JP2020119973A - シート剥離装置およびシート剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ランニングコストを低減することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。【解決手段】シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASの外縁よりも内側の領域で当該接着シートASと被着体WKとの間に空隙GPを形成する空隙形成手段10と、空隙GPが形成された接着シートASと被着体WKとを相対移動させて被着体WKから接着シートASを剥離する移動手段20とを備えている。【選択図】図1
Description
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
従来、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載の剥離装置1(シート剥離装置)は、ウエハW(被着体)から保護テープT1(接着シート)を剥離するための剥離テープT2が必要になるため、ランニングコストが増加するという不都合がある。
本発明の目的は、ランニングコストを低減することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、接着シートと被着体との間に空隙を形成して被着体から接着シートを剥離するため、剥離テープを用いる必要がなく、ランニングコストを低減することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASの外縁よりも内側の領域で当該接着シートASと被着体WKとの間に空隙GPを形成する空隙形成手段10と、空隙GPが形成された接着シートASと被着体WKとを相対移動させて被着体WKから接着シートASを剥離する移動手段20と、空隙GPを拡張する空隙拡張手段30とを備え、被着体WKを支持する支持手段40の上方に配置されている。
空隙形成手段10は、下部開口型の椀形状のチャンバ11と、チャンバ11と接着シートASとで形成される密閉空間SPに連通する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段12とを備えている。
移動手段20は、その出力軸21Aでチャンバ11を支持する駆動機器としての直動モータ21を備えている。
空隙拡張手段30は、接着シートASを貫通可能に設けられ、図1中AAを付した図に示すように、吹出口31Aを有する吹出部材31と、吹出口31Aから流体としての気体を供給する流体供給手段であって、加圧ポンプやタービン等の気体供給手段32とを備え、接着シートASを貫通した吹出部材31の吹出口31Aから空隙GPに気体を吹き出して当該空隙GPを拡張する構成となっている。
吹出部材31は、チャンバ11内に支持され、下端部に気体供給手段32と連通した吹出口31Aが形成された針状の部材で構成されている。
吹出部材31は、チャンバ11内に支持され、下端部に気体供給手段32と連通した吹出口31Aが形成された針状の部材で構成されている。
支持手段40は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面41Aを有するテーブル41を備えている。
以上のシート剥離装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置EAに対し、当該シート剥離装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、接着シートASを上にして被着体WKを支持面41A上の所定の位置に載置する。すると、支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面41Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置EAに対し、当該シート剥離装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、接着シートASを上にして被着体WKを支持面41A上の所定の位置に載置する。すると、支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面41Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。
次いで、移動手段20が直動モータ21を駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、チャンバ11を下降させ、当該チャンバ11と接着シートASとで密閉空間SPを形成した後、空隙形成手段10が減圧手段12を駆動し、密閉空間SPの減圧を開始する。これにより、図1(A)中二点鎖線で示すように、密閉空間SPを形成する接着シート部分AS1が当該密閉空間SP方向に引き寄せられ、当該接着シート部分AS1と被着体WKとの間に空隙GPが形成されるとともに、吹出部材31が接着シート部分AS1に突き刺さり、吹出口31Aが空隙GP内に入り込む。
その後、移動手段20および空隙拡張手段30が直動モータ21および気体供給手段32を駆動し、図1(B)に示すように、吹出口31Aから空隙GP内に気体を吹き出しながらチャンバ11を上昇させる。これにより、空隙GPが接着シートASの外縁に向かって拡張され、図1(C)に示すように、当該接着シートASが被着体WKから剥離される。
被着体WKからの接着シートASの剥離が完了すると、移動手段20が直動モータ21の駆動を停止するとともに、空隙形成手段10が減圧手段12の駆動を停止し、密閉空間SPの減圧を解除した後、空隙拡張手段30が気体供給手段32の駆動を停止する。密閉空間SPの減圧が解除された接着シートASは、当該接着シートASの下方に移動してきた回収箱や回収袋等の図示しない回収手段内に投入されたり、使用者によってチャンバ11から取り外されたりして回収される。次に、支持手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面41Aでの被着体WKの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が被着体WKを次工程に搬送すると、移動手段20が直動モータ21を駆動し、チャンバ11を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、接着シートASと被着体WKとの間に空隙GPを形成して被着体WKから接着シートASを剥離するため、剥離テープを用いる必要がなく、ランニングコストを低減することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、シート剥離装置EAは、吹出口31Aから吹き出された気体が接着シートASの外縁から吹き出すことを抑制する抑制手段を備えていてもよい。このような抑制手段は、駆動機器に支持された押え部材を備えたものが例示できる。この場合、抑制手段が駆動機器を駆動し、押え部材で接着シートASを押えた状態で、空隙拡張手段30が気体供給手段32を駆動し、吹出口31Aから気体を吹き出す。
空隙形成手段10は、接着シートASの外縁部を押える下部開口型の椀形状のチャンバ11を採用してもよいし、接着シートASの一部または全部を保持する保持面を有する板状の吸引プレートで接着シートASを吸引し、当該吸引プレートを移動手段20で上昇させて被着体WKから接着シートASの外縁よりも内側の領域を剥離して空隙GPを形成する構成を採用してもよいし、大きさが異なる複数のチャンバ11を備えていてもよい。
空隙形成手段10は、接着シートASが紫外線、赤外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等のエネルギー線の付与によって自己剥離するものの場合、接着シートASにエネルギー線を付与するエネルギー付与手段を採用して被着体WKから接着シートASの外縁よりも内側の領域を剥離して空隙GPを形成する構成を採用してもよく、この場合、チャンバ11が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
空隙形成手段10は、接着シートASが紫外線、赤外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等のエネルギー線の付与によって自己剥離するものの場合、接着シートASにエネルギー線を付与するエネルギー付与手段を採用して被着体WKから接着シートASの外縁よりも内側の領域を剥離して空隙GPを形成する構成を採用してもよく、この場合、チャンバ11が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
移動手段20は、接着シートASを移動させずにまたは移動させつつ、被着体WKを移動させて当該被着体WKから接着シートASを剥離してもよいし、直動モータ21に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で接着シートASと被着体WKとを相対移動させてもよい。
空隙拡張手段30は、接着シートASに突き刺した吹出部材31の吹出口31Aを接着シートASと被着体WKとの間に位置させることができれば、針状でない吹出部材31を採用してもよいし、吹出部材31を複数備えていてもよい。
空隙拡張手段30は、吹出口31Aが吹出部材31の延設方向に交差する方向に開口するように片寄に形成された吹出部材31や、吹出口31Aが放射状に開口した吹出部材31を採用してもよく、この場合、吹出口31Aが左右または前後方向等の任意の方向に向くように、吹出部材31を回転させる回動モータ等の駆動機器を採用してもよい。
空隙拡張手段30は、空隙形成手段10から独立した別体の構成としてもよく、この場合、吹出部材31を変位させる駆動機器を備え、接着シートASに吹出部材31を突き刺して空隙GP内に位置させた吹出口31Aから気体を吹き出してもよいし、接着シートASと被着体WKとの間の空隙GPに隣接する位置に位置させた吹出口31Aから空隙GPに向けて気体を吹き出してもよい。
空隙拡張手段30は、吹出部材31や気体供給手段32に代えてまたは併用して、空隙形成手段10よりも大きなチャンバおよび減圧手段で空隙GPを拡張してもよいし、空隙形成手段10よりも大きな複数のチャンバおよび減圧手段で空隙GPを段階的に拡張してもよいし、接着シートASがエネルギー線の付与によって自己剥離するものの場合、接着シートASにエネルギー線を付与して被着体WKから接着シートASを剥離して空隙GPを拡張するエネルギー線照射手段を採用してもよいし、空隙GP内に大気、単体ガスまたは複合ガス等の気体、水、ジェルまたは液体窒素等の液体を供給するものでもよいし、シート剥離装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
空隙拡張手段30は、吹出口31Aが吹出部材31の延設方向に交差する方向に開口するように片寄に形成された吹出部材31や、吹出口31Aが放射状に開口した吹出部材31を採用してもよく、この場合、吹出口31Aが左右または前後方向等の任意の方向に向くように、吹出部材31を回転させる回動モータ等の駆動機器を採用してもよい。
空隙拡張手段30は、空隙形成手段10から独立した別体の構成としてもよく、この場合、吹出部材31を変位させる駆動機器を備え、接着シートASに吹出部材31を突き刺して空隙GP内に位置させた吹出口31Aから気体を吹き出してもよいし、接着シートASと被着体WKとの間の空隙GPに隣接する位置に位置させた吹出口31Aから空隙GPに向けて気体を吹き出してもよい。
空隙拡張手段30は、吹出部材31や気体供給手段32に代えてまたは併用して、空隙形成手段10よりも大きなチャンバおよび減圧手段で空隙GPを拡張してもよいし、空隙形成手段10よりも大きな複数のチャンバおよび減圧手段で空隙GPを段階的に拡張してもよいし、接着シートASがエネルギー線の付与によって自己剥離するものの場合、接着シートASにエネルギー線を付与して被着体WKから接着シートASを剥離して空隙GPを拡張するエネルギー線照射手段を採用してもよいし、空隙GP内に大気、単体ガスまたは複合ガス等の気体、水、ジェルまたは液体窒素等の液体を供給するものでもよいし、シート剥離装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
支持手段40は、シート剥離装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
被着体WKは、接着シートASが貼付されていない面側に他の接着シートが貼付され、当該他の接着シートASを介してリングフレームや枠材等のフレーム部材と一体化されていてもよく、フレーム部材としては、環状のものであってもよいし、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
本発明における接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体WKに貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、空隙形成手段は、被着体に貼付された接着シートの外縁よりも内側の領域で当該接着シートと被着体との間に空隙を形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材(被把持部材)を支持(保持)する構成を採用してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材(被把持部材)を支持(保持)する構成を採用してもよい。
EA…シート剥離装置
10…空隙形成手段
20…移動手段
30…空隙拡張手段
31…吹出部材
31A…吹出口
32…気体供給手段(流体供給手段)
AS…接着シート
GP…空隙
WK…被着体
10…空隙形成手段
20…移動手段
30…空隙拡張手段
31…吹出部材
31A…吹出口
32…気体供給手段(流体供給手段)
AS…接着シート
GP…空隙
WK…被着体
Claims (4)
- 被着体に貼付された接着シートの外縁よりも内側の領域で当該接着シートと前記被着体との間に空隙を形成する空隙形成手段と、
前記空隙が形成された前記接着シートと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記空隙を拡張する空隙拡張手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記空隙拡張手段は、前記接着シートを貫通可能に設けられ、吹出口を有する吹出部材と、前記吹出口から流体を供給する流体供給手段とを備え、前記接着シートを貫通した前記吹出部材の前記吹出口から前記空隙に流体を吹き出して当該空隙を拡張することを特徴とする請求項2に記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートの外縁よりも内側の領域で当該接着シートと前記被着体との間に空隙を形成する空隙形成工程と、
前記空隙が形成された前記接着シートと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動工程とを実施することを特徴とするシート剥離方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019009211A JP2020119973A (ja) | 2019-01-23 | 2019-01-23 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
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JP (1) | JP2020119973A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115172229A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-10-11 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种从激光改质后的晶体上剥离晶片的全自动装置 |
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2019
- 2019-01-23 JP JP2019009211A patent/JP2020119973A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115172229A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-10-11 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种从激光改质后的晶体上剥离晶片的全自动装置 |
CN115172229B (zh) * | 2022-09-07 | 2022-11-18 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种从激光改质后的晶体上剥离晶片的全自动装置 |
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