JP2019156516A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
鉛直方向視で一対の前記規制体が並ぶ方向を並び方向とし、前記並び方向の一方側を並び方向第1側とし、その反対側を並び方向第2側とし、前記並び方向における一対の前記規制体の中央の位置を中央位置として、前記保持物品は、前記旋回部による前記保持部の旋回角度に応じて、前記並び方向第1側を向く第1側面と、前記並び方向第2側を向く第2側面との前記並び方向での位置が変化する形状であり、一対の前記規制体のうちの前記並び方向第1側にある第1規制体は、前記第1側面に対向して配置され、一対の前記規制体のうちの前記並び方向第2側にある第2規制体は、前記第2側面に対向して配置され、前記規制体調節部は、前記保持物品の姿勢に応じて、前記中央位置を調節する点にある。
搬送装置を備えた物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図1及び図2に示すように、物品搬送設備は、天井近くに設置されたレール1と、搬送装置に相当する物品搬送車2と、物品6に対して処理を行う処理装置3と、を備えている。処理装置3に対して隣接する位置に、物品6を支持する支持台4が設けられている。物品搬送車2は、レール1に沿って走行して物品6を搬送する。本実施形態では、処理装置3による処理が行われる前の物品6を、図外の搬送元から支持台4に搬送すると共に、処理装置3による処理が行われた後の物品6を、支持台4から図外の搬送先に搬送する。
本実施形態では、物品6は、板状の収容物を複数枚収容可能な容器である。より具体的には、本例に係る物品6は、ダイシングフレームを取り付けたウェハを複数枚収容する容器である。図3に示すように、物品6は、収容物を収容する本体部7と、本体部7の上面に取り付けられたフランジ部8と、を備えている。図5から図9に示すように、本体部7には、収容物を出し入れするための開口9が形成されている。尚、物品6を説明する場合において、鉛直方向Z視において収容物を出し入れする方向を奥行方向Dと称し、鉛直方向視において奥行方向Dと直交する方向を幅方向Wと称する。
次に、物品搬送車2について説明する。尚、図1から図3に示すように、走行部11が走行する方向を並び方向Xと称し、鉛直方向Z視で並び方向Xと直交する方向を横幅方向Yと称する。また、並び方向Xの一方側を並び方向第1側X1と称し、その反対側を並び方向第2側X2と称する。また、横幅方向Yの一方側を横幅方向第1側Y1と称し、その反対側を横幅方向第2側Y2と称する。
物品搬送車2は、上記に加えて更に、保持物品6Aの揺れを規制する一対の規制体21と、一対の規制体21を移動させる一対の調節用モータ23と、を備えている。そこで、次に、規制体21の動作について説明するが、その際、図3に示すように、保持部12が上方位置にある状態に基づいて説明する。
第2側面対向部21Bは、第2下面対向部22Bにおける並び方向第1側X1の端部より並び方向第2側X2の部分に立設されている。第2側面対向部21Bが、保持物品6Aの第2側面F2に接触している状態では、第2下面対向部22Bにおける並び方向第1側X1の部分が、保持物品6Aの第2側面F2よりも並び方向第1側X1に位置している。
図4に示すように、物品搬送車2は、図外の上位コントローラからの指令に基づいて物品搬送車2を制御する制御装置Hを備えている。制御装置Hは、保持物品6Aの姿勢に応じて、並び方向Xにおける一対の規制体21の中央位置Sを調節するために、一対の調節用モータ23を制御すると共に、横幅方向Yにおける保持部12の位置を調節するために、スライド用モータ17Bを制御する。スライド用モータ17Bを有するスライド操作部17は、保持物品6Aが収容室13Cの横幅方向Yの範囲内に収まるように保持部12の位置を調節する。
次に、搬送装置のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した搬送装置の概要について説明する。
鉛直方向視で一対の前記規制体が並ぶ方向を並び方向とし、前記並び方向の一方側を並び方向第1側とし、その反対側を並び方向第2側とし、前記並び方向における一対の前記規制体の中央の位置を中央位置として、前記保持物品は、前記旋回部による前記保持部の旋回角度に応じて、前記並び方向第1側を向く第1側面と、前記並び方向第2側を向く第2側面との前記並び方向での位置が変化する形状であり、一対の前記規制体のうちの前記並び方向第1側にある第1規制体は、前記第1側面に対向して配置され、一対の前記規制体のうちの前記並び方向第2側にある第2規制体は、前記第2側面に対向して配置され、前記規制体調節部は、前記保持物品の姿勢に応じて、前記中央位置を調節する。
2:物品搬送車(搬送装置)
6:物品
6A:保持物品
11:走行部
13:収容部
13C:収容室
17B:スライド用モータ(保持調節部)
18:旋回操作部(旋回部)
21:規制体
21A:第1側面対向部
21B:第2側面対向部
22A:第1下面対向部
22B:第2下面対向部
23:調節用モータ(規制体調節部)
24:第1規制体
25:第2規制体
F1:第1側面
F2:第2側面
F3:下面
S:中央位置
X:並び方向
X1:並び方向第1側
X2:並び方向第2側
Z:鉛直方向
Claims (6)
- レールに沿って走行する走行部と、
走行部に連結され且つ物品を保持する保持部と、
前記保持部及び前記保持部に保持されている物品である保持物品を鉛直方向に沿う縦軸心周りに旋回させる旋回部と、
鉛直方向視で前記保持物品の両側に分かれて配置される一対の規制体と、
一対の前記規制体を移動させる規制体調節部と、を備えた搬送装置であって、
鉛直方向視で一対の前記規制体が並ぶ方向を並び方向とし、前記並び方向の一方側を並び方向第1側とし、その反対側を並び方向第2側とし、前記並び方向における一対の前記規制体の中央の位置を中央位置として、
前記保持物品は、前記旋回部による前記保持部の旋回角度に応じて、前記並び方向第1側を向く第1側面と、前記並び方向第2側を向く第2側面との前記並び方向での位置が変化する形状であり、
一対の前記規制体のうちの前記並び方向第1側にある第1規制体は、前記第1側面に対向して配置され、
一対の前記規制体のうちの前記並び方向第2側にある第2規制体は、前記第2側面に対向して配置され、
前記規制体調節部は、前記保持物品の姿勢に応じて、前記中央位置を調節する搬送装置。 - 前記旋回部による前記保持部の旋回角度に応じて、鉛直方向視における前記並び方向に交差する方向における前記保持部の位置を調節する保持調節部を更に備えている請求項1に記載の搬送装置。
- 前記並び方向は、前記走行部が走行する方向に沿う方向であり、
鉛直方向視における前記並び方向に対して直交する方向を横幅方向として、
前記保持調節部は、前記横幅方向に沿って前記保持部を移動させる請求項2に記載の搬送装置。 - 前記保持物品を収容する収容室を形成する収容部を更に備え、
前記保持調節部は、前記保持物品が前記収容室の前記横幅方向の範囲内に収まるように前記保持部の位置を調節する請求項3に記載の搬送装置。 - 前記保持部は、物品の上端部を保持するように構成され、
前記第1規制体は、前記保持物品の前記第1側面に対向して配置される第1側面対向部に加えて、前記保持物品の下面に対向して配置される第1下面対向部を更に備え、
前記第2規制体は、前記保持物品の前記第2側面に対向して配置される第2側面対向部に加えて、前記保持物品の下面に対向して配置される第2下面対向部を更に備えている請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送装置。 - 前記保持部は、前記レールより下方に位置し、
前記保持部を前記走行部の近くの上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置とに昇降させる昇降駆動部を更に備え、
前記第1規制体は、前記保持部が前記上昇位置にある状態で前記第1側面に対向して配置され、
前記第2規制体は、前記保持部が前記上昇位置にある状態で前記第2側面に対向して配置される請求項1から5のいずれか一項に記載の搬送装置。
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