JP2019121620A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
(a)第1温度とした基板に対して、シリコン含有ガスとゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する工程と、
(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる工程と、
(c)前記第2温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する工程と、
を有し、(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させる技術が提供される。
以下、本発明の一実施形態について図1〜図5を参照しながら説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱機構(温度調整部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200上に膜を形成する基板処理シーケンス例、すなわち、成膜シーケンス例について、主に図4を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
第1温度としたウエハ200に対して、Si含有ガスとしてのMSガスと、Ge含有ガスとしてのMGガスと、を供給して、ウエハ200の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態(非晶質状態)のシリコンゲルマニウム膜(SiGe膜)を形成するステップ(SiGe膜形成ステップ)と、
ウエハ200の温度を、第1温度から第1温度よりも高い第2温度へ昇温させるステップ(昇温ステップ)と、
第2温度としたウエハ200に対して、Si含有ガスとしてのMSガスを供給して、SiGe膜上にシリコン膜(Si膜)を形成するステップ(Si膜形成ステップ)と、
を行い、Si膜形成ステップでは、Si膜を形成しつつ、その下地となるSiGe膜を結晶化させる。
SiGe膜形成ステップを行う前に、第1温度以上第2温度未満の第3温度としたウエハ200に対して、Si含有ガスとしてDSガスを供給して、凹部内の表面上にシード層を形成するステップ(シード層形成ステップ)を行う。具体的には、シード層形成ステップでは、ウエハ200に対してハロゲン元素含有ガスとしてDCSガスを供給するステップと、ウエハ200に対してDSガスを供給するステップと、を交互に所定回数行うことで、シード層を形成する。そしてその後、すなわち、シード層形成ステップを行った後、SiGe膜形成ステップを行う前に、ウエハ200の温度を、第3温度から第1温度へ降温させるステップ(降温ステップ)を行う。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。また、処理室201内のウエハ200が所望の成膜温度となるように、ヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構267によるウエハ200の回転を開始する。処理室201内の排気、ウエハ200の加熱および回転は、いずれも、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、次のステップ1,2を順次実行する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200に対して、ノズル249bよりDCSガスを供給する。具体的には、バルブ243bを開き、ガス供給管232b内へDCSガスを流す。DCSガスは、MFC241bにより流量調整され、ノズル249bを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、ウエハ200に対してDCSガスが供給される。このとき、バルブ243d〜243fを開き、ガス供給管232d〜232f内へN2ガスを流すようにしてもよい。
ステップ1が終了した後、処理室201内のウエハ200、すなわち、清浄化されたウエハ200の表面に対して、ノズル249aよりDSガスを供給する。具体的には、バルブ243aを開き、ガス供給管232a内へDSガスを流す。DSガスは、MFC241aにより流量調整され、ノズル249aを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、ウエハ200に対してDSガスが供給される。このとき、バルブ243d〜243fを開き、ガス供給管232d〜232f内へN2ガスを流すようにしてもよい。
上述したステップ1,2を交互に、すなわち、同期させることなく非同時に行うサイクルを所定回数(n回、nは1以上の整数)行うことにより、図5(b)に示すように、ウエハ200上、すなわち、凹部内の表面上に、シード層(Siシード層)を形成することができる。凹部の底部を構成する単結晶Si上には、シード層として、エピタキシャルSi層が成長する。また、凹部の側部等を構成する絶縁膜上には、シード層として、アモルファスSi層が成長する。シード層の厚さは、例えば、1〜10nmの範囲内の厚さとする。
DCSガス供給流量:10〜1000sccm
DCSガス供給時間:0.5〜10分
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):0〜10000sccm
処理温度(第3温度):350〜450℃
処理圧力:400〜1000Pa
が例示される。
DSガス供給流量:10〜1000sccm
DSガス供給時間:0.5〜10分
が例示される。他の処理条件は、ステップ1における処理条件と同様な処理条件とする。
シード層形成ステップが終了した後、処理室201内の温度、すなわち、ウエハ200の温度を、上述の第3温度から、上述の第3温度以下の第1温度へ変更させるように、ヒータ207の出力を調整する。本ステップを行う際、バルブ243d〜243fを開き、ノズル249a〜249cを介して処理室201内へN2ガスを供給し、処理室201内をパージする。処理室201内の温度、すなわち、ウエハ200の温度が第1温度となって安定した後、後述するSiGe膜形成ステップを開始する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200上に形成されたシード層の表面に対して、ノズル249aよりMSガスを、ノズル249cよりMGガスをそれぞれ供給する。
MSガス供給流量:10〜2000sccm
MGガス供給流量:10〜2000sccm
各ガス供給時間:1〜300分
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):0〜20000sccm
処理温度(第1温度):300℃以上450℃以下、好ましくは300℃以上400℃以下、より好ましくは300℃以上370℃未満
処理圧力:1〜1000Pa、好ましくは66.5〜133Pa
が例示される。
SiGe膜形成ステップが終了した後、処理室201内の温度、すなわち、ウエハ200の温度を、上述の第1温度から、上述の第1温度よりも高い第2温度へ変更させるように、ヒータ207の出力を調整する。本ステップを行う際、バルブ243d〜243fを開き、ノズル249a〜249cを介して処理室201内へN2ガスを供給し、処理室201内をパージする。処理室201内の温度、すなわち、ウエハ200の温度が第2温度となって安定した後、後述するSi膜形成ステップを開始する。なお、本ステップ、すなわち、昇温ステップの実施期間中に、ウエハ200上に形成されたSiGe膜の結晶化を開始させることが可能となる。この結晶化は、後述するSi膜形成ステップにおいても継続して進行し、Si膜形成ステップにおいて完了する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200上に形成されたアモルファス状態のSiGe膜の表面に対して、ノズル249aよりMSガスを供給する。
MSガス供給流量:10〜2000sccm
MSガス供給時間:1〜300分
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):0〜20000sccm
処理温度(第2温度):500〜650℃
処理圧力:30〜200Pa
が例示される。
Si膜形成ステップが終了した後、処理室201内の温度、すなわち、ウエハ200の温度を第2温度から第3温度へ降下させつつ(降温)、ノズル249a〜249cのそれぞれからパージガスとしてのN2ガスを処理室201内へ供給し、排気口231aより排気する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態でマニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。ボートアンロードの後は、シャッタ219sが移動させられ、マニホールド209の下端開口がOリング220cを介してシャッタ219sによりシールされる(シャッタクローズ)。処理済のウエハ200は、反応管203の外部に搬出された後、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
本実施形態は、上述の成膜シーケンスに限定されず、以下に示す変形例のように変更することができる。これらの変形例は任意に組み合わせることができる。特に説明がない限り、各変形例の各ステップにおける処理手順、処理条件は、上述の基板処理シーケンスの各ステップにおける処理手順、処理条件と同様とすることができる。
図6(a)に示すような、表面に凹部が形成され、凹部の底部および側部がそれぞれSiO膜等の絶縁膜により構成されているウエハ200に対して上述の一連の処理を行うようにしてもよい。
以下に示す成膜シーケンスのように、シード層形成ステップでは、ウエハ200に対して、DCSガスのような上述のハロゲン元素含有ガスと、DIPASガス等の上述の各種アミノシラン系ガスと、を交互に供給するようにしてもよい。本変形例においても、上述の成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
(DIPAS→DCS)×n→MS+MG→MS ⇒ Si/SiGe/Seed
以下に示す成膜シーケンスのように、シード層形成ステップでは、ウエハ200に対して、DCSガスのようなハロゲン元素含有ガスを供給することなく、DIPASガスのような上述の各種アミノシラン系ガスやDSガスのような上述の各種水素化ケイ素ガスを供給するようにしてもよい。本変形例においても、上述の成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
DS→MS+MG→MS ⇒ Si/SiGe/Seed
(DIPAS→DS)×n→MS+MG→MS ⇒ Si/SiGe/Seed
(DS→DIPAS)×n→MS+MG→MS ⇒ Si/SiGe/Seed
以下に示す成膜シーケンスのように、シード層形成ステップでは、ウエハ200に対して、HClガスのようなハロゲン元素含有ガスと、DSガスのようなSi含有ガスとを、この順に供給するようにしてもよい。本変形例においても、上述の成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
以下に示す成膜シーケンスのように、シード層形成ステップを不実施としてもよい。本変形例においても、上述の成膜シーケンスとほぼ同様の効果が得られる。
以下に示す成膜シーケンスのように、SiGe膜形成ステップでは、MSガスとMGガスとを交互に供給してもよい。本変形例においても上述の成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
(DCS→DS)×n1→(MG→MS)×n2→MS ⇒ Si/SiGe/Seed
以下に示す成膜シーケンスのように、SiGe膜形成ステップおよびSi膜形成ステップのうち少なくともいずれかのステップでは、バルブ243gを開き、ウエハ200に対するPHガスの供給を実施し、ウエハ200上に形成される膜(SiGe膜、Si膜)中へPをドープするようにしてもよい。本変形例においても、上述の成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
(DCS→DS)×n→MS+MG→MS+PH ⇒ PドープSi/SiGe/Seed
(DCS→DS)×n→MS+MG+PH→MS+PH ⇒ PドープSi/PドープSi/Seed
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。但し、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
(a)第1温度とした基板に対して、シリコン含有ガスとゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する工程と、
(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる工程と、
(c)前記第2温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する工程と、
を有し、(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させる半導体装置の製造方法、または、基板処理方法が提供される。(c)では、前記シリコンゲルマニウム膜の表面を全体的に覆うように前記シリコン膜を形成するのが好ましい。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
(a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、5at%以上80at%以下のゲルマニウム濃度を有する。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
(a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、20at%以上80at%以下のゲルマニウム濃度を有する。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
(a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、50at%以上60at%以下のゲルマニウム濃度を有する。
付記1〜4のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、少なくともアモルファス状態のシリコン膜が形成される温度に晒されることで結晶化する(ゲルマニウム濃度を有する)。
付記1〜5のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1温度を300℃以上450℃以下とする。
付記1〜5のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1温度を300℃以上400℃以下とする。
付記1〜5のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1温度を、前記シリコン含有ガスが単独で存在した場合に前記シリコン含有ガスが熱分解することなく、前記ゲルマニウム含有ガスが単独で存在した場合に前記ゲルマニウム含有ガスが熱分解する温度(300℃以上370℃未満)とする。
付記1〜8のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(c)で形成する前記シリコン膜は、アモルファス状態、ポリ(多結晶)状態、またはアモルファスとポリの混晶状態である。
付記1〜8のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(c)で形成する前記シリコン膜は、アモルファス状態である。
付記1〜10のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(b)の実施期間中に前記シリコンゲルマニウム膜の結晶化を開始し、(c)においてその結晶化を完了させる。
付記1〜11のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(c)、または、(b)および(c)における前記シリコンゲルマニウム膜の結晶化により、前記シリコンゲルマニウム膜中におけるシリコンおよびゲルマニウムのうち少なくともいずれかにマイグレーションを生じさせる。
付記1〜12のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(c)、または、(b)および(c)における前記シリコンゲルマニウム膜の結晶化により、前記シリコンゲルマニウム膜中におけるシリコンおよびゲルマニウムのうち少なくともいずれかの結晶核を成長させる。
付記1〜13のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜はシームまたはボイドを有し、
(c)、または、(b)および(c)における前記シリコンゲルマニウム膜の結晶化により、前記シリコンゲルマニウム膜が有するシームまたはボイドを(前記マイグレーションおよび前記結晶核の成長のうち少なくともいずれかにより埋めて)消滅させる。
付記1〜14のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)の前に、(d)前記第1温度以上前記第2温度未満の第3温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記凹部内の表面上にシード層を形成する工程を、更に有する。
付記1〜14のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(a)の前に、(d)前記第1温度よりも高く前記第2温度未満の第3温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記凹部内の表面上にシード層を形成する工程と、
(e)前記基板の温度を前記第3温度から前記第1温度へ降温させる工程と、
を更に有する。
付記1〜16のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記凹部の底部が単結晶シリコンで構成され、前記凹部の側部が絶縁膜で構成され、
(d)では、前記単結晶シリコン上に、前記シード層として、エピタキシャルシリコン層を成長させ、前記絶縁膜上に、前記シード層として、アモルファスシリコン層を成長させ、
(a)では、前記エピタキシャルシリコン層上に、アモルファス状態の前記シリコンゲルマニウム膜を成長させ、前記アモルファスシリコン層上に、アモルファス状態の前記シリコンゲルマニウム膜を成長させる。
付記1〜16のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
前記凹部の底部および側部が絶縁膜で構成され、
(d)では、前記絶縁膜上に、前記シード層として、アモルファスシリコン層を成長させ、
(a)では、前記アモルファスシリコン層上に、アモルファス状態の前記シリコンゲルマニウム膜を成長させる。
本発明の他の態様によれば、
基板が処理される処理室と、
前記処理室内の基板に対してシリコン含有ガスを供給する第1供給系と、
前記処理室内の基板に対してゲルマニウム含有ガスを供給する第2供給系と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内において、
(a)第1温度とした基板に対して、前記シリコン含有ガスと前記ゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する処理と、(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる処理と、(c)前記第2温度とした前記基板に対して、前記シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する処理と、を有し、(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させるように、前記第1供給系、前記第2供給系、および前記ヒータを制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内において、
(a)第1温度とした基板に対して、シリコン含有ガスとゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する手順と、
(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる手順と、
(c)前記第2温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する手順と、
(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させる手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム、または、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
Claims (6)
- (a)第1温度とした基板に対して、シリコン含有ガスとゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する工程と、
(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる工程と、
(c)前記第2温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する工程と、
を有し、(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させる半導体装置の製造方法。 - (a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、5at%以上80at%以下のゲルマニウム濃度を有する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、20at%以上80at%以下のゲルマニウム濃度を有する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)で形成する前記シリコンゲルマニウム膜は、少なくともアモルファス状態のシリコン膜が形成される温度に晒されることで結晶化する請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板が処理される処理室と、
前記処理室内の基板に対してシリコン含有ガスを供給する第1供給系と、
前記処理室内の基板に対してゲルマニウム含有ガスを供給する第2供給系と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内において、
(a)第1温度とした基板に対して、前記シリコン含有ガスと前記ゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する処理と、(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる処理と、(c)前記第2温度とした前記基板に対して、前記シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する処理と、を有し、(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させるように、前記第1供給系、前記第2供給系、および前記ヒータを制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内において、
(a)第1温度とした基板に対して、シリコン含有ガスとゲルマニウム含有ガスとを供給して、前記基板の表面に形成された凹部内を埋め込むようにアモルファス状態のシリコンゲルマニウム膜を形成する手順と、
(b)前記基板の温度を前記第1温度から前記第1温度よりも高い第2温度へ昇温させる手順と、
(c)前記第2温度とした前記基板に対して、シリコン含有ガスを供給して、前記シリコンゲルマニウム膜上にシリコン膜を形成する手順と、
(c)において、前記シリコン膜を形成しつつ、その下地となる前記シリコンゲルマニウム膜を結晶化させる手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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