JP2019093664A - 印刷機、印刷ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】印刷ヘッド６の大型化を抑制しつつ、印圧センサーＳおよび荷重軽減バネ７１の装備を可能とする。【解決手段】印圧センサーＳが螺旋形状の荷重軽減バネ７１の内側に配置（換言すれば挿入）されている。このように、荷重軽減バネ７１の内側のスペースを有効に活用して印圧センサーＳを配置しているため、印刷ヘッド６の大型化を抑制しつつ、印圧センサーＳおよび荷重軽減バネ７１を装備することが可能となっている。【選択図】図６

Description

この発明は、スキージに印圧を与えつつスキージをマスクに摺動させることで印刷を行う印刷技術に関する。

従来、マスクの下面に印刷対象物を対向させつつ、マスクの上面にスキージを摺動させることで、マスクの上面に供給されたペーストを印刷対象物に印刷する印刷機が知られている。このような印刷を良好に行うためには、適度な印圧をスキージに与えることが重要となる。そこで、特許文献１に記載された印刷機は、スキージを保持するスキージホルダーに取り付けられた歪みゲージを備え、歪みゲージの出力値に基づきスキージに与えられた印圧を制御しつつ印刷を行う。

特開平０９−１７４８０８号公報

ところで、上記のようなスキージを備えた印刷ヘッドには、スキージがマスクに当接した瞬間の衝撃を抑制するため、スキージを上方に付勢する荷重軽減バネが設けられる場合がある。しかしながら、歪みゲージのような圧力センサーや荷重軽減バネといった部品点数の増加に伴う印刷ヘッドの大型化が課題となっていた。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、印刷ヘッドの大型化を抑制しつつ、圧力センサーおよび荷重軽減バネの装備を可能とする技術の提供を目的とする。

本発明に係る印刷機は、加えられた圧力に応じた検出値を出力する圧力センサーと、圧力センサーの下方に配置されて圧力センサーに接続されたスキージと、圧力センサーを介してスキージに上方から印圧を与える印圧付与部と、螺旋形状の荷重軽減バネを有して荷重軽減バネによりスキージを上方へ付勢する荷重軽減部とを有する印刷ヘッドと、印刷対象物に上方から対向させてマスクを保持するマスク保持部とを備え、印刷ヘッドのスキージをマスクの上面に摺動させることで印刷対象物に印刷を実行し、印刷ヘッドでは、圧力センサーの少なくとも一部が荷重軽減バネの内側に配置されている。

本発明に係る印刷ヘッドは、加えられた圧力に応じた検出値を出力する圧力センサーと、圧力センサーの下方に配置されて圧力センサーに接続されたスキージと、圧力センサーを介してスキージに上方から印圧を与える印圧付与部と、螺旋形状の荷重軽減バネを有して荷重軽減バネによりスキージを上方へ付勢する荷重軽減部とを備え、圧力センサーの少なくとも一部が荷重軽減バネの内側に配置されている。

このように構成された本発明（印刷機、印刷ヘッド）では、圧力センサーが螺旋形状の荷重軽減バネの内側に配置（換言すれば挿入）されている。このように、荷重軽減バネの内側のスペースを有効に活用して圧力センサーを配置しているため、印刷ヘッドの大型化を抑制しつつ、圧力センサーおよび荷重軽減バネを装備することが可能となっている。

また、荷重軽減部は、荷重軽減バネの上方で圧力センサーに固定されたフランジを有し、荷重軽減バネがフランジを上方へ押圧することで圧力センサーを介してスキージを上方へ付勢するように、印刷機を構成しても良い。かかる構成では、荷重軽減バネによる荷重の軽減を圧力センサーに的確に反映させることができる。

また、印圧付与部は、フランジの上方に配置された印圧バネを有し、印圧バネによってフランジを下方に押圧することで、スキージに印圧を与えるように、印刷機を構成しても良い。かかる構成は、荷重軽減バネによるスキージの荷重軽減のために設けられたフランジを、印圧バネによるスキージの印圧付与に共用しており、印刷ヘッドの大型化の抑制に効果的に資する。

また、圧力センサー、印刷付与部および荷重軽減部で構成されるユニットが印刷ヘッドに複数設けられるように、印刷機を構成しても良い。つまり、本発明では、荷重軽減バネの内側のスペースを有効に活用して圧力センサーを配置しているため、印刷ヘッドの大型化を抑制しつつ、圧力センサー、印刷付与部および荷重軽減部で構成されるユニットを複数設けることが可能となっている。

また、複数のユニットそれぞれの圧力センサーの検出値に基づき、スキージに与えられた印圧に関する情報を取得する印圧情報取得部をさらに備えるように、印刷機を構成しても良い。かかる構成では、複数の圧力センサーの検出値に基づき、印刷に関する情報を的確に取得することができる。

また、印圧情報取得部は、複数のユニットそれぞれの圧力センサーの検出値の差を、スキージに与えられた印圧の偏りを示す情報として取得するように、印刷機を構成しても良い。かかる構成では、複数の圧力センサーの検出値に基づき、印圧の偏りを的確に取得することができる。

また、印刷情報取得部は、複数のユニットそれぞれの圧力センサーの検出値の最大値と最小値の差が閾値以上となると、作業者に警告を行うように、印刷機を構成しても良い。かかる構成では、印圧の偏りが大きい場合には、作業者に警告を行って、必要な作業を促すことができる。

また、印圧情報取得部は、複数のユニットそれぞれの圧力センサーの検出値の平均値に基づきスキージに与えられた印圧を測定するように、印刷機を構成しても良い。かかる構成では、圧力センサーの検出値に混入した外部ノイズの影響を抑えつつ印圧を測定することができる。

なお、圧力センサーとして使用可能なセンサーの種類は様々である。したがって、圧力センサーは磁歪センサーであっても良い。

本発明によれば、印刷ヘッドの大型化を抑制しつつ、圧力センサーおよび荷重軽減バネを装備することが可能となる。

図１は本発明を適用した印刷機を模式的に示す正面図。 図１の印刷機が備える電気的構成を示すブロック図。 印刷ヘッドの構成を部分的に示す斜視図。 印刷ヘッドの構成を部分的に示す正面図。 印刷ヘッドの構成を部分的に示す側面図。 印刷ヘッドの構成を部分的に示すＡ−Ａ線断面図。 印刷ヘッドが備える印圧センサーの構成を示すＡ−Ａ線断面図。

図１は本発明を適用した印刷機を模式的に示す正面図である。図２は図１の印刷機が備える電気的構成を示すブロック図である。図１および以下の図では、Ｚ方向を鉛直方向とし、Ｘ方向およびＹ方向を水平方向とするＸＹＺ直交座標軸を適宜示す。この印刷機１は、マスクＭを保持するマスク保持ユニット２と、マスクＭの下方に配置された基板保持ユニット４と、マスクＭの上方に配置された印刷ヘッド６とを備える。さらに、印刷機１は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)およびＲＡＭ(Random Access Memory)等で構成された主制御部１０を備える。そして、主制御部１０が基板保持ユニット４および印刷ヘッド６を制御することで、基板保持ユニット４により基板ＢをマスクＭに下方から対向させつつスキージユニット６のスキージ６１の先端をマスクＭの上面にＸ方向へ摺動させる。これによって、マスクＭの上面に供給されたペースト（半田）が、マスクＭを貫通するパターン孔を介して基板Ｂの上面に印刷される。さらに、印刷機１は、例えば液晶ディスプレイ等で構成された表示ユニット１１を備える。したがって、作業者は、表示ユニット１１の表示内容を確認することで印刷機１の稼働状況を確認することができる。

マスク保持ユニット２はクランプ部材２１を有し、マスクＭはその周縁部に設けられたフレームＦを介してクランプ部材２１に着脱可能に取り付けられる。これによって、平板形状を有するマスクＭがマスク保持ユニット２により水平に保持される。このマスクＭは、平面視において矩形状を有し、基板Ｂへの印刷パターンに応じた形状の貫通孔（パターン孔）を有する。

基板保持ユニット４は、マスク保持ユニット２に保持されたマスクＭの下方に配置され、マスクＭに対して基板Ｂの位置を合わせる機能を担う。この基板保持ユニット４は、基板Ｂを搬送する一対のコンベア４１と、コンベア４１から受け取った基板Ｂを保持する基板保持部４２と、コンベア４１および基板保持部４２を支持する平板形状の可動テーブル４３とを有する。

一対のコンベア４１はＸ方向に間隔を空けつつＹ方向に平行に配置されており、それぞれの上面で基板ＢのＸ方向の両端を下方から支持する。そして、各コンベア４１がＹ方向に基板Ｂを搬送して、印刷機１に対する基板Ｂの搬入あるいは搬出を実行する。

基板保持部４２は、平板形状の昇降テーブル４２１と、可動テーブル４３に対してＺ方向にスライド可能なスライド支柱４２２とを有し、昇降テーブル４２１がスライド支柱４２２の上端に支持されている。また、昇降テーブル４２１の上面にはＺ方向に立設された複数のバックアップピン４２３がＸ方向およびＹ方向に間隔を空けて並ぶ。そして、スライド支柱４２２が昇降することで、昇降テーブル４２１とともにバックアップピン４２３が昇降する。例えばコンベア４１の基板Ｂの搬入時は、各バックアップピン４２３の上端はコンベア４１の上面より下方に位置する。そして、コンベア４１がバックアップピン４２３の直上に基板Ｂを搬入すると、バックアップピン４２３が上昇して、バックアップピン４２３の上端がコンベア４１の上面より上方へ突出する。これによって、コンベア４１の上面から各バックアップピン４２３の上端へ基板Ｂが受け渡される。

また、基板保持部４２は、一対のコンベア４１の上方でＸ方向に間隔を空けて配置された一対のクランププレート４２４を有し、これらクランププレート４２４の少なくとも一方はＸ方向に可動である。各クランププレート４２４の上面はＸ方向およびＹ方向に平行な平面であり、互いに同じ高さに位置する。そして、バックアップピン４２３上の基板Ｂが一対のクランププレート４２４の間にまで上昇すると、これらクランププレート４２４の間隔が狭まり、基板Ｂがこれらクランププレート４２４によりＸ方向（水平方向）からクランプされる。

さらに、基板保持ユニット４は、可動テーブル４３を駆動するテーブル駆動機構４４を有する。このテーブル駆動機構４４は、Ｘ軸テーブル４４１と、Ｘ軸テーブル４４１の上面に取り付けられたＹ軸テーブル４４２と、Ｙ軸テーブル４４２の上面に取り付けられたＲ軸テーブル４４３と、Ｒ軸テーブル４４３に対して可動テーブル４３を昇降させるボールネジ４４４とを有する。したがって、テーブル駆動機構４４は、可動テーブル４３に配置されたコンベア４１および基板保持部４２をＸ、Ｙ、Ｚ、Ｒ方向に駆動することで、搬入された基板ＢをマスクＭに対して位置決めすることができる。これによって、クランププレート４２４および基板Ｂそれぞれの上面がマスクＭの下面に接触する。

また、図２に示すように、印刷機１は、印刷ヘッド６をＸ方向に駆動するＸ軸モーターＭｘと、印刷ヘッド６をＺ方向に駆動するＺ軸モーターＭｚとを有するヘッド駆動部６Ｄを有する。そして、主制御部１０は、Ｚ軸モーターＭｚにより印刷ヘッド６のスキージ６１をマスクＭの上面に所定の印圧で押圧しつつ、Ｘ軸モーターＭｘにより印刷ヘッド６をＸ方向に駆動することで、スキージ６１をマスクＭの上面に修道させる。

続いては、印刷ヘッド６の詳細について、図３〜図６を併用して説明する。ここで、図３は印刷ヘッドの構成を部分的に示す斜視図であり、図４は印刷ヘッドの構成を部分的に示す正面図であり、図５は印刷ヘッドの構成を部分的に示す側面図であり、図６は印刷ヘッドの構成を部分的に示すＡ−Ａ線断面図であり、図７は印刷ヘッドが備える印圧センサーの構成を示すＡ−Ａ線断面図である。

印刷ヘッド６は、Ｙ方向に平行な軸を中心にスキージ６１を回動可能に支持する支持ブラケット６２と、支持ブラケット６２に取り付けられた回動モーターＭθとを有する（図１）。回動モーターＭθはスキージ６１の回動軸に接続されており、回動モーターＭθによりスキージ６１を回動させることで、スキージ６１がマスクＭの上面に接する角度（アタック角度）を調整することができる。

また、印刷ヘッド６は、スキージ６１が取り付けられた支持ブラケット６２を支持する支持フレーム６３を支持ブラケット６２の上方に有する。つまり、印刷ヘッド６は、Ｚ方向に平行に延設された２本のサポートロッド６４を有し、各サポートロッド６４が支持フレーム６３に対してＺ方向にスライド可能に設けられている。支持フレーム６３には、挿入孔６３２がＺ方向に貫通したロッドガイド６３１が各サポートロッド６４に対応して取り付けられ、２本のサポートロッド６４は対応するロッドガイド６３１の挿入孔６３２に上方から挿入されている。各サポートロッド６４は、挿入孔６３２よりも径の大きいフランジ６４１をそれぞれの上端に有し、フランジ６４１が上方からロッドガイド６３１に引っ掛かることで、サポートロッド６４がロッドガイド６３１から抜け落ちないように構成されている。一方、２本のサポートロッド６４の下端は、支持ブラケット６２の上端に取り付けられたプレート６５の上面に取り付けられる。

さらに、印刷ヘッド６は、スキージ６１を上方に付勢する荷重軽減部７を有する。本実施形態では、２本のサポートロッド６４の間に２個の荷重軽減部７が設けられているが、後に詳述する印圧検出に関する機構を除いてこれら荷重軽減部７の構成は同様である。したがって、ここでは、一の荷重軽減部７について詳細を説明し、２個の荷重軽減部７に共通する構成は相当符号を付して説明を省略する。

荷重軽減部７は、螺旋形状を有してＺ方向に伸縮可能な荷重軽減バネ７１と、荷重軽減バネ７１を支持する支持リング７２とを有する。荷重軽減バネ７１は、支持フレーム６３をＺ方向に貫通する貫通孔６３３に上方から挿入されており、荷重軽減バネ７１の上端は支持フレーム６３の上面から上方に突出する。支持リング７２は、貫通孔６３３に下方から対向し、螺子によって支持フレーム６３の下面に固定されている。この支持リング７２が、支持フレーム６３に対して荷重軽減バネ７１を下方から支持する。

さらに、荷重軽減部７は、支持リング７２の孔を介して荷重軽減バネ７１の内側に下方から挿入されたロッド７３と、荷重軽減バネ７１の上方に配置されたフランジ７４とを有する。ロッド７３の下端はプレート６５の上面に固定されており、ロッド７３はプレート６５から上方へＺ方向に平行に立設されている。フランジ７４は、荷重軽減バネ７１から上方へ突出したロッド７３の上端に固定されて、ロッド７３から側方（水平方向）へ張り出している。そして、荷重軽減バネ７１の下端は支持リング７２に接触し、荷重軽減バネ７１の上端はフランジ７４に接触しており、荷重軽減バネ７１は、支持リング７２とフランジ７４とによって挟まれてＺ方向に圧縮されている。したがって、フランジ７４を上方へ押圧する荷重軽減バネ７１の弾性力が、ロッド７３を介してプレート６５に伝達されて、プレート６５に取り付けられたスキージ６を上方へ付勢する。

また、印刷ヘッド６は、スキージ６１を下方に押圧することでスキージ６１に印圧を与える印圧付与部８を有する。本実施形態では、２個の印圧付与部８が設けられているが、これら印圧付与部８の構成は同様である。したがって、ここでは、一の印圧付与部８について詳細を説明し、２個の印圧付与部８に共通する構成は相当符号を付して説明を省略する。

印圧付与部８は、螺旋形状を有してＺ方向に伸縮可能な印圧バネ８１と、円筒形状を有するカバー部材８２とを有する。印圧バネ８１は、荷重軽減部７のフランジ７４の上方に配置され、荷重軽減バネ７１に対して同軸に設けられている。カバー部材８２は、下方に開口して円筒形状を有する中空部８２１を内部に有し、上方から印圧バネ８１およびフランジ７４に外嵌されて、支持フレーム６３に固定されている。こうして、印圧バネ８１およびフランジ７４は、カバー部材８２の中空部８２１に下方から挿入されている。印圧バネ８１の下端はフランジ７４に接触し、印圧バネ８１の上端はカバー部材８２の上端の内壁に接触し、印圧バネ８１は、フランジ７４とカバー部材８２とによって挟まれてＺ方向に圧縮されている。したがって、フランジ７４を下方へ押圧する印圧バネ８１の弾性力が、ロッド７３を介してプレート６５に伝達されて、プレート６５に取り付けられたスキージ６１をマスクＭに押圧する。

支持フレーム６３は、Ｚ軸モーターＭｚによってＺ方向に駆動される。したがって、スキージ６１がマスクＭに接触した状態から、支持フレーム６３が下方に駆動されると、支持フレーム６３に伴ってカバー部材８２も下方に移動し、印圧バネ８１が短くなる。その結果、印圧バネ８１の弾性力が増大して、スキージ６１とマスクＭとの間に生じる印圧も増大する。つまり、印圧バネ８１は、支持フレーム６３の高さに応じた印圧をスキージ６１に与える。

さらに、印刷ヘッド６は、スキージ６１に印加された印圧を測定する機構を有する。つまり、２本のロッド７３のうちの一のロッド７３（図３、図６の右側のロッド７３）は磁歪体で構成されたセンサーロッドＳｒであり、加えられた圧力に応じて透磁率が変化する物性を有する。かかるセンサーロッドＳｒは、センサーロッドＳｒの全体を磁歪体で形成することで構成されても良いし、例えば金属製の軸心の周面全体に磁歪体の薄膜をめっきにより成膜することで構成されても良い。

そして、このセンサーロッドＳｒの外周にはコイルＳｃが巻かれている。詳細は図７に示すように、印圧センサーＳは、センサーロッドＳｒの外側に嵌められた樹脂製のボビンＳｂを有し、ボビンＳｂの外周に設けられた凹部にコイルＳｃが巻かれている。さらに、印圧センサーＳは、ボビンＳｂの外側に嵌められた金属製のシールドＳｓを有し、外部からのノイズをシールドＳｓにより遮蔽する。なお、Ｚ方向において、センサーロッドＳｒ（換言すれば、磁歪体の配設範囲）はコイルＳｃより長く、センサーロッドＳｒの両端はコイルＳｃの両端から突出している。

こうして、センサーロッドＳｒおよびコイルＳｃ等で印圧センサーＳが構成され、印圧センサーＳの上端部分が荷重軽減バネ７１の内側に挿入されている。かかる印圧センサーＳでは、センサーロッドＳｒに加えられた圧力に応じたインピーダンスがコイルＳｃに生じる。

また、印刷ヘッド６は、回路基板Ｃと、回路基板Ｃと印圧センサーＳとを電気的に接続する配線Ｗとを有し、回路基板Ｃが配線Ｗを介して印圧センサーＳのコイルＳｃに電流を供給すると、印圧センサーＳは、コイルＳｃのインピーダンスに応じた電圧を出力する。そして、回路基板Ｃは、印圧センサーＳから出力された電圧を、印圧センサーＳの検出値として主制御部１０に送信する。したがって、主制御部１０は、回路基板Ｃから受信した印圧センサーＳの検出値に基づき、スキージ６１に印加されている印圧を測定できる。なお、回路基板Ｃは、２本のサポートロッド６４のうち、印圧センサーＳに近い方の一のサポートロッド６４に取り付けられている。

以上のように構成された本実施形態では、印圧センサーＳが螺旋形状の荷重軽減バネ７１の内側に配置（換言すれば挿入）されている。このように、荷重軽減バネ７１の内側のスペースを有効に活用して印圧センサーＳを配置しているため、印刷ヘッド６の大型化を抑制しつつ、印圧センサーＳおよび荷重軽減バネ７１を装備することが可能となっている。

また、荷重軽減部７は、荷重軽減バネ７１の上方で印圧センサーＳのセンサーロッドＳｒに固定されたフランジ７４を有し、荷重軽減バネ７１がフランジ７４を上方へ押圧することで印圧センサーＳのセンサーロッドＳｒを介してスキージ６１を上方へ付勢する。かかる構成では、荷重軽減バネ７１による荷重の軽減を印圧センサーＳに的確に反映させることができる。

また、印圧付与部８は、フランジ７４の上方に配置された印圧バネ８１を有し、印圧バネ８１によってフランジ７４を下方に押圧することで、スキージ６１に印圧を与える。かかる構成は、荷重軽減バネ７１によるスキージ６１の荷重軽減のために設けられたフランジ７４を、印圧バネ８１によるスキージ６１の印圧付与に共用しており、印刷ヘッド６の大型化の抑制に効果的に資する。

このように本実施形態では、印刷機１が本発明の「印刷機」の一例に相当し、印刷ヘッド６が本発明の「印刷ヘッド」の一例に相当し、印圧センサーＳが本発明の「圧力センサー」および「磁歪センサー」の一例に相当し、スキージ６１が本発明の「スキージ」の一例に相当し、印圧付与部８が本発明の「印圧付与部」の一例に相当し、荷重軽減部７が本発明の「荷重軽減部」の一例に相当し、荷重軽減バネ７１が本発明の「荷重軽減バネ」の一例に相当し、マスク保持ユニット２が本発明の「マスク保持部」の一例に相当し、フランジ７４が本発明の「フランジ」の一例に相当し、印圧バネ８１が本発明の「印圧バネ」の一例に相当し、印圧センサーＳ、印圧付与部８および荷重軽減部７で構成されるセンサーユニットＵ（図６）が本発明の「ユニット」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、センサーユニットＵの個数は上記の１個に限られず、複数個のセンサーユニットＵを印刷ヘッド６に設けることができる。つまり、本発明では、荷重軽減バネ７１の内側のスペースを有効に活用して印圧センサーＳを配置しているため、印刷ヘッド６の大型化を抑制しつつ、センサーユニットＵを複数設けることが可能となっている。

また、このように複数のセンサーユニットＵを印刷ヘッド６に設けた場合、主制御部１０（印圧情報取得部）は、複数のセンサーユニットＵそれぞれの印圧センサーＳの検出値に基づき、スキージ６１に与えられた印圧に関する情報を取得できる。すなわち、複数の印圧センサーＳの検出値に基づくことで、当該情報を的確に取得することができる。具体的には、主制御部１０は、次の各制御例に示す制御を実行可能である。

第１制御例
第１制御例では、主制御部１０は、複数の印圧センサーＳの検出値の差を、スキージ６１に与えられた印圧の偏り、換言すれば偏荷重を示す情報として取得する。具体的には、主制御部１０は、複数の印圧センサーＳの検出値の最大値と最小値との差が閾値以上か否かを判断する。そして、この差が閾値以上となると、主制御部１０は、偏荷重が過大であるとの警告を、作業者に向けて表示ユニット１１に表示する。かかる制御例では、印圧の偏りが大きい場合には、作業者に警告を行って、必要な作業を促すことができる。

第２制御例
第２制御例では、主制御部１０は、複数の印圧センサーＳの検出値の平均値を、スキージ６１に与えられた印圧として算出する。かかる構成では、印圧センサーＳの検出値に混入した外部ノイズの影響を抑えつつ印圧を算出（測定）することができる。

その他
また、ここで挙げた制御例とは異なる変形を上記実施形態に加えることも勿論可能である。例えば、スキージ６１に与えられた印圧の偏りを示す情報を取得した結果に基づき、当該偏りを解消するようにスキージ６１へ印加する印圧に対してフィードバック制御を実行しても良い。

また、印圧センサーＳとして使用可能なセンサーの種類は、磁歪センサーに限られない。つまり、加えられた圧力に対して物性が変化する材料（例えば圧電体）で構成されたセンサーロッドＳｒと、センサーロッドＳｒの物性の変化を検出する検出素子（上述の例におけるコイルＳｃ）とで印圧センサーＳを構成することができる。

１…印刷機
２…マスク保持ユニット（マスク保持部）
６…印刷ヘッド
６１…スキージ
７…荷重軽減部
７１…荷重軽減バネ
７４…フランジ
８…印圧付与部
８１…印圧バネ
Ｓ…印圧センサー（圧力センサー、磁歪センサー）
Ｕ…センサーユニット（ユニット）

Claims (10)

1. 加えられた圧力に応じた検出値を出力する圧力センサーと、前記圧力センサーの下方に配置されて前記圧力センサーに接続されたスキージと、前記圧力センサーを介して前記スキージに上方から印圧を与える印圧付与部と、螺旋形状の荷重軽減バネを有して前記荷重軽減バネにより前記スキージを上方へ付勢する荷重軽減部とを有する印刷ヘッドと、
   印刷対象物に上方から対向させてマスクを保持するマスク保持部と
   を備え、
   前記印刷ヘッドの前記スキージを前記マスクの上面に摺動させることで前記印刷対象物に印刷を実行し、
   前記印刷ヘッドでは、前記圧力センサーの少なくとも一部が前記荷重軽減バネの内側に配置されている印刷機。
2. 前記荷重軽減部は、前記荷重軽減バネの上方で前記圧力センサーに固定されたフランジを有し、前記荷重軽減バネが前記フランジを前記上方へ押圧することで前記圧力センサーを介して前記スキージを上方へ付勢する請求項１に記載の印刷機。
3. 前記印圧付与部は、前記フランジの上方に配置された印圧バネを有し、前記印圧バネによって前記フランジを下方に押圧することで、前記スキージに印圧を与える請求項２に記載の印刷機。
4. 前記圧力センサー、前記印刷付与部および前記荷重軽減部で構成されるユニットが前記印刷ヘッドに複数設けられた請求項１ないし３のいずれか一項に記載の印刷機。
5. 前記複数のユニットそれぞれの前記圧力センサーの検出値に基づき、前記スキージに与えられた印圧に関する情報を取得する印圧情報取得部をさらに備える請求項４に記載の印刷機。
6. 前記印圧情報取得部は、前記複数のユニットそれぞれの前記圧力センサーの検出値の差を、前記スキージに与えられた印圧の偏りを示す情報として取得する請求項５に記載の印刷機。
7. 前記印刷情報取得部は、前記複数のユニットそれぞれの前記圧力センサーの検出値の最大値と最小値の差が閾値以上となると、作業者に警告を行うと決定する請求項６に記載の印刷機。
8. 前記印圧情報取得部は、前記複数のユニットそれぞれの前記圧力センサーの検出値の平均値に基づき前記スキージに与えられた印圧を測定する請求項５ないし７のいずれか一項に記載の印刷機。
9. 前記圧力センサーは、磁歪センサーである請求項１ないし８のいずれか一項に記載の印刷機。
10. 加えられた圧力に応じた検出値を出力する圧力センサーと、
    前記圧力センサーの下方に配置されて前記圧力センサーに接続されたスキージと、
    前記圧力センサーを介して前記スキージに上方から印圧を与える印圧付与部と、
    螺旋形状の荷重軽減バネを有して前記荷重軽減バネにより前記スキージを上方へ付勢する荷重軽減部と
    を備え、
    前記圧力センサーの少なくとも一部が前記荷重軽減バネの内側に配置されている印刷ヘッド。

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