JP6570778B1 - チューブフラムポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】チューブフラムを動作させる圧力伝達媒体が不要となると共に、チューブフラムの変形量と移送流体の吐出量との間にリニアリティを持たせつつチューブフラムを容易に交換可能にする。【解決手段】チューブフラムポンプは、内部に移送流体が導入されると共に、導入された移送流体が外部に排出されるポンプ室を形成するポンプヘッド部を有するチューブフラムと、チューブフラムを保持すると共にポンプヘッド部を移送流体の移送方向と交差する方向に直接押引してポンプ室を伸縮させる駆動ヘッドと、駆動ヘッドを、ポンプ室を伸縮させる駆動方向に往復駆動する駆動手段と、駆動手段を制御する制御部とを備え、チューブフラムは、ポンプ室の移送流体の移送方向と交差する断面形状が駆動手段による駆動方向の長さよりもこれと交差する方向の長さが長い扁平形状である。【選択図】図１

Description

本発明は、チューブフラムポンプに関する。

管状柔軟部材であるチューブフラムを変形させて微少流量の移送流体を送液するチューブフラムポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種のチューブフラムポンプは、チューブフラムの外側の圧力伝達媒体を加減圧することで、チューブフラムを収縮・膨張させて移送流体を移送する。

特開２００９−０４７０９０号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示されたチューブフラムポンプは、ポンプ室の容積を可変させるチューブフラムを、高分子ゲルからなる圧力伝達媒体によって収縮・膨張させている。このため、水や油等の液体を圧力伝達媒体として用いた場合よりも漏れや気泡の発生を抑えることはできるが、依然として圧力伝達媒体をポンプヘッドに封入する必要があるので、漏れの問題が発生する。加えて、この種のチューブフラムポンプは、チューブフラムの交換が煩雑であると共にポンプヘッドの小型化が図り難いという問題がある。

また、圧力伝達媒体に万が一漏れが生じた場合は、ポンプ周辺環境の汚染が問題となると共に、通常用いられる断面形状が円形のチューブフラムでは、チューブフラムの変形量（潰し量）と移送流体の吐出量との間にリニアリティを持たせることはできないという問題もある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、チューブフラムを動作させる圧力伝達媒体が不要となると共に、チューブフラムの変形量と移送流体の吐出量との間にリニアリティを持たせつつチューブフラムを容易に交換可能にすることができるチューブフラムポンプを提供することを目的とする。

本発明に係るチューブフラムポンプは、内部に移送流体が導入されると共に、導入された移送流体が外部に排出されるポンプ室を形成するポンプヘッド部を有するチューブフラムと、前記チューブフラムを保持すると共に前記ポンプヘッド部を前記移送流体の移送方向と交差する方向に直接押引して前記ポンプ室を伸縮させる駆動ヘッドと、前記駆動ヘッドを、前記ポンプ室を伸縮させる駆動方向に往復駆動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御部とを備え、前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送流体の移送方向と交差する断面形状が前記駆動手段による駆動方向の長さよりもこれと交差する方向の長さが長い扁平形状であることを特徴とする。

本発明の一実施形態において、前記制御部は、前記ポンプ室の前記駆動方向に対向する一対の接液面が互いに接触しないストロークで前記駆動ヘッドを往復駆動するように前記駆動手段を制御する。

本発明の他の実施形態において、前記チューブフラムは、前記ポンプ室の外周面側に、前記ポンプ室の前記駆動方向の外側に突出するリブを有する。

本発明の更に他の実施形態において、前記駆動ヘッドは、前記リブを挟持する固定部材を有する。

本発明の更に他の実施形態において、前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送方向に直交する断面形状が、六角形状、長円形状又は楕円形状である。

本発明の更に他の実施形態において、前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送方向と直交する断面において、前記駆動方向に対向する壁部の肉厚が、前記駆動方向と交差する方向に対向する壁部の肉厚よりも厚い。

本発明によれば、チューブフラムを動作させる圧力伝達媒体が不要となると共に、チューブフラムの変形量と移送流体の吐出量との間にリニアリティを持たせつつチューブフラムを容易に交換可能にすることができる。

本発明の一実施形態に係るチューブフラムポンプの全体構成を概略的に示す説明図である。 同チューブフラムポンプの構成を概略的に示す説明図である。 同チューブフラムポンプのチューブフラムを示す斜視図である。 同チューブフラムを示す平面図である。 同チューブフラムを示す側面図である。 図４のＢ−Ｂ´線拡大断面図である。 図１のＡ−Ａ´線拡大断面図である。 同チューブフラムポンプの動作を示すタイムチャートである。 同チューブフラムポンプの動作の直線性（リニアリティ）を示すグラフである。 本発明の他の実施形態に係るチューブフラムポンプのチューブフラムを示す断面図である。 本発明の更に他の実施形態に係るチューブフラムポンプのチューブフラムを示す断面図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係るチューブフラムポンプを詳細に説明する。ただし、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

［第１の実施形態］
［チューブフラムポンプ及びポンプシステムの構成］
図１は、本実施形態に係るチューブフラムポンプ１を含むポンプシステム１００の全体構成を示す図である。本実施形態のチューブフラムポンプ１は、例えば定量ポンプとして用いられ、移送流体として、例えば半導体ウェハ２０の上面に塗布するレジストＲを送液するが、本発明は、これに限定されるものではない。なお、図１はレジストＲの吸込工程終了時のチューブフラムポンプ１の状態を示し、図２はレジストＲの吐出工程終了時のチューブフラムポンプ１の状態を示している。

図１及び図２に示すように、チューブフラムポンプ１は、図示しない固定部に固定されるポンプ本体３と、このポンプ本体３によって駆動されるチューブフラム５とを有する。

ポンプ本体３は、チューブフラム５を保持すると共に押圧する駆動ヘッド８と、この駆動ヘッド８を、ボールねじ６を介して駆動する駆動手段としてのステッピングモータ７とを有する。ポンプ本体３は、フレーム２に支持されている。フレーム２は、複数枚の枠体２ａ，２ｂ，２ｃ及び２ｄと、これら枠体２ａ〜２ｄの間を固定する複数本の支柱２ｅ，２ｆ及び２ｇ等から構成されている。枠体２ａは、図示しない固定部に固定される。枠体２ａ，２ｂの間にはステッピングモータ７が保持される。ステッピングモータ７の駆動軸は、ボールねじ６を介して駆動ヘッド８に連結されている。

駆動ヘッド８は、チューブフラム５を保持する固定部材８ａ，８ｂと、固定部材８ａを往復駆動する駆動部材８ｃを備える。駆動部材８ｃは、枠体２ｃの中心孔を貫通し、ボールねじ６と連結されて往復駆動される。固定部材８ａは、駆動部材８ｃの先端に固定されている。固定部材８ｂは、前方の枠体２ｄの後面に固定され、固定部材８ａと対向配置されている。固定部材８ａ，８ｂは、チューブフラム５を前後から保持する。枠体２ｄは、ネジ２ｈによって枠体２ｃから適宜取り外すことができる。

チューブフラム５は、例えば四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）からなり、ブロー成形により形成されている。図３〜図６に示すように、チューブフラム５は、上下に円筒状の吸込口５ａ及び吐出口５ｂを同軸配置し、その間に拡幅されたポンプヘッド部５ｃを有する。ポンプヘッド部５ｃは、内部にポンプ室４を形成し、駆動ヘッド８によって駆動方向ＰＰに直接押引される。これによりポンプ室４が伸縮する。この伸縮に伴うポンプ動作により、ポンプ室４には、移送流体であるレジストＲが移送方向Ｐに沿って移送される。チューブフラム５のポンプヘッド部５ｃの移送方向Ｐと直交する断面形状は、図６に示すように、ポンプヘッド部５ｃの駆動方向ＰＰよりも、これと交差する方向の長さが長い扁平形状となっている。

チューブフラム５は、本実施形態においては、ポンプヘッド部５ｃの移送流体の移送方向Ｐに直交する断面形状が、例えば六角形状となるように形成されている。なお、ポンプ室４の断面形状はこれに限定されるものではない。

また、チューブフラム５は、本実施形態においては、ポンプヘッド部５ｃの外周面側に、駆動方向ＰＰの外側に突出し移送方向Ｐに沿って延びるように形成された一対のリブ５ｄを有する。これらリブ５ｄは、図６に示すように、移送方向Ｐと直交する断面が、ポンプヘッド部５ｃの外周面側から突出するほど幅が拡がる逆台形状となるように形成されている。なお、リブ５ｄの断面形状は、これに限定されるものではない。

チューブフラム５のリブ５ｄは、図７に示すように、駆動ヘッド８の固定部材８ａ，８ｂに挟持される。すなわち、固定部材８ａ，８ｂは、それぞれ通し孔８３が形成された第１金具８１ａ、ねじ穴８４が形成された第２金具８１ｂ、並びに通し孔８３及びねじ穴８４に取り付けられるボルト８２を備えて構成されている。

そして、第１金具８１ａ及び第２金具８１ｂでリブ５ｄを挟み込み、第１金具８１ａと第２金具８１ｂとをボルト８２で締結することにより、チューブフラム５は、固定部材８ａ，８ｂに着脱自在に固定される。

また、チューブフラム５の移送方向Ｐ及び駆動方向ＰＰと直交する方向の外側面で、吸込口５ａ及び吐出口５ｂからポンプヘッド部５ｃへと拡幅している部分には、リブ５ｅが形成されている。

チューブフラム５の吸込口５ａはエア作動弁からなる吸込弁２１に接続され、チューブフラム５の吐出口５ｂはエア作動弁からなる吐出弁２２に接続されている。チューブフラム５の吸込口５ａは、吸込弁２１及び配管２３を介してレジストＲが貯留されたレジストボトル２４に接続されている。チューブフラム５の吐出口５ｂは、吐出弁２２及び配管２５を介して、ノズル２６に接続されている。一方、エア供給源３０から供給されるエアは、圧力調整弁３３を介して第１電磁弁（ＳＶ１）３１及び第２電磁弁（ＳＶ２）３２に供給されている。第１電磁弁３１は、吐出弁２２に開閉駆動用のエアを供給する。第２電磁弁３２は、吸込弁２１に開閉駆動用のエアを供給する。

駆動ヘッド８の駆動部材８ｃの下端部には遮蔽板９が装着されている。この遮蔽板９は、ポンプ本体３において、固定部材８ａが固定部材８ｂから最も離間する位置、すなわち駆動部材８ｃが最も後退する位置近傍に配置されたホームセンサ（フォトセンサ）１０により検知される。制御部４０は、予め設定された所定のタイミング、又はホームセンサ１０からの信号に基づき、ステッピングモータ７、第１電磁弁３１及び第２電磁弁３２を制御し得る。前者の場合、制御部４０は、ホームセンサ１０からの信号に基づき、駆動部材８ｃが原点復帰しなかったと判断してエラー表示、エラー警報等のエラー処理を実行し得る。

［チューブフラムポンプ１の動作］
このように構成されたチューブフラムポンプ１は、制御部４０からの制御により、レジストＲの吐出動作時には、ステッピングモータ７によって駆動ヘッド８の駆動部材８ｃを駆動方向ＰＰに前進させる。これにより、チューブフラム５のポンプヘッド部５ｃは、固定部材８ａ，８ｂによって押圧され、ポンプ室４の対向する接液面４ａ，４ｂが互いに近接することにより、ポンプ室４が収縮する。

一方、レジストＲの吸込動作時にはステッピングモータ７によって駆動ヘッド８の駆動部材８ｃを駆動方向ＰＰに後退させる。これにより、チューブフラム５のポンプヘッド部５ｃは、固定部材８ａ，８ｂによって直接引っ張られて、ポンプ室４が膨張し、原点位置に復帰する。従って、チューブフラム５を動作させる従来の圧力伝達媒体が不要となり、封入液の漏れや封入液中のエア発生による吐出量の減少等の問題が生じない。

ここで、チューブフラム５がポンプヘッド部５ｃも含めて全て円筒形状であるとすると、移送方向Ｐと直交する断面の面積は、ポンプ室４の収縮初期には余り変化せず、収縮工程が進むにつれて変化量が変動するので、チューブフラム５のポンプ室４の変形量（潰し量）とレジストＲの吐出量との間にリニアリティを確保することができず、定量制御が難しいという問題がある。

これに対し、本実施形態に係るチューブフラムポンプ１によれば、ポンプ室４の移送方向Ｐと直交する断面が扁平形状、より具体的には六角形状なので、接液面４ａ，４ｂが余り変化せずに平行状態を維持したまま、互いに近接する向きに移動する。このとき、リブ５ｅの部分が変形し易いと、接液面４ａ，４ｂの変形を更に抑制することができる。このように、本実施形態のチューブフラムポンプ１によれば、ポンプ室４の収縮初期から伸縮ストロークに対する断面積の変化量が大きく、しかも収縮工程の全てに亘って一定の変化とすることができる。よって、本実施形態のチューブフラムポンプ１によれば、吐出動作時には、チューブフラム５のポンプ室４の変形量（潰し量）とレジストＲの吐出量との間にリニアリティを持たせることができる。

なお、ポンプ室４の駆動方向ＰＰに対向する接液面４ａ，４ｂが互いに接触しないストロークで駆動ヘッド８を往復駆動するように、制御部４０がステッピングモータ７を制御すれば、レジストＲ内へのゴミの発生も防止できると共に、チューブフラム５の寿命も延ばすことができる。

また、チューブフラム５の交換は、チューブフラム５を固定部材８ａ，８ｂ、吸込弁２１及び吐出弁２２から取り外すことで、容易に行うことが可能となる。このため、薬液固着や薬液交換に際しても、チューブフラム５のみを交換するだけで良く、メンテナンスが容易になる。また、チューブフラム５のサイズを変えることにより、チューブフラムポンプ１の最大吐出量も簡単に変更することができるので、適用可能吐出範囲を拡げることが可能となる。

［ポンプシステム１００の動作］
次に、チューブフラムポンプ１を用いたポンプシステム１００の動作について説明する。
なお、以下の説明においては、レジストＲが既にポンプ室４内に充填された上で、チューブフラム５が原点位置にある待機状態（図１に示す状態）から１サイクルの動作を開始するとする。また、制御部４０から出力されるＣＷパルス信号は、ステッピングモータ７のモータ軸を、時計回り（ＣＷ）に回転させ、ボールねじ６をチューブフラム５に向かって前進させる。一方、制御部４０から出力されるＣＣＷパルス信号は、ステッピングモータ７のモータ軸を、反時計回り（ＣＣＷ）に回転させ、ボールねじ６をチューブフラム５から離れるように後退させる。

図８に示すように、待機状態において、制御部４０は、ステッピングモータ７に対してＣＷパルス信号を出力する。これと共に、制御部４０は、第１電磁弁３１をＯＮにして（ＳＶ１がＯＮ）、吐出弁２２をＯＮにする。すなわち、ＣＷパルス信号が出力されると、ステッピングモータ７によってボールねじ６が駆動ヘッド８と共にチューブフラム５を潰す向きに前進する。また、第１電磁弁３１がＯＮになると、エア供給源３０から圧力調整弁３３を介して第１電磁弁３１に供給されたエアが、吐出弁（エア作動弁）２２をＯＮにして吐出口５ｂと配管２５及びノズル２６との間を開通する。これにより、チューブフラムポンプ１の吐出動作が開始される。

なお、所定時間Ｔ１は、吐出開始時に吐出弁２２の影響を受けてレジストＲの液端がポンプ室４側に引き戻る場合に、この引き戻り現象を防止するための遅れ時間である。従って、引き戻り現象が起こる場合には、吐出弁２２を所定時間Ｔ１だけ遅らせてからＯＮにするように制御すれば良い。

吐出動作が開始されると、チューブフラム５のポンプ室４は、接液面４ａ，４ｂが互いに平行な状態を維持したまま、駆動ヘッド８で直接押圧されながら収縮し続ける。これにより、ポンプ室４が収縮して変位した体積分のレジストＲが、ポンプ室４から吐出口５ｂ、吐出弁２２、配管２５及びノズル２６を通って、半導体ウェハ２０の上面に吐出（塗布）される。

吐出動作中において、例えば予め設定された所定のＣＷパルス信号のパルス数をカウントしたら、制御部４０は、ステッピングモータ７に対するＣＷパルス信号の出力を停止する。これと共に、制御部４０は、第１電磁弁３１をＯＦＦにして（ＳＶ１がＯＦＦ）、吐出弁２２をＯＦＦにする。すなわち、ＣＷパルス信号の出力が停止されると、ステッピングモータ７の動作も停止するため、チューブフラム５を潰す向きに駆動ヘッド８と共に前進していたボールねじ６が停止する。また、第１電磁弁３１がＯＦＦになると、吐出弁２２に供給されていたエアが停止されるので、吐出弁２２がＯＦＦになり吐出口５ｂと配管２５及びノズル２６との間が閉塞される。これにより、チューブフラムポンプ１の吐出動作が終了する。

吐出動作が終了したら、所定時間Ｔ２が経過するまで待って、所定時間Ｔ２経過後に、制御部４０は、ステッピングモータ７に対してＣＣＷパルス信号を出力する。これと共に、制御部４０は、第２電磁弁３２をＯＮにして（ＳＶ２がＯＮ）、吸込弁２１をＯＮにする。なお、所定時間Ｔ２は、吐出動作終了後に、ステッピングモータ７が脱調することを防止するために動作を一旦停止する時間であり、０．５秒以上であることが望ましい。

上述したように、ＣＣＷパルス信号が出力されると、ステッピングモータ７によってボールねじ６が駆動ヘッド８と共にチューブフラム５を引っ張るように後退する。また、第２電磁弁３２がＯＮになると、エア供給源３０から圧力調整弁３３を介して第２電磁弁３２に供給されたエアが、吸込弁（エア作動弁）２１をＯＮにして吸込口５ａと配管２３及びレジストボトル２４との間を開通する。これにより、チューブフラムポンプ１の吸込動作が開始される。

吸込動作が開始されると、チューブフラム５のポンプ室４は、接液面４ａ，４ｂが駆動ヘッド８で直接引っ張られながら離間し続ける。これにより、ポンプ室４が膨張して変位した体積分のレジストＲが、レジストボトル２４から配管２３、吸込弁２１及び吸込口５ａを通って、ポンプ室４内へ導入される。

そして、吸込動作中において、駆動ヘッド８の駆動部材８ｃの下端部に取り付けられた遮蔽板９が、ホームセンサ１０により検知されたタイミング、又は予め設定された所定のタイミングで、制御部４０は、ステッピングモータ７に対するＣＣＷパルス信号の出力を停止する。ＣＣＷパルス信号の出力が停止されると、ステッピングモータ７の動作も停止するため、チューブフラム５を膨張させるように駆動ヘッド８と共に後退していたボールねじ６が原点位置で停止する。

吸込動作が終了したら、所定時間Ｔ３が経過するまで待って、所定時間Ｔ３経過後に、制御部４０は、第２電磁弁３２をＯＦＦにして（ＳＶ２がＯＦＦ）、吸込弁２１をＯＦＦにする。すなわち、第２電磁弁３２がＯＦＦになると、吸込弁２１に供給されていたエアが停止されるので、吸込弁２１がＯＦＦになり吸込口５ａと配管２３及びレジストボトル２４との間が閉塞される。これにより、チューブフラムポンプ１の吸込動作が終了し、再度待機状態となる。以上のようにして、チューブフラムポンプ１は１サイクルの動作を完了する。なお、上述した所定時間Ｔ０〜Ｔ３は任意に設定し得る時間である。

こうして動作するチューブフラムポンプ１においては、チューブフラム５のポンプヘッド部５ｃの横断面形状が扁平形状であるから、図９に示すように、ポンプによる吐出量（ｍＬ）を縦軸とし、設定パルス数（ｐｕｌｓｅ）を横軸としたグラフにプロットしたように、レジストＲの吐出量とポンプ室４の変形量（潰し量）との関係はほぼ直線性（リニアリティ）を示すようになる。また、この実施形態では、ステッピングモータ７のパルス数制御によりチューブフラム５を直接駆動するため、エア駆動タイプよりも分解能が高く、例えば０．０１ｍＬレベルでの流量制御も可能になる。このため、チューブフラムポンプ１の最大吐出量の変更や適用可能吐出範囲の設計が容易となる。

［他の実施形態］
なお、チューブフラム５の形状は、上述した実施形態の形状に限定されない。例えば、チューブフラム５は、ポンプ室４を形成するポンプヘッド部５ｃが次のような断面形状を有するものであっても良い。すなわち、図１０に示すように、チューブフラム５のポンプ室４は、他の実施形態においては、移送方向Ｐに直交する横断面形状が、例えば長円形状となるように形成されている。

また、図１１に示すように、更に他の実施形態においては、チューブフラム５のポンプ室４は、ほぼ楕円形又は長円形で、ポンプ室４の移送方向Ｐと直交する断面における駆動方向ＰＰに対向する壁部５ｆ、すなわち変形量が小さい部分の肉厚が、駆動方向ＰＰに直交する方向に対応する壁部５ｇ、すなわち変形量が大きい部分の肉厚よりも厚くなるように形成されていても良い。

これらの実施形態においても、チューブフラム５のポンプ室４は、駆動方向ＰＰに対向する接液面４ａ，４ｂの間隔が、これと直交する方向の対向面の間隔よりも短い扁平形状を備えるので、上述した変形量と吐出量との間にリニアリティを持たせることができる。特に、図１１に示したチューブフラム５においては、ポンプ室４の肉厚を変えることによって、互いに進退する接液面４ａ，４ｂの形状が維持され易くなるので、ポンプ室４の変形量（潰し量）と吐出量の間のリニアリティがより改善され、定量制御が更に容易になる。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１ チューブフラムポンプ
２ フレーム
３ ポンプ本体
４ ポンプ室
４ａ，４ｂ 接液面
５ チューブフラム
５ａ 吸込口
５ｂ 吐出口
５ｃ ポンプヘッド部
５ｄ，５ｅ リブ
６ ボールねじ
７ ステッピングモータ
８ 駆動ヘッド
８ａ，８ｂ 固定部材
８ｃ 駆動部材
９ 遮蔽板
１０ ホームセンサ
２１ 吸込弁
２２ 吐出弁
３０ エア供給源
３１ 第１電磁弁（ＳＶ１）
３２ 第２電磁弁（ＳＶ２）
４０ 制御部

Claims (6)

1. 内部に移送流体が導入されると共に、導入された移送流体が外部に排出されるポンプ室を形成するポンプヘッド部を有するチューブフラムと、
   前記チューブフラムを保持すると共に前記ポンプヘッド部を前記移送流体の移送方向と交差する方向に直接押引して前記ポンプ室を伸縮させる駆動ヘッドと、
   前記駆動ヘッドを、前記ポンプ室を伸縮させる駆動方向に往復駆動する駆動手段と、
   前記駆動手段を制御する制御部と
   を備え、
   前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送流体の移送方向と交差する断面形状が前記駆動手段による駆動方向の長さよりもこれと交差する方向の長さが長い扁平形状であり、且つ前記ポンプ室の前記駆動方向に対向する一対の接液面が平行状態を維持したまま移動する
   ことを特徴とするチューブフラムポンプ。
2. 前記制御部は、前記ポンプ室の前記駆動方向に対向する一対の接液面が互いに接触しないストロークで前記駆動ヘッドを往復駆動するように前記駆動手段を制御する
   ことを特徴とする請求項１記載のチューブフラムポンプ。
3. 前記チューブフラムは、前記ポンプ室の外周面側に、前記ポンプ室の前記駆動方向の外側に突出するリブを有する
   ことを特徴とする請求項１又は２記載のチューブフラムポンプ。
4. 前記駆動ヘッドは、前記リブを挟持する固定部材を有する
   ことを特徴とする請求項３記載のチューブフラムポンプ。
5. 前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送方向に直交する断面形状が、六角形状、長円形状又は楕円形状である
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のチューブフラムポンプ。
6. 前記チューブフラムは、前記ポンプ室の前記移送方向と直交する断面において、前記駆動方向に対向する壁部の肉厚が、前記駆動方向と交差する方向に対向する壁部の肉厚よりも厚い
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のチューブフラムポンプ。

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