JP2020066097A - Hand of industrial robot and industrial robot - Google Patents

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Abstract

To provide a hand of an industrial robot for transporting a transport object which can properly load transport objects of various sizes.SOLUTION: A hand 3 of an industrial robot for transporting a transport object 2, comprises: plural hand forks 16 which are linearly formed, and are located in parallel to each other; a bearing member 17 which is located on an upper surface side of the hand fork 16, bears a lower surface of the transport object 2, and restricts movement of the transport object 2 in a longer direction of the hand forks 16; and a moving mechanism 19 which moves the bearing member 17 in the longer direction of the hand forks 16.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。   The present invention relates to a hand of an industrial robot that conveys an object to be conveyed. The present invention also relates to an industrial robot provided with such a hand.

従来、露光装置で使用されるマスクを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、マスクが搭載されるハンドと、ハンドの基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えている。ハンドは、直線状に形成される２本のハンドフォークを備えている。２本のハンドフォークは、互いに平行になるように配置されている。マスクは、２本のハンドフォークに搭載されている。   Conventionally, an industrial robot that conveys a mask used in an exposure apparatus is known (for example, refer to Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a mask is mounted, a linear drive unit that supports the base end side of the hand, and a main body unit that supports the linear drive unit. The hand includes two hand forks that are linearly formed. The two hand forks are arranged so as to be parallel to each other. The mask is mounted on two hand forks.

特開２０１０−７６０６６号公報JP, 2010-76066, A

特許文献１に記載の産業用ロボットが、たとえば、様々な大きさのマスクを製造するマスクの製造ラインで使用される場合、この産業用ロボットは、様々な大きさのマスクをハンドに搭載して搬送する必要がある。   When the industrial robot described in Patent Document 1 is used in, for example, a mask manufacturing line that manufactures masks of various sizes, the industrial robot mounts masks of various sizes on a hand. Need to be transported.

そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、様々な大きさの搬送対象物を適切に搭載することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot hand that conveys an object to be conveyed and that can appropriately mount objects to be conveyed of various sizes. Moreover, the subject of this invention is providing the industrial robot provided with such a hand.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォークと、ハンドフォークの上面側に配置され搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材と、ハンドフォークの長手方向に支持部材を移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a hand of an industrial robot of the present invention is a hand of an industrial robot that conveys an object to be conveyed, and a plurality of hand forks that are linearly formed and arranged in parallel with each other, and a hand. A support member that is disposed on the upper surface side of the fork and supports the lower surface of the object to be conveyed and that restricts movement of the object to be conveyed in the longitudinal direction of the hand fork; and a moving mechanism that moves the support member in the longitudinal direction of the hand fork. It is characterized by being provided.

本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材を、ハンドフォークの長手方向に移動させる移動機構を備えている。そのため、本発明では、搬送対象物の大きさに応じて、搬送対象物の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材を移動させることが可能になる。したがって、本発明では、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。   The hand of the industrial robot according to the present invention includes a moving member that moves in the longitudinal direction of the hand fork a support member that supports the lower surface of the conveyed object and restricts the movement of the conveyed object in the longitudinal direction of the hand fork. ing. Therefore, according to the present invention, the support member can be moved to a position where the lower surface of the object to be conveyed can be appropriately supported according to the size of the object to be conveyed. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to properly mount the objects to be conveyed of various sizes in the hand.

本発明において、ハンドは、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能な支持部材と、ハンドフォークの上面側に固定され搬送対象物の下面を支持する第２支持部材とを備え、支持部材は、ハンドフォークの長手方向における一方側への搬送対象物の移動を規制し、第２支持部材は、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制することが好ましい。このように構成すると、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制する第２支持部材が、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンドの構成を簡素化することが可能になる。   In the present invention, the hand includes a support member that is movable in the longitudinal direction of the hand fork with respect to the hand fork, and a second support member that is fixed to the upper surface side of the hand fork and supports the lower surface of the object to be conveyed. It is preferable that the member regulates the movement of the object to be conveyed to one side in the longitudinal direction of the hand fork, and the second support member regulates the movement of the object to be conveyed to the other side in the longitudinal direction of the hand fork. According to this structure, the second support member that restricts the movement of the object to be transported to the other side in the longitudinal direction of the hand fork is movable relative to the hand fork in the longitudinal direction of the hand fork. Then, it becomes possible to simplify the structure of the hand.

本発明において、ハンドは、支持部材が固定される固定部材と、固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、ゴムパッドがハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置とゴムパッドがハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で固定部材を移動させる第２移動機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を利用して、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を停止させておくことが可能になる。また、このように構成すると、固定部材を離間位置に移動させることで、移動機構によって、ハンドフォークの長手方向に支持部材を容易に移動させることが可能になる。   In the present invention, the hand includes a fixing member to which the supporting member is fixed, a rubber pad fixed to the lower surface of the fixing member, a contact position where the rubber pad contacts the upper surface of the hand fork with a predetermined contact pressure, and a rubber pad. It is preferable to include a second moving mechanism that moves the fixed member between the separated position away from the upper surface of the hand fork. According to this structure, by using the frictional force between the rubber pad and the upper surface of the hand fork when the fixing member is arranged at the contact position, the supporting member is stopped at a predetermined position in the longitudinal direction of the hand fork. It will be possible to leave. Further, according to this structure, by moving the fixing member to the separated position, it becomes possible to easily move the supporting member in the longitudinal direction of the hand fork by the moving mechanism.

本発明において、第２移動機構は、エアシリンダであり、ゴムパッドは、接触位置に固定部材が配置されているときに、エアシリンダによってハンドフォークの上面に接触させられているか、または、押し付けられていることが好ましい。このように構成すると、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を高めることが可能になるため、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を確実に停止させておくことが可能になる。   In the present invention, the second moving mechanism is an air cylinder, and the rubber pad is brought into contact with or pressed against the upper surface of the hand fork by the air cylinder when the fixing member is arranged at the contact position. Is preferred. With this configuration, it is possible to increase the frictional force between the rubber pad and the upper surface of the hand fork when the fixing member is arranged at the contact position. Therefore, the supporting member is provided at a predetermined position in the longitudinal direction of the hand fork. It is possible to reliably stop.

本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部を備える産業用ロボットであって、ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、搬送対象物は、ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、移動機構の駆動源は、ハンド保持部へのハンドの連結部分よりも第１方向側に配置されている産業用ロボットに用いることができる。   The hand of the present invention is an industrial robot that is provided with a hand holding portion that holds the hand while being connected to each other, wherein one of the longitudinal directions of the hand fork is the first direction and the opposite direction of the first direction is the second direction. Direction, the object to be transported is mounted on the second-direction side portion of the hand fork, and the drive source of the moving mechanism is on the first-direction side of the connection portion of the hand to the hand holding portion. It can be used for robots.

この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と移動機構の駆動源との距離を離すことが可能になるため、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による移動機構の駆動源の損傷を防止することが可能になる。   With this industrial robot, it becomes possible to properly mount objects to be conveyed of various sizes in the hand. In addition, in this industrial robot, since it is possible to increase the distance between the object to be carried mounted on the hand and the drive source of the moving mechanism in the longitudinal direction of the hand fork, the object to be carried at a relatively high temperature is handled. Even when it is mounted on the vehicle, it is possible to prevent the drive source of the moving mechanism from being damaged due to the influence of heat of the object to be transported.

本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部を備える産業用ロボットであって、ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、搬送対象物は、ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、ハンドは、第２移動機構が取り付けられるとともに支持部材と一緒にハンドフォークの長手方向に移動する可動部材を備え、移動機構の駆動源は、ハンド保持部へのハンドの連結部分よりも第１方向側に配置され、第２移動機構は、可動部材の第１方向端側に取り付けられている産業用ロボットに用いることができる。   The hand of the present invention is an industrial robot that is provided with a hand holding portion that holds the hand while being connected to each other, wherein one of the longitudinal directions of the hand fork is the first direction and the opposite direction of the first direction is the second direction. Direction, the object to be conveyed is mounted on the second direction side portion of the hand fork, and the hand is provided with a movable member to which the second moving mechanism is attached and which moves in the longitudinal direction of the hand fork together with the support member. The drive source of the moving mechanism is arranged on the first direction side with respect to the connecting portion of the hand to the hand holding section, and the second moving mechanism is used for the industrial robot attached to the first direction end side of the movable member. be able to.

この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と移動機構の駆動源との距離を離すことが可能になるとともに、ハンドに搭載される搬送対象物と第２移動機構との距離を離すことが可能になる。したがって、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による移動機構の駆動源および第２移動機構の損傷を防止することが可能になる。   With this industrial robot, it becomes possible to properly mount objects to be conveyed of various sizes in the hand. Further, in this industrial robot, in the longitudinal direction of the hand fork, it becomes possible to increase the distance between the object to be carried mounted on the hand and the drive source of the moving mechanism, and The distance from the second moving mechanism can be increased. Therefore, even when the object to be conveyed having a relatively high temperature is mounted on the hand, it is possible to prevent the drive source of the moving mechanism and the second moving mechanism from being damaged by the heat of the object to be conveyed.

本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部と、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の重量によってハンドフォークが撓んでも、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The hand of the present invention is used for an industrial robot provided with a hand holding unit that is connected to the hand and holds the hand, and a tilt correction mechanism that corrects the tilt of the object to be conveyed mounted on the hand fork with respect to the horizontal direction. You can With this industrial robot, it becomes possible to properly mount objects to be conveyed of various sizes in the hand. Further, in this industrial robot, even if the hand fork is bent due to the weight of the transfer target mounted on the hand fork, the inclination of the transfer target mounted on the hand fork with respect to the horizontal direction can be corrected.

以上のように、本発明の産業用ロボットのハンドでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、本発明の産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。   As described above, in the hand of the industrial robot of the present invention, it becomes possible to properly mount the objects to be conveyed of various sizes in the hand. Further, in the industrial robot of the present invention, it becomes possible to properly mount objects to be conveyed of various sizes in the hand.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。FIG. 3 is a side view of the industrial robot according to the exemplary embodiment of the present invention. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示すハンドの構造を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the structure of the hand shown in FIG. 図１に示すハンドの構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the hand shown in FIG. （Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。(A) is an enlarged view for explaining the configuration of the E section in FIG. 1, and (B) is an enlarged view for explaining the configuration of the F section in FIG. 1. （Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。(A) is an enlarged view for explaining the configuration of the G section in FIG. 2, and (B) is an enlarged view for explaining the configuration of the H section in FIG. 2. （Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。4A is an enlarged view of a J portion of FIG. 4A, and FIG. 4B is an enlarged view of a K portion of FIG. 4B. 図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view for explaining the configuration of the M section in FIG. 1. 図８のＮ−Ｎ断面の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the NN cross section of FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。 (Overall structure of industrial robot)
FIG. 1 is a side view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、露光装置等で使用されるマスクである。したがって、以下では、搬送対象物２を「マスク２」とする。マスク２は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。本形態のロボット１は、様々な大きさのマスク２を製造するマスク２の製造ラインに設置されており、様々な大きさのマスク２を搬送することが可能になっている。たとえば、ロボット１は、最大で縦幅および横幅が２０００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっているとともに、最小で縦幅および横幅が８００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっている。   The industrial robot 1 (hereinafter, referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a horizontal articulated robot for carrying a predetermined carrying object 2. The conveyance target 2 of this embodiment is a mask used in an exposure apparatus or the like. Therefore, in the following, the conveyance target 2 is referred to as “mask 2”. The mask 2 is formed in a rectangular flat plate shape, for example. The robot 1 of the present embodiment is installed on a mask 2 manufacturing line for manufacturing masks 2 of various sizes, and can carry masks 2 of various sizes. For example, the robot 1 can convey a mask 2 having a maximum height and width of about 2000 (mm) and a minimum mask 2 having a height and width of about 800 (mm). It is possible to do.

ロボット１は、マスク２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム４と、アーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に保持する保持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、保持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。   The robot 1 has a hand 3 on which the mask 2 is mounted, an arm 4 to which the hand 3 is rotatably connected to the tip side, a main body 5 that supports the arm 4, and the main body 5 can move horizontally. And a base 6 supporting the same. The main body part 5 constitutes a lower end part of the main body part 5 while supporting the base end side of the arm 4 and capable of moving up and down, a holding frame 8 holding the arm support 7 so as to be able to move up and down. On the other hand, a base 9 that is horizontally movable and a swing frame 10 that is fixed to the lower end of the holding frame 8 and that is rotatable with respect to the base 9 are provided.

アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。第１アーム部１２と第２アーム部１３とハンド３とは、下側から上側に向かってこの順番で配置されている。ロボット１は、アーム４を伸縮させるアーム駆動機構を備えている。本形態のアーム４は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。   The arm 4 is composed of two arm portions, a first arm portion 12 and a second arm portion 13. The base end side of the first arm portion 12 is rotatably connected to the arm support 7. The base end side of the second arm portion 13 is rotatably connected to the tip end side of the first arm portion 12. The hand 3 is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 13. The first arm portion 12, the second arm portion 13, and the hand 3 are arranged in this order from the lower side to the upper side. The robot 1 includes an arm drive mechanism that extends and contracts the arm 4. The arm 4 of the present embodiment is a hand holding unit that holds the hand 3 while being connected to the hand 3.

保持フレーム８は、上下方向に細長い直方体の柱状に形成されている。保持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。ロボット１は、保持フレーム８に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。保持フレーム８の下端は、旋回フレーム１０に固定されている。上述のように、旋回フレーム１０は、基台９に対して回動可能となっており、基台９は、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構と、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構とを備えている。   The holding frame 8 is formed in the shape of a rectangular parallelepiped column that is elongated in the vertical direction. The holding frame 8 holds the hand 3 and the arm 4 so as to be able to move up and down via the arm support 7. The robot 1 includes an elevating mechanism that elevates and lowers the arm support 7 with respect to the holding frame 8, and a guide mechanism that guides the arm support 7 in the vertical direction. The lower end of the holding frame 8 is fixed to the swivel frame 10. As described above, the revolving frame 10 is rotatable with respect to the base 9, and the base 9 is horizontally movable with respect to the base 6. The robot 1 includes a rotating mechanism that rotates the revolving frame 10 with respect to the base 9, and a horizontal moving mechanism that horizontally moves the base 9 with respect to the base 6.

（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の構造を説明するための平面図である。図４は、図１に示すハンド３の構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、図５（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。図６（Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、図６（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。 (Hand configuration)
FIG. 3 is a plan view for explaining the structure of the hand 3 shown in FIG. FIG. 4 is a diagram for explaining the structure of the hand 3 shown in FIG. FIG. 5 (A) is an enlarged view for explaining the configuration of the E section in FIG. 1, and FIG. 5 (B) is an enlarged view for explaining the configuration of the F section in FIG. FIG. 6A is an enlarged view for explaining the configuration of the G section in FIG. 2, and FIG. 6B is an enlarged view for explaining the configuration of the H section in FIG. FIG. 7 (A) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A), and FIG. 7 (B) is an enlarged view of the K portion of FIG. 4 (B).

ハンド３は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結される基部１５と、基部１５から水平方向の一方へ伸びる直線状の複数本のハンドフォーク１６とを備えている。本形態のハンド３は、２本のハンドフォーク１６を備えている。また、ハンド３は、ハンドフォーク１６の上面側に配置されるとともにマスク２の下面を支持する支持部材１７、１８と、ハンドフォーク１６の長手方向へ支持部材１７を移動させる移動機構１９とを備えている。   The hand 3 includes a base portion 15 rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13, and a plurality of linear hand forks 16 extending from the base portion 15 in one horizontal direction. The hand 3 of this embodiment includes two hand forks 16. Further, the hand 3 includes support members 17 and 18 which are arranged on the upper surface side of the hand fork 16 and support the lower surface of the mask 2, and a moving mechanism 19 which moves the support member 17 in the longitudinal direction of the hand fork 16. ing.

さらに、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０と、固定部材２０の下面に固定されるゴム製のゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置（図７（Ｂ）の実線で示す位置）２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置（図７（Ｂ）の二点鎖線で示す位置）２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させる第２移動機構２２とを備えている。   Further, in the hand 3, the fixing member 20 to which the supporting member 17 is fixed, the rubber pad 21 made of rubber fixed to the lower surface of the fixing member 20, and the rubber pad 21 contact the upper surface of the hand fork 16 with a predetermined contact pressure. The fixing member 20 is provided between the contact position (the position shown by the solid line in FIG. 7B) 20A and the separated position (the position shown by the chain double-dashed line in FIG. 7B) where the rubber pad 21 separates from the upper surface of the hand fork 16. And a second moving mechanism 22 for moving.

基部１５は、中空状に形成されるとともに上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。基部１５には、ハンドフォーク１６の基端部が固定されている。直線状に形成される２本のハンドフォーク１６は、所定の間隔をあけた状態で互いに平行に配置されており、基部１５から水平方向の同方向へ突出している。以下の説明では、ハンドフォーク１６の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。   The base portion 15 is formed in a hollow shape and is formed in a flat, substantially rectangular parallelepiped shape having a small thickness in the vertical direction. The base portion of the hand fork 16 is fixed to the base portion 15. The two linearly formed hand forks 16 are arranged in parallel with each other with a predetermined gap therebetween, and project from the base 15 in the same horizontal direction. In the following description, the longitudinal direction of the hand fork 16 (X direction in FIG. 3 and the like) is referred to as “front-back direction”, and the Y direction in FIG. 3 and the like orthogonal to the vertical direction and front-back direction is referred to as “left-right direction”.

また、以下の説明では、前後方向のうちの、基部１５からハンドフォーク１６が突出する方向（図３のＸ１方向）を「前」方向とし、その反対方向（図３等のＸ２方向）を「後ろ」方向とする。すなわち、以下の説明では、ハンドフォーク１６の先端側を前側とし、ハンドフォーク１６の基端側を後ろ側とする。本形態の後ろ方向（Ｘ２方向）は、ハンドフォーク１６の長手方向の一方である第１方向となっており、前方向（Ｘ１方向）は、第１方向の反対方向である第２方向となっている。   In the following description, of the front-rear direction, the direction in which the hand fork 16 projects from the base 15 (X1 direction in FIG. 3) is the “front” direction, and the opposite direction (X2 direction in FIG. 3) is the “front” direction. The "back" direction. That is, in the following description, the front end side of the hand fork 16 is the front side, and the base end side of the hand fork 16 is the rear side. The back direction (X2 direction) of the present embodiment is a first direction that is one of the longitudinal directions of the hand forks 16, and the front direction (X1 direction) is a second direction that is the opposite direction to the first direction. ing.

基部１５は、上述のように、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、基部１５は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。本形態では、基部１５は、前後方向における基部１５の中心よりも前側でアーム４の先端側に連結されている。すなわち、アーム４へのハンド３の連結部分である関節部２３は、前後方向における基部１５の中心よりも前側に配置されている。   As described above, the base portion 15 is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 13. That is, the base portion 15 is rotatably connected to the tip side of the arm 4. In the present embodiment, the base portion 15 is connected to the front end side of the arm 4 in front of the center of the base portion 15 in the front-rear direction. That is, the joint portion 23, which is a connecting portion of the hand 3 to the arm 4, is arranged in front of the center of the base portion 15 in the front-rear direction.

ハンドフォーク１６は、上述のように、直線状に形成されている。本形態では、ハンドフォーク１６は、前後方向に細長い四角筒状に形成されており、中空状に形成されている。ハンドフォーク１６の上面は、上下方向に略直交する平面となっている。また、ハンドフォーク１６は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。ハンドフォーク１６の基端部は、中空状に形成される基部１５の内部に配置されている。また、右側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の右端部に固定され、左側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の左端部に固定されている。マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。   The hand fork 16 is linearly formed as described above. In this embodiment, the hand fork 16 is formed in a rectangular tube shape elongated in the front-rear direction, and is formed in a hollow shape. The upper surface of the hand fork 16 is a flat surface that is substantially orthogonal to the vertical direction. The hand fork 16 is made of resin containing carbon fiber. The base end of the hand fork 16 is arranged inside the hollow base 15. The base end portion of the hand fork 16 arranged on the right side is fixed to the right end portion of the base portion 15, and the base end portion of the hand fork 16 arranged on the left side is fixed to the left end portion of the base portion 15. The mask 2 is mounted on the front part of the two hand forks 16.

２本のハンドフォーク１６のそれぞれの上面側には、支持部材１７と支持部材１８とが１個ずつ配置されている。支持部材１７、１８は、ブロック状に形成されている。支持部材１７は、ハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっている。一方、支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。本形態の支持部材１８は、第２支持部材である。   One support member 17 and one support member 18 are arranged on the upper surface side of each of the two hand forks 16. The support members 17 and 18 are formed in a block shape. The support member 17 is movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16. On the other hand, the support member 18 is fixed to the hand fork 16. The support member 18 of this embodiment is a second support member.

支持部材１８は、ハンドフォーク１６の前端部（先端部）において、ハンドフォーク１６の上面側に固定されている。また、支持部材１８は、Ｌ字状に形成される固定板２５（図５、図６参照）を介してハンドフォーク１６の前端部に固定されている。支持部材１８には、マスク２の前端部の下面に接触する接触面１８ａが形成されている。接触面１８ａは、上下方向に略直交する平面となっている。また、支持部材１８には、マスク２の前側への移動を規制する規制面１８ｂが形成されている。すなわち、支持部材１８は、マスク２の前側への移動を規制している。規制面１８ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の前端面が接触可能となっている。   The support member 18 is fixed to the upper surface side of the hand fork 16 at the front end portion (tip portion) of the hand fork 16. Further, the support member 18 is fixed to the front end portion of the hand fork 16 via a fixing plate 25 (see FIGS. 5 and 6) formed in an L shape. The support member 18 is formed with a contact surface 18 a that contacts the lower surface of the front end portion of the mask 2. The contact surface 18a is a flat surface that is substantially orthogonal to the vertical direction. Further, the support member 18 is formed with a regulation surface 18b that regulates the movement of the mask 2 to the front side. That is, the support member 18 regulates the movement of the mask 2 to the front side. The regulation surface 18b is a plane that is substantially orthogonal to the front-rear direction, and the front end surface of the mask 2 can come into contact therewith.

固定板２５には、マスク２の有無を検知するためのセンサ２６が固定されている。センサ２６は、支持部材１８の後ろ側に配置されている。また、センサ２６は、接触面１８ａよりも下側に配置されている。なお、センサ２６から引き出される配線は、中空状に形成されるハンドフォーク１６の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。   A sensor 26 for detecting the presence or absence of the mask 2 is fixed to the fixed plate 25. The sensor 26 is arranged behind the support member 18. Further, the sensor 26 is arranged below the contact surface 18a. The wiring drawn from the sensor 26 is routed to the rear end of the hand 3 by utilizing the inside of the hand fork 16 formed in a hollow shape.

支持部材１７は、支持部材１８よりも後ろ側に配置されている。支持部材１７には、マスク２の後端部の下面に接触する接触面１７ａが形成されている。接触面１７ａは、平面であり、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、上下方向に略直交している。また、支持部材１７には、マスク２の後ろ側への移動を規制する規制面１７ｂが形成されている。すなわち、支持部材１７は、マスク２の後ろ側への移動を規制している。規制面１７ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の後端面が接触可能となっている。   The support member 17 is arranged behind the support member 18. The support member 17 has a contact surface 17 a that contacts the lower surface of the rear end of the mask 2. The contact surface 17a is a flat surface and is substantially orthogonal to the vertical direction when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. Further, the support member 17 is formed with a regulation surface 17b that regulates the rearward movement of the mask 2. That is, the support member 17 regulates the movement of the mask 2 to the rear side. The regulation surface 17b is a plane that is substantially orthogonal to the front-rear direction, and the rear end surface of the mask 2 can come into contact with it.

移動機構１９は、駆動源であるモータ２９と、モータ２９に連結されるボールねじ３０とを備えている。モータ２９は、基部１５の下面を構成する平板状の底板３１の上面に固定されている。また、モータ２９は、基部１５の後端部に固定されている。すなわち、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。モータ２９は、モータ２９の出力軸が前側に突出するように配置されている。   The moving mechanism 19 includes a motor 29, which is a drive source, and a ball screw 30 connected to the motor 29. The motor 29 is fixed to the upper surface of a flat plate-shaped bottom plate 31 that constitutes the lower surface of the base portion 15. The motor 29 is fixed to the rear end of the base 15. That is, the motor 29 is arranged behind the joint portion 23. The motor 29 is arranged such that the output shaft of the motor 29 projects forward.

ボールねじ３０のネジ軸３２は、ネジ軸３２の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。ネジ軸３２は、軸受を介して底板３１に回転可能に支持されている。ネジ軸３２は、モータ２９の前側に配置されており、減速機およびカップリングを介してモータ２９の出力軸に固定されている。また、ネジ軸３２は、ハンド３の左右方向における中心位置に配置されている。ボールねじ３０のナット部材３３は、支持部材１７と一緒に前後方向に移動する可動部材３４に取り付けられている。具体的には、ナット部材３３は、可動部材３４の前端部に固定されている。   The screw shaft 32 of the ball screw 30 is arranged such that the axial direction of the screw shaft 32 and the front-rear direction coincide with each other. The screw shaft 32 is rotatably supported by the bottom plate 31 via a bearing. The screw shaft 32 is arranged on the front side of the motor 29 and is fixed to the output shaft of the motor 29 via a reduction gear and a coupling. The screw shaft 32 is arranged at the center position of the hand 3 in the left-right direction. The nut member 33 of the ball screw 30 is attached to the movable member 34 that moves in the front-rear direction together with the support member 17. Specifically, the nut member 33 is fixed to the front end portion of the movable member 34.

底板３１の上面には、前後方向へ可動部材３４を案内するガイドレール３５が固定されている。ガイドレール３５は、左右方向でネジ軸３２を挟むように、底板３１の上面の２箇所に固定されている。可動部材３４には、ガイドレール３５に上側から係合するガイドブロック３６が固定されている。ガイドレール３５は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。   A guide rail 35 that guides the movable member 34 in the front-rear direction is fixed to the upper surface of the bottom plate 31. The guide rails 35 are fixed to two positions on the upper surface of the bottom plate 31 so as to sandwich the screw shaft 32 in the left-right direction. A guide block 36 that engages with the guide rail 35 from above is fixed to the movable member 34. The guide rail 35 is arranged inside the two hand forks 16 in the left-right direction.

第２移動機構２２は、エアシリンダである。したがって、以下では、第２移動機構２２を「エアシリンダ２２」とする。エアシリンダ２２は、可動部材３４に取り付けられている。具体的には、エアシリンダ２２は、可動部材３４の後端側の２箇所に取り付けられている。エアシリンダ２２は、２本のガイドレール３５よりも左右方向の外側に配置されている。エアシリンダ２２は、エアシリンダ２２のロッドが下側へ突出するように配置されている。エアシリンダ２２の上端部は、前後方向を軸方向とするエアシリンダ２２の回動が可能となるように、可動部材３４に保持されている。   The second moving mechanism 22 is an air cylinder. Therefore, in the following, the second moving mechanism 22 will be referred to as the "air cylinder 22". The air cylinder 22 is attached to the movable member 34. Specifically, the air cylinders 22 are attached to two positions on the rear end side of the movable member 34. The air cylinder 22 is arranged outside the two guide rails 35 in the left-right direction. The air cylinder 22 is arranged such that the rod of the air cylinder 22 projects downward. The upper end of the air cylinder 22 is held by the movable member 34 so that the air cylinder 22 can rotate about the front-back direction as an axial direction.

エアシリンダ２２の動力は、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１を介して固定部材２０に伝達されている。管状部材４０は、円管状に形成されている。すなわち、管状部材４０は、細長い円柱状に形成されている。管状部材４０は、管状部材４０の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。管状部材４０は、軸受を介して可動部材３４に回動可能に保持されている。管状部材４０は、可動部材３４に対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。   The power of the air cylinder 22 is transmitted to the fixed member 20 via the lever member 39, the tubular member 40, and the holding member 41. The tubular member 40 is formed in a circular tube shape. That is, the tubular member 40 is formed in an elongated cylindrical shape. The tubular member 40 is arranged so that the longitudinal direction of the tubular member 40 and the front-rear direction coincide with each other. The tubular member 40 is rotatably held by the movable member 34 via a bearing. The tubular member 40 is rotatable with respect to the movable member 34 with the front-back direction as the axial direction of rotation.

前後方向から見たときに、右側に配置される管状部材４０は、右側に配置されるエアシリンダ２２の右側に配置され、左側に配置される管状部材４０は、左側に配置されるエアシリンダ２２の左側に配置されている。また、管状部材４０は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。   When viewed from the front-rear direction, the tubular member 40 arranged on the right side is arranged on the right side of the air cylinder 22 arranged on the right side, and the tubular member 40 arranged on the left side is arranged on the left side of the air cylinder 22. It is located on the left side of. Further, the tubular member 40 is arranged inside the two hand forks 16 in the left-right direction.

レバー部材３９の一端部は、エアシリンダ２２のロッドに回動可能に連結されている。レバー部材３９は、エアシリンダ２２のロッドに対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の後端部に固定されている。また、レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の下端部に固定されている。一端部がエアシリンダ２２のロッドに連結されるレバー部材３９の他端部が管状部材４０の後端部に固定されているため、可動部材３４に対する管状部材４０の前後方向の移動が規制されている。   One end of the lever member 39 is rotatably connected to the rod of the air cylinder 22. The lever member 39 is rotatable with respect to the rod of the air cylinder 22 with the front-back direction as the axial direction of rotation. The other end of the lever member 39 is fixed to the rear end of the tubular member 40. The other end of the lever member 39 is fixed to the lower end of the tubular member 40. Since the other end of the lever member 39 whose one end is connected to the rod of the air cylinder 22 is fixed to the rear end of the tubular member 40, movement of the tubular member 40 with respect to the movable member 34 in the front-back direction is restricted. There is.

保持部材４１は、管状部材４０の前端部に固定されている。また、保持部材４１は、管状部材４０の上端部に固定されており、保持部材４１は、管状部材４０の前端部から上側に向かって立ち上がっている。   The holding member 41 is fixed to the front end of the tubular member 40. The holding member 41 is fixed to the upper end of the tubular member 40, and the holding member 41 rises upward from the front end of the tubular member 40.

固定部材２０は、長方形の平板状に形成されており、固定部材２０の長手方向と左右方向とが一致するように配置されている。右側に配置される支持部材１７は、右側に配置される固定部材２０の上面の右端部に固定されている。右側に配置される固定部材２０の左端部は、右側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。左側に配置される支持部材１７は、左側に配置される固定部材２０の上面の左端部に固定されている。左側に配置される固定部材２０の右端部は、左側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。   The fixing member 20 is formed in a rectangular flat plate shape, and is arranged so that the longitudinal direction of the fixing member 20 and the left-right direction coincide with each other. The support member 17 arranged on the right side is fixed to the right end portion of the upper surface of the fixing member 20 arranged on the right side. The left end portion of the fixing member 20 arranged on the right side is fixed to the upper end surface of the holding member 41 arranged on the right side. The support member 17 arranged on the left side is fixed to the left end portion of the upper surface of the fixing member 20 arranged on the left side. The right end portion of the fixing member 20 arranged on the left side is fixed to the upper end surface of the holding member 41 arranged on the left side.

ゴムパッド２１は、たとえば、長方形の板状に形成されたゴム板である。ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の右端側と、左側に配置される固定部材２０の下面の左端側とに固定されている。また、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面、および、左側に配置される固定部材２０の下面のそれぞれにおいて、左右方向に間隔をあけた状態で複数箇所に固定されている。たとえば、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の３箇所と、左側に配置される固定部材２０の下面の３箇所とに固定されている。なお、本形態のゴムパッド２１は、薄鋼板に焼き付けられて固定されており、ゴムパッド２１が固定された薄鋼板が固定部材２０の下面に固定されている。すなわち、ゴムパッド２１は、薄鋼板を介して固定部材２０の下面に固定されている。   The rubber pad 21 is, for example, a rubber plate formed in a rectangular plate shape. The rubber pad 21 is fixed to the right end side of the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and the left end side of the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side. In addition, the rubber pads 21 are fixed to a plurality of locations on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side, with a space in the left-right direction. For example, the rubber pads 21 are fixed to three places on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and three places on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side. The rubber pad 21 of the present embodiment is baked and fixed to a thin steel plate, and the thin steel plate to which the rubber pad 21 is fixed is fixed to the lower surface of the fixing member 20. That is, the rubber pad 21 is fixed to the lower surface of the fixing member 20 via the thin steel plate.

保持部材４１には、マスク２の有無を検知するためのセンサ４２が固定されている。右側に配置されるセンサ４２は、右側に配置される固定部材２０の左側に配置され、左側に配置されるセンサ４２は、左側に配置される固定部材２０の右側に配置されている。また、センサ４２は、支持部材１７の接触面１７ａよりも下側に配置されている。なお、センサ４２から引き出される配線は、円管状に形成される管状部材４０の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。   A sensor 42 for detecting the presence or absence of the mask 2 is fixed to the holding member 41. The sensor 42 arranged on the right side is arranged on the left side of the fixing member 20 arranged on the right side, and the sensor 42 arranged on the left side is arranged on the right side of the fixing member 20 arranged on the left side. Further, the sensor 42 is arranged below the contact surface 17 a of the support member 17. The wiring drawn from the sensor 42 is routed to the rear end of the hand 3 by utilizing the inside of the tubular member 40 formed in a circular tube shape.

本形態では、エアシリンダ２２のロッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが引っ込んでいるときに、固定部材２０は、接触位置２０Ａに配置されている（図７の実線参照）。固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときには、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に接触させられている。本形態では、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられている。この状態で、エアシリンダ２２のヘッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが突出すると、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１と一緒に固定部材２０が管状部材４０の軸心を中心にして回動して、離間位置２０Ｂに移動する（図７の二点鎖線参照）。   In the present embodiment, the fixed member 20 is arranged at the contact position 20A when compressed air is supplied to the rod side of the air cylinder 22 and the rod of the air cylinder 22 is retracted (see the solid line in FIG. 7). When the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A, the rubber pad 21 is brought into contact with the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22. In the present embodiment, the rubber pad 21 is pressed against the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. In this state, when compressed air is supplied to the head side of the air cylinder 22 and the rod of the air cylinder 22 projects, the fixing member 20 together with the lever member 39, the tubular member 40 and the holding member 41 causes the axial center of the tubular member 40 to move. It rotates about and moves to the separated position 20B (see the chain double-dashed line in FIG. 7).

また、本形態では、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させるときに、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させる。固定部材２０が離間位置２０Ｂに配置された状態で、モータ２９が起動してネジ軸３２が回転すると、ナット部材３３が固定された可動部材３４と一緒に、エアシリンダ２２、レバー部材３９、管状部材４０、保持部材４１、固定部材２０および支持部材１７が前後方向に移動する。なお、ハンド３は、エアシリンダ２２に接続されるエア配管の一部等が収容されるケーブルベヤ（登録商標）を備えている。   Further, in the present embodiment, the fixing member 20 is moved to the separated position 20B when the support member 17 is moved in the front-rear direction according to the size of the mask 2 conveyed by the robot 1. When the motor 29 is activated and the screw shaft 32 rotates in the state where the fixed member 20 is disposed at the separated position 20B, the air cylinder 22, the lever member 39, and the tubular member together with the movable member 34 to which the nut member 33 is fixed. The member 40, the holding member 41, the fixed member 20, and the support member 17 move in the front-back direction. The hand 3 is provided with a cable bearer (registered trademark) in which a part of the air pipe connected to the air cylinder 22 and the like are housed.

（傾き補正機構の構成）
図８は、図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。図９は、図８のＮ−Ｎ断面の構成を説明するための図である。 (Structure of tilt correction mechanism)
FIG. 8 is an enlarged view for explaining the configuration of the M section in FIG. FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the NN cross section of FIG. 8.

ロボット１は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。傾き補正機構４６は、関節部２３を構成している。すなわち、ハンド３の基部１５は、傾き補正機構４６を介して第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。傾き補正機構４６は、左右方向を回動の軸方向として、かつ、支点部４７を回動中心にしてハンド３を回動させることで、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きを補正する。   The robot 1 includes a tilt correction mechanism 46 that corrects the tilt of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction. The tilt correction mechanism 46 constitutes the joint section 23. That is, the base portion 15 of the hand 3 is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 13 via the inclination correction mechanism 46. The tilt correction mechanism 46 corrects the tilt of the mask 2 mounted on the hand fork 16 by rotating the hand 3 with the left-right direction as the axis of rotation and the fulcrum 47 as the center of rotation. To do.

傾き補正機構４６は、駆動源であるモータ４８と、モータ４８の出力軸に減速機を介して連結される偏心軸（クランク軸）４９と、偏心軸４９に一端側が取り付けられるリンク部材５０と、リンク部材５０の他端側が取り付けられる取付部材５１と、第２アーム部１３の先端側に回動可能に保持される回動部材５２とを備えている。なお、図８では、リンク部材５０の図示を省略している。   The tilt correction mechanism 46 includes a motor 48 that is a drive source, an eccentric shaft (crank shaft) 49 that is connected to an output shaft of the motor 48 through a speed reducer, and a link member 50 that has one end side attached to the eccentric shaft 49. The linking member 50 includes a mounting member 51 to which the other end side is mounted, and a rotating member 52 rotatably held on the tip end side of the second arm portion 13. In addition, in FIG. 8, the illustration of the link member 50 is omitted.

モータ４８は、回動部材５２に保持されている。偏心軸４９は、偏心軸４９の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。偏心軸４９は、回動部材５２に回動可能に保持されている。偏心軸４９は、回動部材５２に対して左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。偏心軸４９は、偏心軸４９の回動中心から軸心が所定量ずれている円柱状の偏心部４９ａを備えている。   The motor 48 is held by the rotating member 52. The eccentric shaft 49 is arranged such that the axial direction of the eccentric shaft 49 and the left-right direction coincide with each other. The eccentric shaft 49 is rotatably held by the rotating member 52. The eccentric shaft 49 is rotatable with respect to the rotating member 52 with the left-right direction as the axis of rotation. The eccentric shaft 49 includes a cylindrical eccentric portion 49a whose axis is deviated from the center of rotation of the eccentric shaft 49 by a predetermined amount.

リンク部材５０の一端側は、偏心部４９ａの外周側に回動可能に取り付けられている。リンク部材５０の他端側は、取付部材５１の後端部に回動可能に取り付けられている。取付部材５１の前端部は、支点部４７に回動可能に保持されており、取付部材５１は、回動部材５２に対して支点部４７を回動中心にして回動可能となっている。また、取付部材５１は、左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。取付部材５１の上端には、ハンド３の基部１５の下面が固定されている。   One end side of the link member 50 is rotatably attached to the outer peripheral side of the eccentric portion 49a. The other end of the link member 50 is rotatably attached to the rear end of the attachment member 51. The front end portion of the attachment member 51 is rotatably held by the fulcrum portion 47, and the attachment member 51 is rotatable with respect to the rotation member 52 with the fulcrum portion 47 as a rotation center. Further, the mounting member 51 is rotatable with the left-right direction as the axial direction of rotation. The lower surface of the base portion 15 of the hand 3 is fixed to the upper end of the mounting member 51.

傾き補正機構４６では、モータ４８が起動すると、偏心軸４９が回動する。偏心軸４９が回動すると、リンク部材５０が移動して、取付部材５１が支点部４７を中心に回動する。取付部材５１が支点部４７を中心に回動すると、ハンド３も支点部４７を中心に回動して、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きが補正される。   In the tilt correction mechanism 46, when the motor 48 is activated, the eccentric shaft 49 rotates. When the eccentric shaft 49 rotates, the link member 50 moves and the mounting member 51 rotates about the fulcrum portion 47. When the attachment member 51 rotates about the fulcrum portion 47, the hand 3 also rotates about the fulcrum portion 47, and the inclination of the mask 2 mounted on the hand fork 16 is corrected.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド３は、マスク２の下面を支持するとともにマスク２の後ろ側への移動を規制する支持部材１７を前後方向に移動させる移動機構１９を備えており、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させている。そのため、本形態では、マスク２の大きさに応じて、マスク２の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材１７を移動させることが可能になる。したがって、本形態では、様々な大きさのマスク２をハンド３に適切に搭載することが可能になる。 (Main effects of this embodiment)
As described above, in the present embodiment, the hand 3 includes the moving mechanism 19 that moves the support member 17 that supports the lower surface of the mask 2 and that restricts the movement of the mask 2 to the rear side in the front-rear direction, The support member 17 is moved in the front-rear direction according to the size of the mask 2 carried by the robot 1. Therefore, in this embodiment, the support member 17 can be moved to a position where the lower surface of the mask 2 can be appropriately supported according to the size of the mask 2. Therefore, in this embodiment, the masks 2 of various sizes can be properly mounted on the hand 3.

本形態では、マスク２の前側への移動を規制する支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に対して支持部材１８が前後方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンド３の構成を簡素化することが可能になる。   In this embodiment, the support member 18 that restricts the movement of the mask 2 to the front side is fixed to the hand fork 16. Therefore, in this embodiment, the configuration of the hand 3 can be simplified as compared with the case where the support member 18 is movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16.

本形態では、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０の下面に固定されるゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させるエアシリンダ２２とを備えている。そのため、本形態では、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を利用して前後方向における所定の位置で支持部材１７を停止させておくことが可能になる。また、本形態では、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させることで、移動機構１９によって前後方向に支持部材１７を容易に移動させることが可能になる。   In the present embodiment, the hand 3 includes the rubber pad 21 fixed to the lower surface of the fixing member 20 to which the support member 17 is fixed, the contact position 20A at which the rubber pad 21 contacts the upper surface of the hand fork 16 with a predetermined contact pressure, and the rubber pad 21. Is provided with an air cylinder 22 that moves the fixed member 20 between a separated position 20 </ b> B separated from the upper surface of the hand fork 16. Therefore, in the present embodiment, the support member 17 is stopped at a predetermined position in the front-rear direction by using the frictional force between the rubber pad 21 and the upper surface of the hand fork 16 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. It becomes possible to keep it. Further, in the present embodiment, by moving the fixed member 20 to the separated position 20B, the moving mechanism 19 can easily move the support member 17 in the front-back direction.

また、本形態では、ゴムパッド２１は、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときに、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられているため、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を高めることが可能になる。したがって、本形態では、前後方向における所定の位置で支持部材１７を確実に停止させておくことが可能になる。   Further, in the present embodiment, since the rubber pad 21 is pressed against the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A, the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. It is possible to increase the frictional force between the rubber pad 21 and the upper surface of the hand fork 16 when the rubber pad 21 is being held. Therefore, in this embodiment, the support member 17 can be reliably stopped at a predetermined position in the front-rear direction.

本形態では、マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。また、本形態では、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とモータ２９との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるモータ２９の損傷を防止することが可能になる。   In this embodiment, the mask 2 is mounted on the front part of the two hand forks 16. Further, in the present embodiment, the motor 29 is arranged on the rear side of the joint section 23. Therefore, in this embodiment, the distance between the mask 2 mounted on the hand 3 and the motor 29 can be increased in the front-rear direction. Therefore, in the present embodiment, even when the mask 2 having a relatively high temperature is mounted on the hand 3, it is possible to prevent the motor 29 from being damaged by the influence of the heat of the mask 2.

また、本形態では、エアシリンダ２２が可動部材３４の後端側に取り付けられているため、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とエアシリンダ２２との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるエアシリンダ２２の損傷を防止することが可能になる。   Further, in this embodiment, since the air cylinder 22 is attached to the rear end side of the movable member 34, it is possible to separate the mask 2 mounted on the hand 3 from the air cylinder 22 in the front-rear direction. . Therefore, in this embodiment, even when the mask 2 having a relatively high temperature is mounted on the hand 3, it is possible to prevent the air cylinder 22 from being damaged by the influence of the heat of the mask 2.

本形態では、ハンド３は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の重量によってハンドフォーク１６が撓んでも、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。   In this embodiment, the hand 3 includes a tilt correction mechanism 46 that corrects the tilt of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction. Therefore, in the present embodiment, even if the hand fork 16 bends due to the weight of the mask 2 mounted on the hand fork 16, the inclination of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction can be corrected.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態において、支持部材１７に加えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。この場合には、ハンド３は、支持部材１８を前後方向に移動させる移動機構を備えている。また、上述した形態において、支持部材１７に代えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。   In the above-described embodiment, in addition to the support member 17, the support member 18 may be movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16. In this case, the hand 3 includes a moving mechanism that moves the support member 18 in the front-back direction. Further, in the above-described embodiment, instead of the support member 17, the support member 18 may be movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16.

上述した形態において、エアシリンダ２２は、可動部材３４の前端側に取り付けられていても良いし、前後方向における可動部材３４の中間位置に取り付けられていても良い。また、上述した形態では、固定部材２０は、管状部材４０の軸心を中心にして回動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動するが、固定部材２０は、たとえば、上下方向に直線的に移動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動しても良い。また、上述した形態において、ハンド３は、エアシリンダ２２に代えて、モータと、このモータの動力を固定部材２０に伝達する動力伝達機構とを備えていても良い。   In the above-described embodiment, the air cylinder 22 may be attached to the front end side of the movable member 34, or may be attached to an intermediate position of the movable member 34 in the front-rear direction. Further, in the above-described embodiment, the fixing member 20 moves between the contact position 20A and the separation position 20B by rotating about the axis of the tubular member 40, but the fixing member 20 is, for example, You may move between the contact position 20A and the separation position 20B by linearly moving in the vertical direction. Further, in the above-described embodiment, the hand 3 may include, instead of the air cylinder 22, a motor and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the fixing member 20.

上述した形態において、基部１５の後端部がアーム４の先端側に回動可能に連結されていても良い。また、上述した形態において、モータ２９は、基部１５の前端部に固定されていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３が備えるハンドフォーク１６の本数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、傾き補正機構４６を備えていなくても良い。また、上述した形態において、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、マスク以外の物であっても良い。たとえば、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良い。   In the above-described embodiment, the rear end of the base 15 may be rotatably connected to the tip of the arm 4. Further, in the above-described form, the motor 29 may be fixed to the front end portion of the base portion 15. Furthermore, in the above-mentioned form, the number of the hand forks 16 included in the hand 3 may be three or more. Further, in the above-described embodiment, the robot 1 may not include the tilt correction mechanism 46. In addition, in the above-described embodiment, the transfer target object 2 transferred by the robot 1 may be an object other than a mask. For example, the transfer target 2 transferred by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display.

上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、上述の特許文献１に開示された産業用ロボットのように、ハンド３の基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えるロボットであっても良い。この場合のリニア駆動部は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。   In the above-described embodiment, the robot 1 is a horizontal articulated robot, but the robot to which the present invention is applied may be an industrial robot other than the horizontal articulated robot. For example, a robot to which the present invention is applied has a linear drive unit that supports the proximal end side of the hand 3 and a main body unit that supports the linear drive unit, like the industrial robot disclosed in Patent Document 1 above. It may be a robot equipped with. The linear drive unit in this case is a hand holding unit that holds the hand 3 while being connected to the hand 3.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ マスク（搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム（ハンド保持部）
１６ ハンドフォーク
１７ 支持部材
１８ 支持部材（第２支持部材）
１９ 移動機構
２０ 固定部材
２０Ａ 接触位置
２０Ｂ 離間位置
２１ ゴムパッド
２２ エアシリンダ（第２移動機構）
２３ 関節部（ハンド保持部へのハンドの連結部分）
２９ モータ（移動機構の駆動源）
３４ 可動部材
４６ 傾き補正機構
Ｘ ハンドフォークの長手方向
Ｘ１ 第２方向
Ｘ２ 第１方向 1 robot (industrial robot)
2 Mask (object to be transported)
3 hand 4 arm (hand holding part)
16 Hand Fork 17 Support Member 18 Support Member (Second Support Member)
19 Moving mechanism 20 Fixed member 20A Contact position 20B Separation position 21 Rubber pad 22 Air cylinder (2nd moving mechanism)
23 Joint part (connecting part of hand to hand holding part)
29 Motor (driving mechanism drive source)
34 movable member 46 inclination correction mechanism X longitudinal direction of hand fork X1 second direction X2 first direction

Claims (7)

搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォークと、前記ハンドフォークの上面側に配置され前記搬送対象物の下面を支持するとともに前記ハンドフォークの長手方向への前記搬送対象物の移動を規制する支持部材と、前記ハンドフォークの長手方向に前記支持部材を移動させる移動機構とを備えることを特徴とするハンド。 In the hands of industrial robots that convey objects to be conveyed,
A plurality of hand forks formed in a straight line and arranged in parallel with each other, and supporting the lower surface of the object to be conveyed arranged on the upper surface side of the hand fork and conveying the object to be conveyed in the longitudinal direction of the hand fork. A hand comprising: a support member for restricting movement, and a moving mechanism for moving the support member in a longitudinal direction of the hand fork. 前記ハンドフォークに対して前記ハンドフォークの長手方向に移動可能な前記支持部材と、前記ハンドフォークの上面側に固定され前記搬送対象物の下面を支持する第２支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記ハンドフォークの長手方向における一方側への前記搬送対象物の移動を規制し、
前記第２支持部材は、前記ハンドフォークの長手方向における他方側への前記搬送対象物の移動を規制することを特徴とする請求項１記載のハンド。 A support member that is movable in the longitudinal direction of the hand fork with respect to the hand fork; and a second support member that is fixed to the upper surface side of the hand fork and supports the lower surface of the object to be conveyed,
The support member regulates the movement of the object to be transported to one side in the longitudinal direction of the hand fork,
The hand according to claim 1, wherein the second support member regulates movement of the object to be transported to the other side in the longitudinal direction of the hand fork. 前記支持部材が固定される固定部材と、前記固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、前記ゴムパッドが前記ハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置と前記ゴムパッドが前記ハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で前記固定部材を移動させる第２移動機構とを備えることを特徴とする請求項１または２記載のハンド。   A fixing member to which the support member is fixed, a rubber rubber pad fixed to a lower surface of the fixing member, a contact position where the rubber pad contacts the upper surface of the hand fork with a predetermined contact pressure, and the rubber pad is the hand. The hand according to claim 1 or 2, further comprising: a second moving mechanism that moves the fixed member between a separated position separated from an upper surface of the fork. 前記第２移動機構は、エアシリンダであり、
前記ゴムパッドは、前記接触位置に前記固定部材が配置されているときに、前記エアシリンダによって前記ハンドフォークの上面に接触させられているか、または、押し付けられていることを特徴とする請求項３記載のハンド。 The second moving mechanism is an air cylinder,
The rubber pad is brought into contact with or pressed against the upper surface of the hand fork by the air cylinder when the fixing member is arranged at the contact position. Hand. 請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部とを備え、
前記ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、
前記搬送対象物は、前記ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、
前記移動機構の駆動源は、前記ハンド保持部への前記ハンドの連結部分よりも第１方向側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 The hand according to any one of claims 1 to 4, and a hand holding unit that holds the hand while being connected to the hand,
If one of the longitudinal directions of the hand fork is the first direction and the opposite direction to the first direction is the second direction,
The object to be transported is mounted on the second direction side portion of the hand fork,
The industrial robot, wherein the drive source of the moving mechanism is arranged on the first direction side with respect to the connecting portion of the hand to the hand holding portion. 請求項３または４記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部とを備え、
前記ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、
前記搬送対象物は、前記ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、
前記ハンドは、前記第２移動機構が取り付けられるとともに前記支持部材と一緒に前記ハンドフォークの長手方向に移動する可動部材を備え、
前記移動機構の駆動源は、前記ハンド保持部への前記ハンドの連結部分よりも第１方向側に配置され、
前記第２移動機構は、前記可動部材の第１方向端側に取り付けられていることを特徴とする産業用ロボット。 The hand according to claim 3 or 4, and a hand holding part that holds the hand while the hand is connected,
If one of the longitudinal directions of the hand fork is the first direction and the opposite direction to the first direction is the second direction,
The object to be transported is mounted on the second direction side portion of the hand fork,
The hand includes a movable member to which the second moving mechanism is attached and which moves in the longitudinal direction of the hand fork together with the supporting member,
The drive source of the moving mechanism is arranged on the first direction side with respect to the connecting portion of the hand to the hand holding portion,
The industrial robot, wherein the second moving mechanism is attached to an end of the movable member in the first direction. 請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部と、前記ハンドフォークに搭載された前記搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構とを備えることを特徴とする産業用ロボット。   The hand according to any one of claims 1 to 4, a hand holding unit that holds the hand while the hand is connected, and a tilt of the conveyance target mounted on the hand fork with respect to the horizontal direction is corrected. An industrial robot comprising a tilt correction mechanism.
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