JP2021070727A - 樹脂組成物、樹脂フィルム及び金属張積層板 - Google Patents
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Abstract
Description
a)累積値が50%となる平均粒子径D50が9.0〜12.0μmの範囲内であること。
b)累積値が90%となる粒子径D90が15〜20μmの範囲内であること。
c)累積値が100%となる粒子径D100が25μm以下であること。
d)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、前記F1が9.0〜14.0μmの領域内、前記F2が0.5〜3.0μmの領域内にあること。
e)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、前記F1及びF2の比(F1/F2)が3〜28の範囲内であること。
本発明の一実施の形態に係る樹脂組成物は、ポリアミド酸又はポリイミドと、無機フィラーである球状シリカ粒子と、を含有する樹脂組成物である。樹脂組成物は、ポリアミド酸を含有するワニス(樹脂溶液)であってもよく、溶剤可溶性のポリイミドを含有するポリイミド溶液であってもよい。
ポリイミドは、一般的に下記一般式(1)で表される。このようなポリイミドは、ジアミン成分と酸二無水物成分とを実質的に等モル使用し、有機極性溶媒中で重合させる公知の方法によって製造することができる。この場合、粘度を所望の範囲とするために、ジアミン成分に対する酸二無水物成分のモル比を調整してもよく、その範囲は、例えば0.980〜1.03のモル比の範囲内とすることが好ましい。
球状シリカ粒子は、形状が真球状に近いシリカ粒子で、平均長径と平均短径の比が1又は1に近いものをいう。球状シリカ粒子は、レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布測定によって得られる頻度分布曲線が下記の条件a〜cを満たす。
a)累積値が50%となる平均粒子径D50が9.0〜12.0μmの範囲内であること。
b)累積値が90%となる粒子径D90が15〜20μmの範囲内であること。
c)累積値が100%となる粒子径D100が25μm以下であること。
条件b、cについては、粒子径が15〜25μmである球状シリカ粒子の存在比率を抑えるとともに、最大粒子径が25μm以下であることによって粗大粒子が排除されるため、樹脂フィルムを形成したときの折り曲げ性を良好なものとすることができる。
d)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、F1が9.0〜14.0μmの領域内、F2が0.5〜3.0μmの領域内にあること。
e)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、F1及びF2の比(F1/F2)が3〜28の範囲内であること。
条件d及び条件eについては、球状シリカ粒子中に粒子径が0.5〜3.0μmの範囲内の小さな球状シリカを一定量含有することによって、フィルム化したときの折り曲げ性の低下を抑制しつつ、誘電特性を更に向上させることができる。
樹脂組成物における球状シリカ粒子の含有量は、ポリアミド酸又はポリイミドに対し20〜65体積%の範囲内であり、好ましくは30〜60体積%の範囲内である。球状シリカ粒子の含有割合が20体積%に満たないと、誘電正接を低下させる効果が十分に得られなくなる。また、球状シリカ粒子の含有割合が65体積%を超えると、樹脂フィルムを形成したときに脆くなり、折り曲げ性が低下するとともに、樹脂フィルムを形成しようとする場合、樹脂組成物の粘度が高くなり、作業性も低下する。
樹脂組成物の粘度は、樹脂組成粒を塗工する際のハンドリング性を高め、均一な厚みの塗膜を形成しやすい粘度範囲として、例えば5000cps〜100000cpsの範囲内とすることが好ましく、10000cps〜50000cpsの範囲内とすることがより好ましい。上記の粘度範囲を外れると、コーター等による塗工作業の際にフィルムに厚みムラ、スジ等の不良が発生し易くなる。
樹脂組成物の調製に際しては、例えばポリアミド酸の樹脂溶液に球状シリカ粒子を直接配合してもよい。あるいは、フィラーの分散性を考慮し、ポリアミド酸の原料である酸二無水物成分及びジアミン成分のいずれか片方を投入した反応溶媒に予め球状シリカ粒子を配合した後、攪拌下にもう片方の原料を投入して重合を進行させてもよい。いずれの方法においても、一回で球状シリカ粒子を全量投入してもよいし、数回分けて少しずつ添加してもよい。また、原料も一括で入れてもよいし、数回に分けて少しずつ混合してもよい。
本実施の形態の樹脂フィルムは、単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、ポリイミド層の少なくとも1層が、上記樹脂組成物の硬化物からなる球状シリカ含有ポリイミド層であればよい。
まず、樹脂組成物を任意の支持基材上に直接流延塗布して塗布膜を形成する。次に、塗布膜を150℃以下の温度である程度溶媒を乾燥除去する。樹脂組成物がポリアミド酸を含有する場合は、その後、塗布膜に対し、更にイミド化のために100〜400℃、好ましくは130〜360℃の温度範囲で5〜30分間程度の熱処理を行う。このようにして支持基材上に球状シリカ含有ポリイミド層を形成することができる。2層以上のポリイミド層とする場合、第一のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥したのち、第二のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥する。それ以降は、同様にして第三のポリアミド酸の樹脂溶液、次に、第4のポリアミド酸の樹脂溶液、・・・というように、ポリアミド酸の樹脂溶液を、必要な回数だけ、順次塗布し、乾燥する。その後、まとめて100〜400℃の温度範囲で5〜30分間程度の熱処理を行って、イミド化を行うことがよい。熱処理の温度が100℃より低いとポリイミドの脱水閉環反応が十分に進行せず、反対に400℃を超えると、ポリイミド層が劣化するおそれがある。
まず、任意の支持基材上に、樹脂組成物を流延塗布してフィルム状成型する。このフィルム状成型物を、支持基材上で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィルムとする。ゲルフィルムを支持基材より剥離した後、樹脂組成物がポリアミド酸を含有する場合は、更に高温で熱処理し、イミド化させてポリイミドの樹脂フィルムとする。
樹脂フィルムは、例えば、回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、高周波信号の伝送時における誘電損失を低減するために、フィルム全体として、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定したときの10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.005以下であることが好ましく、0.004以下であることがより好ましい。回路基板の伝送損失を改善するためには、特に絶縁樹脂層の誘電正接を制御することが重要であり、誘電正接を上記範囲内とすることで、伝送損失を下げる効果が増大する。従って、樹脂フィルムを、例えば高周波回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合、伝送損失を効率よく低減できる。10GHzにおける誘電正接が0.005を超えると、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合が生じやすくなる。10GHzにおける誘電正接の下限値は特に制限されないが、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合の物性制御を考慮する必要がある。
樹脂フィルムは、例えば回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、インピーダンス整合性を確保するために、フィルム全体として、3〜20GHzにおける比誘電率が4.0以下であることが好ましい。3〜20GHzにおける比誘電率が4.0を超えると、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、誘電損失の悪化に繋がり、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合が生じやすくなる。
本実施の形態の金属張積層板は、絶縁樹脂層と、この絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板であり、絶縁樹脂層の少なくとも1層が上記樹脂フィルムからなる。金属張積層板は、絶縁樹脂層の片面側のみに金属層を有する片面金属張積層板であってもよいし、絶縁樹脂層の両面に金属層を有する両面金属張積層板であってもよい。
金属層の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。金属層は、金属箔からなるものであってもよいし、フィルムに金属蒸着したものであってもよい。また、樹脂組成物を直接塗布可能な点から、金属箔でも金属板でも使用可能であり、銅箔若しくは銅板が好ましい。
樹脂溶液の粘度はE型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV−II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%〜90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから1分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
<シリカ粒子>
空洞共振器摂動法による関東電子応用開発社製の誘電率測定装置を用い、誘電率測定モード;TM101に設定し、周波数10GHzにおけるシリカ粒子の比誘電率(ε1)及び誘電正接(Tanδ1)を測定した。なお、試料管チューブの内径は1.68mm、外径は2.8mm、高さは8cmである。
<樹脂フィルム>
比誘電率及び誘電正接は、ベクトルネットワークアナライザ(Agilent社製、商品名;ベクトルネットワークアナライザE8363C)およびSPDR共振器を用いて、周波数10GHzにおける樹脂フィルム(硬化後の樹脂フィルム)の比誘電率(ε1)および誘電正接(Tanδ1)を測定した。なお、測定に使用した樹脂フィルムは、温度;24〜26℃、湿度;45〜55%の条件下で、24時間放置したものである。
3mm×20mmのサイズの樹脂フィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から265℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、200℃から100℃までの平均熱膨張係数(熱膨張係数)を求めた。
レーザ回折式粒度分布測定装置(マルバーン社製、商品名;Master Sizer 3000)を用いて、レーザ回折・散乱式測定方式による粒子径の測定を行った。
連続自動粉体真密度測定装置(セイシン企業社製、商品名;AUTO TRUE DENSERMAT‐7000)を用い、ピクノメーター法(液相置換法)にて測定した。
JISK5600−1に準拠し、5cm×10cmサイズの樹脂フィルムの長辺の中心を、5mmφの金属棒に巻きつけるように1〜2秒かけて均一に曲げ、樹脂フィルムが180℃折り曲がっても破断又はクラックが入らないものを「良」、破断又はクラックが発生するものを「不可」とした。
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3’,4,4’‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
m‐TB:2,2’‐ジメチル‐4,4’‐ジアミノビフェニル
DMAc:N,N‐ジメチルアセトアミド
フィラー1:日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;CR10−20(球状クリストバライトシリカ粉末、真球状、シリカ含有率;99.4重量%、クリストバライト相;98重量%、真比重;2.33、比表面積;0.63m2/g、D50;10.8μm、D90;16.4μm、D100;24.1μm、頻度極大値F1の粒子径;11.2μm、頻度極大値F1;10.6%、頻度極大値F2の粒子径;1.0μm、頻度極大値F2;1.4%、F1/F2;11.2、10GHzにおける比誘電率;3.16、10GHzにおける誘電正接;0.0008)
フィラー2:日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;SC70−2(球状非晶質シリカ粉末、真球状、シリカ含有率;99.9重量%、真比重;2.33、比表面積;1.1m2/g、D50;11.7μm、D90;16.4μm、D100;24.1μm、頻度極大値F1の粒子径;11.2μm、頻度極大値F1;10.8%、頻度極大値F2の粒子径;1.5μm、頻度極大値F2;1.2%、F1/F2;7.5、10GHzにおける比誘電率;3.08、10GHzにおける誘電正接;0.0015)
フィラー3:日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;SP40−10(球状非晶質シリカ粉末、真球状、シリカ含有率;99.9重量%、真比重;2.21、比表面積;8.6m2/g、D50;2.5μm、D90;3.6μm、D100;7.0μm、頻度極大値F1の粒子径;2.2μm、頻度極大値F1;9.0%、頻度極大値F2の粒子径;0.9μm、頻度極大値F2;4.3%、F1/F2;2.4、10GHzにおける比誘電率;2.78、10GHzにおける誘電正接;0.0030)
300mlのセパラブルフラスコに、21.65gのm−TB(101.66mmol)、255gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、17.46gのPMDA(80.03mmol)及び5.90gのBPDA(20.01mmol)を添加し、室温で18時間撹拌してポリアミド酸溶液A(固形分濃度;15%)を得た。得られたポリアミド酸溶液Aの粘度は22,400cpsであった。
300mlのセパラブルフラスコに、29.21gのBAPP(71.15mmol)、255gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、14.74gのPMDA(67.60mmol)、1.05gのBPDA(3.56mmol)を添加し、室温で18時間撹拌してポリアミド酸溶液Bを得た。得られたポリアミド酸溶液B(固形分濃度;15%)の粘度は21,074cpsであった。
70.0gのポリアミド酸溶液A及び7.8gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液1(粘度;24,800cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;32.6体積%)を調製した。
銅箔1(電解銅箔、厚み;12μm)の上にポリアミド酸溶液1を塗布し、130℃で3分間乾燥させた。その後、155℃から360℃まで段階的な熱処理を行ってイミド化し、金属張積層板1を調製した。
金属張積層板1の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム1を調製した。樹脂フィルム1(厚み;46.1μm)の比誘電率は2.78、誘電正接は0.0037、CTEは34ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム1の評価結果を表1に示す。
60.0gのポリアミド酸溶液A及び20.0gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液2(粘度;28,400cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;59.2体積%)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板2及び樹脂フィルム2を調製した。樹脂フィルム2(厚み;78.1μm)の比誘電率は2.71、誘電正接は0.0028、CTEは34ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム2の評価結果を表1に示す。
58.7gのポリアミド酸溶液B及び6.1gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液3(粘度;23,000cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;30.0体積%)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板3及び樹脂フィルム3を調製した。樹脂フィルム3(厚み;51.6μm)の誘電率は3.04、誘電正接は0.0044であり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム3の評価結果を表1に示す。
70.0gのポリアミド酸溶液A及び7.8gのフィラー2を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液4(粘度;23,600cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;33.8体積%)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板4及び樹脂フィルム4を調製した。樹脂フィルム4(厚み;50.4μm)の比誘電率は2.84、誘電正接は0.0038、CTEは28.2ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム4の評価結果を表1に示す。
60.0gのポリアミド酸溶液A及び20.0gのフィラー2を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液5(粘度;30,100cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;60.5体積%)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板5及び樹脂フィルム5を調製した。樹脂フィルム5(厚み;79.3μm)の比誘電率は2.75、誘電正接は0.0028、CTEは20.4ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム5の評価結果を表1に示す。
56.2gのポリアミド酸溶液B及び5.5gのフィラー2を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸溶液6(粘度;23,600cps、ポリアミド酸に対するフィラーの含有率;30.0体積%)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板6及び樹脂フィルム6を調製した。樹脂フィルム6(厚み;50.7μm)の比誘電率は3.04、誘電正接は0.0047であり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム6の評価結果を表1に示す。
銅箔1の上に70.0gのポリアミド酸溶液Aを塗布し、130℃で3分間乾燥させた。その後155℃から360℃まで段階的な熱処理を行ってイミド化し、金属張積層板7を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板7の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム7を調製した。樹脂フィルム7(厚み;26.7μm)の誘電率は3.13、誘電正接は0.0056、CTEは21.3ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム7の評価結果を表2に示す。
銅箔1の上に60.0gのポリアミド酸溶液Bを塗布し、90℃で1分間、130℃で5分間乾燥させた。その後155℃から360℃まで段階的な熱処理を行ってイミド化し、金属張積層板8を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板8の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム8を調製した。樹脂フィルム8(厚み;41.4μm)の誘電率は3.16、誘電正接は0.0062、CTEは51.3ppm/Kであり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム8の評価結果を表2に示す。
55.0gのポリアミド酸溶液A及び36.3gのフィラー1を混合したこと以外、実施例1と同様にして、ポリアミド酸溶液9を調製した。
銅箔1の上にポリアミド酸溶液9を塗布し、実施例1と同様にして、金属張積層板9を調製後、樹脂フィルム9を調製した。樹脂フィルム9(厚み;117.8μm)の比誘電率は2.56、誘電正接は0.0015、CTEは31ppm/Kであり、折り曲げ性は不可であった。樹脂フィルム9の評価結果を表3に示す。
55.6gのポリアミド酸溶液A及び36.3gのフィラー2を混合したこと以外、実施例1と同様にして、ポリアミド酸溶液10を調製した。
銅箔1の上にポリアミド酸溶液10を塗布し、実施例1と同様にして、金属張積層板10を調製後、樹脂フィルム10を調製した。樹脂フィルム10(厚み;116.7μm)の比誘電率は2.75、誘電正接は0.0018、CTEは13ppm/Kであり、折り曲げ性は不可であった。樹脂フィルム10の評価結果を表3に示す。
56.2gのポリアミド酸溶液B及び5.5gのフィラー3を混合したこと以外、実施例1と同様にして、ポリアミド酸溶液11を調製した。
銅箔1の上にポリアミド酸溶液11を塗布し、実施例1と同様にして、金属張積層板11を調製後、樹脂フィルム11を調製した。樹脂フィルム11(厚み;45.6μm)の比誘電率は3.25、誘電正接は0.0052、CTEは40.9であり、折り曲げ性は良であった。樹脂フィルム11の評価結果を表3に示す。
また、球状シリカ粒子を70vol%以上含有する参考例1及び2のポリイミドフィルムは、実施例と比較して折り曲げ性が悪化した。
さらに、平均粒子径D50が2.5μmと小さな球状シリカ粒子を配合した参考例3のポリイミドフィルムは、実施例に比べ誘電率及び誘電正接が高く、誘電特性の改善効果が小さかった。
Claims (7)
- ポリアミド酸又はポリイミドと、球状シリカ粒子と、を含有する樹脂組成物であって、
レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布測定によって得られる前記球状シリカ粒子の頻度分布曲線が、下記の条件a〜c;
a)累積値が50%となる平均粒子径D50が9.0〜12.0μmの範囲内であること;
b)累積値が90%となる粒子径D90が15〜20μmの範囲内であること;
c)累積値が100%となる粒子径D100が25μm以下であること;
を満たし、前記球状シリカ粒子の含有量が、前記ポリアミド酸又は前記ポリイミドに対し、20〜65体積%の範囲内であることを特徴とする樹脂組成物。 - 前記球状シリカ粒子が、更に、下記の条件d;
d)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、前記F1が9.0〜14.0μmの領域内、前記F2が0.5〜3.0μmの領域内にあること;
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。 - 前記球状シリカ粒子が、更に、下記の条件e;
e)頻度極大値F1及び頻度極大値F2を有し、前記F1及びF2の比(F1/F2)が3〜28の範囲内であること;
を満たすことを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 - 単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、
前記ポリイミド層の少なくとも1層が、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物からなる球状シリカ含有ポリイミド層であり、該球状シリカ含有ポリイミド層の厚みが5〜150μmの範囲内であることを特徴とする樹脂フィルム。 - 前記球状シリカ粒子の粒子径D100が前記球状シリカ含有ポリイミド層の厚みに対して0.05〜0.7の範囲内であることを特徴とする請求項4に記載の樹脂フィルム。
- 厚みが5〜150μmの範囲内であり、前記球状シリカ含有ポリイミド層の厚みの割合が50%以上であることを特徴とする請求項4又は5に記載の樹脂フィルム。
- 絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板であって、
前記絶縁樹脂層が請求項4〜6のいずれか1項に記載の樹脂フィルムからなることを特徴とする金属張積層板。
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