口部104A、及びアーム20が挿通する開口部104Bが設けられている。
第1カバー102には、ワーク室110Bを開放する不図示の開口部と、ワーク室110BへのワークWの出し入れを行うための不図示の開閉機構が設けられている。
<真円度測定機の効果>
真円度測定機10によれば、以下のような効果を奏する。
真円度測定機10によれば、以下のような効果を奏する。
第1カバー30によって本体部26が覆われているため、周辺環境の温度変化が本体部26に伝達することを抑制し、本体部26の温度を安定させることができる。また、第1カバー30に断熱材を設けたため、周辺環境の温度変化の影響をさらに低減することができる。これにより、高精度な測定を行うことができる。
また、第1カバー30の外面を白色にすることで、周辺環境からの光及び赤外線を反射し、第1カバー30の内部の温度上昇を低減することができる。さらに、第1カバー30の外面を光及び赤外線の非吸収材料で塗装することで、周辺環境からの光及び赤外線を反射し、第1カバー30の内部の温度上昇を低減することができる。これにより、本体部26の温度を安定させることができ、高精度な測定を行うことができる。
さらに、設置面1Aに配置された第1カバー30によって本体部26が覆われているため、周辺環境の風が本体部26にあたることを防止することができ、風の巻き込みによる本体部26の振動を低減することができる。これにより、高精度な測定を行うことができる。
また、本体部26、特に本体ベース12及びコラム16に温度勾配が発生すると、熱変形により測定精度に悪影響がある。真円度測定機10によれば、第1カバー30の外面をコラム16の高さから本体ベース12の高さまで無段差形状としたため、風の乱流を防止し、温度勾配の発生を抑制することができる。これにより、高精度な測定を行うことができる。
扉32Dに透明な部材で構成された窓部32Eを設けたため、扉32Dを閉じた状態で窓部32Eからワーク室60Bを観察することができる。これにより、ワークWと測定子24との位置合わせ及びワークWの真円度測定が可能となり、外乱を最小にすることができる。また、外乱を与えることなく測定時の挙動を観察することができる。
なお、窓部32Eを設けず、光及び赤外線を透過しない部材で扉32Dを構成してもよい。これにより、周辺環境からのワーク室60Bへの光及び赤外線の侵入を抑制し、さらに外乱を最小化することができる。この場合、ワーク室60Bの内部を照明する光源及び観察するカメラを設けることで、扉32Dを閉じた状態でワークWと測定子24との位置合わせ及びワークWの真円度測定が可能となり、さらに好ましい。
第2カバー50によって本体室60Aとワーク室60Bとを区画し、第2カバー50に開口部54A及び54Bを設けたため、ワーク室60BにあるワークWの回転及びワークWへの測定子24の接触が可能となる。
ここで、比較例の真円度測定機100では、第2カバー104の全体が除振台28の除振面28Aに載置されている。第2カバー104を設置面1Aに設置すると、除振面28Aの振動で開口部が回転テーブル14又はアーム20と接触する可能性があるためである。
これに対し、真円度測定機10の第2カバー50は、除振面28Aに載置される部分を最小化した。これにより、除振面28Aにかかる質量を低減することができ、除振台28を安定化することができる。また、風の影響を受けるカバー面積が最小となることで、振動の影響を低減することができる。また、扉32Dから入る光及び赤外線による熱を本体部26に伝達する面積が最小となるため、本体部26の温度が安定する。これらにより、測定を高精度化することができ、測定精度を高安定化することができる。
また、第1カバー30と第2カバー50とを可撓性部材56A及び56Bを介して接続したため、第1カバー30と第2カバー50との間で振動が伝達されにくくなる。これにより、振動の影響を抑制して、測定を高精度化することができる。さらに、略気密性を有する可撓性部材56A及び56Bを使用したため、本体室60Aの気密性を高めることができ、本体室60Aの温度を安定させることができる。これにより、温度外乱の影響を低減して測定を高精度化することができる。
真円度測定機100のワーク室110Bと比較してワーク室60Bの体積が小さいため、扉32Dを開けてワークWを交換する際に入れ替わる気体の体積が小さく、ワーク室60Bの温度変化を最小化することができる。これにより、測定精度を安定化することができ、ワークWの交換によるタクトタイムを短縮することができる。
また、真円度測定機100では、メンテナンスをするために本体部26にアクセスするには、第1カバー102及び第2カバー104の両方にメンテナンス扉(不図示)を設ける必要がある。これに対し、真円度測定機10は、第1カバー30の本体室60A側に設けられた1枚のメンテナンス扉(不図示)を開放することで、本体部にアクセスすることができる。これにより、コストを低減し、良好なメンテナンス性とすることができる。
<その他>
ここでは、真円度測定機について説明したが、被測定物に接触子を接触させ、被測定物と接触子とを相対移動させて被測定物の形状を測定する形状測定装置に適用することができる。
ここでは、真円度測定機について説明したが、被測定物に接触子を接触させ、被測定物と接触子とを相対移動させて被測定物の形状を測定する形状測定装置に適用することができる。
本発明の技術的範囲は、上記の実施形態に記載の範囲には限定されない。各実施形態における構成等は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態間で適宜組み合わせることができる。
1 床
1A 設置面
10 真円度測定機
12 本体ベース
14 回転テーブル
16 コラム
18 キャリッジ
20 アーム
22 検出器
24 測定子
26 本体部
28 除振台
28A 除振面
30 第1カバー
32 前面カバー
32A 左前面カバー
32B 右前面カバー
32C 傾斜部
32D 扉
32E 窓部
32F 操作部
34 背面カバー
36 左側面カバー
38 右側面カバー
38A 傾斜部
40 上面カバー
50 第2カバー
50A 水平部
50B 垂直部
52A 支持部
52B 支持部
54A 開口部
54B 開口部
56A 可撓性部材
56B 可撓性部材
60A 本体室
60B ワーク室
100 真円度測定機
102 第1カバー
104 第2カバー
104A 開口部
104B 開口部
110A 本体室
110B ワーク室
W ワーク
1A 設置面
10 真円度測定機
12 本体ベース
14 回転テーブル
16 コラム
18 キャリッジ
20 アーム
22 検出器
24 測定子
26 本体部
28 除振台
28A 除振面
30 第1カバー
32 前面カバー
32A 左前面カバー
32B 右前面カバー
32C 傾斜部
32D 扉
32E 窓部
32F 操作部
34 背面カバー
36 左側面カバー
38 右側面カバー
38A 傾斜部
40 上面カバー
50 第2カバー
50A 水平部
50B 垂直部
52A 支持部
52B 支持部
54A 開口部
54B 開口部
56A 可撓性部材
56B 可撓性部材
60A 本体室
60B ワーク室
100 真円度測定機
102 第1カバー
104 第2カバー
104A 開口部
104B 開口部
110A 本体室
110B ワーク室
W ワーク
Claims (8)
- 被測定物に接触子を接触させ、前記被測定物と前記接触子とを相対移動させて前記被測定物の形状を測定する形状測定装置において、
設置面に設置される除振台と、
前記除振台に載置される装置本体と、
前記設置面に設置され、前記装置本体及び前記除振台を囲繞する第1カバーと、
前記第1カバーの内部の空間を、少なくとも前記装置本体の一部が配置される本体室と少なくとも前記被測定物が配置される被測定物室とに区画し、前記装置本体の一部が挿通する開口部を有する第2カバーと、
を備え、
前記第1カバーと前記第2カバーとは可撓性部材によって接続される形状測定装置。 - 前記可撓性部材は気密性を有する請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記第1カバーの内側には断熱材が設けられている請求項1又は2に記載の形状測定装置。
- 前記第1カバーの外面は白色である請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記第1カバーの外面は光及び赤外線の非吸収材料で塗装されている請求項1から4のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記第1カバーは、前記被測定物室に前記被測定物を出し入れするための扉を備え、
前記扉は、透明な部材で構成された窓部を有する請求項1から4のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記装置本体は、ベースと、前記ベースに配置され、上面にワークを載置して回転する回転テーブルと、前記ベースに立設されたコラムと、鉛直方向に移動自在に前記コラムに支持されたキャリッジと、水平方向に移動自在に前記キャリッジに支持されたアームと、前記アームに支持される検出器であって、前記回転テーブルに載置された前記ワークの表面に接触する測定子の変位を検出する検出器と、を有し、
前記第2カバーの開口部は、前記回転テーブルが挿通する第1開口部及び前記アームが挿通する第2開口部を有し、
前記第2カバーは、前記ベース及び前記コラムに支持される請求項1から6のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記第1カバーの外面は、前記コラムの上端の高さの位置から前記ベースの下端の高さの位置まで無段差形状である請求項7に記載の形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022033429A JP7255074B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-03-04 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037712A JP7038303B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 形状測定装置 |
JP2022033429A JP7255074B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-03-04 | 形状測定装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018037712A Division JP7038303B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022066416A true JP2022066416A (ja) | 2022-04-28 |
JP7255074B2 JP7255074B2 (ja) | 2023-04-11 |
Family
ID=87889002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022033429A Active JP7255074B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-03-04 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7255074B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10300125A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Nikon Corp | 空調装置 |
JPH11271335A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-08 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002257502A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Junichi Kushibiki | 厚さ測定装置及び測定方法 |
JP2004077308A (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-11 | Canon Inc | 三次元形状測定装置 |
JP2004205429A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法 |
JP2004286696A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Sii Nanotechnology Inc | プローブ顕微鏡 |
JP2016065751A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定機およびその制御方法 |
-
2022
- 2022-03-04 JP JP2022033429A patent/JP7255074B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10300125A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Nikon Corp | 空調装置 |
JPH11271335A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-08 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002257502A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Junichi Kushibiki | 厚さ測定装置及び測定方法 |
JP2004077308A (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-11 | Canon Inc | 三次元形状測定装置 |
JP2004205429A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法 |
JP2004286696A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Sii Nanotechnology Inc | プローブ顕微鏡 |
JP2016065751A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定機およびその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7255074B2 (ja) | 2023-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20200033126A (ko) | 드라이어 거치대 | |
EP2434253B1 (en) | Coordinates measuring head unit and coordinates measuring machine | |
JP5520127B2 (ja) | ラボラトリ用機器のための通風防止デバイス | |
JPS6327710A (ja) | 直角座標測定機 | |
US20190376836A1 (en) | Weighing device with a movable mounting unit | |
JP7038303B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2022066416A (ja) | 形状測定装置 | |
WO2017094694A1 (ja) | ロードポート | |
JP4649704B2 (ja) | 形状測定機 | |
JP4469462B2 (ja) | キャリア形状測定機 | |
CN208141046U (zh) | 一种用于竖直管道的工业内窥镜 | |
ITTO960804A1 (it) | Apparecchiatura per la misura di caratteristiche dimensionali di uten- sili di macchine per lavorazioni meccaniche. | |
JP2011135751A (ja) | 駆動装置および測定装置 | |
JP2008203015A (ja) | 光軸偏向型レーザ干渉計 | |
JP5560488B2 (ja) | 磁場分布測定装置 | |
CN109154577B (zh) | X射线散射仪 | |
JP6551197B2 (ja) | ロードポート | |
JP7215939B2 (ja) | 三次元座標測定装置 | |
JP4993211B2 (ja) | 真空搬送機構及びそれを備えたマルチチャンバシステム | |
JP4861240B2 (ja) | 体表面モニタ | |
JP4195608B2 (ja) | 二次元測定機 | |
JP2015225203A (ja) | 鏡筒調整機構及び投影装置 | |
CN111863655A (zh) | 开盖机构及半导体加工设备 | |
JP7038304B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JPH08170948A (ja) | X線装置のための試料雰囲気調節装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7255074 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |