JP2019194960A - 塗布装置、塗布方法および有機elディスプレイ - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、実施形態に係る有機ELディスプレイの回路構成の一例を示す図である。なお、図2では、一つの単位回路11を拡大して示している。
図6は、実施形態に係る有機発光ダイオード13の製造方法を示すフローチャートである。図6に示す各処理手順は、基板10上に、TFT層12、補助電極51、平坦化層18、バンク30、開口部31およびコンタクトホール50が形成され、かつ、コンタクトホール50に導電性材料が埋め込まれた後の有機ELディスプレイに対して行われる。
図7は、実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式的な平面図である。図7に示す基板処理システム100は、図6のステップS103〜S105に相当する各処理を行うことにより、陽極21上に正孔注入層24、正孔輸送層25および発光層26を形成する。
次に、発光層形成ブロック123の塗布装置123aについて、図8および図9を参照して説明する。図8は、実施形態に係る塗布装置123aの構成を示す模式的な平面図である。また、図9は、実施形態に係る塗布装置123aの構成を示す模式的な側面図である。
次に、塗布装置123aが描く描画パターンについて、図10を参照して説明する。図10は、実施形態に係る塗布装置123aが描く描画パターンを示す平面図である。
次に、本実施形態における第1変形例に係る描画パターンについて図11を参照して説明する。図11は、実施形態における第1変形例に係る描画パターンを示す平面図である。
図12は、実施形態における第2変形例に係る描画パターンを示す平面図である。図12に示すように、第2変形例に係る有機ELディスプレイ1は、Y軸方向に隣り合う複数の同色の副画素に対応して設けられた複数の陽極21を露出させる開口部31を有する。たとえば、第2変形例に係る開口部31は、Y軸方向に並べられた全ての陽極21の各一部を露出させる。言い換えれば、第2変形例に係る開口部31は、Y軸方向に並べられた複数の陽極21のうち、最もY軸正方向側に位置する陽極21から最もY軸方向負方向側に位置する陽極21までまたがって形成される。
図13は、実施形態における第3変形例に係る描画パターンを示す平面図である。第3変形例において、コンタクトホール50は、隣り合う複数の異なる色の副画素ごとに設けられてもよい。たとえば、図13に示す有機ELディスプレイ1において、コンタクトホール50は、1つの画素を構成する3つの副画素である赤色の副画素、緑色の副画素および青色の副画素ごとに設けられる。言い換えれば、コンタクトホール50は、1画素につき1つ設けられる。
10 基板
13 有機発光ダイオード
21 陽極
22 陰極
23 有機EL層
26 発光層
30 バンク
31 開口部
50 コンタクトホール
51 補助電極
100 基板処理システム
123a 塗布装置
151 基板保持部
152 移動機構
160 吐出ユニット
162 ヘッド
163 ノズル
261R 赤色発光領域
261G 緑色発光領域
261B 青色発光領域
Claims (13)
- 基板を保持する基板保持部と、
ノズルが第1方向に複数並んで設けられるヘッドを複数含む吐出ユニットと、
前記第1方向に交差する第2方向に沿って前記吐出ユニットと前記基板保持部とを相対的に移動させる移動機構と
を備え、
前記基板は、
複数の副画素に対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の画素電極を覆うとともに、少なくとも1つの前記画素電極を露出させる開口部が複数形成されたバンクと、前記複数の画素電極に対向する対向電極を補助電極と電気的に接続するための複数のコンタクトホールとを備え、
前記コンタクトホールは、
2以上の前記副画素ごとに設けられ、
前記吐出ユニットは、
前記基板保持部に保持された前記基板の前記開口部に向けて、有機材料の液滴を前記ノズルから吐出する、塗布装置。 - 前記コンタクトホールは、
2以上の同色の副画素ごとに設けられる、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記開口部は、
隣り合う2以上の同色の前記副画素に対応して設けられた2以上の前記画素電極を露出させ、
前記コンタクトホールは、
前記開口部によって露出される2以上の前記画素電極に対応する2以上の同色の前記副画素ごとに設けられる、請求項2に記載の塗布装置。 - 前記開口部は、
前記第1方向に隣り合う2以上の同色の前記副画素に対応して設けられた2以上の前記画素電極を露出させる、請求項3に記載の塗布装置。 - 前記開口部は、
前記第2方向に隣り合う2つの同色の前記副画素に対応して設けられた2つの前記画素電極を露出させる、請求項3に記載の塗布装置。 - 前記開口部は、
前記第1方向および前記第2方向に隣り合う4以上の同色の前記副画素に対応して設けられた4以上の前記画素電極を露出させる、請求項3に記載の塗布装置。 - 前記コンタクトホールは、
前記第1方向に隣り合う2つの前記開口部の間の領域に形成される、請求項3〜6のいずれか一つに記載の塗布装置。 - 前記コンタクトホールは、
前記第2方向に隣り合う2つの前記開口部の間の領域に形成される、請求項3〜6のいずれか一つに記載の塗布装置。 - 前記開口部は、
前記コンタクトホールと隣り合う部分における前記第2方向の寸法が、その他の部分における前記第2方向の寸法よりも狭く形成される、請求項8に記載の塗布装置。 - 前記コンタクトホールは、
2以上の異なる色の副画素ごとに設けられる、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記コンタクトホールは、
少なくとも1つの画素に対して1つ設けられる、請求項10に記載の塗布装置。 - 複数の副画素に対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の画素電極を覆うとともに、少なくとも1つの前記画素電極を露出させる開口部が複数形成されたバンクと、前記複数の画素電極に対向する対向電極を補助電極と接続するための複数のコンタクトホールとを備える基板を基板保持部を用いて保持する保持工程と、
ノズルが第1方向に複数並んで設けられるヘッドを複数含む吐出ユニットと、前記基板保持部とを、前記第1方向に交差する第2方向に沿って相対的に移動させる移動工程と、
前記基板保持部に保持された前記基板の前記開口部に向けて、有機材料の液滴を前記ノズルから吐出する吐出工程と
を含み、
前記コンタクトホールは、
2以上の前記副画素ごとに設けられる、塗布方法。 - 基板上に複数の副画素に対応して設けられた複数の画素電極と、
前記複数の画素電極を覆うとともに、少なくとも1つの前記画素電極を露出させる開口部が複数形成されたバンクと、
前記複数の画素電極に対向する対向電極と、
前記開口部において前記画素電極と前記対向電極との間に設けられた有機EL層と、
補助電極と、
前記対向電極を前記補助電極と接続するための複数のコンタクトホールと
を備え、
前記コンタクトホールは、
2以上の前記副画素ごとに設けられる、有機ELディスプレイ。
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