JP2019508678A - ハイブリッドインスペクタ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (32)
- 標本の光学ベースの出力を、光を前記標本に向け、光を前記標本から検出することによって生成するように構成された光学ベースのサブシステムと、
前記標本の電子ビームベースの出力を、電子を前記標本に向け、電子を前記標本から検出することによって生成するように構成された電子ビームベースのサブシステムと、
前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力を受信するように構成された1つ以上のコンピュータサブシステムであって、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの少なくとも一部を使用して1つ以上の関数を実施するように構成された1つ以上の仮想システムを備え、前記1つ以上の仮想システムは、その中に前記標本を載置させることができない、1つ以上のコンピュータサブシステムと、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムによって実行される1つ以上の構成要素であって、前記標本のための1つ以上のシミュレーションを実施するように構成された1つ以上のモデルを備える、1つ以上の構成要素と、を備え、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の結果、および前記1つ以上のシミュレーションの結果のうちの少なくとも2つに基づいて、前記標本における欠陥を検出するようにさらに構成されている標本における欠陥を検出するように構成されたシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上の仮想システムは、前記標本の設計情報に基づいて前記標本についての基準を生成するようにさらに構成されており、前記基準は、前記標本における前記欠陥を検出するために使用されるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記欠陥を検出することは、前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の前記結果、および前記1つ以上のシミュレーションの前記結果のうちの前記少なくとも2つと組み合わせて前記標本の設計情報に基づいてさらに実施されるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記欠陥を検出することは、前記光学ベースの出力を第1の基準と比較すること、および前記電子ビームベースの出力を第2の基準と比較することを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上の仮想システムは、前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のすべてを無制限に格納するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上の仮想システムは、前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力を使用することなく前記標本の情報を生成するように、ならびに前記1つ以上の仮想システムによって生成された前記情報を前記1つ以上の仮想システムに格納するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、別のシステムによって生成された前記標本の情報を受信するようにさらに構成されており、前記1つ以上の仮想システムは、前記情報を格納するようにさらに構成されており、前記欠陥を検出することは、前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の前記結果、前記1つ以上のシミュレーションの前記結果のうちの前記少なくとも2つと組み合わせて、格納された前記情報に基づいてさらに実施されるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記標本は、検査用設計構造を含み、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記検査用設計構造について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの少なくとも1つを抽出し、抽出された前記出力に基づいて1つ以上の関数を実施するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記欠陥を検出することが容積測定検査を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記欠陥を検出することがハイパースペクトル検査を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記欠陥を検出することが多モード検査を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のモデルは、検出された前記欠陥を分類するようにさらに構成されており、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記分類の結果に基づいて検出された前記欠陥をサンプリングするようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記1つ以上のモデルを使用して前記欠陥を前記検出することを実施するように構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上の構成要素は、少なくとも前記光学ベースのサブシステムおよび前記電子ビームベースのサブシステムを制御するように構成された単一のレシピをさらに含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、プロセスウィンドウ認定法で検出された欠陥の情報を用いて前記1つ以上のモデルをトレーニングするようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のモデルが1つ以上の深層学習ベースのモデルを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のモデルが1つ以上の機械学習ベースのモデルを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のモデルが1つ以上の識別モデルを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のモデルが1つ以上の生成的モデルを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のシミュレーションは、前記標本の設計情報に基づいて前記標本のための1つ以上のシミュレーション画像を生成することを含み、前記電子ビームベースの出力は、前記電子ビームベースのサブシステムによって生成された前記標本の1つ以上の実画像を含み、前記1つ以上のシミュレーション画像は、前記標本が前記1つ以上の実画像内でどのように見えるかを例証するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のシミュレーションは、前記標本の設計情報および前記光学ベースの出力に基づいて前記標本のための1つ以上のシミュレーション画像を生成することを含み、前記電子ビームベースの出力は、前記電子ビームベースのサブシステムによって生成された前記標本の1つ以上の実画像を含み、前記1つ以上のシミュレーション画像は、前記標本が前記1つ以上の実画像内でどのように見えるかを例証するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記検出することは、前記光学ベースの出力に基づいて検出された欠陥が有害であるかどうかを前記電子ビームベースの出力に基づいて決定することを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記1つ以上のモデルを使用して前記欠陥を前記検出することを実施するようにさらに構成されており、前記1つ以上のモデルは、前記欠陥を前記検出するために使用される前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の前記結果、前記1つ以上のシミュレーションの前記結果のうちの前記少なくとも2つを選択するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの少なくとも1つを前記生成することは、前記標本上の計測マーカの情報に基づいて実施され、前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、前記計測マーカにおいて生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの前記少なくとも1つに基づいて前記標本の計測情報を生成するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記光学ベースの出力は、前記光学ベースのサブシステムのパラメータの2つ以上の異なる値を用いて前記光学ベースのサブシステムによって生成された出力を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子ビームベースの出力は、前記電子ビームベースのサブシステムのパラメータの2つ以上の異なる値を用いて前記電子ビームベースのサブシステムによって生成された出力を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記標本がウェハであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記標本がレチクルであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記光学ベースのサブシステムおよび前記電子ビームベースのサブシステムは、前記1つ以上のコンピュータサブシステムを介してのみ互いに結合されるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記光学ベースのサブシステムおよび前記電子ビームベースのサブシステムは、前記1つ以上のコンピュータサブシステムおよび共通の標本ハンドリングサブシステムを介してのみ互いに結合されるシステム。
- 標本の光学ベースの出力を、光を前記標本に向け、光を前記標本から検出することによって生成することと、
前記標本の電子ビームベースの出力を、電子を前記標本に向け、電子を前記標本から検出することによって生成することと、
1つ以上のコンピュータシステムを用いて前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力を受信することであって、前記1つ以上のコンピュータシステムは、前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの少なくとも一部を使用して1つ以上の関数を実施するように構成された1つ以上の仮想システムを備え、前記1つ以上の仮想システムは、その中に前記標本を載置させることができず、1つ以上の構成要素が、前記1つ以上のコンピュータシステムによって実行され、前記1つ以上の構成要素は、前記標本のための1つ以上のシミュレーションを実施するように構成された1つ以上のモデルを含む、受信することと、
前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の結果、前記1つ以上のシミュレーションの結果のうちの少なくとも2つに基づいて前記標本における欠陥を検出することと、を含む標本における欠陥を検出するためのコンピュータ実装の方法。 - 標本における欠陥を検出するためのコンピュータ実装の方法を実施するための1つ以上のコンピュータシステムに対して実行可能なプログラム命令を格納する非一時的なコンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実装の方法は、
標本の光学ベースの出力を、光を前記標本に向け、光を前記標本から検出することによって生成することと、
前記標本の電子ビームベースの出力を、電子を前記標本に向け、電子を前記標本から検出することによって生成することと、
1つ以上のコンピュータシステムを用いて前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力を受信することであって、前記1つ以上のコンピュータシステムは、前記標本について生成された前記光学ベースの出力および前記電子ビームベースの出力のうちの少なくとも一部を使用して1つ以上の関数を実施するように構成された1つ以上の仮想システムを備え、前記1つ以上の仮想システムは、その中に前記標本を載置させることができず、1つ以上の構成要素が、前記1つ以上のコンピュータシステムによって実行され、前記1つ以上の構成要素は、前記標本のための1つ以上のシミュレーションを実施するように構成された1つ以上のモデルを含む、受信することと、
前記光学ベースの出力、前記電子ビームベースの出力、前記1つ以上の関数の結果、前記1つ以上のシミュレーションの結果のうちの少なくとも2つに基づいて前記標本における欠陥を検出することと、を含む非一時的なコンピュータ可読媒体。
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