JP2021148687A - Fouling substance detection sensor, fouling substance quantity measuring device, and fouling substance quantity measuring method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態は、汚損物質検出センサ、汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法に関する。 Embodiments of the present invention relate to a pollutant substance detection sensor, a pollutant substance amount measuring device, and a pollutant substance amount measuring method.
電力設備は社会インフラストラクチャを支える重要な設備であり、長期にわたり安定して稼動できることを求められる。安定稼動のためには、電力設備の劣化状態を把握し、保全・更新を計画的に実施する必要がある。電力設備の導体支持またはバリヤなどに用いられる絶縁材料は材料自体の経年劣化や、設置環境に浮遊する塵埃または水分の付着などで絶縁特性が低下する。絶縁特性が低下すると放電やトラッキングを生じて設備停止に至る虞もあることから、絶縁材料の状態は電力設備の劣化を診断するためのバロメータになる。 Electric power equipment is an important equipment that supports social infrastructure, and is required to be able to operate stably for a long period of time. For stable operation, it is necessary to grasp the deterioration state of electric power equipment and systematically carry out maintenance and renewal. Insulating materials used for conductor support or barriers of electric power equipment have deteriorated insulation characteristics due to aging deterioration of the material itself and adhesion of dust or moisture floating in the installation environment. If the insulation characteristics deteriorate, discharge or tracking may occur and the equipment may stop. Therefore, the state of the insulating material becomes a barometer for diagnosing the deterioration of the power equipment.
設置環境が絶縁材料の劣化に及ぼす影響は、塵埃や水分の付着だけとは限らない。絶縁材料の成分と化学反応する環境因子が存在する環境では、通常の経年劣化を上回る速度で、絶縁材料が劣化する場合がある。例えば炭酸カルシウムは、絶縁材料の無機充填材として多く使用される。炭酸カルシウムが塩素系ガスや窒素酸化物ガスなどと反応すると、絶縁材料表面に塩化カルシウムまたは硝酸カルシウムが形成される。これらの物質は湿度４０％ＲＨ以下の低湿度であっても大気中の水分を吸入して潮解するので、低湿度条件であっても絶縁材料の表面が結露し、絶縁材料の表面を漏れ電流が流れることがある。これが甚だしくなると絶縁が破壊され、最悪の場合には設備停止に至ることもある。 The effect of the installation environment on the deterioration of the insulating material is not limited to the adhesion of dust and moisture. In an environment where environmental factors that chemically react with the components of the insulating material are present, the insulating material may deteriorate at a rate higher than that of normal aging. For example, calcium carbonate is often used as an inorganic filler for insulating materials. When calcium carbonate reacts with chlorine-based gas, nitrogen oxide gas, etc., calcium chloride or calcium nitrate is formed on the surface of the insulating material. Since these substances absorb moisture from the atmosphere and deliquesce even at a low humidity of 40% RH or less, dew condensation occurs on the surface of the insulating material even under low humidity conditions, and leakage current leaks from the surface of the insulating material. May flow. If this becomes severe, the insulation will be destroyed, and in the worst case, the equipment may be shut down.
電力設備に使われている絶縁材料の絶縁抵抗値を、フィールドで直接測定することは可能である。しかしながらその測定値は測定場所の雰囲気、具体的には湿度に大きく影響される。例えば乾燥した環境下では絶縁抵抗値は現状よりも高くなることが多く、絶縁材料の劣化が見逃されるケースがある。また、電力設備が絶縁不良で停止するのは、ほとんど梅雨時の高温多湿の時期である。このように抵抗値を直接測定することは実地の運用には向いているといえない。 It is possible to directly measure the insulation resistance value of the insulating material used in electric power equipment in the field. However, the measured value is greatly affected by the atmosphere at the measurement location, specifically the humidity. For example, in a dry environment, the insulation resistance value is often higher than the current value, and deterioration of the insulating material may be overlooked. In addition, electric power equipment stops due to poor insulation most of the time during the hot and humid season during the rainy season. It cannot be said that the direct measurement of the resistance value in this way is suitable for practical operation.
そこで、多変量解析などの数値的な演算により絶縁材料の絶縁抵抗を推定する方法が提案されている。つまり、絶縁抵抗と相関を持ち測定場所の雰囲気に影響されない項目を測定し、その項目の値に基づいて絶縁抵抗値を算出する方法である。この方法ではフィールドで使用されている絶縁材料、および強制劣化させた絶縁材料について、絶縁抵抗と相関のあるデータを取得し、多変量解析により診断指標である絶縁抵抗の推定式を策定する。絶縁診断では、推定式を策定した項目を測定し、絶縁抵抗推定式から、任意の温度や湿度の絶縁抵抗を推定するようにする。 Therefore, a method of estimating the insulation resistance of an insulating material by numerical calculation such as multivariate analysis has been proposed. That is, it is a method of measuring an item that has a correlation with the insulation resistance and is not affected by the atmosphere of the measurement place, and calculates the insulation resistance value based on the value of the item. In this method, data that correlates with the insulation resistance is acquired for the insulation material used in the field and the insulation material that has been forcibly deteriorated, and an estimation formula for the insulation resistance, which is a diagnostic index, is formulated by multivariate analysis. In the insulation diagnosis, the items for which the estimation formula is formulated are measured, and the insulation resistance at an arbitrary temperature or humidity is estimated from the insulation resistance estimation formula.
絶縁抵抗と相関のあるデータとして、大きく分類すると、材料そのものの特性、及び設置個所周囲の大気環境による因子が挙げられる。これらの項目の測定に関しては、従来は検査員が実際に対象機器そのものを測定し、対象機器からサンプリング作業を実施する必要がある。そのため、連続的な材料特性及び環境因子の監視は不可能であり、離散的な評価となってしまうという課題があった。近年の計測技術の進歩により、材料特性、大気環境因子を連続的に測定することが可能となってきており、例えば材料特性を絶縁材料の分光反射率から推定する技術や、大気環境に含まれるイオン性の汚損物質を計測する技術を適用することで、連続的な絶縁性能の監視を実現可能となってきている。そこで、塵埃や水分などによる通常の経年劣化を上回る速度で絶縁材料を劣化させる汚損物質の量を精度よく測定することができる技術が要望されている。 Data that correlates with insulation resistance can be broadly classified into factors due to the characteristics of the material itself and the atmospheric environment around the installation site. Regarding the measurement of these items, conventionally, it is necessary for the inspector to actually measure the target device itself and perform sampling work from the target device. Therefore, it is impossible to continuously monitor the material properties and environmental factors, and there is a problem that the evaluation becomes discrete. Recent advances in measurement technology have made it possible to continuously measure material properties and atmospheric environment factors. For example, the technology for estimating material properties from the spectral reflectance of insulating materials and the atmospheric environment are included. By applying the technology for measuring ionic pollutants, it has become possible to continuously monitor the insulation performance. Therefore, there is a demand for a technique capable of accurately measuring the amount of a fouling substance that deteriorates an insulating material at a speed higher than that of normal aged deterioration due to dust or moisture.
本発明が解決しようとする課題は、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる汚損物質検出センサ、汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法を提供することである。 An object to be solved by the present invention is to provide a fouling substance detection sensor, a fouling substance amount measuring device, and a fouling substance amount measuring method capable of accurately measuring the adhering amount of a fouling substance.
実施形態の汚損物質検出センサは、互いに同一の環境に配置される第一水晶振動子と第二水晶振動子と、前記第一水晶振動子に接続する第一周波数発振部と第一周波数計測部、および前記第二水晶振動子に接続する第二周波数発振部と第二周波数計測部を持つ。前記第一水晶振動子は第一金属を含む第一電極を備える。前記第二水晶振動子は第二金属を含む第二電極を備える。前記第二金属は、前記第二電極に汚損物質が付着したときに、前記第二水晶振動子が出力する第二共振周波数を、前記第一水晶振動子が出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有する。 The fouling substance detection sensor of the embodiment includes a first crystal oscillator and a second crystal oscillator arranged in the same environment, and a first frequency oscillator and a first frequency measuring unit connected to the first crystal oscillator. , And a second frequency oscillator and a second frequency measuring unit connected to the second crystal oscillator. The first crystal unit includes a first electrode containing a first metal. The second crystal unit includes a second electrode containing a second metal. The second metal has a second resonance frequency output by the second crystal oscillator with respect to the first resonance frequency output by the first crystal oscillator when a fouling substance adheres to the second electrode. It has the effect of changing.
以下、実施形態の汚損物質検出センサ、汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法を、図面を参照して説明する。
図１は、実施形態の汚損物質量測定装置を示すブロック図である。
汚損物質量測定装置１０は、汚損物質検出センサ２０と、汚損物質量算出装置３０とを有する。なお、本実施形態の汚損物質量測定装置１０では、汚損物質検出センサ２０と汚損物質量算出装置３０が有線で接続している。なお、汚損物質検出センサ２０と汚損物質量算出装置３０とは無線で接続していてもよいし、インターネットを介して接続していてもよい。
Hereinafter, the fouling substance detection sensor, the fouling substance amount measuring device, and the fouling substance amount measuring method of the embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing a pollutant substance amount measuring device of the embodiment.
The polluted substance
汚損物質検出センサ２０は、第一水晶振動子２１ａと第二水晶振動子２１ｂ、第一水晶振動子２１ａに接続する第一周波数発振部２５ａと第一周波数計測部２６ａ、および第二水晶振動子２１ｂに接続する第二周波数発振部２５ｂと第二周波数計測部２６ｂを含む。第一水晶振動子２１ａと第二水晶振動子２１ｂは、互いに隣接していて、同一の環境に配置される。
The fouling
第一水晶振動子２１ａは、第一周波数発振部２５ａから送られた電流により所定の周波数を出力し、その周波数（第一共振周波数）は第一周波数計測部２６ａにて計測される。第二水晶振動子２１ｂは、第二周波数発振部２５ｂから送られた電流により所定の周波数を出力し、その周波数（第二共振周波数）は第二周波数計測部２６ｂにて計測される。
The
第一水晶振動子２１ａは、水晶板２３と、水晶板２３の両面に備えられた一対の第一金属を含む第一電極２２ａ、２４ａとからなる。第二水晶振動子２１ｂは、水晶板２３と、水晶板２３の両面に備えられた一対の第二金属を含む第二電極２２ｂ、２４ｂとからなる。第一水晶振動子２１ａおよび第二水晶振動子２１ｂは、例えば、ＱＣＭ（水晶振動子マイクロバランス）である。第一水晶振動子２１ａおよび第二水晶振動子２１ｂは、初期状態において、電極の質量変化が同じである場合、周波数の変動が等しくなるように予め校正されている。
The
第一電極２２ａ、２４ａに含まれる第一金属と、第二電極２２ｂ、２４ｂに含まれる第二金属とは互いに異なる金属であることが好ましい。第一金属と第二金属は互いにイオン化傾向（標準電極電位）が異なる金属であることが好ましい。第二金属は、第一金属よりもイオン化傾向（標準電極電位）が低い金属であることが好ましい。すなわち、第二金属は、第一金属と比較して、イオン性の汚損物質によって腐食が起こりやすい金属であることが好ましい。この場合、第一水晶振動子２１ａの第一電極２２ａ、２４ａと、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂの両者にイオン性の汚損物質が付着したときは、第二電極２２ｂ、２４ｂに腐食生成物が生成しやすくなる。そして、その腐食生成物の生成量による第二電極２２ｂ、２４ｂの質量の変化に応じて第二共振周波数が第一共振周波数に対して変化する。よって、第二金属は、第二電極２２ｂ、２４ｂにイオン性の汚損物質が付着したときに、第二水晶振動子２１ｂが出力する第二共振周波数を、第一水晶振動子２１ａが出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有する。
It is preferable that the first metal contained in the
第一金属は、金（標準電極電位：＋１．５２Ｖ）、銀（標準電極電位：＋０．７９９Ｖ）及び白金（標準電極電位：＋１．１８８Ｖ）のうちのいずれ一つであることが好ましい。第二金属は、銅（標準電極電位：＋０．３４Ｖ）またはアルミニウム（標準電極電位：−１．６８Ｖ）であることが好ましい。ただし、第一金属及び第二金属は、上記の例に限定されるものではなく、測定対象の汚損物質に応じて適宜選定することができる。 The first metal is preferably any one of gold (standard electrode potential: + 1.52V), silver (standard electrode potential: + 0.799V) and platinum (standard electrode potential: + 1.188V). The second metal is preferably copper (standard electrode potential: + 0.34 V) or aluminum (standard electrode potential: −1.68 V). However, the first metal and the second metal are not limited to the above examples, and can be appropriately selected according to the fouling substance to be measured.
ここで、第一水晶振動子２１ａと第二水晶振動子２１ｂに、汚損物質及び非汚損物質が付着したときの挙動を、図２と図３を用いて説明する。
本実施形態の汚損物質量測定装置１０の第一水晶振動子２１ａ及び第二水晶振動子２１ｂに汚損物質と非汚損物質が付着した直後の状態を示す断面図である。図２の（ａ）は、第一水晶振動子２１ａの第一電極２２ａに汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態である。図２の（ｂ）は、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂに汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態である。汚損物質Ａは、イオン性物質である。イオン性物質は、例えば、塩素系ガスや窒素酸化物ガスである。非汚損物質Ｂは、例えば、塵埃や水である。図２（ａ）と（ｂ）に示すように、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着することによって、第一電極２２ａと第二電極２２ｂの質量が変化する。このため、第一水晶振動子２１ａの第一共振周波数と第二水晶振動子２１ｂの第二共振周波数は、それぞれ変動する。ただし、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着した直後の状態では、第二電極２２ｂは腐食しておらず、第一電極２２ａと第二電極２２ｂとに質量の差は生じない。このため、電極の質量増加による第一共振周波数と第二共振周波数の変動量は同じである。よって、第一共振周波数に対する第二共振周波数は変動しない。
Here, the behavior when a polluted substance and a non-stained substance adhere to the
It is sectional drawing which shows the state immediately after the fouling substance and the non-fouling substance adhere to the
図３は、本実施形態の汚損物質量測定装置１０の第一水晶振動子２１ａ及び第二水晶振動子２１ｂに汚損物質と非汚損物質が付着してから時間が経過した後の状態を示す断面図である。図３の（ａ）は、第一水晶振動子２１ａの第一電極２２ａに汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過した状態を示す断面図である。図３の（ｂ）は、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂに汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過した状態を示す断面図である。
図３（ａ）に示すように、第一水晶振動子２１ａの第一電極２２ａは、汚損物質Ａと非汚損物質Ｂが付着してから時間が経過しても変化しない。一方、図３（ｂ）に示すように、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂは、非汚損物質Ｂが付着した部分は変化しないが、汚損物質Ａが付着した部分は腐食して、腐食生成物Ｃが生成する。腐食生成物Ｃの生成量の変化に伴う第二電極２２ｂの質量の変化によって、第二共振周波数は変動する。すなわち、第一共振周波数に対する第二共振周波数が変動する。よって、本実施形態の汚損物質量測定装置１０は、非汚損物質Ｂの付着量の影響を受けずに、第二共振周波数の変動に基づいて、腐食生成物Ｃの生成量、すなわち汚損物質Ａの付着量を測定することができる。
FIG. 3 is a cross section showing a state after a lapse of time from the adhesion of the polluted substance and the non-stained substance to the
As shown in FIG. 3A, the
汚損物質検出センサ２０は、さらに、第二水晶振動子２１ｂの周囲に配置された温度・湿度計測部２７を有する。温度・湿度計測部２７は、第二水晶振動子２１ｂの周囲に配置されている。
The fouling
汚損物質量算出装置３０は、計測データ保存部３１、第一データ照合部３２、第一演算部３３、第二演算部３４、第三演算部３５、第二データ照合部３６および第四演算部３７を有する。
The pollutant substance
計測データ保存部３１は、第一周波数計測部２６ａにて計測された第一共振周波数、第二周波数計測部２６ｂにて計測された第二共振周波数、温度・湿度計測部２７にて計測された温度および湿度を一定の時間ステップで記憶する。時間ステップは、特に制限はないが、例えば１時間である。
The measurement
第一データ照合部３２および第一演算部３３は、第二水晶振動子２１ｂの周囲の温度と湿度に基づいて第二電極２２ｂ、２４ｂの温度・湿度補正値を算出する補正値算出部である。第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂに汚損物質が付着して腐食生成物が生成した場合、腐食生成物の吸湿によって第二電極２２ｂ、２４ｂの質量が変化するおそれがある。腐食生成物の吸湿による質量変化の変化は、第一共振周波数と第二共振周波数の差分からでは算出できない。このため、第二水晶振動子２１ｂの周囲の温度と湿度に基づく第二電極２２ｂ、２４ｂの温度・湿度補正値を用いて第二共振周波数を補正することが必要となる場合がある。
The first
第一データ照合部３２は、温度・湿度計測部２７で測定された温度ならびに湿度と、予め測定した温度ならびに湿度および汚損物質が付着した第二電極２２ｂ、２４ｂの共振周波数の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二共振周波数の予測値を算出する。データベースは、例えば、温度ならびに湿度と、汚損物質によって生成する腐食生成物の水分吸湿量との関係を規定する第一データベースと、腐食生成物の水分吸湿量と第二電極の共振周波数の変化量との関係を規定する第二データベースである。この場合、現在の時間ステップでの温度ならびに湿度と、一つ前の時間ステップでの腐食生成物量と、第一データベースとを照合することによって現在の時間ステップでの腐食生成物の水分吸湿量を得ることができる。そして得られた腐食生成物による水分吸湿量と第二データベースを照合することにより、現在の時間ステップでの第二共振周波数の予測値を得ることができる。
The first
第一演算部３３は、第一データ照合部３２によって得られた現在の時間ステップでの第二共振周波数の予測値に基づいて、第二共振周波数の温度・湿度補正値を算出する。この温度・湿度補正値は、後述の第三演算部３５に送られる。
The
温度・湿度補正値を算出するためには、各時間ステップにおいて、１ステップ前に得られた腐食生成物量を参照する必要がある。計測開始時（ｔ０）には腐食生成物がないため、時間ステップｔ１で参照するデータは腐食生成物量＝０である。各時間ステップｔｎ（ｎは、時間ステップを示す数を表す）で得られる腐食生成物量をＭｎ（ｎは、時間ステップを示す数を表す）とすると、第一データ照合部３２で参照する腐食生成物量とは下記の表１の関係となる。
In order to calculate the temperature / humidity correction value, it is necessary to refer to the amount of corrosion product obtained one step before in each time step. Since there is no corrosion product at the start of measurement (t0), the data referred to in time step t1 is the amount of corrosion product = 0. Assuming that the amount of corrosion product obtained in each time step tn (n represents a number indicating a time step) is Mn (n represents a number indicating a time step), the corrosion generation referred to by the first
第二演算部３４は、第二周波数計測部２６ｂにて測定された第二共振周波数から第一周波数計測部２６ａにて測定された第一共振周波数を差し引いた差分周波数を取得する差分周波数取得部である。差分周波数を所定の間隔で取得することができる。差分周波数を取得する間隔は、例えば、１時間である。
The
第三演算部３５は、差分周波数の微分量の変化量を取得する変化量取得部である。すなわち、時間ステップごとに差分周波数の微分量（時間微分量）を算出して、微分量が所定の数値を超えて変化したときの値を変化量として取得する。所定の数値は、例えば微分量が１０％以上変化したときである。
また、第三演算部３５は、第二電極の温度・湿度補正値を算出した後に取得された差分周波数の微分量を、第一演算部３３にて算出された第二共振周波数の温度・湿度補正値に基づいて補正する補正部としても機能する。
The
Further, the
第二データ照合部３６は、予測差分量と、予め測定した第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量を判定する判定部である。また、第二データ照合部３６は、変化量と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースとを用いて、差分周波数の微分量の変化予測値を算出する変化予測値算出部でもある。
The second
第四演算部３７は、変化予測値と、第二電極２２b、２４ｂの汚損物質の付着量を判定した後に取得された差分周波数の微分量とが異なる場合は、当該差分周波数の微分量とその変化予測値との予測差分量を取得する予測差分量取得部である。予測差分量は、第二データ照合部３６（判定部）に送られる。そして、判定部は、予測差分量と、予め測定した第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量および差分周波数の時間変動変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量を判定する。
If the change prediction value and the differential amount of the difference frequency acquired after determining the amount of the polluted substance adhered to the
次に、本実施形態の汚損物質量測定装置１０を用いた汚損物質量測定方法について説明する。
本実施形態の汚損物質量測定方法は、汚損物質検出センサ２０の設置工程と、第一共振周波数と第二共振周波数の差分周波数を取得する差分周波数取得工程と、差分周波数の微分量の変化量を取得する変化量取得工程と、汚損物質の付着量を判定する第１判定工程とを含む。
Next, a method for measuring the amount of polluted substances using the polluted substance
The method for measuring the amount of polluted substance in the present embodiment includes a step of installing the polluted
設置工程では、汚損物質量測定装置１０を汚損物質の測定対象場所に設置する。汚損物質量測定装置１０は、汚損物質検出センサ２０が汚損物質を検出しやすい場所、例えば、吸気口の周囲などに設置することが好ましい。汚損物質量測定装置１０の配置の例は後述する。
In the installation process, the pollutant substance
差分周波数取得工程では、第二周波数計測部２６ｂにて測定された第二共振周波数から第一周波数計測部２６ａにて測定された第一共振周波数を差し引いた差分周波数を取得する。この工程は、第二演算部３４にて行われる。
In the difference frequency acquisition step, the difference frequency obtained by subtracting the first resonance frequency measured by the first
図４は、本実施形態の汚損物質量測定装置１０の第一水晶振動子２１ａ及び第二水晶振動子２１ｂに汚損物質が付着したときの共振周波数の変化を示すグラフである。すなわち、図４は、第一周波数計測部２６ａにて計測された第一共振周波数と第二周波数計測部２６ｂにて計測された第二共振周波数であり、計測データ保存部３１に記憶されるデータである。
図４において、横軸は共振周波数の測定時間であり、縦軸は、第一水晶振動子２１ａ及び第二水晶振動子２１ｂの共振周波数である。また、図４において、２１ａは、第一水晶振動子２１ａの共振周波数（第一共振周波数）である。２１ｂは、第二水晶振動子２１ｂの共振周波数（第二共振周波数）である。図４のグラフでは、第一共振周波数及び第二共振周波数は、共に４時間と８時間の時点で大きく増大している。これは、第一水晶振動子２１ａの第一電極２２ａ、２４ａと第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂのそれぞれに汚損物質が付着したためである。
FIG. 4 is a graph showing changes in the resonance frequency when a polluted substance adheres to the
In FIG. 4, the horizontal axis is the measurement time of the resonance frequency, and the vertical axis is the resonance frequency of the
図５は、図４に示す第一水晶振動子２１ａの共振周波数と第二水晶振動子２１ｂの共振周波数と差分である差分周波数を示すグラフである。
図５のグラフでは、汚損物質が付着した時点（４時間、８時間）から差分周波数が増加している。これは、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂが、汚損物質によって腐食して腐食生成物が生成したためである。すなわち、差分周波数の微分量（時間微分量）は、腐食生成物の生成速度を表している。
FIG. 5 is a graph showing a difference frequency which is a difference between the resonance frequency of the
In the graph of FIG. 5, the difference frequency increases from the time when the fouling substance adheres (4 hours, 8 hours). This is because the
変化量取得工程では、差分周波数の微分量が所定の数値（例えば１０％以上）を超えて変化したときの値を変化量△１として取得する。変化量△１が大きいことは、差分周波数の微分量が大きく変化したこと、すなわち腐食生成物が急激に生成したことを意味する。この工程は、第三演算部３５にて行われる。
In the change amount acquisition step, the value when the differential amount of the difference frequency changes beyond a predetermined value (for example, 10% or more) is acquired as the change amount Δ1. A large change amount Δ1 means that the differential amount of the difference frequency has changed significantly, that is, a corrosion product has been rapidly generated. This step is performed by the
図６は、図５に示すグラフの差分周波数の微分量が最初に変化したときの変化量を示すグラフである。すなわち、図６は、図５の４時間の時点での差分周波数の微分量の変化量を示したグラフである。 FIG. 6 is a graph showing the amount of change when the differential amount of the differential frequency of the graph shown in FIG. 5 first changes. That is, FIG. 6 is a graph showing the amount of change in the differential amount of the differential frequency at the time of 4 hours in FIG.
第１判定工程では、変化量△１と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースとを用いて、第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量を判定する。この工程は、第二データ照合部３６にて行われる。
In the first determination step, the fouling of the
図７は、本実施形態の汚損物質量測定装置１０の第一水晶振動子２１ａ及び第二水晶振動子２１ｂに汚損物質が付着したときの差分周波数の時間変化曲線を示すグラフである。
図７において、横軸は、汚損物質が付着してから経過時間であり、縦軸は、差分周波数の微分量である。また、図７において、汚損物質の付着量ａ１〜ａ３ｍｇ／ｃｍ２は、第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂに付着した汚損物質の量を意味し、付着量はａ３ｍｇ／ｃｍ２が最も多く、ａ２ｍｇ／ｃｍ２が次に多く、ａ１ｍｇ／ｃｍ２が最も少ない。図７に示すように、差分周波数の微分量の変化と汚損物質の付着量とは相関関係があり、汚損物質の付着量がａ３ｍｇ／ｃｍ２のときがもっと大きく、次にａ２ｍｇ／ｃｍ２のときが大きく、ａ１ｍｇ／ｃｍ２のときが最も小さい。よって、第二電極の汚損物質の付着量と差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースを予め作成しておくことによって、差分周波数の微分量の変化量△１から汚損物質の付着量を判定することができる。
FIG. 7 is a graph showing a time change curve of the difference frequency when the polluted substance adheres to the
In FIG. 7, the horizontal axis represents the elapsed time since the fouling substance adhered, and the vertical axis represents the differential amount of the difference frequency. Further, in FIG. 7, the adhering amount of the polluted substance a 1 to a 3 mg / cm 2 means the amount of the polluted substance adhering to the
汚損物質付着量判定工程はさらに、差分周波数微分量の変化量の予測値を算出する変化量予測工程と、変化予測値と取得された差分周波数の微分量を対比する対比工程と、差分量を取得する差分量取得工程と、差分量から汚損物質の付着量を判定する第２判定工程とを含む。 The fouling substance adhesion amount determination step further includes a change amount prediction step of calculating a predicted value of the change amount of the differential frequency differential amount, a comparison step of comparing the change predicted value with the acquired differential amount of the differential frequency, and a difference amount. It includes a step of acquiring the difference amount to be acquired and a second determination step of determining the amount of the polluted substance adhered from the difference amount.
変化量予測工程では、変化量Δ１と、予め測定した第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースとを用いて、差分周波数の微分量の変化予測値を算出する。この工程は、第四演算部にて行われる。
データベースとしては、図７に示す差分周波数の時間変化曲線を用いることができる。
In the change amount prediction step, the differential amount of the difference frequency is determined by using the change amount Δ1 and the database that defines the correlation between the amount of the polluted substance attached to the
As the database, the time change curve of the difference frequency shown in FIG. 7 can be used.
図８は、図５に示す差分周波数の最初のピークの差分周波数の微分量の変化量から算出される差分周波数の微分量の変化予測値を示すグラフである。
図８において、横軸は、時間であり、縦軸は、差分共振周波数の微分量である。図８において、符号（１）は、実測した第一共振周波数と第二共振周波数に基づいて算出した値を示し、符号（１）’は、予測値を示す。図８の予測値から４時間の時点で付着した汚損物質による腐食生成物の生成による質量変化は、９時間まで継続することがわかる。
FIG. 8 is a graph showing a change prediction value of the differential amount of the differential frequency calculated from the change amount of the differential amount of the differential frequency of the first peak of the difference frequency shown in FIG.
In FIG. 8, the horizontal axis is time and the vertical axis is the differential amount of the differential resonance frequency. In FIG. 8, reference numeral (1) indicates a value calculated based on the actually measured first resonance frequency and second resonance frequency, and reference numeral (1)'indicates a predicted value. From the predicted value in FIG. 8, it can be seen that the mass change due to the formation of the corrosion product due to the adhering fouling substance at 4 hours continues up to 9 hours.
対比工程では、さらに、上記の差分周波数の微分量の変化予測値と、第２判定工程で第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量を判定した後に取得された差分周波数の微分量とを対比する。この工程は、第四演算部にて行われる。
In the comparison step, the predicted value of the change in the differential amount of the difference frequency described above and the differential amount of the difference frequency obtained after determining the amount of the polluted substance attached to the
図９は、図８に示す差分周波数の微分量の変化予測値と、本実施形態の汚損物質量測定装置１０で取得された差分周波数の微分量との関係を示すグラフである。
図９において、横軸は、時間であり、縦軸は、差分共振周波数の微分量である。図８において、符号（１）および（２）は、実測した第一共振周波数と第二共振周波数に基づいて算出した値を示し、符号（１）’および（２）’は、予測値を示す。すなわち、図８のグラフは、８時間まで差分周波数の微分量を取得した結果を表している。
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the predicted change value of the differential amount of the differential frequency shown in FIG. 8 and the differential amount of the differential amount acquired by the pollutant substance
In FIG. 9, the horizontal axis is time and the vertical axis is the differential amount of the differential resonance frequency. In FIG. 8, reference numerals (1) and (2) indicate values calculated based on the actually measured first resonance frequency and second resonance frequency, and reference numerals (1)'and (2)' indicate predicted values. .. That is, the graph of FIG. 8 shows the result of acquiring the differential amount of the difference frequency for up to 8 hours.
対比工程において、図８と図９とを比較すると、５時間〜７時間までは、差分周波数の微分量の変化予測値（図８の（１）’）と汚損物質量測定装置１０で取得された差分周波数の微分量の実測値（図９の（１））とは一致していることがわかる。一方、８時間では、変化予測値に対して差分周波数の微分量の実測値が大きくなっている。これは、８時間の時点で新たな汚損物質が第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂに付着したことを意味する。この場合は、差分量取得工程にて、差分周波数の微分量の実測値と変化予測値との差分である予測差分量△２を取得する。
Comparing FIGS. 8 and 9 in the comparison step, the predicted value of the change in the differential amount of the difference frequency ((1)'in FIG. 8) and the pollutant substance
第２判定工程では、取得された予測差分量△２と、予め測定した第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースとを用いて、第二電極２２ｂ、２４ｂの汚損物質の付着量を判定する。この工程は、第二データ照合部３６にて行われる。第２判定工程での汚損物質の付着量の判定方法は、変化量△１の代わりに予測差分量△２を用いること以外は、第１判定工程と同じである。
In the second determination step, the acquired predicted difference amount Δ2 is used, and a database that defines the correlation between the amount of adhering contaminants on the
さらに、得られた予測差分量△２に基づいて、変化量予測工程、対比工程、予測差分量取得工程、そして予測差分量から汚損物質の付着量を判定する判定工程を、予測差分量が取得されなくなるまで繰り返し行うことによって、長期間にわたって、第二電極２２ｂ、２４ｂに付着した汚損物質の付着量を測定することができる。これらの工程は、差分周波数の微分量が０となるまで行われる。
Further, based on the obtained predicted difference amount Δ2, the predicted difference amount acquires the change amount prediction step, the comparison process, the predicted difference amount acquisition step, and the determination step of determining the adhesion amount of the polluted substance from the predicted difference amount. It is possible to measure the amount of the pollutant adhering to the
さらに、本実施形態の汚損物質量測定装置１０を用いた汚損物質量測定方法では、温度・湿度補正値に基づいて、差分周波数の微分量を補正する工程を含む。この工程は、温度・湿度測定工程と、補正値算出工程と、補正工程とを含む。
Further, the method for measuring the amount of polluted substance using the polluted substance
温度・湿度測定工程では、第二水晶振動子２１ｂの周囲の温度と湿度を測定する。この工程は、温度・湿度計測部２７で行われる。
補正値算出工程では、測定された温度と湿度と、予め測定した温度ならびに湿度および汚損物質が付着した第二電極の共振周波数の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二電極の温度・湿度補正値を算出する。この工程は、第一データ照合部３２および第一演算部３３にて行われる。
補正工程では、第二電極の温度・湿度補正値を算出した後に取得された差分周波数の微分量を前記第二電極の温度・湿度補正値に基づいて補正する。この工程は、第三演算部３５にて行われる。
In the temperature / humidity measuring step, the temperature and humidity around the
In the correction value calculation process, the temperature of the second electrode and the temperature of the second electrode are based on a database that defines the correlation between the measured temperature and humidity, the temperature measured in advance, and the resonance frequency of the humidity and the second electrode to which the fouling substance is attached. Calculate the humidity correction value. This step is performed by the first
In the correction step, the differential amount of the difference frequency acquired after calculating the temperature / humidity correction value of the second electrode is corrected based on the temperature / humidity correction value of the second electrode. This step is performed by the
図１０は、汚損物質量測定装置１０の第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂに付着した汚損物質の量を示すグラフである。図１１は、汚損物質量測定装置１０の第二水晶振動子２１ｂの第二電極２２ｂ、２４ｂに付着した汚損物質の量の積算値を示すグラフである。
図１０および図１１において、横軸は、時間であり、縦軸は、汚損物質の付着量である。図１０および図１１のグラフから、４時間と８時間の時点で汚損物質が付着していることがわかる。このように、汚損物質量測定装置１０を用いることにより、例えば、電力設備などの対象機器で使用されている絶縁材料への汚損物質の付着量を見積もることができる。また、その汚損物質が特定の時期に付着したのか、短期間に集中的に付着したのか、長期間かけて連続的に付着したのかなど汚損形態を確認することができる。汚損形態を確認することによって、対象機器の設置環境に変化が起きたことをいち早く察知することができ、異常の早期発見につながる。
FIG. 10 is a graph showing the amount of the polluted substance adhering to the
In FIGS. 10 and 11, the horizontal axis represents time and the vertical axis represents the amount of polluted substances attached. From the graphs of FIGS. 10 and 11, it can be seen that the fouling substance is attached at the time points of 4 hours and 8 hours. In this way, by using the fouling substance
計測データ保存部３１、第一データ照合部３２、第一演算部３３、第二演算部３４、第三演算部３５、第二データ照合部３６および第四演算部３７の機能は、例えば汚損物質量算出装置３０が備えるＣＰＵ（Central Processing Unit）及びメモリによってプログラムが実行されることによって実現されてもよい。また、上記各機能の全て又は一部は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＰＬＤ（Programmable Logic Device）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等のハードウェアを用いて実現されてもよい。実行されるプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置である。プログラムは、電気通信回線を介して送信されてもよい。
The functions of the measurement
図１２は、対象機器４５に対する汚損物質量測定装置１０の配置の例を示す図である。
図１２において、対象機器４５は、筐体４１に収容されている。筐体４１は、吸気口４２と排気口４３を有する。汚損物質量測定装置１０は、対象機器４５の異なる側面に沿って２つ設置されている。一つの汚損物質量測定装置１０は、対象機器４５の吸気口４２側の側面に配置されていて、他方の汚損物質量測定装置１０は、対象機器４５の上面に配置されている。対象機器の４５の異なる側面に沿って汚損物質量測定装置１０を設置することにより、局所的な汚損形態の違いを特定することができ、この汚損形態の違いは今後の絶縁材料の劣化診断技術に活かすことが可能となる。対象機器４５は、汚損物質によって汚損される材料を用いた電気装置であり、例えば、電力設備である。
FIG. 12 is a diagram showing an example of arrangement of the pollutant substance
In FIG. 12, the
以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、汚損物質検出センサ２０が第一水晶振動子２１ａと第二水晶振動子２１ｂを含み、第二水晶振動子２１ｂは第二金属を含む第二電極２２ｂ、２４ｂを備え、その第二金属は、第二電極２２ｂ、２４ｂに汚損物質が付着したときに、第二水晶振動子２１ｂが出力する第二共振周波数を、第一水晶振動子２１ａが出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有することにより、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる。
According to at least one embodiment described above, the fouling
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although some embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, as well as in the scope of the invention described in the claims and the equivalent scope thereof.
１０…汚損物質量測定装置、２０…汚損物質検出センサ、２１ａ…第一水晶振動子、２１ｂ…第二水晶振動子、２２ａ…第一電極、２２ｂ…第二電極、２３…水晶板、２４ａ…第一電極、２４ｂ…第二電極、２５ａ…第一周波数発振部、２５ｂ…第二周波数発振部、２６ａ…第一周波数計測部、２６ｂ…第二周波数計測部、２７…温度・湿度計測部、３０…汚損物質量算出装置、３１…計測データ保存部、３２…第一データ照合部、３３…第一演算部、３４…第二演算部、３５…第三演算部、３６…第二データ照合部、３７…第四演算部、４１…筐体、４２…吸気口、４３…排気口、４５…対象機器、Ａ…汚損物質、Ｂ…非汚損物質、Ｃ…腐食生成物 10 ... Stainable substance amount measuring device, 20 ... Stainable substance detection sensor, 21a ... First crystal oscillator, 21b ... Second crystal oscillator, 22a ... First electrode, 22b ... Second electrode, 23 ... Crystal plate, 24a ... First electrode, 24b ... Second electrode, 25a ... First frequency oscillator, 25b ... Second frequency oscillator, 26a ... First frequency measurement unit, 26b ... Second frequency measurement unit, 27 ... Temperature / humidity measurement unit, 30 ... Contamination substance amount calculation device, 31 ... Measurement data storage unit, 32 ... First data collation unit, 33 ... First calculation unit, 34 ... Second calculation unit, 35 ... Third calculation unit, 36 ... Second data collation Unit, 37 ... Fourth calculation unit, 41 ... Housing, 42 ... Intake port, 43 ... Exhaust port, 45 ... Target device, A ... Stainable substance, B ... Non-staining substance, C ... Corrosion product
Claims (12)
前記第一水晶振動子は第一金属を含む第一電極を備え、前記第二水晶振動子は第二金属を含む第二電極を備え、前記第二金属は、前記第二電極に汚損物質が付着したときに、前記第二水晶振動子が出力する第二共振周波数を、前記第一水晶振動子が出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有する汚損物質検出センサ。 Connected to the first crystal oscillator and the second crystal oscillator arranged in the same environment, the first frequency oscillator and the first frequency measuring unit connected to the first crystal oscillator, and the second crystal oscillator. Including the second frequency oscillator and the second frequency measurement unit
The first crystal oscillator includes a first electrode containing a first metal, the second crystal oscillator includes a second electrode containing a second metal, and the second metal has a fouling substance on the second electrode. A fouling substance detection sensor having an action of changing the second resonance frequency output by the second crystal oscillator with respect to the first resonance frequency output by the first crystal oscillator when attached.
前記汚損物質検出センサは、互いに同一の環境に配置される第一水晶振動子と第二水晶振動子、前記第一水晶振動子に接続する第一周波数発振部と第一周波数計測部、および前記第二水晶振動子に接続する第二周波数発振部と第二周波数計測部を含み、
前記第一水晶振動子は第一金属を含む第一電極を備え、前記第二水晶振動子は第二金属を含む第二電極を備え、前記第二金属は、前記第二電極に汚損物質が付着したときに、前記第二水晶振動子が出力する第二共振周波数を、前記第一水晶振動子が出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有し、
前記汚損物質量算出装置は、前記第二周波数計測部にて測定された第二共振周波数から前記第一周波数計測部にて測定された第一共振周波数を差し引いた差分周波数を取得する差分周波数取得部と、
差分周波数の微分量の変化量を取得する変化量取得部と、
前記変化量と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定する判定部と、を含む汚損物質量測定装置。 It has a pollutant substance detection sensor and a pollutant substance amount calculation device.
The fouling substance detection sensor includes a first crystal oscillator and a second crystal oscillator arranged in the same environment, a first frequency oscillator and a first frequency measuring unit connected to the first crystal oscillator, and the above. Including the second frequency oscillator and the second frequency measurement unit connected to the second crystal unit,
The first crystal oscillator includes a first electrode containing a first metal, the second crystal oscillator includes a second electrode containing a second metal, and the second metal has a fouling substance on the second electrode. When attached, it has the effect of changing the second resonance frequency output by the second crystal oscillator with respect to the first resonance frequency output by the first crystal oscillator.
The pollutant substance amount calculation device acquires a difference frequency that acquires a difference frequency obtained by subtracting the first resonance frequency measured by the first frequency measurement unit from the second resonance frequency measured by the second frequency measurement unit. Department and
A change amount acquisition unit that acquires the change amount of the differential amount of the difference frequency,
Judgment to determine the amount of stains on the second electrode based on the amount of change and the database that defines the correlation between the amount of stains on the second electrode and the time change curve of the difference frequency measured in advance. A fouling substance amount measuring device including a part.
前記変化予測値と、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定した後に取得された差分周波数の微分量との予測差分量を取得する予測差分量取得部をさらに含み、
前記判定部は、前記予測差分量と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定する請求項７に記載の汚損物質量測定装置。 Change prediction that calculates the change prediction value of the differential amount of the difference frequency based on the change amount and the database that defines the correlation between the amount of stain on the second electrode and the time change curve of the difference frequency measured in advance. Value calculation unit and
Further including a predicted difference amount acquisition unit for acquiring a predicted difference amount between the change predicted value and the differential amount of the difference frequency acquired after determining the adhesion amount of the polluted substance on the second electrode.
The determination unit determines the amount of the polluted substance of the second electrode based on the predicted difference amount and the database that defines the correlation between the amount of the polluted substance adhered to the second electrode and the time change curve of the difference frequency measured in advance. The fouling substance amount measuring device according to claim 7, wherein the adhering amount is determined.
前記温度・湿度計で測定された温度と湿度と、予め測定した温度ならびに湿度および汚損物質が付着した第二電極の共振周波数の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二電極の温度・湿度補正値を算出する補正値算出部と、
前記第二電極の温度・湿度補正値を算出した後に取得された差分周波数の微分量を前記第二電極の温度・湿度補正値に基づいて補正する補正部と、を含む請求項７又は請求項８に記載の汚損物質量測定装置。 Further, the pollutant substance detection sensor has a temperature / humidity meter arranged around the second crystal oscillator, and has a temperature / humidity meter.
Based on the temperature and humidity measured by the temperature / hygrometer, the temperature measured in advance, and the database that defines the correlation between the humidity and the resonance frequency of the second electrode to which the fouling substance is attached, the temperature of the second electrode A correction value calculation unit that calculates the humidity correction value, and
7. 8. The pollutant substance amount measuring device according to 8.
前記第一水晶振動子は第一金属を含む第一電極を備え、前記第二水晶振動子は第二金属を含む第二電極を備え、前記第二金属は、前記第二電極に汚損物質が付着したときに、前記第二水晶振動子が出力する第二共振周波数を、前記第一水晶振動子が出力する第一共振周波数に対して変化させる作用を有する汚損物質検出センサを用い、
前記第二周波数計測部にて測定された第二共振周波数から前記第一周波数計測部にて測定された第一共振周波数を差し引いた差分周波数を取得する工程と、
差分周波数の微分量の変化量を取得する工程と、
前記変化量と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量とおよび差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定する工程と、を含む汚損物質量測定方法。 Connected to the first crystal oscillator and the second crystal oscillator arranged in the same environment, the first frequency oscillator and the first frequency measuring unit connected to the first crystal oscillator, and the second crystal oscillator. Including the second frequency oscillator and the second frequency measurement unit
The first crystal oscillator includes a first electrode containing a first metal, the second crystal oscillator includes a second electrode containing a second metal, and the second metal has a fouling substance on the second electrode. A fouling substance detection sensor having an action of changing the second resonance frequency output by the second crystal oscillator with respect to the first resonance frequency output by the first crystal oscillator when attached is used.
A step of acquiring a difference frequency obtained by subtracting the first resonance frequency measured by the first frequency measuring unit from the second resonance frequency measured by the second frequency measuring unit.
The process of acquiring the amount of change in the differential amount of the difference frequency and
The amount of the polluted substance adhered to the second electrode is determined based on the amount of change, the amount of the polluted substance adhered to the second electrode measured in advance, and the database that defines the correlation of the time change curve of the difference frequency. Steps and methods for measuring the amount of polluted substances, including.
前記変化予測値と、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定した後に取得された差分周波数の微分量との予測差分量を取得する工程と、
前記予測差分量と、予め測定した第二電極の汚損物質の付着量および差分周波数の時間変化曲線の相関を規定するデータベースと、に基づいて、前記第二電極の汚損物質の付着量を判定する工程と、を含む請求項１０に記載の汚損物質量測定方法。 Further, the predicted value of the change in the differential amount of the difference frequency is calculated based on the change amount and the database that defines the correlation between the amount of the fouling substance attached to the second electrode and the time change curve of the difference frequency measured in advance. Process and
A step of acquiring the predicted difference amount between the change prediction value and the differential amount of the difference frequency acquired after determining the adhesion amount of the polluted substance on the second electrode.
The amount of the polluted substance attached to the second electrode is determined based on the predicted difference amount and the database that defines the correlation between the amount of the polluted substance adhered to the second electrode and the time change curve of the difference frequency measured in advance. The method for measuring the amount of a polluted substance according to claim 10, which comprises a step.
前記温度と前記湿度と、予め測定した温度ならびに湿度および汚損物質が付着した第二電極の共振周波数の相関を規定するデータベースと、に基づいて、第二電極の温度・湿度補正値を算出する工程と、
前記第二電極の温度・湿度補正値を算出した後に取得された差分周波数の微分量を前記第二電極の温度・湿度補正値に基づいて補正する工程と、を含む請求項１０又は請求項１１に記載の汚損物質量測定方法。 Further, a step of measuring the temperature and humidity around the second crystal unit, and
A step of calculating the temperature / humidity correction value of the second electrode based on the temperature, the humidity, the temperature measured in advance, and the database that defines the correlation between the humidity and the resonance frequency of the second electrode to which the fouling substance is attached. When,
Claim 10 or claim 11 including a step of correcting the differential amount of the difference frequency acquired after calculating the temperature / humidity correction value of the second electrode based on the temperature / humidity correction value of the second electrode. The method for measuring the amount of polluted substances described in 1.
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