JP2021038348A - セラミック複合体 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
(実施例1)
(実施例2)
(実施例3)
(実施例4)
(実施例5)
(実施例6)
(実施例7)
(実施例8)
(実施例9)
(実施例10)
(実施例11)
(実施例12)
2…セラミック複合体
3…育成容器
4…引き上げ容器
5…坩堝
6…坩堝駆動部
7…ヒータ
8…電極
9…ダイ
10…断熱材
11…雰囲気ガス導入口
12…排気口
13…シャフト
14…シャフト駆動部
15…ゲートバルブ
16…基板出入口
17…種結晶
18…仕切り板
19…スリット
21…融液
23…切り欠き部
24…切り欠き穴
26…直胴部分
30…斜面
Claims (6)
- 少なくともY3Al5O12相およびAl2O3相の2つの酸化物相をラメラ構造として有し、
MgOが10ppm以上500ppm以下含有されており、
前記ラメラ構造は、前記Y3Al5O12相および前記Al2O3相の界面が、30個/mm以上800個/mm以下の密度で含まれていることを特徴とするセラミック複合体。 - Mo又はWが含有されており、
前記MoまたはWの含有量が、1mol・ppm以上30000mol・ppm以下であることを特徴とする、請求項1に記載のセラミック複合体。 - 前記Y3Al5O12相がCeで付活されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のセラミック複合体。
- 前記Ceの含有量が、0.01mol%以上5.0mol%以下であることを特徴とする、請求項3に記載のセラミック複合体。
- 厚みが0.5mm以上2.0mm以下であることを特徴とする、請求項1から4の何れか一つに記載のセラミック複合体。
- 前記セラミック複合体の平面方向の形状は、
幅が0.5mm以上300mm以下で長さが10mm以上1000mm以下の方形状、または直径が0.5mm以上2mm以下の形状であることを特徴とする請求項1から5の何れか一つに記載のセラミック複合体。
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