JP2021027091A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記複数の半導体素子のそれぞれの回路が形成された表面に第1表面保護シートを貼付させた状態で、上記複数の半導体素子が互いに離間した状態が形成される。
上記複数の半導体素子のそれぞれの間における上記第1表面保護シートに、第1厚みを有する樹脂層が形成される。
上記複数の半導体素子のそれぞれの裏面と、上記樹脂層とを研削することにより、上記複数の半導体素子及び上記樹脂層の厚みが上記第1厚みよりも薄い第2厚みに設定される。
上記半導体基板の上記表面に、上記第1表面保護シートを貼付し、
上記半導体基板の上記裏面にレーザ光を照射することで、上記半導体基板を分割するための改質領域を上記半導体基板の内部に形成し、
上記第1表面保護シートを上記表面保護シートの面内方向において拡張して、上記改質領域を起点として上記半導体基板を分割することにより、上記第1表面保護シートに互いに離間した上記複数の半導体素子を形成してもよい。
上記半導体基板の上記裏面に、第2表面保護シートを接着し、
上記裏面に上記第2表面保護シートを介してレーザ光を照射することで、上記半導体基板を分割するための改質領域を上記半導体基板の内部に形成し、
上記第2表面保護シートを上記表面保護シートの面内方向において拡張して、上記改質領域を起点として上記半導体基板を分割することにより、上記第2表面保護シートに互いに離間した上記複数の半導体素子を形成し、
上記複数の半導体素子のそれぞれの上記回路が形成された上記表面に上記第1表面保護シートを接着させ、上記第2表面保護シートを上記複数の半導体素子から取り除くことにより、上記第1表面保護シートに互いに離間した上記複数の半導体素子を形成してもよい。
上記複数の半導体素子のそれぞれの上記回路が形成された上記表面とは反対側の上記複数の半導体素子のそれぞれの裏面に、保護膜形成用フィルム及び支持シートを有する保護膜形成用複合シートを積層させ、
上記複数の半導体素子から上記第1表面保護シートを取り除き、
上記複数の半導体素子の間に形成された上記樹脂層を個片化し、
上記支持シートから上記複数の半導体素子のいずれかをピックアップすることにより、側面が上記樹脂層で覆われ、裏面が上記保護膜形成用フィルムで覆われた半導体素子を形成してもよい。
上記複数の半導体素子のそれぞれの上記回路が形成された上記表面とは反対側の上記複数の半導体素子のそれぞれの裏面に、フィルム状接着剤及び支持シートを有するフィルム状接着剤複合シートを積層させ、
上記複数の半導体素子から上記第1表面保護シートを取り除き、
上記支持シートから上記複数の半導体素子のいずれかをピックアップすることにより、裏面が上記フィルム状接着剤で覆われた半導体素子を形成してもよい。
エポキシ樹脂(B1)−2:多官能芳香族型エポキシ樹脂(日本化薬社製「EPPN−502H」);重量平均分子量=1000
エポキシ樹脂(B1)−3:ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC社製「EPICLON HP−7200」);重量平均分子量=600
熱硬化剤(B2)−1:ノボラック型フェノール樹脂(昭和電工社製「BRG−556」)
硬化促進剤(C)−1:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業社製「キュアゾール2PHZ−PW」)
充填材(D)−1:エポキシ基で修飾された球状シリカ(アドマテックス社製「アドマナノ YA050C−MKK」);0.05μm(平均粒径);19質量%(熱硬化性樹脂組成物中の含有率)
次に、90℃で転写機を用いて、離間した半導体チップの間、離間した半導体チップの裏面に熱硬化性樹脂組成物(III−1)を転写した。ここで用いた転写機としては、貼付装置(ローラー式ラミネータ、リンテック社製「RAD−3510 F/12」)であり、貼付速度2mm/S、貼付圧力0.5MPaの条件でテーブルを90℃に加熱しながら転写を行った。この後、剥離テープを除去した。次いで、熱硬化性樹脂組成物を130℃で加熱して、処理圧力0.5MPa、加熱処理時間が2時間の条件で加熱加圧処理することにより離間した半導体チップの間に熱硬化した樹脂層を形成した。
エポキシ樹脂(b1)−1:液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「JER834」、エポキシ当量250g/eq、重量平均分子量470)
エポキシ樹脂(b1)−2:多官能芳香族型(トリフェニレン型)エポキシ樹脂(日本化薬社製「EPPN−502H」、エポキシ当量167g/eq、軟化点54℃、重量平均分子量1200)
熱硬化剤(b2)−1ビフェニル型フェノール樹脂(明和化成社製「MEH−7851−SS」、軟化点67°C)
硬化促進剤(c)−1:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業社製「キュアゾール2PHZ」)
充填材(d)−1:球状シリカ(アドマテックス社製「SC2050」)
カップリング剤(e)−1:シランカップリング剤、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン(信越シリコーン社製「KBE−402」)
IRカメラを用いて、半導体チップのクラック発生の有無を観察し、クラックが発生しているか否かの確認をした。実施例1、2とも個片化した後の半導体素子に損傷はなかった。
2…フィルム状接着剤複合シート
8…半導体基板
8a…表面
8b…裏面
8d…分割ライン
8m…改質領域
10…支持シート
11…基材
12…粘着剤層
13…保護膜形成用フィルム
14…フィルム状接着剤
50…樹脂層
60…バックグラインドテープ
60a…接着剤面
60b…非接着剤面
80…半導体素子
80a…表面
80b…裏面
80w…側面
80d…ダイシングライン
90…レーザ光源
91…レーザ光
500…研削冶具
501…突上ピン
502…コレット
503…ダイシングブレード
504…レーザ光源
505…レーザ光
Claims (9)
- 回路が形成された表面と、前記表面とは反対側の裏面とを有する半導体基板に対して、前記裏面の側から前記半導体基板を複数の半導体素子に分割するための処理を施し、
前記複数の半導体素子のそれぞれの回路が形成された表面に第1表面保護シートを貼付させた状態で、前記複数の半導体素子が互いに離間した状態を形成し、
前記複数の半導体素子のそれぞれの間における前記第1表面保護シートに、第1厚みを有する樹脂層を形成し、
前記複数の半導体素子のそれぞれの裏面と、前記樹脂層とを研削することにより、前記複数の半導体素子及び前記樹脂層の厚みを前記第1厚みよりも薄い第2厚みに設定する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記半導体基板の前記表面に、前記第1表面保護シートを貼付し、
前記半導体基板の前記裏面にレーザ光を照射することで、前記半導体基板を分割するための改質領域を前記半導体基板の内部に形成し、
前記第1表面保護シートを前記表面保護シートの面内方向において拡張して、前記改質領域を起点として前記半導体基板を分割することにより、前記第1表面保護シートに互いに離間した前記複数の半導体素子を形成する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記半導体基板の前記裏面に、第2表面保護シートを接着し、
前記裏面に前記第2表面保護シートを介してレーザ光を照射することで、前記半導体基板を分割するための改質領域を前記半導体基板の内部に形成し、
前記第2表面保護シートを前記表面保護シートの面内方向において拡張して、前記改質領域を起点として前記半導体基板を分割することにより、前記第2表面保護シートに互いに離間した前記複数の半導体素子を形成し、
前記複数の半導体素子のそれぞれの前記回路が形成された前記表面に前記第1表面保護シートを接着させ、前記第2表面保護シートを前記複数の半導体素子から取り除くことにより、前記第1表面保護シートに互いに離間した前記複数の半導体素子を形成する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記半導体基板の前記裏面から前記表面にまでダイシングブレードまたはレーザ光を貫通させることにより、前記第1表面保護シートに互いに離間した前記複数の半導体素子を形成する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記複数の半導体素子のそれぞれの前記回路が形成された前記表面とは反対側の前記複数の半導体素子のそれぞれの裏面に、保護膜形成用フィルム及び支持シートを有する保護膜形成用複合シートを積層させ、
前記複数の半導体素子から前記第1表面保護シートを取り除き、
前記複数の半導体素子の間に形成された前記樹脂層を個片化し、
前記支持シートから前記複数の半導体素子のいずれかをピックアップすることにより、側面が前記樹脂層で覆われ、裏面が前記保護膜形成用フィルムで覆われた半導体素子を形成する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記複数の半導体素子のそれぞれの前記回路が形成された前記表面とは反対側の前記複数の半導体素子のそれぞれの裏面に、フィルム状接着剤及び支持シートを有するフィルム状接着剤複合シートを積層させ、
前記複数の半導体素子から前記第1表面保護シートを取り除き、
前記支持シートから前記複数の半導体素子のいずれかをピックアップすることにより、裏面が前記フィルム状接着剤で覆われた半導体素子を形成する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記樹脂層として、エネルギー線硬化性樹脂層を用いる
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記複数の半導体素子が互いに離間する幅は、5μm以上500μm以下である
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記第2厚みは、5μm以上300μm以下である
半導体素子の製造方法。
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