JP2020183552A - In−Ag合金スパッタリングターゲット部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】実用性に優れたIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を提供する。【解決手段】In−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材であって、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下であるスパッタリングターゲット部材。【選択図】なし
Description
本発明はIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材に関する。また、本発明はIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の製造方法に関する。
インジウムは、例えばCu−In−Ga−Se系(CIGS系)薄膜太陽電池の光吸収層形成用のスパッタリングターゲット部材に使用されている。
従来、光吸収層形成用のインジウムターゲット部材は純度4N又は5Nの高純度インジウムを使用して、溶解鋳造法によって製造されることが知られている(例:特開2010−024474号公報、特開2012−052194号公報)。最近では、インジウムに少量の添加元素を添加してインジウム合金とすることで、スパッタリングターゲットの特性改善を図った技術も散見されるが、当該スパッタリングターゲット部材も溶解鋳造法によって製造される(例:特開2012−052190号公報、特開2018−006685号公報)。
一方で、Kihwan Kim他、“Ag incorporation in low-temperature grown Cu(In,Ga)Se2 solar cells using Ag precursor layers”、Solar Energy Materials & Solar Cells 146(2016)114-120には、太陽電池の光吸収層へAgを添加することにより高効率化されるという報告がなされている。当該文献では、In、Ag、Ga等の単体を用いた同時蒸着法によりCIGS系光吸収層を形成したことが記載されている。
InとAgを含有するスパッタリングターゲット部材の例としては、CIGS系薄膜太陽電池を企図したものではないが、Agを主成分として少量のInを含有するものが知られている(例:特開2016−089215号公報)。
Kihwan Kim他、"Ag incorporation in low-temperature grown Cu(In,Ga)Se2 solar cells using Ag precursor layers"、Solar Energy Materials & Solar Cells 146(2016)114-120
蒸着法によってAgを含有する光吸収層を形成することは、成膜面積が小さい場合や試験的に組成を変化させる場合には優位である。一方で、成膜面積が大きい場合の膜厚均一性はスパッタ法の方が勝る。従って、In−Ag合金製のスパッタリングターゲット部材を提供できることはCIGS系光吸収層のバリエーションを広げる点で有益であろう。
しかしながら、Inを主成分とするIn−Ag合金製のスパッタリングターゲット部材は未だ作製事例がない。本発明はこのような事情に鑑みて創作されたものであり、一実施形態において実用性に優れたIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を提供することを課題とする。別の一実施形態において、本発明はIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の製造方法を提供することを課題とする。更に別の一実施形態において、本発明はIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を用いた成膜方法を提供することを課題とする。
本発明者の検討結果によれば、溶解鋳造法によって作製したIn−Ag合金製のスパッタリングターゲットは、スパッタリングターゲットの厚み方向にAgの濃度分布が広くなりやすいことが分かった。特に、溶解鋳造法ではAg濃度が大きい(例:InとAgの合計原子数に対してAgを10原子%超含有するとき)ときにスパッタリングターゲットの厚み方向にAgの濃度分布が広くなりやすい。厚み方向に組成のばらつきのあるスパッタリングターゲットを用いると、成膜途中で膜組成が変化するおそれがある。このため、In−Ag合金製のスパッタリングターゲットの実用性を高める上では、厚み方向における組成のばらつきを抑制することが有利である。本発明者は、鋭意研究の結果、厚み方向においてAg濃度の変化を抑制したIn−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲットの開発に成功した。
以上の知見を基礎として完成した本発明は一側面において、
[1]
In−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材であって、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下であるスパッタリングターゲット部材。
[2]
InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有する[1]に記載のスパッタリングターゲット部材。
[3]
酸素濃度が90質量ppm〜400質量ppmである[1]又は[2]に記載のスパッタリングターゲット部材。
[4]
相対密度が95%以上である[1]〜[3]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
[5]
Ag濃度のばらつき指数が5%以下である[1]〜[4]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
[6]
[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材と、バッキングプレート又はバッキングチューブとが、ロウ材層を介して積層された構造を有するスパッタリングターゲット。
[7]
前記ロウ材層を構成する物質が、純In、InSn合金及びInZn合金よりなる群から選択される一種以上である[6]に記載のスパッタリングターゲット。
[8]
前記ロウ材層の厚みが0.01mm〜2mmである[6]又は[7]に記載のスパッタリングターゲット。
[9]
[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材を用いてスパッタリングする工程を含む成膜方法。
[10]
噴射ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてガスアトマイズ法を実施するか、又は、雰囲気ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてディスクアトマイズ法を実施することを含むIn−Ag合金粉末の製造方法。
[11]
In−Ag合金粉末のメジアン径が30μm〜300μmである[10]に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法。
[12]
[10]又は[11]に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法を実施し、次いで、得られたIn−Ag合金粉末をコールドプレス及び/又は静水圧冷間圧縮によりスパッタリングターゲット部材形状の圧粉体に成形することを含むIn−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材の製造方法。
[13]
スパッタリングターゲット部材が、[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材である[12]に記載の製造方法。
[1]
In−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材であって、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下であるスパッタリングターゲット部材。
[2]
InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有する[1]に記載のスパッタリングターゲット部材。
[3]
酸素濃度が90質量ppm〜400質量ppmである[1]又は[2]に記載のスパッタリングターゲット部材。
[4]
相対密度が95%以上である[1]〜[3]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
[5]
Ag濃度のばらつき指数が5%以下である[1]〜[4]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
[6]
[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材と、バッキングプレート又はバッキングチューブとが、ロウ材層を介して積層された構造を有するスパッタリングターゲット。
[7]
前記ロウ材層を構成する物質が、純In、InSn合金及びInZn合金よりなる群から選択される一種以上である[6]に記載のスパッタリングターゲット。
[8]
前記ロウ材層の厚みが0.01mm〜2mmである[6]又は[7]に記載のスパッタリングターゲット。
[9]
[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材を用いてスパッタリングする工程を含む成膜方法。
[10]
噴射ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてガスアトマイズ法を実施するか、又は、雰囲気ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてディスクアトマイズ法を実施することを含むIn−Ag合金粉末の製造方法。
[11]
In−Ag合金粉末のメジアン径が30μm〜300μmである[10]に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法。
[12]
[10]又は[11]に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法を実施し、次いで、得られたIn−Ag合金粉末をコールドプレス及び/又は静水圧冷間圧縮によりスパッタリングターゲット部材形状の圧粉体に成形することを含むIn−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材の製造方法。
[13]
スパッタリングターゲット部材が、[1]〜[5]の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材である[12]に記載の製造方法。
本発明の一実施形態によれば、厚み方向におけるAg濃度の変化が少なく、実用性の高いIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材が提供される。当該実施形態に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を使用してスパッタすることで、スパッタリングターゲット部材のターゲットライフ全体において膜組成が安定することが期待される。
(1.圧粉体)
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、圧粉体で形成されている。圧粉体によりIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を形成することで、溶解鋳造法によって製造したスパッタリングターゲット部材に比べて、スパッタリングターゲット部材の厚み方向におけるAg濃度の変化を有意に抑制することが可能となる。
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、圧粉体で形成されている。圧粉体によりIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を形成することで、溶解鋳造法によって製造したスパッタリングターゲット部材に比べて、スパッタリングターゲット部材の厚み方向におけるAg濃度の変化を有意に抑制することが可能となる。
(2.全体組成)
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の全体組成は、Inを主成分としてAgを含有している限り特に制限はない。In−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有することができる。InとAgの合計原子数に対するAgの濃度の下限は、Ag濃度のばらつき指数が小さくしやすいという観点からは、5原子%以上であることが好ましく、10原子%以上であることがより好ましい。InとAgの合計原子数に対するAgの濃度の上限は、Agが多すぎると、成形性が悪くなるという観点からは、20原子%以下であることが好ましく、18原子%以下であることがより好ましい。
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の全体組成は、Inを主成分としてAgを含有している限り特に制限はない。In−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有することができる。InとAgの合計原子数に対するAgの濃度の下限は、Ag濃度のばらつき指数が小さくしやすいという観点からは、5原子%以上であることが好ましく、10原子%以上であることがより好ましい。InとAgの合計原子数に対するAgの濃度の上限は、Agが多すぎると、成形性が悪くなるという観点からは、20原子%以下であることが好ましく、18原子%以下であることがより好ましい。
不可避的不純物とは、原料中に存在したり、製造工程において不可避的に混入したりするもので、本来は不要なものであるが、微量であり、ターゲット特性に有意な影響を及ぼさないため、許容されている不純物である。不可避的不純物を構成する各元素の濃度はInとAgの合計原子数に対して1000原子ppm以下であるのが好ましく、500原子ppm以下であるのがより好ましく、100原子ppm以下であるのが更により好ましい。
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、第三元素として、Na及び/又はKを含有することができる。Na及びKは典型的にはNaF及びKFというフッ化物の形態でスパッタリングターゲット部材内に導入されるため、本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材がNa及び/又はKを含有するときは、一実施形態において、第三元素としてFも含有する。F、Na及びKの合計濃度は用途に応じて適宜設定すればよいが、予期せぬ副作用を抑制するという観点からは、InとAgの合計原子数に対して5原子%以下とすることが好ましく、4原子%以下とすることがより好ましく、3原子%以下とすることが更により好ましい。従って、In−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、第三元素として、Fに加えて、Na及び/又はKを合計で、InとAgの合計原子数に対して5原子%以下含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有することができる。F、Na及びKの合計濃度に下限は特に設定されないが、例えばInとAgの合計原子数に対して0.5原子%以上とすることができる。なお、NaF及び/又はKFは、例えば、In-Ag合金のアトマイズ粉とNaF粉末及び/又はKF粉末とを混合することで導入することができる。
In−Ag合金スパッタリングターゲット部材の全体組成は、後述するAgの原子濃度Aを求める場合と同様の箇所から採取したサンプルを用いてICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析法により測定可能である。
(3.Ag濃度のばらつき指数)
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下である。
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下である。
Ag濃度のばらつき指数が小さいということは、厚み方向におけるAg濃度の変化が少ないことを示している。厚み方向におけるAg濃度の変化が少ないことで、成膜途中で膜組成が意図せず変化することが抑制されるものと期待される。Ag濃度のばらつき指数は8%以下であることが好ましく、5%以下であることがより好ましく、3%以下であることが更により好ましく、例えば0.1〜10%とすることができ、典型的には0.5〜8%とすることができる。なお、本明細書において、厚み方向とはIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材のスパッタ面に垂直な方向を指す。例えば、平板状のスパッタリングターゲット部材であれば板厚方向であり、円筒状のスパッタリングターゲット部材であれば径方向である。
In−Ag合金スパッタリングターゲット部材の全体、厚み方向の一方の半分及び厚み方向の他方の半分における組成は、以下の方法により測定可能である。
Aの値については、スパッタリングターゲット部材の複数の箇所からサンプルを採取して測定する。スパッタリングターゲット部材の形状が円形の平板である場合には、円周を4等分する場所からサンプルを採取する。スパッタリングターゲット部材の形状が矩形の平板である場合には、角部4か所からサンプルをとる。スパッタリングターゲット部材の形状が円筒形である場合には、両端部の円周を4等分する場所(合計8か所)からサンプルをとる。サンプルを採取する箇所を図1に示す(図1の斜線部)。BとCの値を測定するときも、Aを測定するときと同様の箇所からサンプルを採取して測定する。スパッタリングターゲット部材が他の形状である場合は、有意な測定誤差が生じない程度にスパッタリングターゲット部材の複数の箇所からサンプルを採取して測定する。
次に、Aの値、Bの値、Cの値について、厚み方向でのサンプルの取り方を図2を参照しながら説明する。スパッタリングターゲット部材の厚みをT(mm)とする。当該厚みは、バッキングプレート(又はバックチューブ)側の1mmを除外した長さとする。除外する理由は、スパッタリングターゲット部材とバッキングプレート(又はバックチューブ)の界面には接合層が存在し、当該接合層の成分(例:In、InAg合金、InSn合金、InZn合金、InBi合金、InGa合金など)がスパッタリングターゲット部材に拡散する可能性があるからである(即ち、ろう材からのコンタミネーション部分を除外するため)。
Aの値は、サンプルの厚みがT(mm)となるようサンプルを取得することで測定する。一方で、B及びCの値は、サンプルの厚みがT/2(mm)となるようサンプルを取得することで測定する。スパッタリングターゲット部材の複数の箇所からサンプルを採取して測定したA、B及びCの値は、それぞれ平均値を算出し、測定値とする。
上述した厚みとなるように採取する限り、それ以外のサンプルの寸法については、特に限定されない。分析可能な重量となるようにすることが好ましい(例えば、ICP分析であれば1g以上、典型的には10g以内)。
(4.酸素濃度)
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、酸素濃度が90質量ppm〜400質量ppmである。Inは粘着性を有するため、粉末状にしたときに凝集しやすいが、適度に酸素を導入することで凝集が抑制されて流動性が向上し、そのため成形性が向上するという利点が得られる。具体的には、酸素濃度の下限は90質量ppm以上であることが好ましく、150質量ppm以上であることがより好ましい。また、酸素によって膜特性(例えば薄膜太陽電池を構成する光吸収層の特性)に予期せぬ影響が及ぶことを防止するため、酸素濃度の上限は400質量ppm以下であることが好ましく、350質量ppm以下であることがより好ましい。本発明において、スパッタリングターゲット部材の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定される(例:LECO社製のTCH600)。
本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、酸素濃度が90質量ppm〜400質量ppmである。Inは粘着性を有するため、粉末状にしたときに凝集しやすいが、適度に酸素を導入することで凝集が抑制されて流動性が向上し、そのため成形性が向上するという利点が得られる。具体的には、酸素濃度の下限は90質量ppm以上であることが好ましく、150質量ppm以上であることがより好ましい。また、酸素によって膜特性(例えば薄膜太陽電池を構成する光吸収層の特性)に予期せぬ影響が及ぶことを防止するため、酸素濃度の上限は400質量ppm以下であることが好ましく、350質量ppm以下であることがより好ましい。本発明において、スパッタリングターゲット部材の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定される(例:LECO社製のTCH600)。
(5.相対密度)
ターゲットの相対密度は高い方が、アーキングの少ない安定的なスパッタリングを行う上で、好ましい。本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、相対密度が95%以上である。相対密度は好ましくは98%以上であり、例えば95〜102%とすることができる。相対密度は、組成によって定まる理論密度に対するアルキメデス密度の比で求められる。組成によって定まる理論密度は、実際に存在する化合物の密度を加味できていないことから、100%を超えることもありうる。
ターゲットの相対密度は高い方が、アーキングの少ない安定的なスパッタリングを行う上で、好ましい。本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は一実施形態において、相対密度が95%以上である。相対密度は好ましくは98%以上であり、例えば95〜102%とすることができる。相対密度は、組成によって定まる理論密度に対するアルキメデス密度の比で求められる。組成によって定まる理論密度は、実際に存在する化合物の密度を加味できていないことから、100%を超えることもありうる。
理論密度は、スパッタリングターゲットの成分分析を行い、それにより得られる各成分の質量濃度と各成分の単体密度から算出される。例えば、InとAgと不可避的不純物とからなる全体組成のIn−Agターゲットであれば、InとAgの合計100質量%(不可避的不純物は相対密度に実質的な影響を与えない限り考慮しなくてよい。)に対するIn及びAgのそれぞれの質量濃度(質量%)、並びにIn及びAgの単体密度を用いて算出する。具体的には、Inの単体密度を7.31(g/cm3)、Agの単体密度を10.49(g/cm3)、Inの質量濃度をWIn(質量%)、Agの質量濃度をWAg(質量%)として、理論密度(g/cm3)=(7.31×WIn+10.49×WAg)/100で算出される。
(6.製法)
次に、本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の製造方法の好適な例を順を追って説明する。
次に、本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材の製造方法の好適な例を順を追って説明する。
(6−1 原料粉末の調製)
まず、原料粉末の調製を行う。原料粉末はガスアトマイズ法又はディスクアトマイズ法(以下、これらをまとめて「アトマイズ法」ということがある。)により調製可能である。
まず、原料粉末の調製を行う。原料粉末はガスアトマイズ法又はディスクアトマイズ法(以下、これらをまとめて「アトマイズ法」ということがある。)により調製可能である。
ガスアトマイズ法の実施手順の例を以下に説明する。所望の組成を有するIn−Ag合金の溶融金属をタンディッシュ等の容器に保持する。当該容器からノズルを通して、アルゴン及び窒素等の不活性ガス雰囲気下のチャンバー内に溶融金属を流下する。流下する溶融金属にアルゴン及び窒素等の不活性ガスを噴射することで溶融金属は分断されて液滴となる。液滴は飛散されている間に冷やされ、In−Ag合金粉末が得られる。
ディスクアトマイズ法の実施手順の例を以下に説明する。所望の組成を有するIn−Ag合金の溶融金属をタンディッシュ等の容器に保持する。当該容器からノズルを通して、アルゴン及び窒素等の不活性ガス雰囲気下のチャンバー内に溶融金属を流下する。溶融金属が高速回転するディスク上に落下すると、遠心力により分断されて液滴となる。液滴は飛散されている間に冷やされ、In−Ag合金粉末が得られる。
In−Ag合金中のIn濃度が高くなるにつれてInが持つ粘着性により粉末を構成する合金粒子同士が凝集し、成形性が悪化してターゲットの原料粉末としては使いにくくなる。そのため、噴射ガス(ガスアトマイズの場合)又はチャンバー内の雰囲気ガス(ディスクアトマイズの場合)に酸素を0.1体積%以上、典型的には0.5体積%以上含ませて、合金粒子の表面を酸化することによりInの新生面の露出を低減させることで、凝集を抑えることが好ましい。当該アトマイズ法は、In−Ag合金中のIn濃度が70原子%以上、とりわけ80原子%以上、更には85原子%以上のときに特に有用である。
ただし、次工程でコールドプレス及び/又は静水圧冷間圧縮(冷間等方圧プレス)(CIP)を使用して成形する場合、粉末を構成する合金粒子同士の接着は、Inが有する粘着性に依存する。そのため、合金粒子の表面を酸化させ過ぎないことで、Inの粘着性を維持することが重要となる。従って、噴射ガス(ガスアトマイズの場合)又はチャンバー内の雰囲気ガス(ディスクアトマイズの場合)中の酸素濃度は、高すぎるとコールドプレス及び/又は静水圧冷間圧縮(CIP)を使用する場合に粉同士が接着しにくくなり、成形体強度が低下するため、10体積%以下であることが好ましく、8体積%以下であることがより好ましい。
上記アトマイズ法によって調製される原料粉末のメジアン径は例えば30μm〜300μmとすることができ、好ましくは50μm〜150μmである。本明細書において粉末のメジアン径について言及するときは、レーザー回折・散乱法により体積基準で粒度の累積分布を求めたときの、メジアン径(D50)を指す。
(6−2 成形)
上記アトマイズ法より得られたIn−Ag合金粉末に対しては、コールドプレス及び/又は冷間等方圧プレス(CIP)によりスパッタリングターゲット部材形状の圧粉体に成形することができる。コールドプレス及び冷間等方圧プレスの何れか一方を行うことで成形してもよいが、相対密度を高める上ではコールドプレス後に冷間等方圧プレスを行うことが好ましい。コールドプレスは、例えば、In−Ag合金粉末を金型に充填し、例えば30〜90MPaの圧力を、1〜3分間保持することにより行うことができる。冷間等方圧プレス(CIP)は、例えば、140〜200MPaの圧力で10〜120分間保持することで行うことができる。本発明の組成においては、インジウム相を含むため、156℃という低温で溶融する。そのため、ホットプレスや焼結炉による常圧焼結といった方法は実用上難しい。アニールにおいては、300℃程度を上限温度とした乾燥炉や、ホットプレートを使用するのが望ましい。
上記アトマイズ法より得られたIn−Ag合金粉末に対しては、コールドプレス及び/又は冷間等方圧プレス(CIP)によりスパッタリングターゲット部材形状の圧粉体に成形することができる。コールドプレス及び冷間等方圧プレスの何れか一方を行うことで成形してもよいが、相対密度を高める上ではコールドプレス後に冷間等方圧プレスを行うことが好ましい。コールドプレスは、例えば、In−Ag合金粉末を金型に充填し、例えば30〜90MPaの圧力を、1〜3分間保持することにより行うことができる。冷間等方圧プレス(CIP)は、例えば、140〜200MPaの圧力で10〜120分間保持することで行うことができる。本発明の組成においては、インジウム相を含むため、156℃という低温で溶融する。そのため、ホットプレスや焼結炉による常圧焼結といった方法は実用上難しい。アニールにおいては、300℃程度を上限温度とした乾燥炉や、ホットプレートを使用するのが望ましい。
平板状のスパッタリングターゲットを製造する場合の具体的な条件例について述べる。上記アトマイズ法より得られたIn−Ag合金粉末を所定の金型内に充填し、常温で一軸加圧等によるコールドプレスを実施する。その理由は、平板状のスパッタリングターゲットの場合、後述の冷間等方圧プレスに先立って、コールドプレスを行うことで予め成形しておいたほうが、冷間等方圧プレスが実施しやすくなるからである。コールドプレスを行わずに冷間等方圧プレスを行うと、平板状のスパッタリングターゲットの製造においては成形性、量産性が悪化する懸念がある。コールドプレスは、既に公知の方法により行うことが可能である。ここでIn−Ag合金粉末に作用させる圧力は、30MPa以上とすることが好ましい。この圧力を30MPa未満とした場合、十分に成形できない可能性がある。一方、圧力が高すぎると、クラックの原因となるおそれがあるので、90MPa以下とすることが好ましい。この観点から、コールドプレスで作用させる圧力は、30MPa〜90MPaとすることが好ましい。特に、コールドプレスによるプレス圧を、好ましくは50MPa以上、より好ましくは70MPa以上とすることにより、製造されるスパッタリングターゲットの相対密度を、たとえば97%以上、さらに98%以上と高めることができる。その後、冷間等方圧プレスを実施して密度を高める。冷間等方圧プレスの圧力は、密度を高める観点から、140MPa以上であることが好ましく、150MPa以上がより好ましい。また、ある一定以上の圧力では、圧力を上げても高密度化への効果が少なくなり、かつクラックの原因となる恐れがあることから、200MPa以下であることが好ましく、190MPa以下であることがより好ましい。
次に、円筒状のスパッタリングターゲットを製造する場合の留意点について述べる。円筒状のスパッタリングターゲットの場合、その形状より金型によるコールドプレスの実施が困難であり、ゴム型を用いることができる冷間等方圧プレスを直接的に行うほうが容易に成形体を得ることができるので、コールドプレスは不要である。したがって、円筒状のスパッタリングターゲットを製造する際は、上記アトマイズ法より得られたIn−Ag合金粉末に対して、コールドプレスを行わずに冷間等方圧プレスを行うことができる。この際、バッキングチューブと共にIn−Ag合金粉末を冷間等方圧プレスすることで、ボンディング工程を省略することができる。冷間等方圧プレスの圧力は、密度を高める観点から、140MPa以上であることが好ましく、150MPa以上がより好ましい。また、ある一定以上の圧力では、圧力を上げても高密度化への効果が少なくなり、かつクラックの原因となる恐れがあることから、200MPa以下であることが好ましく、190MPa以下であることがより好ましい。
円筒状のスパッタリングターゲット部材を製造するときは、良好な接着状態とするために、ロウ材(例:インジウムの他、InSn合金及びInZn合金のようなIn合金)層を、円筒状のバッキングチューブ側面のボンディング領域に、0.05〜2mmの厚みでボンディング又は鋳造により配置しておき、その周囲に同軸状に金型を配置し、バッキングチューブと金型の隙間にIn−Ag合金粉末を入れ、直接静水圧冷間圧縮(CIP)処理を施すことにより、スパッタリングターゲット部材を成形することが好ましい。
円筒状のスパッタリングターゲット部材を製造するときは、良好な接着状態とするために、ロウ材(例:インジウムの他、InSn合金及びInZn合金のようなIn合金)層を、円筒状のバッキングチューブ側面のボンディング領域に、0.05〜2mmの厚みでボンディング又は鋳造により配置しておき、その周囲に同軸状に金型を配置し、バッキングチューブと金型の隙間にIn−Ag合金粉末を入れ、直接静水圧冷間圧縮(CIP)処理を施すことにより、スパッタリングターゲット部材を成形することが好ましい。
(6−3 アニール)
成形によって得られた圧粉体は、インジウム同士の密着性向上を目的として、アニールしてもよい。アニールを実施する場合は、密着性向上の効果を有意とするため圧粉体を100℃以上に加熱することが好ましく、120℃以上に加熱することがより好ましい。一方で、インジウム相が溶融する懸念があるため、圧粉体を150℃以下に加熱することが好ましく、140℃以下に加熱することがより好ましい。加熱時間については、特に制限はないが、例えば0.5〜10時間とすることができる。アニールは、製造コストの面からの理由により、大気雰囲気下で実施することが好ましい。
成形によって得られた圧粉体は、インジウム同士の密着性向上を目的として、アニールしてもよい。アニールを実施する場合は、密着性向上の効果を有意とするため圧粉体を100℃以上に加熱することが好ましく、120℃以上に加熱することがより好ましい。一方で、インジウム相が溶融する懸念があるため、圧粉体を150℃以下に加熱することが好ましく、140℃以下に加熱することがより好ましい。加熱時間については、特に制限はないが、例えば0.5〜10時間とすることができる。アニールは、製造コストの面からの理由により、大気雰囲気下で実施することが好ましい。
このようにして得られたスパッタリングターゲット部材は、平面研削機、円筒研削機、マシニング等の加工機で仕上げ加工してもよい。スパッタリングターゲット部材の形状には特に制約はない。例えば、円盤状及び矩形状のような平板状に加えて、円筒状などとすることができる。
スパッタリングターゲット部材の厚みは特に制限はなく、使用するスパッタ装置や成膜使用時間等に応じて適宜設定すればよいが、通常3〜25mm程度であり、典型的には6〜18mm程度である。
スパッタリングターゲット部材はそのままスパッタリングターゲットとして使用してもよいが、必要に応じてバッキングプレート又はバッキングチューブとロウ材により接合して用いてもよい。この場合、In−Ag合金スパッタリングターゲット部材と、バッキングプレート又はバッキングチューブとが、ロウ材層を介して積層された構造を有するスパッタリングターゲットが提供される。ロウ材層を構成する物質としては、限定的ではないが、例えば、融点がインジウムより低いため、純In、InSn合金及びInZn合金よりなる群から選択される一種以上とすることが好ましい。
ロウ材層の厚みは、限定的ではないが、スパッタリングターゲットの使用効率の面とロウ材の熱膨張緩衝作用に基づくクラック防止の面から、0.1mm〜2mmであることが好ましく、0.1mm〜1mmであることがより好ましく、0.3〜0.8mmであることが更により好ましい。
(7.成膜)
本発明は一側面において、本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を用いてスパッタリングする工程を含む成膜方法を提供する。本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、厚み方向のAg濃度変化が少ないため、ターゲットライフ全体において膜組成の安定性が向上することが期待できる。
本発明は一側面において、本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材を用いてスパッタリングする工程を含む成膜方法を提供する。本発明に係るIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、厚み方向のAg濃度変化が少ないため、ターゲットライフ全体において膜組成の安定性が向上することが期待できる。
以下に本発明の実施例を比較例と共に示すが、これらの実施例は本発明及びその利点をよりよく理解するために提供するものであり、発明が限定されることを意図するものではない。
<1.鋳造法によるスパッタリングターゲットの作製(比較例1〜3)>
原料となるインジウム(純度4N)及び銀(純度4N)を用意した。原料中の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定したところ、何れも50質量ppm未満であった。試験番号に応じてAg濃度が表1−1に記載の値となるように、インジウム及び銀をカーボン製のるつぼに入れ、Ar雰囲気で、500℃、5時間加熱して溶解及び合金化し、その後、放置冷却してIn−Ag合金のインゴットを得た。このインゴットを表1−1に記載の寸法になるよう切断・研削等の加工を行って、各スパッタリングターゲットを作製した。最終寸法にまで加工を行ったターゲットを、InSn合金のロウ材を使用してSUS304製のバッキングプレートにボンディングした。
原料となるインジウム(純度4N)及び銀(純度4N)を用意した。原料中の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定したところ、何れも50質量ppm未満であった。試験番号に応じてAg濃度が表1−1に記載の値となるように、インジウム及び銀をカーボン製のるつぼに入れ、Ar雰囲気で、500℃、5時間加熱して溶解及び合金化し、その後、放置冷却してIn−Ag合金のインゴットを得た。このインゴットを表1−1に記載の寸法になるよう切断・研削等の加工を行って、各スパッタリングターゲットを作製した。最終寸法にまで加工を行ったターゲットを、InSn合金のロウ材を使用してSUS304製のバッキングプレートにボンディングした。
<2.アトマイズ法によるスパッタリングターゲットの作製(実施例1〜15、比較例4)>
原料となるインジウム(純度99.99質量%以上(4N))及び銀(純度99.99質量%以上(4N))を用意した。原料中の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定したところ、何れも50質量ppm未満であった。試験番号に応じてAg濃度が表1−1に記載の値となるように、インジウム及び銀をカーボン製のるつぼに入れ、Ar雰囲気で、500℃、5時間加熱して溶解及び合金化し、その後、放置冷却してIn−Ag合金のインゴットを得た。
原料となるインジウム(純度99.99質量%以上(4N))及び銀(純度99.99質量%以上(4N))を用意した。原料中の酸素濃度は不活性ガス融解法で測定したところ、何れも50質量ppm未満であった。試験番号に応じてAg濃度が表1−1に記載の値となるように、インジウム及び銀をカーボン製のるつぼに入れ、Ar雰囲気で、500℃、5時間加熱して溶解及び合金化し、その後、放置冷却してIn−Ag合金のインゴットを得た。
得られたIn−Ag合金のインゴットをアトマイズ装置の溶解槽に入れ、大気雰囲気で300℃〜600℃の温度範囲で溶解し、溶解槽底部から出湯して、アトマイズを実施した。ガスアトマイズの場合、噴射ガスは、表1−1に記載の酸素濃度とし、残りは窒素ガスとし、噴射ガス圧は4MPaとした。噴霧チャンバー内は、アトマイズ開始前に、一旦窒素置換を実施した。また、ディスクアトマイズの場合、噴霧チャンバー内のガスを表1−1に記載の酸素濃度とした。得られたアトマイズ粉末(In−Ag合金粉末)は、メジアン径が30μm〜300μmの範囲となるように分級した後、窒素パックして保管し、次工程にて使用した。
平板状のスパッタリングターゲットを製造する場合は、上記のアトマイズ粉末を所定の金型内に充填した。実施例13及び14については、上記のアトマイズ粉末に加えて、InとAgの合計原子数に対するK、F、Naの原子濃度がそれぞれ表1−1に記載の値となるようにKF粉末又はNaF粉末を上記アトマイズ粉末と均一に混合したのち、所定の金型に充填した。次いで、常温で一軸加圧等によるコールドプレスを70MPaの圧力で実施した。その後、冷間等方圧プレスを180MPaで実施した。最終寸法にまで加工を行ったターゲットを、表1−2に記載のInSn合金のロウ材を使用して無酸素銅製のバッキングプレートにボンディングした。一方、円筒状のスパッタリングターゲットを製造する場合(実施例15)は、バッキングチューブ側面のボンディング領域に、予め0.05〜2mmの厚みで、インジウム層をInめっきにより配置させてから、バッキングチューブと共に上記のアトマイズ粉末に対して、コールドプレスを行わずに冷間等方圧プレスを180MPaで実施した。
その後、実施例11と実施例12のスパッタリングターゲットについては、大気雰囲気下、表1−2に記載の加熱条件でアニールした。
最後に、試験番号に応じて表1−1に記載の寸法になるよう切断・研削等の加工を行って、各スパッタリングターゲットを作製した。各試験例に係るスパッタリングターゲット部材はそれぞれ、下記の試験を実施するのに十分な数を用意した。
<6.相対密度>
上記の製造方法で得られた各試験例に係るスパッタリングターゲット部材について、密度をアルキメデス法により測定し、組成によって定まる理論密度に対する割合(%)を求め、相対密度とした。結果を表1−2に示す。
上記の製造方法で得られた各試験例に係るスパッタリングターゲット部材について、密度をアルキメデス法により測定し、組成によって定まる理論密度に対する割合(%)を求め、相対密度とした。結果を表1−2に示す。
<7.酸素濃度>
上記の製造方法で得られた各試験例に係るアトマイズ粉末から、サンプルを採取し、酸素濃度をLECO社製のTCH600にて、不活性ガス融解法で測定した。結果を表1−2に示す。なお、アトマイズ粉末の酸素濃度はスパッタリングターゲット部材の酸素濃度と実質的に等しいことが経験的に分かっている。
上記の製造方法で得られた各試験例に係るアトマイズ粉末から、サンプルを採取し、酸素濃度をLECO社製のTCH600にて、不活性ガス融解法で測定した。結果を表1−2に示す。なお、アトマイズ粉末の酸素濃度はスパッタリングターゲット部材の酸素濃度と実質的に等しいことが経験的に分かっている。
<8.Ag濃度のばらつき>
上記の製造方法で得られた各試験例に係るスパッタリングターゲット部材について、全体組成、厚み方向の一方の半分における組成、及び厚み方向の他方の半分における組成を先述した方法によりICP装置を用いてそれぞれ求め、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度A(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度B(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度C(原子%)をそれぞれ算出した。結果を表1−2に示す。なお、原子濃度Aは原料の仕込み組成と実質的に同じであった。
上記の製造方法で得られた各試験例に係るスパッタリングターゲット部材について、全体組成、厚み方向の一方の半分における組成、及び厚み方向の他方の半分における組成を先述した方法によりICP装置を用いてそれぞれ求め、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度A(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度B(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度C(原子%)をそれぞれ算出した。結果を表1−2に示す。なお、原子濃度Aは原料の仕込み組成と実質的に同じであった。
<9.考察>
比較例1〜3の結果から分かるように、鋳造法で製造したIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、Ag濃度のばらつき指数が大きかった。
一方、酸素濃度を適切に設定したアトマイズ法でIn−Ag合金粉末を調製後、粉末成形した実施例1〜15のIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、Ag濃度のばらつき指数が顕著に抑制されていることがわかる。
比較例4はアトマイズ法を実施した時に酸素を導入しなかったために、アトマイズ工程からの回収時にIn−Ag合金粉末が凝集し、粉末成形に用いることができなかった。
比較例1〜3の結果から分かるように、鋳造法で製造したIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、Ag濃度のばらつき指数が大きかった。
一方、酸素濃度を適切に設定したアトマイズ法でIn−Ag合金粉末を調製後、粉末成形した実施例1〜15のIn−Ag合金スパッタリングターゲット部材は、Ag濃度のばらつき指数が顕著に抑制されていることがわかる。
比較例4はアトマイズ法を実施した時に酸素を導入しなかったために、アトマイズ工程からの回収時にIn−Ag合金粉末が凝集し、粉末成形に用いることができなかった。
Claims (13)
- In−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材であって、スパッタリングターゲット部材全体におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をA(原子%)、厚み方向の一方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をB(原子%)、厚み方向の他方の半分におけるInとAgの合計原子数を基準としたAgの原子濃度をC(原子%)としたとき、|B−C|/A×100(%)で求められるAg濃度のばらつき指数が10%以下であるスパッタリングターゲット部材。
- InとAgの合計原子数に対してAgを3〜20原子%含有し、残部In及び不可避的不純物からなる全体組成を有する請求項1に記載のスパッタリングターゲット部材。
- 酸素濃度が90質量ppm〜400質量ppmである請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲット部材。
- 相対密度が95%以上である請求項1〜3の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
- Ag濃度のばらつき指数が5%以下である請求項1〜4の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材と、バッキングプレート又はバッキングチューブとが、ロウ材層を介して積層された構造を有するスパッタリングターゲット。
- 前記ロウ材層を構成する物質が、純In、InSn合金及びInZn合金よりなる群から選択される一種以上である請求項6に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記ロウ材層の厚みが0.01mm〜2mmである請求項6又は7に記載のスパッタリングターゲット。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材を用いてスパッタリングする工程を含む成膜方法。
- 噴射ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてガスアトマイズ法を実施するか、又は、雰囲気ガス中に酸素を0.1体積%〜10体積%含ませてディスクアトマイズ法を実施することを含むIn−Ag合金粉末の製造方法。
- In−Ag合金粉末のメジアン径が30μm〜300μmである請求項10に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法。
- 請求項10又は11に記載のIn−Ag合金粉末の製造方法を実施し、次いで、得られたIn−Ag合金粉末をコールドプレス及び/又は静水圧冷間圧縮によりスパッタリングターゲット部材形状の圧粉体に成形することを含むIn−Ag合金の圧粉体で形成されたスパッタリングターゲット部材の製造方法。
- スパッタリングターゲット部材が、請求項1〜5の何れか一項に記載のスパッタリングターゲット部材である請求項12に記載の製造方法。
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