JP2019114542A - Tem薄片作成用のサンプル配向の方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書に記載のシステム、装置、および方法は多少なりとも制限的なものとして解釈されるべきではない。むしろ、本開示は、単独で、ならびに種々の互いの組み合わせおよび部分的な組み合わせで、種々の開示された実施形態の全ての新規性および非自明性を有する特徴および態様を対象とする。開示されたシステム、方法、および装置は、任意の特定の態様または特徴またはそれらの組み合わせに限定されず、開示されたシステム、方法および装置は、任意の1つ以上の特定の利点が存在する、または問題が解決されることも必要としない。いずれの動作理論も説明を容易にすることであるが、開示されたシステム、方法、および装置は、そのような動作理論に限定されない。
Claims (23)
- 荷電粒子ビームを基板に複数の入射角で向けることと、前記基板から返された前記荷電粒子ビームの部分を検出することと、
前記荷電粒子ビームの前記検出された部分および前記複数の角度に基づいて、イオンビーム軸に対して前記基板を位置合わせすることと、を含む、方法。 - 前記基板が、前記基板に傾斜を適用することによって前記イオンビーム軸と位置合わせされる、請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、前記イオンビーム軸を調整することによって前記イオンビーム軸と位置合わせされる、請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、前記基板に傾斜を適用し、前記イオンビーム軸を調整することによって、前記イオンビーム軸と位置合わせされる、請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、前記イオンビーム軸に対向する基板表面が前記イオンビーム軸に垂直になるように、前記イオンビーム軸に対して位置合わせされる、請求項1に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームが電子ビームであり、前記電子ビームの前記検出された部分が後方散乱された部分であり、前記検出された部分に基づいて電子チャンネリングパターンを生成することをさらに含み、前記基板が前記電子チャンネリングパターンに基づいて位置合わせされる、請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、前記電子チャンネリングパターン内の最大または最小に基づいて位置合わせされる、請求項6に記載の方法。
- 前記基板が傾斜ステージに固定され、前記荷電粒子ビームは、前記傾斜ステージで基板傾斜を変化させることによって、前記複数の入射角で前記基板に向けられる、請求項7に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームが、前記荷電粒子ビーム軸を変化させることによって、前記複数の入射角で前記基板に向けられる、請求項7に記載の方法。
- 前記位置合わせされた基板をイオンビームミリングすることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 傾斜ステージと、
前記傾斜ステージに連結され、試料を固定するように配置された試料台と、
前記試料に荷電粒子ビームを向けるように配置された荷電粒子ビーム(CPB)源と、
前記試料から後方散乱された前記CPBの部分を受け取るように配置されたCPB検出器と、
前記傾斜ステージまたは前記CPB源のうちの少なくとも1つに連結され、前記試料に対する前記CPBの入射角を変化させ、前記入射角に関連付けられた前記CPBの前記後方散乱された部分に基づいて前記試料の傾斜を決定するコントローラと、を含む、装置。 - さらに、イオンビーム源を含み、前記コントローラが、イオンビーム軸および試料傾斜のうちの少なくとも1つを、前記決定された試料傾斜に基づいて調整するようにさらに構成されている、請求項11に記載の装置。
- 前記CPBが電子ビームであり、前記CPBの前記検出された部分が電子チャンネリングパターンを生成するために前記コントローラによって処理され、前記試料の前記傾斜が前記電子チャンネリングパターンに基づいて決定される、請求項12に記載の装置。
- 前記イオンビーム源がイオンビーム偏向器を含み、前記イオンビームに対する前記試料傾斜が、前記イオンビームのビーム偏向に基づいて調整される、請求項13に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記イオンビーム軸に垂直になるよう基板表面を位置合わせするために前記傾斜ステージに連結される、請求項13に記載の装置。
- 前記コントローラが、2つの直交軸の周りの試料傾斜を変化させ、および前記電子ビームの前記対応する後方散乱された部分に関連付けられた信号を受信する前記傾斜ステージに連結される、請求項15に記載の装置。
- 前記イオンビーム源が、集束イオンビーム源である、請求項16に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記CPBの前記後方散乱された部分で発生した電子チャンネリングパターンに基づいて前記試料の前記傾斜を決定する、請求項17に記載の装置。
- 前記コントローラが、単一軸の周りの傾斜角の関数としての前記電子チャンネリングパターンの部分に基づいて前記試料の前記傾斜を決定する、請求項18に記載の装置。
- 前記コントローラが、2つの軸の周りの傾斜角の関数としての前記電子チャンネリングパターンの部分に基づいて前記試料の前記傾斜を決定する、請求項18に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記電子チャンネリングパターンの前記単一軸部分における最大後方散乱電子ビーム強度に基づいて、前記試料の前記傾斜を決定する、請求項19に記載の装置。
- 方法を実行するためのプロセッサ実行可能命令を内部に定義した1つ以上のコンピュータ可読媒体であって、前記方法が、
複数の複数の入射角で前記基板に入射するように電子ビームを基板に向けることと、関連する後方散乱電子ビーム強度を取得することと、
前記後方散乱電子ビーム強度を処理して電子チャンネリングパターン(ECP)を生成することと、
前記ECPに基づいて、前記基板をイオンビーム軸に対して位置合わせをすることと、を含む、1つ以上のコンピュータ可読媒体。 - 前記方法が、前記位置合わせされた基板を薄膜化するために、前記イオンビーム軸に沿ってイオンビームを向けるイオンビーム源を制御することをさらに含む、請求項22に記載の1つ以上のコンピュータ可読媒体。
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