JP2020204369A

JP2020204369A - Manufacturing method of diaphragm valve

Info

Publication number: JP2020204369A
Application number: JP2019112635A
Authority: JP
Inventors: 信治石川; Shinji Ishikawa; 彰規正村; Akinori Shomura
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2019-06-18
Filing date: 2019-06-18
Publication date: 2020-12-24

Abstract

To provide a technology that relates to a manufacturing method of a diaphragm valve including a valve body and a diaphragm valve element and enables reduction of a risk that foreign objects contaminate a fluid passage part during assembly of the diaphragm valve.SOLUTION: A valve body 31 includes: first and second ports 32, 34; and an opening 33 which opens to the side of a driving part 2 and communicates with the first and second ports 32, 34. A diaphragm valve element 41 is attached to the valve body 31 to seal the opening 33. Further, in a state that the first and second ports 32, 34 are sealed with a sealing cap 100, the driving part 2 is connected to the valve body 31.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、バルブボディと、ダイアフラム弁体と、駆動部と、を備え、半導体製造装置に用いられるダイアフラムバルブの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a diaphragm valve, which includes a valve body, a diaphragm valve body, and a drive unit, and is used in a semiconductor manufacturing apparatus.

従来、半導体製造装置では、半導体の製造に使用する薬液の制御に、ダイアフラムバルブが用いられている。例えば、特許文献１には、ダイアフラム弁体が駆動部から付与される駆動力に応じて弁座に当接又は離間することにより、流体を制御するダイアフラムバルブが開示されている。ダイアフラム弁体は、駆動部の駆動軸にネジ結合されている。 Conventionally, in a semiconductor manufacturing apparatus, a diaphragm valve has been used to control a chemical solution used for manufacturing a semiconductor. For example, Patent Document 1 discloses a diaphragm valve that controls a fluid by abutting or separating a diaphragm valve body from a valve seat according to a driving force applied from a driving unit. The diaphragm valve body is screwed to the drive shaft of the drive unit.

特開２０１２−１５９１２２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-159122

しかしながら、従来技術には、以下の問題があった。すなわち、従来のダイアフラムバルブは、バルブボディのポートやダイアフラム弁体が取り付けられる開口部が開放されている状態で、組み立てられていた。そのため、従来のダイアフラムバルブは、組立作業中に発生するパーティクルや金属粉などの異物が、バルブボディのポートや開口部から、制御流体に接する流体通路部に侵入し、流体通路部が汚染されることがあった。 However, the prior art has the following problems. That is, the conventional diaphragm valve is assembled with the port of the valve body and the opening to which the diaphragm valve body is attached open. Therefore, in the conventional diaphragm valve, foreign matter such as particles and metal powder generated during the assembly work invades the fluid passage portion in contact with the control fluid from the port or opening of the valve body, and the fluid passage portion is contaminated. There was something.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、バルブボディとダイアフラム弁体と駆動部とを備えるダイアフラムバルブの製造方法であって、ダイアフラムバルブの組立時に、流体通路部が異物で汚染されるリスクを抑制できる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and is a method for manufacturing a diaphragm valve including a valve body, a diaphragm valve body, and a drive unit. When the diaphragm valve is assembled, the fluid passage portion is a foreign substance. The purpose is to provide a technology that can reduce the risk of being contaminated with.

本発明の一態様は、次のような構成を有している。（１）バルブボディと、ダイアフラム弁体と、駆動部と、を備え、半導体製造装置に用いられるダイアフラムバルブの製造方法において、前記バルブボディは、複数のポートと、前記駆動部側に開口し、前記複数のポートと連通する開口部とを備え、前記ダイアフラム弁体を前記バルブボディに取り付けることによって前記開口部を封止すると共に、前記複数のポートを封止部材を用いて封止した状態で、前記バルブボディと前記駆動部とを複数の金属ボルトを用いて連結すること、を特徴とする。 One aspect of the present invention has the following configuration. (1) In a method for manufacturing a diaphragm valve which includes a valve body, a diaphragm valve body, and a drive unit and is used in a semiconductor manufacturing apparatus, the valve body is opened to a plurality of ports and the drive unit side. With an opening that communicates with the plurality of ports, the opening is sealed by attaching the diaphragm valve body to the valve body, and the plurality of ports are sealed by using a sealing member. , The valve body and the drive unit are connected by using a plurality of metal bolts.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、例えば、金属ボルトを工具で締め込むときに金属粉が発生したり、作業者に付着したパーティクルが作業台周辺に舞い上がったりしても、バルブボディの開口部と複数のポートがダイアフラム弁体と封止部材を用いて封止され、流体が流れる流体通路部が外気から遮断されている。そのため、ダイアフラムバルブの組立中に、金属粉やパーティクルなどの異物が流体通路部に入り込みにくい。これにより、ダイアフラムバルブは、組立時に、流体通路部が異物で汚染されるリスクが低くなる。 In the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, for example, even if metal powder is generated when a metal bolt is tightened with a tool or particles adhering to an operator fly up around the workbench, the opening of the valve body is opened. And a plurality of ports are sealed using a diaphragm valve body and a sealing member, and the fluid passage portion through which the fluid flows is shielded from the outside air. Therefore, it is difficult for foreign substances such as metal powder and particles to enter the fluid passage portion during the assembly of the diaphragm valve. This reduces the risk of foreign matter contaminating the fluid passages during assembly of the diaphragm valve.

（２）（１）に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記ダイアフラム弁体が、圧入又は熱溶着により、前記バルブボディに取り付けられること、が好ましい。 (2) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to (1), it is preferable that the diaphragm valve body is attached to the valve body by press fitting or heat welding.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、ダイアフラム弁体が、圧入又は熱溶着によりバルブボディに脱落しないように取り付けられ、バルブボディの開口部を塞ぐ封止部材としても機能する。そのため、ダイアフラムバルブは、組立時にバルブボディの開口部を塞ぐ余分な部材がなくても、流体通路部が異物で汚染されるリスクを低くすることができる。 In the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, the diaphragm valve body is attached so as not to fall off to the valve body by press fitting or heat welding, and also functions as a sealing member for closing the opening of the valve body. Therefore, the diaphragm valve can reduce the risk of the fluid passage portion being contaminated with foreign matter even if there is no extra member that closes the opening of the valve body at the time of assembly.

（３）（１）に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記ダイアフラム弁体が、止め輪を用いて、前記バルブボディに取り付けられること、が好ましい。 (3) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to (1), it is preferable that the diaphragm valve body is attached to the valve body by using a retaining ring.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、ダイアフラム弁体が、止め輪を介してバルブボディに脱落しないように取り付けられ、バルブボディの開口部を塞ぐ封止部材として機能する。そのため、ダイアフラムバルブは、組立時にバルブボディの開口部を塞ぐ余分な部材がなくても、流体通路部が異物で汚染されるリスクを低くすることができる。 In the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, the diaphragm valve body is attached to the valve body via a retaining ring so as not to fall off, and functions as a sealing member for closing the opening of the valve body. Therefore, the diaphragm valve can reduce the risk of the fluid passage portion being contaminated with foreign matter even if there is no extra member that closes the opening of the valve body at the time of assembly.

（４）（１）乃至（３）の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記駆動部は、往復直線運動を行う駆動軸を有し、前記駆動軸の移動方向に対して直交する方向に沿って、又は、前記駆動軸の移動方向に沿って、前記駆動部をバルブボディに対して相対的に移動させることにより、前記バルブボディに取り付けられた前記ダイアフラム弁体に前記駆動軸を係合させた後、前記複数の金属ボルトを用いて前記バルブボディと前記駆動部とを連結すること、が好ましい。 (4) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of (1) to (3), the drive unit has a drive shaft that performs reciprocating linear motion with respect to the moving direction of the drive shaft. By moving the drive unit relative to the valve body along the directions orthogonal to each other or along the moving direction of the drive shaft, the drive unit is driven by the diaphragm valve body attached to the valve body. After engaging the shafts, it is preferable to connect the valve body and the drive unit with the plurality of metal bolts.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、駆動軸の移動方向と直交する方向に沿って、又は、駆動軸の移動方向に沿って、駆動部をバルブボディに対して相対的に移動させることにより、バルブボディに取り付けられたダイアフラム弁体に駆動軸を係合させることができる。そのため、流体通路部を外気から遮断した状態で、ダイアフラムバルブを組み立てることができる。 The method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration is to move the drive unit relative to the valve body along a direction orthogonal to the movement direction of the drive shaft or along the movement direction of the drive shaft. The drive shaft can be engaged with the diaphragm valve body attached to the valve body. Therefore, the diaphragm valve can be assembled with the fluid passage portion shielded from the outside air.

（５）（１）乃至（４）の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記駆動部は、前記複数の金属ボルトの座金となる座金プレートを介して前記バルブボディに連結されること、が好ましい。 (5) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of (1) to (4), the drive unit is connected to the valve body via a washer plate serving as a washer for the plurality of metal bolts. That is preferable.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法によれば、金属ボルト毎に座金を設置する必要がなくなり、部品点数を減らしたり、座金をセットする手間を省いたりすることができる。 According to the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, it is not necessary to install a washer for each metal bolt, the number of parts can be reduced, and the trouble of setting the washer can be saved.

（６）（５）に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記座金プレートは、矩形状であり、円形の穴が中央に形成されており、前記金属ボルトが面積の広い部分に挿通されること、が好ましい。 (6) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to (5), the washer plate has a rectangular shape, a circular hole is formed in the center, and the metal bolt is inserted into a large area portion. , Are preferred.

上記構成のダイアフラムバルブは、金属ボルト付近の座金プレートの面積が広く、金属ボルトから離れた位置の座金プレートの面積が小さくなるので、金属ボルトの締込荷重が座金プレートに均一に分散させることができる。そのため、ハウジングは、金属ボルトの集中荷重で歪み変形することが抑制される。 In the diaphragm valve having the above configuration, the area of the washer plate near the metal bolt is large and the area of the washer plate at a position away from the metal bolt is small, so that the tightening load of the metal bolt can be evenly distributed to the washer plate. it can. Therefore, the housing is suppressed from being distorted and deformed by the concentrated load of the metal bolt.

（７）（１）乃至（６）の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記駆動部は、ハウジングと、前記ハウジングに摺動可能に装填されるピストンと、前記ハウジングに取り付けられ、前記駆動部が前記バルブボディに連結されない場合には、前記ピストンが前記ハウジングから脱落することを防止し、前記駆動部が前記バルブボディに連結される場合には、前記ダイアフラム弁体を前記バルブボディに押し付ける保持部材と、を有すること、が好ましい。 (7) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of (1) to (6), the drive unit is attached to a housing, a piston slidably loaded in the housing, and the housing. When the drive unit is not connected to the valve body, the piston is prevented from falling out of the housing, and when the drive unit is connected to the valve body, the diaphragm valve body is connected to the diaphragm valve body. It is preferable to have a holding member that presses against the valve body.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法によれば、ダイアフラムバルブ全体の部品点数を増やさずに、駆動部をあたかも１部品のように取り扱うことができるようになり、駆動部とバルブボディとを連結する作業を行い易い。 According to the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, the drive unit can be handled as if it were one component without increasing the number of parts of the entire diaphragm valve, and the work of connecting the drive unit and the valve body. Easy to do.

（８）（７）に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記ハウジングは、バルブボディ側に開口するコップ形状をなし、前記保持部材は、前記ハウジングの開口端部に嵌合可能な本体部と、前記本体部の外周面に外向きに突設された係止爪と、を有し、前記ハウジングは、前記係止爪と係合し、前記保持部材を前記ハウジングの軸線方向に案内する案内溝と、前記案内溝に対して直交する方向に形成され、前記保持部材の回転を許容するが、前記軸線方向への移動を許容しない係合溝と、を含むこと、が好ましい。 (8) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to (7), the housing has a cup shape that opens toward the valve body, and the holding member has a main body that can be fitted to the open end of the housing. The housing has a locking claw projecting outward from the outer peripheral surface of the main body portion, and the housing engages with the locking claw to guide the holding member in the axial direction of the housing. It is preferable to include a groove and an engaging groove formed in a direction orthogonal to the guide groove and allowing rotation of the holding member but not movement in the axial direction.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、保持部材の係止爪を案内溝の位置に合わせ、保持部材をハウジングの開口端部に押し込んだ後、保持部材を回転させ、係止爪を係合溝に係合させることにより、保持部材がハウジングに取り付けられる。よって、駆動部は、１部品として取り扱えるように簡単に組み立てることができる。 In the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, the locking claw of the holding member is aligned with the position of the guide groove, the holding member is pushed into the open end of the housing, the holding member is rotated, and the locking claw is engaged in the engaging groove. The holding member is attached to the housing by engaging with. Therefore, the drive unit can be easily assembled so that it can be handled as one component.

（９）（１）乃至（８）の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、前記ダイアフラムバルブが、半導体の製造に使用する薬液の制御に用いられること、が好ましい。 (9) In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of (1) to (8), it is preferable that the diaphragm valve is used for controlling a chemical solution used for manufacturing a semiconductor.

上記構成のダイアフラムバルブの製造方法は、ダイアフラムバルブの組立時に流体通路部に異物が入り込んでいないので、薬液制御前に流体通路部を清浄化する手間を省くことができる。 In the method for manufacturing a diaphragm valve having the above configuration, since foreign matter does not enter the fluid passage portion when assembling the diaphragm valve, it is possible to save the trouble of cleaning the fluid passage portion before controlling the chemical solution.

従って、本発明によれば、バルブボディとダイアフラム弁体と駆動部とを備えるダイアフラムバルブの製造方法であって、ダイアフラムバルブの組立時に、バルブボディの流体通路部に異物が入り込むことを抑制できる技術を実現することができる。 Therefore, according to the present invention, there is a method for manufacturing a diaphragm valve including a valve body, a diaphragm valve body, and a drive unit, which is a technique capable of suppressing foreign matter from entering the fluid passage portion of the valve body when assembling the diaphragm valve. Can be realized.

本発明の一実施形態に係るダイアフラムバルブの側面図である。It is a side view of the diaphragm valve which concerns on one Embodiment of this invention. ダイアフラムバルブの平面図である。It is a top view of the diaphragm valve. 図２のＡ−Ａ断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 図２のＢ−Ｂ断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 図３のＣ−Ｃ断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 駆動部の組立手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the assembly procedure of a drive part. 駆動部の組立手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the assembly procedure of a drive part. 弁部の組立手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the assembly procedure of a valve part. 係合手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the engagement procedure. 係合手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the engagement procedure. 固定手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the fixing procedure. 固定手順の例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the example of the fixing procedure. ダイアフラム弁体の取り付けの変形例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the modification of the attachment of the diaphragm valve body.

以下に、本発明に係るダイアフラムバルブの製造方法の実施形態について図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the method for manufacturing a diaphragm valve according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態に係るダイアフラムバルブ１の正面図である。図２は、ダイアフラムバルブ１の平面図である。図１に示すダイアフラムバルブ１は、例えば、半導体製造装置に用いられ、腐食性の高い薬液を制御する薬液弁である。ダイアフラムバルブ１は、駆動力を発生する駆動部２と、駆動部２が発生する駆動力に応じて流体を制御する弁部３と、を備える。図１及び図２に示すように、駆動部２と弁部３は、複数の金属ボルト６を用いて連結されている。なお、金属ボルト６の数は、本形態では４本であるが、これに限定されないことはいうまでもない。 FIG. 1 is a front view of the diaphragm valve 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the diaphragm valve 1. The diaphragm valve 1 shown in FIG. 1 is, for example, a chemical liquid valve used in a semiconductor manufacturing apparatus and controls a highly corrosive chemical liquid. The diaphragm valve 1 includes a driving unit 2 that generates a driving force and a valve unit 3 that controls a fluid according to the driving force generated by the driving unit 2. As shown in FIGS. 1 and 2, the drive unit 2 and the valve unit 3 are connected by using a plurality of metal bolts 6. The number of metal bolts 6 is four in this embodiment, but it goes without saying that the number is not limited to this.

図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。弁部３は、バルブボディ３１とダイアフラム弁体４１とを備える。バルブボディ３１の材質は、樹脂であり、特に、耐腐食性の高いＰＦＡ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂であることが好ましい。ダイアフラム弁体４１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂、又は、ゴムである。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. The valve portion 3 includes a valve body 31 and a diaphragm valve body 41. The material of the valve body 31 is a resin, and in particular, a fluororesin such as PFA or PTFE having high corrosion resistance is preferable. The material of the diaphragm valve body 41 is fluororesin such as PFA or PTFE, or rubber.

バルブボディ３１は、略直方体形状をなし、第１ポート３２が、連通流路４０と、開口部３３と、弁孔３９を介して、第２ポート３４に連通している。第１ポート３２と第２ポート３４は、バルブボディ３１の対向する側面（図中左右側面）に設けられている。なお、第１ポート３２と第２ポート３４の位置は、これに限定されず、例えば、第２ポート３４を図中下面に設けてもよい。また、ポートの数は、３つ以上であってもよい。 The valve body 31 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and the first port 32 communicates with the second port 34 via the communication flow path 40, the opening 33, and the valve hole 39. The first port 32 and the second port 34 are provided on opposite side surfaces (left and right side surfaces in the drawing) of the valve body 31. The positions of the first port 32 and the second port 34 are not limited to this, and for example, the second port 34 may be provided on the lower surface in the drawing. Further, the number of ports may be three or more.

開口部３３は、バルブボディ３１の駆動部２が取り付けられる面（図中上面）から、円柱形状に開設されている。バルブボディ３１は、開口部３３の開口端外周に沿って、ダイアフラム弁体４１が嵌め合わされる嵌合凹部３７が形成されている。バルブボディ３１は、嵌合凹部３７から開口部３３の軸線方向に沿って、環状溝３６が環状に形成されている。環状溝３６は、開口部３３と同心円状に形成されている。バルブボディ３１は、弁孔３９が開口部３３に開口する開口部分の外周に沿って、弁座３５が設けられている。 The opening 33 is formed in a cylindrical shape from the surface (upper surface in the drawing) to which the drive unit 2 of the valve body 31 is attached. The valve body 31 is formed with a fitting recess 37 into which the diaphragm valve body 41 is fitted along the outer periphery of the opening end of the opening 33. In the valve body 31, an annular groove 36 is formed in an annular shape from the fitting recess 37 along the axial direction of the opening 33. The annular groove 36 is formed concentrically with the opening 33. The valve body 31 is provided with a valve seat 35 along the outer circumference of the opening portion where the valve hole 39 opens to the opening 33.

ダイアフラム弁体４１は、柱部４２と、薄膜部４３と、外縁部４４と、圧入壁４５と、を備える。柱部４２は、円柱形状をなし、弁座３５に当接又は離間する。薄膜部４３は、柱部４２の外周面に接続する。柱部４２は、薄膜部４３が接続する位置より駆動部２側となる位置に、くびれが設けられ、駆動部２のピストンロッド１３に係合される係合凸部４６が設けられている。係合凸部４６は「第１係合部」の一例である。 The diaphragm valve body 41 includes a pillar portion 42, a thin film portion 43, an outer edge portion 44, and a press-fitting wall 45. The pillar portion 42 has a cylindrical shape and abuts or separates from the valve seat 35. The thin film portion 43 is connected to the outer peripheral surface of the pillar portion 42. The pillar portion 42 is provided with a constriction at a position closer to the drive portion 2 than the position where the thin film portion 43 is connected, and is provided with an engaging convex portion 46 that engages with the piston rod 13 of the drive portion 2. The engaging convex portion 46 is an example of the “first engaging portion”.

外縁部４４は、薄膜部４３の外縁に沿って肉厚に設けられている。圧入壁４５は、外縁部４４から弁座方向に突出するように設けられている。圧入壁４５は、環状に設けられ、径方向の厚さが環状溝３６の溝幅より大きくされている。このようなダイアフラム弁体４１は、圧入壁４５を環状溝３６に圧入した状態で嵌合凹部３７に嵌合され、ダイアフラム押さえ１６を介して駆動部２とバルブボディ３１との間で外縁部４４が挟持されることにより、開口部３３と駆動部２との間を気密に区画している。 The outer edge portion 44 is provided thickly along the outer edge of the thin film portion 43. The press-fit wall 45 is provided so as to project from the outer edge portion 44 in the valve seat direction. The press-fit wall 45 is provided in an annular shape, and the thickness in the radial direction is larger than the groove width of the annular groove 36. Such a diaphragm valve body 41 is fitted into the fitting recess 37 with the press-fitting wall 45 press-fitted into the annular groove 36, and the outer edge portion 44 is between the drive unit 2 and the valve body 31 via the diaphragm retainer 16. Is sandwiched between the opening 33 and the drive unit 2 to airtightly partition the opening 33.

なお、ダイアフラムバルブ１は、第１ポート３２と、連通流路４０と、ダイアフラム弁体４１によって区画された開口部３３と、弁孔３９と、第２ポート３４により、流体が流れる流体通路部３０が形成されている。また、バルブボディ３１は、第１ポート３２に接続する第１継手７と、第２ポート３４に接続する第２継手８が螺設されている。 The diaphragm valve 1 has a fluid passage portion 30 through which a fluid flows through a first port 32, a communication flow path 40, an opening 33 partitioned by a diaphragm valve body 41, a valve hole 39, and a second port 34. Is formed. Further, the valve body 31 is screwed with a first joint 7 connected to the first port 32 and a second joint 8 connected to the second port 34.

駆動部２は、ハウジング１１と、ピストン１２と、ピストンロッド１３と、圧縮ばね１４と、閉鎖プレート１５と、ダイアフラム押さえ１６と、を備えるエアオペレイト式の駆動部である。閉鎖プレート１５とダイアフラム押さえ１６は「保持部材」の一例である。ピストンロッド１３は「駆動軸」の一例である。ハウジング１１は、一方に開口するコップ形状をなす。ハウジング１１は、開口端部１１ａが閉鎖プレート１５によって塞がれ、ピストン室１７が形成されている。シール部材２２は、開口端部１１ａと閉鎖プレート１５との間をシールしている。ピストン１２は、シール部材２１を介してピストン室１７に摺動可能に装填され、ピストン室１７を第１室１７ａと第２室１７ｂに気密に区画している。第１室１７ａは呼吸穴１１ｃに連通し、第２室１７ｂは操作ポート１１ｄに連通しており、第１室１７ａに縮設された圧縮ばね１４のばね力と第２室１７ｂの内圧とのバランスに応じてピストン１２が図中上下方向に移動する。ピストン１２には、ピストンロッド１３が一体に設けられている。ピストンロッド１３は、閉鎖プレート１５とダイアフラム押さえ１６に摺動可能に挿通され、先端部が弁部３側に突出している。シール部材２３は、閉鎖プレート１５に装着され、閉鎖プレート１５とピストンロッド１３との間をシールしている。なお、ピストンロッド１３は、ピストン１２と別部材とし、ピストン１２に結合されるようにしてもよい。 The drive unit 2 is an air-operated drive unit including a housing 11, a piston 12, a piston rod 13, a compression spring 14, a closing plate 15, and a diaphragm retainer 16. The closing plate 15 and the diaphragm retainer 16 are examples of "holding members". The piston rod 13 is an example of a "drive shaft". The housing 11 has a cup shape that opens to one side. In the housing 11, the opening end portion 11a is closed by the closing plate 15, and the piston chamber 17 is formed. The sealing member 22 seals between the opening end portion 11a and the closing plate 15. The piston 12 is slidably loaded into the piston chamber 17 via the seal member 21, and the piston chamber 17 is airtightly partitioned into the first chamber 17a and the second chamber 17b. The first chamber 17a communicates with the breathing hole 11c, the second chamber 17b communicates with the operation port 11d, and the spring force of the compression spring 14 contracted in the first chamber 17a and the internal pressure of the second chamber 17b The piston 12 moves in the vertical direction in the figure according to the balance. A piston rod 13 is integrally provided on the piston 12. The piston rod 13 is slidably inserted into the closing plate 15 and the diaphragm retainer 16, and the tip portion protrudes toward the valve portion 3. The sealing member 23 is attached to the closing plate 15 and seals between the closing plate 15 and the piston rod 13. The piston rod 13 may be a separate member from the piston 12 and may be coupled to the piston 12.

ハウジング１１とピストン１２とピストンロッド１３と閉鎖プレート１５とダイアフラム押さえ１６の材質は、樹脂であり、特に、ＰＰＳ樹脂などの強度がある樹脂であることが好ましい。圧縮ばね１４は、耐腐食コーティングが表面に施されたばねである。 The material of the housing 11, the piston 12, the piston rod 13, the closing plate 15, and the diaphragm retainer 16 is a resin, and in particular, a strong resin such as PPS resin is preferable. The compression spring 14 is a spring having a corrosion resistant coating on its surface.

ピストンロッド１３の先端部には、ダイアフラム弁体４１の係合凸部４６に係合される係合凹部１３１が設けられている。係合凹部１３１は「第２係合部」の一例である。係合凹部１３１は、ピストンロッド１３の側面から形成され、係合凸部４６が側方から挿入されることにより、係合凸部４６と凹凸係合する。駆動部２は、係合凸部４６と係合凹部１３１との図中の水平方向、又は略水平方向の面同士の当接又は係合により、つまり、係合凸部４６と係合凹部１３１にそれぞれ弁座３５に対して平行に設けられた面同士を当接させた状態で係合凸部４６と係合凹部１３１とを係合させることにより、ダイアフラム弁体４１に図中下向きと図中上向きの力を伝えることができる。なお、ダイアフラム弁体４１に係合凹部を設け、ピストンロッド１３に係合凸部を設けることにより、ダイアフラム弁体４１とピストンロッド１３とを凹凸係合させてもよい。 The tip of the piston rod 13 is provided with an engaging recess 131 that is engaged with the engaging convex portion 46 of the diaphragm valve body 41. The engaging recess 131 is an example of a “second engaging portion”. The engaging concave portion 131 is formed from the side surface of the piston rod 13, and the engaging convex portion 46 is inserted from the side to engage the engaging convex portion 46 in an uneven manner. The drive unit 2 is formed by contact or engagement between the surfaces of the engaging convex portion 46 and the engaging concave portion 131 in the horizontal direction or the substantially horizontal direction in the drawing, that is, the engaging convex portion 46 and the engaging concave portion 131. By engaging the engaging convex portion 46 and the engaging concave portion 131 with the surfaces provided parallel to the valve seat 35 in contact with each other, the diaphragm valve body 41 is shown downward in the figure. Can convey a medium-upward force. The diaphragm valve body 41 and the piston rod 13 may be engaged with each other in a concavo-convex manner by providing an engaging recess in the diaphragm valve body 41 and providing an engaging convex portion in the piston rod 13.

図５は、図３のＣ−Ｃ断面図である。ダイアフラム押さえ１６は、ハウジング１１に着脱可能に取り付けられている。ダイアフラム押さえ１６は、円柱状の本体部１６２の外周面に、複数の係止爪１６１が外向きに突設されている。本形態では、２個の係止爪１６１が周方向に均等配置されているが、３箇以上の係止爪１６１を本体部１６２に設けてもよい。ダイアフラム押さえ１６は、図１及び図５に示すように、ハウジング１１に形成された係止穴１１１に係止爪１６１を係合させることにより、ハウジング１１に取り付けられている。係止穴１１１は、ハウジング１１に貫通して形成され、係止爪１６１が係止穴１１１に係合されている状態を外部から視認できる。 FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. The diaphragm retainer 16 is detachably attached to the housing 11. The diaphragm retainer 16 has a plurality of locking claws 161 projecting outward on the outer peripheral surface of the columnar main body portion 162. In the present embodiment, the two locking claws 161 are evenly arranged in the circumferential direction, but three or more locking claws 161 may be provided on the main body portion 162. As shown in FIGS. 1 and 5, the diaphragm retainer 16 is attached to the housing 11 by engaging the locking claw 161 with the locking hole 111 formed in the housing 11. The locking hole 111 is formed so as to penetrate the housing 11, and the state in which the locking claw 161 is engaged with the locking hole 111 can be visually recognized from the outside.

図４は、図２のＢ−Ｂ断面図である。金属ボルト６は、座金プレート４からハウジング１１、バルブボディ３１に貫き通され、取付板５に締結されることにより、駆動部２とバルブボディ３１とを連結している。金属ボルト６と座金プレート４と取付板５は、強度がある金属で形成されている。駆動部２は、金属ボルト６の締結力によって、ダイアフラム押さえ１６を介してダイアフラム弁体４１の外縁部４４をバルブボディ３１に押し付けている。取付板５は、バルブボディ３１の下面と同じ矩形状をなす。取付板５は、金属ボルト６が締結される雌ねじ部５２の長さを確保するために、四隅に柱状の凸部５１が設けられている。 FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. The metal bolt 6 is penetrated from the washer plate 4 to the housing 11 and the valve body 31 and fastened to the mounting plate 5 to connect the drive unit 2 and the valve body 31. The metal bolt 6, the washer plate 4, and the mounting plate 5 are made of strong metal. The drive unit 2 presses the outer edge portion 44 of the diaphragm valve body 41 against the valve body 31 via the diaphragm retainer 16 by the fastening force of the metal bolt 6. The mounting plate 5 has the same rectangular shape as the lower surface of the valve body 31. The mounting plate 5 is provided with columnar convex portions 51 at four corners in order to secure the length of the female screw portion 52 to which the metal bolt 6 is fastened.

図２に示すように、座金プレート４は、矩形状をなし、中央部に挿通穴４ａが円形に形成されている。駆動部２は、複数の金属ボルト６が挿通される座金プレート４を介して、バルブボディ３１に連結されている。図１及び図４に示すように、ハウジング１１は、バルブボディ３１側に位置する第１部分１１３と、バルブボディ３１と反対側に位置する第２部分１１４と、第１部分１１３と第２部分１１４との間に設けられた段差面１１５とを備える。第１部分１１３は、直方体形状の外形を備え、金属ボルト６が貫き通される。第２部分１１４は、図２に示すように、座金プレート４の挿通穴４ａに挿通可能な円柱形状に形成されている。図２及び図４に示すように、座金プレート４は、挿通穴４ａに第２部分１１４が挿通され、金属ボルト６と段差面１１５との間で保持されている。 As shown in FIG. 2, the washer plate 4 has a rectangular shape, and an insertion hole 4a is formed in a circular shape at a central portion. The drive unit 2 is connected to the valve body 31 via a washer plate 4 through which a plurality of metal bolts 6 are inserted. As shown in FIGS. 1 and 4, the housing 11 includes a first portion 113 located on the valve body 31 side, a second portion 114 located on the opposite side of the valve body 31, and a first portion 113 and a second portion. It is provided with a stepped surface 115 provided between the 114 and the 114. The first portion 113 has a rectangular parallelepiped outer shape, through which a metal bolt 6 is penetrated. As shown in FIG. 2, the second portion 114 is formed in a cylindrical shape that can be inserted into the insertion hole 4a of the washer plate 4. As shown in FIGS. 2 and 4, the washer plate 4 has a second portion 114 inserted into the insertion hole 4a and is held between the metal bolt 6 and the stepped surface 115.

続いて、ダイアフラムバルブ１の製造方法を説明する。ダイアフラムバルブ１の駆動部２は、例えば、クリーンルームの外で組み立てられる。弁部３は、クリーンルームの中でも特に清浄度が高い局所クリーンブースで組み立てられる。このようにして組み立てられた駆動部２と弁部３は、例えば、クリーンルーム内で連結される。すなわち、駆動部２のピストンロッド１３を弁部３のダイアフラム弁体４１に係合させ、複数の金属ボルト６を用いて弁部３と駆動部２が連結される。以下、具体的にダイアフラムバルブ１の製造手順を説明する。 Subsequently, a method of manufacturing the diaphragm valve 1 will be described. The drive unit 2 of the diaphragm valve 1 is assembled, for example, outside a clean room. The valve portion 3 is assembled in a local clean booth with particularly high cleanliness in a clean room. The drive unit 2 and the valve unit 3 assembled in this way are connected, for example, in a clean room. That is, the piston rod 13 of the drive unit 2 is engaged with the diaphragm valve body 41 of the valve unit 3, and the valve unit 3 and the drive unit 2 are connected by using a plurality of metal bolts 6. Hereinafter, the manufacturing procedure of the diaphragm valve 1 will be specifically described.

図６、図７は、駆動部２の組立手順の例を説明する説明図である。図６、図７は、ピストン１２とピストンロッド１３と圧縮ばね１４とシール部材（Ｙパッキンなど）を省略して記載している。駆動部２は、ハウジング１１の内周面にグリスを塗布し、圧縮ばね１４を介してピストン１２をハウジング１１に装填する。そして、閉鎖プレート１５を開口端部１１ａに挿入し、ダイアフラム押さえ１６をハウジング１１に取り付ける。 6 and 7 are explanatory views illustrating an example of an assembly procedure of the drive unit 2. 6 and 7 omit the piston 12, the piston rod 13, the compression spring 14, and the seal member (Y packing, etc.). The drive unit 2 applies grease to the inner peripheral surface of the housing 11, and loads the piston 12 into the housing 11 via the compression spring 14. Then, the closing plate 15 is inserted into the opening end portion 11a, and the diaphragm retainer 16 is attached to the housing 11.

図６に示すように、ハウジング１１は、開口端部１１ａの内周面に、ダイアフラム押さえ１６の係止爪１６１を係止穴１１１に案内する案内溝１１２が形成されている。案内溝１１２は、１８０°の位相差で２箇所に設けられている。案内溝１１２は、それぞれ、ハウジング１１の軸線方向に沿って形成されている。各案内溝１１２には、係止穴１１１がそれぞれ接続している。係止穴１１１は、案内溝１１２の端部から周方向に、つまり、案内溝１１２に対して直交する方向に、形成されている。 As shown in FIG. 6, the housing 11 is formed with a guide groove 112 on the inner peripheral surface of the opening end portion 11a to guide the locking claw 161 of the diaphragm retainer 16 to the locking hole 111. The guide grooves 112 are provided at two locations with a phase difference of 180 °. Each of the guide grooves 112 is formed along the axial direction of the housing 11. A locking hole 111 is connected to each guide groove 112. The locking hole 111 is formed in the circumferential direction from the end of the guide groove 112, that is, in the direction orthogonal to the guide groove 112.

ダイアフラム押さえ１６は、一対の係止爪１６１を案内溝１１２にそれぞれ位置合わせし、圧縮ばね１４のばね力に抗してハウジング１１の開口端部１１ａに押し込まれる。ダイアフラム押さえ１６は、係止爪１６１が案内溝１１２の端部に突き当たる位置までハウジング１１に押し込まれると、図６の矢印Ｆ１方向に回転され、図７に示すように、係止爪１６１が係止穴１１１に係合される。例えば図１に示すように、係止爪１６１と係止穴１１１の内周面との間には、ハウジング１１の軸線方向に遊びが設けられている。そのため、部品に寸法公差がある場合でも、係止爪１６１を係止穴１１１に嵌め合わせることができる。 The diaphragm retainer 16 aligns the pair of locking claws 161 with the guide groove 112, and is pushed into the opening end portion 11a of the housing 11 against the spring force of the compression spring 14. When the diaphragm retainer 16 is pushed into the housing 11 to a position where the locking claw 161 abuts on the end of the guide groove 112, the diaphragm retainer 16 is rotated in the direction of the arrow F1 in FIG. 6, and the locking claw 161 is engaged as shown in FIG. Engage in the blind hole 111. For example, as shown in FIG. 1, a play is provided between the locking claw 161 and the inner peripheral surface of the locking hole 111 in the axial direction of the housing 11. Therefore, the locking claw 161 can be fitted into the locking hole 111 even when the parts have dimensional tolerances.

このように組み立てられた駆動部２は、圧縮ばね１４が伸張しても、係止爪１６１が係止穴１１１の内周面に当接して、ハウジング１１の軸線方向への移動を制限される。そのため、ピストン１２と閉鎖プレート１５がハウジング１１から脱落しない。つまり、駆動部２は、ダイアフラム弁体４１をバルブボディ３１に押し付けて保持するダイアフラム押さえ１６を用いて、あたかも１部品のように組み立てられる。よって、駆動部２は、弁部３やダイアフラムバルブ１の組立場所と別の場所で、組み立てることができる。 In the drive unit 2 assembled in this way, even if the compression spring 14 is extended, the locking claw 161 abuts on the inner peripheral surface of the locking hole 111, and the movement of the housing 11 in the axial direction is restricted. .. Therefore, the piston 12 and the closing plate 15 do not fall off from the housing 11. That is, the drive unit 2 is assembled as if it were a single component by using the diaphragm retainer 16 that presses and holds the diaphragm valve body 41 against the valve body 31. Therefore, the drive unit 2 can be assembled at a place different from the assembly place of the valve part 3 and the diaphragm valve 1.

なお、本形態では、閉鎖プレート１５とハウジング１１との間にＹパッキンなどのシール部材を配設し、ピストン室１７の気密性を担保している。このシール部材の挿入作業を容易にするために、本形態では、ダイアフラム押さえ１６と閉鎖プレート１５とを別個に設けている。しかし、ダイアフラム押さえ１６と閉鎖プレート１５は一部品で構成してもよい。つまり、「保持部材」は一部品で構成されていてもよい。 In this embodiment, a sealing member such as a Y packing is arranged between the closing plate 15 and the housing 11 to ensure the airtightness of the piston chamber 17. In this embodiment, the diaphragm retainer 16 and the closing plate 15 are separately provided in order to facilitate the insertion work of the seal member. However, the diaphragm retainer 16 and the closing plate 15 may be composed of one part. That is, the "holding member" may be composed of one component.

図８は、弁部３の組立手順の例を説明する説明図である。バルブボディ３１は、図中矢印Ｆ４に示すように、ダイアフラム弁体４１が開口部３３に取り付けられ、開口部３３が封止される。具体的には、ダイアフラム弁体４１は、圧入壁４５がバルブボディ３１の環状溝３６に圧入されることにより、バルブボディ３１に脱落しないように取り付けられる。圧入壁４５と環状溝３６の内壁とが圧接するので、組立作業中に発生する金属粉やパーティクルなどの異物が作業台周辺に舞い上がっても、ダイアフラム弁体４１とバルブボディ３１との間の隙間から開口部３３に異物が入り込まない。 FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating an example of an assembly procedure of the valve portion 3. In the valve body 31, as shown by an arrow F4 in the drawing, a diaphragm valve body 41 is attached to the opening 33, and the opening 33 is sealed. Specifically, the diaphragm valve body 41 is attached so that the press-fitting wall 45 is press-fitted into the annular groove 36 of the valve body 31 so as not to fall off from the valve body 31. Since the press-fitting wall 45 and the inner wall of the annular groove 36 are in pressure contact with each other, even if foreign matter such as metal powder or particles generated during the assembly work flies up around the workbench, the gap between the diaphragm valve body 41 and the valve body 31 Foreign matter does not enter the opening 33.

それから、バルブボディ３１は、図中矢印Ｆ２、Ｆ３に示すように、第１継手７と第２継手８の代わりに封止キャップ１００がバルブボディ３１に取り付けられ、第１ポート３２と第２ポート３４が封止される。そのため、バルブボディ３１は、組立作業中に発生する金属粉やパーティクルなどの異物が第１ポート３２や第２ポート３４に入り込まない。封止キャップ１００は「封止部材」の一例である。封止キャップ１００の材質は、例えば、樹脂、シリコン、ゴムである。封止部材は、封止キャップ１００の他、第１ポート３２や第２ポート３４に嵌合される栓であってもよい。 Then, as shown by arrows F2 and F3 in the drawing, the valve body 31 has a sealing cap 100 attached to the valve body 31 instead of the first joint 7 and the second joint 8, and the first port 32 and the second port 34 is sealed. Therefore, in the valve body 31, foreign substances such as metal powder and particles generated during the assembly work do not enter the first port 32 and the second port 34. The sealing cap 100 is an example of a "sealing member". The material of the sealing cap 100 is, for example, resin, silicon, or rubber. In addition to the sealing cap 100, the sealing member may be a plug fitted to the first port 32 or the second port 34.

なお、バルブボディ３１は、封止キャップ１００を用いて第１ポート３２と第２ポート３４を封止してから、ダイアフラム弁体４１を用いて開口部３３を封止してもよい。 The valve body 31 may use the sealing cap 100 to seal the first port 32 and the second port 34, and then use the diaphragm valve body 41 to seal the opening 33.

図９は、係合手順の例を説明する説明図である。図１０は、係合手順の例を説明する説明図である。図９の図中矢印Ｆ５に示すように、ピストンロッド１３の移動方向（図中上下方向）に対して直交する方向に沿って、駆動部２をバルブボディ３１に対して相対的に移動させることにより、ピストンロッド１３が、バルブボディ３１に取り付けられているダイアフラム弁体４１に係合される。 FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an example of an engagement procedure. FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an example of an engagement procedure. As shown by the arrow F5 in the figure of FIG. 9, the drive unit 2 is moved relative to the valve body 31 along a direction orthogonal to the moving direction of the piston rod 13 (up and down direction in the figure). The piston rod 13 is engaged with the diaphragm valve body 41 attached to the valve body 31.

すなわち、図１０に示すように、駆動部２は、係合凹部１３１がピストンロッド１３の側面に開口している。駆動部２は、係合凹部１３１の開口部にダイアフラム弁体４１の係合凸部４６の位置を合わせ、図中矢印Ｆ５に示すように、ピストンロッド１３の移動方向に対して直交する方向にスライドされることにより、係合凹部１３１に係合凸部４６が係合される。つまり、係合凸部４６と係合凹部１３１とが凹凸係合し、ピストンロッド１３とダイアフラム弁体４１とが係合される。 That is, as shown in FIG. 10, in the drive unit 2, the engaging recess 131 is opened on the side surface of the piston rod 13. The drive unit 2 aligns the engaging convex portion 46 of the diaphragm valve body 41 with the opening of the engaging concave portion 131, and as shown by the arrow F5 in the drawing, in a direction orthogonal to the moving direction of the piston rod 13. By sliding, the engaging convex portion 46 is engaged with the engaging concave portion 131. That is, the engaging convex portion 46 and the engaging concave portion 131 are concavely engaged with each other, and the piston rod 13 and the diaphragm valve body 41 are engaged.

図１０に示すように、駆動部２は、バルブボディ３１に対する軸線方向の位置が、係合凸部４６と第２係合部１３０とを凹凸係合させる前（図中（ａ））と後（図中（ｂ））とで、変わらない。そのため、駆動部２は、取付位置や操作ポート１１ｄの向きを予め自由に調整した状態で、ピストンロッド１３とダイアフラム弁体４１とを係合させることができる。また、図９及び図１０（ｂ）に示すように、ダイアフラム弁体４１は、ピストンロッド１３に引っ掛けられた状態でピストンロッド１３に係合される。そのため、図１０（ｂ）に示すように、ピストンロッド１３がダイアフラム弁体４１に係合された後でも、駆動部２をバルブボディ３１に対して回転させ、駆動部２の取付位置や操作ポート１１ｄの向きを調整することができる。 As shown in FIG. 10, the position of the drive unit 2 in the axial direction with respect to the valve body 31 is before and after the engaging convex portion 46 and the second engaging portion 130 are concavely engaged (in the figure (a)) and after. ((B) in the figure) does not change. Therefore, the drive unit 2 can engage the piston rod 13 and the diaphragm valve body 41 in a state where the mounting position and the direction of the operation port 11d are freely adjusted in advance. Further, as shown in FIGS. 9 and 10B, the diaphragm valve body 41 is engaged with the piston rod 13 in a state of being hooked on the piston rod 13. Therefore, as shown in FIG. 10B, even after the piston rod 13 is engaged with the diaphragm valve body 41, the drive unit 2 is rotated with respect to the valve body 31, and the mounting position and operation port of the drive unit 2 are rotated. The orientation of 11d can be adjusted.

なお、本形態では、ピストンロッド１３の移動方向（図中上下方向）に対して直交する方向（図中左右方向）に沿って、駆動部２をバルブボディ３１に対して相対的にスライドさせることにより、係合凸部４６と係合凹部１３１とを凹凸係合させている。これに対して、ピストンロッド１３の移動方向に沿って駆動部を加圧することにより、ピストンロッド１３とダイアフラム弁体４１とが凹凸係合するように、第１係合部と第２係合部を設けてもよい。例えば、ピストンロッド１３の先端面に開口するように係合凹部を設け、ダイアフラム弁体４１の係合凸部をピストンロッド１３に設けた係合孔に圧入することにより、ピストンロッド１３とダイアフラム弁体４１とを凹凸係合させてもよい。 In this embodiment, the drive unit 2 is slid relative to the valve body 31 along a direction (horizontal direction in the figure) orthogonal to the moving direction (vertical direction in the figure) of the piston rod 13. As a result, the engaging convex portion 46 and the engaging concave portion 131 are concavely engaged with each other. On the other hand, by pressurizing the drive portion along the moving direction of the piston rod 13, the first engaging portion and the second engaging portion are engaged so that the piston rod 13 and the diaphragm valve body 41 are unevenly engaged. May be provided. For example, the piston rod 13 and the diaphragm valve are provided by providing an engaging recess so as to open on the tip surface of the piston rod 13 and press-fitting the engaging convex portion of the diaphragm valve body 41 into the engaging hole provided in the piston rod 13. The body 41 may be engaged with the body 41 in an uneven manner.

図１１は、固定手順の例を説明する説明図である。ピストンロッド１３がダイアフラム弁体４１に係合されたら、取付板５にバルブボディ３１を載置する。そして、クランプ装置の可動片１１０Ａと固定片１１０Ｂとの間に駆動部２と弁部３を配置し、図中Ｆ６に示すように、可動片１１０Ａを固定片１１０Ｂ側に移動させる。このとき、ダイアフラム弁体４１が弁座３５に当接し、ピストン１２の弁座方向への移動が制限されている。そのため、駆動部２は、ハウジング１１が圧縮ばね１４を圧縮させながらバルブボディ３１側に近づけられ、ダイアフラム押さえ１６を介してダイアフラム弁体４１の外縁部４４をバルブボディ３１に押し付ける。また、圧縮ばね１４は、ハウジング１１の移動量に応じて、シール荷重が調整される。 FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating an example of a fixing procedure. When the piston rod 13 is engaged with the diaphragm valve body 41, the valve body 31 is placed on the mounting plate 5. Then, the drive unit 2 and the valve unit 3 are arranged between the movable piece 110A and the fixed piece 110B of the clamp device, and the movable piece 110A is moved to the fixed piece 110B side as shown in F6 in the drawing. At this time, the diaphragm valve body 41 comes into contact with the valve seat 35, and the movement of the piston 12 in the valve seat direction is restricted. Therefore, in the drive unit 2, the housing 11 is brought closer to the valve body 31 side while compressing the compression spring 14, and the outer edge portion 44 of the diaphragm valve body 41 is pressed against the valve body 31 via the diaphragm retainer 16. Further, the sealing load of the compression spring 14 is adjusted according to the amount of movement of the housing 11.

図１２は、固定手順の例を説明する説明図である。図１２に示すように、ハウジング１１が所定位置まで移動したら、複数の金属ボルト６を用いて駆動部２をバルブボディ３１に連結する。 FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating an example of a fixing procedure. As shown in FIG. 12, when the housing 11 has moved to a predetermined position, the drive unit 2 is connected to the valve body 31 by using a plurality of metal bolts 6.

このとき、金属ボルト６毎に円板形の座金をセットし、駆動部２とバルブボディ３１とを連結すると、各金属ボルト６の締込荷重が円板形の座金からハウジング１１に集中的に作用し、ハウジング１１が集中荷重によって歪み変形する恐れがある。 At this time, when a disk-shaped washer is set for each metal bolt 6 and the drive unit 2 and the valve body 31 are connected, the tightening load of each metal bolt 6 is concentrated from the disk-shaped washer to the housing 11. It acts and the housing 11 may be distorted and deformed by a concentrated load.

しかし、本形態においては、金属ボルト６は、それぞれ、座金プレート４からハウジング１１、バルブボディ３１を介して取付板５の雌ねじ部５２に締結される。複数の金属ボルト６は、１枚の座金プレート４を介して締め込まれる。座金プレート４は、矩形状をなし、中央部に円形の挿通穴４ａが形成されることで、金属ボルト６が締め込まれる部分の面積が広くなっている。そのため、金属ボルト６の締込荷重は、座金プレート４全体に均一に分散され、ハウジング１１は、金属ボルト６からの集中荷重によって歪み変形しにくい。 However, in this embodiment, the metal bolts 6 are fastened to the female threaded portion 52 of the mounting plate 5 from the washer plate 4 via the housing 11 and the valve body 31, respectively. The plurality of metal bolts 6 are tightened via one washer plate 4. The washer plate 4 has a rectangular shape, and a circular insertion hole 4a is formed in the central portion, so that the area of the portion where the metal bolt 6 is tightened is widened. Therefore, the tightening load of the metal bolt 6 is uniformly distributed over the entire washer plate 4, and the housing 11 is not easily distorted and deformed by the concentrated load from the metal bolt 6.

また、ダイアフラムバルブ１は、１枚の座金プレート４に複数の金属ボルト６を挿通し、駆動部２とバルブボディ３１とを連結するので、金属ボルト６毎に座金を設置する必要がなく、部品点数や、部品を設置する手間を省くことができる。 Further, in the diaphragm valve 1, since a plurality of metal bolts 6 are inserted into one washer plate 4 to connect the drive unit 2 and the valve body 31, it is not necessary to install a washer for each metal bolt 6 and it is a component. It is possible to save the trouble of installing points and parts.

以上、説明したように、本形態のダイアフラムバルブ１は、例えば、金属ボルト６を工具で締め込むときに金属粉が発生したり、駆動部２とバルブボディ３１とをクランプ装置でクランプする際にクランプ装置の摺動部分から金属粉が発生したり、作業者に付着したパーティクルが作業台の周りに舞い上がったりしても、バルブボディ３１の開口部３３がダイアフラム弁体４１に封止され、第１ポート３２と第２ポート３４がそれぞれ封止キャップ１００を用いて封止され、流体が流れる流体通路部３０が外気から遮断されている。そのため、ダイアフラムバルブ１の組立中に、金属粉やパーティクルなどの異物が流体通路部３０に入り込みにくい。これにより、ダイアフラムバルブ１は、組立時に、流体通路部３０が異物で汚染されるリスクが低くなる。 As described above, the diaphragm valve 1 of this embodiment is used, for example, when metal powder is generated when the metal bolt 6 is tightened with a tool, or when the drive unit 2 and the valve body 31 are clamped by a clamping device. Even if metal powder is generated from the sliding portion of the clamp device or particles adhering to the operator fly up around the work table, the opening 33 of the valve body 31 is sealed in the diaphragm valve body 41, and the first The 1st port 32 and the 2nd port 34 are respectively sealed by using the sealing cap 100, and the fluid passage portion 30 through which the fluid flows is shielded from the outside air. Therefore, it is difficult for foreign matter such as metal powder or particles to enter the fluid passage portion 30 during the assembly of the diaphragm valve 1. As a result, when the diaphragm valve 1 is assembled, the risk that the fluid passage portion 30 is contaminated with foreign matter is reduced.

例えば、５０台／ロット毎にダイアフラムバルブ１の組立を進めていく場合でも、ダイアフラムバルブ１に用いるバルブボディ３１が、それぞれ、ダイアフラム弁体４１と封止キャップ１００により開口部３３と第１及び第２ポート３２，３４とを封止されている。そのため、ピストンロッド１３をダイアフラム弁体４１に係合する作業や、クランプ作業、金属ボルト６の締結作業などで、金属粉やパーティクルなどの異物が作業台周辺に多数存在しても、異物が弁部３の流体通路部３０に入り込まない。つまり、後に組み立てられるダイアフラムバルブ１でも、流体通路部３０が異物で汚染されにくい。また、本形態では、流体通路部３０を外気から遮断して、異物が流体通路部３０に持ち込まれるリスクをゼロに近づけているので、流体通路部３０の清浄度を保つために高度のクリーンルーム内でダイアフラムバルブ１を組み立てる必要がなく、ダイアフラムバルブ１の製造場所の制約が少ない。 For example, even when assembling the diaphragm valve 1 for every 50 units / lot, the valve body 31 used for the diaphragm valve 1 has an opening 33 and a first and a first by means of the diaphragm valve body 41 and the sealing cap 100, respectively. Two ports 32 and 34 are sealed. Therefore, even if a large amount of foreign matter such as metal powder or particles is present around the workbench during the work of engaging the piston rod 13 with the diaphragm valve body 41, the clamping work, the fastening work of the metal bolt 6, etc., the foreign matter is valved. It does not enter the fluid passage portion 30 of the portion 3. That is, even in the diaphragm valve 1 to be assembled later, the fluid passage portion 30 is less likely to be contaminated with foreign matter. Further, in the present embodiment, since the fluid passage portion 30 is blocked from the outside air and the risk of foreign matter being brought into the fluid passage portion 30 is close to zero, the inside of the highly clean room is maintained in order to maintain the cleanliness of the fluid passage portion 30. It is not necessary to assemble the diaphragm valve 1 in the above, and there are few restrictions on the manufacturing location of the diaphragm valve 1.

半導体製造業界では、パーティクルが半導体の歩留まりに影響する。そのため、半導体製造装置に用いるダイアフラムバルブ１の組立時に、流体通路部３０が異物で汚染されないようにすれば、ダイアフラムバルブ１をラインに設置した後、薬液制御を開始する前に、流体通路部３０を清浄化する手間を省くことができる。また、パーティクルにより不良品が製造されることを抑制できる。 In the semiconductor manufacturing industry, particles affect the yield of semiconductors. Therefore, if the fluid passage portion 30 is prevented from being contaminated with foreign matter when assembling the diaphragm valve 1 used in the semiconductor manufacturing apparatus, the fluid passage portion 30 is installed after the diaphragm valve 1 is installed on the line and before the chemical liquid control is started. It is possible to save the trouble of cleaning the water. In addition, it is possible to prevent the production of defective products by particles.

尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。例えば、ダイアフラム弁体をボディに取り付ける方法は、圧入に限らず、例えば図１３に示す例のような方法であってもよい。図１３は、ダイアフラム弁体の取り付けの変形例を説明する説明図である。なお、図１３に示す構成のうち、上記実施形態と同じ構成には、上記実施形態と同じ符号を使用し、説明を適宜省略する。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various applications are possible. For example, the method of attaching the diaphragm valve body to the body is not limited to press-fitting, and may be, for example, a method as shown in FIG. FIG. 13 is an explanatory view illustrating a modified example of mounting the diaphragm valve body. Of the configurations shown in FIG. 13, the same reference numerals as those in the above-described embodiment are used for the same configurations as those in the above-described embodiment, and the description thereof will be omitted as appropriate.

例えば図１３（ａ）に示す例では、ダイアフラム弁体４１０は、止め輪５００を用いて、バルブボディ３１０に脱落しないように取り付けられている。バルブボディ３１０は、バルブボディ３１の環状溝３６を省略したものであり、ダイアフラム弁体４１０は、ダイアフラム弁体４１の圧入壁４５を省略したものである。止め輪５００は、ダイアフラム弁体４１０の外縁部４４が嵌め合わされた嵌合凹部３７に圧入されることにより、ダイアフラム弁体４１０をバルブボディ３１０に取り付ける。これによれば、環状溝３６や圧入壁４５を加工する手間や材料を削減し、コストダウンを図ることができる。なお、ダイアフラム弁体は、サイズが大きく、止め輪を用いてバルブボディに取り付けることが困難な場合には、上記形態のようにダイアフラム弁体自体をバルブボディに圧入することが望ましい。 For example, in the example shown in FIG. 13A, the diaphragm valve body 410 is attached to the valve body 310 so as not to fall off by using a retaining ring 500. The valve body 310 omits the annular groove 36 of the valve body 31, and the diaphragm valve body 410 omits the press-fitting wall 45 of the diaphragm valve body 41. The retaining ring 500 attaches the diaphragm valve body 410 to the valve body 310 by being press-fitted into the fitting recess 37 into which the outer edge portion 44 of the diaphragm valve body 410 is fitted. According to this, the labor and material for processing the annular groove 36 and the press-fitting wall 45 can be reduced, and the cost can be reduced. When the diaphragm valve body is large in size and it is difficult to attach it to the valve body using a retaining ring, it is desirable to press-fit the diaphragm valve body itself into the valve body as described above.

また例えば図１３（ｂ）に示すように、ダイアフラム弁体４１０は、バルブボディ３１０の嵌合凹部３７に嵌め合わされた後、図中Ｗ１、Ｗ２に示すように、外縁部４４がバルブボディ３１０に熱溶着されることにより、バルブボディ３１０に脱落しないように取り付けられてもよい。熱溶着は、図中Ｗ１、Ｗ２に示すように、外縁部４４に沿って環状に行うことが望ましい。また、熱溶着は、図中Ｗ１，Ｗ２に示す２箇所に施しても良いし、何れか一方のみに施してもよい。 Further, for example, as shown in FIG. 13B, after the diaphragm valve body 410 is fitted into the fitting recess 37 of the valve body 310, the outer edge portion 44 is fitted to the valve body 310 as shown in W1 and W2 in the drawing. It may be attached to the valve body 310 so as not to fall off by heat welding. As shown in W1 and W2 in the figure, it is desirable that the heat welding is performed in a ring shape along the outer edge portion 44. Further, heat welding may be applied to two locations shown in W1 and W2 in the figure, or may be applied to only one of them.

また、図１３（ｃ）に示すように、ダイアフラム弁体４２０は、外縁部４２１を薄膜部４３と同じ厚さとし、図中Ｗ３に示すように、外縁部４２１がバルブボディ３１０に熱溶着されることにより、バルブボディ３１０に脱落しないように取り付けられてもよい。これによれば、外縁部４２１とバルブボディ３１０との間に形成される隙間が小さくなり、滞留部を減らすことができる。 Further, as shown in FIG. 13 (c), in the diaphragm valve body 420, the outer edge portion 421 has the same thickness as the thin film portion 43, and as shown in W3 in the drawing, the outer edge portion 421 is heat-welded to the valve body 310. As a result, it may be attached to the valve body 310 so as not to fall off. According to this, the gap formed between the outer edge portion 421 and the valve body 310 is reduced, and the stagnant portion can be reduced.

さらに、図１３（ｄ）に示すように、嵌合凹部３７にダイアフラム弁体４１０の外縁部４４と止め輪６００を嵌め合わせ、図中Ｗ４に示すように、止め輪６００をバルブボディ３１０に熱溶着することにより、バルブボディ３１０にダイアフラム弁体４１０を脱落しないように取り付けてもよい。このように、ダイアフラム弁体４１０と別部材である止め輪６００がバルブボディ３１０に熱溶着されることにより、弁部の組立時に、ダイアフラム弁体４１０が熱で変形することを抑制できる。 Further, as shown in FIG. 13D, the outer edge portion 44 of the diaphragm valve body 410 and the retaining ring 600 are fitted into the fitting recess 37, and the retaining ring 600 is heated to the valve body 310 as shown in W4 in the drawing. The diaphragm valve body 410 may be attached to the valve body 310 so as not to fall off by welding. By heat-welding the retaining ring 600, which is a separate member from the diaphragm valve body 410, to the valve body 310 in this way, it is possible to prevent the diaphragm valve body 410 from being deformed by heat when the valve portion is assembled.

駆動部２とダイアフラム弁体４１は、ネジ結合されていてもよい。この場合、ダイアフラム弁体をバルブボディに取り付けてから、駆動部のピストンロッドをダイアフラム弁体に係合すると、駆動部の取付位置や操作ポートの向きがランダムになる。つまり、駆動部の取付位置や操作ポートの向きを自由に調整できない。しかし、上記形態のように、駆動部２をピストンロッド１３の移動方向に対して直交する方向に沿ってスライドさせてピストンロッド１３の係合凹部１３１をダイアフラム弁体４１の係合凸部４６に凹凸係合させたり、あるいは、駆動部をピストンロッドの移動方向に沿って移動させることにより第１係合部と第２係合部を圧入して係合させたりすれば、駆動部の位置や操作ポートの向きを任意に調整することが可能になる。つまり、ダイアフラム弁体をバルブボディに取り付けてから、駆動部をダイアフラム弁体に係合させる場合でも、バルブボディに駆動部を載せて連結する作業を行いやすい。 The drive unit 2 and the diaphragm valve body 41 may be screw-coupled. In this case, when the diaphragm valve body is attached to the valve body and then the piston rod of the drive unit is engaged with the diaphragm valve body, the attachment position of the drive unit and the direction of the operation port become random. That is, the mounting position of the drive unit and the orientation of the operation port cannot be freely adjusted. However, as in the above embodiment, the drive unit 2 is slid along the direction orthogonal to the moving direction of the piston rod 13 so that the engaging recess 131 of the piston rod 13 becomes the engaging convex portion 46 of the diaphragm valve body 41. If the first engaging part and the second engaging part are press-fitted and engaged by engaging with the unevenness or by moving the driving part along the moving direction of the piston rod, the position of the driving part can be changed. The orientation of the operation port can be adjusted as desired. That is, even when the diaphragm valve body is attached to the valve body and then the drive unit is engaged with the diaphragm valve body, it is easy to carry out the work of mounting and connecting the drive unit on the valve body.

座金プレート４は、省略してもよい。但し、駆動部２は、座金プレート４を介してバルブボディ３１に連結されることにより、金属ボルト６毎に座金をセットする必要がなくなり、部品点数を減らしたり、座金を設置する手間を省いたりすることができる。 The washer plate 4 may be omitted. However, since the drive unit 2 is connected to the valve body 31 via the washer plate 4, it is not necessary to set a washer for each metal bolt 6, which reduces the number of parts and saves the trouble of installing the washer. can do.

ハウジング１１の外形を矩形状とし、挿通穴４ａがない座金プレートをハウジングの上面にセットし、駆動部とバルブボディとを連結するようにしてもよい。但し、上記形態のように、矩形状の座金プレート４に挿通穴４ａを形成し、面積が広い部分に金属ボルト６を挿通することにより、金属ボルト６を締結する際の締込荷重を座金プレート４全体に均一に分散させることができる。そのため、ハウジング１１は、金属ボルト６の集中荷重で歪み変形することが抑制される。また、ハウジング１１は、第１部分１１３と第２部分１１４との間に段差面１１５を設け、その段差面１１５に座金プレート４がセットされるので、駆動部２と弁部３とを連結する位置の近くで金属ボルト６を締め込むことが可能になる。また、ハウジング１１は、第２部分を直方体形状にする方が、第２部分を円柱形状にする場合より、コンパクトになり、バルブサイズを小さくできる。 The outer shape of the housing 11 may be rectangular, and a washer plate without an insertion hole 4a may be set on the upper surface of the housing to connect the drive unit and the valve body. However, as in the above embodiment, by forming an insertion hole 4a in the rectangular washer plate 4 and inserting the metal bolt 6 into a portion having a large area, the tightening load when fastening the metal bolt 6 is applied to the washer plate. 4 Can be uniformly dispersed throughout. Therefore, the housing 11 is suppressed from being distorted and deformed by the concentrated load of the metal bolt 6. Further, the housing 11 is provided with a stepped surface 115 between the first portion 113 and the second portion 114, and the washer plate 4 is set on the stepped surface 115, so that the drive portion 2 and the valve portion 3 are connected. It becomes possible to tighten the metal bolt 6 near the position. Further, the housing 11 is more compact when the second portion is formed into a rectangular parallelepiped shape than when the second portion is formed into a cylindrical shape, and the valve size can be reduced.

ダイアフラム押さえ１６は、ハウジング１１に取り付けられず、駆動部２と別に取り扱うようにしてもよい。ただし、ダイアフラム押さえ１６をハウジング１１に取り付け、駆動部２がダイアフラム押さえ１６を含むことにより、圧縮ばね１４に抗してピストン１２、ピストンロッド１３、閉鎖プレート１５をハウジング１１に収容した状態で駆動部２を組み立てることが可能になる。これにより、駆動部２は、ダイアフラムバルブ全体の部品点数を増やさずに、あたかも１部品かのように取り扱うことができるようになり、駆動部２を弁部３に連結する際の作業が行い易くなる。 The diaphragm retainer 16 may not be attached to the housing 11 and may be handled separately from the drive unit 2. However, by attaching the diaphragm retainer 16 to the housing 11 and including the diaphragm retainer 16, the drive unit 2 accommodates the piston 12, the piston rod 13, and the closing plate 15 in the housing 11 against the compression spring 14. It becomes possible to assemble 2. As a result, the drive unit 2 can be handled as if it were one component without increasing the number of parts of the entire diaphragm valve, and it is easy to perform the work when connecting the drive unit 2 to the valve unit 3. Become.

ダイアフラム押さえ１６は、圧入等により、取外不能にハウジング１１に取り付けられてもよい。但し、上記形態のようにダイアフラム押さえ１６がハウジング１１に着脱可能に取り付けられることにより、駆動部２のメンテナンスが行い易くなる。 The diaphragm retainer 16 may be attached to the housing 11 so as not to be removable by press fitting or the like. However, since the diaphragm retainer 16 is detachably attached to the housing 11 as described above, maintenance of the drive unit 2 can be easily performed.

バルブボディ３１は、第１継手７と第２継手８を装着した状態で、第１ポート３２と第２ポート３４が封止されてもよい。また、駆動部２は、ダイアフラム弁体４１に係合される駆動軸を電磁式で往復直線運動させる駆動部であってもよい。 In the valve body 31, the first port 32 and the second port 34 may be sealed with the first joint 7 and the second joint 8 mounted. Further, the drive unit 2 may be a drive unit that electromagnetically reciprocates and linearly moves the drive shaft engaged with the diaphragm valve body 41.

ダイアフラム押さえ１６は、ピンなどの連結部材を用いてハウジング１１に着脱可能に取り付けられてもよい。ただし、上記形態のように、ダイアフラム押さえ１６に設けた係止爪１６１をハウジング１１の係止穴１１１に嵌め合わせてダイアフラム押さえ１６をハウジング１１に取り付けることにより、部品点数を減らし、ダイアフラム押さえ１６をハウジングに簡単に取り付けることができる。また、係止爪をハウジング１１に設け、案内溝と、係止爪を係止する係止溝と、をダイアフラム押さえ１６に設けてもよい。 The diaphragm retainer 16 may be detachably attached to the housing 11 by using a connecting member such as a pin. However, as in the above embodiment, the number of parts is reduced by fitting the locking claw 161 provided on the diaphragm retainer 16 into the locking hole 111 of the housing 11 and attaching the diaphragm retainer 16 to the housing 11, so that the diaphragm retainer 16 can be used. Can be easily attached to the housing. Further, the locking claw may be provided in the housing 11, and the guide groove and the locking groove for locking the locking claw may be provided in the diaphragm retainer 16.

上記形態のダイアフラムバルブは、半導体製造に用いるガスを制御するバルブであってもよい。この場合、各部品の材質は、ＳＵＳなどの耐腐食性のある金属であることが望ましい。 The diaphragm valve of the above-described form may be a valve that controls a gas used in semiconductor manufacturing. In this case, it is desirable that the material of each part is a corrosion-resistant metal such as SUS.

１ダイアフラムバルブ
２駆動部
６金属ボルト
３１バルブボディ
３２第１ポート
３３開口部
３４第２ポート
４１ダイアフラム弁体
１００封止キャップ 1 Diaphragm valve 2 Drive unit 6 Metal bolt 31 Valve body 32 1st port 33 Opening 34 2nd port 41 Diaphragm valve body 100 Sealing cap

Claims

バルブボディと、ダイアフラム弁体と、駆動部と、を備え、半導体製造装置に用いられるダイアフラムバルブの製造方法において、
前記バルブボディは、複数のポートと、前記駆動部側に開口し、前記複数のポートと連通する開口部とを備え、
前記ダイアフラム弁体を前記バルブボディに取り付けることによって前記開口部を封止すると共に、前記複数のポートを封止部材を用いて封止した状態で、前記バルブボディと前記駆動部とを複数の金属ボルトを用いて連結すること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In a method for manufacturing a diaphragm valve used in a semiconductor manufacturing apparatus, which comprises a valve body, a diaphragm valve body, and a drive unit.
The valve body includes a plurality of ports and an opening that opens to the drive unit side and communicates with the plurality of ports.
The opening is sealed by attaching the diaphragm valve body to the valve body, and the valve body and the driving portion are made of a plurality of metals in a state where the plurality of ports are sealed by using a sealing member. Connecting with bolts,
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記ダイアフラム弁体が、圧入又は熱溶着により、前記バルブボディに取り付けられること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to claim 1,
The diaphragm valve body is attached to the valve body by press fitting or heat welding.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記ダイアフラム弁体が、止め輪を用いて、前記バルブボディに取り付けられること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to claim 1,
The diaphragm valve body is attached to the valve body by using a retaining ring.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記駆動部は、往復直線運動を行う駆動軸を有し、
前記駆動軸の移動方向に対して直交する方向に沿って、又は、前記駆動軸の移動方向に沿って、前記駆動部をバルブボディに対して相対的に移動させることにより、前記バルブボディに取り付けられた前記ダイアフラム弁体に前記駆動軸を係合させた後、前記複数の金属ボルトを用いて前記バルブボディと前記駆動部とを連結すること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of claims 1 to 3.
The drive unit has a drive shaft that performs reciprocating linear motion.
Attached to the valve body by moving the drive unit relative to the valve body along a direction orthogonal to the movement direction of the drive shaft or along the movement direction of the drive shaft. After engaging the drive shaft with the diaphragm valve body, the valve body and the drive unit are connected by using the plurality of metal bolts.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１乃至請求項４の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記駆動部は、前記複数の金属ボルトの座金となる座金プレートを介して前記バルブボディに連結されること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of claims 1 to 4.
The drive unit is connected to the valve body via a washer plate that serves as a washer for the plurality of metal bolts.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項５に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記座金プレートは、矩形状であり、円形の穴が中央に形成されており、前記金属ボルトが面積の広い部分に挿通されること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to claim 5,
The washer plate has a rectangular shape, a circular hole is formed in the center, and the metal bolt is inserted into a large area.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記駆動部は、
ハウジングと、
前記ハウジングに摺動可能に装填されるピストンと、
前記ハウジングに取り付けられ、前記駆動部が前記バルブボディに連結されない場合には、前記ピストンが前記ハウジングから脱落することを防止し、前記駆動部が前記バルブボディに連結される場合には、前記ダイアフラム弁体を前記バルブボディに押し付ける保持部材と、を有すること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of claims 1 to 6.
The drive unit
With the housing
A piston that is slidably loaded into the housing
When attached to the housing and the drive unit is not connected to the valve body, it prevents the piston from falling out of the housing, and when the drive unit is connected to the valve body, the diaphragm. Having a holding member that presses the valve body against the valve body,
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項７に記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記ハウジングは、バルブボディ側に開口するコップ形状をなし、
前記保持部材は、前記ハウジングの開口端部に嵌合可能な本体部と、前記本体部の外周面に外向きに突設された係止爪と、を有し、
前記ハウジングは、前記係止爪と係合し、前記保持部材を前記ハウジングの軸線方向に案内する案内溝と、前記案内溝に対して直交する方向に形成され、前記保持部材の回転を許容するが、前記軸線方向への移動を許容しない係合溝と、を含むこと、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to claim 7.
The housing has a cup shape that opens toward the valve body.
The holding member has a main body portion that can be fitted to the open end portion of the housing, and a locking claw that projects outward from the outer peripheral surface of the main body portion.
The housing is formed in a direction orthogonal to the guide groove and the guide groove that engages with the locking claw and guides the holding member in the axial direction of the housing, and allows the holding member to rotate. Includes an engaging groove that does not allow movement in the axial direction.
A method for manufacturing a diaphragm valve.

請求項１乃至請求項８の何れか１つに記載するダイアフラムバルブの製造方法において、
前記ダイアフラムバルブが、半導体の製造に使用する薬液の制御に用いられること、
を特徴とするダイアフラムバルブの製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm valve according to any one of claims 1 to 8.
The diaphragm valve is used to control a chemical solution used in the manufacture of semiconductors.
A method for manufacturing a diaphragm valve.