JP2022007375A - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
光学画像と光学画像に対応する参照画像とを比較する比較処理を行う複数の比較回路と、
複数の比較回路での比較結果に基づいて、複数の領域の中から検査異常の領域の有無を判定する異常判定部と、
複数の領域のうち他とは異なり検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路の故障の有無を診断する故障診断回路と、
複数の比較回路のうち、故障と診断されていない比較回路に比較処理を行う領域を割り当てると共に、故障と診断された比較回路を領域の割り当て対象から除外する割当処理部と、
を備えたことを特徴とする。
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
複数の比較回路を用いて、光学画像と光学画像に対応する参照画像とを比較する比較処理を行い、結果を出力する工程と、
複数の比較回路での比較結果に基づいて、複数の領域の中から検査異常の領域の有無を判定する工程と、
複数の領域のうち他とは異なり検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路の故障の有無を診断する工程と、
複数の比較回路のうち、故障と診断された比較回路を領域の割り当て対象から除外し、故障と診断されていない比較回路に、比較処理がまだ実施されていない領域を割り当てる工程と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、検査対象基板、例えばマスクに形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得機構150、及び制御系回路160を備えている。
実施の形態1では、検査異常と判定された検査ストライプ20の比較処理を故障候補の比較回路を含む2以上の比較回路で実施する構成について説明したがこれに限るものではない。実施の形態2では、比較処理を行う領域をずらして比較処理をやり直す構成について説明する。検査装置100の構成は図1と同様である。また、検査方法のフローチャート図は図3と同様である。実施の形態2において、故障診断工程(S122)以外の各工程の内容は、実施の形態1と同様である。
実施の形態1,2では、故障候補となった比較回路について本当に故障かどうかのテストを行った上で故障の有無を診断する構成について説明したが、これに限るものではない。実施の形態3では、本当に故障かどうかのテストを省略する構成について説明する。検査装置100の構成は図1と同様である。また、検査方法のフローチャート図は図3と同様である。実施の形態3において、故障診断工程(S122)以外の各工程の内容は、実施の形態1と同様である。
30 フレーム領域
31 フレーム画像
50 フレーム欠陥数算出部
52 ストライプ欠陥数算出部
54 検査異常判定処理部
56 割当処理部
57 記憶装置
58 故障判定部
70,71,72,76 記憶装置
74 フレーム画像生成部
78 位置合わせ部
79 比較処理部
100 検査装置
101 基板
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 TDIセンサ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 メモリ
112 参照画像作成回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 FD
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
123 ストライプパターンメモリ
130 オートローダ
132 検査異常判定回路
134 故障診断回路
136 割当処理回路
150 光学画像取得機構
160 制御系回路
170 照明光学系
Claims (5)
- パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記光学画像と前記光学画像に対応する参照画像とを比較する比較処理を行う複数の比較回路と、
前記複数の比較回路での比較結果に基づいて、前記複数の領域の中から検査異常の領域の有無を判定する異常判定部と、
前記複数の領域のうち他とは異なり検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路の故障の有無を診断する故障診断回路と、
前記複数の比較回路のうち、故障と診断されていない比較回路に比較処理を行う領域を割り当てると共に、故障と診断された比較回路を領域の割り当て対象から除外する割当処理部と、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。 - 前記故障診断回路は、検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路を故障候補として、前記故障候補を含む2以上の比較回路に、検査異常と判定された領域の比較処理を並列的に行わせ、前記2以上の比較回路での比較結果に基づいて、前記故障候補となった比較回路の故障の有無を診断することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記故障診断回路は、検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路を故障候補として、前記故障候補に前記検査異常と判定された領域が再度割り当てられることが無いように、割り当て先をずらして、前記検査異常と判定された領域を含む前記複数の領域のそれぞれ1つを前記複数の比較回路に割り当て直し、前記複数の比較回路での比較結果に基づいて、前記故障候補となった比較回路の故障の有無を診断することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記故障診断回路は、検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路を故障と診断することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
複数の比較回路を用いて、前記光学画像と前記光学画像に対応する参照画像とを比較する比較処理を行い、結果を出力する工程と、
前記複数の比較回路での比較結果に基づいて、前記複数の領域の中から検査異常の領域の有無を判定する工程と、
前記複数の領域のうち他とは異なり検査異常と判定された領域の比較処理を実施した比較回路の故障の有無を診断する工程と、
前記複数の比較回路のうち、故障と診断された比較回路を領域の割り当て対象から除外し、故障と診断されていない比較回路に、比較処理がまだ実施されていない領域を割り当てる工程と、
を備えたことを特徴とするパターン検査方法。
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