JP2021036243A - 物質検出素子 - Google Patents
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Abstract
Description
貫通孔が設けられた支持基板と、
前記貫通孔の縁から対向する縁へ向かって延びて前記貫通孔の一部を塞ぎ、検出対象の物質が付着する物質吸着膜を支持し、前記物質が前記物質吸着膜に付着することで振動周波数が変化する、圧電素子を有する板状の梁と、
前記圧電素子に電圧を印加して前記梁を振動変形させる駆動電極と、
前記梁の振動周波数に関する情報を検出する検出電極と、
を備え、
前記梁は、
前記貫通孔の縁に両端が固定され、両端に前記駆動電極が設けられた板状の第1の梁と、前記貫通孔の縁に両端が固定され、少なくとも一端に前記検出電極が設けられ、前記第1の梁と交差する板状の第2の梁とを有し、
前記第1の梁の幅が前記第2の梁の幅よりも広くなり、前記第1の梁の幅に沿った前記駆動電極の幅が前記第2の梁の幅に沿った前記検出電極の幅よりも広くなるように設定されている。
貫通孔が設けられた支持基板と、
前記貫通孔の縁から対向する縁へ向かって延びて前記貫通孔の一部を塞ぎ、検出対象の物質が付着する物質吸着膜を支持し、前記物質が前記物質吸着膜に付着することで振動周波数が変化する、圧電素子を有する板状の梁と、
前記圧電素子に電圧を印加して前記梁を振動変形させる駆動電極と、
前記梁の振動周波数に関する情報を検出する検出電極と、
を備え、
前記梁は、
前記貫通孔の縁に両端が固定され、両端に前記駆動電極が設けられた板状の第1の梁と、前記貫通孔の縁に両端が固定され、少なくとも一端に前記検出電極が設けられ、前記第1の梁と交差する板状の第2の梁とを有し、
前記第1の梁の両端に形成された前記駆動電極同士を繋ぐ導線が前記第1の梁上に形成され、前記駆動電極の一方と導通する導線が前記第1の梁の外部に引き出されている。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記第2の梁の両端に形成された前記検出電極各々と導通する導線が前記第2の梁の外部に引き出され、1本にまとめられている、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記貫通孔毎に前記梁が設けられ、
前記梁各々が支持する物質吸着膜の種類が異なっている、
こととしてもよい。
Claims (9)
- 貫通孔が設けられた支持基板と、
前記貫通孔の縁から対向する縁へ向かって延びて前記貫通孔の一部を塞ぎ、検出対象の物質が付着する物質吸着膜を支持し、前記物質が前記物質吸着膜に付着することで振動周波数が変化する、圧電素子を有する板状の梁と、
前記圧電素子に電圧を印加して前記梁を振動変形させる駆動電極と、
前記梁の振動周波数に関する情報を検出する検出電極と、
を備え、
前記梁は、
前記貫通孔の縁に両端が固定され、両端に前記駆動電極が設けられた板状の第1の梁と、前記貫通孔の縁に両端が固定され、少なくとも一端に前記検出電極が設けられ、前記第1の梁と交差する板状の第2の梁とを有し、
前記第1の梁の幅が前記第2の梁の幅よりも広くなり、前記第1の梁の幅に沿った前記駆動電極の幅が前記第2の梁の幅に沿った前記検出電極の幅よりも広くなるように設定されている、
物質検出素子。 - 貫通孔が設けられた支持基板と、
前記貫通孔の縁から対向する縁へ向かって延びて前記貫通孔の一部を塞ぎ、検出対象の物質が付着する物質吸着膜を支持し、前記物質が前記物質吸着膜に付着することで振動周波数が変化する、圧電素子を有する板状の梁と、
前記圧電素子に電圧を印加して前記梁を振動変形させる駆動電極と、
前記梁の振動周波数に関する情報を検出する検出電極と、
を備え、
前記梁は、
前記貫通孔の縁に両端が固定され、両端に前記駆動電極が設けられた板状の第1の梁と、前記貫通孔の縁に両端が固定され、少なくとも一端に前記検出電極が設けられ、前記第1の梁と交差する板状の第2の梁とを有し、
前記第1の梁の両端に形成された前記駆動電極同士を繋ぐ導線が前記第1の梁上に形成され、前記駆動電極の一方と導通する導線が前記第1の梁の外部に引き出されている、
物質検出素子。 - 前記第2の梁には、前記貫通孔の縁に固定された両端に前記検出電極が設けられている、
請求項1または2に記載の物質検出素子。 - 前記第2の梁の両端に形成された前記検出電極各々と導通する導線が前記第2の梁の外部に引き出され、1本にまとめられている、
請求項3に記載の物質検出素子。 - 前記第1の梁の両端に形成された前記駆動電極同士を繋ぐ導線が前記第1の梁上に形成され、前記駆動電極の一方と導通する導線が前記第1の梁の外部に引き出されている、
請求項1に記載の物質検出素子。 - 前記第2の梁には、前記貫通孔の縁に固定された両端に前記検出電極が設けられており、
前記第2の梁の両端に形成された前記検出電極各々と導通する導線が前記第2の梁の外部に引き出され、1本にまとめられている、
請求項5に記載の物質検出素子。 - 前記第1の梁と前記第2の梁とは、それぞれの中央で連結されている、
請求項1から6のいずれか一項に記載の物質検出素子。 - 前記第1の梁と前記第2の梁とが直交している、
請求項1から7のいずれか一項に記載の物質検出素子。 - 前記支持基板に前記貫通孔が複数設けられ、
前記貫通孔毎に前記梁が設けられ、
前記梁各々が支持する物質吸着膜の種類が異なっている、
請求項1から8のいずれか一項に記載の物質検出素子。
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