JP2021086909A - 基板処理装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照する。基板処理装置1は、IDブロック2、第1処理ブロック3、第2処理ブロック5およびキャリアバッファ装置8を備えている。第1処理ブロック3、IDブロック2、第2処理ブロック5は、この順番で水平方向に直線状に接続されている。
IDブロック2は、4つのオープナ11〜14(図1,図2参照)と、2つの基板搬送機構(ロボット)MHU1,MHU2と、基板バッファBFとを備えている。2つの基板搬送機構MHU1,MHU2と基板バッファBFは、IDブロック2の内部に配置されている。なお、2つの基板搬送機構MHU1,MHU2は各々、本発明のインデクサ機構に相当する。
4つのオープナ11〜14は、IDブロック2の外壁に設けられている。2つのオープナ11,12は、上下方向に配置されている。同様に、2つのオープナ13,14は、上下方向に配置されている。4つのオープナ11〜14は各々、図1に示すように、載置台16、開口部18、シャッタ部材(図示しない)、およびシャッタ部材駆動機構(図示しない)を備えている。載置台16は、キャリアCを載置するために用いられる。載置台16は、本発明のキャリア載置台に相当する。なお、図1の丸枠内の上下方向に2段×水平方向に2列のオープナ11〜14は、矢印AR1の方向に見た様子を示している。
図2に示すように、2つの基板搬送機構MHU1,MHU2は、基板バッファBFを挟み込むように、配置されている。また、2つの基板搬送機構MHU1,MHU2は、第1処理ブロック3と第2処理ブロック5とが並んで配置される方向(X方向)と直交する方向(Y方向)に配置されている。
図1、図2、図5を参照する。基板バッファBFは、複数の基板Wを載置する。基板バッファBFは、図5に示すように、第1処理ブロック3と第2処理ブロック5の中間(中央)に配置されている。これにより、2つの基板搬送機構MHU1,MHU2だけでなく、第1処理ブロック3の基板搬送機構MHU3および第2処理ブロック5の基板搬送機構MHU4も、基板バッファBFに対して基板Wを出し入れできる。すなわち、基板バッファBFに載置されている基板Wは、4台の基板搬送機構MHU1〜MHU4によって4方向から取り合うことができる。
図1を参照する。第1処理ブロック3は、3つの処理層3A,3B,3Cを備えている。この3つの処理層3A〜3Cのうち、処理層3Aは、本発明の特徴部分であるインターフェース層である。その他の処理層3B,3Cは、現像処理層である。一方、第2処理ブロック5は、2つの塗布処理層5A,5Bを備えている。なお、インターフェース層3Aは、以下適宜「IF層3A」と呼ぶ。IF層3Aの詳細は後で説明する。
基板搬送機構MHU3,MHU4は各々、基板Wを搬送する。図1に示すように、基板搬送機構MHU3,MHU4は各々、2つのハンド41、進退駆動部43、回転駆動部45、第1移動機構47および第2移動機構48を備えている。2つのハンド41、進退駆動部43および回転駆動部45はそれぞれ、例えば第1基板搬送機構MHU1の2つのハンド21、進退駆動部23、回転部25Bと同じように構成されている(図3、図4参照)。
図6は、基板処理装置1を右側から見た側面図である。5つの処理層3A〜3C,5A,5Bは各々、6つの液処理ユニット36を備えている。6つの液処理ユニット36は、上下方向に2段×水平方向に3列で配置することができる。図6において、2つの塗布処理層5A,5Bは各々、3つの塗布ユニットBARCと3つの塗布ユニットPRを備えている。2つの現像処理層3B,3Cは各々、6つの現像ユニットDEVを備えている。なお、液処理ユニット36(IF層3Aの液処理ユニット36も含む)の個数および種類は、必要に応じて変更される。
図7は、基板処理装置1を左側から見た側面図である。5つの処理層3A〜3C,5A,5Bは各々、16個の熱処理ユニット37を備えることができる。16個の熱処理ユニット37は、4段×4列で配置される。熱処理ユニット37は、基板Wを載置するプレート55(図2、図5参照)を備え、基板Wに対して熱処理を行う。熱処理ユニット37は、プレート55を加熱するときは、例えば電熱器などのヒータを備えている。また、熱処理ユニット37は、プレート55を冷却するときは、例えば水冷式の循環機構またはペルチェ素子を備えている。熱処理ユニット37の個数、種類および位置は適宜変更される。
IF層3Aは、2つの現像処理層3B,3Cの下側に配置されている。IF層3Aは、図5に示すように、処理領域57、インターフェース領域58、バッファ部BU4(インターフェース用バッファ部)を備えている。処理領域57は、IDブロック2に連結する。
図7を参照する。2つの現像処理層3B,3Cは各々、IDブロック2に隣接して配置される4つの露光後ベーク処理部PEB(隣接処理ユニットAD1)を備えている。この4つの露光後ベーク処理部PEBは、図8(a)に示すように、2方向から基板Wの出し入れを行うために、例えば2つの基板搬入口60A,60Bを備えている。すなわち、露光後ベーク処理部PEBは各々、搬送スペース39側に開口する基板搬入口60Aと、IDブロック2の基板搬送機構MHU1側に開口する基板搬入口60Bとを備えている。
図1、図2を参照する。現像処理層5Cは、キャリアバッファ装置8およびバッファ部BU3と同じ階層(第3層)に配置されている。すなわち、第2処理ブロック5の高さは、第1処理ブロック3の高さよりも低い。キャリアバッファ装置8(キャリア搬送機構61とキャリア保管棚63)は、第2処理ブロック5上に搭載されている。これにより、基板処理装置1の高さを抑えることができる。
次に、基板処理装置1の動作について説明する。図9は、基板処理装置1の処理工程の一例を示すフローチャートである。
IDブロック2の基板搬送機構MHU1は、オープナ11の載置台16上のキャリアCから基板Wを取り出して、その基板Wを2つのバッファ部BU1,BU2の一方に搬送する。
例えば塗布処理層5Aは、基板Wに対して反射防止膜とフォトレジスト膜を形成する。具体的に説明する。塗布処理層5Aの基板搬送機構MHU4は、バッファ部BU1から基板Wを取り出して、その基板Wを、冷却部CP、塗布ユニットBARC、加熱処理部PABに、この順番で搬送する。塗布ユニットBARCは、基板W上に反射防止膜を形成する。
IF層3Aは、塗布処理層5A(5B)で塗布処理が行われた基板Wを露光装置EXPに搬出する。また、IF層3Aは、露光装置EXPで露光処理された基板WをIF層3Aに搬入する。具体的に説明する。
現像処理層3B,3Cは各々、基板Wに対して現像処理を行う。具体的に説明する。基板搬送機構MHU1によって直接搬送された基板Wは、露光後ベーク処理部PEBによって、熱処理される。現像処理層3Bの基板搬送機構MHU3は、露光後ベーク処理部PEBから基板Wを受け取り、その基板Wを、冷却部CP、現像ユニットDEV、ポストベーク部PB、検査部LSCM2、バッファ部BU2の順番に搬送する。現像ユニットDEVは、露光装置EXPで露光処理された基板Wに対して現像処理を行う。検査部LSCM2は、現像後の基板Wを検査する。
IDブロック2の基板搬送機構MHU2は、2つのバッファ部BU2,BU3の一方から基板Wを取り出し、取り出した基板Wを、2つのオープナ13,14の一方(例えばオープナ13)の載置台16に載置されたキャリアCに搬送する。なお、基板搬送機構MHU2は、2つのバッファ部BU2,BU3から交互に基板Wを取り出して、取り出した基板Wを載置台16に載置されたキャリアCに搬送する。キャリアCに全ての基板Wが戻されると、シャッタ部材およびシャッタ駆動機構は、キャリアCに蓋を取り付けつつ、開口部18を塞ぐ。その後、キャリア搬送機構61は、外部搬送機構OHTに引き渡すため、オープナ13から処理後の基板Wが収納されたキャリアCを搬送する。
IF層3Aは、塗布処理層5A(5B)で塗布処理が行われた基板Wを露光装置EXPに搬出する。搬出された基板Wに対して、露光装置EXPは、露光処理を行う。ここまでは実施例1と同じ動作であるので、具体的な説明を省略する。その後、IF層3Aは、露光装置EXPで露光処理された基板WをIF層3Aに搬入する。具体的に説明する。
IF層3Aは、塗布処理層5A(5B)で塗布処理が行われた基板Wを露光装置EXPに搬出する。搬出された基板Wに対して、露光装置EXPは、露光処理を行う。ここまでは実施例1と同じ動作であるので、具体的な説明を省略する。その後、IF層3Aは、露光装置EXPで露光処理された基板WをIF層3Aに搬入する。具体的に説明する。
例えば、現像処理層3Bにおいて、基板搬送機構MHU3は、基板搬入口60Aを通じて、露光後ベーク処理部PEBから熱処理が行われた基板Wを受け取る。その後、基板搬送機構MHU3は、その基板Wを、現像ユニットDEV、ポストベーク部PB、バッファ部BU2に、この順番で搬送する。なお、現像処理層3Bが冷却部CPを備える場合、基板搬送機構MHU3は、露光後ベーク処理部PEBで熱処理が行われた基板Wを、冷却部CP、現像ユニットDEV、ポストベーク部PB、バッファ部BU2に、この順番で搬送する。また、ポストベーク部PBへの搬送は省略されてもよい。その後、IDブロック2の2つの基板搬送機構MHU1,MHU2の一方は、バッファ部BU2から基板Wを受け取り、その基板Wを検査部LSCM2に搬送する。その後、第1の基板搬送機構MHU1側の検査部LSCM2で基板Wが検査された場合は、基板搬送機構MHU1は、2つのバッファ部BU2,BU3の一方に基板Wを搬送する。その後、第2の基板搬送機構MHU2は、第2の基板搬送機構MHU2側の検査部LSCM2、バッファ部BU2、バッファ部BU3のいずれかから基板Wを受け取り、その基板Wを、2つのオープナ13,14の一方の載置台16上のキャリアCに搬送する。
2 … インデクサブロック(IDブロック)
3 … 第1処理ブロック
3A … インターフェース層(IF層)
3B,3C … 現像処理層
5 … 第2処理ブロック
5A,5B … 塗布処理層
8 … キャリアバッファ装置
16 … 載置台
21,41 … ハンド
BF … 基板バッファ
BU1〜BU4 … バッファ部
36 … 液処理ユニット
37 … 熱処理ユニット
EXP … 露光装置
57 … 処理領域
58 … インターフェース領域
60A … 基板搬入口
60B … 基板搬入口
81 … 搬送スペース
BSS … 裏面洗浄ユニット
SOAK … 露光後洗浄ユニット
PEB … 露光後ベーク処理部
PS1 … 基板載置部
PS2 … 基板載置部
MHU1〜MHU6 … 基板搬送機構
Claims (9)
- 基板を収納することが可能なキャリアを載置するためのキャリア載置台が設けられたインデクサブロックであって、基板を載置する複数のバッファ部を有する基板バッファおよび、基板を搬送するインデクサ機構を有する前記インデクサブロックと、
外部装置に基板の搬入および搬出を行うインターフェース層、および前記インターフェース層の上側又は下側に配置された第1処理層を有する第1処理ブロックと、
上下方向に配置された複数の第2処理層を有する第2処理ブロックと、を備え、
前記第1処理ブロック、前記インデクサブロックおよび前記第2処理ブロックは、この順番で水平方向に連結されており、
前記インデクサ機構は、前記キャリア載置台に載置された前記キャリアと前記基板バッファの間で基板を搬送し、
前記インデクサ機構は、前記基板バッファの所定の高さ位置にあるバッファ部から前記基板バッファの他の高さ位置にあるバッファ部へ基板を搬送し、
前記複数の第2処理層は各々、前記基板バッファの中の前記複数の第2処理層の各々に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して基板の受け取りおよび引き渡しを行い、
前記インターフェース層は、前記基板バッファの中の前記インターフェース層に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して少なくとも基板の受け取りを行い、
前記第1処理層は、前記基板バッファの中の前記第1処理層に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して少なくとも引き渡しを行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記第1処理層は現像処理層であり、
前記第2処理層は塗布処理層であり、
前記外部装置は露光装置であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記インターフェース層は、前記インデクサブロックに連結する処理領域と、
前記処理領域と連結するインターフェース領域と、を備え、
前記処理領域は、塗布処理後でかつ現像処理前の基板に対して所定の処理を行う露光関連処理ユニットと、前記インデクサブロックの前記基板バッファ、前記露光関連処理ユニット、および前記インターフェース領域との間で基板を搬送する搬送機構とを備え、
前記インターフェース領域は、前記露光装置と前記処理領域との間で基板を搬送する露光装置用搬送機構を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記インターフェース領域は、前記インターフェース領域の前記露光装置側の端が前記第1処理層の外側に突出するように配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記インターフェース領域は、前記インターフェース領域の前記露光装置側の端が前記第1処理層の内側に収まるように配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記インターフェース領域は、基板を載置する基板載置部を備え、
前記第1処理ブロックは、前記インターフェース層の前記処理領域から前記第1処理層に抜ける上下方向に延びる搬送スペースと、前記搬送スペースに配置された層間搬送機構とを備え、
前記第1処理層は、前記搬送スペースに隣接して配置された隣接処理ユニットを備え、
前記層間搬送機構は、前記インターフェース領域の前記基板載置部から基板を受け取り、その基板を、前記第1処理層の前記隣接処理ユニットに直接搬送することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理領域は、前記露光関連処理ユニットであって、前記インターフェース領域に隣接して配置される隣接処理ユニットを備え、
前記露光装置用搬送機構は、露光処理された基板を前記処理領域の前記隣接処理ユニットに直接搬送することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記キャリアを保管するキャリア保管棚と、
前記キャリア載置台と前記キャリア保管棚との間で前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、を更に備え、
前記第2処理ブロックの高さは、前記第1処理ブロックの高さよりも低く、
前記キャリア保管棚および前記キャリア搬送機構は、前記第2処理ブロック上に搭載されていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を収納することが可能なキャリアを載置するためのキャリア載置台が設けられたインデクサブロックであって、基板を載置する複数のバッファ部を有する基板バッファおよび、基板を搬送するインデクサ機構を有する前記インデクサブロックと、
第1処理層を有する第1処理ブロックと、
上下方向に配置された複数の第2処理層を有する第2処理ブロックと、を備え、
前記第1処理ブロック、前記インデクサブロックおよび前記第2処理ブロックは、この順番で水平方向に連結された基板処理装置の基板搬送方法において、
前記インデクサ機構によって、前記キャリア載置台に載置された前記キャリアと前記基板バッファの間で基板を搬送する工程と、
前記インデクサ機構によって、前記基板バッファの所定の高さ位置にあるバッファ部から前記基板バッファの他の高さ位置にあるバッファ部へ基板を搬送する工程と、
前記複数の第2処理層の各々によって、前記基板バッファの中の前記複数の第2処理層の各々に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して基板の受け取りおよび引き渡しを行う工程と、
前記第1処理層の上側又は下側に配置されたインターフェース層によって、前記基板バッファの中の前記インターフェース層に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して少なくとも基板の受け取りを行う工程と、
前記第1処理層によって、前記基板バッファの中の前記第1処理層に対応する高さ位置にあるバッファ部に対して少なくとも引き渡しを行う工程と、
前記インターフェース層によって、外部装置に基板の搬入および搬出を行う工程と、
を備えていることを特徴とする基板搬送方法。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187459A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-30 | Canon Inc | 基板搬送装置、半導体製造システムおよびデバイス製造方法 |
JP2007005660A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2010034566A (ja) * | 2009-09-14 | 2010-02-12 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置 |
JP2014093489A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2014116508A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Sokudo Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR101541836B1 (ko) * | 2015-03-20 | 2015-08-04 | 주식회사 썬닉스 | 다방향 웨이퍼 이송 시스템 |
US20150255270A1 (en) * | 2013-02-27 | 2015-09-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated platform for improved wafer manufacturing quality |
KR20160119380A (ko) * | 2015-04-03 | 2016-10-13 | 삼성전자주식회사 | 기판 제조 장치, 기판 제조 방법, 및 그를 포함하는 패브리케이션 라인 |
JP2016201526A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3069945B2 (ja) * | 1995-07-28 | 2000-07-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP3665116B2 (ja) | 1995-10-25 | 2005-06-29 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 雰囲気分離型基板処理装置 |
US6832863B2 (en) | 2002-06-11 | 2004-12-21 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate treating apparatus and method |
JP4378114B2 (ja) | 2003-06-18 | 2009-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP4459831B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2010-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置 |
JP4560022B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2010-10-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置及び塗布、現像装置の制御方法並びに記憶媒体 |
KR100892756B1 (ko) | 2007-12-27 | 2009-04-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
JP5179170B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-10 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
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US9698036B2 (en) * | 2015-11-05 | 2017-07-04 | Lam Research Corporation | Stacked wafer cassette loading system |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187459A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-30 | Canon Inc | 基板搬送装置、半導体製造システムおよびデバイス製造方法 |
JP2007005660A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2010034566A (ja) * | 2009-09-14 | 2010-02-12 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置 |
JP2014093489A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2014116508A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Sokudo Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
US20150255270A1 (en) * | 2013-02-27 | 2015-09-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated platform for improved wafer manufacturing quality |
KR101541836B1 (ko) * | 2015-03-20 | 2015-08-04 | 주식회사 썬닉스 | 다방향 웨이퍼 이송 시스템 |
KR20160119380A (ko) * | 2015-04-03 | 2016-10-13 | 삼성전자주식회사 | 기판 제조 장치, 기판 제조 방법, 및 그를 포함하는 패브리케이션 라인 |
JP2016201526A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
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