JP2019134647A - 半導体装置 - Google Patents

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薫 吉川
賢一郎 伊東
Kenichiro Ito
賢一郎 伊東
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Kazuyoshi Kontani
一善 紺谷
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Abstract

【課題】半導体装置の大型化を抑制する。【解決手段】半導体装置10は、パワー基板20と、制御基板60と、コンデンサ基板50と、を備える。制御基板60は、パワー基板20の板厚方向に対して、パワー基板20と間隔を空けて配置されている。コンデンサ基板50は、パワー基板20と、制御基板60との間に配置されている。半導体装置10は、制御基板60をヒートシンク11に固定するために設けられたブラケット70を備える。ブラケット70は、金属製である。半導体装置10は、ブラケット70と制御基板60との間に配置された熱伝導部材91と、ブラケット70とコンデンサ基板50との間に配置された介在熱伝導部材92と、を備える。【選択図】図1

Description

本発明は、半導体装置に関する。
半導体装置は、半導体素子などの電子部品と、電子部品が実装される基板と、電子部品が発した熱を放熱するための放熱部と、を備える。全ての電子部品を1つの基板に実装すると、基板が板厚方向の面に沿う方向(板厚方向に直交する方向)に大型化し、半導体装置の大型化を招く。
特許文献1に記載の半導体装置は、複数の基板を備える。複数の基板同士は、板厚方向に間隔を空けて配置されている。半導体装置は、各基板同士の間隔を維持した状態で、各基板を固定する固定部材を備える。電子部品は、複数の基板に分散して配置されている。基板を複数設けて、板厚方向に間隔を空けて配置することで、半導体装置が大型化することを抑制している。また、半導体装置は、各基板と、放熱部に連結された金属板を備える。これにより、電子部品や、各基板の発した熱は、金属板を介して放熱部に伝導することになる。
国際公開WO2014/057622号公報
ところで、特許文献1の半導体装置は、各基板から放熱部に熱を伝導させるために金属板を設けている。金属板を設けることで、半導体装置が大型化している。
本発明の目的は、大型化を抑制できる半導体装置を提供することにある。
上記課題を解決する半導体装置は、放熱部と、前記放熱部に固定されており、半導体素子が実装された第1基板と、前記第1基板の板厚方向に前記第1基板と間隔を空けて配置されており、電子部品が実装された第2基板と、前記第2基板を前記放熱部に固定するためのブラケットと、を備え、前記第2基板と前記ブラケットとの間には、前記第2基板から前記ブラケットに熱を伝導させるための絶縁性の熱伝導部材が配置され、前記ブラケットは、金属製であり、前記ブラケットは、前記放熱部に熱を伝導させる伝熱部を備える。
これによれば、熱伝導部材を介して第2基板からブラケットに熱が伝導する。ブラケットに伝導した熱は、伝熱部を介して放熱部に伝導する。ブラケットを金属製とすることで、第2基板を放熱部に固定するためのブラケットを伝熱経路として用いることができる。これにより、第2基板の放熱性を向上させることができる。また、絶縁性の熱伝導部材を介して第2基板からブラケットに熱を伝導させることで、ブラケットを金属製にすることによる第2基板とブラケットとの短絡を抑制している。ブラケットを伝熱経路とせずに、ブラケットとは別の部材(例えば、金属板)を更に設ける場合に比べて、半導体装置の大型化を抑制できる。
上記半導体装置について、前記伝熱部は、前記放熱部に接する直接伝熱部を含んでいてもよい。
これによれば、ブラケットに伝導した熱を、直接伝熱部を介して放熱部に伝導させることができる。直接伝熱部は、放熱部に接しているため、放熱部に熱を伝導させやすい。
上記半導体装置について、前記伝熱部は、前記第1基板に接する間接伝熱部を含み、前記熱伝導部材は、前記間接伝熱部よりも前記直接伝熱部に近い位置に配置されていてもよい。
これによれば、熱伝導部材を直接伝熱部の近くに配置することで、熱伝導部材から直接伝熱部までの伝熱経路を短くすることができる。直接伝熱部は、放熱部に熱を伝導させやすいため、直接伝熱部までの伝熱経路を短くすることで、第2基板の放熱性を向上させることができる。
上記半導体装置について、前記ブラケットは、前記熱伝導部材の位置を規定する位置決め部を備えていてもよい。
これによれば、熱伝導部材を配置する際に、位置決め部を目印として熱伝導部材を配置することができる。
上記半導体装置について、前記第1基板と前記第2基板との間に配置された第3基板を備え、前記ブラケットは、前記第2基板と前記第3基板との間に介在する介在部を備え、前記第3基板と、前記介在部との間には、前記第3基板から前記ブラケットに熱を伝導させるための絶縁性の介在熱伝導部材が配置されていてもよい。
これによれば、第2基板の放熱性に加えて、第3基板の放熱性も向上させることができる。
上記半導体装置について、前記介在部は、前記介在熱伝導部材と向かい合う位置に設けられた確認孔を備えていてもよい。
第3基板と介在部との間に配置されている介在熱伝導部材は、ブラケットを放熱部に組み付けると視認しにくくなる。確認孔を介して介在熱伝導部材を視認可能とすることで、ブラケットを放熱部に組み付けた後であっても、介在熱伝導部材の有無を確認することができる。
上記半導体装置について、前記第2基板の板厚方向の両面のうち前記ブラケットに向かい合う面の反対面には、コネクタが挿入される接続部が設けられ、前記ブラケットは、前記第2基板の板厚方向の両面のうち前記ブラケットに向かい合う面に向けて突出した支持部を備え、前記支持部は、前記第2基板のうち前記接続部が設けられた部分に向かい合って配置されていてもよい。
接続部にコネクタを挿入する際には、コネクタからの力により第2基板が撓もうとする。この際、第2基板が支持部に接触して支持されることで、支持部により第2基板が撓むことを抑制することができる。
本発明によれば、半導体装置の大型化を抑制できる。
半導体装置の分解斜視図。 半導体装置の断面図。 ブラケットの斜視図。 半導体装置の平面図。 制御基板を仮想線で示した状態での半導体装置の平面図。 (a)、(b)、及び、(c)はネジによる各基板の締結構造を示す半導体装置の断面図。 半導体装置の側面図。
以下、半導体装置の一実施形態について説明する。なお、本実施形態の半導体装置は、バッテリ式の産業車両(フォークリフトなど)に搭載されるインバータである。インバータは、バッテリから入力された直流電力を交流電力(三相交流)に変換して、三相モータに出力する。これにより、三相モータが駆動する。
図1、及び、図2に示すように、半導体装置10は、放熱部としてのヒートシンク11を備える。ヒートシンク11は、アルミニウム系金属や銅等の金属製である。ヒートシンク11は、板状の固定部12と、固定部12の板厚方向の一面から突出するフィン13と、を備える。固定部12は、複数のネジ穴14を備える。ネジ穴14は、内周面にネジ溝(雌ねじ)を備える。
半導体装置10は、第1基板としてのパワー基板20と、第2基板としての制御基板60と、第3基板としてのコンデンサ基板50と、を備える。制御基板60は、パワー基板20の板厚方向に対して、パワー基板20と間隔を空けて配置されている。コンデンサ基板50は、パワー基板20と、制御基板60との間に配置されている。パワー基板20の板厚方向と、制御基板60の板厚方向と、コンデンサ基板50の板厚方向は一致している。ヒートシンク11、及び、3つの基板20,50,60は、層状に配置されているといえる。
パワー基板20は、固定部12の板厚方向の両面のうちフィン13が設けられた面の反対面に固定されている。本実施形態のパワー基板20は、絶縁金属基板(IMS基板)であり、金属製のベースに絶縁層を設けたものである。パワー基板20は、導体パターン22を備える。パワー基板20は、板厚方向に貫通した複数の第1挿通孔H1を備える。
半導体装置10は、複数の半導体素子24と、2つの入力端子25と、3つの出力端子35と、2つのスペーサ40と、ピンヘッダ46と、を備える。半導体素子24、入力端子25、出力端子35、スペーサ40、及び、ピンヘッダ46は、パワー基板20に実装されている。本実施形態の半導体素子24は、MOSFETである。なお、半導体素子24としては、MOSFET以外のスイッチング素子(例えば、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)を用いることもできる。複数の半導体素子24は、6つの半導体素子群G1,G2,G3,G4,G5,G6に分かれて配置されている。各半導体素子群G1〜G6において、各半導体素子24は、一列に並んでいる。以下、各半導体素子群G1〜G6を構成する半導体素子24の並ぶ方向を第1方向とする。
各半導体素子群G1〜G6は、間隔を空けて並んで配置されている。詳細にいえば、各半導体素子群G1〜G6は、パワー基板20の板厚方向の面に沿う方向のうち、第1方向に交差する方向に並んでいる。以下、各半導体素子群G1〜G6の並ぶ方向を第2方向とする。各半導体素子群G1〜G6は、インバータにおける三相の上下アームを構成している。
2つの入力端子25と、3つの出力端子35は、第2方向に間隔を空けて並んでいる。2つの入力端子25は、各半導体素子群G1〜G6を挟んで配置されている。即ち、入力端子25は、第2方向において、半導体素子群G1〜G6よりもパワー基板20の外縁に寄って配置されている。3つの出力端子35は、2つの入力端子25同士の間に配置されている。入力端子25は、基部26と、基部26から突出する柱状部27と、柱状部27の周面から突出する台座部28と、を備える。出力端子35は、基部36と、基部36から突出する柱状部37と、を備える。入力端子25、及び、出力端子35は、アルミニウム系金属や銅などの金属製である。入力端子25の基部26、及び、出力端子35の基部36は、パワー基板20の導体パターン22に接続されている。入力端子25には、バッテリが接続される。出力端子35には、三相モータが接続される。2つのスペーサ40は、第2方向に間隔を空けて並んでいる。各スペーサ40は、出力端子35同士の間に配置されている。スペーサ40は、アルミニウム系金属や銅などの金属製である。ピンヘッダ46は、第1方向において、半導体素子群G1〜G6よりもパワー基板20の外縁に寄って配置されている。
コンデンサ基板50は、入力端子25の基部26、出力端子35の基部36、及び、スペーサ40に重ねて配置されている。コンデンサ基板50は、導体パターン52を備える。コンデンサ基板50は、出力孔53を備える。出力端子35の柱状部37は、出力孔53を挿通している。コンデンサ基板50は、板厚方向に貫通した複数の第2挿通孔H2を備える。入力端子25の基部26、及び、スペーサ40を介して、コンデンサ基板50とパワー基板20とは、電気的に接続されている。
半導体装置10は、コンデンサ基板50に実装された複数のコンデンサ54を備える。本実施形態において、コンデンサ54は、コンデンサ基板50の一端に集約して配置されている。詳細にいえば、コンデンサ基板50において、第1方向の両縁部のうち一方の縁部に沿って複数のコンデンサ54が配置されている。コンデンサ54は、円柱状であり、軸線方向とコンデンサ基板50の板厚方向とが一致するように配置されている。コンデンサ54は、コンデンサ基板50に立設しているといえる。
図1、図2、及び、図4に示すように、制御基板60は、板厚方向に貫通した出力孔61を3つ備える。出力端子35の柱状部37は、出力孔61を挿通している。制御基板60は、ピンヘッダ46が挿入されるスルーホール62を備える。制御基板60は、板厚方向に貫通した第3挿通孔H3を複数備える。半導体装置10は、制御基板60に実装された複数の電子部品63、電流センサ65、及び、接続部67を備える。電子部品63は、各半導体素子群G1〜G6を制御する制御回路を構成している。制御回路により各半導体素子群G1〜G6が制御(スイッチング制御)されることで、電力変換が行われる。
スルーホール62にピンヘッダ46が挿入されることで、制御基板60とパワー基板20との接続が行われる。電流センサ65は、3つの出力端子35のうちの2つに設けられている。電流センサ65は、コア66と、図示しないホール素子と、を備える。接続部67は、制御基板60の板厚方向の両面のうちパワー基板20に向かい合う面の反対面に設けられている。接続部67は、半導体装置10を制御する制御装置(上位制御装置)と半導体装置10とを接続するコネクタが挿入される雌コネクタである。
図1、図3、及び、図5に示すように、半導体装置10は、制御基板60をヒートシンク11に固定するために設けられたブラケット70を備える。ブラケット70は、コンデンサ基板50と制御基板60との間隔を維持した状態で制御基板60をヒートシンク11に固定するためのものである。ブラケット70は、アルミニウム系金属や銅などの金属製である。
ブラケット70は、板状の本体71を備える。本体71は、四角板状の基部72と、基部72の板厚方向の面に沿う方向(板厚方向に直交する方向)に向けて基部72から突出した2つの介在部73と、を備える。2つの介在部73は、基部72から同一方向に突出している。基部72の互いに対向する縁の一方を第1縁74とし、他方を第2縁75とすると、介在部73は第1縁74から突出している。基部72は、板厚方向に貫通したピンヘッダ挿通孔76を備える。ピンヘッダ挿通孔76には、ピンヘッダ46が挿通される。2つの介在部73は、それぞれ、板厚方向に貫通された貫通孔77と、確認孔78と、を備える。確認孔78は、貫通孔77よりも介在部73の先端側に位置している。貫通孔77及び確認孔78は円形であり、確認孔78の直径は貫通孔77よりも小さい。
本体71の板厚方向の両面のうち一方を第1面79、他方を第2面80とする。ブラケット70は、本体71から本体71の板厚方向に突出する複数の締結ボス81,82,83を備える。本実施形態では、複数の締結ボス81,82,83は、1つの第1締結ボス81、3つの第2締結ボス82、及び、1つの第3締結ボス83を含む。第1締結ボス81、及び、第2締結ボス82は、それぞれ本体71の板厚方向の両面から突出している。第3締結ボス83は、本体71の第2面80から突出している。第1締結ボス81、及び、第2締結ボス82は、基部72に設けられている。第3締結ボス83は、介在部73に設けられている。
第1締結ボス81の第1面79からの突出長は、第2締結ボス82の第1面79からの突出長よりも長い。詳細にいえば、第1締結ボス81は、パワー基板20の板厚分だけ第2締結ボス82よりも第1面79から突出している。第1締結ボス81の第2面80からの突出長と、第2締結ボス82の第2面80からの突出長とは同一である。第1締結ボス81、第2締結ボス82、及び、第3締結ボス83は、それぞれ、円筒状である。
ブラケット70は、本体71の第2面80から突出した4つの支持部84を備える。支持部84は、基部72に設けられている。本実施形態の支持部84は、支持部84同士を繋いだ形状が平行四辺形となるように配置されている。支持部84は、柱状である。支持部84の第2面80からの突出長は、第1締結ボス81の第2面80からの突出長と同一である。
ブラケット70は、本体71の第1面79から突出した突出部85を備える。突出部85は、基部72の第2縁75に沿って延びている。本実施形態において、突出部85は、第2縁75の全体に亘って延びている。
ブラケット70は、本体71の第2面80から突出する枠状の載置部86を備える。載置部86は、支持部84と、第1締結ボス81との間に設けられている。載置部86は、第2縁75に沿って設けられている。
ブラケット70は、パワー基板20と、制御基板60との間に配置される。詳細にいえば、ブラケット70の基部72は、パワー基板20と、制御基板60との間に配置され、介在部73は、コンデンサ基板50と制御基板60との間に介在する。また、本体71の第1面79はヒートシンク11及びパワー基板20に向かい合い、本体71の第2面80は制御基板60に向かい合うように配置される。
図6(a)、図6(b)、及び、図6(c)に示すように、第1締結ボス81の軸線方向の両端面のうちの一方は固定部12に面接触し、他方は制御基板60に面接触している。第2締結ボス82の軸線方向の両端面のうちの一方はパワー基板20に面接触し、他方は制御基板60に面接触している。言い換えれば、第2締結ボス82は、パワー基板20を介してヒートシンク11に間接的に接している。第2締結ボス82は、パワー基板20に接する間接伝熱部となる。第3締結ボス83の軸線方向の端面は、制御基板60に面接触している。各締結ボス81,82,83によって制御基板60が支持され、これにより、制御基板60とヒートシンク11との間隔が維持される。突出部85は、ヒートシンク11の固定部12に面接触している。本実施形態において、第1締結ボス81、及び、突出部85がヒートシンク11に接する直接伝熱部となる。
図7に示すように、支持部84は、制御基板60において、接続部67が設けられた部分に接している。支持部84は、制御基板60を間に挟んで接続部67と向かい合っているといえる。なお、パワー基板20、コンデンサ基板50、及び、制御基板60のうち締結ボス81,82,83に接する部分は、電流の流れていない箇所である。
半導体装置10は、ブラケット70と制御基板60との間に配置された熱伝導部材91と、ブラケット70とコンデンサ基板50との間に配置された介在熱伝導部材92と、を備える。熱伝導部材91は、載置部86と、制御基板60のうち載置部86に向かい合う部分に挟持されている。熱伝導部材91は、枠状の載置部86内に配置されている。各介在熱伝導部材92は、各介在部73と、コンデンサ基板50に挟持されている。各介在熱伝導部材92は、確認孔78が設けられた部分に向かい合うように配置されている。熱伝導部材91及び介在熱伝導部材92の配置箇所は、電流の集中する箇所や、発熱素子となる電子部品63の近くになるように定められている。
熱伝導部材91、及び、介在熱伝導部材92は、絶縁性であり、圧力を加えることで変形する伝熱シートである。熱伝導部材91及び介在熱伝導部材92としては、例えば、シリコン系の伝熱シートが用いられる。熱伝導部材91は、制御基板60及びブラケット70からの圧力を受けることで、制御基板60及びブラケット70の表面に倣って変形している。これにより、熱伝導部材91は、制御基板60及びブラケット70に密着している。介在熱伝導部材92は、コンデンサ基板50及びブラケット70からの圧力を受けることで、コンデンサ基板50及びブラケット70の表面に倣って変形している。これにより、介在熱伝導部材92は、コンデンサ基板50及びブラケット70に密着している。
図1に示すように、半導体装置10は、パワー基板20、制御基板60、及び、コンデンサ基板50をヒートシンク11に固定するための複数のネジS1,S2,S3と、絶縁性のカラーCと、を備える。複数のネジS1,S2,S3は、第1ネジS1と、第2ネジS2と、第3ネジS3と、を含む。
図6(a)、図6(b)、及び、図6(c)に示すように、複数の第1ネジS1は、カラーCとともにコンデンサ基板50の第2挿通孔H2と、パワー基板20の第1挿通孔H1とを挿通して、ヒートシンク11のネジ穴14に締結されている。これにより、第1ネジS1は、パワー基板20とコンデンサ基板50とを共締めしている。なお、第1ネジS1のうちの一部は、パワー基板20及びコンデンサ基板50とともにスペーサ40、入力端子25の基部26、出力端子35の基部36を挿通している。
複数の第2ネジS2のうち一部の第2ネジS2は、制御基板60の第3挿通孔H3と、第1締結ボス81とを挿通して、ヒートシンク11のネジ穴14に締結されている。これにより、第2ネジS2は、制御基板60とブラケット70とを共締めしている。複数の第2ネジS2のうち一部の第2ネジS2は、制御基板60の第3挿通孔H3と、第2締結ボス82と、パワー基板20の第1挿通孔H1を挿通して、ヒートシンク11のネジ穴14に締結されている。これにより、第2ネジS2は、制御基板60と、ブラケット70と、パワー基板20と、を共締めしている。
図1に示すように、複数の第3ネジS3のうち一部の第3ネジS3は、制御基板60の第3挿通孔H3を挿通して、第3締結ボス83に締結されている。複数の第3ネジS3のうち一部の第3ネジS3は、制御基板60の第3挿通孔H3を挿通して、入力端子25の台座部28に締結されている。これにより、制御基板60は、ブラケット70及び入力端子25に固定されている。
次に、パワー基板20、コンデンサ基板50、制御基板60、熱伝導部材91、介在熱伝導部材92、及び、ブラケット70をヒートシンク11に組み付ける方法について説明する。なお、半導体装置10を構成する部材のうち、上記した部材以外の組み付けについては省略する。
まず、ヒートシンク11にパワー基板20を載置する。次に、コンデンサ基板50をパワー基板20と向かい合うように配置する。次に、第1ネジS1を締結することでコンデンサ基板50及びパワー基板20をヒートシンク11に固定する。次に、コンデンサ基板50に介在熱伝導部材92を配置する。介在熱伝導部材92は、コンデンサ基板50の導体パターン52に重ねて配置される。即ち、導体パターン52を目印として、介在熱伝導部材92は配置されることになる。
次に、ブラケット70を配置する。ブラケット70を配置した後には、確認孔78から介在熱伝導部材92を視認することができる。これにより、ブラケット70を配置した後に介在熱伝導部材92の有無を確認できる。
次に、ブラケット70の載置部86に熱伝導部材91を載置する。熱伝導部材91は、枠状の載置部86内に収まるように配置される。これにより、熱伝導部材91の位置決めがされ、更に、位置ズレが規制されることになる。
次に、ブラケット70と向かい合うように制御基板60を配置する。次に、第2ネジS2、及び、第3ネジS3をヒートシンク11に締結する。これにより、組み付けが行われる。
次に、本実施形態の半導体装置10の作用について説明する。
三相モータを駆動させるため、半導体装置10を駆動させると、半導体素子24、電子部品63、及び、導体パターン22,52が発熱する。半導体素子24及びパワー基板20で発した熱は、パワー基板20からヒートシンク11に伝導する。
制御回路を構成する電子部品63及び制御基板60で発した熱は、熱伝導部材91を介してブラケット70に伝導する。熱伝導部材91は、第1締結ボス81及び突出部85の近くに配置されているため、熱伝導部材91から伝導した熱の多くは、第1締結ボス81及び突出部85を介してヒートシンク11に伝導する。また、制御回路を構成する電子部品63及び制御基板60で発した熱は、第2締結ボス82、及び、パワー基板20を介してヒートシンク11に伝導する。
コンデンサ54及びコンデンサ基板50で発した熱は、入力端子25、出力端子35、及び、スペーサ40を介してパワー基板20に伝導する。パワー基板20の伝導した熱は、ヒートシンク11に伝導する。また、コンデンサ54及びコンデンサ基板50で発した熱は、介在熱伝導部材92を介してブラケット70に伝導する。ブラケット70に伝導した熱は、各締結ボス81,82を介してヒートシンク11に伝導する。
上記したように、各締結ボス81,82及び、突出部85を伝熱部として、制御基板60、及び、コンデンサ基板50からの熱がヒートシンク11に伝導する。これにより、制御基板60、及び、コンデンサ基板50の放熱が行われる。
接続部67にコネクタを挿入する際には、コネクタから接続部67に加わる力によって制御基板60が撓もうとする。制御基板60の撓もうとする方向には、支持部84が配置されているため、支持部84により制御基板60が撓むことを抑制することができる。
仮に、支持部84同士を結んだときの形状を長方形状にすると、絶縁距離との兼ね合いにより制御基板60の実質的な実装面積が低下する。本実施形態では、支持部84同士を結んだときの形状が平行四辺形となるようにすることで、制御基板60の実装面積が低下することを抑えている。
したがって、上記実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)ブラケット70を金属製とすることで、制御基板60からヒートシンク11に熱を伝える伝熱経路としてブラケット70を用いることができる。また、絶縁性の熱伝導部材91を介して制御基板60からブラケット70に熱を伝導させることで、ブラケット70を金属製にすることによる制御基板60とブラケット70との短絡を抑制している。制御基板60をヒートシンク11に固定するためのブラケット70をヒートシンク11に熱を伝導させる部材として兼用できる。このため、ブラケット70を伝熱経路とせずに、ブラケット70とは別の部材(例えば、金属板)を更に設ける場合に比べて、半導体装置10の大型化を抑制できる。
(2)ブラケット70の第1締結ボス81及び突出部85は、ヒートシンク11に接している。ブラケット70は、他の部材を介してヒートシンク11に熱を伝導させるよりも、直接ヒートシンク11に熱を伝導させるほうが熱を伝導させやすい。このため、第1締結ボス81及び突出部85を設けることで、制御基板60の放熱性を向上させることができる。
(3)熱伝導部材91は、第2締結ボス82よりも第1締結ボス81及び突出部85の近くに配置されている。上記したように、第1締結ボス81及び突出部85は、第2締結ボス82に比べてヒートシンク11に熱を伝導させやすい。熱伝導部材91を第1締結ボス81及び突出部85に近づけて配置することで、熱伝導部材91から第1締結ボス81及び突出部85までの伝熱経路を短くすることができる。これにより、制御基板60の放熱性を向上させることができる。
(4)ブラケット70は、熱伝導部材91の位置を規定する載置部86を備える。熱伝導部材91を配置するときには、載置部86を目印として熱伝導部材91の位置を定めることができる。また、載置部86を敷居として熱伝導部材91を配置することで、熱伝導部材91の位置ずれを抑止することができる。
(5)ブラケット70の介在部73と、コンデンサ基板50との間には介在熱伝導部材92が配置されている。このため、コンデンサ基板50からブラケット70に熱を伝導させ、コンデンサ基板50の放熱性を向上させることができる。
(6)ブラケット70は、確認孔78を備える。ブラケット70の介在部73と、コンデンサ基板50との間に介在される介在熱伝導部材92は、ブラケット70をヒートシンク11に組み付けると視認しにくくなる。介在熱伝導部材92に向かい合うように確認孔78を設けることで、ブラケット70を組み付けた後でも介在熱伝導部材92の有無を確認することができる。
(7)ブラケット70の支持部84により、コネクタを挿入する際に制御基板60の撓みを抑制できる。このため、制御基板60に反りが生じたり、電子部品63の接合部などに応力が加わることを抑制できる。
なお、実施形態は、以下のように変更してもよい。
○支持部84の第2面80からの突出長は、第1締結ボス81の第2面80からの突出長よりも短くてもよい。この場合、支持部84は制御基板60に接触せず、支持部84と制御基板60との間には隙間が介在する。コネクタを挿入する際に制御基板60が撓むと、制御基板60は支持部84に接触する。即ち、支持部84と制御基板60との間に隙間がある場合、隙間内での制御基板60の撓みは許容されるが、制御基板60が支持部84に接触することで制御基板60の撓みは規制されることになる。したがって、支持部84と制御基板60との間に、僅かな隙間がある場合であっても、その隙間が制御基板60に許容される撓み量よりも小さな隙間であればよい。
○複数の支持部84の配置は、適宜変更してもよい。例えば、支持部84同士を結んだ形状が長方形などでもよい。また、支持部84の数は適宜変更してもよい。
○ブラケット70は、支持部84を備えていなくてもよい。
○ブラケット70は、確認孔78を備えていなくてもよい。この場合、介在熱伝導部材92の有無を確認孔78以外から視認できるようにしてもよい。例えば、コンデンサ基板50とブラケット70との間の隙間から介在熱伝導部材92を視認できるようにしてもよいし、介在熱伝導部材92の一部が介在部73とコンデンサ基板50との間からはみだすようにしてもよい。
○スペーサ40や、入力端子25を介したコンデンサ基板50の放熱が十分であれば、ブラケット70は、介在部73及び介在熱伝導部材92を備えていなくてもよい。この場合、ブラケット70は、直接伝熱部となる第1締結ボス81及び突出部85を備えていればよく、間接伝熱部を備えていなくてもよい。
○熱伝導部材91の位置を規定する位置決め部は、ブラケット70に設けられた凹部、孔、突起、模様などの目印であってもよい。
○ブラケット70は、載置部86を備えていなくてもよい。
○熱伝導部材91は、第1締結ボス81及び突出部85よりも第2締結ボス82の近くに配置されていてもよい。
○ブラケット70は、第1締結ボス81及び突出部85を備えていなくてもよく、伝熱部として間接伝熱部である第2締結ボス82を備えるものであってもよい。
○ブラケット70は、直接伝熱部として、第1締結ボス81及び突出部85のうちいずれかを備えていてもよい。
○ブラケット70は、制御基板60を支持することができ、制御基板60からの熱をヒートシンク11に伝導させることができればどのような形状であってもよい。
○放熱部としては、フィン13を有さない放熱板などでもよい。なお、放熱部としては、気体状の冷媒によって冷却されるものでもよいし、液状の冷媒によって冷却されるものでもよい。
○各基板20,50,60は、絶縁金属基板や、プリント基板などどのような基板であってもよい。
○半導体装置10は、インバータ以外であってもよい。例えば、半導体装置10は、コンバータなど、インバータ以外の電力変換装置であってもよい。また、半導体素子24としてスイッチング素子以外のもの(例えば、ダイオード)を用いた半導体装置10であってもよい。半導体装置10は、放熱部に固定された第1基板と、第1基板と間隔を空けて配置された第2基板とを備えていればよく、基板の数は適宜変更してもよい。例えば、実施形態のように3つの基板を備えていてもよいし、第1基板と第2基板の2つの基板を備えるものであってもよい。
○半導体装置10は、産業車両に搭載されるものでなくてもよい。
11…ヒートシンク(放熱部)、20…パワー基板(第1基板)、24…半導体素子、50…コンデンサ基板(第3基板)、60…制御基板(第2基板)、63…電子部品、67…接続部、70…ブラケット、73…介在部、78…確認孔、81…第1締結ボス(直接伝熱部)、82…第2締結ボス(間接伝熱部)、84…支持部、85…突出部(直接伝熱部)、86…載置部(位置決め部)、91…熱伝導部材、92…介在熱伝導部材。

Claims (7)

  1. 放熱部と、
    前記放熱部に固定されており、半導体素子が実装された第1基板と、
    前記第1基板の板厚方向に前記第1基板と間隔を空けて配置されており、電子部品が実装された第2基板と、
    前記第2基板を前記放熱部に固定するためのブラケットと、を備え、
    前記第2基板と前記ブラケットとの間には、前記第2基板から前記ブラケットに熱を伝導させるための絶縁性の熱伝導部材が配置され、
    前記ブラケットは、金属製であり、
    前記ブラケットは、前記放熱部に熱を伝導させる伝熱部を備える半導体装置。
  2. 前記伝熱部は、前記放熱部に接する直接伝熱部を含む請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記伝熱部は、前記第1基板に接する間接伝熱部を含み、
    前記熱伝導部材は、前記間接伝熱部よりも前記直接伝熱部に近い位置に配置されている請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記ブラケットは、前記熱伝導部材の位置を規定する位置決め部を備える請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の半導体装置。
  5. 前記第1基板と前記第2基板との間に配置された第3基板を備え、
    前記ブラケットは、前記第2基板と前記第3基板との間に介在する介在部を備え、
    前記第3基板と、前記介在部との間には、前記第3基板から前記ブラケットに熱を伝導させるための絶縁性の介在熱伝導部材が配置されている請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載の半導体装置。
  6. 前記介在部は、前記介在熱伝導部材と向かい合う位置に設けられた確認孔を備える請求項5に記載の半導体装置。
  7. 前記第2基板の板厚方向の両面のうち前記ブラケットに向かい合う面の反対面には、コネクタが挿入される接続部が設けられ、
    前記ブラケットは、前記第2基板の板厚方向の両面のうち前記ブラケットに向かい合う面に向けて突出した支持部を備え、
    前記支持部は、前記第2基板のうち前記接続部が設けられた部分に向かい合って配置されている請求項1〜請求項6のうちいずれか一項に記載の半導体装置。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113574971A (zh) * 2019-03-19 2021-10-29 海拉有限双合股份公司 包括功率半导体模块和至少一个电容器的电气设备
US20220272877A1 (en) * 2019-07-29 2022-08-25 Mitsubishi Electric Corporation Power conversion apparatus
JP6827571B1 (ja) * 2020-01-08 2021-02-10 三菱電機株式会社 電力変換装置
US11331098B2 (en) * 2020-04-01 2022-05-17 Covidien Lp Sled detection device
DE102022202629A1 (de) 2022-03-17 2023-09-21 Zf Friedrichshafen Ag Haltevorrichtung für eine Treiber-Schaltungsplatine, Inverter für einen elektrischen Antriebsstrang eines Fahrzeugs und Verfahren zum Herstellen einer Haltevorrichtung

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001068607A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Hitachi Ltd 電子部品の冷却構造
US20060039127A1 (en) * 2004-08-19 2006-02-23 Distributed Power, Inc. High power density insulated metal substrate based power converter assembly with very low BUS impedance
JP2008125240A (ja) * 2006-11-13 2008-05-29 Hitachi Ltd 電力変換装置
WO2013080440A1 (ja) * 2011-11-30 2013-06-06 富士電機株式会社 電力変換装置
WO2014057622A1 (ja) * 2012-10-09 2014-04-17 富士電機株式会社 電力変換装置
WO2017043219A1 (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 日立オートモティブシステムズ株式会社 電気回路装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5115632B2 (ja) * 2010-06-30 2013-01-09 株式会社デンソー 半導体装置
JP5510432B2 (ja) * 2011-02-28 2014-06-04 株式会社豊田自動織機 半導体装置
KR101398739B1 (ko) * 2012-09-11 2014-05-28 엘에스산전 주식회사 전력 소자와 pcb의 결합 어셈블리 및 전력 소자와 pcb의 결합방법
TWI475952B (zh) * 2012-10-08 2015-03-01 Aopen Inc 散熱模組與電子裝置
DE102018203231A1 (de) * 2017-03-06 2018-09-06 Dana Canada Corporation Wärmetauscher zum kühlen mehrerer schichten aus elektronischen modulen
US10276472B2 (en) * 2017-04-01 2019-04-30 Ixys, Llc Heat transfer plate having small cavities for taking up a thermal transfer material

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001068607A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Hitachi Ltd 電子部品の冷却構造
US20060039127A1 (en) * 2004-08-19 2006-02-23 Distributed Power, Inc. High power density insulated metal substrate based power converter assembly with very low BUS impedance
JP2008125240A (ja) * 2006-11-13 2008-05-29 Hitachi Ltd 電力変換装置
WO2013080440A1 (ja) * 2011-11-30 2013-06-06 富士電機株式会社 電力変換装置
WO2014057622A1 (ja) * 2012-10-09 2014-04-17 富士電機株式会社 電力変換装置
CN104380461A (zh) * 2012-10-09 2015-02-25 富士电机株式会社 功率转换装置
WO2017043219A1 (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 日立オートモティブシステムズ株式会社 電気回路装置

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