JP2019100937A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、解像度毎に位相を振った画像を加算した場合、解像度によって位相を振る回数が違うため、そのまま加算すると位相を振る回数の少ない解像度の欠陥の重みが少なくなり、検出できない欠陥が発生することも問題となっている。
検査対象を撮像した撮像画像に基づいて、該撮像画像よりも解像度を下げた低解像度画像を複数作成する解像度変更手段と、
該解像度変更手段で作成した複数の低解像度画像を合成した合成画像を作成して該合成画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、を備え、
前記解像度変更手段は、
撮像画像内での位相をずらしながら前記撮像画像に前記分割領域を設定する分割領域設定手段と、
該分割領域設定手段で前記分割領域を設定したときに前記分割領域内の各画素の輝度の平均値を1つの画素の輝度値とした平均画像を作成する平均画像作成手段と、
該平均画像作成手段で作成した平均画像に輝度値を設定して輝度画像を作成する輝度値設定手段と、
該輝度値設定手段で作成した輝度画像を複数枚合成して前記低解像度画像を作成する位相画像合成手段と、を有するとともに、
前記分割領域設定手段で設定する分割領域のサイズを変化させながら、前記平均画像作成手段と、前記輝度値設定手段と、前記位相画像合成手段とで解像度の異なる複数の前記低解像度画像を作成するように構成され、
前記欠陥候補抽出手段は、前記位相画像合成手段で作成した複数の前記低解像度画像を合成することにより、前記合成画像を作成するように構成される。
前記輝度値設定手段は、
前記平均画像に対して、
着目画素と、該着目画素の両側に隣接する一対の隣接画素とを抽出し、
前記着目画素の輝度値に対して、前記一対の隣接画素のそれぞれが共に明るい又は暗い場合にのみ輝度差に基づいて輝度値を設定し、それ以外の画素は輝度値を0に設定する。
ように構成されていてもよい。
前記位相画像合成手段は、前記輝度画像を合成して正規化し、
前記欠陥候補抽出手段は、前記位相画像合成手段により正規化された複数の前記低解像度画像を合成して前記合成画像を作成する。
検査対象を撮像した撮像画像に基づいて、該撮像画像よりも解像度を下げた低解像度画像を複数作成するステップと、
該低解像度画像を複数作成するステップで作成した複数の前記低解像度画像を合成した合成画像を作成して該合成画像から欠陥候補を抽出するステップと、を備え、
前記低解像度画像を複数作成するステップでは、
撮像画像内での位相をずらしながら前記撮像画像に分割領域を設定し、且つ該分割領域内の各画素の輝度の平均値を1つの画素の輝度値とした平均画像を作成する平均画像作成処理と、該平均画像作成処理で作成した平均画像について、輝度値を設定した輝度画像を作成する輝度値設定処理と、該輝度値設定処理で作成した各輝度画像を合成して前記低解像度画像を作成する位相画像合成処理とを、前記撮像画像に分割領域を設定する際に分割領域のサイズを変化させながら繰り返して実行することによって解像度の異なる複数の前記低解像度画像を作成するように構成され、
前記欠陥候補を抽出するステップでは、複数の前記低解像度画像を合成することにより、前記合成画像を作成するように構成される。
前記輝度値設定処理では、
前記平均画像に対して、着目画素と、該着目画素の両側に隣接する一対の隣接画素とを抽出し、
前記着目画素の画素値に対して、前記一対の隣接画素のそれぞれが共に明るい又は暗い場合にのみ輝度差に基づいて輝度値を設定し、それ以外の場合は輝度値を0に設定するように構成されていてもよい。
前記位相画像合成処理は、前記輝度画像を合成して正規化し、
前記欠陥候補を抽出するステップでは、前記位相画像合成処理により正規化された複数の前記低解像度画像を合成して前記合成画像を作成する。
Claims (6)
- 検査対象を撮像した撮像画像に基づいて、該撮像画像よりも解像度を下げた低解像度画像を複数作成する解像度変更手段と、
該解像度変更手段で作成した複数の低解像度画像を合成した合成画像を作成して該合成画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、を備え、
前記解像度変更手段は、
撮像画像内での位相をずらしながら前記撮像画像に前記分割領域を設定する分割領域設定手段と、
該分割領域設定手段で前記分割領域を設定したときに前記分割領域内の各画素の輝度の平均値を1つの画素の輝度値とした平均画像を作成する平均画像作成手段と、
該平均画像作成手段で作成した平均画像に輝度値を設定して輝度画像を作成する輝度値設定手段と、
該輝度値設定手段で作成した輝度画像を複数枚合成して前記低解像度画像を作成する位相画像合成手段と、を有するとともに、
前記分割領域設定手段で設定する分割領域のサイズを変化させながら、前記平均画像作成手段と、前記輝度値設定手段と、前記位相画像合成手段とで解像度の異なる複数の前記低解像度画像を作成するように構成され、
前記欠陥候補抽出手段は、前記位相画像合成手段で作成した複数の前記低解像度画像を合成することにより、前記合成画像を作成するように構成される欠陥検査装置。 - 前記輝度値設定手段は、
前記平均画像に対して、
着目画素と、該着目画素の両側に隣接する一対の隣接画素とを抽出し、
前記着目画素の輝度値に対して、前記一対の隣接画素のそれぞれが共に明るい又は暗い場合にのみ輝度差に基づいて輝度値を設定し、それ以外の画素は輝度値を0に設定する請求項1に記載の欠陥検査装置。 - 前記位相画像合成手段は、前記輝度画像を合成して正規化し、
前記欠陥候補抽出手段は、前記位相画像合成手段により正規化された複数の前記低解像度画像を合成して前記合成画像を作成する
請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査装置。 - 検査対象を撮像した撮像画像に基づいて、該撮像画像よりも解像度を下げた低解像度画像を複数作成するステップと、
該低解像度画像を複数作成するステップで作成した複数の前記低解像度画像を合成した合成画像を作成して該合成画像から欠陥候補を抽出するステップと、を備え、
前記低解像度画像を複数作成するステップでは、
撮像画像内での位相をずらしながら前記撮像画像に分割領域を設定し、且つ該分割領域内の各画素の輝度の平均値を1つの画素の輝度値とした平均画像を作成する平均画像作成処理と、該平均画像作成処理で作成した平均画像について、輝度値を設定した輝度画像を作成する輝度値設定処理と、該輝度値設定処理で作成した各輝度画像を合成して前記低解像度画像を作成する位相画像合成処理とを、前記撮像画像に分割領域を設定する際に分割領域のサイズを変化させながら繰り返して実行することによって解像度の異なる複数の前記低解像度画像を作成するように構成され、
前記欠陥候補を抽出するステップでは、複数の前記低解像度画像を合成することにより、前記合成画像を作成するように構成される
欠陥検査方法。 - 前記輝度値設定処理では、
前記平均画像に対して、着目画素と、該着目画素の両側に隣接する一対の隣接画素とを抽出し、
前記着目画素の画素値に対して、前記一対の隣接画素のそれぞれが共に明るい又は暗い場合にのみ輝度差に基づいて輝度値を設定し、それ以外の場合は輝度値を0に設定するように構成される
請求項4に記載の欠陥検査方法。 - 前記位相画像合成処理は、前記輝度画像を合成して正規化し、
前記欠陥候補を抽出するステップでは、前記位相画像合成処理により正規化された複数の前記低解像度画像を合成して前記合成画像を作成する
請求項4又は請求項5に記載の欠陥検査方法。
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CN111476797A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-31 | 上海工程技术大学 | 一种喷丸成形中重叠弹坑的图像分割方法 |
WO2021210875A1 (ko) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | 삼성전자 주식회사 | 다중 포토다이오드 센서에 의해 획득된 서브 이미지들의 차이에 기반하여 이미지의 결함을 검출하는 전자 장치 및 이의 동작 방법 |
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WO2021210875A1 (ko) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | 삼성전자 주식회사 | 다중 포토다이오드 센서에 의해 획득된 서브 이미지들의 차이에 기반하여 이미지의 결함을 검출하는 전자 장치 및 이의 동작 방법 |
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