JP2020128723A - チューブ体及びポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(以下、「ウェハ」という)等の被処理体上に反射防止膜やレジスト膜などの塗布膜を形成したり、露光後のレジスト膜を現像したりするために、レジスト液や現像液等の処理液が用いられる。
図1は、本実施形態にかかるチューブ体を採用し、処理液供給系に組み込んだレジスト塗布装置10の構成の概略を示す縦断面図である。
次に、処理液吐出部としての塗布ノズル21に対しレジスト液を供給するレジスト液供給装置30の構成について説明する。図2は、レジスト液供給装置30の構成の概略を示す説明図である。レジスト液供給装置30は、例えばケミカル室(図示せず)内に設けられている。なおケミカル室とは、各種処理液を液処理装置に供給するためのものである。
ポンプ装置100の構成を、図3〜図6に基づいて詳述する。図3は、ポンプ装置100の側面を示している。ポンプ装置100は、その両端部に、流路54に接続されるための接続部101、102を有している。そしてポンプ装置100は、図4、図5、図6に示したように、外側チューブ体110と、当該外側チューブ体110内に収容されたチューブ体120を有している。
実施の形態にかかるポンプ装置100は、以上の構成を有しており、バッファタンク32からの処理液、例えばレジスト液がポンプ装置100のチューブ体120内に所定量供給されると、バルブV14が閉鎖、バルブV15、バルブV21が開放される。この状態で電空レギュレータ62を介して、所定圧の流体、例えばエアが、給排気管60から外側チューブ体110とチューブ体120との間の空間Sに供給されると、チューブ体120の長辺部121、122に対しては、図6に示したように、内側に向けて圧力が加えられる。
本開示にかかる技術は、前記した形状に限られるものではない。図10〜図15に示した形状のチューブ体は、いずれも応力の集中を抑えつつ、さらに他の作用効果も奏することが可能になっている。
(1)送液部材に使用され、加圧によって変形可能な中空のチューブ体であって、
前記チューブ体の軸方向断面は、各々対向する2つの長辺部と2つの短辺部を有し、
前記各長辺部と前記各短辺部が成す、4つのコーナー部分は外側に凸に湾曲した形状を有し、
前記各長辺部は、前記コーナー部分から続く、内側に凹んだ凹部を有し、
前記各短辺部における前記コーナー部分以外の部分は、平坦形状である、送液部材用チューブ体。
ここでいう平坦形状とは、軸方向断面の形状が直線の場合のみならず、たとえば±110mm程度の湾曲した形状も含まれる。ただしこのときでも、長辺方向の幅、すなわち図7や図9で示したBの長さの20%以下が望ましい。
(2)前記長辺部の凹部は、平坦部を有する、(1)に記載のチューブ体。
(3)前記長辺部の凹部は、内側に凸の湾曲形状部を有する、(1)に記載のチューブ体。
(4)前記長辺部の凹部における少なくとも中央は、前記チューブ体の他の部分よりも肉厚である、(1)〜(3)のいずれかに記載のチューブ体。
(5)前記長辺部の凹部の直線長は、前記長辺部の長さの20〜60%である、(1)〜(4)のいずれかに記載のチューブ体。
(6)前記前記長辺部の凹部の直線長は、前記各短辺部における平坦形状の部分の長さの100〜140%である、(1)〜(5)のいずれか一項に記載のチューブ体。
(7)前記長辺部の長さは、前記各長辺部の各凹部相互間の距離の150〜190%である、(1)〜(6)のいずれかに記載のチューブ体。
(8)上記(1)〜(7)のいずれかのチューブ体の外側に、空間を隔てて外側チューブ体を有し、前記空間内に気体を供給することで、前記チューブ体内の液体を送液し、前記空間内の雰囲気を吸引することで、前記チューブ体内に、送液対象の液体を補充するようにしたポンプ装置。
11 処理容器
21 塗布ノズル
30 レジスト液供給装置
31 レジスト液貯留タンク
32 バッファタンク
33 第1の処理液供給管
51 第2の処理液供給管
54 流路
60 給排気管
62 電空レギュレータ
101、102 接続部
103 孔
110 外側チューブ体
120 チューブ体
121、122 長辺部
121a、122a 凹部
123、124 短辺部
131、132、133、134 コーナー部分
W ウェハ
Claims (8)
- 送液部材に使用され、加圧によって変形可能な中空のチューブ体であって、
前記チューブ体の軸方向断面は、各々対向する2つの長辺部と2つの短辺部を有し、
前記各長辺部と前記各短辺部が成す、4つのコーナー部分は外側に凸に湾曲した形状を有し、
前記各長辺部は、前記コーナー部分から続く、内側に凹んだ凹部を有し、
前記各短辺部における前記コーナー部分以外の部分は、平坦形状である、送液部材用チューブ体。 - 前記長辺部の凹部は、平坦部を有する、請求項1に記載のチューブ体。
- 前記長辺部の凹部は、内側に凸の湾曲形状部を有する、請求項1に記載のチューブ体。
- 前記長辺部の凹部における少なくとも中央は、前記チューブ体の他の部分よりも肉厚である請求項1〜3のいずれか一項に記載のチューブ体。
- 前記長辺部の凹部の直線長は、前記長辺部の長さの20〜60%である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のチューブ体。
- 前記前記長辺部の凹部の直線長は、前記各短辺部における平坦形状の部分の長さの100〜140%である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のチューブ体。
- 前記長辺部の長さは、前記各長辺部の各凹部相互間の距離の150〜190%である、請求項1〜6のいずれか一項に記載のチューブ体。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のチューブ体の外側に、空間を隔てて外側チューブ体を有し、
前記空間内に気体を供給することで、前記チューブ体内の液体を送液し、
前記空間内の雰囲気を吸引することで、前記チューブ体内に、送液対象の液体を補充するようにしたポンプ装置。
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