JP2020188237A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
(a)処理室内の基板に対して原料ガスおよび不活性ガスを供給する工程と、
(b)前記処理室内の前記基板に対して反応ガスを供給する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
(a)では、第1タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記基板に対して供給すると共に、前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記基板に対して供給し、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度と異ならせる技術が提供される。
(1)基板処理装置の構成
図1に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200上に薄膜として絶縁膜である窒化膜を形成する基板処理シーケンス、すなわち、成膜シーケンスの例について説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
(a)処理室201内のウエハ200に対して原料ガスとしてDCSガスおよび不活性ガスとしてN2ガスを供給する工程と、
(b)処理室201内のウエハ200に対して反応ガスとしてNH3ガスを供給する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に膜としてシリコン窒化膜(SiN膜)を形成し、
(a)では、第1タンク242a1内に溜めたDCSガスおよびN2ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部としての第1ノズル233aよりウエハ200に対して供給すると共に、第1タンク242a1とは異なる第2タンク242b1内に溜めたDCSガスおよびN2ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部とは異なる第2供給部としての第2ノズル233bよりウエハ200に対して供給し、DCSガスおよびN2ガスのうち少なくともいずれかを第1タンク242a1内に溜めた状態での第1タンク242a1内におけるDCSガスの濃度を、DCSガスおよびN2ガスのうち少なくともいずれかを第2タンク242b1内に溜めた状態での第2タンク242b1内におけるDCSガスの濃度と異ならせる。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が、所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される(圧力調整)。また、処理室201内のウエハ200が、所望の処理温度となるように、ヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される(温度調整)。また、回転機構267によるウエハ200の回転を開始する。真空ポンプ246の稼働、ウエハ200の加熱および回転は、いずれも、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
次に、APCバルブ244を全開とした状態で、すなわち、処理室201内を真空排気した状態で、バルブ243a1,243b1,243c1,243c3,243d1,243d3を閉じ、バルブ243a2〜243a6,243b2〜243b6,243c2,243c4,243d2,243d4を開き、ガス供給管232a1,232b1,232c1,232d1内へN2ガスを流す。N2ガスは、MFC241a2,241a3,241b2,241b3,241c2,241d2により流量調整され、ノズル233a,233b,233c,233d、バッファ室237c,237dを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、各ガス供給管より供給するN2ガスの供給流量を、それぞれ例えば100〜10000sccmの範囲内の所定流量とし、処理室201内の圧力を、例えば20〜30Paの範囲内の所定圧力とする。これにより、各供給系、処理室201、排気系のそれぞれの内部をパージすることができ、これらの内部のDCSガス供給前の環境および状態を整えて揃えることができる。
その後、処理室201内を真空排気した状態を維持しつつ、また、バルブ243a1,243b1,243c1,243c3,243d1,243d3を閉じた状態、および、バルブ243a4,243a5,243b4,243b5を開いた状態を維持しつつ、バルブ243a2,243a3,243a6,243b2,243b3,243b6,243c2,243c4,243d2,243d4を閉じることで、各ガス供給管からのN2ガスの供給を停止させ、タンク242a1,242b1のそれぞれの内部を真空引きし高真空状態とする。このとき、処理室201内の圧力を、例えば1〜10Paの範囲内の所定圧力とする。その後、タンク242a1,242b1のそれぞれの前後(上流側および下流側)のバルブ243a4,243a5,243b4,243b5を閉じ、タンク242a1,242b1の内部をそれぞれ高真空密閉状態とする。
その後、処理室201内を真空排気した状態を維持しつつ、また、タンク242a1,242b1の内部をそれぞれ高真空密閉状態に維持しつつ、バルブ243a3,243a6,243b3,243b6,243c2,243c4,243d2,243d4を開き、ガス供給管232a1,232b1,232c1,232d1内へN2ガスを流す。N2ガスは、MFC241a3,241b3,241c2,241d2により流量調整され、ノズル233a,233b,233c,233d、バッファ室237c,237dを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このときの処理条件は上述のプリパージ1における処理条件と同様とする。これにより、各供給系、処理室201、排気系のそれぞれの内部を更にパージすることができ、これらの内部のDCSガス供給前の環境および状態を更に整えて揃えることができる。
その後、バルブ243a5を閉じた状態で、バルブ243a1,243a4を開き、ガス供給管232a1内へDCSガスを流す。DCSガスは、MFC241a1により流量調整され、タンク242a1内へ供給されて、タンク242a1内に溜められる。タンク242a1内に、所定圧、所定量のDCSガスが溜められた後、バルブ243a1,243a4を閉じ、タンク242a1内にDCSガスを封じ込める(閉じ込める)。タンク242a1の容積は、例えば300〜500ccであることが好ましく、この場合、タンク242a1内にDCSガスを封じ込める際のタンク242a1内の圧力を、例えば20000Pa以上の高圧とするのが好ましく、タンク242a1内に溜めるDCSガスの量を、例えば120〜360cc、好ましくは120〜240ccとするのが望ましい。これら一連の動作により、タンク242a1内へのDCSガスの充填動作が完了する(第1タンク内へのガスチャージ)。
タンク内へのガスチャージが完了した後、上述のプリパージ2と同様に、バルブ243a3,243a6,243b3,243b6,243c2,243c4,243d2,243d4を開き、ガス供給管232a1,232b1,232c1,232d1内へN2ガスを流した状態を維持しつつ、APCバルブ244を全閉として処理室201内の排気を停止する。これにより、処理室201内をN2ガスで充満させることができ、処理室201内の圧力を高めることが可能となる。このとき、各ガス供給管より供給するN2ガスの供給流量を、例えば100〜10000sccmの範囲内の所定流量とする。また、処理室201内の圧力を、例えば20〜30Paの範囲内の所定圧力から、例えば200〜400Paの範囲内の所定圧力まで上昇させる。これにより、処理室201内のウエハ200に対してDCSガスを供給する際におけるDCSガスの処理室201内全域への拡散を抑制し、DCSガス流れの方向性(指向性)を得ることが可能となる。これらの動作により、DCSガス供給前の処理室201内の環境および状態を整えることが可能となる。
その後、次の2つのステップ、すなわち、ステップA,Bを順次実施する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200に対して、第1タンク242a1内に溜めたDCSガスと、第2タンク242b1内に溜めたN2ガスとを、それぞれ、第1ノズル233a、第2ノズル233bより、同時に供給する。
処理温度:250〜650℃、好ましくは300〜600℃
処理圧力(フラッシュフロー前):200〜400Pa
処理圧力(フラッシュフロー後):900〜1500Pa
DCSガス供給量(R1):120〜360cc、好ましくは120〜240cc
N2ガス供給量(R2):120〜400cc、好ましくは120〜300cc
N2ガス供給流量(R3):100〜10000sccm
N2ガス供給流量(R4):100〜10000sccm
DCSガスおよびN2ガス曝露時間:1〜20秒、好ましくは5〜10秒
が例示される。
このステップでは、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200の表面に形成された第1層(Si含有層)に対してNH3ガスを供給する。NH3ガスを供給する際は、2つのプラズマ励起部へ同一流量でNH3ガスを供給し、2つのプラズマ励起部においてNH3ガスをそれぞれ同時にプラズマ励起させて生成させたNH3 *等の活性種を2つのプラズマ励起部から処理室201内のウエハ200に対して同時に供給する。
処理温度:250〜650℃、好ましくは300〜600℃
処理圧力:1〜100Pa、好ましくは1〜50Pa
N2ガス供給流量(R1):100〜10000sccm
N2ガス供給流量(R2):100〜10000sccm
NH3ガス供給流量(R3):10〜10000sccm
NH3ガス供給流量(R4):10〜10000sccm
NH3ガスプリフロー時間:1〜10秒、好ましくは1〜5秒
NH3 *フロー時間:1〜60秒、好ましくは5〜30秒
高周波電力:50〜1000W
が例示される。
上述したステップA,Bを非同時に、すなわち、同期させることなく交互に行うサイクルを所定回数(n回、nは1以上の整数)行うことにより、ウエハ200の表面上にSiN膜を形成することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成されるSiN層の厚さを所望の膜厚よりも薄くし、SiN層を積層することで形成される膜の膜厚が所望の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。
成膜ステップが終了した後、ガス供給管232a1,232b1,232c1,232d1のそれぞれからパージガスとしてN2ガスを処理室201内へ供給し、排気口231aより排気する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、反応管203の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
上述の態様によれば、以下に示す1つまたは複数の効果が得られる。
以上、本開示の態様を具体的に説明したが、本開示は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
(DCS+N2→C3H6→NH3 *)×n ⇒ SiCN
(DCS+N2→C3H6→NH3 *→O2)×n ⇒ SiOCN
(DCS+N2→TEA→NH3 *→O2)×n ⇒ SiOC(N)
(BDEAS+N2→O2 *)×n ⇒ SiO
(DCS+N2→BCl3→NH3 *)×n ⇒ SiBN
(DCS+N2→C3H6→BCl3→NH3 *)×n ⇒ SiBCN
(TiCl4+N2→NH3 *)×n ⇒ TiN
(TiCl4+N2→NH3 *→O2)×n ⇒ TiON
図1に示す基板処理装置を用い、上述の態様における成膜シーケンスと同様もしくは類似の成膜シーケンスにより、複数枚のウエハ上にSiN膜を形成した。タンク内へのガスチャージでは、各タンク内に溜める各ガスの量を次の3通りの条件(条件1〜3)とし、3種類のSiN膜の評価サンプルを作製した。タンク内へのガスチャージ以外の処理条件は、上述の態様における処理条件と同様の処理条件とし、条件1〜3で同一とした。
第1タンク内に溜めるDCSガスの量:200〜300cc
第1タンク内に溜めるN2ガスの量:0cc
第2タンク内に溜めるDCSガスの量:0cc
第2タンク内に溜めるN2ガスの量:200〜300cc
第1タンク内に溜めるDCSガスの濃度(100%)>第2タンク内に溜めるDCSガス濃度(0%)
第1タンク内に溜めるDCSガスの量:200〜300cc
第1タンク内に溜めるN2ガスの量:0cc
第2タンク内に溜めるDCSガスの量:200〜300cc
第2タンク内に溜めるN2ガスの量:0cc
第1タンク内に溜めるDCSガスの濃度(100%)=第2タンク内に溜めるDCSガス濃度(100%)
第1タンク内に溜めるDCSガスの量:100〜150cc
第1タンク内に溜めるN2ガスの量:100〜150cc
第2タンク内に溜めるDCSガスの量:100〜150cc
第2タンク内に溜めるN2ガスの量:100〜150cc
第1タンク内に溜めるDCSガスの濃度(40〜60%)=第2タンク内に溜めるDCSガス濃度(40〜60%)
図1に示す基板処理装置を用い、上述の態様における成膜シーケンスと同様もしくは類似の成膜シーケンスにより、複数枚のウエハ上にSiN膜を形成した。タンク内へのガスチャージでは、各タンク内に溜める各ガスの量を実施例1における条件1,2の2通りとし、2種類のSiN膜の評価サンプルを作製した。タンク内へのガスチャージ以外の処理条件は、上述の態様における処理条件と同様の処理条件とし、条件1,2で同一とした。
図1に示す基板処理装置を用い、上述の態様における成膜シーケンスと同様もしくは類似の成膜シーケンスにより、複数枚のウエハ上にSiN膜を形成した。タンク内へのガスチャージでは、各タンク内に溜める各ガスの量を実施例1における条件1,2の2通りとし、2種類のSiN膜のサンプルを作製した。タンク内へのガスチャージ以外の処理条件は、上述の態様における処理条件と同様の処理条件とし、条件1,2で同一とした。
図1に示す基板処理装置を用い、図6に示す成膜シーケンスと同様もしくは類似の成膜シーケンスにより、複数枚のウエハ上にSiN膜を形成した。ステップBでは、各バッファ室内へ供給するNH3ガスの流量を次の2通りの条件(条件4,5)とし、2種類のSiN膜の評価サンプルを作製した。それ以外の処理条件は、上述の態様における処理条件と同様の処理条件とし、条件4,5で同一とした。
第1バッファ室内へ供給するNH3ガス流量:1〜2slm
第2バッファ室内へ供給するNH3ガス流量:5〜6slm
第1バッファ室内へ供給するNH3ガス流量<第2バッファ室内へ供給するNH3ガス流量
第1バッファ室内へ供給するNH3ガス流量:3〜4slm
第2バッファ室内へ供給するNH3ガス流量:3〜4slm
第1バッファ室内へ供給するNH3ガス流量=第2バッファ室内へ供給するNH3ガス流量
以下、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
(a)処理室内の基板に対して原料ガスおよび不活性ガスを供給する工程と、
(b)前記処理室内の前記基板に対して反応ガスを供給する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
(a)では、第1タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記基板に対して供給すると共に、前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記基板に対して供給し、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度と異ならせる半導体装置の製造方法または基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度よりも高くする。
付記1または2に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記不活性ガスの濃度よりも高くする。
付記1〜3のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を前記第1タンク内における前記不活性ガスの濃度よりも高くし、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの濃度を前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度よりも高くする。
付記1〜4のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を100%(前記不活性ガスの濃度を0%)とし、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの濃度を100%(前記原料ガスの濃度を0%)とする。
付記1〜5のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの量を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの量よりも多くする。
付記1〜6のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの量を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記不活性ガスの量よりも多くする。
付記1〜7のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの量を前記第1タンク内における前記不活性ガスの量よりも多くし、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの量を前記第2タンク内における前記原料ガスの量よりも多くする。
付記1〜8のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態では、前記第1タンク内に前記原料ガスを単独で存在させ、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態では、前記第2タンク内に前記不活性ガスを単独で存在させる。
付記1〜9のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
平面視において、前記基板の中心と前記第1供給部とを結ぶ第1直線と、前記基板の中心と前記第2供給部とを結ぶ第2直線と、が作る中心角が鋭角であり、
少なくとも(a)では、前記基板のエッジ部の所定箇所が、平面視において、前記第1供給部と前記第2供給部と前記基板の中心とを結ぶ三角形の領域を通過する際に、前記第1直線を通過した後、前記第2直線を通過するように、前記基板を回転させる。
付記1〜10のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)では、前記原料ガスを構成する分子の前記基板の表面への多重吸着を抑制する(非多重吸着を促進させる)ように、前記第1供給部より供給するガスと、前記第2供給部より供給するガスと、を前記基板面内で接触(混合)させる。
付記1〜11のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)では、前記原料ガスを構成する分子の前記基板の表面への多重吸着を抑制する(非多重吸着を促進させる)ように、前記第1供給部より供給する前記原料ガスと、前記第2供給部より供給する前記不活性ガスと、を前記基板面内で接触(混合)させる。
付記1〜12のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)を、前記処理室内からの原料ガスの排気を停止した状態で行う。
付記1〜13のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)を、前記処理室内を排気する排気管に設けられたバルブを全閉とした状態で行う。
付記1〜14のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)では、前記基板に対して前記原料ガスおよび前記不活性ガスを供給する前に、前記処理室内に前記不活性ガスを充満させる。
付記1〜15のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(b)では、複数のプラズマ励起部へ異なる流量で供給した前記反応ガスをそれぞれプラズマ励起させて、前記基板に対して供給する。
本開示の他の態様によれば、
基板に対する処理が行われる処理室と、
第1タンク内に溜めた原料ガスおよび不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記処理室内の基板に対して供給する第1供給系と、
前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記処理室内の基板に対して供給する第2供給系と、
前記処理室内の基板に対して反応ガスを供給する第3供給系と、
前記処理室内において、付記1の各処理(各工程)を行わせるように、前記第1供給系、前記第2供給系、および前記第3供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本開示の更に他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内において、付記1の各手順(各工程)をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム、または、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
201 処理室
Claims (5)
- (a)処理室内の基板に対して原料ガスおよび不活性ガスを供給する工程と、
(b)前記処理室内の前記基板に対して反応ガスを供給する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
(a)では、第1タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記基板に対して供給すると共に、前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記基板に対して供給し、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度と異ならせる半導体装置の製造方法。 - 前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度よりも高くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記不活性ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記不活性ガスの濃度よりも高くする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板に対する処理が行われる処理室と、
第1タンク内に溜めた原料ガスおよび不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記処理室内の基板に対して供給する第1供給系と、
前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記処理室内の基板に対して供給する第2供給系と、
前記処理室内の基板に対して反応ガスを供給する第3供給系と、
(a)前記処理室内の基板に対して前記原料ガスおよび前記不活性ガスを供給する処理と、(b)前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行わせ、(a)では、前記第1タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部より前記基板に対して供給すると共に、前記第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2供給部より前記基板に対して供給し、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度と異ならせるように、前記第1供給系、前記第2供給系、および前記第3供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - (a)基板処理装置の処理室内の基板に対して原料ガスおよび不活性ガスを供給する手順と、
(b)前記処理室内の前記基板に対して反応ガスを供給する手順と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順と、
(a)において、第1タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを第1供給部より前記基板に対して供給すると共に、前記第1タンクとは異なる第2タンク内に溜めた前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1供給部とは異なる第2供給部より前記基板に対して供給する手順と、
前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第1タンク内に溜めた状態での前記第1タンク内における前記原料ガスの濃度を、前記原料ガスおよび前記不活性ガスのうち少なくともいずれかを前記第2タンク内に溜めた状態での前記第2タンク内における前記原料ガスの濃度と異ならせる手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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