JP2020181970A - 検査装置及びプローブカードの温度調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、従来、プローブの先端位置が安定したか否かを検知する機能が検査装置には実装されていないため、上記事前温度調整を、余裕を見込んだ時間に亘って行うこととしていた。しかし、この方法では、上記事前温度調整がさらに長時間化するため、検査のスループットが低下してしまう。
特許文献1のように、プローブカードに熱電対を設けることで、熱電対を用いた測定結果に基づいて、プローブカードの温度が安定しプローブの先端位置が安定したか否か判定することはできる。しかし、プローブカードの下面にプローブが多数配設されている場合、プローブカードの下面に熱電対を設けることができない。また、プローブカードの下面にプローブが多数配設されている場合、プローブカードの上面には、プローブに対応した電極パッドが設けられているため、当該上面にも熱電対を設けることができない。さらに、装置内においてプローブカードを上方から吸着保持する検査装置の場合、プローブカードと当該プローブカードの直上の構造部材とは、非常に近接している。この点からも、プローブカードの上面に熱電対を設けることは難しい。
アライナ50は、ウェハWが載置される載置台としての後述のチャックトップ51を移動させるものであり、テスタ40の下方の領域内を移動自在に設けられている。具体的には、アライナ50は、チャックトップ51が載置された状態で、上下方向(図のZ方向)、前後方向(図のY方向)及び左右方向(図のX方向)に移動可能に構成されている。したがって、アライナ50は、チャックトップ51とプローブカードとの位置調整等を行う位置調整機構として機能する。なお、アライナ50は、チャックトップ51を真空吸着等により着脱自在に保持可能に構成され、プローブカードを撮像するカメラ61を備えている。
カメラ60は、水平に移動し、当該カメラ60が設けられた分割領域13a内の各テスタ40の前に位置して、アライナ50上のチャックトップ51に載置されたウェハWを撮像する。
カメラ60とカメラ61の協働により、プローブカードのプローブとウェハWに形成された半導体デバイスの電極パッドとの位置合わせを行うことができる。
さらに、テスタ40の下方には、ポゴフレーム70とプローブカード80とがそれぞれ1つずつ上側からこの順で設けられている。
また、ポゴフレーム70の下面には、プローブカード80の取り付け位置を囲繞するように、鉛直方向に伸縮可能に構成された載置台支持部としてのベローズ74が取り付けられている。このベローズ74により、電気的特性検査時に、後述のチャックトップ51上のウェハWをプローブカード80の後述のプローブ82に接触させた状態で、プローブカード80とウェハWを含む密閉空間を形成することができる。また、このベローズ74により、プローブカード80の事前温度調整時等に、プローブカード80とチャックトップ51との間の空間を密閉することもできる。
カード本体81の上面に設けられた上述の複数の電極パッドはそれぞれ対応するプローブ82と電気的に接続されている。また、検査時には、プローブ82はそれぞれ、ウェハWに形成された半導体デバイスの電極パッドや半田バンプと接触する。したがって、電気的特性検査時には、ポゴピン71、カード本体81の上面に設けられた電極及びプローブ82を介して、テスタマザーボード41とウェハW上の半導体デバイスとの間で、検査にかかる電気信号が送受される。
なお、検査装置1は、ウェハWに形成された複数の半導体デバイスの電気的特性検査を一括で行うために、プローブ82は、カード本体81の下面略全体を覆うように多数設けられている。
チャックトップ51は、ウェハWが載置されると共に該載置されたウェハWを吸着等により保持する。このチャックトップ51には、温度調整機構52が埋設されている。温度調整機構52は、電気的特性検査の際にチャックトップ51の温度調整を行うことにより、チャックトップ51に載置されたウェハWの電気的特性時の温度を例えば−30℃〜+150℃に調整すること等ができる。なお、温度調整機構52は、例えば、通電により発熱する電気ヒータや、冷却媒体が通流する冷媒流路、または、これらの組み合わせから構成される。
また、電気的特性検査の際等において、チャックトップ51が上昇されることで、ベローズ74の下面がシール部材(図示せず)によりチャックトップ51と密着し、チャックトップ51とポゴフレーム70とベローズ74で規定される検査空間Sが密閉空間となる。この検査空間を真空引きすると共に、アライナ50によるチャックトップ51の保持を解除し、アライナ50を下方に移動させることにより、チャックトップ51がアライナ50から分離され、ポゴフレーム70側に吸着される。
そして、この事前温度調整のときに、プローブカード80の温度が安定したか否か、すなわち、プローブ82の先端位置が安定したか否かを判定するために、図5に示すように、プローブカード80に抵抗部としての短絡ライン83が形成されている。前述のポゴピン71は、言い換えると、プローブカード80とテスタ40とを電気的に接続する導通ラインであるが、短絡ライン83は、一対の導通ライン間すなわち一対のポゴピン71間を電気的に接続し短絡する導電パターンであると共に、一対の導通ライン間すなわち一対のポゴピン71間の電気抵抗器として機能する。短絡ライン83を構成する導電パターンは、例えばポゴピン71の下端が接触する電極パッドと同じ材料(例えば銅等の金属材料)から、薄膜状且つ線状に形成されている。短絡ライン83の厚さは例えば数μm〜数十μmである。また、短絡ライン83の形成位置は、例えばプローブカード80のカード本体81の上面において、電極パッドが形成されている中央領域内である。短絡ライン83によって短絡される一対のポゴピン71は、プローブ82と電気的に接続されていない。
そのため、検査装置1では、テスタ40が、短絡ライン83により短絡されたポゴピン71を介した電気的信号に基づいて、当該短絡ライン83の電気抵抗を測定する。具体的には、テスタ40が、短絡ライン83によりプローブカード80側の端部が短絡された、一対のポゴピン71のテスタ40側の端部間の電気抵抗を測定する。そして、テスタ40が、上記電気抵抗の測定結果に基づいて、プローブカード80の温度が安定しプローブ82の先端位置が安定したか否か、を判定する。なお、短絡ライン83の電気抵抗を温度変化に対して鋭敏にするため、短絡ライン83内に高抵抗導電体を介在させてもよい。
短絡ライン83は、図6に示すように、その長さが、ポゴピン71の下端間の距離L0より大きくなるように形成されている。具体的には、短絡ライン83は、その長さが、ポゴピン71の下端間の距離L0より大きくなるように、平面視において繰り返し折り返す折り返し形状の折り返しパターン83aを有する。折り返しパターン83aの折り返し方向は、例えば、プローブカード80のカード本体81の径方向である。プローブカード80のカード本体81の寸法は、事前温度調整の際に、周方向に比べ径方向へ大きく変化する。したがって、上述のように、折り返しパターン83aの折り返し方向を、カード本体81の径方向とすることで、事前温度調整でのカード本体81の温度変化が小さくても、折り返しパターン83aを有する短絡ライン83の長さが大きく変化し、その電気抵抗も大きく変化する。したがって、電気抵抗の測定結果に基づくプローブ82の先端位置が安定したか否かの判定をより正確に行うことができる。
なお、プローブカード80のカード本体81の上面には、図7に示すように、多数の電極パッドPが規則的に形成されている。この多数の電極パッドPには、プローブ82と電気的に接続されないものが含まれており、このプローブ82と電気的に接続されない電極パッドPが、短絡ライン83の電極パッド83bとして用いられる。
電極パッドPの寸法は例えば平面視0.6mm×0.6mmであり、電極パッドPの形成ピッチは例えば3mmである。また、折り返しパターン83aは、例えば平面視2mm×2mmの領域内に形成され、折り返しパターン83aの線幅は例えば0.1mmである。
電気的特性検査の際は、まず、ユーザ操作等に基づいて、当該検査時のウェハWの設定温度が、新規に設定され、または変更され設定される(ステップS1)。電気的特性検査時のウェハWの設定温度は、分割領域13a毎に共通である。
そして、電気的特性検査に先立って、制御部22の制御の下、プローブカード80の事前温度調整が行われる(ステップS2)。具体的には、温度調整機構52が制御部22により制御され、ウェハWが載置されておらずポゴフレーム70に取り付けられたチャックトップ51が、電気的特性検査時のウェハWの設定温度に対応する温度に調整される。この温度調整されたチャックトップ51による加熱または当該チャックトップ51による冷却によって、プローブカード80の温度調整が行われる。この温度調整の際、チャックトップ51とプローブ82とを離間させた状態で、輻射によりプローブカード80が加熱又は冷却される。また、チャックトップ51とプローブ82とを当接させ、上記輻射とプローブ82とを介した伝熱によりプローブカード80の加熱又は冷却を行うようにしてもよい。
プローブカード80の温度調整中、短絡ライン83の電気抵抗が、テスタ40によって測定される(ステップS3)。例えば、上記電気抵抗が、テスタ40のテスタマザーボード41に設けられた電気抵抗測定回路によって測定される。
そして、上記電気抵抗の測定結果に基づいて、プローブカード80の温度が安定したか否か、すなわち、プローブ82の先端位置が安定したか否かが、テスタ40により判定される(ステップS4)。例えば、測定された上記抵抗率の単位時間当たりの変化量(の絶対値)が閾値以下となった場合に、プローブ82の先端位置が安定したと判定される。
また、上記電気抵抗の測定結果に基づいて、短絡ライン83の温度が算出され、当該温度がプローブカード80の温度と推定されるようにしてもよい。そして、上記温度の推定結果に基づいて、プローブカード80の温度が予め定められた温度に達したか否かが判定され、達した時点でプローブ82の先端位置が安定したと判定されるようにしてもよい。
一方、プローブ82の先端位置が安定した、と判定された場合(YESの場合)、プローブカード80の事前温度調整が終了する。
プローブカード80の温度調整後、検査対象のウェハWとプローブカード80との位置合わせが行われる(ステップS5)。具体的には、搬送装置30等が制御部22により制御され、搬入出領域11のポート20内のカセットCからウェハWが取り出されて、検査領域13内に搬入され、アライナ50上のチャックトップ51上に載置される。次いで、アライナ50、カメラ60、61が制御部22により制御され、カメラ60でのウェハWの撮像結果とカメラ61によるプローブ82の撮像結果とに基づいて、チャックトップ51上のウェハWとプローブカード80との水平方向にかかる位置合わせが行われる。続いて、プローブカード80のプローブ82とウェハWに形成された半導体デバイスの電極とが接触するまでチャックトップ51が上昇される。その後、プローブ82と上記電極が接触した状態で、バキューム機構(図示せず)が駆動されると共にアライナ50が下降され、これにより、チャックトップ51が切り離され、当該チャックトップ51がポゴフレーム70に吸着される。
なお、プローブ82と半導体デバイスの電極とを接触させる前に、温度調整機構52が制御部22に制御され、電気的特性検査時のウェハWの設定温度に、ウェハWが温度調整される。
また、カメラ61でプローブ82を撮像する際に、複数回撮像が行われるようにし、この撮像結果に基づいて、プローブ82の先端位置が実際に安定したか否かの判定が行われるようにしてもよい。実際に安定していない場合は、検査処理が中断されるようにしてもよい。
上記位置合わせ後、テスタ40からポゴピン71等を介してプローブ82に電気的特性検査用の電気信号が入力され、電子デバイスの電気的特性検査が開始される(ステップS6)。検査中は、制御部22により温度調整機構52が制御され、チャックトップ51に載置されたウェハWの温度が、設定温度に調整される。
この電気的特性検査の際にも、短絡ライン83の電気抵抗が測定されるようにしてもよい。この電気抵抗の測定結果に基づいて、例えば、半導体デバイスの異常発熱によりプローブカード80の温度が変化しているか否かの判定を、テスタ40や制御部22で行うことができる。なお、上記異常発熱は、例えば、半導体デバイス内で短絡が生じているときに発生する。
なお、一のテスタ40での検査中、アライナ50によって、他のテスタ40へのウェハWの搬送や他のテスタ40からのウェハWの回収が行われる。
また、本実施形態によれば、プローブの先端位置が安定したか否かを判定することができるため、プローブカード80の事前温度調整を行う時間に、余裕を見込む必要がないので、電気的特性検査のスループットを向上させることができる。
さらに、短絡ライン83は、電極パッドPの形成時に一緒に形成することができ、素子の実装が不要であるため、プローブカード80の製造が複雑になることがない。
なお、本実施形態では、上述のように、短絡ライン83の電気抵抗の測定結果に基づいて、プローブカード80の温度を推定してもよい。
短絡ライン83は、上記周縁領域に設けられる場合、図示するように、折り返しパターン83aと電極パッド83bとを接続する接続パターン83cを有する。また、周縁領域に設けられる場合、短絡ライン83の折り返しパターン83aは中央領域に設ける場合に比べて大きく形成することができ、例えば、平面視5mm×5mmの領域内に形成することができる。したがって、短絡ライン83を長くし、その電気抵抗を大きくすることができる。
図の短絡ライン83は、プローブカード80の周方向に延びる周方向パターン83dを有する。本例の短絡ライン83では、簡易な形状でその長さを大きくすることができ、短絡ライン83の電気抵抗を大きくすることができる。
さらに、上述のように複数の領域それぞれにライン&ピン・セットを設ける場合、電気的特性検査の際にも、短絡ライン83の電気抵抗が測定されるようにすることで、以下の効果がある。すなわち、ウェハWからの伝熱によりプローブカード80にウェハWの温度が反映されるため、上記電気抵抗の測定結果に基づいて、電気的特性検査時のウェハWの温度の面内傾向を取得することができる。
また、上述のように、短絡ライン83の電気抵抗の測定結果に基づいて、電気的特性検査時のウェハWの温度の面内傾向が取得された場合、その面内傾向に基づいて、温度調整機構52によって、ウェハWの温度が局所的に制御されるようにしてもよい。
例えば、プローブカード80には様々な種類があり、種類毎に、プローブカード80の熱伝導性が異なる場合がある。また、プローブカード80の熱伝導性が異なると、ポゴフレーム70の事前温度調整時におけるプローブカード80の温度の時間変化率も異なる。そして、プローブカード80の熱伝導性が異なると、当該プローブカード80の周囲に位置するポゴフレーム70の事前温度調整後の最終的な温度も異なってくる。また、ポゴフレーム70は、その温度に応じて変形したりする。
したがって、テスタ40が、例えば、短絡ライン83の電気抵抗の測定結果に基づいて、ポゴフレーム70の事前温度調整時におけるプローブカード80の温度の時間変化率を取得し、その取得結果に基づいて、ポゴフレーム70の状態すなわち温度や形状を予測するようにしてもよい。なお、上記電気抵抗の測定結果と、ポゴフレーム70の状態との関係を示すデータは予め取得される。
(1)検査対象基板を検査する検査装置であって、
前記検査対象基板に接触するプローブを有するプローブカードと、
前記プローブを介して、前記検査対象基板との間で検査に関する電気的信号を送受するように構成されたテスタと、
前記プローブカードと前記テスタとの間を電気的に接続し且つ少なくともその一部が前記プローブに電気的に接続される複数の導通ラインと、
前記プローブカードに形成され、電気抵抗器として機能する抵抗部と、を有し、
前記テスタは、さらに、前記導通ラインを介した電気的信号に基づいて、前記抵抗部の抵抗を測定するように構成されている、検査装置。
前記(1)によれば、プローブカードに多数のプローブが配設されている場合でも、プローブカードの事前温度調整のときにプローブの先端位置が安定したか否かを判定することができる。
前記抵抗部は、前記プローブカードの前記複数の領域それぞれに対して設けられている、前記(5)に記載の検査装置。
前記(5)によれば、事前温度調整時に、プローブカードの温度の面内傾向等を取得することができる。
前記(8)によれば、短絡ラインの電気抵抗が大きいため、プローブの先端位置が安定したか否かをより正確に判定することができる。
前記(9)によれば、事前温度調整でのプローブカードの温度変化が小さくても、短絡ラインの長さが大きく変化し、その電気抵抗も大きく変化するため、電気抵抗の測定結果に基づくプローブの先端位置が安定したか否かの判定をより正確に行うことができる。
前記検査装置は、
前記プローブカードが有するプローブを介して、前記検査対象基板との間で検査に関する電気的信号を送受するように構成されたテスタと、
前記プローブカードと前記テスタとの間を電気的に接続し且つ少なくともその一部が前記プローブに電気的に接続される複数の導通ラインと、
前記プローブカードに形成され、電気抵抗器として機能する抵抗部と、を有し、
当該温度調整方法は、
前記プローブカードを加熱または冷却する工程と、
前記導通ラインを介した電気的信号に基づいて、前記抵抗部の抵抗を測定する工程と、
前記抵抗の測定結果に基づいて、前記プローブカードの温度が安定したか否か判定する工程と、を含む、プローブカードの温度調整方法。
40 テスタ
71 ポゴピン
80 プローブカード
82 プローブ
83 短絡ライン
P 電極パッド
W ウェハ
Claims (12)
- 検査対象基板を検査する検査装置であって、
前記検査対象基板に接触するプローブを有するプローブカードと、
前記プローブを介して、前記検査対象基板との間で検査に関する電気的信号を送受するように構成されたテスタと、
前記プローブカードと前記テスタとの間を電気的に接続し且つ少なくともその一部が前記プローブに電気的に接続される複数の導通ラインと、
前記プローブカード内に形成され、電気抵抗器として機能する抵抗部と、を有し、
前記テスタは、さらに、前記導通ラインを介した電気的信号に基づいて、前記抵抗部の抵抗を測定するように構成されている、検査装置。 - 前記テスタは、さらに、前記抵抗の測定結果に基づいて、前記プローブの位置が安定したか否か判定するように構成されている、請求項1に記載の検査装置。
- 前記テスタは、さらに、前記抵抗の測定結果に基づいて、前記プローブカードの温度を推定するように構成されている、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記抵抗部は、前記プローブカードの前記プローブ側、前記テスタ側及びカード内部の少なくともいずれか1つに形成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記抵抗部は複数形成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記プローブカードは複数の領域に区画され、
前記抵抗部は、前記プローブカードの前記複数の領域それぞれに対して設けられている、請求項5に記載の検査装置。 - 前記抵抗部は、薄膜状且つ線状に形成され且つ一対の前記導通ライン間を短絡する短絡ラインである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記短絡ラインの長さは、前記一対の導通ラインの前記プローブカード側端間の距離よりも大きい、請求項7に記載の検査装置。
- 前記短絡ラインは、前記プローブカードの径方向に繰り返し折り返す折り返し形状を有する、請求項8に記載の検査装置。
- 前記テスタは、さらに、前記抵抗の測定結果に基づいて、前記プローブカードの周囲の部材の状態を予測するように構成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記テスタは、前記部材の状態の予測結果に基づいて、当該部材に関する制御を行うように構成されている、請求項10に記載の検査装置。
- 検査対象基板を検査する検査装置に設けられたプローブカードを検査前に温度調整するプローブカードの温度調整方法であって、
前記検査装置は、
前記プローブカードが有するプローブを介して、前記検査対象基板との間で検査に関する電気的信号を送受するように構成されたテスタと、
前記プローブカードと前記テスタとの間を電気的に接続し且つ少なくともその一部が前記プローブに電気的に接続される複数の導通ラインと、
前記プローブカード内に形成され、電気抵抗器として機能する抵抗部と、を有し、
当該温度調整方法は、
前記プローブカードを加熱または冷却する工程と、
前記導通ラインを介した電気的信号に基づいて、前記抵抗部の抵抗を測定する工程と、
前記抵抗の測定結果に基づいて、前記プローブカードの温度が安定したか否か判定する工程と、を含む、プローブカードの温度調整方法。
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