JP2021037718A - スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の第1実施形態にかかるスクリーン印刷装置10及びスクリーンマスク20について図1乃至図8を参照して説明する。図1は本実施形態に係るスクリーン印刷装置10を示す説明図である。図2はスクリーンマスク20の斜視図であり、図3はその断面図である。図4はスクリーンマスク20の一部の構成を示す説明図である。なお、各図では説明のため、適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。図中矢印X,Y,Zは互いに直交する3方向をそれぞれ示している。
2μm≦ΔTb≦2/3T (式1)
10μm≦Wc≦100μm (式2)
Tm≦ T−ΔTb (式3)
ここで、Tは総厚(メッシュおよび乳剤の厚みを含む厚み)、ΔTbは印刷面からの段差厚み、Wcはパターン開口23aの片側の段差の幅、Tmはメッシュの厚さである。
以下、本発明の第2実施形態にかかるスクリーン印刷装置10及びスクリーンマスク120について図1、図9乃至図11を参照して説明する。図9は本実施形態にかかるスクリーン印刷装置の説明図であり、図10はスクリーンマスク120の一部の構成を示す説明図である。図11はスクリーンマスク120の製造方法を示す説明図である。なお、本実施形態にかかるスクリーンマスク120は、突起部23dがなく、パターン開口23aの内壁に段差部を有する構成である。この他の構成は、上記第1実施形態にかかるスクリーンマスク20の構成を同様であるため、共通する説明を省略する。
ΔW≦ΔT≦2/3T (式4)
ΔW=(Wb−Wa)≦40μm (式5)を満たす構成とする。
ここで、Tは総厚(メッシュおよび乳剤の厚みを含む厚み)、ΔTは印刷面からの段差厚み、ΔWはパターン開口123aの片側の段差幅である。Wbは大幅部の幅寸法,Waは小幅部の幅寸法である。その他の構成は上記第1実施形態と同様である。
第2の露光処理によって露光される部位である第2露光部位は紫外線によって硬化する第2乳剤硬化部(第2光架橋部)Pa2を形成する。第2露光部位を除く部位である第2非露光部位は、乳剤が硬化しない第2未硬化部Pb2となる。第2未硬化部Pb2は、後の工程で除去されることでパターン開口123aのうち印刷面側の一部を形成する第2除去対象部を構成する。
ΔW≦ΔT≦2/3T (式4)
を満たす構成としたことにより、エッジにおける変形を防止し、かつ、所望の印圧を確保できる。
また、段差ではなく傾斜面を有する構成としてもよい。例えばスキージの移動方向の後ろ側のみが印刷面が小幅となる傾斜面を有していても良いし、両側が傾斜面である場合に、スキージの移動方向の後ろ側が移動方向の前側よりも傾斜角が大きい傾斜面としてもよい。
ΔW≦ΔT≦2/3T (式6)
ΔW=(Wb−Wa)≦40μm (式7)
ΔWn<ΔW (式8)
ΔWn≦ΔTn≦2/3T (式9)
ΔWn<ΔW (式10)
ここで、Tは総厚(メッシュおよび乳剤の厚みを含む厚み)、ΔTは印刷面からの段差厚み、ΔWはパターン開口523aの片側の段差幅である。また、nは複数であってもよい。
また、上記実施形態では、フレーム21にメッシュ22を接着剤24で貼り付け、フレーム21の開口部全域わたってマスク膜23を形成した例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、メッシュは、いわゆるコンビネーション型を用いてもよく、また、メッシュ22の中央部分の一部にのみマスク膜23が形成されていてもよい。
Claims (10)
- 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材に第1の乳剤を塗布して第1の乳剤層を形成する第1層形成工程と、
第1の乳剤層に所定の第1露光パターンで露光する第1パターニング工程と、
前記第1の乳剤層に第2の乳剤を重ねて塗布して第2の乳剤層を形成する第2層形成工程と、
前記第1露光パターンとは異なる第2露光パターンにて露光する第2パターニング工程と、
エッチング処理により前記第1の乳剤層及び前記第2の乳剤層に開口を形成するとともに、一方側の表面に段差を形成する、エッチング処理と、を備えるスクリーンマスクの製造方法。 - 前記第2パターニング工程は、前記第2の乳剤層の一方側から、前記第1の乳剤層の少なくとも一部と前記第2の乳剤層の少なくとも一部を含む領域を露光するとともに、
第2露光パターンの露光部位は、前記第1パターニング工程における非露光部位の少なくとも一部、及び前記第1パターニング工程における露光部位の少なくとも一部の前記一方側の領域を含む、請求項1に記載のスクリーンマスクの製造方法。 - 前記エッチング処理により前記第1の乳剤層及び前記第2の乳剤層に開口を形成するとともに、前記開口の縁部分の前記一方側の表面に段差を形成する、請求項1に記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 前記露光はマスクレス露光である請求項1乃至3のいずれかに記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 前記第2の乳剤層は前記第1の乳剤層よりも柔らかい請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に形成され、塗布材の吐出方向の一方側である印刷面側の開口エッジよりも前記印刷面とは反対側の供給側の開口エッジが広くなる段差部または傾斜面を有するとともに、前記印刷面側の開口エッジに前記印刷面側に突出する突起部を有する、マスク膜と、を備えるスクリーンマスク。 - 塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に設けられるとともにパターン開口が形成され、前記パターン開口は塗布材の吐出方向の一方側である印刷面側の開口エッジよりも前記印刷面とは反対側の供給側の開口エッジが広く、かつ、前記パターン開口の内側壁面は所定の第1方向における一方側が他方側よりも前記開口エッジの広がりが大きく非対称に構成されたマスク膜と、を備えるスクリーンマスク。 - 前記マスク膜は、スキージの移動方向の後方が先方よりも、前記供給側に拡大する、請求項7に記載のスクリーンマスク。
- 前記マスク膜の前記パターン開口の内側壁は傾斜面を有する、請求項7または請求項8に記載のスクリーンマスク。
- 前記マスク膜の前記パターン開口の内側壁は中途部に段差を有する、請求項7または請求項8に記載のスクリーンマスク。
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