JP2021045821A - 研磨パッド及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る研磨パッド1及び研磨方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る研磨パッド1を使用する装置の一例である研削研磨装置100の構成例を示す斜視図である。図2は、図1の研削研磨装置100の要部を示す断面図である。図3は、図1の研削研磨装置100の研磨ユニット40の要部を示す上面図である。図4は、図3のIV−IV断面図である。
本発明の実施形態2に係る研磨パッド1−2を図面に基づいて説明する。図9は、実施形態2に係る研磨パッド1−2を示す平面図である。図9は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係る研磨方法を図面に基づいて説明する。図10は、実施形態3に係る研磨方法における圧力算出ステップST1を示す断面図である。図10は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の発明者らは、実施形態1に係る研磨パッド1及び研磨方法の効果を確認した。確認においては、切り欠け2を形成した研磨パッド1を使用する実施例と、切り欠け2を形成していない従来の研磨パッドを使用する比較例とのそれぞれにおいて、研磨ユニット40により被加工物200の裏面202を研磨した。図11は、実施例に係る被加工物200の研磨量のばらつきを示すグラフである。図12は、比較例に係る被加工物200の研磨量のばらつきを示すグラフである。図11及び図12は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
1−1,60−1,200−1 中心
2,2−2 切り欠け
3 距離
3−1 最大部
4 幅
5 接触面
6 深さ
7 厚み
9,69 外縁
40 研磨ユニット
41 スピンドル
42 研磨工具
60 保持テーブル
61 保持面
80 制御ユニット
100 研削研磨装置
200 被加工物
Claims (4)
- スピンドルの先端に固定され、保持テーブルに保持された被加工物を研磨する研磨パッドであって、
該保持テーブルと、該研磨パッドとは、研磨中に該研磨パッドが該保持テーブルに保持された被加工物に接触することで、被加工物にかかる圧力が被加工物の面内で異なる位置関係に配置され、
該研磨パッドは、該研磨パッドの被加工物との接触面の中心から外縁に渡って形成され、該中心と該外縁との間に該接触面の周方向の幅が最大となる最大部を備え、該中心から該最大部に向かうにしたがって周方向の幅が徐々に広くなり、該最大部から該外縁に向かうにしたがって周方向の幅が徐々に狭くなる切り欠けが形成されていることを特徴とする、研磨パッド。 - スピンドルの先端に固定された研磨パッドによって、保持テーブルに保持された被加工物を研磨する研磨方法であって、
該保持テーブルと、該研磨パッドとは、研磨中に該研磨パッドが該保持テーブルに保持された被加工物に接触することで、被加工物にかかる圧力が被加工物の面内で異なる位置関係に配置され、
該研磨方法は、
該保持テーブルの形状を基に研磨ステップを実施中に被加工物の面内においてかかる圧力のばらつきを算出する圧力算出ステップと、
該圧力算出ステップにおいて測定された圧力に基づき、被加工物にかかる圧力が被加工物の面内で最大となる領域で該研磨パッドの被加工物との接触面の周方向の幅が最大となり、該幅が該領域から中心または外縁に向かうにしたがって減少する切り欠けを、該接触面に形成する切り欠け形成ステップと、
該保持テーブルに被加工物を保持する保持ステップと、
該保持テーブルに保持された被加工物に該切り欠けが形成された研磨パッドを接触させ、該保持テーブルと該研磨パッドの少なくとも一方を回転させながら被加工物を研磨する研磨ステップと、
を備えることを特徴とする研磨方法。 - 該保持テーブルは円錐形状であり、被加工物にかかる圧力は、保持テーブルの中心に近い程大きくなることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 該保持テーブルは円錐形状であり、被加工物にかかる圧力は、保持テーブルの中心に近い程大きくなることを特徴とする請求項2に記載の研磨方法。
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