JP2021168352A - 被加工物の加工方法及び加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】瞬停による加工中断位置が分割予定ラインの途中となる可能性を抑制できる被加工物の加工方法及び加工装置を提供すること。【解決手段】被加工物の加工方法は、被加工物１００を保持テーブル１０に保持する保持ステップと、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工ユニット２０によって分割予定ライン１０２にそって加工する加工ステップと、商用電源５０から加工装置１に供給される電力が低下した場合、加工装置１への電力供給を非常用電源（バッテリー６１）に切り替える切り替えステップと、切り替えステップの実施時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が終了するまで非常用電源（バッテリー６１）によって加工を続行する加工続行ステップと、加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が完了すると、加工を中断する加工中断ステップと、を備えることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物の加工方法及び加工装置に関する。

加工装置は、通常商用電源に接続されて稼働しているが、加工装置が置かれている工場の環境によっては、商用電源からの電力供給が瞬間的に低下また停止する瞬停と呼ばれる現象が発生する。このような瞬停の対策として、バッテリーを有する非常用電源が接続された加工装置が知られている（特許文献１参照）。

特開２００４−２２２４４７号公報

このような非常用電源が接続された加工装置は、通常は瞬停の発生時に非常用電源により所定時間加工を続行し、所定時間以上、商用電源からの電力が供給されない場合、加工ユニットによる加工を中断する処理を行う。しかし、分割予定ラインの途中で加工ユニットによる加工を中断する処理を行った場合、加工を再開したときに中断位置から以前の加工ラインと正確に同じ位置につなげて加工するのが困難であるため、デバイスの品質に影響を及ぼすという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、瞬停による加工中断位置が分割予定ラインの途中となる可能性を抑制できる被加工物の加工方法及び加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の加工方法は、被加工物の加工方法であって、被加工物を保持テーブルに保持する保持ステップと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工ユニットによって分割予定ラインにそって加工する加工ステップと、商用電源から加工装置に供給される電力が低下した場合、該加工装置への電力供給を非常用電源に切り替える切り替えステップと、該切り替えステップの実施時に加工途中であった該分割予定ラインの加工が終了するまで該非常用電源によって加工を続行する加工続行ステップと、加工途中であった該分割予定ラインの加工が完了すると、加工を中断する加工中断ステップと、を備えることを特徴とする。

該加工中断ステップは、該加工ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させ、次に加工する該分割予定ラインの加工開始位置に該加工ユニットを位置づける加工準備ステップを含んでもよい。

該加工ユニットは、切削ブレードを回転可能に保持するスピンドルを含み、該加工中断ステップは、該スピンドルを回転させた状態で被加工物から離間させ、該切削ブレードが被加工物に接触しない位置に位置づけてもよい。

該加工中断ステップの実施後、所定時間内に該商用電源からの電力供給が回復した場合、再び該加工ステップを実施し、該所定時間内に該商用電源からの電力供給が回復しない場合、該スピンドルを該加工中断ステップの実施時よりさらに被加工物から離間させ、該スピンドルの回転も停止させてもよい。

該加工ユニットは、被加工物にレーザー光線を照射して加工するレーザー光線照射部を含み、該加工中断ステップは、該レーザー光線の照射を停止してもよい。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、分割予定ラインが複数形成された被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該加工装置と接続される商用電源と、該加工装置と接続される非常用電源と、商用電源からの電力の供給を監視する監視ユニットと、該監視ユニットからの信号により該商用電源からの電力が停止または低下した際に、該加工装置への電力供給を該非常用電源に切り替える電子回路制御ユニットと、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該加工ユニットによる被加工物の加工位置を認識する加工位置認識部と、認識した該加工位置に基づいて、該加工ユニットが被加工物を加工途中であるか否かを判定する加工途中判定部と、該非常用電源に切り替わった際に加工途中であった該分割予定ラインの加工が終了するまで、該非常用電源によって加工を続行する加工続行部と、加工途中であった該分割予定ラインの加工が完了したと判断した場合、該加工ユニットの加工を中断する加工中断部と、を有することを特徴とする。

本発明は、瞬停による加工中断位置が分割予定ラインの途中となる可能性を抑制できる。

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１の加工装置の制御ユニットが記憶する動作順序データの一例を示す図である。 図３は、図１の加工位置認識部の機能を説明する図である。 図４は、実施形態１に係る被加工物の加工方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。 図５は、図４の加工途中判定ステップの詳細な処理の手順の一例を示すフローチャートである。 図６は、実施形態２に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図７は、実施形態２に係る加工途中判定ステップの詳細な処理の手順の一例を示すフローチャートである。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１及び被加工物の加工方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、加工ユニット２０と、Ｘ軸移動ユニット３１と、Ｙ軸移動ユニット３２と、Ｚ軸移動ユニット３３と、Ｘ軸位置検出ユニット３４と、Ｙ軸位置検出ユニット３５と、Ｚ軸位置検出ユニット３６と、制御ユニット４０と、商用電源５０と、ＵＰＳ（Uninterruptible Power Supply、無停電電源装置）６０と、を備える。

加工装置１は、加工ユニット２０で保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する装置であり、通常時に商用電源５０より電力供給を受け、通常時から外れ、商用電源５０からの電力供給が低下又は停止する停電時にＵＰＳ６０より電力供給を受ける。ここで、停電時は、商用電源５０からの電力供給が瞬間的に低下又は停止する瞬停が起きた時である瞬停時を含む。また、ＵＰＳ６０は、本発明に係る非常用電源として機能するバッテリー６１を備えて構成される。

実施形態１において、加工装置１が加工する被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどのウエーハである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されている。また、本発明では、被加工物１００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

保持テーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を、表面１０１側を上側に向けて、裏面１０４側を保持する。保持テーブル１０は、被加工物１００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持面１１は、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット３１により水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動自在に、不図示の回転駆動源によりＺ軸回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物１００を吸引保持する。

加工ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット２０は、実施形態１では切削加工ユニットであり、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、を含む。切削ブレード２１は、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられて、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。スピンドル２２は、軸心がＹ軸方向に沿って設けられ、先端で軸心周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドル２２は、Ｙ軸周りに回転駆動し、切削ブレード２１の回転軸となる。加工ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット３３により鉛直方向であるＺ軸方向に移動自在に設けられている。

加工装置１は、切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３により、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿って、切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して相対的に移動させることにより、被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って切削加工して、分割予定ライン１０２に沿って切削溝による加工ラインを形成する。

加工装置１は、さらに、撮像ユニット２３を備える。撮像ユニット２３は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００の表面１０１を撮影する。撮像ユニット２３は、実施形態１では、加工ユニット２０と一体的に移動するように、加工ユニット２０に固定されている。撮像ユニット２３は、保持テーブル１０に保持された切削加工前の被加工物１００の分割予定ライン１０２、及び、切削加工後の被加工物１００の加工痕である切削溝による加工ラインを撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。

撮像ユニット２３は、保持テーブル１０に保持された切削加工前の被加工物１００の表面１０１を撮像して、被加工物１００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット４０に出力する。また、撮像部３０は、保持テーブル１０に保持された切削加工後の被加工物１００の表面１０１を撮像して、切削溝２００が分割予定ライン１０２の中に収まっているか、大きな欠けなどが発生していないかを自動的に確認する、いわゆるカーフチェックを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット４０に出力する。

Ｘ軸移動ユニット３１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に沿って、加工ユニット２０の切削ブレード２１及びスピンドル２２に対して相対的に移動させる。Ｙ軸移動ユニット３２は、加工ユニット２０の切削ブレード２１及びスピンドル２２を割り出し送り方向であるＹ軸方向に沿って、保持テーブル１０及び保持テーブル１０上の被加工物１００に対して相対的に移動させる。Ｚ軸移動ユニット３３は、加工ユニット２０の切削ブレード２１及びスピンドル２２を切り込み送り方向であるＺ軸方向に沿って、保持テーブル１０及び保持テーブル１０上の被加工物１００に対して相対的に移動させる。

Ｘ軸位置検出ユニット３４は、Ｘ軸移動ユニット３１により保持テーブル１０とともにＸ軸方向に移動する部材に設けられ、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出する。Ｙ軸位置検出ユニット３５は、Ｙ軸移動ユニット３２により加工ユニット２０とともにＹ軸方向に移動する部材に設けられ、加工ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出する。Ｚ軸位置検出ユニット３６は、Ｚ軸移動ユニット３３により加工ユニット２０とともにＺ軸方向に移動する部材に設けられ、加工ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。

Ｘ軸位置検出ユニット３４、Ｙ軸位置検出ユニット３５及びＺ軸位置検出ユニット３６は、それぞれ、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向と平行なリニアスケールと、Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２またはＺ軸移動ユニット３３によりＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に移動自在に設けられリニアスケールの目盛を読み取る読み取りヘッドと、により構成することができる。なお、Ｘ軸位置検出ユニット３４、Ｙ軸位置検出ユニット３５及びＺ軸位置検出ユニット３６は、本発明ではリニアスケールと読み取りヘッドとを有する構成に限定されず、それぞれ、Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３のモーターに設置されるエンコーダーであっても良い。

制御ユニット４０は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００に対する切削加工処理を含む、実施形態１に係る被加工物の加工方法の各処理等に関する各動作を加工装置１に実施させるものである。制御ユニット４０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。

図２は、図１の加工装置１の制御ユニット４０が記憶する動作順序データ１５０の一例を示す図である。制御ユニット４０の記憶装置は、加工装置１が加工ユニット２０で被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って加工する加工処理を実施する際に制御ユニット４０の演算処理装置が実行する演算処理に使用する情報を、図２に示す動作順序データ１５０として格納する。動作順序データ１５０は、加工装置１が加工処理を実施する前に、オペレータが不図示の入力ユニットに入力した情報に基づいて、予め制御ユニット４０の記憶装置に記憶される。

制御ユニット４０の記憶装置は、図２に示すように、加工装置１が加工処理を実施する際の各動作の動作順序と、各動作の動作内容と、各動作の動作種類と、を１対１で対応付けて動作順序データ１５０として記憶している。動作順序データ１５０は、実施形態１では、加工ユニット２０で１本の分割予定ライン１０２を加工開始位置から加工終了位置まで加工する一連の加工動作を、１項目の加工動作として設定している。また、動作順序データ１５０は、実施形態１では、加工ユニット２０を、前に加工した分割予定ライン１０２の加工終了位置から次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置へ移動させる一連の移動動作を、１項目の移動動作として設定している。ここで、動作順序データ１５０の一連の加工動作の途中、すなわち、動作順序データ１５０の１項目の加工動作の途中は、本発明における分割予定ライン１０２に沿った加工の加工途中に相当している。

制御ユニット４０は、図１に示すように、加工位置認識部４１と、加工途中判定部４２と、加工続行部４３と、加工中断部４４と、を備える。加工位置認識部４１は、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置を認識する。加工位置認識部４１は、実施形態１では、加工ユニット２０の切削ブレード２１が被加工物１００を切削加工している位置を、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置として認識する。

図３は、図１の加工位置認識部４１の機能を説明する図である。加工位置認識部４１は、図３に示すように、保持テーブル１０の保持面１１の中心を原点として設定されたデジタルのＸＹＺ座標系である保持テーブル座標系１５で、保持テーブル１０の保持面１１で吸引保持された被加工物１００の各部の位置及び領域の情報、並びに、保持テーブル１０に対して相対的に移動する加工ユニット２０及び切削ブレード２１の位置の情報を認識し、処理する。

加工位置認識部４１は、撮像ユニット２３が撮像した保持テーブル１０上の被加工物１００の表面１０１の画像に基づいて制御ユニット４０が遂行したアライメントの結果や制御ユニット４０に事前に入力されている被加工物１００の外形やデバイス領域１０８のサイズなどの加工条件に関する情報に従って、保持テーブル座標系１５における保持テーブル１０上の被加工物１００の分割予定ライン１０２の位置やデバイス領域１０８の情報などを含む各部の位置及び領域の情報を認識し、処理する。

加工位置認識部４１は、Ｘ軸位置検出ユニット３４が検出した保持テーブル１０のＸ軸方向の位置の情報と、Ｙ軸位置検出ユニット３５が検出した加工ユニット２０のＹ軸方向の位置の情報と、を取得する。加工位置認識部４１は、これらの取得した保持テーブル１０のＸ軸方向の位置の情報と、加工ユニット２０のＹ軸方向の位置の情報とに基づいて、保持テーブル座標系１５における加工ユニット２０の切削ブレード２１の位置の情報を算出する。

加工位置認識部４１は、保持テーブル座標系１５での被加工物１００の分割予定ライン１０２などの各部の位置及び領域の情報と、加工ユニット２０の切削ブレード２１の位置の情報とに基づいて、被加工物１００の各部の位置及び領域に対する加工ユニット２０の切削ブレード２１の相対位置を算出し、Ｚ軸方向の上方から見た平面視における被加工物１００の各部の位置及び領域に対する加工ユニット２０の切削ブレード２１の相対位置を、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置と認識する。

加工途中判定部４２は、加工位置認識部４１が認識した加工位置等に基づいて、加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中であるか否かを判定する。

加工続行部４３は、加工装置１に電力供給する電源が非常用電源として機能するバッテリー６１に切り替わった際に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が終了するまで、非常用電源（バッテリー６１）によって加工を続行する。

加工中断部４４は、加工位置認識部４１からの情報により加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が完了したと判断した場合、加工ユニット２０の加工を中断する。加工中断部４４は、実施形態１では、Ｚ軸移動ユニット３３により、切削ブレード２１及びスピンドル２２を回転させた状態で被加工物１００から離間させ、切削ブレード２１が被加工物１００に接触しない位置に位置付けることで、加工ユニット２０による加工を中断する。

加工中断部４４は、さらに実施形態１においては、加工ユニット２０による加工の中断動作の完了後に、Ｘ軸移動ユニット３１及びＹ軸移動ユニット３２により、互いに離間させた加工ユニット２０と保持テーブル１０とを相対的にＸＹ平面内の方向に移動させ、次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に加工ユニット２０を位置付ける移動動作を実施してもよい。

加工位置認識部４１、加工途中判定部４２、加工続行部４３及び加工中断部４４の各機能は、制御ユニット４０の演算処理装置により実現される。加工位置認識部４１、加工途中判定部４２、加工続行部４３及び加工中断部４４の詳細な機能は、後述する被加工物の加工方法の詳細な説明の箇所で説明する。

商用電源５０は、商用の交流電力を供給する。商用電源５０は、ＵＰＳ６０の電子回路を介して、制御ユニット４０に接続されている。商用電源５０は、通常時には、ＵＰＳ６０の電子回路を介して、加工装置１の各構成要素を駆動する駆動回路に電力を供給する。また、商用電源５０は、通常時には、ＵＰＳ６０のバッテリー６１を充電する。

ＵＰＳ６０は、図１に示すように、非常用電源として機能するバッテリー６１と、検出器６２と、電子回路制御ユニット６３と、開閉スイッチ６４，６５と、を備える。ＵＰＳ６０は、一方側が商用電源５０に接続され、他方側が加工装置１の各構成要素に接続されている。

ＵＰＳ６０の電子回路は、電力の経路が第１経路、第２経路、第３経路の３つに分岐している。ＵＰＳ６０の電子回路の第１経路は、上流側から順に、開閉スイッチ６４と、検出器６２と、不図示の整流器とが設けられており、下流側が制御ユニット４０に接続されている。ＵＰＳ６０の電子回路の第２経路は、上流側から順に、不図示の充電回路と、バッテリー６１と、開閉スイッチ６５とが設けられており、下流側が制御ユニット４０に接続されている。ＵＰＳ６０の電子回路の第３経路は、電子回路制御ユニット６３が接続されている。

バッテリー６１は、通常時には不図示の充電回路を介して商用電源５０よる交流電力の供給を受けて直流電力を蓄積する。バッテリー６１は、停電時には商用電源５０に代わって、制御ユニット４０を介して、加工装置１の各構成要素を駆動する駆動回路に、通常時に蓄積した直流電力を供給する。

検出器６２は、第１経路を通る電力を検出し、検出結果を電子回路制御ユニット６３に送信する。検出器６２は、開閉スイッチ６４が閉状態の際に、第１経路を通る電力を検出することで、商用電源５０からの交流電力の供給を監視する本発明に係る監視ユニットとして機能する。

開閉スイッチ６４，６５は、いずれも、閉状態の時に電子回路を接続し、開状態の時に電子回路を断絶する。開閉スイッチ６４，６５は、電子回路制御ユニット６３により開閉動作が制御される。通常時の場合には、図１中の実線で示す様に、開閉スイッチ６４が閉状態となり、開閉スイッチ６５が開状態となる。また、停電時の場合には、図１中の二点鎖線で示す様に、開閉スイッチ６４が開状態となり、開閉スイッチ６５が閉状態となる。

電子回路制御ユニット６３は、通常時には、第３経路を介して商用電源５０から電力の供給を受けて作動する。また、電子回路制御ユニット６３は、バッテリー６１と不図示の回路で接続されており、停電時には、バッテリー６１から電力の供給を受けて作動する。電子回路制御ユニット６３は、検出器６２による電力の検出結果を受信する。電子回路制御ユニット６３は、制御ユニット４０と情報通信可能に接続されている。

電子回路制御ユニット６３は、通常時には、開閉スイッチ６４を閉状態にして第１経路を接続した状態とすることで、第１経路を介して商用電源５０と制御ユニット４０とを電気的に接続し、商用電源５０から制御ユニット４０への電力の供給を可能にする。このとき、商用電源５０から供給された交流電力は、閉状態の開閉スイッチ６４と検出器６２とを通過し、不図示の整流器によって直流電力に変換され、制御ユニット４０に供給される。また、電子回路制御ユニット６３は、通常時には、検出器６２による商用電源５０からの交流電力を検出した検出結果を検出器６２から受信することで、通常時であることを確認できる。また、電子回路制御ユニット６３は、通常時には、開閉スイッチ６５を開状態にして第２経路を断絶した状態とすることで、商用電源５０からバッテリー６１への電力の供給によるバッテリー６１の充電を可能にする。

電子回路制御ユニット６３は、検出器６２による交流電圧の波形の検出結果が異常となった場合、停電と判定する。電子回路制御ユニット６３は、停電と判定したとき、開閉スイッチ６４を開状態に切り替えることにより第１経路を断絶した状態とし商用電源５０をＵＰＳ６０から実質的に電気的に切り離す。また、電子回路制御ユニット６３は、電子回路制御ユニット６３への電力の供給源を、商用電源５０からバッテリー６１に切り替えて、そのまま作動状態を維持する。電子回路制御ユニット６３は、さらに、開閉スイッチ６５を閉状態に切り替えることにより第２経路を接続した状態とすることで、第２経路を介してバッテリー６１と制御ユニット４０とを電気的に接続し、バッテリー６１から制御ユニット４０への電力の供給を可能にする。また、電子回路制御ユニット６３は、停電と判定したとき、制御ユニット４０に停電となった旨の信号を送信する。

電子回路制御ユニット６３は、停電時にもバッテリー６１から電力の供給を受けて作動し続けているので、検出器６２による電力の検出をし、検出器６２からの電力の検出結果を受信する。電子回路制御ユニット６３は、検出器６２による電力の検出結果に応じて、停電が復旧したと判定する。電子回路制御ユニット６３は、停電が復旧した後、開閉スイッチ６４，６５を通常時と同様の状態に切り替え戻すことで、非常用電源として機能するバッテリー６１から制御ユニット４０への電力の供給を終了し、商用電源５０から制御ユニット４０への電力の供給を可能にするとともに、商用電源５０からバッテリー６１への電力の供給によるバッテリー６１の充電を可能な状態にする。また、電子回路制御ユニット６３は、電子回路制御ユニット６３への電力の供給源を、バッテリー６１から商用電源５０に切り替え戻して、そのまま作動状態を維持する。また、電子回路制御ユニット６３は、停電が復旧したと判定したとき、制御ユニット４０に停電が復旧した旨の信号を送信する。

電子回路制御ユニット６３は、実施形態１では、回路基板であり、検出器６２による電力の検出結果に応じて速やかに開閉スイッチ６４，６５を切り替えることができる。なお、電子回路制御ユニット６３は、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット４０と同様にコンピュータシステムを含んでいてもよい。また、実施形態１では、制御ユニット４０と電子回路制御ユニット６３とが互いに分離して、独立して設けられているが、本発明ではこれに限定されず、一体化して設けられていてもよい。

ＵＰＳ６０のバッテリー６１は、少なくとも、加工装置１が停電時以降に実施する各動作に消費する分の電力を蓄積する容量を有する。ここで、加工装置１が停電時以降に実施する各動作は、実施形態１では、後述する被加工物の加工方法の詳細な説明の箇所で説明するように、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置の認識動作と、停電時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後に加工ユニット２０の加工を中断する中断動作と、中断動作後に加工ユニット２０を次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に移動させる移動動作と、切削ブレード２１及びスピンドル２２をさらに被加工物１００から離間させて切削ブレード２１及びスピンドル２２の回転を停止させる停止動作と、である。なお、中断動作は、実施形態１では、加工動作後の切削ブレード２１及びスピンドル２２を回転させた状態で被加工物１００から離間させる離間動作である。このため、バッテリー６１は、実施形態１では、少なくとも、加工装置１が、加工位置の認識動作と、一番長い分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、中断動作後の一番移動距離が長い移動動作と、停止動作と、を実施する際に消費する分の電力を蓄積する容量を有する。

なお、バッテリー６１は、本発明ではこれに限定されず、加工装置１が停電時以降に実施する動作が加工位置の認識動作と、停電時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、のみである場合には、少なくとも、加工装置１が、加工位置の認識動作と、一番長い分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、を実施する際に消費する分の電力を蓄積する容量を有していればよい。また、バッテリー６１は、加工装置１が停電時以降に実施する動作が加工位置の認識動作と、停電時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、中断動作後の移動動作と、のみである場合には、少なくとも、加工装置１が、加工位置の認識動作と、一番長い分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、中断動作後の一番移動距離が長い移動動作と、を実施する際に消費する分の電力を蓄積する容量を有していればよい。また、バッテリー６１は、加工装置１が停電時以降に実施する動作が加工位置の認識動作と、停電時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、中断動作後の停止動作と、のみである場合には、少なくとも、加工装置１が、加工位置の認識動作と、一番長い分割予定ライン１０２の加工動作と、加工動作後の中断動作と、停止動作と、を実施する際に消費する分の電力を蓄積する容量を有していればよい。また、バッテリー６１は、一番長い分割予定ライン１０２を加工できる容量を備えることが理想的であるが、ほとんどは加工途中に停電になるため、それより少ない容量であっても分割予定ライン１０２の加工途中で中断される可能性は従来よりも少なくなる。そのため、バッテリー６１は、必ずしも一番長い分割予定ライン１０２を加工できる容量を備えていなくても良い。

次に、本明細書は、実施形態１に係る加工装置１の動作の一例である実施形態１に係る被加工物の加工方法の一例を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態１に係る被加工物の加工方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。図５は、図４の加工途中判定ステップ１００７の詳細な処理の手順の一例を示すフローチャートである。実施形態１に係る被加工物の加工方法は、図４に示すように、保持ステップ１００１と、加工ステップ１００２と、切り替えステップ１００５と、加工位置認識ステップ１００６と、加工途中判定ステップ１００７と、加工続行ステップ１００８と、加工中断ステップ１００９と、停電復旧判定ステップ１０１０と、切り戻しステップ１０１１と、停止ステップ１０１２と、を備える。

保持ステップ１００１は、被加工物１００を保持テーブル１０に保持するステップである。保持ステップ１００１では、実施形態１では、保持テーブル１０が、表面１０１側を上側に向けて保持テーブル１０上に載置された被加工物１００を吸引保持する。

加工ステップ１００２は、保持ステップ１００１の後で実施され、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工するステップである。加工ステップ１００２では、実施形態１では、まず、制御ユニット４０が、撮像ユニット２３が撮像した保持テーブル１０上の被加工物１００の表面１０１の画像に基づいて、被加工物１００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行する。加工ステップ１００２では、加工位置認識部４１が、アライメントの遂行結果に従って、被加工物の加工方法の実施中における保持テーブル座標系１５での被加工物１００の分割予定ライン１０２などの各部の位置及び領域の情報を取得する。加工ステップ１００２では、次に、加工装置１は、切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３により、切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して相対的に移動させることにより、被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って切削加工して、分割予定ライン１０２に沿って切削溝による加工ラインを形成する。

ここで、加工ステップ１００２を実施することにより、加工する予定の全ての分割予定ライン１０２に沿って切削加工を終了した場合（図４のステップ１００３でＹｅｓ）、被加工物の加工方法の処理を終了する。

加工ステップ１００２を実施中であり、加工する予定の全ての分割予定ライン１０２に沿って切削加工を終了していない場合において（ステップ１００３でＮｏ）、停電が発生していない場合（図４のステップ１００４でＮｏ）、加工ステップ１００２を継続する。

加工ステップ１００２を実施中であり、加工する予定の全ての分割予定ライン１０２に沿って切削加工を終了していない場合において（ステップ１００３でＮｏ）、停電が発生した場合（ステップ１００４でＹｅｓ）、処理を切り替えステップ１００５に進める。

ステップ１００４では、電子回路制御ユニット６３が、検出器６２による交流電圧の波形の検出結果が正常である場合、商用電源５０から加工装置１の各構成要素を駆動する駆動回路に正常に交流電力が供給されていると判定し、停電が発生していない場合であると判定する（ステップ１００４でＮｏ）。また、ステップ１００４では、電子回路制御ユニット６３が、検出器６２による交流電圧の波形の検出結果が異常となった場合、商用電源５０から加工装置１の各駆動回路に供給される交流電力が低下又は停止されたと判定し、停電時となったと判定し（ステップ１００４でＹｅｓ）、停電時となった旨の信号を制御ユニット４０に送信する。

切り替えステップ１００５は、電子回路制御ユニット６３が、停電が発生した場合（ステップ１００４でＹｅｓ）、加工装置１への電力供給を非常用電源に切り替えるステップである。切り替えステップ１００５では、具体的には、電子回路制御ユニット６３は、開閉スイッチ６４を開状態に切り替え、なおかつ、開閉スイッチ６５を閉状態に切り替えることにより、商用電源５０をＵＰＳ６０から実質的に電気的に切り離すとともに、非常用電源として機能するバッテリー６１から制御ユニット４０への電力の供給を可能な状態にすることで、加工装置１への電力供給を非常用電源であるバッテリー６１に切り替える。

加工位置認識ステップ１００６は、切り替えステップ１００５の実施時に、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置等を認識するステップである。加工位置認識ステップ１００６は、上記した加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置の認識動作を実施する処理である。

加工位置認識ステップ１００６では、具体的には、まず、加工位置認識部４１が、電子回路制御ユニット６３から停電時となった旨の信号を受信したときの時刻に基づいて、切り替えステップ１００５の実施時の時刻を認識する。

加工位置認識ステップ１００６では、また、加工位置認識部４１が、Ｘ軸位置検出ユニット３４が検出した保持テーブル１０のＸ軸方向の位置の情報と、Ｙ軸位置検出ユニット３５が検出した加工ユニット２０のＹ軸方向の位置の情報と、を取得する。加工位置認識ステップ１００６では、そして、加工位置認識部４１が、これらの取得した保持テーブル１０のＸ軸方向の位置の情報と、加工ユニット２０のＹ軸方向の位置の情報とに基づいて、切り替えステップ１００５の実施時における保持テーブル座標系１５での加工ユニット２０の切削ブレード２１の位置の情報を算出する。

加工位置認識ステップ１００６では、加工位置認識部４１が、算出した切り替えステップ１００５の実施時における保持テーブル座標系１５での分割予定ライン１０２などの被加工物１００の各部の位置及び領域の情報と、切り替えステップ１００５の実施時における保持テーブル座標系１５での加工ユニット２０の切削ブレード２１の位置の情報とに基づいて、切り替えステップ１００５の実施時における被加工物１００の各部の位置及び領域に対する加工ユニット２０の切削ブレード２１の相対位置を算出する。加工位置認識ステップ１００６では、そして、加工位置認識部４１が、Ｚ軸方向の上方から見た平面視における被加工物１００の各部の位置及び領域に対する加工ユニット２０の切削ブレード２１の相対位置を、加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置とする。

加工途中判定ステップ１００７は、加工位置認識ステップ１００６の実施後、加工途中判定部４２が、加工位置認識ステップ１００６で認識した切り替えステップ１００５の実施時の加工位置等に基づいて、切り替えステップ１００５の実施時に加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中であるか否かを判定するステップである。

加工途中判定ステップ１００７では、まず、加工途中判定部４２は、切り替えステップ１００５の実施時における加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が、被加工物１００の加工領域内にあるか否かを判定する（図５のステップ１０３１）。

ステップ１０３１では、例えば、加工途中判定部４２は、動作順序データ１５０により被加工物１００の外縁１０７（図３参照）の内側が加工動作における加工領域であると設定されている場合、算出した加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が外縁１０７上または外縁１０７の内側に位置しているときには加工領域内であると判定し、算出した加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が外縁１０７の外側に位置しているときには加工領域外であると判定する。

ステップ１０３１では、他の例では、加工途中判定部４２は、動作順序データ１５０により被加工物１００のデバイス１０３が形成されたデバイス領域１０８（図３参照）内が加工動作における加工領域であり、デバイス領域１０８を囲繞する外周余剰領域１０９（図３参照）を含むデバイス領域１０８の外側が加工動作における加工領域外と設定されている場合、算出した加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置がデバイス領域１０８と外周余剰領域１０９との境界上またはデバイス領域１０８内に位置しているときには加工領域内であると判定し、算出した加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が外周余剰領域１０９を含むデバイス領域１０８の外側に位置しているときには加工領域外であると判定する。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３１で、切り替えステップ１００５の実施時における加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が、被加工物１００の加工領域外であると判定した場合（ステップ１０３１でＮｏ）、加工装置１が移動動作を終えて加工動作を始める前もしくは加工動作を終えて移動動作を始める前である、すなわち、加工ユニット２０が被加工物１００を加工前または加工後であると判定し（図５のステップ１０３２）、加工途中判定ステップ１００７の処理を図５のステップ１０３５に進める。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３１で、切り替えステップ１００５の実施時における加工ユニット２０による被加工物１００の加工位置が、被加工物１００の加工領域内であると判定した場合（ステップ１０３１でＮｏ）、加工途中判定ステップ１００７の処理を図５のステップ１０３３に進める。

加工途中判定部４２は、算出した被加工物１００の各部の位置及び領域に対する加工ユニット２０の切削ブレード２１の相対位置のＺ軸座標に基づいて、加工ユニット２０の切削ブレード２１が被加工物１００に接触しているか否かを判定する（ステップ１０３３）。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３３で、加工ユニット２０の切削ブレード２１が被加工物１００に接触していないと判定した場合（ステップ１０３３でＮｏ）、加工装置１が移動動作のいずれかを実施中である、すなわち、加工ユニット２０が被加工物１００から離間して移動途中であると判定し（図５のステップ１０３４）、加工途中判定ステップ１００７の処理をステップ１０３５に進める。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３３で、加工ユニット２０の切削ブレード２１が被加工物１００に接触していると判定した場合（ステップ１０３３でＹｅｓ）、加工装置１が動作順序データ１５０で設定する一連の加工動作（１項目の加工動作）のいずれかを実施中である、すなわち、加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中であると判定し（図５のステップ１０３６）、加工途中判定ステップ１００７の処理を図５のステップ１０３７に進める。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３５では、ステップ１０３２で加工ユニット２０が被加工物１００を加工前または加工後であると判定した場合と、ステップ１０３４で加工ユニット２０が被加工物１００から離間して移動途中であると判定した場合とについて、加工途中判定ステップ１００７において「Ｎｏ」と判定する旨を決定し、加工途中判定ステップ１００７の処理を終了する。

加工途中判定部４２は、ステップ１０３７では、ステップ１０３６で加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中であると判定した場合について、加工途中判定ステップ１００７において「Ｙｅｓ」と判定する旨を決定し、加工途中判定ステップ１００７の処理を終了する。

加工途中判定部４２が加工途中判定ステップ１００７において「Ｎｏ」と判定した場合（加工途中判定ステップ１００７でＮｏ）、加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中ではないので、加工続行部４３は特に何もせず、被加工物の加工方法の処理を、加工続行ステップ１００８を飛ばして加工中断ステップ１００９に進める。

加工途中判定部４２が加工途中判定ステップ１００７において「Ｙｅｓ」と判定した場合（加工途中判定ステップ１００７でＹｅｓ）、加工ユニット２０が被加工物１００を加工途中であるので、被加工物の加工方法の処理を加工続行ステップ１００８に進める。

加工続行ステップ１００８は、加工続行部４３が、切り替えステップ１００５の実施時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が終了するまで非常用電源（バッテリー６１）によって加工を続行するステップである。加工続行ステップ１００８は、上記した停電時に加工途中であった分割予定ライン１０２の加工動作を実施する処理である。

加工続行ステップ１００８では、加工続行部４３は、バッテリー６１から供給される非常用の電力を使用して、通常時の商用電源５０から供給される電力を使用していた時（加工ステップ１００２）と同様に、引き続き加工ユニット２０の切削ブレード２１を回転させながら、引き続き切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して相対的に移動させることにより、切り替えステップ１００５の実施時に加工途中であった分割予定ライン１０２に沿って、当該分割予定ライン１０２の加工終了位置まで被加工物１００を切削加工して、１本の切削溝による加工ラインを完全に形成する。加工続行ステップ１００８では、加工続行部４３は、このようにして、動作順序データ１５０によって設定された加工動作の項目のうち、切り替えステップ１００５の実施時に実施中であった加工動作の項目を完遂させる。

加工中断ステップ１００９は、加工中断部４４が、加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が完了すると、加工を中断するステップである。加工中断ステップ１００９は、実施形態１では、中断ステップ１０２１と、加工準備ステップ１０２２と、を含む。なお、加工中断ステップ１００９は、本発明ではこれに限定されず、中断ステップ１０２１のみを実施してもよい。

中断ステップ１０２１は、加工中断部４４が、加工を中断するステップである。中断ステップ１０２１は、上記した加工動作後に加工ユニット２０の加工を中断する中断動作を実施する処理である。中断ステップ１０２１では、実施形態１では、加工中断部４４が、Ｚ軸移動ユニット３３により、切削ブレード２１及びスピンドル２２を回転させた状態で被加工物１００から離間させ、切削ブレード２１が被加工物１００に接触しない位置に位置付けることで、加工ユニット２０による加工を中断する。

加工準備ステップ１０２２は、中断ステップ１０２１の実施後に、加工中断部４４が、加工ユニット２０と保持テーブル１０とを相対的に移動させ、次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に加工ユニット２０を位置づけるステップである。加工準備ステップ１０２２は、上記した中断動作後に加工ユニット２０を次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に移動させる移動動作を実施する処理である。加工準備ステップ１０２２では、実施形態１では、加工中断部４４が、Ｘ軸移動ユニット３１及びＹ軸移動ユニット３２により、互いに離間させた加工ユニット２０と保持テーブル１０とを相対的にＸＹ平面内の方向に移動させ、次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に加工ユニット２０を位置付ける。

停電復旧判定ステップ１０１０は、加工中断ステップ１００９の実施後の所定時間内に、電子回路制御ユニット６３が、商用電源５０からの電力供給が回復したか否かを判定するステップである。電子回路制御ユニット６３は、当該所定時間内に停電が復旧し、商用電源５０からの電力供給が回復したと判定したとき（停電復旧判定ステップ１０１０でＹｅｓ）、当該所定時間内に制御ユニット４０に停電が復旧した旨の信号を送信し、被加工物の加工方法の処理を切り戻しステップ１０１１に進める。

切り戻しステップ１０１１は、電子回路制御ユニット６３が、加工装置１への電力供給を非常用電源から商用電源５０に切り替え戻すステップである。切り戻しステップ１０１１では、電子回路制御ユニット６３は、開閉スイッチ６４，６５を通常時と同様の状態に切り替え戻すことで、非常用電源として機能するバッテリー６１から制御ユニット４０への電力の供給を終了し、商用電源５０から制御ユニット４０への電力の供給を可能にするとともに、商用電源５０からバッテリー６１への電力の供給によるバッテリー６１の充電を可能な状態にすることで、加工装置１への電力供給を非常用電源であるバッテリー６１から商用電源５０に切り替え戻す。

また、制御ユニット４０は、加工中断ステップ１００９の実施後の所定時間内に電子回路制御ユニット６３から停電が復旧した旨の信号を受信した場合（停電復旧判定ステップ１０１０でＹｅｓに相当）、停電復旧判定ステップ１０１０の後に電子回路制御ユニット６３が切り戻しステップ１０１１を実施すると判断して、被加工物の加工方法の処理を再び加工ステップ１００２に進める。実施形態１に係る被加工物の加工方法では、このようにして、加工装置１は、所定時間内に商用電源５０からの電力供給が回復した場合、再び加工ステップ１００２を実施（再開）する。

一方、電子回路制御ユニット６３は、当該所定時間内に停電が復旧せず、商用電源５０からの電力供給が回復しなかったと判定したとき（停電復旧判定ステップ１０１０でＮｏ）、当該所定時間内に制御ユニット４０に停電が復旧した旨の信号を送信しない。また、制御ユニット４０は、加工中断ステップ１００９の実施後の所定時間内に電子回路制御ユニット６３から停電が復旧した旨の信号を受信しなかった場合（停電復旧判定ステップ１０１０でＮｏに相当）、被加工物の加工方法の処理を停止ステップ１０１２に進める。

停止ステップ１０１２は、所定時間内に商用電源５０からの電力供給が回復しない場合に実施され、制御ユニット４０が、Ｚ軸移動ユニット３３により切削ブレード２１及びスピンドル２２を加工中断ステップ１００９の実施時よりさらに被加工物１００から離間させ、切削ブレード２１及びスピンドル２２の回転も停止させるステップである。停止ステップ１０１２は、上記した切削ブレード２１及びスピンドル２２をさらに被加工物１００から離間させて切削ブレード２１及びスピンドル２２の回転を停止させる停止動作を実施する処理である。実施形態１に係る被加工物の加工方法は、停止ステップ１０１２を実施後、処理を終了する。

なお、停電復旧判定ステップ１０１０で商用電源５０からの電力供給が回復したか否かを判定する時間を決定する所定時間は、実施形態１では、商用電源５０に発生した停電が瞬停の場合と、瞬停ではなく瞬停よりも十分に長い時間の停電の場合とで、加工中断ステップ１００９の実施後の処理を分けることが可能な時間に適宜設定することができる。

以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、商用電源５０から加工装置１に供給される電力が低下した場合、加工装置１への電力供給を非常用電源であるバッテリー６１に切り替え、加工装置１への電力供給をバッテリー６１に切り替えたときに加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が終了するまでバッテリー６１の電力を使用して加工を続行し、加工途中であった分割予定ライン１０２の加工が完了すると、加工を中断する。このため、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、瞬停を含む停電による加工中断位置が分割予定ライン１０２の途中となる可能性を抑制できるという作用効果を奏する。実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、このように、分割予定ライン１０２の途中で加工が中断される可能性を抑制できるので、中断の前後で同じ分割予定ライン１０２に沿って加工する加工位置がずれる等の問題が生じることを抑制でき、これに伴い、デバイス１０３に不良をもたらす可能性を低減することができるという作用効果を奏する。

また、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、加工を中断する際もしくは後に、加工ユニット２０と保持テーブル１０とを相対的に移動させ、次に加工する分割予定ライン１０２の加工開始位置に加工ユニット２０を位置づける。このため、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、停電が復旧した場合に、速やかに次の加工動作から加工を開始することができるという作用効果を奏する。

また、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、加工ユニット２０が切削ブレード２１を回転可能に保持するスピンドル２２を含み、切削ブレード２１及びスピンドル２２を回転させた状態で被加工物１００から離間させ、切削ブレード２１が被加工物１００に接触しない位置に位置づけることで、加工ユニット２０による加工を中断する。このため、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、加工途中であった分割予定ライン１０２の加工の完了後、より確実に加工ユニット２０による加工を中断することができるという作用効果を奏する。

また、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、加工ユニット２０による加工を中断した後、所定時間内に商用電源５０からの電力供給が回復した場合、再び加工ユニット２０による加工を実施（再開）し、所定時間内に商用電源５０からの電力供給が回復しない場合、切削ブレード２１及びスピンドル２２を加工の中断時よりさらに被加工物１００から離間させ、切削ブレード２１及びスピンドル２２の回転も停止させる。このため、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、瞬停の場合には、瞬停から復旧した場合に速やかに加工ユニット２０による加工を再開できるとともに、瞬停ではなく瞬停よりも十分に長い時間の停電の場合に様々なトラブルに備えて加工ユニット２０による加工を停止することができる。すなわち、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法は、停電の種類に応じて加工装置１及び被加工物１００にとって好ましい対応が自動的に実施できるという作用効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１−２を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る加工装置１−２の構成例を示す斜視図である。図７は、実施形態２に係る加工途中判定ステップ１００７の詳細な処理の手順の一例を示すフローチャートである。図６及び図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る加工装置１−２は、実施形態１に係る加工装置１において、加工ユニット２０を加工ユニット７０に変更し、これに伴い種々の変更をしたものである。

加工ユニット７０は、実施形態２ではレーザー加工ユニットであり、レーザー光線照射部７１を含む。加工ユニット７０は、固定して設けられている。レーザー光線照射部７１は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００にレーザー光線を照射してレーザー加工する。

Ｘ軸移動ユニット３１は、実施形態２では、保持テーブル１０をＸ軸方向に沿って、加工ユニット７０のレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置に対して相対的に移動させる。Ｙ軸移動ユニット３２は、実施形態２では、保持テーブル１０をＹ軸方向に沿って、加工ユニット７０のレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置に対して相対的に移動させる。Ｚ軸移動ユニット３３は、実施形態２では、省略されている。

Ｘ軸位置検出ユニット３４は、実施形態２では、Ｘ軸移動ユニット３１により保持テーブル１０とともにＸ軸方向に移動する部材に設けられ、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出する。Ｙ軸位置検出ユニット３５は、実施形態２では、Ｙ軸移動ユニット３２により保持テーブル１０とともにＹ軸方向に移動する部材に設けられ、保持テーブル１０のＹ軸方向の位置を検出する。Ｚ軸位置検出ユニット３６は、実施形態２では、省略されている。

加工装置１−２は、レーザー光線照射部７１によりレーザー光線を照射しながら、Ｘ軸移動ユニット３１及びＹ軸移動ユニット３２により、それぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って、レーザー光線照射部７１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して相対的に移動させることにより、被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿ってレーザー加工して、分割予定ライン１０２に沿ってレーザー加工溝による加工ラインを形成する。加工装置１−２は、さらに、実施形態１に係る撮像ユニット２３と同様の撮像ユニット７３を備える。撮像ユニット７３は、実施形態２では、加工ユニット７０と一体的に移動するように、加工ユニット７０に固定されている。

加工位置認識部４１は、実施形態２では、保持テーブル座標系１５で、保持テーブル１０の保持面１１で吸引保持された被加工物１００の各部の位置及び領域の情報、並びに、保持テーブル１０に対して相対的に移動するレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置の情報を認識し、処理する。

加工位置認識部４１は、実施形態２では、Ｘ軸位置検出ユニット３４が検出した保持テーブル１０のＸ軸方向の位置の情報と、Ｙ軸位置検出ユニット３５が検出した保持テーブル１０のＹ軸方向の位置の情報と、を取得する。加工位置認識部４１は、実施形態２では、これらの取得した保持テーブル１０のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の情報に基づいて、保持テーブル座標系１５におけるレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置の情報を算出する。

加工位置認識部４１は、実施形態２では、保持テーブル座標系１５での被加工物１００の各部の位置及び領域の情報と、レーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置の情報とに基づいて、被加工物１００の各部の位置及び領域に対するレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置の相対位置を算出し、Ｚ軸方向の上方から見た平面視における被加工物１００の各部の位置及び領域に対するレーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射位置の相対位置を、加工ユニット７０による被加工物１００の加工位置と認識する。

次に、本明細書は、実施形態２に係る加工装置１−２の動作の一例である実施形態２に係る被加工物の加工方法の一例を説明する。実施形態２に係る被加工物の加工方法の一例の説明では、実施形態１に係る被加工物の加工方法の一例の説明と異なる部分のみ説明する。

実施形態２に係る被加工物の加工方法の加工ステップ１００２では、加工装置１−２は、実施形態１と同様のアライメントを遂行した後、レーザー光線照射部７１によりレーザー光線を照射しながら、Ｘ軸移動ユニット３１及びＹ軸移動ユニット３２により、それぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って、レーザー光線照射部７１を保持テーブル１０に保持された被加工物１００に対して相対的に移動させることにより、被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿ってレーザー加工して、分割予定ライン１０２に沿ってレーザー加工溝による加工ラインを形成する。

実施形態２に係る被加工物の加工方法の加工途中判定ステップ１００７は、図７に示すように、実施形態１において、ステップ１０３３をステップ１０４１に変更したものである。実施形態２に係る被加工物の加工方法のステップ１０４１では、加工途中判定部４２が、レーザー光線照射部７１がレーザー光線を照射しているか否かを判定する。実施形態２に係る被加工物の加工方法のステップ１０４１では、加工途中判定部４２が、レーザー光線照射部７１がレーザー光線を照射していないと判定した場合（ステップ１０４１でＮｏ）、実施形態２に係る被加工物の加工方法の処理をステップ１０３４に進める。実施形態２に係る被加工物の加工方法のステップ１０４１では、加工途中判定部４２が、レーザー光線照射部７１がレーザー光線を照射していると判定した場合（ステップ１０４１でＹｅｓ）、実施形態２に係る被加工物の加工方法の処理をステップ１０３６に進める。

実施形態２に係る被加工物の加工方法の中断ステップ１０２１は、加工中断部４４が、レーザー光線照射部７１によるレーザー光線の照射を停止することで、加工ユニット７０による加工を中断する。

被加工物の加工方法の停止ステップ１０１２は、実施形態２では実質的に実施形態２に係る被加工物の加工方法の中断ステップ１０２１と同様であるので、省略される。

以上のような構成を有する実施形態２に係る加工装置１−２及び実施形態２に係る被加工物の加工方法は、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法において、加工ユニット２０による切削加工に代えて加工ユニット７０によるレーザー加工を実施するものである。このため、実施形態２に係る加工装置１−２及び実施形態２に係る被加工物の加工方法は、加工ユニット２０による切削加工を実施することによるものを除き、実施形態１に係る加工装置１及び実施形態１に係る被加工物の加工方法と同様の作用効果を奏する。

また、実施形態２に係る加工装置１−２及び実施形態２に係る被加工物の加工方法は、加工ユニット７０が被加工物１００にレーザー光線を照射して加工するレーザー光線照射部７１を含み、レーザー光線の照射を停止することで加工ユニット７０による加工を中断する。このため、実施形態２に係る加工装置１−２及び実施形態２に係る被加工物の加工方法は、加工途中であった分割予定ライン１０２の加工の完了後、より確実に加工ユニット７０による加工を中断することができるという作用効果を奏する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１，１−２ 加工装置
１０ 保持テーブル
２０，７０ 加工ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
４０ 制御ユニット
４１ 加工位置認識部
４２ 加工途中判定部
４３ 加工続行部
４４ 加工中断部
５０ 商用電源
６１ バッテリー（非常用電源）
６２ 検出器（監視ユニット）
６３ 電子回路制御ユニット
７１ レーザー光線照射部
１００ 被加工物

Claims (6)

1. 被加工物の加工方法であって、
   被加工物を保持テーブルに保持する保持ステップと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を加工ユニットによって分割予定ラインにそって加工する加工ステップと、
   商用電源から加工装置に供給される電力が低下した場合、該加工装置への電力供給を非常用電源に切り替える切り替えステップと、
   該切り替えステップの実施時に加工途中であった該分割予定ラインの加工が終了するまで該非常用電源によって加工を続行する加工続行ステップと、
   加工途中であった該分割予定ラインの加工が完了すると、加工を中断する加工中断ステップと、
   を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。
2. 該加工中断ステップは、該加工ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させ、次に加工する該分割予定ラインの加工開始位置に該加工ユニットを位置づける加工準備ステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工方法。
3. 該加工ユニットは、切削ブレードを回転可能に保持するスピンドルを含み、
   該加工中断ステップは、該スピンドルを回転させた状態で被加工物から離間させ、該切削ブレードが被加工物に接触しない位置に位置づけることを特徴とする請求項１または２に記載の被加工物の加工方法。
4. 該加工中断ステップの実施後、所定時間内に該商用電源からの電力供給が回復した場合、再び該加工ステップを実施し、該所定時間内に該商用電源からの電力供給が回復しない場合、該スピンドルを該加工中断ステップの実施時よりさらに被加工物から離間させ、該スピンドルの回転も停止させることを特徴とする請求項３に記載の被加工物の加工方法。
5. 該加工ユニットは、被加工物にレーザー光線を照射して加工するレーザー光線照射部を含み、
   該加工中断ステップは、該レーザー光線の照射を停止することを特徴とする請求項１または２に記載の被加工物の加工方法。
6. 分割予定ラインが複数形成された被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工装置であって、
   被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
   該加工装置と接続される商用電源と、
   該加工装置と接続される非常用電源と、
   商用電源からの電力の供給を監視する監視ユニットと、
   該監視ユニットからの信号により該商用電源からの電力が停止または低下した際に、該加工装置への電力供給を該非常用電源に切り替える電子回路制御ユニットと、
   制御ユニットと、を備え、
   該制御ユニットは、
   該加工ユニットによる被加工物の加工位置を認識する加工位置認識部と、
   認識した該加工位置に基づいて、該加工ユニットが被加工物を加工途中であるか否かを判定する加工途中判定部と、
   該非常用電源に切り替わった際に加工途中であった該分割予定ラインの加工が終了するまで、該非常用電源によって加工を続行する加工続行部と、
   加工途中であった該分割予定ラインの加工が完了したと判断した場合、該加工ユニットの加工を中断する加工中断部と、
   を有することを特徴とする加工装置。

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