JP2019147573A - ウエハ保護用クッション材 - Google Patents
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Abstract
Description
JIS K 6767に準拠して測定された該クッション材の圧縮硬さが、20N以下であり、
前記発泡シートの連続気泡率が75%以上である、ことを特徴とするウエハ保護用クッション材、
(2)JIS K 6767に準拠して測定された前記クッション材の圧縮永久歪みが、5%以下である、上記(1)に記載のウエハ保護用クッション材、
を要旨とする。
本発明は、ウエハ保護用クッション材(以下、単にクッション材と呼ぶことがある。)である。クッション材は、使用時には、容器本体と蓋を備えた搬送容器に収容される。このとき、クッション材は、容器本体の上下端にウエハを覆うように配置される。
図1に例示されるように、本発明のクッション材1は、発泡シート2の上下両面に樹脂フィルム3,3を積層されている。したがって、クッション材1の上下面(表裏面)は、樹脂フィルム3,3の面となっている。このように、クッション材1が、発泡シート2の両面に樹脂フィルム3,3を積層していることで、クッション材1がその表面から発泡シート2の発泡セル内部にまで塵や埃が浸入してしまう虞を効率的に防止することができる。
クッション材1の周端面(側周面)1aでは、発泡シート2が樹脂シート3で覆われずに外部に露出した構成となっている。これにより、容器本体7と蓋9を備えた搬送容器10にウエハ5、スペーサ6及びクッション材1を収容した状態において、搬送容器10の外部の塵や埃が容器本体7とクッション材1との隙間を通ってウエハ5に到達しようとしても、クッション材の周端面1aから発泡シート2の発泡セル内に塵や埃が取り込まれるとともに連続気泡の奥方へと入り込みやすく、また、取り込まれた後においては、発泡シート2の帯電性により、その塵や埃をとじこめた状態が維持されやすくなる。
クッション材1は、JIS K 6767に準拠して測定されたクッション材1の圧縮硬さが20N以下となっている。クッション材1の圧縮硬さの測定は、圧縮試験機等を用いて具体的に実施することができる。圧縮試験機としては、例えば、株式会社エー・アンド・ディ製、型式RTC−1350Aなどを採用することができる。
クッション材1は、JIS K 6767に準拠して測定されたクッション材1の圧縮永久歪みが5%以下であることが好ましい。クッション材1の圧縮永久歪みの測定は、圧縮試験機等を用いて具体的に実施することができる。圧縮試験機としては、例えば、株式会社エー・アンド・ディ製、型式RTC−1350Aなどを採用することができる。
クッション材1は、その吸水率が低いことが好ましく、具体的には、0.01g/cm2以下であることが好ましい。容器本体7と蓋9を備えた搬送容器10にウエハ5、スペーサ6及びクッション材1を収容した状態において、クッション材1が外部の水分を吸ってしまっていると、クッション材1に含まれた水分によってウエハ5が汚染されてしまう虞がある。
クッション材1の吸水率(%)は、JIS K 6767に準拠した測定方法を用いて具体的に測定することができる。
クッション材1を構成する発泡シート2は、その連続気泡率が75%以上である。発泡シート2の連続気泡率が75%以上であることで、発泡シート2の柔軟性を向上させることができることから、クッション材1の柔軟性を向上させることができる。
発泡シート2の連続気泡率(%)は、次のようにASTM D2856に準拠した方法により特定することができる。所定寸法の試験片をきり出し、試験片の体積を算出し、試験片の重さを測定する。試験片と空気比較式比重計を用いてベックマン測定値を求める。セル膜比重は1.0とする。これらの値に基づき、独立気泡率(%)を特定する。連続気泡率(%)は、100から独立気泡率(%)を差し引いた値として特定することができる。
発泡シート2の基材樹脂は、特に限定されないが、ポリエチレン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂などを適宜選択することができる。クッション材の吸水率を0.01g/cm2以下とすることをより確実に実現する観点からは、発泡シート2の基材樹脂は、ポリエチレン系樹脂であることが好ましい。
発泡シート2の厚みは、特に限定されないが、1mm以上20mm以下であることが好ましい。発泡シート2の厚みが1mm未満であると、クッション材3の緩衝性が不十分になってしまう虞を生じ、発泡シート2の厚みが20mmを超えると、搬送容器10にウエハ5を収容するための空間が小さくなってしまう虞を生じる。このような虞をより効果的に抑制する観点からは、発泡シート2の厚みは、3mm以上10mm以下であることがより好ましい。
樹脂フィルム3の材質は、発泡シート2に対して接着可能であれば、特に限定されるものではなく、ポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系フィルム、およびポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム等を用いることができる。また、これらフィルムは、インフレーション法や押出し法により連続的に成形することができる。
樹脂フィルム3は、格子状又はドット状にエンボス加工を施されてもよい。このようにエンボス加工された樹脂フィルム3は、図2に示すような凹凸が形成されたものとなる。クッション材1において、凹凸の形成された樹脂フィルム3が発泡シート2の両面に積層されていると、クッション材1は、その表裏両面に凹凸面4、4を形成した構成を備えることとなる。
次に、クッション材1の製造方法について説明する。発泡シート2の両面に樹脂フィルム3を配置させながら一対のロールに通じる。ロールは加熱ロールとなっており、ロール通過時に発泡シート2と樹脂フィルム3が加熱されることで、発泡シート2の表面に樹脂フィルム3がラミネート加工される。こうして、発泡シート2の両面に樹脂フィルム3が積層された積層シートが得られる。なお、得られた積層シートは、円状プレス裁断機で所定寸法に裁断され、クッション材1が得られる。
ウエハ保護用クッション材1は、例えば図3に示すような容器本体7と蓋体9とからなる搬送容器10にウエハ5とスペーサ6とともに収納される。ウエハ5は、電子回路を搭載したシリコン基板などを例示することができる。スペーサ6は、隣り合うウエハ5、5の間に介装されてウエハ5、5どうしの直接接触を防ぐためのものである。図3の例では、ウエハ5とスペーサ6は、上下方向に沿って交互に複数枚重ねられてウエハ積層体11をなすとともに容器本体7の収容部8に形成される空間内に収納され、ウエハ積層体11の上下端部それぞれにウエハ保護クッション材1,1が設けられる。したがって、運搬時の振動等により外部から搬送容器10に与えられる衝撃がクッション材1によって緩衝され、外部からの衝撃によってウエハ5が破損してしまう虞を低減させることができる。なお、上下方向については、図3の例では矢印Gで示す。
発泡シートとして、基材樹脂としてポリエチレンを用い発泡剤としてブタン系化学発泡剤を用いて押出発泡させたシート(厚さ6mm)を準備した。
クッション材の圧縮硬さは、JIS K 6767(付属書1の3)に準拠して次のように測定された。
クッション材の圧縮永久歪みは、JIS K 6767に準拠して次のように測定された。
1枚のクッション材をクリーンルーム内(アメリカ連邦規格(Federal Standard) 209Dの基準でクラス10の清浄度)に1分間静置した後、クッション材の表面に付着する塵や埃の微粒子を1分間吸引するとともに吸引された微粒子の数をカウントした。クッション材の裏面についても表面と同様にして微粒子の数をカウントした。クッション材の表面裏面の両面について、カウントされた微粒子の数の合計を算出し、クッション材1枚あたりの発塵数(個/枚)とした。なお、微粒子は、大きさが直径0.5μm以上のものについてカウントされた。また、微粒子のカウントには、側方散乱方式の気中パーティクルカウンタ(リオン株式会社製、 KM−27型)が用いられた。
まず、シリコン製ウエハの搬送容器(アキレス社製、NA−8M)を準備した。搬送容器は、容器本体と蓋を備えるものである。まず、容器本体の底面上に確認試験用クッション材を3枚上下方向に重なり合うように設置した。最上位にある確認試験用クッション材の表面上に、得られたクッション材を1枚重ね置き、その表面上にシリコン製ウエハ(厚み:725μm)を1枚重ね置いた。シリコン製ウエハの表面上に、更に、得られたクッション材を6枚上下方向に重なり合うように設置し、さらに、容器本体に蓋を被せることで、6枚のクッション材のうち最上位にあるクッション材の表面側を覆った。その状態で30分間静置後、ウエハの破損有無を目視にて確認した。
○(良好):ウエハに破損が認められなかった。
×(不良):ウエハに破損が認められた。
加熱ロールとして、突起を設けていないロールを用いて、凹凸加工無しとしたほかは、実施例1と同様にしてウエハ保護用クッション材を得て、圧縮硬さ、圧縮永久歪みの測定、発塵性試験、ウエハ破損確認試験を行った。結果を表1に示す。
発泡シートとして、基材樹脂としてポリウレタンを用い発泡剤として水を用いて押出発泡させたシート(厚さ6mm)を準備し、凹凸加工無しとして、さらに発泡シートの両表面に樹脂フィルムをラミネート加工しなかったほかは、実施例1と同様にしてウエハ保護用クッション材を得て、圧縮硬さ、圧縮永久歪みの測定、発塵性試験、ウエハ破損確認試験を行った。結果を表1に示す。なお、参考例1から3のウエハ保護用クッション材の表面抵抗値については、発泡シートの表面についての表面抵抗値を測定した他は実施例1と同様にJIS K 6911に準じて表面抵抗値が測定された。また、参考例1から3で使用されたポリウレタンは、ポリウレタンの原料組成物や発泡剤の使用量を参考例1から3で互いに異ならせて準備されたものである。
発泡シートとして、基材樹脂としてポリエチレンを用い発泡剤としてブタン系化学発泡剤を用いて押出発泡させたシート(厚さ6mm)において連続気泡率が75%未満であるものを用いた他は、実施例1と同様にしてウエハ保護用クッション材を得て、圧縮硬さ、圧縮永久歪みの測定、発塵性試験、ウエハ破損確認試験を行った。結果を表1に示す。
発泡シートとして、基材樹脂としてポリエチレンを用い発泡剤としてブタン系化学発泡剤を用いて押出発泡させたシート(厚さ6mm)において連続気泡率が75%未満であるものを用いた他は、実施例2と同様にしてウエハ保護用クッション材を得て、圧縮硬さ、圧縮永久歪みの測定、発塵性試験、ウエハ破損確認試験を行った。結果を表1に示す。
2 発泡シート
3 樹脂フィルム
4 凹凸面
5 ウエハ
6 スペーサ
7 容器本体
8 収容部
9 蓋
10 搬送容器
11 ウエハ積層体
Claims (2)
- 発泡シートの両面に樹脂フィルムを積層されているウエハ保護用クッション材であって、
JIS K 6767に準拠して測定された該クッション材の圧縮硬さが、20N以下であり、
前記発泡シートの連続気泡率が75%以上である、ことを特徴とするウエハ保護用クッション材。 - JIS K 6767に準拠して測定された前記クッション材の圧縮永久歪みが、5%以下である、請求項1に記載のウエハ保護用クッション材。
Priority Applications (1)
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JP2018032369A JP2019147573A (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | ウエハ保護用クッション材 |
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JP2018032369A JP2019147573A (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | ウエハ保護用クッション材 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2002047369A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-12 | Jsp Corp | ポリオレフィン系樹脂押出発泡体 |
JP2009040478A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Sharp Corp | 梱包ケース |
JP2013120796A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Achilles Corp | ウェーハ保護クッション材 |
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2018
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Patent Citations (3)
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