JP2020136327A - 検査装置、実装装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[検査対象]
図1〜図3を参照して、本実施形態による検査対象Tを説明する。検査対象Tは、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリード11、21を有する第1のワーク1及び第2のワーク2である。第1のワーク1及び第2のワーク2は、リード11、21の位置合わせのための基準マーク11a、21a(図3参照)を有する。本実施形態の検査対象Tは、第1のワーク1及び第2のワーク2と、リード11、21を電気的及び機械的に接続するためのACF3を含む。
本実施形態の実装装置100は、図5に示すように、圧着装置40によって、ACF3を介して第1のワーク1及び第2のワーク2の互いのリード11、21を加熱圧着し、この第1のワーク1及び第2のワーク2を検査対象Tとして、検査装置50がリード11、21の位置ずれを検査する装置である。まず、圧着装置40について説明する。
圧着装置40の構成を、図6を参照して説明する。なお、図中、第1のワーク1及び第2のワーク2が加圧される加圧方向に沿う方向をz方向とする。z方向に直交する平面において、複数のリード11、21の並び方向をx方向とし、x方向に直交するリード11、21の長手方向に沿う方向をy方向とする。これらの方向は、各装置の各構成の位置関係を述べるための表現であり、各装置が設置対象に設置された際の位置関係や方向を限定するものではない。
次に、検査装置50の構成を、図7を参照して説明する。検査装置50は、ステージ60、撮像部70、照明部80、制御装置90を有する。なお、以下の説明では、リード11、21を撮像するための光軸に沿う方向がz方向である。
(ステージ)
ステージ60は、ACF3を介して加熱圧着済みの検査対象Tを載置する部材である。ステージ60は、水平方向の板状の部材である。ステージ60の上面は、第1のワーク1とは反対側の第2のワーク2の面が接するxy平面である載置面610を有する。
撮像部70は、検査対象Tを撮像する。つまり、検査対象Tの基準マーク11a、21aが含まれるように、検査対象Tを撮像する。基準マーク11a、21aが含まれるとは、基準マーク11a、21aの少なくとも一部が含まれていればよい。また、基準マーク11a、21a以外のリード11、21が含まれていてもよい。本実施形態では、基準マーク11a、21aとともに、リード11、21の一部が含まれるように撮像する。なお、本実施形態では、撮像部70に近い側が第1のワーク1であって上側となり、遠い側が第2のワーク2となって下側となるように重ね合わされるが、これと逆であってもよい。
照明部80は、検査対象Tに対して光を照射する。照明部80は、第1の照明装置81、第2の照明装置82、第3の照明装置83を有する。第1の照明装置81は、光源からの光を、カメラ71の光軸と平行な方向で照射する同軸落射照明装置である。第1の照明装置81は、カメラ71のレンズを内蔵した鏡筒73の側面から、鏡筒73内に光を照射するLED等の光源と、光源からの光の方向を変換して検査対象Tに照射させるハーフミラーを有する。
制御装置90は、圧着装置40、検査装置50を制御する装置である。制御装置90は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成される。制御装置90は、各部の制御内容のプログラムがメモリに記憶されており、PLCやCPUなどの処理装置によりそのプログラムが読み出されて実行される。
Dy=2{AVE(YT2,YB2)−AVE(YT1,YB1)}
=2(YC2−YC1) …式(2)
次に、本実施形態の動作例を、図1〜図10に加えて、図11のフローチャートを参照して説明する。
まず、図6に示すように、第1のワーク1がACF3を介して仮圧着された第2のワーク2が、支持部43のステージ43aに載置され、移動装置43bによって、第2のワーク2、第1のワーク1が圧着位置に来る。そして、圧力受部42が上昇して、バックアップ部42aの受け面が、第2のワーク2の下面に接する位置に来る。加圧部材41a、バックアップ部42aは、それぞれ加熱部41b、42bによって加熱されている。
以上のように第1のワーク1が加熱圧着された第2のワーク2、つまり、検査対象Tは、図7に示すように、第2のワーク2側がステージ60の載置面610に載置され、保持部611により吸着保持される(ステップS101)。このとき、開口612の上に、リード11、21の一部を含む基準マーク11a、21aが来る。
(1)以上のような実施形態の検査装置50は、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリード11、21と、リード11、21の位置合わせのための基準マーク11a、21aとを有する第1のワーク1及び第2のワーク2がリード同士の位置を合わせるように重ね合わされた(具体的には、熱圧着された)ものを検査対象Tとする。検査装置50は、基準マーク11a、21aが含まれるように撮像された撮像画像CPから、第1のワーク1の基準マーク11aの画像を抽出した第1のマーク画像M1を含む第1の抽出画像CPaを生成する第1の抽出部92と、撮像画像CPから、第2のワーク2の基準マーク21aの画像を抽出した第2のマーク画像M2を含む第2の抽出画像CPbを生成する第2の抽出部93を有する。また、検査装置50は、第1の抽出画像CPa及び第2の抽出画像CPbに基づいて、第1のワーク1のリード11と第2のワーク2のリード21との位置ずれを検出する検出部95を有する。
基準マーク11a、21aの形状や位置は、上記の態様には限定されない。リード11、21と連続していても、リード11、21から独立していてもよい。また、リード11、21の一部を基準マーク11a、21aとして用いてもよい。例えば、リード11のいずれか1つ、これに重ね合わされるべきリ1つのリード21を、基準マーク11a、21aとしてもよい。
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
1a、2a 基材
2 第2のワーク
11、21 リード
11a、21a 基準マーク
3 ACF
31 基材
32 導電粒子
40 圧着装置
41 圧着部
41a 加圧部材
41b 加熱部
41c 圧力調整部
42 圧力受部
42a バックアップ部
42b 加熱部
43 支持部
43a ステージ
43b 移動装置
50 検査装置
60 ステージ
70 撮像部
71 カメラ
72 筐体
73 鏡筒
80 照明部
81 第1の照明装置
82 第2の照明装置
83 第3の照明装置
90 制御装置
91 機構制御部
92 第1の抽出部
93 第2の抽出部
94 合成部
95 検出部
95a 位置検出部
95b 測定部
96 判定部
97 記憶部
98 入出力制御部
99a 入力装置
99b 出力装置
100 実装装置
411 加圧部
610 載置面
611 保持部
612 開口
CP 撮像画像
CPa 第1の抽出画像
CPb 第2の抽出画像
CPc 合成画像
Dx、Dy ずれ量
M1 第1のマーク画像
M2 第2のマーク画像
M3 合成マーク画像
T 検査対象
Claims (6)
- 互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第1のワーク及び第2のワークである検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第1のワークの基準マークの画像を抽出した第1のマーク画像を含む第1の抽出画像を生成する第1の抽出部と、
前記撮像画像から、前記第2のワークの基準マークの画像を抽出した第2のマーク画像を含む第2の抽出画像を生成する第2の抽出部と、
前記第1の抽出画像及び前記第2の抽出画像に基づいて、前記第1のワークのリードと前記第2のワークのリードとの位置ずれを検出する検出部と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記第1のマーク画像と前記第2のマーク画像とを、前記撮像画像における互いの位置を維持した状態で合成した合成マーク画像を含む合成画像を生成する合成部を有し、
前記検出部は、
前記第1のマーク画像及び前記第2のマーク画像の少なくとも一方の位置と、前記合成マーク画像の位置とを検出する位置検出部と、
前記位置検出部により検出された位置に基づいて、前記第1のワークのリードと前記第2のワークのリードの位置ずれの量を測定する測定部と、
を有することを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 前記第1の抽出部及び前記第2の抽出部は、共通の前記撮像画像から、前記第1の抽出画像及び前記第2の抽出画像を生成することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の検査装置。
- 前記撮像画像を生成するために、前記検査対象を撮像する撮像部と、
前記検査対象に対して、前記撮像部の光軸の周囲から光を照射するリング照明を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の検査装置。 - 異方性導電フィルムを介して、第1のワーク及び第2のワークの互いのリードを加熱圧着する圧着装置と、
請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置と、
を有することを特徴とする実装装置。 - 第1の抽出部が、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第1のワーク及び第2のワークを含む検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第1のワークの基準マークの画像を抽出した第1のマーク画像を含む第1の抽出画像を生成し、
第2の抽出部が、前記撮像画像から、前記第2のワークの基準マークの画像を抽出した第2のマーク画像を含む第2の抽出画像を生成し、
検出部が、前記第1の抽出画像及び前記第2の抽出画像に基づいて、前記第1のワークのリードと前記第2のワークのリードとの位置ずれを検出する、
ことを特徴とする検査方法。
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JP2013015328A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 表示パネル検査装置及び表示パネル検査方法 |
JP2013225545A (ja) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Hitachi High-Technologies Corp | Fpdモジュール組立装置、および、圧着ヘッド制御方法 |
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