JP2020076651A - 亀裂検出装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る亀裂検出装置を示すブロック図である。
次に、被加工物Wの界面検出について説明する。以下の説明では、被加工物Wの裏面(ステージ510に接する面)の界面の検出を行って、被加工物Wの裏面の界面位置を基準として亀裂深さを検出する場合について説明する。なお、亀裂深さの検出では、被加工物Wの表面を基準としてもよいし、被加工物Wの表裏両方の面を基準として検出した亀裂深さの平均値をとるようにすることも可能である。
次に、被加工物Wの内部に形成された亀裂Kの検出について説明する。
式(1)において、S=0の条件を満たすとき、すなわち、受光面406C及び408Cによって受光される光量が一致するとき、集光レンズ504の集光点と亀裂下端位置(又は亀裂上端位置)とが一致した状態を示す。
次に、本実施形態に係る亀裂検出方法について、図9を参照して説明する。図9は、本発明の第1の実施形態に係る亀裂検出方法を示すフローチャートである。
次に、本発明の第2の実施形態について、図10及び図11を参照して説明する。本実施形態では、亀裂検出を行うときに、偏射照明の方法(以下、照明方法ともいう。)を切り替えて、亀裂深さの検出を複数回行い、その複数回の検出結果の平均値を亀裂深さとして算出する。ここで、照明方法の切り替えとは、検出光L1の偏心の態様(例えば、検出光L1が出射する開口部と主光軸との距離及び位置)を切り替えることをいう。
Claims (6)
- 主光軸に沿って検出光を出射する光源部と、
前記主光軸と同軸のレンズ光軸を有し、前記光源部から出射した前記検出光を被加工物に集光させる集光レンズと、
前記主光軸に沿って出射された検出光を前記被加工物に照射して前記被加工物からの第1の反射光を検出し、前記第1の反射光に対応する検出信号に基づき、前記被加工物の表面又は裏面を示す界面位置を検出する界面検出手段と、
前記主光軸から偏心した検出光により前記被加工物を偏射照明して前記被加工物からの第2の反射光を検出し、前記第2の反射光に対応する検出信号に基づき、前記界面位置を基準として前記被加工物の内部に形成された亀裂の亀裂深さを検出する亀裂検出手段と、
を備える亀裂検出装置。 - 前記界面検出手段は、
前記第1の反射光を受光する受光面を有する光検出器と、
前記受光面側に配置され、前記受光面に入射する前記第1の反射光の一部を遮光するピンホールパネルとを備え、
前記ピンホールパネルに形成されたピンホールは、前記集光レンズの集光点の位置と光学的に共役関係になるように配置されており、
前記界面検出手段は、前記ピンホールを通過した前記第1の反射光に基づいて、前記界面位置を検出する、
請求項1記載の亀裂検出装置。 - 前記集光レンズの集光点を前記被加工物の厚さ方向に変化させる集光点変更手段を備え、
前記亀裂検出手段は、前記集光点変更手段により前記集光レンズの集光点を前記被加工物の厚さ方向に変化させたときの前記検出信号の変化に基づいて前記亀裂の亀裂深さを検出する、
請求項1又は2記載の亀裂検出装置。 - 前記光源部は、開口部を有し、前記検出光の一部を遮光する制限部材を備え、
前記光源部の光源光軸から偏心した位置に前記開口部を位置させることにより、前記検出光を前記主光軸に対して偏心させる、
請求項1から3のいずれか1項記載の亀裂検出装置。 - 前記亀裂検出手段は、前記検出光の偏射照明の方法を切り替えて前記亀裂深さを複数回検出し、前記複数回の亀裂深さの検出結果の平均値を算出する、
請求項1から4のいずれか1項記載の亀裂検出装置。 - 光源部から主光軸に沿って出射された検出光を被加工物に照射して前記被加工物からの第1の反射光を検出し、前記第1の反射光に対応する検出信号に基づき、前記被加工物の表面又は裏面を示す界面位置を検出する界面検出工程と、
前記光源部から出射され、前記主光軸から偏心した検出光により前記被加工物を偏射照明して前記被加工物からの第2の反射光を検出し、前記第2の反射光に対応する検出信号に基づき、前記界面位置を基準として前記被加工物の内部に形成された亀裂の亀裂深さを検出する亀裂検出工程と、
を備える亀裂検出方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63241407A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-06 | Nikon Corp | 微細凹部の深さ測定方法及びその装置 |
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