JP2020140069A - 露光装置およびアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
を算出する(S102)。そして、求められたチップ配列誤差量から、最小二乗法などを用いて線形成分を抽出し(S103)、これを取り除くことによって、各チップの固有位置ずれ量となるX、Y、θ成分を求める(S104)。
40 ステージ
42 ステージ駆動部
50 制御部
W 基板
AM アライメントマーク
R レチクル
Claims (5)
- 基板上の複数のチップに対し露光可能であって、チップ毎に形成されたアライメントマークの位置情報を測定する独立した測定装置との間で通信可能な露光装置であって、
前記基板に設けられたGA(グローバルアライメント)用アライメントマークの位置を測定する測定部を備え、
各チップのアライメントマーク位置情報から得られる各チップの固有位置ずれ量と、前記測定部によって測定されたGA用アライメントマークの位置情報とに基づいて、アライメントすることを特徴とする露光装置。 - 各チップのアライメントマーク位置情報から基板全体に関わる変形量を除外することによって得られるダイシフト量を、固有位置ずれ量として求める演算部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記演算部が、線形成分の変形量を除外することによって、ダイシフト量を求めることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 基板上の複数のチップに対し露光可能な露光装置と通信可能な測定装置であって、
チップ毎に形成されたアライメントマークの位置情報を測定するアライメントマーク測定部を備え、
各チップのアライメントマーク位置情報から得られる各チップの固有位置ずれ量を求め、固有位置ずれ量のデータを前記露光装置に送信することを特徴とする測定装置。 - アライメントマークの位置を測定する、露光装置とは独立した測定装置によって、複数のチップを2次元配置させた基板に設けられる、各チップのアライメントマーク位置を測定し、
前記露光装置に設けられた測定部によって、前記基板に設けられたGA(グローバルアライメント)用アライメントマークの位置を測定し、
前記測定装置または前記露光装置によって、各チップのアライメントマーク位置情報から得られる各チップの固有位置ずれ量と、前記測定部によって測定されたGA用アライメントマークの位置情報とに基づいて、アライメントすることを特徴とするアライメント方法。
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