JP2019140865A

JP2019140865A - Vibration wave motor and optical device using the same

Info

Publication number: JP2019140865A
Application number: JP2018024875A
Authority: JP
Inventors: 健太 ▲高▼井; Kenta Takai
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2018-02-15
Filing date: 2018-02-15
Publication date: 2019-08-22

Abstract

To provide a vibration wave motor capable of maintaining motor performance.SOLUTION: A vibration wave motor 100 comprises a vibrator 110 including a piezoelectric element 111 and a vibrating body 112, a friction member 113 having a friction contact surface 113a in contact with the vibrator 110, pressurizing means 119 that pressurizes the vibrator 110 against the friction member 113, and transmission means 116 that transmits applied pressure F from the pressurizing means 119 to the vibrator 110. The vibrator 110 and the friction member 113 move relative to each other by vibration generated in the vibrator 110. The vibrating body 112 has a friction contact point 112a that comes into contact with the friction contact surface 113a. The applied pressure F acts on the approximate center of transmission means 116. The transmission means 116 includes a first region R1 and a second region R2 having a thickness in the pressurizing direction different from that in the region R1. The second region R2 is located in the vicinity of the pressurizing point on which the applied pressure F acts.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、振動波モータ、特に直動型振動波モータ及びその振動波モータを用いた光学装置に関する。 The present invention relates to a vibration wave motor, in particular, a direct acting vibration wave motor and an optical apparatus using the vibration wave motor.

従来から超音波モータは、駆動効率が高く、高精度に位置決めできるアクチュエータとして利用されており、特性向上のため様々な提案がなされている。特許文献１に開示された振動型アクチュエータでは、振動絶縁部材により振動子の振動阻害を最小限に抑える構成を実現している。 Conventionally, an ultrasonic motor has been used as an actuator that has high driving efficiency and can be positioned with high accuracy, and various proposals have been made to improve characteristics. The vibration type actuator disclosed in Patent Document 1 realizes a configuration that minimizes vibration inhibition of the vibrator by a vibration insulating member.

特開２０１５−１０４１４４号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-104144

しかしながら、特許文献１に開示された振動型アクチュエータでは、振動絶縁部材と圧電素子との接触面積を小さくしているため、振動絶縁部材と圧電素子が接触している部分と接触していない部分とで加圧力に差が生じる。そのため、モータ性能が低下するという課題がある。 However, in the vibration-type actuator disclosed in Patent Document 1, since the contact area between the vibration insulating member and the piezoelectric element is reduced, the portion where the vibration insulating member and the piezoelectric element are in contact with each other There is a difference in the applied pressure. Therefore, there exists a subject that motor performance falls.

本発明の目的は、モータ性能を維持可能な振動波モータを提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration wave motor capable of maintaining motor performance.

上記課題を解決するために、本発明の振動波モータは、圧電素子と振動体とからなる振動子と、該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、振動子を摩擦部材に加圧する加圧手段と、該加圧手段からの加圧力を振動子に伝達する伝達手段と、を備え、振動子に発生する振動により振動子と摩擦部材とを相対移動させ、振動体は、摩擦接触面と接触する摩擦接触点を有し、加圧力は、伝達手段の略中央に作用し、伝達手段は、第１の領域と第１の領域に対して加圧方向における厚さが異なる第２の領域とを有し、第２の領域は、加圧力が作用する加圧点の近傍に位置することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a vibration wave motor according to the present invention includes a vibrator composed of a piezoelectric element and a vibrator, a friction member having a friction contact surface in contact with the vibrator, and a vibrator added to the friction member. A pressurizing unit that compresses the pressure, and a transmission unit that transmits the pressure applied from the pressurizing unit to the vibrator. The vibrator and the friction member are relatively moved by the vibration generated in the vibrator. A friction contact point that contacts the contact surface, and the applied pressure acts substantially at the center of the transmission means, and the transmission means is different in thickness in the pressing direction relative to the first region and the first region. The second region is located in the vicinity of the pressurizing point at which the applied pressure acts.

本発明によれば、モータ性能を維持可能な振動波モータを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the vibration wave motor which can maintain motor performance can be provided.

本発明の振動波モータ１００の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the vibration wave motor 100 of this invention. （Ａ）本発明の振動波モータ１００の平面図である。（Ｂ）、（Ｃ）同断面図である。(A) It is a top view of the vibration wave motor 100 of this invention. (B), (C) It is the same sectional view. 本発明の振動波モータ１００の振動子１１０の正面図である。It is a front view of vibrator 110 of vibration wave motor 100 of the present invention. 実施例１の振動子１１０に作用する力を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating forces acting on the vibrator 110 according to the first embodiment. 加圧力Ｆにより振動子１１０に生じる曲げ応力σの分布を示す図である。6 is a diagram showing a distribution of bending stress σ generated in the vibrator 110 by the applied pressure F. FIG. 実施例２の振動子２１０に作用する力を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating forces acting on a vibrator 210 according to the second embodiment. （Ａ）、（Ｂ）実施例３の振動子３１０に作用する力を示す図である。(A), (B) It is a figure which shows the force which acts on the vibrator | oscillator 310 of Example 3. FIG. 本発明の振動波モータ１００を用いたレンズ鏡筒２０を有する光学装置の断面図である。It is sectional drawing of the optical apparatus which has the lens-barrel 20 using the vibration wave motor 100 of this invention.

（実施例１）
以下に、本発明の好ましい各実施例を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図面における座標軸であるＸ軸は、駆動方向、Ｙ軸は加圧方向、Ｚ軸はＸ軸とＹ軸に直交する方向を示す。図１は、本発明の実施例１の直動型振動波モータユニット（以下、振動波モータ１００とする。）の分解斜視図である。図２（Ａ）は、振動波モータ１００の平面図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の断面線ＩＩＢ−ＩＩＢにおける断面図、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の断面線ＩＩＣ−ＩＩＣにおける断面図である。図３は、振動波モータ１００の振動子１１０をＺ軸方向から見た模式図である。 Example 1
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The X axis, which is the coordinate axis in the drawing, indicates the driving direction, the Y axis indicates the pressurizing direction, and the Z axis indicates the direction orthogonal to the X and Y axes. FIG. 1 is an exploded perspective view of a direct acting vibration wave motor unit (hereinafter referred to as a vibration wave motor 100) according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2A is a plan view of the vibration wave motor 100. 2B is a cross-sectional view taken along a cross-sectional line IIB-IIB in FIG. 2A, and FIG. 2C is a cross-sectional view taken along a cross-sectional line IIC-IIC in FIG. FIG. 3 is a schematic view of the vibrator 110 of the vibration wave motor 100 as viewed from the Z-axis direction.

まず、本発明の実施例１の振動波モータ１００（超音波モータ）の構成を説明する。振動波モータ１００は、振動子１１０、摩擦部材１１３、ベース部材１１４、振動子保持枠１１５、伝達部材１１６、加圧部材１１９、加圧板１２０、可動部外枠１２１、ガイド部材１２２、可動部材１２３、転動ボール１２４等から構成されている。 First, the structure of the vibration wave motor 100 (ultrasonic motor) of Example 1 of this invention is demonstrated. The vibration wave motor 100 includes a vibrator 110, a friction member 113, a base member 114, a vibrator holding frame 115, a transmission member 116, a pressure member 119, a pressure plate 120, a movable portion outer frame 121, a guide member 122, and a movable member 123. , And is composed of rolling balls 124 and the like.

振動子１１０は、図３に示すように、圧電素子１１１と弾性体である振動体１１２から構成され、圧電素子１１１と振動体１１２が接着剤等の公知の方法により接合されている。振動体１１２は、２つ突起部を備え、摩擦部材１１３の摩擦接触面１１３ａと２つの突起部が接触し、２つの突起部は摩擦接触点１１２ａを有する。そして、圧電素子１１１に印加される２相の高周波電圧によりに、圧電素子１１１が高周波振動（超音波領域の周波数の振動）を発生し、摩擦接触点１１２ａに楕円運動Ｏ１が励起される。この状態で摩擦接触点１１２ａを摩擦部材１１３に加圧接触させるとＸ軸方向に推力が発生する。この推力により、振動子１１０は摩擦部材１１３に対して相対移動する。更に、振動体１１２は、振動子１１０を固定するための固定腕部１１２ｂを長手方向の両端部に有しており、楕円運動Ｏ１を阻害しない公知の方法により不図示の駆動部に固定される。 As shown in FIG. 3, the vibrator 110 includes a piezoelectric element 111 and a vibrating body 112 that is an elastic body, and the piezoelectric element 111 and the vibrating body 112 are joined by a known method such as an adhesive. The vibrating body 112 includes two protrusions, the friction contact surface 113a of the friction member 113 and the two protrusions are in contact with each other, and the two protrusions have a friction contact point 112a. The piezoelectric element 111 generates high-frequency vibration (vibration having a frequency in the ultrasonic region) by the two-phase high-frequency voltage applied to the piezoelectric element 111, and the elliptical motion O1 is excited at the frictional contact point 112a. In this state, when the frictional contact point 112a is brought into pressure contact with the friction member 113, thrust is generated in the X-axis direction. Due to this thrust, the vibrator 110 moves relative to the friction member 113. Further, the vibrating body 112 has fixed arm portions 112b for fixing the vibrator 110 at both ends in the longitudinal direction, and is fixed to a driving unit (not shown) by a known method that does not inhibit the elliptical motion O1. .

摩擦部材１１３は、固定部分であるベース部材１１４に公知のビス２本で固定される。伝達部材１１６は、加圧部材１１９による加圧力Ｆを直接受けて、振動子１１０と一体的に移動する金属等から成る加圧分散板１１７（第１の伝達部材）と振動子１１０と直接接触するフェルト１１８（第２の伝達部材）から構成されている。フェルト１１８は、加圧分散板１１７と振動子１１０とに挟持され、加圧力Ｆにより変形可能な部材であるとともに、振動子１１０に励起される振動を阻害せずに加圧力Ｆを伝える機能を有する。 The friction member 113 is fixed to the base member 114 which is a fixed portion with two known screws. The transmission member 116 directly receives the pressure F applied by the pressure member 119 and directly contacts the pressure distribution plate 117 (first transmission member) made of metal or the like that moves integrally with the vibrator 110 and the vibrator 110. Felt 118 (second transmission member). The felt 118 is a member that is sandwiched between the pressure dispersion plate 117 and the vibrator 110 and can be deformed by the pressure F, and has a function of transmitting the pressure F without inhibiting the vibration excited by the vibrator 110. Have.

加圧部材１１９は、加圧力Ｆを発生する４本の引張りコイルバネで構成されている。加圧板１２０は、加圧部材１１９からの加圧力Ｆを受けるとともに、伝達部材１１６と当接する高さの等しい二つの球状突起１２０ａを有している。そして、図２（Ｃ）を参照すると、その当接位置は振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹＺ平面上で、２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線と平行なＸＹ平面に対称である。なお、加圧部材１１９、加圧板１２０、球状突起１２０ａが加圧手段を構成し、加圧力Ｆが作用する加圧点は、伝達部材１１６の略中央部分である。 The pressurizing member 119 is composed of four tension coil springs that generate the pressure F. The pressure plate 120 has two spherical protrusions 120 a that receive the pressure F from the pressure member 119 and have the same height in contact with the transmission member 116. 2C, the contact position is a straight line connecting the two friction contact points 112a on the YZ plane passing through the midpoint of the straight line connecting the two friction contact points 112a of the vibrator 110. Symmetrical to the XY plane parallel to the. The pressurizing member 119, the pressurizing plate 120, and the spherical protrusion 120a constitute a pressurizing unit, and the pressurizing point at which the pressurizing force F acts is a substantially central portion of the transmission member 116.

ガイド部材１２２は、４つのビスによってベース部材１１４に固定されている。ガイド部材１２２がベース部材１１４に対向する面の反対側の面には、可動部材１２３が設けられており、可動部材１２３と可動部外枠１２１はビスによりに一体化されている。可動部材１２３がガイド部材１２２に対向する面には直進ガイド溝が設けられ、直進ガイド溝には複数の転動ボール１２４が配置されており、複数の転動ボール１２４は可動部材１２３とガイド部材１２２に挟持されている。更に、可動部材１２３は、加圧部材１１９である４本の引張りコイルバネによる加圧力Ｆを受けるが、ガイド部材１２２に対して転動ボール１２４の転動の動きによりＸ軸方向に滑らかに移動可能となっている。 The guide member 122 is fixed to the base member 114 with four screws. A movable member 123 is provided on the surface opposite to the surface where the guide member 122 faces the base member 114, and the movable member 123 and the movable portion outer frame 121 are integrated by screws. A rectilinear guide groove is provided on a surface of the movable member 123 that faces the guide member 122, and a plurality of rolling balls 124 are disposed in the rectilinear guide groove. The plurality of rolling balls 124 include the movable member 123 and the guide member. 122. Further, the movable member 123 receives the pressure F by the four tension coil springs that are the pressure members 119, but can move smoothly in the X-axis direction by the rolling motion of the rolling ball 124 with respect to the guide member 122. It has become.

図２（Ｃ）を参照すると、振動子保持枠１１５と可動部外枠１２１とは、板バネから成る付勢バネ１２５の付勢力により、基準コロ１２６と被付勢コロ１２７を介してＸ軸方向にガタなく付勢されている。付勢バネ１２５は、可動部外枠１２１に固定され被付勢コロ１２７を介して振動子保持枠１１５をＸ軸の正方向に付勢している。基準コロ１２６は振動子保持枠１１５と可動部外枠１２１で挟持され、振動子保持枠１１５はＸ軸の負の方向の反力を受けて釣合いの状態にある。つまり、振動子保持枠１１５は可動部外枠１２１に対してＸ軸方向に一体化されている。また、基準コロ１２６を平面で挟むことでＹ軸周りの回転も規制されている。Ｚ軸の並進方向及びＸ軸周りの回転は、振動子保持枠１１５を可動部外枠１２１にＺ軸方向に幅で嵌合させることで規制されている。即ち、振動子保持枠１１５はＹ軸並進及びＺ軸周りの回転の２軸の自由度を備え、振動子保持枠１１５に固定された振動子１１０の二つの摩擦接触点１１２ａと摩擦部材１１３との確実な当接状態を保つように構成されている。このとき両者の動きは基準コロ１２６及び被付勢コロ１２７の転動により案内されるので動きの抵抗を小さくすることができる。 Referring to FIG. 2C, the vibrator holding frame 115 and the movable portion outer frame 121 are moved in the X axis via the reference roller 126 and the biased roller 127 by the biasing force of the biasing spring 125 formed of a leaf spring. It is energized without backlash in the direction. The urging spring 125 is fixed to the movable part outer frame 121 and urges the vibrator holding frame 115 in the positive direction of the X axis via the urged roller 127. The reference roller 126 is sandwiched between the vibrator holding frame 115 and the movable portion outer frame 121, and the vibrator holding frame 115 is in a balanced state due to the reaction force in the negative direction of the X axis. That is, the vibrator holding frame 115 is integrated with the movable portion outer frame 121 in the X-axis direction. Further, the rotation around the Y axis is also restricted by sandwiching the reference roller 126 between planes. The translation direction of the Z axis and the rotation around the X axis are regulated by fitting the vibrator holding frame 115 to the movable portion outer frame 121 with a width in the Z axis direction. That is, the vibrator holding frame 115 has two degrees of freedom of Y-axis translation and rotation around the Z-axis, and the two friction contact points 112 a of the vibrator 110 fixed to the vibrator holding frame 115 and the friction member 113. It is comprised so that the reliable contact state of this may be maintained. At this time, since the movement of both is guided by the rolling of the reference roller 126 and the biased roller 127, the resistance of the movement can be reduced.

次に、図４、図５を用いて、振動子１１０への加圧力Ｆの分布状態について説明する。図４は、本発明の実施例１の振動子１１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材１１６を介して振動子１１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１、ｆ２がベクトルで示されている。図５は、加圧力Ｆにより発生した曲げモーメントＭ１により振動子１１０に生じる曲げ応力σの分布を示している。 Next, the distribution state of the applied pressure F to the vibrator 110 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a main part of the vibrator 110 according to the first embodiment of the present invention. A pressure F is applied to the vibrator 110 via the transmission member 116, and pressures f1 and f2 due to the pressure F are indicated by vectors. FIG. 5 shows a distribution of the bending stress σ generated in the vibrator 110 by the bending moment M1 generated by the applied pressure F.

本発明の実施例１の振動子１１０に作用する力について説明する。加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板１１７は、フェルト１１８の全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト１１８はＹ軸の負方向に圧縮されるとともに振動子１１０への圧力ｆ１、ｆ２を振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８全体に分散させる。圧力ｆ１、ｆ２を受けた振動子１１０は、各摩擦接触点１１２ａからそれぞれ反力−Ｆ／２を受けることで釣り合い、Ｙ軸方向の位置を維持している。ここで、振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８について考えると、Ｘ軸方向におけるフェルト１１８の長さが振動子１１０に比べて短い場合、加圧力Ｆは振動子１１０のＹ軸正方向から見たＺＸ平面の全体には分散されない。そして、振動子１１０とフェルト１１８が直接接触している領域、すなわち振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１の近傍に加圧力Ｆの分布が集中する。 The force acting on the vibrator 110 according to the first embodiment of the present invention will be described. The pressure dispersion plate 117 that directly receives the applied pressure F pressurizes the entire felt 118 in the negative direction of the Y axis, and the felt 118 is compressed in the negative direction of the Y axis and applies pressures f1 and f2 to the vibrator 110. Disperse the entire contact region 128 of the vibrator 110 and the felt 118. The vibrator 110 that has received the pressures f1 and f2 is balanced by receiving the reaction force −F / 2 from each friction contact point 112a, and maintains the position in the Y-axis direction. Here, considering the contact region 128 between the vibrator 110 and the felt 118, when the length of the felt 118 in the X-axis direction is shorter than that of the vibrator 110, the pressure F is viewed from the positive direction of the Y-axis of the vibrator 110. It is not distributed over the entire ZX plane. The area of the vibrator 110 and the felt 118 in direct contact, that is, in the vicinity of the center line C1 in the Y-axis direction passing through the midpoint of the straight line connecting the two friction contact points 112a of the vibrator 110, Distribution is concentrated.

振動子１１０には、ＸＹ平面上で２つの摩擦接触点１１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ１が発生する。この曲げモーメントＭ１により、図５に示すように、振動子１１０にはＸ軸方向の曲げ応力σが発生する。振動子１１０は、圧電素子１１１と振動体１１２が接合されて構成されており、圧電素子１１１と振動体１１２のそれぞれの曲げに対する中立軸Ｎ１及びＮ２を有する。圧電素子１１１と振動体１１２に生じる曲げ応力σは、中立軸Ｎ１及びＮ２からのＹ軸方向の距離に応じて比例変化し、Ｙ軸の正方向位置では圧縮応力、Ｙ軸の負方向位置では引張応力が発生する。したがって中立軸Ｎ１からのＹ軸方向の距離が最大となる圧電素子１１１の表層で最大引張応力σ１が生じ、同様にＮ２からのＹ軸方向の距離が最大となる振動体１１２の表層で最大圧縮応力σ２が生じる。圧電素子１１１の最大引張応力σ１、振動体１１２の最大圧縮応力σ２は、圧電素子１１１と振動体１１２の接合部分ＪにおいてＹ軸上で相反する方向に働き、最大引張応力σ１と最大圧縮応力σ２が釣り合った状態になる。そして、最大引張応力σ１と最大圧縮応力σ２は、接合部分Ｊにおいてせん断応力として働く。接合部分Ｊは、振動子１１０のＹ軸方向の厚さに対して微小な厚さを有する接着剤等であり、この接合部分Ｊに応力集中が発生する。 In the vibrator 110, a bending moment M1 around each of the two friction contact points 112a on the XY plane is generated. Due to this bending moment M1, a bending stress σ in the X-axis direction is generated in the vibrator 110 as shown in FIG. The vibrator 110 is configured by joining a piezoelectric element 111 and a vibrating body 112, and has neutral axes N1 and N2 for bending of the piezoelectric element 111 and the vibrating body 112, respectively. The bending stress σ generated in the piezoelectric element 111 and the vibrating body 112 varies in proportion to the distance in the Y-axis direction from the neutral axes N1 and N2, and is compressive stress at the positive position of the Y-axis and negative at the negative position of the Y-axis. Tensile stress is generated. Therefore, the maximum tensile stress σ1 is generated in the surface layer of the piezoelectric element 111 having the maximum distance in the Y-axis direction from the neutral axis N1, and similarly, the maximum compression is generated in the surface layer of the vibrating body 112 in which the distance in the Y-axis direction from N2 is maximum. Stress σ2 is generated. The maximum tensile stress σ1 of the piezoelectric element 111 and the maximum compressive stress σ2 of the vibrating body 112 act in opposite directions on the Y axis at the joint portion J of the piezoelectric element 111 and the vibrating body 112, and the maximum tensile stress σ1 and the maximum compressive stress σ2 Will be in a balanced state. The maximum tensile stress σ1 and the maximum compressive stress σ2 work as shear stress at the joint portion J. The joint portion J is an adhesive or the like having a minute thickness with respect to the thickness of the vibrator 110 in the Y-axis direction, and stress concentration occurs in the joint portion J.

従来の構成では、加圧力Ｆを直接受ける加圧板と振動子と直接接触する振動絶縁部材との接触部は、ＺＸ平面と平行な同一平面であった。そして、上記の応力集中が接合部分Ｊにおける接合を剥離させることにより、振動子の励起が阻害され、モータ性能が低下していた。特に高温高湿の環境下では、接合状態の変化が著しいため、さらなる性能低下を招いていた。 In the conventional configuration, the contact portion between the pressure plate that directly receives the applied pressure F and the vibration insulating member that is in direct contact with the vibrator is the same plane parallel to the ZX plane. Then, the stress concentration described above causes the bonding at the bonding portion J to peel off, thereby inhibiting excitation of the vibrator and lowering the motor performance. Particularly in a high-temperature and high-humidity environment, the change in the bonding state is remarkable, resulting in further performance degradation.

本発明の実施例１の振動子１１０では、加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板１１７には、フェルト１１８との接触領域１２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２とが形成される。加圧分散板１１７の第２の領域Ｒ２は、振動子１１０の２つの摩擦接触点１１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子１１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。すなわち、加圧分散板１１７は、フェルト１１８と接する側に凹形状を有し、第２の領域Ｒ２では第１の領域Ｒ１より加圧方向における厚さが薄くなっている。 In the vibrator 110 according to the first embodiment of the present invention, the pressure dispersion plate 117 that directly receives the pressing force F includes the first region R1, the first region R1, and the Y axis in the contact region 128 with the felt 118. A second region R2 having a different position in the direction is formed. The second region R2 of the pressure dispersion plate 117 is substantially symmetric with respect to the center line C1 in the Y-axis direction passing through the midpoint of the straight line connecting the two friction contact points 112a of the vibrator 110, and is located at the center position. To do. That is, the second region R2 is provided in the vicinity of the pressurizing point where the applied pressure F acts. The second region R2 is provided at a position farther from the piezoelectric region 111 than the first region R1 in the Y-axis direction. That is, the pressure dispersion plate 117 has a concave shape on the side in contact with the felt 118, and the thickness in the pressure direction in the second region R2 is smaller than that in the first region R1.

加圧分散板１１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト１１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト１１８はＹ軸の負方向に圧縮される。接触領域１２８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２のＹ軸方向の位置が異なる。そのため、振動子１１０への圧力ｆ１、ｆ２は、振動子１１０とフェルト１１８の接触領域１２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト１１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ない。すなわち加圧点の近傍の位置における圧縮量は、加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ない。そのため、第２の領域Ｒ２における振動子１１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。そのため、振動子１１０に発生するＸＹ平面上に２つの摩擦接触点１１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ１は、従来の構成に比べて小さくなる。 The pressure dispersion plate 117 receives the pressure F and presses the entire felt 118 in the negative direction of the Y axis, and the felt 118 is compressed in the negative direction of the Y axis. In the contact region 128, the positions of the first region R1 and the second region R2 in the Y-axis direction are different. For this reason, the pressures f1 and f2 applied to the vibrator 110 have different distributions in the area where the first area R1 and the second area R2 are vertically projected in the Y-axis direction in the contact area 128 of the vibrator 110 and the felt 118. The amount of compression of the felt 118 by the applied pressure F is smaller in the second region R2 than in the first region R1. That is, the compression amount at a position near the pressurization point is smaller than the compression amount at a position away from the pressurization point. Therefore, the pressure f2 to the vibrator 110 in the second region R2 is smaller than the pressure f1 in the first region R1. Therefore, the bending moment M1 centered on each of the two friction contact points 112a on the XY plane generated in the vibrator 110 is smaller than that in the conventional configuration.

上記の構成により、振動子１１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子１１１と振動体１１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子１１１と振動体１１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子１１１と振動体１１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ１００を提供することができる。なお、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２との厚さの差は、フェルト１１８の圧縮量の半分以下である。 With the above configuration, uniform pressure can be applied to the vibrator 110, so that stress concentration at the joint portion J between the piezoelectric element 111 and the vibrating body 112 can be reduced. To provide a vibration wave motor 100 capable of maintaining high-performance motor performance by suppressing a change in the bonding state between the piezoelectric element 111 and the vibration body 112 and preventing the piezoelectric element 111 and the vibration body 112 from being separated. Can do. Note that the difference in thickness between the first region R1 and the second region R2 is less than half of the compression amount of the felt 118.

（実施例２）
次に、本発明の実施例２について説明する。実施例２の振動子２１０と伝達部材２１６以外の構成は、実施例１と同一であるため、その説明を省略する。図６は、本発明の実施例２の振動子２１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材２１６を介して振動子２１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１〜ｆ３がベクトルで示されている。 (Example 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Since the configuration of the second embodiment other than the vibrator 210 and the transmission member 216 is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted. FIG. 6 is a partial cross-sectional view of a main part of the vibrator 210 according to the second embodiment of the present invention. The applied pressure F is applied to the vibrator 210 via the transmission member 216, and the pressures f1 to f3 due to the applied pressure F are indicated by vectors.

本発明の実施例２の振動子２１０に作用する力について説明する。本発明の実施例２の振動子２１０では、振動子２１０の振動体２１２は、圧電素子２１１と摩擦接触点２１２ａとの間が中空になっている。すなわち、振動体２１２が有する突起部の内部が中空である。また、加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板２１７には、フェルト２１８との接触領域２２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２とが形成される。加圧分散板２１７の第２の領域Ｒ２は、振動子２１０の２つの摩擦接触点２１２ａを結んだ直線の中点を通る中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子２１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。更に第３の領域Ｒ３が摩擦接触点２１２ａの近傍に設けられるとともに、第３の領域Ｒ３はＹ軸方向において、圧電素子２１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも遠い位置に設けられている。すなわち、加圧分散板２１７は、フェルト２１８と接する側に凹形状を有し、第３の領域Ｒ３では第１の領域Ｒ１より加圧方向における厚さが異なっている。 A force acting on the vibrator 210 according to the second embodiment of the present invention will be described. In the vibrator 210 according to the second embodiment of the present invention, the vibrating body 212 of the vibrator 210 is hollow between the piezoelectric element 211 and the frictional contact point 212a. That is, the inside of the protruding portion of the vibrating body 212 is hollow. Further, in the pressure dispersion plate 217 that directly receives the applied pressure F, in the contact region 228 with the felt 218, the first region R1 and the second region R2 having a different position in the Y-axis direction from the first region R1. And are formed. The second region R2 of the pressure dispersion plate 217 is substantially symmetric with respect to the center line C1 passing through the midpoint of the straight line connecting the two friction contact points 212a of the vibrator 210, and is located at the center position. That is, the second region R2 is provided in the vicinity of the pressurizing point where the applied pressure F acts. The second region R2 is provided at a position farther from the piezoelectric element 211 than the first region R1 in the Y-axis direction. Further, the third region R3 is provided in the vicinity of the frictional contact point 212a, and the third region R3 is provided at a position farther from the piezoelectric element 211 in the Y-axis direction than the first region R1. . That is, the pressure dispersion plate 217 has a concave shape on the side in contact with the felt 218, and the thickness in the pressure direction in the third region R3 is different from that in the first region R1.

加圧分散板２１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト２１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト２１８はＹ軸の負方向に圧縮される。接触領域２２８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２と第３の領域Ｒ３のＹ軸方向の位置が異なる。そのため、振動子２１０への圧力ｆ１〜ｆ３は、振動子２１０とフェルト２１８の接触領域２２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２と第３の領域Ｒ３をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト２１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ない。すなわち加圧点の近傍の位置における圧縮量は、加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ない。そのため、第２の領域Ｒ２における振動子２１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。また、摩擦接触点２１２ａの近傍に位置する第３の領域Ｒ３における圧力ｆ３は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなっている。そのため、振動子２１０に発生するＸＹ平面上の２つの摩擦接触点２１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ２と、圧電素子２１１と摩擦接触点２１２ａとの中空部のエッジ部２２９を中心とする曲げモーメントＭ２’を従来の構成に比べて小さくできる。 The pressure dispersion plate 217 receives the applied pressure F to press the entire felt 218 in the negative direction of the Y axis, and the felt 218 is compressed in the negative direction of the Y axis. The contact region 228 is different in the position in the Y-axis direction of the first region R1, the second region R2, and the third region R3. Therefore, the pressures f1 to f3 applied to the vibrator 210 are areas obtained by vertically projecting the first area R1, the second area R2, and the third area R3 in the Y-axis direction in the contact area 228 between the vibrator 210 and the felt 218. Different distributions. The amount of compression of the felt 218 by the applied pressure F is smaller in the second region R2 than in the first region R1. That is, the compression amount at a position near the pressurization point is smaller than the compression amount at a position away from the pressurization point. Therefore, the pressure f2 to the vibrator 210 in the second region R2 is smaller than the pressure f1 in the first region R1. Further, the pressure f3 in the third region R3 located in the vicinity of the frictional contact point 212a is smaller than the pressure f1 in the first region R1. Therefore, the bending moment M2 centering on each of the two friction contact points 212a on the XY plane generated in the vibrator 210 and the bending centering on the edge portion 229 of the hollow portion between the piezoelectric element 211 and the friction contact point 212a. The moment M2 ′ can be reduced as compared with the conventional configuration.

上記の構成により、振動子２１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子２１１と振動体２１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子２１１と振動体２１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子２１１と振動体２１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ２００を提供することができる。 With the above configuration, uniform pressure can be applied to the vibrator 210, so that stress concentration at the joint portion J between the piezoelectric element 211 and the vibrating body 212 can be reduced. To provide a vibration wave motor 200 capable of maintaining high-performance motor performance by suppressing a change in the bonding state between the piezoelectric element 211 and the vibrating body 212 and preventing the piezoelectric element 211 and the vibrating body 212 from peeling off. Can do.

（実施例３）
次に、本発明の実施例３について説明する。実施例３の振動子３１０と伝達部材３１６以外の構成は、実施例１と同一であるため、その説明を省略する。図７（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施例３の振動子３１０の要部の部分断面図である。加圧力Ｆが伝達部材３１６を介して振動子３１０に与えられ、その加圧力Ｆによる圧力ｆ１、ｆ２がベクトルで示されている。 (Example 3)
Next, Embodiment 3 of the present invention will be described. Since the configuration of the third embodiment other than the vibrator 310 and the transmission member 316 is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted. 7A and 7B are partial cross-sectional views of a main part of the vibrator 310 according to the third embodiment of the present invention. The applied pressure F is applied to the vibrator 310 via the transmission member 316, and the pressures f1 and f2 due to the applied pressure F are indicated by vectors.

本発明の実施例３の振動子３１０に作用する力について説明する。図７（Ａ）は、加圧力Ｆを加圧分散板３１７に付与する前のフェルト３１８の状態を示し、図７（Ｂ）は、加圧力Ｆを加圧分散板３１７に付与しフェルト３１８を圧縮した状態を示している。加圧力Ｆを直接受ける加圧分散板３１７と対向するフェルト３１８には、加圧分散板３１７との接触領域３２８において、第１の領域Ｒ１と、第１の領域Ｒ１とＹ軸方向の位置が異なる第２の領域Ｒ２が形成される。フェルト３１８の第２の領域Ｒ２は、振動子３１０の２つの摩擦接触点３１２ａを結んだ直線の中点を通るＹ軸方向の中心線Ｃ１に略対称であって、中心位置に位置する。つまり、第２の領域Ｒ２は、加圧力Ｆが作用する加圧点の近傍に設けられている。そして、第２の領域Ｒ２はＹ軸方向において、圧電素子３１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも近い位置に設けられている。 A force acting on the vibrator 310 according to the third embodiment of the present invention will be described. FIG. 7A shows a state of the felt 318 before the pressing force F is applied to the pressure dispersion plate 317, and FIG. 7B shows a state where the pressing force F is applied to the pressure dispersion plate 317 and the felt 318 is applied. The compressed state is shown. The felt 318 facing the pressure dispersion plate 317 that directly receives the applied pressure F has the first region R1, the first region R1, and the position in the Y-axis direction in the contact region 328 with the pressure dispersion plate 317. A different second region R2 is formed. The second region R2 of the felt 318 is substantially symmetric with respect to the center line C1 in the Y-axis direction passing through the midpoint of the straight line connecting the two friction contact points 312a of the vibrator 310, and is located at the center position. That is, the second region R2 is provided in the vicinity of the pressurizing point where the applied pressure F acts. The second region R2 is provided at a position where the distance from the piezoelectric element 311 is closer than that of the first region R1 in the Y-axis direction.

加圧分散板３１７は、加圧力Ｆを受けてフェルト３１８全体をＹ軸の負方向に加圧し、フェルト３１８はＹ軸の負方向に圧縮される。フェルト３１８は、第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２においてＹ軸方向の厚さが異なる。そのため、振動子３１０への圧力ｆ１、ｆ２は、振動子３１０とフェルト３１８の接触領域３２８において第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２をＹ軸方向に垂直投影した領域で異なる分布となる。加圧力Ｆによるフェルト３１８の圧縮量は、第１の領域Ｒ１よりも第２の領域Ｒ２の方が少ないため、第２の領域Ｒ２における振動子３１０への圧力ｆ２は、第１の領域Ｒ１における圧力ｆ１より小さくなる。そのため、振動子３１０に発生するＸＹ平面上に２つの摩擦接触点３１２ａのそれぞれを中心とする曲げモーメントＭ３を、従来の構成に比べて小さくすることができる。 The pressure dispersion plate 317 receives the pressure F and presses the entire felt 318 in the negative direction of the Y axis, and the felt 318 is compressed in the negative direction of the Y axis. The felt 318 has different thicknesses in the Y-axis direction in the first region R1 and the second region R2. For this reason, the pressures f1 and f2 applied to the vibrator 310 have different distributions in the area where the first area R1 and the second area R2 are vertically projected in the Y-axis direction in the contact area 328 of the vibrator 310 and the felt 318. Since the amount of compression of the felt 318 by the applied pressure F is smaller in the second region R2 than in the first region R1, the pressure f2 to the vibrator 310 in the second region R2 is in the first region R1. It becomes smaller than the pressure f1. Therefore, the bending moment M3 centering on each of the two friction contact points 312a on the XY plane generated in the vibrator 310 can be reduced as compared with the conventional configuration.

上記構成により、振動子３１０への均等な加圧を行うことができるので、圧電素子３１１と振動体３１２の接合部分Ｊにおける、応力集中を緩和することができる。そして、圧電素子３１１と振動体３１２の接合状態の変化を抑制し、圧電素子３１１と振動体３１２の剥離を防止することにより、高性能なモータ性能を維持可能な振動波モータ３００を提供することができる。なお、実施例２のように、更に第３の領域Ｒ３が摩擦接触点３１２ａの近傍に設けられ、第３の領域Ｒ３はＹ軸方向において、圧電素子３１１からの距離が第１の領域Ｒ１よりも近い位置に設けられている変形例としても良い。 With the above configuration, uniform pressure can be applied to the vibrator 310, so that stress concentration at the joint portion J between the piezoelectric element 311 and the vibrating body 312 can be reduced. To provide a vibration wave motor 300 capable of maintaining high-performance motor performance by suppressing a change in the bonding state between the piezoelectric element 311 and the vibration body 312 and preventing the piezoelectric element 311 and the vibration body 312 from being separated. Can do. As in the second embodiment, a third region R3 is further provided in the vicinity of the frictional contact point 312a, and the third region R3 has a distance from the piezoelectric element 311 in the Y-axis direction that is greater than that of the first region R1. It is good also as a modification provided in the near position.

（適用例）
図８は、本発明の振動波モータ１００が組み込まれている光学装置の一例として、光学部材であるレンズ鏡筒２０、当該レンズ鏡筒２０が取り付けられているカメラ本体１０を示している。なお、レンズ鏡筒２０は略回転対称な形状であるため、上側半分のみが示されている。 (Application example)
FIG. 8 shows a lens barrel 20 that is an optical member and a camera body 10 to which the lens barrel 20 is attached as an example of an optical device incorporating the vibration wave motor 100 of the present invention. Since the lens barrel 20 has a substantially rotationally symmetric shape, only the upper half is shown.

撮像装置としてのカメラ本体１０には、レンズ鏡筒２０が着脱自在に取り付けられ、カメラ本体１０内には撮像素子１１が設けられている。カメラ本体１０のマウント１２は、レンズ鏡筒２０をカメラ本体１０に取り付けるためのバヨネット部を有している。レンズ鏡筒２０は、固定筒２１を有しており、マウント１２のフランジ部と当接している。そして、固定筒２１とマウント１２とは不図示のビスで一体化されている。固定筒２１には更に、レンズＧ１を保持する前鏡筒２２とレンズＧ３を保持する後鏡筒２３が固定されている。レンズ鏡筒２０は更に、レンズＧ２を保持するフォーカスレンズ保持枠２４を備えている。フォーカスレンズ保持枠２４は更に、前鏡筒２２と後鏡筒２３に保持されたガイドバー２５によって直進移動可能に案内されている。振動波モータ１００のベース部材１１４は、後鏡筒２３にビス等で固定されている。レンズＧ２を保持しているフォーカスレンズ保持枠２４が可動部を構成し、ガイドバー２５が案内部を構成する。 A lens barrel 20 is detachably attached to a camera body 10 as an imaging device, and an imaging element 11 is provided in the camera body 10. The mount 12 of the camera body 10 has a bayonet portion for attaching the lens barrel 20 to the camera body 10. The lens barrel 20 has a fixed barrel 21 and is in contact with the flange portion of the mount 12. The fixed cylinder 21 and the mount 12 are integrated with a screw (not shown). Further, a front barrel 22 holding the lens G1 and a rear barrel 23 holding the lens G3 are fixed to the fixed barrel 21. The lens barrel 20 further includes a focus lens holding frame 24 that holds the lens G2. The focus lens holding frame 24 is further guided by a guide bar 25 held by the front lens barrel 22 and the rear lens barrel 23 so as to be linearly movable. The base member 114 of the vibration wave motor 100 is fixed to the rear barrel 23 with screws or the like. The focus lens holding frame 24 holding the lens G2 constitutes a movable part, and the guide bar 25 constitutes a guide part.

そして、振動波モータ１００の可動部外枠１２１等を含む可動部が駆動されると、振動波モータ１００の駆動力は、可動部外枠１２１が備える球状の突部１２１ａに係合するＶ字溝を備えた連結部材２６を介してフォーカスレンズ保持枠２４に伝達される。フォーカスレンズ保持枠２４はガイドバー２５によって案内されて直線移動する。 When the movable part including the movable part outer frame 121 and the like of the vibration wave motor 100 is driven, the driving force of the vibration wave motor 100 is V-shaped to be engaged with the spherical protrusion 121a included in the movable part outer frame 121. The light is transmitted to the focus lens holding frame 24 through a connecting member 26 having a groove. The focus lens holding frame 24 is guided by the guide bar 25 and moves linearly.

従来に比べてモータ性能を維持可能な振動波モータ１００を適用することにより、安定した動作をする光学装置を提供することができる。また振動波モータ２００、振動波モータ３００を適用しても同様の効果が得られる。 By applying the vibration wave motor 100 capable of maintaining the motor performance as compared with the conventional one, an optical device that operates stably can be provided. The same effect can be obtained even when the vibration wave motor 200 and the vibration wave motor 300 are applied.

１００、２００、３００振動波モータ
１１０、２１０、３１０振動子
１１１、２１１、３１１圧電素子
１１２、２１２、３１２振動体
１１２ａ、２１２ａ、３１２ａ摩擦接触点
１１３摩擦部材
１１３ａ摩擦接触面
１１６、２１６、３１６伝達部材（伝達手段）
１１７、２１７、３１７加圧分散板（第１の伝達部材）
１１８、２１８、３１８フェルト（第２の伝達部材）
１１９加圧部材（加圧手段）
１２８、２２８、３２８接触領域
Ｃ１中心線（中心位置）
Ｆ加圧力
Ｒ１第１の領域
Ｒ２第２の領域
Ｒ３第３の領域 100, 200, 300 Vibration wave motors 110, 210, 310 Vibrators 111, 211, 311 Piezoelectric elements 112, 212, 312 Vibrating bodies 112a, 212a, 312a Friction contact point 113 Friction member 113a Friction contact surfaces 116, 216, 316 Transmission Member (Transmission means)
117, 217, 317 Pressure dispersion plate (first transmission member)
118, 218, 318 Felt (second transmission member)
119 Pressurizing member (pressurizing means)
128, 228, 328 Contact area C1 Center line (center position)
F Pressurizing force R1 First region R2 Second region R3 Third region

Claims

圧電素子と振動体とからなる振動子と、
該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、
該加圧手段からの加圧力を前記振動子に伝達する伝達手段と、
を備え、
前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
前記振動体は、前記摩擦接触面と接触する摩擦接触点を有し、
前記加圧力は、前記伝達手段の略中央に作用し、
前記伝達手段は、第１の領域と前記第１の領域に対して加圧方向における厚さが異なる第２の領域とを有し、
前記第２の領域は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍に設けられていることを特徴とする、振動波モータ。 A vibrator comprising a piezoelectric element and a vibrating body;
A friction member having a friction contact surface in contact with the vibrator;
Pressurizing means for pressurizing the vibrator to the friction member;
A transmission means for transmitting the applied pressure from the pressurizing means to the vibrator;
With
Relative movement of the vibrator and the friction member by vibration generated in the vibrator,
The vibrator has a friction contact point in contact with the friction contact surface,
The applied pressure acts on the approximate center of the transmission means,
The transmission means includes a first region and a second region having a thickness in the pressing direction different from that of the first region,
The vibration wave motor according to claim 2, wherein the second region is provided in the vicinity of a pressurizing point where the applied pressure acts.

前記振動体は、複数の前記摩擦接触点を有し、
前記第２の領域は、前記加圧方向から見て複数の前記摩擦接触点の中心位置に対して略対称に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。 The vibrating body has a plurality of the friction contact points,
2. The vibration wave motor according to claim 1, wherein the second region is provided substantially symmetrically with respect to a center position of the plurality of friction contact points when viewed from the pressurizing direction.

前記第２の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より遠い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。 3. The vibration wave motor according to claim 1, wherein the second region is provided at a position farther from the piezoelectric region in the pressing direction than the first region.

前記第２の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より近い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。 3. The vibration wave motor according to claim 1, wherein the second region is provided at a position closer to the piezoelectric element in the pressurizing direction than the first region.

前記圧電素子と前記摩擦接触点との間が中空になっており、前記摩擦接触点の近傍に位置する第３の領域を更に備え、前記第３の領域は前記第１の領域に対して前記加圧方向における厚さが異なることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。 A space between the piezoelectric element and the friction contact point is hollow, and further includes a third region located in the vicinity of the friction contact point, and the third region is the first region with respect to the first region. 5. The vibration wave motor according to claim 1, wherein the thickness in the pressing direction is different.

前記第３の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より遠い位置に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の振動波モータ。 The vibration wave motor according to claim 5, wherein the third region is provided at a position farther from the piezoelectric region in the pressurizing direction than the first region.

前記第３の領域は、前記加圧方向において前記圧電素子からの距離が前記第１の領域より近い位置に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の振動波モータ。 6. The vibration wave motor according to claim 5, wherein the third region is provided at a position closer to the piezoelectric element in the pressing direction than the first region.

前記伝達手段は、前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材で構成されることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。 The transmission means is sandwiched between a first transmission member configured to receive the applied pressure and move integrally with the vibrator, the first transmission member and the vibrator, and the applied pressure The vibration wave motor according to any one of claims 5 to 7, wherein the vibration wave motor is configured by a second transmission member that can be deformed by the above.

前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、前記第１の伝達部材と前記第２の伝達部材とが接触する接触領域に形成されることを特徴とする、請求項８に記載の振動波モータ。 The first region, the second region, and the third region are formed in a contact region where the first transmission member and the second transmission member are in contact with each other. 8. The vibration wave motor according to 8.

前記第１の領域と前記第２の領域との厚さの差は、前記第２の伝達部材の圧縮量の半分以下であることを特徴とする、請求項８又は９に記載の振動波モータ。 10. The vibration wave motor according to claim 8, wherein a difference in thickness between the first region and the second region is not more than half of a compression amount of the second transmission member. 11. .

圧電素子と振動体とからなる振動子と、
該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、
該加圧手段からの加圧力を前記振動子に伝達する伝達手段と、
を備え、
前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
前記伝達手段は、前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材を有し、
前記加圧力は、前記伝達手段の略中央に作用し、
前記第１の伝達部材は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍における前記第２の伝達部材と接する側に凹形状を有することを特徴とする、振動波モータ。 A vibrator comprising a piezoelectric element and a vibrating body;
A friction member having a friction contact surface in contact with the vibrator;
Pressurizing means for pressurizing the vibrator to the friction member;
A transmission means for transmitting the applied pressure from the pressurizing means to the vibrator;
With
Relative movement of the vibrator and the friction member by vibration generated in the vibrator,
The transmission means is sandwiched between a first transmission member configured to receive the applied pressure and move integrally with the vibrator, the first transmission member and the vibrator, and the applied pressure A second transmission member deformable by
The applied pressure acts on the approximate center of the transmission means,
The first transmission member has a concave shape on a side in contact with the second transmission member in the vicinity of a pressurizing point at which the applied pressure acts.

圧電素子と振動体とからなる振動子と、
該振動子と接触する摩擦接触面を有する摩擦部材と、
前記振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧力を発生する加圧手段と、
前記加圧力を受けて前記振動子と一体的に移動するように構成された第１の伝達部材と、該第１の伝達部材と前記振動子とに挟持され、前記加圧力により変形可能な第２の伝達部材と、を備え、
前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させ、
前記加圧力は、前記第１の伝達部材の略中央に作用し、
前記第２の伝達部材は、前記加圧力が作用する加圧点の近傍の位置における圧縮量が前記加圧点から離れた位置における圧縮量よりも少ないことを特徴とする、振動波モータ。 A vibrator comprising a piezoelectric element and a vibrating body;
A friction member having a friction contact surface in contact with the vibrator;
Pressurizing means for generating a pressurizing force to pressurize the vibrator against the friction member;
A first transmission member configured to receive the applied pressure and move integrally with the vibrator, and a first transmission member sandwiched between the first transmission member and the vibrator and deformable by the applied pressure. Two transmission members,
Relative movement of the vibrator and the friction member by vibration generated in the vibrator,
The applied pressure acts on the approximate center of the first transmission member;
In the vibration wave motor, the second transmission member has a compression amount at a position in the vicinity of the pressurizing point at which the applied pressure is applied is smaller than a compression amount at a position away from the pressurizing point.

前記第１の伝達部材は、加圧板であり、前記第２の伝達部材は、フェルトであることを特徴とする、請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の振動波モータ。 13. The vibration wave motor according to claim 8, wherein the first transmission member is a pressure plate, and the second transmission member is a felt.

前記振動は、超音波領域の周波数の高周波振動であり、前記振動波モータは超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波モータ。 The vibration wave motor according to any one of claims 1 to 13, wherein the vibration is high-frequency vibration having a frequency in an ultrasonic region, and the vibration wave motor is an ultrasonic motor.

光学部材を備えた可動部と、
該可動部を移動可能に案内する案内部と、
前記可動部に連結された請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動波モータと、を備え、
前記振動波モータにより前記可動部を前記案内部に沿って駆動することを特徴とする光学装置。 A movable part provided with an optical member;
A guide unit for guiding the movable unit in a movable manner;
The vibration wave motor according to any one of claims 1 to 14 connected to the movable part,
An optical apparatus characterized in that the movable part is driven along the guide part by the vibration wave motor.