JP2020526467A - ボロアルミノシリケート鉱物材料、低温同時焼成セラミック複合材料、低温同時焼成セラミック、複合基板及びその製造方法 - Google Patents
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- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
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Abstract
【選択図】図1
Description
Na2O 0.41%〜1.15%
K2O 14.15%〜23.67%
CaO 1.17%〜4.10%
Al2O3 0〜2.56%
B2O3 13.19%〜20.00%
SiO2 53.47%〜67.17%
Na2O 0.62%〜0.98%
K2O 14.96%〜22.80%
CaO 1.82%〜4.10%
Al2O3 0〜2.22%
B2O3 14.87%〜18.33%
SiO2 53.47%〜67.17%
ボロアルミノシリケート鉱物材料における各元素の比率に応じて、ナトリウム源、カリウム源、カルシウム源、アルミニウム源、ホウ素源、及びケイ素源を秤量して混合した後、研磨処理によってボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得るステップと、
ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーに対して乾燥処理を行い乾燥粉末を得るステップと、
乾燥粉末にバインダーを加え、均一に混合して混合粉末を得るステップと、
混合粉末を700℃〜850℃で焼成して、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得るステップと、
を含む。
質量百分率含有量で、35%〜65%のAl2O3と、35%〜65%のボロアルミノシリケート鉱物材料とを混合した後、研磨処理によって混合研磨スラリーを得るステップと、
混合研磨スラリーに対して乾燥処理を行い、低温同時焼成セラミック複合材料を得るステップと、
を含む。
低温同時焼成セラミック複合材料にバインダーを加え、均一に混合して、セラミック粉末を得るステップと、
セラミック粉末を、500℃〜600℃で保温して脱バインダー処理を行うステップと、
脱バインダー処理後のセラミック粉末を、850℃〜950℃で焼結して、低温同時焼成セラミックを得るステップと、
を含む、製造方法。
Na2O 0.41%〜1.15%
K2O 14.15%〜23.67%
CaO 1.17%〜4.10%
Al2O3 0〜2.56%
B2O3 13.19%〜20.00%
SiO2 53.47%〜67.17%
Na2CO3 0.58%〜1.58%
K2CO3 17.60%〜27.89%
CaCO3 1.60%〜4.38%
Al2O3 0〜2.06%
H3BO3 18.82%〜31.16%
SiO2 42.00%〜55.78%
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。
0.50gのNa2CO3、10.71gのK2CO3、2.93gのCaCO3、0.34gのAl2O3、11.42gのH3BO3及び24.09gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表2に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.96gのK2CO3、2.94gのCaCO3、0.76gのAl2O3、11.05gのH3BO3及び23.77gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表3に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
50.03gのAl2O3と49.97gのボロアルミノシリケート鉱物材料を秤量し、混合後、120mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、混合研磨スラリーを得た。混合研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥して、低温同時焼成セラミック複合材料を得た。低温同時焼成セラミック複合材料に、質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを加え、均一に混合してセラミック粉末を得た。セラミック粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、セラミックスケーキを得た。セラミックスケーキを550℃で2時間保温して、脱バインダー処理をした。脱バインダー処理後のセラミックスケーキを900℃で2時間焼結し、室温まで炉中冷却して、低温同時焼成セラミックを得た。
0.62gのNa2CO3、13.17gのK2CO3、2.34gのCaCO3、0.17gのAl2O3、11.00gのH3BO3及び22.69gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを70℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で5時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表4に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.79gのNa2CO3、13.95gのK2CO3、2.19gのCaCO3、1.03gのAl2O3、9.41gのH3BO3及び22.64gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して8時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを75℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で850℃で1時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表5に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.38gのNa2CO3、9.79gのK2CO3、1.30gのCaCO3、0.09gのAl2O3、12.35gのH3BO3及び26.08gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して3時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを80℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で730℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表6に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.69gのNa2CO3、12.55gのK2CO3、1.73gのCaCO3、0.80gのAl2O3、11.65gのH3BO3及び22.58gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して5時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを85℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で3時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表7に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.66gのNa2CO3、13.14gのK2CO3、1.54gのCaCO3、0.87gのAl2O3、12.79gのH3BO3及び21.00gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して6時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを90℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で780℃で4時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表8に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
50.03gのAl2O3と49.97gのボロアルミノシリケート鉱物材料を秤量し、混合後、120mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して6時間ボールミリングし、混合研磨スラリーを得た。混合研磨スラリーを90℃で12時間加熱乾燥して、低温同時焼成セラミック複合材料を得た。低温同時焼成セラミック複合材料に、質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを加え、均一に混合してセラミック粉末を得た。セラミック粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、セラミックスケーキを得た。セラミックスケーキを550℃で3時間保温して、脱バインダー処理をした。脱バインダー処理後のセラミックスケーキを900℃で2時間焼結し、室温まで炉中冷却して、低温同時焼成セラミックを得た。
0.44gのNa2CO3、9.12gのK2CO3、1.35gのCaCO3、0.23gのAl2O3、10.97gのH3BO3及び27.89gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して7時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを950℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で800℃で3時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表9に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表10に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表11に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表12に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表13に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表14に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
0.52gのNa2CO3、10.92gのK2CO3、1.51gのCaCO3、12.43gのH3BO3及び24.63gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。質量濃度8.0%のポリビニルアルコール水溶液2mLを乾燥粉末に加えて混合粉末を得た。混合粉末を粒子化した後、一軸乾式プレス成形により、ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体を得た。ボロアルミノシリケート鉱物グリーン体をマッフル炉に入れ、空気条件下で750℃で2時間焼成し、炉中冷却し、粉砕し篩い分けて、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表15に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
11.38gのK2CO3、12.95gのH3BO3、及び25.67gのSiO2原料を秤量し、混合した後、60mLの無水エタノールと共に、プラネタリーに添加して4時間ボールミリングし、ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得た。ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを100℃で12時間加熱乾燥させて乾燥粉末を得た。乾燥粉末をそのままるつぼに入れ、マッフル炉に入れて、高温溶融プロセスにより1500℃で30分間錬成した。その後、高温で取り出して脱イオン水中に水急冷した。細かく研磨及篩い分けにより、ボロアルミノシリケートガラス粉末を得た。質量百分率含有量でのボロアルミノシリケート鉱物材料の組成は、表16に示し、ボロアルミノシリケート鉱物材料の組成の測定方法は、実施例1と同じである。
Claims (14)
- 低温同時焼成セラミック用のボロアルミノシリケート鉱物材料であって、前記ボロアルミノシリケート鉱物材料が、以下の酸化物基準の質量百分率含有量表示で、以下の組成成分を含むことを特徴とする、ボロアルミノシリケート鉱物材料。
Na2O 0.41%〜1.15%
K2O 14.15%〜23.67%
CaO 1.17%〜4.10%
Al2O3 0〜2.56%
B2O3 13.19%〜20.00%
SiO2 53.47%〜67.17% - 以下の組成成分を含むことを特徴とする、請求項1に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料。
Na2O 0.62%〜0.98%
K2O 14.96%〜22.80%
CaO 1.82%〜4.10%
Al2O3 0〜2.22%
B2O3 14.87%〜18.33%
SiO2 53.47%〜67.17% - 質量百分率含有量で、35%〜65%のAl2O3と、35%〜65%の請求項1又は2に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料とを含むことを特徴とする、低温同時焼成セラミック複合材料。
- 前記低温同時焼成セラミック複合材料は、41.69%〜62.53%のAl2O3と、37.47%〜58.31%の請求項1又は2に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料とを含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の低温同時焼成セラミック複合材料。
- ボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法であって、
請求項1又は2に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料における各元素の比率に応じて、ナトリウム源、カリウム源、カルシウム源、アルミニウム源、ホウ素源、及びケイ素源を秤量して混合した後、研磨処理によってボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーを得るステップと、
前記ボロアルミノシリケート鉱物研磨スラリーに対して乾燥処理を行い乾燥粉末を得るステップと、
前記乾燥粉末にバインダーを加え、均一に混合して混合粉末を得るステップと、
前記混合粉末を700℃〜850℃で焼成して、ボロアルミノシリケート鉱物材料を得るステップと、
を含むことを特徴とする、製造方法。 - 前記研磨処理が、ボールミリングであり、前記ボールミリングの媒体が、無水エタノールであることを特徴とする、請求項5に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法。
- 前記研磨処理の時間が、2時間〜8時間であることを特徴とする、請求項5に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法。
- 前記乾燥処理が、加熱乾燥であり、前記乾燥処理の温度が70℃〜100℃であることを特徴とする、請求項5に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法。
- 前記バインダーが、ポリビニルアルコール及びポリビニルブチラールからなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする、請求項5に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法。
- 前記混合粉末を700℃〜850℃で焼成する物は、具体的に、前記混合粉末をマッフル炉に入れ、空気条件で1時間〜5時間焼成することであることを特徴とする、請求項5に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料の製造方法。
- 低温同時焼成セラミック複合材料の製造方法であって、
質量百分率含有量で、35%〜65%のAl2O3と、35%〜65%の請求項1又は2に記載のボロアルミノシリケート鉱物材料とを混合した後、研磨処理によって混合研磨スラリーを得るステップと、
前記混合研磨スラリーに対して乾燥処理を行い、低温同時焼成セラミック複合材料を得るステップと、
を含むことを特徴とする、製造方法。 - 請求項3又は4に記載の低温同時焼成セラミック複合材料で作製されたことを特徴とする、低温同時焼成セラミック。
- 低温同時焼成セラミックの製造方法であって、
請求項3又は4に記載の低温同時焼成セラミック複合材料にバインダーを加え、均一に混合して、セラミック粉末を得るステップと、
前記セラミック粉末を、500℃〜600℃で2時間〜3時間保温して脱バインダー処理を行うステップと、
脱バインダー処理後の前記セラミック粉末を、850℃〜950℃で焼結して、低温同時焼成セラミックを得るステップと、
を含むことを特徴とする、製造方法。 - 請求項12に記載の低温同時焼成セラミックからなる複合基板。
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