JP2019140865A - 振動波モータ及び振動波モータを用いた光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】モータ性能を維持可能な振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータ１００は、圧電素子１１１と振動体１１２とからなる振動子１１０と、該振動子１１０と接触する摩擦接触面１１３ａを有する摩擦部材１１３と、振動子１１０を摩擦部材１１３に加圧する加圧手段１１９と、該加圧手段１１９からの加圧力Ｆを振動子１１０に伝達する伝達手段１１６と、を備え、振動子１１０に発生する振動により振動子１１０と摩擦部材１１３とを相対移動させ、振動体１１２は、摩擦接触面１１３ａと接触する摩擦接触点１１２ａを有し、加圧力Ｆは、伝達手段１１６の略中央に作用し、伝達手段１１６は、第１の領域Ｒ１と第１の領域Ｒ１に対して加圧方向における厚さが異なる第２の領域Ｒ２とを有し、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に位置する。【選択図】 図４

Description

本発明は、振動波モータ、特に直動型振動波モータ及びその振動波モータを用いた光学装置に関する。

従来から超音波モータは、駆動効率が高く、高精度に位置決めできるアクチュエータとして利用されており、特性向上のため様々な提案がなされている。特許文献１に開示された振動型アクチュエータでは、振動絶縁部材により振動子の振動阻害を最小限に抑える構成を実現している。

特開２０１５−１０４１４４号公報

しかしながら、特許文献１に開示された振動型アクチュエータでは、振動絶縁部材と圧電素子との接触面積を小さくしているため、振動絶縁部材と圧電素子が接触している部分と接触していない部分とで加圧力に差が生じる。そのため、モータ性能が低下するという課題がある。

本発明の目的は、モータ性能を維持可能な振動波モータを提供することである。

上記課題を解決するために、本発明の振動波モータは、圧電素子と振動体とからなる振動子と、該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、振動子を摩擦部材に加圧する加圧手段と、該加圧手段からの加圧力を振動子に伝達する伝達手段と、を備え、振動子に発生する振動により振動子と摩擦部材とを相対移動させ、振動体は、摩擦接触面と接触する摩擦接触点を有し、加圧力は、伝達手段の略中央に作用し、伝達手段は、第１の領域と第１の領域に対して加圧方向における厚さが異なる第２の領域とを有し、第２の領域は、加圧力が作用する加圧点の近傍に位置することを特徴とする。

本発明によれば、モータ性能を維持可能な振動波モータを提供することができる。

本発明の振動波モータ１００の分解斜視図である。 （Ａ）本発明の振動波モータ１００の平面図である。（Ｂ）、（Ｃ）同断面図である。 本発明の振動波モータ１００の振動子１１０の正面図である。 実施例１の振動子１１０に作用する力を示す図である。 加圧力Ｆにより振動子１１０に生じる曲げ応力σの分布を示す図である。 実施例２の振動子２１０に作用する力を示す図である。 （Ａ）、（Ｂ）実施例３の振動子３１０に作用する力を示す図である。 本発明の振動波モータ１００を用いたレンズ鏡筒２０を有する光学装置の断面図である。

（実施例１）
以下に、本発明の好ましい各実施例を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図面における座標軸であるＸ軸は、駆動方向、Ｙ軸は加圧方向、Ｚ軸はＸ軸とＹ軸に直交する方向を示す。図１は、本発明の実施例１の直動型振動波モータユニット（以下、振動波モータ１００とする。）の分解斜視図である。図２（Ａ）は、振動波モータ１００の平面図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の断面線ＩＩＢ−ＩＩＢにおける断面図、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の断面線ＩＩＣ−ＩＩＣにおける断面図である。図３は、振動波モータ１００の振動子１１０をＺ軸方向から見た模式図である。

まず、本発明の実施例１の振動波モータ１００（超音波モータ）の構成を説明する。振動波モータ１００は、振動子１１０、摩擦部材１１３、ベース部材１１４、振動子保持枠１１５、伝達部材１１６、加圧部材１１９、加圧板１２０、可動部外枠１２１、ガイド部材１２２、可動部材１２３、転動ボール１２４等から構成されている。

振動子１１０は、図３に示すように、圧電素子１１１と弾性体である振動体１１２から構成され、圧電素子１１１と振動体１１２が接着剤等の公知の方法により接合されている。振動体１１２は、２つ突起部を備え、摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａと２つの突起部が接触し、２つの突起部は摩擦接触点１１２ａを有する。そして、圧電素子１１１に印加される２相の高周波電圧によりに、圧電素子１１１が高周波振動（超音波領域の周波数の振動）を発生し、摩擦接触点１１２ａに楕円運動Ｏ１が励起される。この状態で摩擦接触点１１２ａを摩擦部材１１３に加圧接触させるとＸ軸方向に推力が発生する。この推力により、振動子１１０は摩擦部材１１３に対して相対移動する。更に、振動体１１２は、振動子１１０を固定するための固定腕部１１２ｂを長手方向の両端部に有しており、楕円運動Ｏ１を阻害しない公知の方法により不図示の駆動部に固定される。

摩擦部材１１３は、固定部分であるベース部材１１４に公知のビス２本で固定される。伝達部材１１６は、加圧部材１１９による加圧力Ｆを直接受けて、振動子１１０と一体的に移動する金属等から成る加圧分散板１１７（第１の伝達部材）と振動子１１０と直接接触するフェルト１１８（第２の伝達部材）から構成されている。フェルト１１８は、加圧分散板１１７と振動子１１０とに挟持され、加圧力Ｆにより変形可能な部材であるとともに、振動子１１０に励起される振動を阻害せずに加圧力Ｆを伝える機能を有する。

加圧部材１１９は、加圧力Ｆを発生する４本の引張りコイルバネで構成されている。加圧板１２０は、加圧部材１１９からの加圧力Ｆを受けるとともに、伝達部材１１６と当接する高さの等しい二つの球状突起１２０ａを有している。そして、図２（Ｃ）を参照すると、その当接位置は振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹＺ平面上で、２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線と平行なＸＹ平面に対称である。なお、加圧部材１１９、加圧板１２０、球状突起１２０ａが加圧手段を構成し、加圧力Ｆが作用する加圧点は、伝達部材１１６の略中央部分である。

ガイド部材１２２は、４つのビスによってベース部材１１４に固定されている。ガイド部材１２２がベース部材１１４に対向する面の反対側の面には、可動部材１２３が設けられており、可動部材１２３と可動部外枠１２１はビスによりに一体化されている。可動部材１２３がガイド部材１２２に対向する面には直進ガイド溝が設けられ、直進ガイド溝には複数の転動ボール１２４が配置されており、複数の転動ボール１２４は可動部材１２３とガイド部材１２２に挟持されている。更に、可動部材１２３は、加圧部材１１９である４本の引張りコイルバネによる加圧力Ｆを受けるが、ガイド部材１２２に対して転動ボール１２４の転動の動きによりＸ軸方向に滑らかに移動可能となっている。

図２（Ｃ）を参照すると、振動子保持枠１１５と可動部外枠１２１とは、板バネから成る付勢バネ１２５の付勢力により、基準コロ１２６と被付勢コロ１２７を介してＸ軸方向にガタなく付勢されている。付勢バネ１２５は、可動部外枠１２１に固定され被付勢コロ１２７を介して振動子保持枠１１５をＸ軸の正方向に付勢している。基準コロ１２６は振動子保持枠１１５と可動部外枠１２１で挟持され、振動子保持枠１１５はＸ軸の負の方向の反力を受けて釣合いの状態にある。つまり、振動子保持枠１１５は可動部外枠１２１に対してＸ軸方向に一体化されている。また、基準コロ１２６を平面で挟むことでＹ軸周りの回転も規制されている。Ｚ軸の並進方向及びＸ軸周りの回転は、振動子保持枠１１５を可動部外枠１２１にＺ軸方向に幅で嵌合させることで規制されている。即ち、振動子保持枠１１５はＹ軸並進及びＺ軸周りの回転の２軸の自由度を備え、振動子保持枠１１５に固定された振動子１１０の二つの摩擦接触点１１２ａと摩擦部材１１３との確実な当接状態を保つように構成されている。このとき両者の動きは基準コロ１２６及び被付勢コロ１２７の転動により案内されるので動きの抵抗を小さくすることができる。

次に、図４、図５を用いて、振動子１１０への加圧力Ｆの分布状態について説明する。図４は、本発明の実施例１の振動子１１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材１１６を介して振動子１１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１、ｆ２がベクトルで示されている。図５は、加圧力Ｆにより発生した曲げモーメントＭ１により振動子１１０に生じる曲げ応力σの分布を示している。

本発明の実施例１の振動子１１０に作用する力について説明する。加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板１１７は、フェルト１１８の全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト１１８はＹ軸の負方向に圧縮されるとともに振動子１１０への圧力ｆ１、ｆ２を振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８全体に分散させる。圧力ｆ１、ｆ２を受けた振動子１１０は、各摩擦接触点１１２ａからそれぞれ反力−Ｆ／２を受けることで釣り合い、Ｙ軸方向の位置を維持している。ここで、振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８について考えると、Ｘ軸方向におけるフェルト１１８の長さが振動子１１０に比べて短い場合、加圧力Ｆは振動子１１０のＹ軸正方向から見たＺＸ平面の全体には分散されない。そして、振動子１１０とフェルト１１８が直接接触している領域、すなわち振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１の近傍に加圧力Ｆの分布が集中する。

振動子１１０には、ＸＹ平面上で２つの摩擦接触点１１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ１が発生する。この曲げモーメントＭ１により、図５に示すように、振動子１１０にはＸ軸方向の曲げ応力σが発生する。振動子１１０は、圧電素子１１１と振動体１１２が接合されて構成されており、圧電素子１１１と振動体１１２のそれぞれの曲げに対する中立軸Ｎ１及びＮ２を有する。圧電素子１１１と振動体１１２に生じる曲げ応力σは、中立軸Ｎ１及びＮ２からのＹ軸方向の距離に応じて比例変化し、Ｙ軸の正方向位置では圧縮応力、Ｙ軸の負方向位置では引張応力が発生する。したがって中立軸Ｎ１からのＹ軸方向の距離が最大となる圧電素子１１１の表層で最大引張応力σ１が生じ、同様にＮ２からのＹ軸方向の距離が最大となる振動体１１２の表層で最大圧縮応力σ２が生じる。圧電素子１１１の最大引張応力σ１、振動体１１２の最大圧縮応力σ２は、圧電素子１１１と振動体１１２の接合部分ＪにおいてＹ軸上で相反する方向に働き、最大引張応力σ１と最大圧縮応力σ２が釣り合った状態になる。そして、最大引張応力σ１と最大圧縮応力σ２は、接合部分Ｊにおいてせん断応力として働く。接合部分Ｊは、振動子１１０のＹ軸方向の厚さに対して微小な厚さを有する接着剤等であり、この接合部分Ｊに応力集中が発生する。

従来の構成では、加圧力Ｆを直接受ける加圧板と振動子と直接接触する振動絶縁部材との接触部は、ＺＸ平面と平行な同一平面であった。そして、上記の応力集中が接合部分Ｊにおける接合を剥離させることにより、振動子の励起が阻害され、モータ性能が低下していた。特に高温高湿の環境下では、接合状態の変化が著しいため、さらなる性能低下を招いていた。

本発明の実施例１の振動子１１０では、加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板１１７には、フェルト１１８との接触領域１２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２とが形成される。加圧分散板１１７の第２の領域Ｒ２は、振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子１１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。すなわち、加圧分散板１１７は、フェルト１１８と接する側に凹形状を有し、第２の領域Ｒ２では第１の領域Ｒ１より加圧方向における厚さが薄くなっている。

加圧分散板１１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト１１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト１１８はＹ軸の負方向に圧縮される。接触領域１２８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２のＹ軸方向の位置が異なる。そのため、振動子１１０への圧力ｆ１、ｆ２は、振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト１１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ない。すなわち加圧点の近傍の位置における圧縮量は、加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ない。そのため、第２の領域Ｒ２における振動子１１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。そのため、振動子１１０に発生するＸＹ平面上に２つの摩擦接触点１１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ１は、従来の構成に比べて小さくなる。

上記の構成により、振動子１１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子１１１と振動体１１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子１１１と振動体１１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子１１１と振動体１１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ１００を提供することができる。なお、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２との厚さの差は、フェルト１１８の圧縮量の半分以下である。

（実施例２）
次に、本発明の実施例２について説明する。実施例２の振動子２１０と伝達部材２１６以外の構成は、実施例１と同一であるため、その説明を省略する。図６は、本発明の実施例２の振動子２１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材２１６を介して振動子２１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１〜ｆ３がベクトルで示されている。

本発明の実施例２の振動子２１０に作用する力について説明する。本発明の実施例２の振動子２１０では、振動子２１０の振動体２１２は、圧電素子２１１と摩擦接触点２１２ａとの間が中空になっている。すなわち、振動体２１２が有する突起部の内部が中空である。また、加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板２１７には、フェルト２１８との接触領域２２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２とが形成される。加圧分散板２１７の第２の領域Ｒ２は、振動子２１０の２つの摩擦接触点２１２ａを結んだ直線の中点を通る中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子２１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。更に第３の領域Ｒ３が摩擦接触点２１２ａの近傍に設けられるとともに、第３の領域Ｒ３はＹ軸方向において、圧電素子２１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。すなわち、加圧分散板２１７は、フェルト２１８と接する側に凹形状を有し、第３の領域Ｒ３では第１の領域Ｒ１より加圧方向における厚さが異なっている。

加圧分散板２１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト２１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト２１８はＹ軸の負方向に圧縮される。接触領域２２８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２と第３の領域Ｒ３のＹ軸方向の位置が異なる。そのため、振動子２１０への圧力ｆ１〜ｆ３は、振動子２１０とフェルト２１８の接触領域２２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２と第３の領域Ｒ３をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト２１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ない。すなわち加圧点の近傍の位置における圧縮量は、加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ない。そのため、第２の領域Ｒ２における振動子２１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。また、摩擦接触点２１２ａの近傍に位置する第３の領域Ｒ３における圧力ｆ３は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなっている。そのため、振動子２１０に発生するＸＹ平面上の２つの摩擦接触点２１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ２と、圧電素子２１１と摩擦接触点２１２ａとの中空部のエッジ部２２９を中心とする曲げモーメントＭ２’を従来の構成に比べて小さくできる。

上記の構成により、振動子２１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子２１１と振動体２１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子２１１と振動体２１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子２１１と振動体２１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ２００を提供することができる。

（実施例３）
次に、本発明の実施例３について説明する。実施例３の振動子３１０と伝達部材３１６以外の構成は、実施例１と同一であるため、その説明を省略する。図７（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施例３の振動子３１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材３１６を介して振動子３１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１、ｆ２がベクトルで示されている。

本発明の実施例３の振動子３１０に作用する力について説明する。図７（Ａ）は、加圧力Ｆを加圧分散板３１７に付与する前のフェルト３１８の状態を示し、図７（Ｂ）は、加圧力Ｆを加圧分散板３１７に付与しフェルト３１８を圧縮した状態を示している。加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板３１７と対向するフェルト３１８には、加圧分散板３１７との接触領域３２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２が形成される。フェルト３１８の第２の領域Ｒ２は、振動子３１０の２つの摩擦接触点３１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子３１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも近い位置に設けられている。

加圧分散板３１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト３１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト３１８はＹ軸の負方向に圧縮される。フェルト３１８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２においてＹ軸方向の厚さが異なる。そのため、振動子３１０への圧力ｆ１、ｆ２は、振動子３１０とフェルト３１８の接触領域３２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト３１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ないため、第２の領域Ｒ２における振動子３１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。そのため、振動子３１０に発生するＸＹ平面上に２つの摩擦接触点３１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ３を、従来の構成に比べて小さくすることができる。

上記構成により、振動子３１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子３１１と振動体３１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子３１１と振動体３１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子３１１と振動体３１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ３００を提供することができる。なお、実施例２のように、更に第３の領域Ｒ３が摩擦接触点３１２ａの近傍に設けられ、第３の領域Ｒ３はＹ軸方向において、圧電素子３１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも近い位置に設けられている変形例としても良い。

（適用例）
図８は、本発明の振動波モータ１００が組み込まれている光学装置の一例として、光学部材であるレンズ鏡筒２０、当該レンズ鏡筒２０が取り付けられているカメラ本体１０を示している。なお、レンズ鏡筒２０は略回転対称な形状であるため、上側半分のみが示されている。

撮像装置としてのカメラ本体１０には、レンズ鏡筒２０が着脱自在に取り付けられ、カメラ本体１０内には撮像素子１１が設けられている。カメラ本体１０のマウント１２は、レンズ鏡筒２０をカメラ本体１０に取り付けるためのバヨネット部を有している。レンズ鏡筒２０は、固定筒２１を有しており、マウント１２のフランジ部と当接している。そして、固定筒２１とマウント１２とは不図示のビスで一体化されている。固定筒２１には更に、レンズＧ１を保持する前鏡筒２２とレンズＧ３を保持する後鏡筒２３が固定されている。レンズ鏡筒２０は更に、レンズＧ２を保持するフォーカスレンズ保持枠２４を備えている。フォーカスレンズ保持枠２４は更に、前鏡筒２２と後鏡筒２３に保持されたガイドバー２５によって直進移動可能に案内されている。振動波モータ１００のベース部材１１４は、後鏡筒２３にビス等で固定されている。レンズＧ２を保持しているフォーカスレンズ保持枠２４が可動部を構成し、ガイドバー２５が案内部を構成する。

そして、振動波モータ１００の可動部外枠１２１等を含む可動部が駆動されると、振動波モータ１００の駆動力は、可動部外枠１２１が備える球状の突部１２１ａに係合するＶ字溝を備えた連結部材２６を介してフォーカスレンズ保持枠２４に伝達される。フォーカスレンズ保持枠２４はガイドバー２５によって案内されて直線移動する。

従来に比べてモータ性能を維持可能な振動波モータ１００を適用することにより、安定した動作をする光学装置を提供することができる。また振動波モータ２００、振動波モータ３００を適用しても同様の効果が得られる。

１００、２００、３００ 振動波モータ
１１０、２１０、３１０ 振動子
１１１、２１１、３１１ 圧電素子
１１２、２１２、３１２ 振動体
１１２ａ、２１２ａ、３１２ａ 摩擦接触点
１１３ 摩擦部材
１１３ａ 摩擦接触面
１１６、２１６、３１６ 伝達部材（伝達手段）
１１７、２１７、３１７ 加圧分散板（第１の伝達部材）
１１８、２１８、３１８ フェルト（第２の伝達部材）
１１９ 加圧部材（加圧手段）
１２８、２２８、３２８ 接触領域
Ｃ１ 中心線（中心位置）
Ｆ 加圧力
Ｒ１ 第１の領域
Ｒ２ 第２の領域
Ｒ３ 第３の領域

Claims (15)

1. 圧電素子と振動体とからなる振動子と、
   該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
   前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、
   該加圧手段からの加圧力を前記振動子に伝達する伝達手段と、
   を備え、
   前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
   前記振動体は、前記摩擦接触面と接触する摩擦接触点を有し、
   前記加圧力は、前記伝達手段の略中央に作用し、
   前記伝達手段は、第１の領域と前記第１の領域に対して加圧方向における厚さが異なる第２の領域とを有し、
   前記第２の領域は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍に設けられていることを特徴とする、振動波モータ。
2. 前記振動体は、複数の前記摩擦接触点を有し、
   前記第２の領域は、前記加圧方向から見て複数の前記摩擦接触点の中心位置に対して略対称に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記第２の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より遠い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。
4. 前記第２の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より近い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。
5. 前記圧電素子と前記摩擦接触点との間が中空になっており、前記摩擦接触点の近傍に位置する第３の領域を更に備え、前記第３の領域は前記第１の領域に対して前記加圧方向における厚さが異なることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 前記第３の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より遠い位置に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の振動波モータ。
7. 前記第３の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より近い位置に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の振動波モータ。
8. 前記伝達手段は、前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材で構成されることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、前記第１の伝達部材と前記第２の伝達部材とが接触する接触領域に形成されることを特徴とする、請求項８に記載の振動波モータ。
10. 前記第１の領域と前記第２の領域との厚さの差は、前記第２の伝達部材の圧縮量の半分以下であることを特徴とする、請求項８又は９に記載の振動波モータ。
11. 圧電素子と振動体とからなる振動子と、
    該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
    前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、
    該加圧手段からの加圧力を前記振動子に伝達する伝達手段と、
    を備え、
    前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
    前記伝達手段は、前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材を有し、
    前記加圧力は、前記伝達手段の略中央に作用し、
    前記第１の伝達部材は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍における前記第２の伝達部材と接する側に凹形状を有することを特徴とする、振動波モータ。
12. 圧電素子と振動体とからなる振動子と、
    該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
    前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧力を発生する加圧手段と、
    前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材と、を備え、
    前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
    前記加圧力は、前記第１の伝達部材の略中央に作用し、
    前記第２の伝達部材は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍の位置における圧縮量が前記加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ないことを特徴とする、振動波モータ。
13. 前記第１の伝達部材は、加圧板であり、前記第２の伝達部材は、フェルトであることを特徴とする、請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の振動波モータ。
14. 前記振動は、超音波領域の周波数の高周波振動であり、前記振動波モータは超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
15. 光学部材を備えた可動部と、
    該可動部を移動可能に案内する案内部と、
    前記可動部に連結された請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動波モータと、を備え、
    前記振動波モータにより前記可動部を前記案内部に沿って駆動することを特徴とする光学装置。

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